JPH0983290A - Surface mount piezoelectric filter - Google Patents

Surface mount piezoelectric filter

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Publication number
JPH0983290A
JPH0983290A JP23547495A JP23547495A JPH0983290A JP H0983290 A JPH0983290 A JP H0983290A JP 23547495 A JP23547495 A JP 23547495A JP 23547495 A JP23547495 A JP 23547495A JP H0983290 A JPH0983290 A JP H0983290A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pits
conductive material
piezoelectric filter
piezoelectric
partition wall
Prior art date
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Pending
Application number
JP23547495A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Arimura
有村  博之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daishinku Corp
Original Assignee
Daishinku Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Daishinku Corp filed Critical Daishinku Corp
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Priority to TW088216049U priority patent/TW438155U/en
Priority to EP96925115A priority patent/EP0783205B1/en
Priority to CNB011406542A priority patent/CN1240184C/en
Priority to CN96190990A priority patent/CN1080953C/en
Priority to US08/809,142 priority patent/US5939956A/en
Priority to DE69637883T priority patent/DE69637883D1/en
Priority to PCT/JP1996/002125 priority patent/WO1997005699A1/en
Priority to KR1019970702021A priority patent/KR100294103B1/en
Publication of JPH0983290A publication Critical patent/JPH0983290A/en
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 実装面積を小さくすべく、2組の電極群間の
距離を近づけても、これらの電極群が互いに他の電極群
との間に生成される電気力線による影響を受けにくく、
小型で良好な保証減衰量特性を発揮し得る表面実装型圧
電フィルタを提供する。 【解決手段】 保持器3に2つのピット31,32を形
成し、各入出力振動電極対11,21がこれら各ピット
31,32の底面側を向くように圧電基板10,20を
ピット31,32の周辺部分に固定し、各ピット31,
32の底面31a,32aを導電性材料41,42で多
い、かつ、ピット31,32間の隔壁33に沿って導電
性材料5を設け、各導電性材料41,42,5をアース
接続端子61〜63に接続する。
(57) Abstract: Even if the distance between two sets of electrode groups is reduced in order to reduce the mounting area, these electrode groups are caused by the lines of electric force generated between each other. Less affected,
(EN) Provided is a surface-mounted piezoelectric filter which is small in size and can exhibit excellent guaranteed attenuation characteristics. SOLUTION: Two pits 31 and 32 are formed in a cage 3, and the piezoelectric substrates 10 and 20 are formed so that the input / output vibrating electrode pairs 11 and 21 face the bottom side of these pits 31 and 32, respectively. Fixed to the peripheral area of 32, each pit 31,
The bottom surfaces 31a, 32a of 32 are filled with the conductive materials 41, 42, and the conductive material 5 is provided along the partition wall 33 between the pits 31, 32, and the conductive materials 41, 42, 5 are connected to the ground connection terminal 61. Connect to ~ 63.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は圧電基板を用いた多
重モード圧電フィルタのうち、多段接続型の表面実装型
圧電フィルタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-stage connection type surface mount type piezoelectric filter among multimode piezoelectric filters using a piezoelectric substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電基板の厚みすべり振動等を利用した
圧電フィルタにおいては、一般に、圧電基板の一面に所
定のギャップを開けて入出力振動電極対(分離電極)を
形成するとともに、その反対側の面にはこれらと対向す
るようにアース電極を形成し、その全体を保持器内に収
容した構造を採る。
2. Description of the Related Art Generally, in a piezoelectric filter utilizing thickness-shear vibration of a piezoelectric substrate, a pair of input / output vibration electrodes (separation electrodes) are formed on one surface of the piezoelectric substrate and the opposite side is formed. A ground electrode is formed on the surface of the above so as to face them, and the entire structure is housed in a holder.

【0003】この種の圧電フィルタにおいては、通常、
高い減衰特性を得るためには、複数の圧電フィルタを縦
続接続する、いわゆる多段接続とする必要があるが、1
つの保持器内に1つの圧電フィルタを収容したもので
は、このような多段接続を行う場合には実装面積が大と
なってしまい、機器の小型化を阻害する原因となる。
In this type of piezoelectric filter, normally,
In order to obtain high attenuation characteristics, it is necessary to connect a plurality of piezoelectric filters in cascade, so-called multi-stage connection.
In the case where one piezoelectric filter is housed in one cage, the mounting area becomes large when such multi-stage connection is performed, which becomes a cause of hindering the miniaturization of the device.

【0004】このような問題を解決するために、従来、
1つの圧電基板上に2組の入出力電極対およびアース電
極を形成して保持器内に収容した、多段接続型の素子が
提案され、実用化されている。
In order to solve such a problem, conventionally,
A multi-stage connection type element in which two sets of input / output electrode pairs and a ground electrode are formed on one piezoelectric substrate and housed in a holder has been proposed and put into practical use.

【0005】ところで、1つの圧電基板上に実質的に2
つの圧電フィルタを形成し、これを1つの保持器内に収
容した場合、各フィルタ間の音響的結合が生じるととも
に、各圧電フィルタ間の距離は必然的に小さくなる関係
上、電磁的結合も生じやすくなる。このような音響的お
よび電磁的結合を遮断すべく、従来、圧電基板上の2組
の電極群の間に溝を形成し、その溝の両側に帯状の金属
層を形成してもの(特公昭57−56819号)や、圧
電基板上の2組の電極群間を仕切る位置に、アース電極
に接続される直線状の電極を形成し、更にその上に銀ペ
ースト等の減衰材を塗布した構造のもの(特開昭61−
17826号)等が提案されている。
By the way, substantially two piezoelectric substrates are formed on one piezoelectric substrate.
When two piezoelectric filters are formed and housed in one cage, acoustic coupling between the filters occurs, and the distance between the piezoelectric filters is inevitably small, so electromagnetic coupling also occurs. It will be easier. In order to block such acoustic and electromagnetic coupling, conventionally, a groove is formed between two sets of electrode groups on a piezoelectric substrate, and strip-shaped metal layers are formed on both sides of the groove (Japanese Patent Publication No. 57-56819) or a structure in which a linear electrode connected to the ground electrode is formed at a position separating the two electrode groups on the piezoelectric substrate, and a damping material such as silver paste is further applied thereon. (Japanese Patent Laid-Open No. 61-
No. 17826) has been proposed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところて、近年、この
ような圧電フィルタを例えば通信機器等に組み込む場合
には、その実装工程の簡易化等を目的として、保持器を
表面実装型のものとするとともに、その実装面積をより
小さくすることが要求されている。このような微小な表
面実装型の保持器内に2組の電極群を収容した構造にお
いては、電極群間の距離が極めて短くなる関係上、前記
した従来の提案の構造では、特に2組の入出力振動電極
対のそれぞれが作る電場に基づく電気力線による相互干
渉を避けることは困難である。
By the way, in recent years, when such a piezoelectric filter is incorporated into, for example, a communication device or the like, the cage is a surface mount type for the purpose of simplifying the mounting process and the like. In addition, it is required to make the mounting area smaller. In the structure in which two sets of electrode groups are housed in such a minute surface mount type retainer, the distance between the electrode groups is extremely short. It is difficult to avoid mutual interference due to lines of electric force based on the electric field created by each of the input and output vibrating electrode pairs.

【0007】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
もので、実装面積を極めて小さくして、2組の電極群間
の距離を近づけても、これら電極群間相互の電気力線の
影響を受けにくく、もって小型で良好な保証減衰量特性
を発揮することのできる、表面実装型圧電フィルタの提
供を目的としている。
The present invention has been made in view of such circumstances, and even if the mounting area is made extremely small and the distance between the two electrode groups is reduced, the influence of the lines of electric force between these electrode groups is influenced. It is an object of the present invention to provide a surface-mounted piezoelectric filter that is hard to receive and is small in size, and that can exhibit a good guaranteed attenuation amount characteristic.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの構成を、その実施の一形態を表す図1,図2を参照
しつつ説明すると、本発明の表面実装型圧電フィルタ
は、圧電基板10(20)の一面に互いに所定のギャッ
プを開けて入出力振動電極対11(21)が形成され、
その反対側の面にはこれらと対向するようにアース電極
12(22)が形成されてなる多重モード圧電フィルタ
素子の2組(1と2)が、互いに縦続接続された状態で
1つの表面実装型の保持器3内に収容された圧電フィル
タであって、保持器3に2つのピット31,32が隣接
形成され、圧電基板10,20は、各入出力振動電極対
11,21がそれぞれ各ピット31,32の底面31
a,32a側を向いた状態で、これら各ピット31,3
2の周辺部において保持器3に固定されているととも
に、各ピット31,32の底面31a,32aは導電性
材料41,42によって覆われ、かつ、2つのピット3
1,32間の隔壁33に沿って導電性材料5が設けら
れ、これらの各導電性材料41,42,5は保持器3に
形成されたアース接続端子61〜63に接続されている
ことによって特徴づけられる。
A structure for achieving the above-mentioned object will be described with reference to FIGS. 1 and 2 showing an embodiment of the present invention. An input / output vibrating electrode pair 11 (21) is formed on one surface of the substrate 10 (20) with a predetermined gap therebetween.
Two sets (1 and 2) of the multi-mode piezoelectric filter element, in which the ground electrode 12 (22) is formed so as to face them on the opposite surface, are one surface-mounted in a state in which they are cascade-connected to each other. A piezoelectric filter housed in a die-shaped holder 3, two pits 31 and 32 are formed adjacent to the holder 3, and the piezoelectric substrates 10 and 20 have respective input / output vibrating electrode pairs 11 and 21 respectively. Bottom 31 of pits 31, 32
Each of these pits 31 and 3 in the state of facing the a and 32a sides.
The pits 31 and 32 are fixed to the cage 3 at the peripheral portion of the pit 2, and the bottom surfaces 31a and 32a of the pits 31 and 32 are covered with the conductive materials 41 and 42.
The conductive material 5 is provided along the partition wall 33 between the first and the second 32, and each of the conductive materials 41, 42, and 5 is connected to the ground connection terminals 61 to 63 formed on the cage 3. Characterized.

【0009】また、同じ目的を達成するための他の構成
として、本発明は、図8に例示するように、保持器3′
に2つのピット31′,32′を隣接形成し、圧電基板
10,20を、上記とは逆向き、つまり各アース電極1
2,22がピット31′,32′の底面側を向いた状態
で各ピット31′,32′の周辺部分において保持器
3′に固定するとともに、その保持器3′には導電性材
料からなる蓋30′を装着し、また、2つのピット3
1′,32′間の隔壁33′に沿って、上辺が蓋30′
の下面近傍にまで到る導電性材料5′を設けて、その導
電性材料5′並びに蓋30′を、保持器3に形成された
アース端子64,65に接続した構成を採用することが
できる。
As another configuration for achieving the same purpose, the present invention is a retainer 3'as illustrated in FIG.
Two pits 31 'and 32' are formed adjacent to each other, and the piezoelectric substrates 10 and 20 are oriented in the opposite direction, that is, each ground electrode 1
2 and 22 are fixed to the cage 3'at the peripheral portions of the pits 31 'and 32' with the bottoms of the pits 31 'and 32' facing each other, and the cage 3'is made of a conductive material. A lid 30 'is attached, and two pits 3
Along the partition 33 'between the 1'and 32', the upper side is the lid 30 '.
It is possible to adopt a configuration in which the conductive material 5 ′ reaching up to near the lower surface of the holder is provided, and the conductive material 5 ′ and the lid 30 ′ are connected to the ground terminals 64 and 65 formed on the cage 3. .

【0010】ここで、2つのピット31,32(3
1′,32′)間の隔壁33(33′)に沿う導電性材
料5(または5′)の具体的な配置の形態としては、図
1,図2(または図8)のように、隔壁33(33′)
に沿ってその内部に板状のものを挿入するほか、図6
(または図9)のようにピット31,32(31′,3
2′)の内側面31b,32b(31b′,32b′)
を導電性材料5によって覆う形態、あるいは、図7のよ
うに隔壁33に複数のスルーホール33a・・33aを形
成して、その各スルーホール33aのそれぞれに導電性
材料5を埋め込む形態を採用することができる。
Here, two pits 31, 32 (3
1 ', 32') and the partition wall 33 (33 ') between the conductive material 5 (or 5'), as shown in FIG. 1 and FIG. 2 (or FIG. 8). 33 (33 ')
Insert a plate-shaped object inside along the
(Or FIG. 9), pits 31, 32 (31 ', 3)
2 ') inner surface 31b, 32b (31b', 32b ')
Is covered with the conductive material 5, or as shown in FIG. 7, a plurality of through holes 33a ... 33a are formed in the partition wall 33, and the conductive material 5 is embedded in each of the through holes 33a. be able to.

【0011】また、本発明における保持器3(3′)内
に収容される2組の圧電フィルタ素子1,2としては、
図1,図2(または図8)のように互いに分離された2
枚の圧電基板10,20にそれぞれ1組ずつ電極群を形
成したもののほか、図5に例示するように、1枚の共通
の圧電基板100上に2組の電極群を形成したものをも
含む。
The two sets of piezoelectric filter elements 1 and 2 housed in the cage 3 (3 ') according to the present invention include:
2 separated from each other as shown in FIG. 1 and FIG. 2 (or FIG. 8)
In addition to the one in which one set of electrode groups is formed on each of the piezoelectric substrates 10 and 20, one in which two sets of electrode groups are formed on one common piezoelectric substrate 100 as illustrated in FIG. .

【0012】[0012]

【作用】本発明は、1つの表面実装型の保持器内に収容
された2組の圧電フィルタ素子用の入出力振動電極対
を、保持器自体の構造によって相互に電磁遮蔽すること
によって、各電極対間の電気力線の干渉を防止しようと
するものである。
According to the present invention, the two input / output vibrating electrode pairs for the piezoelectric filter elements housed in one surface mount type cage are electromagnetically shielded from each other by the structure of the cage itself. It is intended to prevent the interference of the lines of electric force between the pair of electrodes.

【0013】すなわち、2組の入出力振動電極対11と
21が作る電場に基づいて形成される電気力線は、図3
に模式的に示すように、圧電基板10,20の入出力振
動電極対11,21の形成面側に隣接する空間を介して
各電極対11,21相互に影響を与えるが、圧電基板1
0,20を、各入出力振動電極対11,21が保持器3
に形成されたピット31,32に向くように保持器3に
固定し、その各ピット31,32の底面31a,32a
と、各ピット31,32間の隔壁33に沿って導電性材
料41,42および5を設けて、これらをアース電位に
接続することによって、各入出力振動電極対11,21
間の電気力線による影響を抑止することができ、2つの
電極群間を有効に電磁遮蔽することができる。
That is, the lines of electric force formed based on the electric field created by the two pairs of input / output vibrating electrode pairs 11 and 21 are shown in FIG.
As schematically shown in FIG. 1, the piezoelectric substrate 10 and the piezoelectric substrate 1 have an influence on each of the electrode pairs 11 and 21 via a space adjacent to the surface on which the input / output vibrating electrode pair 11 and 21 are formed.
0, 20, each of the input / output vibrating electrode pairs 11, 21 is a retainer 3
It is fixed to the cage 3 so as to face the pits 31 and 32 formed in the pits 31 and 32, and the bottom surfaces 31a and 32a of the pits 31 and 32 are formed.
By providing conductive materials 41, 42 and 5 along the partition wall 33 between the pits 31 and 32 and connecting them to the ground potential, the input / output vibration electrode pairs 11 and 21 are connected.
The influence of the lines of electric force between the two electrode groups can be suppressed, and the two electrode groups can be effectively electromagnetically shielded.

【0014】また、各圧電基板10,20を表裏逆とし
た図8の構成においては、電気力線が各圧電基板10,
20相互に影響を及ぼす空間が各基板10,20の上面
側となるが、蓋30′を導電性材料とし、かつ、ピット
31′,32′の隔壁33′に沿う導電性材料5′の上
辺を蓋30′の下面近傍にまで至らせることによって、
上記構成と同様に各入出力振動電極対11,21間の電
気力線による影響を抑止することができる。
In the structure shown in FIG. 8 in which the piezoelectric substrates 10 and 20 are turned upside down, the lines of electric force are applied to the piezoelectric substrates 10 and 20.
20. The space that affects each other is on the upper surface side of each substrate 10, 20, but the lid 30 'is made of a conductive material and the upper side of the conductive material 5'along the partition walls 33' of the pits 31 ', 32'. To reach near the bottom surface of the lid 30 ',
Similar to the above configuration, it is possible to suppress the influence of the lines of electric force between the input / output vibrating electrode pairs 11 and 21.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】図1は本発明の実施の形態を表す
分解斜視図で、図2はその組み立て状態において蓋30
を除外して示すA−A断面図である。
1 is an exploded perspective view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a lid 30 in its assembled state.
It is an AA sectional view shown excepting.

【0016】2つの圧電フィルタ素子1,2が1つの表
面実装型の保持器3内に収容され、その保持器3の上縁
部に蓋30が被せられることによって、これらの各素子
が密閉される。この例において各圧電フィルタ素子1,
2は、それぞれ、圧電基板10,20の一面に入出力電
極対11,21を形成し、その反対側の面にこれらと対
向するようにアース電極12,22を形成することによ
って構成されている。
The two piezoelectric filter elements 1 and 2 are housed in a single surface mount type holder 3, and a lid 30 is placed on the upper edge of the holder 3 to seal these elements. It In this example, each piezoelectric filter element 1,
2 is formed by forming input / output electrode pairs 11 and 21 on one surface of the piezoelectric substrates 10 and 20, and forming ground electrodes 12 and 22 on the opposite surfaces thereof so as to face them. .

【0017】保持器3は例えばセラミックス製であり、
その底面には互いに隣接して2つのピット31,32が
形成されている。そして、各圧電フィルタ素子1,2の
圧電基板10,20は、それぞれの入出力振動電極対1
1,21をピット31,32の底面31a,32a側に
向けて、各ピット31,32の上に被さるような状態
で、それぞれの3箇所のコーナー部分においてピット3
1,32の周辺部分に固定される。
The cage 3 is made of, for example, ceramics,
Two pits 31 and 32 are formed adjacent to each other on the bottom surface. The piezoelectric substrates 10 and 20 of the piezoelectric filter elements 1 and 2 have the input / output vibrating electrode pair 1 respectively.
1, 21 with the bottoms 31a and 32a of the pits 31 and 32 facing the pits 31 and 32, respectively.
It is fixed to the peripheral part of 1,32.

【0018】すなわち、各圧電基板10,20の入出力
振動電極対11,21およびアース電極12,22は、
それぞれに対応する引き出し電極によって圧電基板1
0,20の3箇所のコーナー部分に引き出されていると
ともに、保持器3には、各ピット31,32の周辺部分
にこれらの各コーナー部分と対応する位置に合計6つの
接続パッドPが形成されている。そして、各圧電基板1
0,20は、その各3箇所のコーナー部分において導電
性接着剤Bによって振動を妨げられない状態で各接続パ
ッドP上に機械的に固定されると同時に、それぞれの入
出力電極対11,21およびアース電極12,22が、
それぞれの接続パッドPに電気的に接続される。なお、
各接続パッドPは、保持器3を貫通してその裏面に形成
された表面実装用の外部接続パッド(図示せず)に接続
されている。なお、2つの圧電フィルタ素子1と2は、
この外部接続パッドを介して縦続接続されてもよいし、
保持器3内において縦続接続されてもよい。
That is, the input / output vibrating electrode pairs 11 and 21 and the ground electrodes 12 and 22 of the respective piezoelectric substrates 10 and 20 are
Piezoelectric substrate 1 with lead electrodes corresponding to each
The retainer 3 has six connection pads P formed on the peripheral portions of the pits 31 and 32 at positions corresponding to the respective corner portions of the pits 31 and 32. ing. And each piezoelectric substrate 1
0 and 20 are mechanically fixed on each connection pad P in a state where vibration is not hindered by the conductive adhesive B at each of the three corners thereof, and at the same time, the respective input / output electrode pairs 11 and 21. And the ground electrodes 12, 22 are
It is electrically connected to each connection pad P. In addition,
Each connection pad P penetrates the cage 3 and is connected to an external connection pad (not shown) for surface mounting formed on the back surface thereof. The two piezoelectric filter elements 1 and 2 are
It may be cascaded via this external connection pad,
The holders 3 may be connected in cascade.

【0019】さて、各ピット31,32の底面31a,
32aはそれぞれ、例えばWとAuの合金からなる導電
性材料41,42によってメタライズされて被覆されて
いるとともに、2つのピット31と32の間に介在する
隔壁33の中央に、各ピット31,32間を仕切るよう
に板状の導電性材料5が挿入されている。そして、これ
らの各導電性材料41,42および5は、保持器3を貫
通してその裏面側に形成された、それぞれに専用のアー
ス接続パッド61〜63に接続されている。
Now, the bottom surface 31a of each pit 31, 32,
Each of the pits 32a is covered with a conductive material 41, 42 made of, for example, an alloy of W and Au by metallization, and is formed in the center of a partition 33 interposed between the two pits 31 and 32. A plate-shaped conductive material 5 is inserted so as to partition the space. Each of the conductive materials 41, 42 and 5 is connected to the dedicated ground connection pads 61 to 63 formed on the back surface side of the cage 3 so as to penetrate therethrough.

【0020】以上の本発明の実施の形態によると、各入
出力振動電極対11,12間の電気力線が、他方に対し
て影響を与えることがない。すなわち、図3に模式的に
示すように、各導電性材料41,42および5が存在し
ない状態では、2組の入出力振動電極対11と21は、
それぞれの電極対11,21が作る電場に基づき、これ
らの電極対11,21の形成面に隣接する空間に形成さ
れる電気力線の影響によって干渉しあうが、その電気力
線の形成される空間にアース電位の導電性材料41,4
2および5を介在させることによって、各電極対11,
21に他方からの電気力線の影響が及ぶことを抑止する
ことができる。
According to the above-described embodiment of the present invention, the lines of electric force between the input / output vibrating electrode pairs 11 and 12 do not affect the other. That is, as schematically shown in FIG. 3, in the state where the conductive materials 41, 42 and 5 do not exist, the two input / output vibrating electrode pairs 11 and 21 are
Based on the electric field created by each of the electrode pairs 11 and 21, the lines of electric force interfere with each other due to the influence of the lines of electric force formed in the space adjacent to the formation surface of these electrode pairs 11 and 21. Conductive material 41, 4 with earth potential in space
By interposing 2 and 5, each electrode pair 11,
It is possible to prevent 21 from being affected by the lines of electric force from the other.

【0021】その結果、各導電性材料41,42および
5を設けない状態では図4(A)に示すような特性を示
していたものが、これらの導電性材料41,42および
5を設けることによって、同図(B)に示すよう、極め
て良好な保証減衰量特性を示すに到る。
As a result, when the conductive materials 41, 42 and 5 are not provided, the characteristics shown in FIG. 4 (A) are exhibited, but the conductive materials 41, 42 and 5 are provided. As a result, as shown in FIG. 7B, a very good guaranteed attenuation amount characteristic is exhibited.

【0022】なお、以上の例では、各導電性材料41,
42および5を、それぞれに専用のアース接続パッド6
1〜63に接続したが、これらの各導電性材料41,4
2および5を保持器3内の適宜箇所で相互に接続して、
共通のアース接続パッドに接続してもよい。
In the above example, each conductive material 41,
42 and 5 each with a dedicated ground connection pad 6
1 to 63, each of these conductive materials 41, 4
2 and 5 are connected to each other at appropriate points in the cage 3,
It may be connected to a common ground connection pad.

【0023】また、以上の例では、2つの圧電フィルタ
素子1,2を、それぞれ個別の圧電基板10,20に所
要の電極群を形成することによって得ているが、これに
代えて、図5に例示するように、1つの圧電基板100
上の一面に入出力電極対11,21を形成し、その反対
側の面にこれらのそれぞれに対向するようにアース電極
12,22を形成してもよく、この場合、圧電基板10
0は、先の例と全く同様に、保持器3の合計6個の接続
ハッドPに対して合計6箇所において各ピット31,3
2の周辺部分で固定される。
In the above example, the two piezoelectric filter elements 1 and 2 are obtained by forming the required electrode groups on the individual piezoelectric substrates 10 and 20, respectively. As illustrated in FIG.
The input / output electrode pairs 11 and 21 may be formed on one surface of the upper surface, and the ground electrodes 12 and 22 may be formed on the opposite surface thereof so as to face the respective pairs. In this case, the piezoelectric substrate 10
0 is exactly the same as in the previous example, with respect to the total of 6 connection huds P of the cage 3, the pits 31 and 3 at 6 positions in total.
It is fixed at the peripheral part of 2.

【0024】また、2つのピット31,32間の隔壁3
3に沿って設けられる導電性材料5については、上記例
のように隔壁33内に板状のものを挿入するほか、図6
および図7にそれぞれ保持器3のみの部分切欠斜視図を
示すような形態を採ることができる。
The partition wall 3 between the two pits 31 and 32
As for the conductive material 5 provided along with 3, a plate-like material is inserted into the partition wall 33 as in the above example, and as shown in FIG.
7 and FIG. 7 may each take the form of a partially cutaway perspective view of only the retainer 3.

【0025】図6に示す例では、保持器3の2つのピッ
ト31,32の内側面31b,32bを導電性材料5に
よって被覆したもので、この場合、ピット31,32は
その底面31a,32aを被覆する導電性材料41,4
2と併せて、その内面全面が導電性材料によって覆われ
ることになる。なお、導電性材料5は、ピット31,3
2の内側面31b,32bのうち、少なくとも隔壁33
の両側の面を覆えば足りるが、それに直交する面をも同
時に覆うことによって、各入出力振動電極対11,21
の電場が作る電気力線の外部回路に対する影響を除去す
ることができて好適である。また、図示のように隔壁3
3の上面にも同様な導電性材料を形成して、これによっ
て両ピット31,32内の各導電性材料41,42およ
び5を相互に接続すれば、一つのアース接続パッドによ
って全ての導電性材料41,42および5を接地するこ
とができる。
In the example shown in FIG. 6, the inner side surfaces 31b and 32b of the two pits 31 and 32 of the cage 3 are covered with the conductive material 5. In this case, the pits 31 and 32 have bottom surfaces 31a and 32a. Conductive material 41, 4 for coating
In addition to 2, the entire inner surface is covered with the conductive material. In addition, the conductive material 5 has pits 31 and 3
Of the two inner side surfaces 31b and 32b, at least the partition wall 33
It is sufficient to cover the surfaces on both sides of the input / output vibrating electrode pairs 11 and 21 by simultaneously covering the surfaces orthogonal to it.
It is possible to eliminate the influence of the lines of electric force generated by the electric field on the external circuit, which is preferable. Also, as shown in the drawing, the partition wall 3
If a similar conductive material is formed on the upper surface of 3 and the conductive materials 41, 42 and 5 in both pits 31 and 32 are connected to each other by this, all the conductive materials can be formed by one earth connection pad. The materials 41, 42 and 5 can be grounded.

【0026】図7に示す例では、保持器3の2つのピッ
ト31,32間の隔壁33に、両ピット31,32を仕
切る面に沿って複数のスルーホール33a・・33aを形
成し、その各スルーホール33a・・33a内のそれぞれ
に導電性材料5・・5を埋め込み、これらを保持器3の裏
面に形成した共通のアース接続パッド6に接続してい
る。
In the example shown in FIG. 7, a plurality of through holes 33a ... 33a are formed in the partition wall 33 between the two pits 31 and 32 of the cage 3 along the surface separating the pits 31 and 32. Conductive materials 5, 5 are embedded in the through holes 33a, 33a, respectively, and these are connected to a common ground connection pad 6 formed on the back surface of the cage 3.

【0027】以上の図6および図7の構成において、圧
電基板の固定の仕方等については先の例と全く同様であ
り、これら図6,図7の構成によっても、図1,図2に
示した例と同等の作用効果を奏することが確かめられて
いる。
In the configurations shown in FIGS. 6 and 7, the method of fixing the piezoelectric substrate and the like are exactly the same as in the previous example, and the configurations shown in FIGS. 6 and 7 also show the configurations shown in FIGS. It has been confirmed that the same effect as the above example is obtained.

【0028】次に、保持器内での圧電基板の固定の向き
を表裏逆転させた実施の形態について述べる。図8にそ
の実施の形態の縦断面図を示す。この例においては、2
つの圧電フィルタ素子1,2については図1,図2に示
したものと全く同様であり、また、保持器3′に2つの
ピット31′,32′が隣接形成されている点は先の各
例と同等であるが、各ピット31′,32′にはそれぞ
れ、略1/2の深さの位置において内側面に沿って一周
する平坦な段部31c′,32c′が形成されており、
圧電フィルタ素子1,2を構成する各圧電基板10,2
0は、図1,図2の例とは逆向き、つまりアース電極1
2,22をピット31′,32′の底面31a′,32
a′側に向けた状態で、それぞれのピット31′,3
2′の段部31c′,32c′に固定されている。
Next, an embodiment will be described in which the direction of fixing the piezoelectric substrate in the holder is reversed. FIG. 8 shows a vertical sectional view of the embodiment. In this example, 2
The two piezoelectric filter elements 1 and 2 are exactly the same as those shown in FIGS. 1 and 2, and the two pits 31 'and 32' are formed adjacently on the retainer 3 '. Similar to the example, flat pits 31c 'and 32c' are formed in the pits 31 'and 32' so as to make a turn along the inner side surface at a position of a depth of about 1/2, respectively.
Piezoelectric substrate 10, 2 constituting the piezoelectric filter element 1, 2
0 is in the opposite direction to the example of FIGS. 1 and 2, that is, the ground electrode 1
2 and 22 are bottom surfaces 31a 'and 32 of pits 31' and 32 '.
Each pit 31 ', 3 facing the a'side
It is fixed to the 2'steps 31c 'and 32c'.

【0029】すなわち、図1,図2の例で示した接続パ
ッドPが各ピット31′,32′の段部31c′,32
c′に形成されており、各圧電基板10,20は、先の
例と同様に導電性接着剤Bによって、それぞれ各接続パ
ッドP上に機械的に固定されると同時に、それぞれの入
出力電極対11,21およびアース電極12,22がそ
れぞれに対応する接続パッドPに電気的に接続される。
That is, the connection pads P shown in the examples of FIGS. 1 and 2 are the step portions 31c ', 32 of the pits 31', 32 '.
The piezoelectric substrates 10 and 20 are mechanically fixed on the respective connection pads P by the conductive adhesive B as in the previous example, and at the same time, are formed on the respective input / output electrodes. The pairs 11 and 21 and the ground electrodes 12 and 22 are electrically connected to the corresponding connection pads P.

【0030】保持器3′には、その上面周縁に沿って金
属製のコバーリング34が固着されているとともに、そ
のコバーリング34の上に、金属製の蓋30′がシーム
溶接によって固着されている。
A metal cover ring 34 is fixed to the retainer 3'along the upper surface of the retainer 3 ', and a metal cover 30' is fixed on the cover ring 34 by seam welding.

【0031】また、2つのピット31′,32′の間の
隔壁33′の上面は、蓋30′の下面の近傍にまで到
り、その隔壁33′内に、板状の導電性材料5′が挿入
され、この導電性材料5′の上面は隔壁33′の上面に
まで到っており、従ってこの導電性材料5′の上面は蓋
30′の下面近傍にまで到っている。
Further, the upper surface of the partition wall 33 'between the two pits 31', 32 'reaches the vicinity of the lower surface of the lid 30', and the plate-shaped conductive material 5'is placed in the partition wall 33 '. Is inserted, and the upper surface of the conductive material 5 ′ reaches the upper surface of the partition wall 33 ′, so that the upper surface of the conductive material 5 ′ reaches the vicinity of the lower surface of the lid 30 ′.

【0032】そして、蓋30′は、コバーリング34を
介して保持器3′の下面に形成されたアース接続パッド
64に、また、導電性材料5′も同じく保持器3′の下
面に形成されたアース接続パッド65に接続されてい
る。
The lid 30 'is formed on the ground connection pad 64 formed on the lower surface of the holder 3'through the cover ring 34, and the conductive material 5'is formed on the lower surface of the holder 3'. It is connected to the ground connection pad 65.

【0033】以上のような構成において、各入出力振動
電極対11,12が作る電場に基づいて、これらの電極
対11,12の形成面に隣接する空間に形成される電気
力線は、その空間に配置されたアース電位の金属製の蓋
30′および導電性材料5′によって遮断され、各圧電
フィルタ素子1,2間相互に影響が及ばない。
In the above structure, the lines of electric force formed in the space adjacent to the formation surface of the electrode pairs 11 and 12 are based on the electric field created by the input / output vibrating electrode pairs 11 and 12. It is shielded by the metal lid 30 'of earth potential and the conductive material 5'arranged in the space so that the piezoelectric filter elements 1 and 2 do not affect each other.

【0034】ここで、以上のように、各圧電フィルタ素
子1,2をそれぞれの入出力振動電極対11,21が上
側を向くように保持器3′内に収容する場合において
も、2つのピット31′,32′間の隔壁33′に沿っ
て配置される導電性材料5′の形態としては、板状のも
のとするほか、図6および図7に示したものと同等の変
形が可能である。
As described above, even when the piezoelectric filter elements 1 and 2 are housed in the holder 3'so that the input / output vibrating electrode pairs 11 and 21 face upward, two pits are formed. The form of the conductive material 5'disposed along the partition wall 33 'between the 31' and 32 'is not limited to the plate-like form, and the same modifications as those shown in FIGS. 6 and 7 are possible. is there.

【0035】すなわち、板状の導電性材料5′に代え
て、図9に部分切欠断面図で示すように、2つのピット
31′,32′の、段部31c′,32c′よりも上側
の内側面31b′,32b′を導電性材料5′で覆って
も、上記と全く同様の作用効果を奏することができる。
この場合、ピット31′,32′の内側面を覆う導電性
材料5′の接地は、例えば、図示のように、各ピット3
1′,32′の内側面の導電性材料5′の一部をそれぞ
れ段部31c′,32c′にまで延ばし、その部分をス
ルーホールによって保持器3′の底面のアース接続パッ
ドに接続すればよい。
That is, instead of the plate-shaped conductive material 5 ', as shown in the partial cutaway sectional view in FIG. 9, the two pits 31', 32 'above the stepped portions 31c', 32c '. Even if the inner side surfaces 31b 'and 32b' are covered with the conductive material 5 ', the same effect as the above can be obtained.
In this case, the grounding of the conductive material 5'covering the inner side surfaces of the pits 31 ', 32' may be done, for example, as shown in FIG.
If a part of the conductive material 5'on the inner surface of 1 ', 32' is extended to the step portions 31c ', 32c', and the portions are connected to the ground connection pad on the bottom surface of the cage 3'by through holes. Good.

【0036】また、図示は省略するが、板状の導電性材
料5′に代えて、図7に示した例と同様に、隔壁33′
内に2つのピット31′,32′を仕切るように複数の
スルーホールを列状に設け、その各スルーホール内に導
電性材料5′を埋め込んでもよい。
Although not shown, the partition wall 33 'is replaced by the plate-shaped conductive material 5'in the same manner as in the example shown in FIG.
A plurality of through holes may be provided in a row so as to partition the two pits 31 'and 32' therein, and the conductive material 5'may be embedded in each of the through holes.

【0037】ここで、図8および図9に示す例におい
て、各ピット31′,32′の底面31a′,32a′
と、段部31c′,32c′よりも下側の内側面をも導
電性材料で覆うと、保持器3′外に対する電磁遮蔽が可
能となってより好ましい。
Here, in the example shown in FIGS. 8 and 9, the bottom surfaces 31a 'and 32a' of the pits 31 'and 32' are formed.
It is more preferable to cover the inner side surface below the step portions 31c 'and 32c' with a conductive material as well, because electromagnetic shielding to the outside of the cage 3'is possible.

【0038】また、隔壁33′に沿って配置される導電
性材料5′と、金属性の蓋30′との間の隙間をも導電
性材料で埋めるべく、隔壁33′と蓋30′との間に導
電性接着剤を介在させてもよく、また、そのような導電
性接着剤に代えて、コバーリング34を、保持器3′の
上面周縁部のみならず、隔壁34の上にも配置すべく日
字形としてもよい。そして、このように隔壁33′に沿
う導電性材料5′と金属性の蓋30′とを電気的に接続
する場合には、これらをアース電位とするためのアース
接続パッドは図8に示した64と65のいずれか一つあ
れば足りることは言うまでもない。
Further, in order to fill the gap between the conductive material 5'arranged along the partition wall 33 'and the metallic lid 30' with the conductive material, the partition wall 33 'and the lid 30' are joined together. A conductive adhesive may be interposed therebetween, and instead of such a conductive adhesive, the cover ring 34 is arranged not only on the peripheral portion of the upper surface of the retainer 3 ′ but also on the partition wall 34. You may make it a letter shape. Then, when electrically connecting the conductive material 5'along the partition wall 33 'and the metallic lid 30' in this way, the ground connection pad for setting them to the ground potential is shown in FIG. It goes without saying that any one of 64 and 65 is sufficient.

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明によれば、1個の表面実装型の保
持器内に2組の電極群からなる2つの圧電フィルタ素子
を収容して、その各電極群を形成した圧電基板を、各入
出力振動電極対が、保持器に形成された2つのピットの
底面側を向くよう、各ピットの周辺部分において保持器
に固定するとともに、その各ピットの底面および各ピッ
ト間の隔壁に沿う位置に、それぞれ導電性材料を配置し
たから、2つの入出力振動電極対が作る電場に基づく電
気力線による、電極群間相互の干渉を抑止することがで
き、従って実装面積を小さくすべく2つの電極群間の距
離を縮めて小型化しても、良好な保証減衰量特性を持つ
高精度の多段接続型の圧電フィルタを得ることができ
る。
According to the present invention, a piezoelectric substrate in which two piezoelectric filter elements each consisting of two sets of electrode groups are housed in one surface mount type holder, and each electrode group is formed, Each input / output vibrating electrode pair is fixed to the retainer in the peripheral portion of each pit so that the pair of input / output vibrating electrodes face the bottom side of the two pits formed in the retainer, and along the bottom face of each pit and the partition wall between each pit Since the conductive materials are arranged at the respective positions, it is possible to suppress mutual interference between the electrode groups due to electric lines of force based on the electric field created by the two input / output vibrating electrode pairs, and thus to reduce the mounting area. Even if the distance between the two electrode groups is reduced to reduce the size, it is possible to obtain a highly accurate multi-stage connection type piezoelectric filter having a good guaranteed attenuation amount characteristic.

【0040】また、本発明の他の構成として、2つの圧
電フィルタ素子を、上記とは逆に、各アース電極対が2
つのピットの底面側を向くよう、各ピットの周辺部分に
おいて保持器に固定するとともに、保持器には導電性材
料からなる蓋を装着し、かつ、各ピットの隔壁に沿っ
て、上端が少なくとも蓋の下面にまで到る導電性材料を
配置しても、上記と全く同等の効果が得られる。
Further, as another structure of the present invention, two piezoelectric filter elements are provided, each of which is opposite to the above, and each ground electrode pair has two electrodes.
The pits should be fixed to the cage at the periphery of each pit so that they face the bottom side, and a lid made of a conductive material should be attached to the cage. Even if a conductive material reaching the lower surface of the above is arranged, the same effect as the above can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態の分解斜視図FIG. 1 is an exploded perspective view of an embodiment of the present invention.

【図2】その蓋30を除いた組み立て状態におけるA−
A断面図
FIG. 2 A- in an assembled state excluding its lid 30
Section A

【図3】本発明の実施の形態の作用説明図FIG. 3 is an operation explanatory view of the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施の形態の効果の説明図で、(A)
は導電性材料41,42,5を除去した状態でのフィル
タ特性を表すグラフ、(B)はこれらの導電性材料4
1,42,5を設けた状態でのフィルタ特性を表すグラ
FIG. 4 is an explanatory diagram of the effect of the embodiment of the present invention;
Is a graph showing the filter characteristics with the conductive materials 41, 42, 5 removed, and (B) is the conductive material 4
Graph showing filter characteristics with 1, 42 and 5 provided

【図5】本発明の他の実施の形態の圧電フィルタ1,2
の構成を示す正面図
FIG. 5: Piezoelectric filters 1 and 2 according to another embodiment of the present invention.
Front view showing the configuration of

【図6】図1,図2の実施の形態における導電性材料5
の他の配置の方法を表す部分切欠斜視図
FIG. 6 is a conductive material 5 in the embodiment of FIGS. 1 and 2.
Partial cutaway perspective view showing another arrangement method of

【図7】図1,図2の実施の形態における導電性材料5
の更に他の配置の方法を表す部分切欠斜視図
FIG. 7 is a conductive material 5 according to the embodiment shown in FIGS.
FIG. 3 is a partially cutaway perspective view showing still another arrangement method of FIG.

【図8】本発明の更に他の実施の形態を示す縦断面図FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing still another embodiment of the present invention.

【図9】図8の実施の形態における導電性材料5′の他
の配置の方法を表す部分切欠斜視図
9 is a partial cutaway perspective view showing another method of disposing the conductive material 5'in the embodiment of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2 圧電フィルタ素子 10,20,100 圧電基板 11,21 入出力振動電極対 12,22 アース電極 3,3′ 保持器 30,30′ 蓋 31,32,31′,32′ ピット 31a,32a,31a′,32a′ 底面 31b,32b,31b′,32b′ 内側面 31c′,32c′ 段部 33,33′ 隔壁 33a スルーホール 41,42,5,5′ 導電性材料 61,62,63,64,65 アース接続パッド B 導電性接着剤 P 接続パッド 1, 2 Piezoelectric filter element 10, 20, 100 Piezoelectric substrate 11, 21 Input / output vibrating electrode pair 12, 22 Earth electrode 3, 3'Holder 30, 30 'Lid 31, 32, 31', 32 'Pit 31a, 32a , 31a ', 32a' Bottom surface 31b, 32b, 31b ', 32b' Inner side surface 31c ', 32c' Stepped portion 33, 33 'Partition wall 33a Through hole 41, 42, 5, 5' Conductive material 61, 62, 63, 64,65 Ground connection pad B Conductive adhesive P Connection pad

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電基板の一面に互いに所定のギャップ
を開けて入出力振動電極対が形成され、その反対側の面
にはこれらと対向するようにアース電極が形成されてな
る多重モード圧電フィルタ素子の2組が、互いに縦続接
続された状態で1つの表面実装型の保持器内に収容され
た圧電フィルタであって、保持器に2つのピットが隣接
形成され、上記圧電基板は、各入出力振動電極対がそれ
ぞれ各ピットの底面側を向いた状態で、これら各ピット
の周辺部において保持器に固定されているとともに、上
記各ピットの底面は導電性材料によって覆われ、かつ、
2つのピット間の隔壁に沿って導電性材料が設けられ、
これらの各導電性材料は保持器に形成されたアース接続
端子に接続されていることを特徴とする表面実装型圧電
フィルタ。
1. A multi-mode piezoelectric filter in which a pair of input / output vibrating electrodes are formed on a surface of a piezoelectric substrate with a predetermined gap therebetween, and a ground electrode is formed on a surface on the opposite side of the pair of input / output vibrating electrodes so as to face them. A piezoelectric filter in which two sets of elements are housed in one surface mount type holder in a state where they are connected in cascade, and two pits are formed adjacent to the holder, and the piezoelectric substrate is The output vibrating electrode pairs are fixed to a retainer in the peripheral portion of each pit in a state of facing the bottom side of each pit, and the bottom of each pit is covered with a conductive material, and
A conductive material is provided along the partition between the two pits,
A surface-mounted piezoelectric filter, wherein each of these conductive materials is connected to a ground connection terminal formed on the cage.
【請求項2】 圧電基板の一面に互いに所定のギャップ
を開けて入出力振動電極対が形成され、その反対側の面
にはこれらと対向するようにアース電極が形成されてな
る多重モード圧電フィルタ素子の2組が、互いに縦続接
続された状態で1つの表面実装型の保持器内に収容され
た圧電フィルタであって、保持器に2つのピットが隣接
形成され、上記圧電基板は、各アース電極がそれぞれピ
ットの底面側を向いた状態で、これら各ピットの周辺部
分において保持器に固定されているとともに、その保持
器には導電性材料からなる蓋が装着され、かつ、上記2
つのピット間の隔壁に沿って、上端が少なくとも上記蓋
の下面近傍にまで到る導電性材料が設けられ、その導電
性材料並びに蓋は、保持器に形成されたアース端子に接
続されていることを特徴とする表面実装型圧電フィル
タ。
2. A multi-mode piezoelectric filter in which a pair of input / output vibrating electrodes are formed on one surface of a piezoelectric substrate with a predetermined gap therebetween, and a ground electrode is formed on the opposite surface of the pair of input / output vibrating electrodes so as to face the electrodes. A piezoelectric filter in which two sets of elements are housed in one surface mount type holder in a cascade connection with each other, and two pits are formed adjacent to each other in the holder, and the piezoelectric substrate has each ground. The electrodes are fixed to the holders at the peripheral portions of the pits with the electrodes facing the bottom side of the pits, and the holders are fitted with a lid made of a conductive material.
A conductive material whose upper end reaches at least the vicinity of the lower surface of the lid is provided along the partition wall between the two pits, and the conductive material and the lid are connected to a ground terminal formed on the cage. A surface mount piezoelectric filter characterized by:
【請求項3】 上記2つのピット間の隔壁に沿う導電性
材料が、各ピットの内側面を覆う導電性材料であること
を特徴とする、請求項1または2に記載の表面実装型圧
電フィルタ。
3. The surface mount type piezoelectric filter according to claim 1, wherein the conductive material along the partition wall between the two pits is a conductive material which covers the inner surface of each pit. .
【請求項4】 上記2つのピット間の隔壁に沿う導電性
材料が、各ピット間の隔壁内に挿入された板状の導電性
材料であることを特徴とする、請求項1または2に記載
の表面実装型圧電フィルタ。
4. The conductive material along the partition wall between the two pits is a plate-shaped conductive material inserted in the partition wall between the pits. Surface mount piezoelectric filter.
【請求項5】 上記2つのピット間の隔壁に沿う導電性
材料が、各ピット間の隔壁に形成された複数のスルーホ
ール内のそれぞれに埋め込まれた複数の導電性材料であ
ることを特徴とする、請求項1または2に記載の表面実
装型圧電フィルタ。
5. The conductive material along the partition wall between the two pits is a plurality of conductive materials embedded in a plurality of through holes formed in the partition wall between the pits, respectively. The surface mount piezoelectric filter according to claim 1 or 2.
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JP23547495A Pending JPH0983290A (en) 1995-07-27 1995-09-13 Surface mount piezoelectric filter

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006173750A (en) * 2004-12-13 2006-06-29 Seiko Epson Corp Piezoelectric device
JP2014086983A (en) * 2012-10-26 2014-05-12 Daishinku Corp Piezoelectric filter
JP2015226189A (en) * 2014-05-28 2015-12-14 株式会社大真空 Surface mount type piezoelectric device

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