JPH0989534A - ３次元形状測定装置 - Google Patents
３次元形状測定装置Info
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- JPH0989534A JPH0989534A JP7250670A JP25067095A JPH0989534A JP H0989534 A JPH0989534 A JP H0989534A JP 7250670 A JP7250670 A JP 7250670A JP 25067095 A JP25067095 A JP 25067095A JP H0989534 A JPH0989534 A JP H0989534A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 立体形状の被測定物にレーザ光を照射し、被
測定物の３次元形状データを得て被測定物の測定を行
う。 【構成】 レーザ光源１より発せられる光軸に対して、
左右対にミラー２、３を設置し、被測定物８に照射され
た光を、拡散反射光としてミラー２、３によりハーフミ
ラー４に向けて反射させ、ハーフミラー４を介して、ミ
ラー２、３からの反射光を合成光として同時に撮像光学
系５により撮像する。そして撮像光学系５から出力され
る２次元画像データを表示装置７に出力すると共に、位
置変換データを用いて３角測量の原理に基づき、３次元
形状データに変換するデータ処理装置６により３次元デ
ータを得、移動テーブル１０により照射位置を移動させ
３次元立体形状を測定する。
測定物の３次元形状データを得て被測定物の測定を行
う。 【構成】 レーザ光源１より発せられる光軸に対して、
左右対にミラー２、３を設置し、被測定物８に照射され
た光を、拡散反射光としてミラー２、３によりハーフミ
ラー４に向けて反射させ、ハーフミラー４を介して、ミ
ラー２、３からの反射光を合成光として同時に撮像光学
系５により撮像する。そして撮像光学系５から出力され
る２次元画像データを表示装置７に出力すると共に、位
置変換データを用いて３角測量の原理に基づき、３次元
形状データに変換するデータ処理装置６により３次元デ
ータを得、移動テーブル１０により照射位置を移動させ
３次元立体形状を測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、立体形状の被測定物を
測定する際に使用する３次元形状測定装置に関する。
測定する際に使用する３次元形状測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の３次元形状測定装置とし
て、被測定物にスリット光を照射するレーザー光源と、
被測定物に映し出された光切断線を撮像して２次元画像
データを出力する撮像光学系、及び位置変換データを用
いて撮像光学系からの２次元画像データを３次元位置デ
ータに変換するデータ処理装置を備えたものが知られて
いる。
て、被測定物にスリット光を照射するレーザー光源と、
被測定物に映し出された光切断線を撮像して２次元画像
データを出力する撮像光学系、及び位置変換データを用
いて撮像光学系からの２次元画像データを３次元位置デ
ータに変換するデータ処理装置を備えたものが知られて
いる。
【０００３】しかし、図５に示すように、被測定物５０
の形状により死角が生じることがあり、被測定物５０の
表面に形成される光切断線の一部が死角に入ると、これ
を撮像光学系５１によって撮像することができず、形状
の測定ができなくなる。そこでこのような死角を回避す
るため、例えば、特開平５ー３２２５２６号公報に記載
されているような３次元形状測定装置が提案されてい
る。
の形状により死角が生じることがあり、被測定物５０の
表面に形成される光切断線の一部が死角に入ると、これ
を撮像光学系５１によって撮像することができず、形状
の測定ができなくなる。そこでこのような死角を回避す
るため、例えば、特開平５ー３２２５２６号公報に記載
されているような３次元形状測定装置が提案されてい
る。
【０００４】図６は上記従来の３次元形状測定装置の構
成図である。図６において、移動テーブル６１に載置さ
れた被測定物６２に、スリット光源６３よりスリット光
を照射する。照射されたスリット光は被測定物６２の表
面からの反射光のなかで平面鏡６４、６５に反射した光
は、多面鏡６６の鏡面６６ａ、６６ｂに入射され、被測
定物６２表面の光切断線（Ｌ２１〜Ｌ２５）が鏡面６６
ａ、６６ｂに映し出される。鏡面６６ａ、６６ｂにそれ
ぞれ映っている光切断線の像を撮像光学系６７により同
時に撮像し、データ処理装置６８にて撮像光学系６７か
らの複数の２次元画像データをそれぞれに対応する位置
変換データを用いて３次元位置データに変換して、光切
断線全体の３次元データを得ることができる。
成図である。図６において、移動テーブル６１に載置さ
れた被測定物６２に、スリット光源６３よりスリット光
を照射する。照射されたスリット光は被測定物６２の表
面からの反射光のなかで平面鏡６４、６５に反射した光
は、多面鏡６６の鏡面６６ａ、６６ｂに入射され、被測
定物６２表面の光切断線（Ｌ２１〜Ｌ２５）が鏡面６６
ａ、６６ｂに映し出される。鏡面６６ａ、６６ｂにそれ
ぞれ映っている光切断線の像を撮像光学系６７により同
時に撮像し、データ処理装置６８にて撮像光学系６７か
らの複数の２次元画像データをそれぞれに対応する位置
変換データを用いて３次元位置データに変換して、光切
断線全体の３次元データを得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の３次元形状測定装置では、左右からとらえた光切断
線の像を１つの撮像光学系で撮像するが、この２次元画
像データは、左右からの像を上下または左右逆の位置関
係にて合成したものになる。したがって、データ処理装
置で左右からの像を個別に分け、個々の撮像にあった位
置変換データを用いて３次元データに変換し、更に再度
個々の３次元データを再度合成する必要があり、複雑な
データ処理をしなければならないという問題があった。
来の３次元形状測定装置では、左右からとらえた光切断
線の像を１つの撮像光学系で撮像するが、この２次元画
像データは、左右からの像を上下または左右逆の位置関
係にて合成したものになる。したがって、データ処理装
置で左右からの像を個別に分け、個々の撮像にあった位
置変換データを用いて３次元データに変換し、更に再度
個々の３次元データを再度合成する必要があり、複雑な
データ処理をしなければならないという問題があった。
【０００６】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、左右２方向からの光拡散反射光を１つの
撮像光学系にて撮像し、撮像した２次元画像データは１
方向からの画像データとして１つの位置変換データを用
いて３角測量の原理に基づき３次元データに変換して３
次元形状データを得ることのできる優れた３次元形状測
定装置を提供することを目的とするものである。
るものであり、左右２方向からの光拡散反射光を１つの
撮像光学系にて撮像し、撮像した２次元画像データは１
方向からの画像データとして１つの位置変換データを用
いて３角測量の原理に基づき３次元データに変換して３
次元形状データを得ることのできる優れた３次元形状測
定装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、被測定物を移送するテーブルと、上記被測
定物に光を照射する光源と、この光源に対して左右対象
の位置に配置され上記被測定物の表面からの拡散反射光
が入射する一対のミラーと、これら一対のミラーの何れ
か一方のミラーからの反射光を透過させ他方のミラーか
らの反射光を反射させるハーフミラーと、上記一対のミ
ラーからの反射光を合成光として同時にとらえ２次元画
像データを出力する撮像光学系と、この撮像光学系から
の２次元画像データに対応する位置変換データを用いて
３次元形状データに変換するデータ処理装置とを備えた
ものである。
するために、被測定物を移送するテーブルと、上記被測
定物に光を照射する光源と、この光源に対して左右対象
の位置に配置され上記被測定物の表面からの拡散反射光
が入射する一対のミラーと、これら一対のミラーの何れ
か一方のミラーからの反射光を透過させ他方のミラーか
らの反射光を反射させるハーフミラーと、上記一対のミ
ラーからの反射光を合成光として同時にとらえ２次元画
像データを出力する撮像光学系と、この撮像光学系から
の２次元画像データに対応する位置変換データを用いて
３次元形状データに変換するデータ処理装置とを備えた
ものである。
【０００８】
【作用】したがって、本発明によれば、被測定物から撮
像光学系までの光路に、左右対に配置され、被測定物の
表面からの光切断線の拡散反射光をとらえ、ハーフミラ
ーに向けて反射させるミラーと、そのミラーからの反射
光のうち、一方からのミラーの反射光を透過し、他方か
らのミラーの反射光を反射するハーフミラーを設けるこ
とにより、左右２方向からの反射光を上下または左右逆
の位置関係になることのない合成光として同時にとら
え、１つの撮像光学系で撮像できる。したがって、被測
定物の表面に形成される死角のない光切断線全体の２次
元画像データを得ることができ、撮像光学系からの２次
元画像データに対応する１つの位置変換データを用いて
３角測量の原理に基づき３次元形状データを求めること
ができる。
像光学系までの光路に、左右対に配置され、被測定物の
表面からの光切断線の拡散反射光をとらえ、ハーフミラ
ーに向けて反射させるミラーと、そのミラーからの反射
光のうち、一方からのミラーの反射光を透過し、他方か
らのミラーの反射光を反射するハーフミラーを設けるこ
とにより、左右２方向からの反射光を上下または左右逆
の位置関係になることのない合成光として同時にとら
え、１つの撮像光学系で撮像できる。したがって、被測
定物の表面に形成される死角のない光切断線全体の２次
元画像データを得ることができ、撮像光学系からの２次
元画像データに対応する１つの位置変換データを用いて
３角測量の原理に基づき３次元形状データを求めること
ができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１０】（実施例１）図１は第１実施例における３
次元形状測定装置の構成を示すものである。図１におい
て、１は被測定物８にスリット光を照射するレーザ光源
である。被測定物８は移動テーブル１０に載置されてお
り、移動テーブル１０はＸ方向または回転方向（θ回
転）へ移動可能に不図示の装置筐体に支持されている。
２、３はそれぞれレーザ光源１に対して左右対に配置さ
れたミラーであり、これらのミラー２、３は、被測定物
８の表面からの光切断線（Ｌ１〜Ｌ５）の拡散反射光を
とらえてハーフミラー４に向けて反射させている。ハー
フミラー４はミラー２からの反射光を透過しミラー３か
らの反射光を反射しこの透過光と反射光が同一光軸上に
なるように配置されている。５はハーフミラー４からの
合成光をとらえ、２次元画像データを出力する撮像光学
系である。６は撮像光学系５からの２次元画像データに
対応する位置変換データを用いて３次元位置データに変
換するデータ処理装置である。７は２次元画像データを
表示するための表示装置である。９は角度調整機構であ
り、この角度調整機構９はミラー２の反射光の角度を調
整してミラー３からの反射光と光軸を合わせるものであ
る。
次元形状測定装置の構成を示すものである。図１におい
て、１は被測定物８にスリット光を照射するレーザ光源
である。被測定物８は移動テーブル１０に載置されてお
り、移動テーブル１０はＸ方向または回転方向（θ回
転）へ移動可能に不図示の装置筐体に支持されている。
２、３はそれぞれレーザ光源１に対して左右対に配置さ
れたミラーであり、これらのミラー２、３は、被測定物
８の表面からの光切断線（Ｌ１〜Ｌ５）の拡散反射光を
とらえてハーフミラー４に向けて反射させている。ハー
フミラー４はミラー２からの反射光を透過しミラー３か
らの反射光を反射しこの透過光と反射光が同一光軸上に
なるように配置されている。５はハーフミラー４からの
合成光をとらえ、２次元画像データを出力する撮像光学
系である。６は撮像光学系５からの２次元画像データに
対応する位置変換データを用いて３次元位置データに変
換するデータ処理装置である。７は２次元画像データを
表示するための表示装置である。９は角度調整機構であ
り、この角度調整機構９はミラー２の反射光の角度を調
整してミラー３からの反射光と光軸を合わせるものであ
る。
【００１１】次に、上記実施例の動作について説明す
る。レーザ光源１より被測定物８にスリット光を照射す
る。被測定物８の表面に照射された光は全方向に拡散反
射され、その拡散反射光の一部がミラー２及びミラー３
に導かれる。ミラー２に反射した光はハーフミラー４を
透過して撮像光学系５により撮像される。また一方のミ
ラー３に入射した拡散反射光の一部はミラー３により反
射され、ハーフミラー４により反射されて撮像光学系５
により撮像される。このように、撮像光学系５はミラー
２及びミラー３からの像を同時に撮像し、２次元画像デ
ータをデータ処理装置６に出力する。
る。レーザ光源１より被測定物８にスリット光を照射す
る。被測定物８の表面に照射された光は全方向に拡散反
射され、その拡散反射光の一部がミラー２及びミラー３
に導かれる。ミラー２に反射した光はハーフミラー４を
透過して撮像光学系５により撮像される。また一方のミ
ラー３に入射した拡散反射光の一部はミラー３により反
射され、ハーフミラー４により反射されて撮像光学系５
により撮像される。このように、撮像光学系５はミラー
２及びミラー３からの像を同時に撮像し、２次元画像デ
ータをデータ処理装置６に出力する。
【００１２】このとき、ミラー２、３及びハーフミラー
４と撮像光学系５の位置関係は、ハーフミラー４で合成
時、ミラー２からの像とミラー３からの像の高さ基準位
置であるゼロラインが重なり合い、更にゼロラインに対
する高さ変動量が同一になるように、例えばｈ１ｂとｈ
１ｃの長さが同一になるように調整されているものであ
る。図２は、表示装置７に表示された画像データを示し
ているものであり、図２（ａ）は、ミラー２からの画像
（図２（ｂ））とミラー３からの画像（図２（ｃ））を
合成したものである。
４と撮像光学系５の位置関係は、ハーフミラー４で合成
時、ミラー２からの像とミラー３からの像の高さ基準位
置であるゼロラインが重なり合い、更にゼロラインに対
する高さ変動量が同一になるように、例えばｈ１ｂとｈ
１ｃの長さが同一になるように調整されているものであ
る。図２は、表示装置７に表示された画像データを示し
ているものであり、図２（ａ）は、ミラー２からの画像
（図２（ｂ））とミラー３からの画像（図２（ｃ））を
合成したものである。
【００１３】データ処理装置６は、撮像光学系５からの
２次元画像データを２値化等のデータ処理を用いて、被
測定物８の表面の光切断線（Ｌ１〜Ｌ５）の像を抽出
し、位置変換データを用いて、３次元位置データに変換
する。このときの位置変換データは測定に先立ち、キャ
リブレーションによって得られ、データ処理装置６のメ
モリに記憶されている。更に、被測定物８を移動テーブ
ル１０を用いて、レーザ照射位置を移動、回転させなが
ら、このような操作を繰り返すことにより、立体形状を
なす被測定物８の形状を測定することができる。
２次元画像データを２値化等のデータ処理を用いて、被
測定物８の表面の光切断線（Ｌ１〜Ｌ５）の像を抽出
し、位置変換データを用いて、３次元位置データに変換
する。このときの位置変換データは測定に先立ち、キャ
リブレーションによって得られ、データ処理装置６のメ
モリに記憶されている。更に、被測定物８を移動テーブ
ル１０を用いて、レーザ照射位置を移動、回転させなが
ら、このような操作を繰り返すことにより、立体形状を
なす被測定物８の形状を測定することができる。
【００１４】このように、上記実施例によれば、左右対
に配置したミラー２、３からの反射光をハーフミラー４
を介することにより、被測定物８の表面の光切断線Ｌ１
〜Ｌ５に相当するミラー２からの像Ｌ１ｂ、Ｌ３ｂ、Ｌ
４ｂ、Ｌ５ｂとミラー３からの像Ｌ１ｃ、Ｌ２ｃ、Ｌ３
ｃ、Ｌ５ｃを合成光として、例えばＬ１ｂとＬ１ｃは重
なり合い１本のラインＬ１′としてとらえることがで
き、１つの撮像光学系５により、ＣＲＴ７上に示すＬ
１′〜Ｌ５′を得ることができ、左右のそれぞれの死角
（ミラー２ではＬ２、ミラー３ではＬ４が死角になる）
になる部分をを回避して、３次元画像を得ることができ
るという利点を有する。
に配置したミラー２、３からの反射光をハーフミラー４
を介することにより、被測定物８の表面の光切断線Ｌ１
〜Ｌ５に相当するミラー２からの像Ｌ１ｂ、Ｌ３ｂ、Ｌ
４ｂ、Ｌ５ｂとミラー３からの像Ｌ１ｃ、Ｌ２ｃ、Ｌ３
ｃ、Ｌ５ｃを合成光として、例えばＬ１ｂとＬ１ｃは重
なり合い１本のラインＬ１′としてとらえることがで
き、１つの撮像光学系５により、ＣＲＴ７上に示すＬ
１′〜Ｌ５′を得ることができ、左右のそれぞれの死角
（ミラー２ではＬ２、ミラー３ではＬ４が死角になる）
になる部分をを回避して、３次元画像を得ることができ
るという利点を有する。
【００１５】また、ミラー２の角度調整機構系９を用い
ることにより、左右からの拡散反射光の光軸位置を確実
に位置合わできるようにしている。
ることにより、左右からの拡散反射光の光軸位置を確実
に位置合わできるようにしている。
【００１６】さらに、上記実施例によれば、撮像光学系
５からの２次元画像データを１つの位置変換データで３
次元位置データに変換できるため、ソフトウェアによる
データ処理が簡単になるという効果を有する。
５からの２次元画像データを１つの位置変換データで３
次元位置データに変換できるため、ソフトウェアによる
データ処理が簡単になるという効果を有する。
【００１７】（実施例２）図３は第２の実施例における
３次元形状測定装置の構成を示すものである。図３にお
いて、上記実施の形態１の同一の構成については、同一
符号を記して説明を省略する。１１は被測定物８にスポ
ット光を照射するレーザ光源である。１２は被測定物８
を載置する移動テーブルであり、この移動テーブル１２
はＹ方向とＸ方向または回転方向への移動する。
３次元形状測定装置の構成を示すものである。図３にお
いて、上記実施の形態１の同一の構成については、同一
符号を記して説明を省略する。１１は被測定物８にスポ
ット光を照射するレーザ光源である。１２は被測定物８
を載置する移動テーブルであり、この移動テーブル１２
はＹ方向とＸ方向または回転方向への移動する。
【００１８】次に、上記実施例の動作について説明す
る。レーザ光源１１より被測定物８にスポット光を照射
する。被測定物８に照射された光は、被測定物８の表面
で全方向に対して拡散反射する。この拡散反射したスポ
ット光の一部がミラー２及びミラー３に導かれる。ミラ
ー２に反射した光はハーフミラー４を透過して撮像光学
系５により撮像される。また一方のミラー３に入射した
拡散反射光の一部はミラー３により反射され、ハーフミ
ラー４により反射されて撮像光学系５により撮像され
る。データ処理装置６では、撮像光学系５からの２次元
画像データを２値化等のデータ処理を用いて、被測定物
８の表面のスポット光の像を抽出し、位置変換データを
用いて、３次元位置データに変換する。
る。レーザ光源１１より被測定物８にスポット光を照射
する。被測定物８に照射された光は、被測定物８の表面
で全方向に対して拡散反射する。この拡散反射したスポ
ット光の一部がミラー２及びミラー３に導かれる。ミラ
ー２に反射した光はハーフミラー４を透過して撮像光学
系５により撮像される。また一方のミラー３に入射した
拡散反射光の一部はミラー３により反射され、ハーフミ
ラー４により反射されて撮像光学系５により撮像され
る。データ処理装置６では、撮像光学系５からの２次元
画像データを２値化等のデータ処理を用いて、被測定物
８の表面のスポット光の像を抽出し、位置変換データを
用いて、３次元位置データに変換する。
【００１９】更に、被測定物８を移動テーブル１２を用
いて、Ｙ方向及びＸ方向に移動しレーザ照射位置を全体
へ移動させながら、上記操作を繰り返すことにより、立
体形状をなす被測定物８の形状を測定することができ
る。
いて、Ｙ方向及びＸ方向に移動しレーザ照射位置を全体
へ移動させながら、上記操作を繰り返すことにより、立
体形状をなす被測定物８の形状を測定することができ
る。
【００２０】このように、上記実施例によれば、左右対
に配置したミラー２、３からの反射光をハーフミラー４
を介することにより、被測定物８の表面のスポット光を
ミラー２からの像とミラー３からの像を合成光として重
なり合った１ポイントでとらえることができ、１つの撮
像光学系５により、左右のそれぞれの死角（ミラー２で
はＬ２、ミラー３ではＬ４が死角になる）の部分を回避
して３次元画像を得ることができるという利点を有す
る。
に配置したミラー２、３からの反射光をハーフミラー４
を介することにより、被測定物８の表面のスポット光を
ミラー２からの像とミラー３からの像を合成光として重
なり合った１ポイントでとらえることができ、１つの撮
像光学系５により、左右のそれぞれの死角（ミラー２で
はＬ２、ミラー３ではＬ４が死角になる）の部分を回避
して３次元画像を得ることができるという利点を有す
る。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、上記実施例より明らかなよう
に、左右からとらえた拡散反射光を上下または左右逆の
位置関係になることのない１つの合成光としてとらえた
ものであり、この合成光が左右それぞれの死角を相互に
補足するものになるため、一組の撮像光学系で死角のな
い拡散反射光を得ることができるため、立体形状をなす
３次元形状の測定ができるという効果を有する。
に、左右からとらえた拡散反射光を上下または左右逆の
位置関係になることのない１つの合成光としてとらえた
ものであり、この合成光が左右それぞれの死角を相互に
補足するものになるため、一組の撮像光学系で死角のな
い拡散反射光を得ることができるため、立体形状をなす
３次元形状の測定ができるという効果を有する。
【００２２】さらに、本発明によれば、撮像光学系から
の２次元画像データを１つの位置変換データで３次元位
置データに変換できるため、ソフトウェアによるデータ
処理が簡単になるという効果を有する。
の２次元画像データを１つの位置変換データで３次元位
置データに変換できるため、ソフトウェアによるデータ
処理が簡単になるという効果を有する。
【図１】本発明の第１の実施例における３次元形状測定
装置の構成図
装置の構成図
【図２】同実施例における３次元形状の表示状態を示す
表示図
表示図
【図３】本発明の第２の実施例における３次元形状測定
装置の構成図
装置の構成図
【図４】同実施例における３次元形状の表示状態を示す
表示図
表示図
【図５】従来の３次元形状測定装置の構成図
【図６】他の従来の３次元形状測定装置の構成図
１ レーザ光源 ２ ミラー ３ ミラー ４ ハーフミラー ５ 撮像光学系 ６ データ処理装置 ７ 表示装置 ８ 被測定物 ９ 角度調整機構 １０ 移動テーブル １１ 撮像光学系 １２ 移動テーブル
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定物を移送するテーブルと、上記被
測定物に光を照射する光源と、この光源に対して左右対
象の位置に配置され上記被測定物の表面からの拡散反射
光が入射する一対のミラーと、これら一対のミラーの何
れか一方のミラーからの反射光を透過させ他方のミラー
からの反射光を反射させるハーフミラーと、上記一対の
ミラーからの反射光を合成光として同時にとらえ２次元
画像データを出力する撮像光学系と、この撮像光学系か
らの２次元画像データに対応する位置変換データを用い
て３次元形状データに変換するデータ処理装置とを備え
た３次元形状測定装置。 - 【請求項２】 光源が被測定物にスリット光を照射する
レーザ光源である請求項１記載の３次元形状測定装置。 - 【請求項３】 光源が被測定物にスポット光を照射する
レーザ光源である請求項１記載の３次元形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7250670A JPH0989534A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | ３次元形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7250670A JPH0989534A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | ３次元形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989534A true JPH0989534A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17211308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7250670A Pending JPH0989534A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | ３次元形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0989534A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014016358A (ja) * | 2009-01-13 | 2014-01-30 | Semiconductor Technologies & Instruments Pte Ltd | ウェーハを検査するためのシステム及び方法 |
| JP2014035241A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | ３次元形状計測装置 |
| JP2015132577A (ja) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 池上通信機株式会社 | 画像ピックアップ構造、該構造を適用した画像ピックアップヘッドおよび３次元形状計測装置 |
| JP2015135265A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | Nok株式会社 | 表面形状検査装置 |
-
1995
- 1995-09-28 JP JP7250670A patent/JPH0989534A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014016358A (ja) * | 2009-01-13 | 2014-01-30 | Semiconductor Technologies & Instruments Pte Ltd | ウェーハを検査するためのシステム及び方法 |
| JP2016183978A (ja) * | 2009-01-13 | 2016-10-20 | セミコンダクター テクノロジーズ アンド インストゥルメンツ ピーティーイー リミテッド | ウェーハを検査するためのシステム及び方法 |
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| JP2015132577A (ja) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 池上通信機株式会社 | 画像ピックアップ構造、該構造を適用した画像ピックアップヘッドおよび３次元形状計測装置 |
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