JPH0990117A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐熱性、耐薬品性、寸法精度等が良好なカラ
ーフィルタを得るための、工程が簡易かつ低コストで歩
留りの良いカラーフィルタの製造方法を提供する。 【解決手段】 本発明においては、ドライフィルム４の
主面に形成された着色塗膜２の不要部分を、凹部７が所
定のパターンで形成された凹版面６に転写して除去した
後、ドライフィルム４に残った所定パターンの着色塗膜
２を、ガラス基板８上に転写して着色パターンを形成す
る。そして、このような転写工程を各色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）
について繰り返すことで、カラーフィルタを製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
（表示装置）のようなフラットパネルディスプレイに用
いられるカラーフィルタの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年フラットパネルディスプレイは、高
画質、薄形、軽量などから、携帯型パソコン、自動車ナ
ビゲーションシステム、テレビ、ゲーム機などの分野で
急激に用途が広がりつつある。フラットパネルディスプ
レイの中でも特に液晶ディスプレイは、軽量、低価格等
の理由で、ＯＡ機器の表示装置を中心にその使用領域が
拡大している。

【０００３】ところで、自発的な発色のない液晶ディス
プレイのカラー化においては、カラーフィルタが使用さ
れており、バックライトからの白色光がカラーフィルタ
を透過することで色彩が表現されている。

【０００４】一般にカラーフィルタは、ガラス基板上に
ブラックマトリックスと呼ばれる遮光層と着色層とをそ
れぞれ設け、その上に透明なオーバーコート層（保護
膜）と透明電極とを順に形成して構成されており、着色
層においては、Ｒ（ Red）、Ｇ（ Green）、Ｂ（Blue）
の各色素が、液晶ディスプレイパネル上の各画素電極ご
とに１対１に対応し、モザイク配列、ストライプ配列、
トライアングル配列等のパターンに配列されている。そ
して、このようなカラーフィルタの着色層を形成するに
は、従来から染色法、顔料分散法、印刷法、電着法等種
々の方法が用いられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながらこれらの
方法においては、以下に詳述するように、それぞれに一
長一短があって未だ改善すべき点が少なくなく、全般的
に工程の煩雑さに起因する歩留りの悪さやコストの高さ
等の問題点を有している。

【０００６】染色法は、量産レベルの実用的技術として
従来から最も一般的に行なわれてきた方法であり、ゼラ
チン、フィシュグルー等の天然たんぱく質や、ポリアク
リルアミド、ポリビニルアルコール、ポリイミド等の合
成樹脂のような可染性の感光性物質を、ガラス基板上に
塗布して有機基材層を形成し、さらに露光、現像のフォ
トファブリケーションプロセスを経て透明パターンを形
成した後、この透明パターンを所定の染料溶液に浸漬し
て染色し、この工程をＲ、Ｇ、Ｂの３色について繰り返
して行なって着色層を形成する方法である。

【０００７】この方法では、透過率や分光特性が良く色
調の鮮やかなカラーフィルタを得ることができるが、染
色、防染処理など工程が複雑であるばかりでなく、着色
層が温度や湿度に対して退色しやすく、耐熱性、耐薬品
性、耐候性等の点で信頼性に乏しいという欠点がある。

【０００８】顔料分散法は、現在広く用いられているＴ
ＦＴ（薄膜トランジスタ）駆動方式の液晶ディスプレイ
用カラーフィルタの製造に、主として用いられている。
この方法は、退色しやすい染料に代わって安定性の良い
顔料粉体を使用し、これをポリイミド等の基質に分散さ
せた溶液をガラス基板上に塗布して色素層を形成し、次
いで露光、現像プロセスを経て着色パターンを形成する
処理を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色についてそれぞれ行なう方法
である。ここで、着色パターンの形成には、フォトレジ
ストを別途顔料層の上に塗布する方法と、顔料をフォト
レジストに分散させて色素層自体に感光性を持たせる方
法との２通りの方法が実用化されており、両者とも、染
色法に比較して工程が簡略で低コスト化が可能な方法と
して期待されている。またこの方法で得られるカラーフ
ィルタは、明るさや色合い等の分光特性の点では染色法
に劣るものの、使用する顔料が 250℃でも退色しないた
め、熱安定性が良好であり、かつ着色層の上に配設する
透明電極の低抵抗化が可能であるという利点を有してい
る。

【０００９】しかしこのような顔料分散法においては、
塗料（顔料分散塗料）の塗布方法としてスピンコート法
が用いられ、回転カップ、背面自動リンス機構など塗料
特性に合わせて改良が施された専用のスピンコータが使
用されているが、この方法では高価な塗料の90％以上が
無駄になるため、塗布方式の改良が望まれている。塗料
使用効率の改良された塗布方式として、近年、マイクロ
ロッドバー方式、毛細管現象を利用したノズル下面塗布
方式、オリフィスを応用したノズル上面塗布方式等のい
くつかの方式が提案されているが、いずれの塗布方式
も、膜厚分布を均一に制御することが難しいばかりでな
く、基板端面に膜厚が厚い部分が生じるなどの問題があ
る。また、塗布プロセスのタクトタイムが30秒以上と非
常に長くかかるうえに、ガラス基板に対するダメージが
大きく歩留りが悪いなどの問題がある。

【００１０】印刷法は、色素（顔料）を含有する印刷イ
ンキを用いた、最も量産性に優れ製造コストの低廉化が
可能な方法であり、スクリーン印刷、フレキソ印刷、オ
フセット印刷等いくつかの印刷方式が試みられている。
そして近年、３色同時塗布により工程の簡略化、歩留り
の向上等が図られており、耐熱性、耐候性に優れたカラ
ーフィルタが得られている。特に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色素
層を印刷方向に沿ってストライプ状に形成するストライ
プ配列のカラーフィルタでは、実用化の目途がついてい
る。

【００１１】しかしこの方法では、未硬化で流動性の高
いインキを使用するため、エッジにボケやにじみが生じ
るなど、エッジの切れに難点があるばかりでなく、印刷
されるパターンの寸法精度も低いため、画素の微細化や
表示画面の大型化に対応することが困難である。また、
印刷面の平滑性が低く、かつゴミ等の混入に起因してピ
ンホールや色むらのような欠陥が発生しやすいため、歩
留りが悪いという問題がある。

【００１２】電着法は、色素（主に顔料）を電解液中で
イオン化し、ガラス基板の表面に形成された電極パター
ンに電気的に吸着（電着）させる方法であり、電着用の
電極としては透明電極（ＩＴＯ）が使用されている。こ
の方法では、着色層の形成に、工程が煩雑なフォトリソ
グラフィプロセスを使用する必要がなく、かつ着色層の
位置や着色濃度を高精度に制御することができるという
利点を有している。また最近では、このような電着法に
関連して、電着法で形成した着色層をガラス側に転写す
る方法や、ブラックマトリックスを着色層の隙間に形成
する方法、あるいは電着用のＩＴＯ電極を全面に形成
し、その前面をレジストでマスクした後露光、現像によ
り必要部分のみを開口し、その開口部に塗料を電着する
方法、顔料の分散強度を上げ透過率を向上させる方法な
ど、新しい試みもなされている。

【００１３】しかし電着法においては、一般にブラック
マトリックスの形成が難しく、また電着用電極として形
成されたＩＴＯ電極上に着色層が形成され、その上にさ
らに液晶セルの電極用としてＩＴＯ電極が設けられるた
め、光透過率が低下するという問題がある。さらにドッ
トマトリックス状のカラーフィルタでは、ＩＴＯパター
ンの制約から下電極の抵抗値が高くなり、作製が困難で
あるなどの問題がある。 さらに、カラーフィルタの着
色層形成に係わる方法としては、これらの方法の他に、
プローブでインキを飛ばし基板上に被着させて着色層を
形成するインキジェット法、カラープリンタと同様に染
料を熱で昇華させて着色する方法、銀塩フィルムで一度
にＲ、Ｇ、Ｂパターンを形成する方法、電子写真方式で
顔料粉体を帯電塗装して色パターンを形成する方法、
Ｒ、Ｇ、Ｂ各色のドライフィルムレジストをガラス基板
に直接ラミネートし、露光プロセスによりパターニング
するドライフィルム法等が新規に開発され検討されてい
る。

【００１４】以上のように、液晶ディスプレイ用等のカ
ラーフィルタの着色層を形成する方法としては、さまざ
まな方法が提案されているが、いずれの方法も量産性、
製造コスト、タクトタイム、欠陥対策、歩留り等の点で
問題があり、市場の要求を完全に満足させる方法は未だ
開発されていないのが現状であった。

【００１５】本発明は、これらの事情に鑑みてなされた
もので、工程の煩雑さに起因する歩留りの悪さや製造コ
ストの高さなどを解消し、製造工程が簡易で低コスト化
が実現でき、しかも耐熱性、耐薬品性、寸法精度等に優
れたカラーフィルタを得ることができるカラーフィルタ
の製造方法を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
の製造方法は、透明基板上に、少なくとも３種類の異な
る色の着色層を所定の配置パターンで設けるカラーフィ
ルタの製造方法において、前記各色について、着色材が
分散された樹脂組成物からなる着色固化膜を主層として
有するドライフィルムから、所定のパターンを有する凹
版面に前記着色固化膜の不要部分を移行させて除去した
後、前記ドライフィルムに残留する所定のパターンの着
色固化膜を前記透明基板上に転写することを特徴とす
る。

【００１７】本発明においてドライフィルムとしては、
主層として、顔料のような着色材が分散された樹脂組成
物からなる固形または固化した着色膜（着色固化膜）を
有するフィルムが使用される。なお、着色固化膜とは、
常温では外力により容易に形状や体積が変化することが
ない固形あるいは固体状態の着色膜を意味し、乾燥の程
度により溶剤成分の一部が残留した実質的に流動しない
膜が含まれることは言うまでもない。そして、このよう
なドライフィルムは、ベースフィルムの上に顔料分散型
塗料を塗布し、乾燥あるいは硬化等の必要な処理を加え
て塗布層を固化した後、所望に応じてその上にカバーフ
ィルムを被着することによって得られる。 ここで、ド
ライフィルムの基材となるベースフィルムとしては、ポ
リエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリフェニレンサル
ファイド（ＰＰＳ）、ポリイミド（ＰＩ）等のプラスチ
ックからなるフィルム、金属箔、あるいは前記したプラ
スチックフィルムと金属箔とをラミネートした多層フィ
ルム等を使用することができる。本発明においては、特
に 3〜 200μm 厚のＰＥＴフィルムの使用が好ましい
が、ドライフィルムの基材として必要とされる要求に沿
うものであれば、材質、厚さともに限定されない。フィ
ルム幅は、使用される透明基板等のサイズに応じて決定
され、長さに関しては特に限定するものではない。

【００１８】またこのようなベースフィルムにおいて
は、主面に、着色固化膜との接着性を減じ剥離性を増大
する処理を施しておくことが望ましい。接着性を低減さ
せる処理としては、シリコーン系ポリマーや有機パラフ
ィンのような剥離性の良好な材料からなる層を形成する
方法や、カーボンその他の無機化合物を蒸着、スパッタ
リング等の物理的方法で成膜して、ベースフィルムの平
滑性を向上させ表面エネルギーを低減する方法などがあ
る。ベースフィルムの主面にこのような接着性低減処理
を施しておくことにより、ドライフィルムから凹版面へ
の着色固化膜の移行の効率を高めるとともに、ドライフ
ィルムに残った着色固化膜の透明基板への転写の効率も
高め、転写の際の不良を大幅に低減することができる。

【００１９】本発明において、このようなベースフィル
ム上に塗布される顔料分散型の塗料としては、通常カラ
ーフィルタの着色層形成用として開発・使用されている
ものであれば、特に限定されない。例えばＲ、Ｇ、Ｂ各
色の顔料を、酢酸ビニル系、アクリル系等の樹脂溶液中
に分散してなる塗料の使用が好適する。また本発明にお
いては、このような塗料のベースとなる樹脂として、ウ
レタン−アクリレート系やエポキシ−アクリレート系な
どの感光性樹脂（紫外線硬化型樹脂）を使用するととも
に、このような感光性樹脂を含む着色固化膜を透明基板
に転写する工程で、露光を行なって前記感光性樹脂を硬
化させるように構成することにより、着色固化膜の透明
基板との接着性をより向上させ、転写不良をなくすこと
ができる。 このような顔料分散型塗料の塗布方式とし
ては、リバースコート方式、グラビアコート方式、マイ
クログラビアコート方式、バーコート方式、ワイヤーバ
ーコート方式、ギャップコート方式、ナイフコート方
式、ノズルコート方式、カーテンコート方式、スプレー
コート方式、エアロコート方式など、各種の方式が例示
される。着色層として必要とされる厚みが確保される手
法であれば、どのような塗布方法を用いても良いが、特
に薄膜性や量産性に優れたマイクログラビアコート方式
やノズルコート方式が好適する。また、塗布層の厚さは
特に限定されないが、転写効率を考慮して、Ｒ、Ｇ、Ｂ
各色のうち１番目に転写する着色層の厚さ＜２番目に転
写する着色層の厚さ＜３番目に転写する着色層の厚さ
と、後から転写する着色層ほど厚さを増すようにするこ
とが望ましい。さらに、このような塗料の塗布層の上に
被着されるカバーフィルムとしては、ＰＥＴ、ＰＰＳ、
ＰＥ、ＰＰ、ＰＩのようなプラスチックフィルムを使用
することができる。特に 3〜50μm 厚のＰＥあるいはＰ
Ｐフィルムの使用が好ましいが、カバーフィルムとして
必要な要求に沿うものであれば、材質、厚さともに特に
限定されない。フィルム幅および長さは、それぞれ使用
されるベースフィルムのサイズに合わせて決定される。

【００２０】本発明において、このようなドライフィル
ムの着色固化膜の不要部分を、それ自体の版面に転写移
行させてドライフィルムの主層から除去する凹版として
は、各色の着色パターンに対応する配列パターンの凹部
を有するものであれば、全体の形状は特に限定されな
い。例えば柱状、平板状、曲面状、ロール状、シート状
等の支持体の表面に凹版面を設けたものが使用される。
凹版を構成する材料としては、金属、金属酸化物、セラ
ミックス等の無機材料や弾性に富む有機高分子材料等を
使用することができる。特に合成樹脂からなる凹版で
は、ドライフィルムから凹版への着色固化膜不要部分の
移行効率が著しく向上し、透明基板への転写の不良を大
幅に低減することができる。また、このような凹版面を
有する版全体を、ガラス、ポリエステル樹脂、アクリル
樹脂、ポリカーボネイト樹脂、エポキシ樹脂のような透
明な材料により構成することができ、その場合には、上
方から透明な版を透かして透明基板の転写面を視認する
ことができるので、２色目以降の着色パターン転写の際
の位置合わせが容易になるという利点がある。

【００２１】さらに、このような凹版面を、感光性レジ
ストを用いてフォトリソグラフィーのプロセスにより形
成することができる。このように凹版面を形成した場合
は、凹版面の配列パターンの寸法精度が向上し、より高
精度の着色パターンを形成することができる。ここで、
感光性樹脂としては、光や紫外線の照射により溶剤に溶
解しやすくなるポジ型のレジストと、光や紫外線の照射
により重合または硬化して溶剤に溶解しにくくなるネガ
型のレジストとがあり、ネガ型レジスト・ポジ型レジス
トともに使用可能であるが、ネガ型レジストである光重
合型ポリイミド樹脂の使用が望ましい。

【００２２】またさらに、本発明においてドライフィル
ムから前記した凹版面への着色固化膜不要部分の転写除
去は、版面またはドライフィルムを加熱して行なうこと
ができ、ドライフィルムから透明基板への着色固化膜パ
ターン部分の転写も、同様にドライフィルムを加熱して
行なうことができる。加熱温度は版面およびドライフィ
ルムのベースフィルムを構成する材料の耐熱性によって
異なるが、着色固化膜の表面の温度が50〜 200℃になる
ように加熱して行なうことが望ましい。このように版面
等を適当な温度に加熱することにより、着色固化膜を軟
化あるいは一部溶融させた状態で転写を行なうことがで
き、これにより、ドライフィルムから版面への着色固化
膜の転写除去効率、並びに残留する着色固化膜の透明基
板への転写効率をそれぞれ高め、転写不良の発生を低減
することができる。

【００２３】本発明において、このように凹版面により
不要部分が転写除去された所定パターンの着色固化膜
が、最終的に転写される透明基板としては、ガラス基板
または透明合成樹脂からなる基板を使用することができ
る。ガラス基板としては、液晶ディスプレイ用ガラス基
板として通常使用されている、コーニング社の7059タイ
プやNHテクノグラス社のNA45タイプのガラス基板を例示
することができる。

【００２４】また透明合成樹脂からなる基板としては、
ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、フッ素化アクリル樹
脂、ポリカーボネイト樹脂、エポキシ樹脂、ポリエーテ
ルエーテルケトン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、
ポリアリレート樹脂、4-メチル -ペンテン-1樹脂のよう
な、透明度が高く着色固化膜との接着性の良好な合成樹
脂から成形された板状体、または厚さがより薄くロール
状に巻装された状態での取扱いが可能なフィルム等を使
用することができる。このような透明合成樹脂からなる
板状体またはフィルムは通常単独で使用されるが、転写
される面が合成樹脂面となるように、ガラス基板等と貼
り合わせて使用することも可能である。このような透明
合成樹脂基板を使用した場合には、ガラス基板を使用し
た場合と比べて、軽量性の観点から利点が大きいうえ
に、着色固化膜の転写効率が高く歩留りが良好である。

【００２５】さらに、透明合成樹脂基板としては、アモ
レックス（藤森工業株式会社製の光等方性フィルムの商
品名）のような光学異方性が極めて小さい透明合成樹脂
フィルムの使用が望ましい。透明基板としてこのような
フィルムを用いた場合には、光透過率が極めて高く視認
性の大きいカラーフィルタを製造することができる。こ
のような透明基板（ガラス基板あるいは透明合成樹脂基
板）においては、着色固化膜の転写前に紫外線を照射す
ることにより、転写面の汚れを除去して清浄化するとと
もに、転写面を化学的に活性化し、着色固化膜あるいは
後述する接着層との密着性を向上させることもできる。
さらに、必要に応じてこのような紫外線照射処理を行な
った後、透明基板の転写面に接着層を形成し、その上に
着色固化膜を転写するように構成することにより、ドラ
イフィルムから透明基板への着色固化膜の転写をより安
定して完全に行なうことができる。ここで接着層を形成
する方法としては、ポリイソシアネート系、ポリオレフ
ィン系、ポリアミド系、ポリエステル系などの有機高分
子系の接着剤やゲル状シリカのような無機化合物系の接
合剤の層を設ける方法、あるいはコロナ放電処理のよう
なプラズマ接触処理により、透明基板の表面にフリーラ
ジカルを生成し接着性を向上させる方法などがある。

【００２６】本発明において、透明基板上へのブラック
マトリックスの設置は必須の要素ではないが、必要に応
じて設けることが可能である。形成方法としては、通常
のCrのスパッタ法や蒸着法などの物理的方法、感光性レ
ジストによる化学的方法、印刷による方法、ドライフィ
ルムを転写、露光、現像してパターンを得る方法、ある
いは本発明における着色層の形成と同様に、ドライフィ
ルムからマトリックスパターンを転写する方法など、さ
まざまな方法を用いることができることは言うまでもな
い。さらに、こうして得られたカラーフィルタにおいて
は、着色層の上に、必要に応じてオーバーコート層、Ｉ
ＴＯ膜等の透明電極、強化層、ガスバリア層、耐熱層、
ハードコート層等を設けることもできる。

【００２７】本発明のカラーフィルタの製造方法におい
ては、少なくとも３種類の異なる色のパターンが所定の
形状に配設された着色層の形成に際して、凹部が所定の
パターンで形成された凹版面に、ドライフィルムの着色
固化膜の不要部分が厚さ方向に破断することなく移行す
ることにより、ドライフィルムの主層から除去された
後、残った所定パターンの着色固化膜が透明基板上に転
写されるようになっているので、着色固化膜のパターン
部分が効率よく透明基板上に転写され、寸法精度が良好
でエッジの変形やパターン形状の歪み等がない着色パタ
ーンを形成することができる。

【００２８】さらに、現像や露光のフォトファブリケー
ションプロセス、洗浄プロセスをはじめとする液体処理
工程（湿式工程）が少ないうえに、熱処理を要する工程
も短縮されているので、生産性が高く低コスト化が実現
される。また、透明基板に与えるダメージが少なく、欠
陥の発生が抑えられるうえに、工程数が少なくタクトタ
イムを大幅に短縮することができる。またさらに、ドラ
イフィルムにおける着色固化膜の利用効率に関しては、
版のずらし量を制御することにより、90％以上の高い利
用効率を達成することができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。

【００３０】実施例 まず、Ｒ、Ｇ、Ｂ用のドライフィルムをそれぞれ作製し
た。すなわち、図１（ａ）に示すように、ベースフィル
ム（ 100μm 厚の PETフィルム）１上に、マイクログラ
ビアコータを用いて顔料分散型塗料を 1.8μm の厚さに
塗布し、乾燥硬化させることにより、Ｒの着色塗膜２を
形成した後、図１（ｂ）に示すように、この着色塗膜２
の上に、カバーフィルム（20μm 厚のPEフィルム）３を
被着してＲ用ドライフィルム４を得た。同様にして、Ｇ
用ドライフィルムとＢ用ドライフィルムをそれぞれ作製
した。

【００３１】次に、図２（ａ）に示すように、Ｒ用ドラ
イフィルム４の着色塗膜２の不要部分（パターン以外の
部分）を、角柱状の凹版５の主面（凹版面６）に転写
し、ドライフィルム４から除去した。すなわち、図３に
示すようなドット状のパターンが深さ 5μm の凹部７と
して形成された凹版面６を、Ｒ用ドライフィルム４の着
色塗膜２上に押し当てて、着色塗膜２の不要部分を凹版
面６の平面部に移行させ、ドット状の着色パターン２ａ
を残した。次いで、図２（ｂ）に示すように、予めスパ
ッタ法等によりCrのブラックマトリックスが形成された
ガラス基板（コーニング社の7059）８の主面に、ドライ
フィルム４を裏返してその主面を押し当て、主面に残っ
た着色パターン２ａをガラス基板８上に転写した。

【００３２】さらに、Ｇ、Ｂの各色についても、同様に
してガラス基板８上にドット状の着色パターンを形成し
た後、最後にベーク（ポストベーク）を行なって、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色がモザイク状に配列された着色層を完成し
た。

【００３３】こうして得られたカラーフィルタについ
て、ベースフィルム１における着色塗膜２の利用効率と
歩留りおよび着色パターンの寸法精度をそれぞれ調べた
ところ、いずれも極めて良好であった。

【００３４】そして、本実施例で得られたカラーフィル
タを用いてＴＦＴ駆動の液晶表示素子を製造した。すな
わち、このカラーフィルタの着色層上に、アクリル系樹
脂等のオーバーコート層をスピンコート法により設け、
さらに平坦化処理を施した後、ＩＴＯ膜をスパッタ法に
より形成し、さらに配向処理を施して液晶表示素子の前
面側基板とした。これをＴＦＴ駆動素子や画像電極等の
貼設されたＴＦＴ基板（図示省略。）と対向するように
配置し、これらの基板間に液晶組成物を挟持させて液晶
表示素子を得た。このような液晶表示素子にテストパタ
ーンを表示させたところ、白ピンホールや色むら、変色
などの表示画像の欠陥は見受けられず、良好な表示が実
現されることが確認された。

【００３５】次に、比較のために、以下の３つの方法で
それぞれＴＦＴ−ＬＣＤ用のドットマトリックスタイプ
のカラーフィルタを作製した。

【００３６】比較例１（顔料分散法） まずＲについて、ガラス基板上にバーコータを使用して
顔料レジスト（顔料分散型レジスト）を塗布し乾燥して
から、露光・現像・洗浄のフォトリソグラフィ工程を行
ない、その後ベーク（ポストベーク）をしてＲ色のドッ
トパターンを形成した。次いで、Ｇ、Ｂの各色について
も同様にしてドットパターンを形成し、カラーフィルタ
を作製した。こうして得られたカラーフィルタについ
て、顔料分散型レジストの利用効率、歩留りおよび着色
パターンの寸法精度をそれぞれ調べたところ、いずれも
良好ではあるが、本実施例で得られたカラーフィルタよ
り劣ることがわかった。

【００３７】比較例２（オフセット印刷法） まずＲについて、凹版に保持された顔料インキをブラン
ケット胴の表面ゴム層に転移させ、次いでブランケット
胴からガラス基板上に転写した後、ベークしてドットパ
ターンを形成した。次いで、Ｇ、Ｂの各色についても同
様にしてドットパターンを形成し、カラーフィルタを作
製した。こうして得られたカラーフィルタについて、顔
料インキの利用効率、歩留り、着色パターンの寸法精度
をそれぞれ調べたところ、インキの利用効率は本実施例
で得られたカラーフィルタと同等に極めて良好である
が、得られた着色パターンの寸法精度が劣り、歩留りも
低かった。

【００３８】比較例３（ドライフィルムを用いた露光・
現像法） まず、感光性の顔料レジストを用い、本実施例と同様に
してＲ、Ｇ、Ｂ用のドライフィルムをそれぞれ作製し
た。次いで、Ｒ用ドライフィルムの感光性レジストをガ
ラス基板上に転写し、露光・現像・洗浄のフォトリソグ
ラフィ工程を行なった後ベークして、Ｒ色のドットパタ
ーンを形成した。次いで、Ｇ、Ｂの各色についても同様
にしてドットパターンを形成し、カラーフィルタを作製
した。こうして得られたカラーフィルタについて、顔料
レジストの利用効率、歩留り、着色パターンの寸法精度
をそれぞれ調べたところ、いずれも良好ではあるが、本
実施例で得られたカラーフィルタより劣ることがわかっ
た。特に、歩留りは大幅に低かった。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のカラーフィルタの製造方法においては、ドライフィル
ムの着色固化膜の不要部分が、所定のパターンを有する
凹版面に転写されて除去され、着色固化膜の残りの部分
が透明基板上に転写されるように構成されているので、
所定パターンの着色固化膜が効率よく透明基板上に転写
され、寸法精度が良好でエッジの変形やパターン形状の
歪み等がない着色パターンが形成される。また、本発明
の製造方法は、現像や露光のフォトファブリケーション
プロセス、洗浄プロセス等をはじめとする液体処理工程
を要さず、工程数が少なく簡易化されている。

【００４０】したがって、本発明の方法によれば、工程
の煩雑さに起因する歩留りの悪さやコストの高さ等の問
題が解消され、耐熱性、耐薬品性等が良好で寸法精度に
優れたカラーフィルタを、歩留り良く製造することがで
きる。そして、こうして得られたカラーフィルタを使用
することにより、色彩特性、耐環境性に優れたカラーフ
ラットパネルディスプレイを提供することが可能とな
り、特にＴＦＴ方式、ＳＴＮ方式に代表される液晶ディ
スプレイ用カラーフィルタとして好適している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の実施例に
おいて、ドライフィルムを製造する工程を説明するため
の図。

【図２】同実施例において、着色塗膜をドライフィルム
からガラス基板に転写する工程を説明するための図。

【図３】同実施例において、凹版面に形成されたドット
状のパターンを模式的に示す図。

【符号の説明】

２……着色塗膜 ２ａ……着色パターン ４……ドライフィルム ６……凹版面 ７……凹部 ８……ガラス基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板上に、少なくとも３種類の異な
   る色の着色層を所定の配置パターンで設けるカラーフィ
   ルタの製造方法において、 前記各色について、着色材が分散された樹脂組成物から
   なる着色固化膜を主層として有するドライフィルムか
   ら、所定のパターンを有する凹版面に前記着色固化膜の
   不要部分を移行させて除去した後、前記ドライフィルム
   に残留する所定のパターンの着色固化膜を前記透明基板
   上に転写することを特徴とするカラーフィルタの製造方
   法。