JPH0994543A

JPH0994543A - 基板洗浄用ブラシの保管方法

Info

Publication number: JPH0994543A
Application number: JP7282555A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Nonomura; 正浩野々村; Akihiko Morita; 彰彦森田; Naoko Onodera; 直子小野寺; Fumitake Mieno; 文健三重野
Original assignee: Fujitsu Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1995-10-02
Filing date: 1995-10-02
Publication date: 1997-04-08
Also published as: US5881876A

Abstract

(57)【要約】【課題】ブラシ本体が親水性を有するスポンジ状の多
孔質素材からなる洗浄用ブラシを使用する場合に、ブラ
シ本体を直ちに使用可能な状態で保管して、ライン稼動
への立上げ時間の短縮化を図り、保管や輸送中における
ブラシ本体へのパーティクルの付着やブラシ本体からの
ダストの発生を防止し、ブラシ本体の変形を防止できる
方法を提供する。【解決手段】収納容器３８内に液体を収容し、その液
体中にブラシ本体１６を浸漬させ、基板洗浄用ブラシ１
０を保管する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハ、液晶
表示装置用或いはフォトマスク用のガラス基板、光ディ
スク用の基板等の各種基板を水平姿勢に保持して鉛直軸
回りに回転させながら基板上に洗浄液を供給して基板を
ブラシ洗浄する基板洗浄装置において使用される基板洗
浄用ブラシ、特に、ブラシ本体が親水性を有するスポン
ジ状の多孔質素材によって形成された基板洗浄用ブラシ
を保管する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】洗浄用ブラシによって基板を洗浄する基
板洗浄装置の構成及び動作の１例を簡単に説明すると、
基板、例えば半導体ウエハをスピンチャックの上面側に
真空吸着によって水平姿勢に保持し、スピンチャックに
保持された基板を鉛直軸回りに回転させながら、その基
板上に洗浄液を供給し、ブラシ保持アームのブラシ回転
軸を回転させ、その回転軸に固着されブラシ保持アーム
によって懸吊状態に保持された洗浄用ブラシを自転させ
ながら上方位置から下降させて、洗浄用ブラシの下端を
基板表面に接近させ、洗浄用ブラシ下端を基板表面に接
触させ或いは近接させた状態で、自転している洗浄用ブ
ラシを回転している基板の表面に沿って基板上を移動さ
せることにより、基板の洗浄を行なうようにする。この
ような基板洗浄装置においては、使用により劣化した洗
浄用ブラシを交換したり、基板の種類や洗浄の目的など
に応じて洗浄用ブラシの種類を変えたりしている。この
ため、洗浄用ブラシをブラシ保持アームのブラシ回転軸
に取り付け、また、洗浄用ブラシをブラシ回転軸から取
り外すことができるようにしている。

【０００３】洗浄用ブラシは、ブラシホルダとブラシ本
体とから構成され、ブラシ本体としては、下面側に多数
の毛を植設して形成されたものが一般に使用されている
が、最近では、例えばポリビニルアルコールを原料とし
て製造され親水性を有するスポンジ状の多孔質素材によ
って形成されたものが使用され始めている。このような
多孔質素材で形成されたブラシ本体をブラシホルダに取
着した洗浄用ブラシは、従来、乾燥状態で容器内に収納
され、保管及び輸送されていた。そして、半導体製造工
場等のユーザにおいて、洗浄用ブラシを使用する前に、
ブラシ本体に純水等の洗浄液を十分に含浸させて、ブラ
シ本体を一旦湿潤状態にしてから、ダミー基板を使用し
てブラシ洗浄を行ない、その後に、ライン稼動を行なう
ようにしていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、親水性を有
するスポンジ状の多孔質素材からなるブラシ本体は、乾
いた状態では全く弾力性が無く硬質物化しており、これ
に純水等を含浸させて使用可能な状態にまで軟らかくす
るためには、相当の時間がかかり、ライン稼動に入るま
でに３０分〜６時間といった多くの時間を費やしてい
た。

【０００５】また、従来、洗浄用ブラシの保管や輸送中
に多孔質素材からなるブラシ本体にパーティクルが付着
し、その洗浄用ブラシを用いて基板の洗浄を行なったと
きに、基板表面へのパーティクル付着の原因となる、と
いった問題点がある。また、洗浄用ブラシの保管や輸送
中に、硬質物化したブラシ本体から微細なダストが発生
することも考えられ、それがパーティクルとなって基板
洗浄の際に基板表面へ付着する、といった問題点があ
る。

【０００６】さらに、ブラシ本体の成形時には、素材が
湿潤状態にあり、それを一旦乾燥させた状態にして洗浄
用ブラシの保管や輸送が行なわれ、洗浄用ブラシの使用
に際してブラシ本体を再度湿潤させるようにしている。
しかしながら、このように、湿潤状態にあったブラシ本
体を一旦乾燥させて硬質物化し、その後にブラシ本体に
純水等を含浸させ、再びブラシ本体を湿潤状態にして柔
軟化させると、その過程でブラシ本体が変形する恐れが
ある、といった問題点もある。

【０００７】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、ブラシ本体が親水性を有するスポン
ジ状の多孔質素材によって形成された基板洗浄用ブラシ
を使用する場合に、保管後のブラシの使用に際してブラ
シ本体を直ちに使用可能な状態にすることができ、もっ
て、ライン稼動への立上げ時間の短縮化を図り、また、
ブラシの保管や輸送中におけるブラシ本体へのパーティ
クルの付着やブラシ本体からのダストの発生を防止し
て、基板の洗浄時における基板表面へのパーティクルの
付着を防止することができ、さらに、ブラシ本体の変形
を防止することができるブラシ保管方法を提供すること
を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
容器内に液体を収容し、その液体中にブラシ本体を浸漬
させて、基板洗浄用ブラシを保管することを特徴とす
る。

【０００９】請求項２に係る発明は、請求項１記載のブ
ラシ保管方法において、ポリビニルアルコールを原料と
して製造された多孔質素材によりブラシ本体が形成さ
れ、容器内に収容される液体を過酸化水素水又はイソプ
ロピルアルコールとすることを特徴とする。

【００１０】請求項３に係る発明は、請求項１又は請求
項２記載のブラシ保管方法において、基板洗浄用ブラシ
を１個収納する容器本体と、この容器本体を密閉する蓋
体とから容器が構成され、ブラシ本体の全体が常に液体
中に浸漬された状態となるように前記容器本体内を液体
で満たすことを特徴とする。

【００１１】

【作用】請求項１に係る発明の保管方法では、容器内に
収容された液体中にブラシ本体が浸漬した状態で基板洗
浄用ブラシが保管されるので、親水性を有するスポンジ
状の多孔質素材によって形成されたブラシ本体は、吸液
して柔軟化し弾力性を有する状態に保たれる。従って、
洗浄用ブラシの使用に際してブラシ本体は直ちに使用可
能であり、従来のように、洗浄用ブラシの使用前にブラ
シ本体に純水等を含浸させて柔軟化させる必要が無い。

【００１２】また、洗浄用ブラシのブラシ本体は、液体
中に浸漬して空気との接触が断たれた状態で保管される
ので、保管や輸送中にブラシ本体にパーティクルが付着
する心配が無い。また、ブラシ本体は、液体中に浸漬し
て柔軟化した状態で保管されるので、ブラシ本体からダ
ストが発生するようなことがない。

【００１３】さらに、ブラシ本体を成形したときの湿潤
状態に保ったまま洗浄用ブラシが保管され、保管後にそ
のままの状態でブラシ本体が使用されるので、ブラシ本
体は、使用されるまでの間、成形時の形状が保たれる。

【００１４】ポリビニルアルコールを原料として製造さ
れた多孔質素材で形成されたブラシ本体は、乾燥した状
態では非常に硬くなり、その状態のブラシ本体に純水等
を含浸させて柔軟化させるのには相当の時間を要するこ
ととなるが、請求項２に係る発明の方法のように、過酸
化水素水又はイソプロピルアルコール中にブラシ本体を
浸漬させて保管することにより、ブラシ本体は柔軟化し
た状態に保たれる。また、洗浄用ブラシの保管の際に、
過酸化水素水やイソプロピルアルコールは、ブラシ本体
と反応してそれを腐食させたり変質させたりすることが
なく、また、ブラシ本体から物質を溶出させたりするこ
とがない。さらに、過酸化水素水やイソプロピルアルコ
ールを容器内に収容することにより、容器内に微生物が
発生することも抑えられる。そして、過酸化水素水やイ
ソプロピルアルコールは純水に溶解するので、洗浄用ブ
ラシを容器から取り出してそのままの基板の純水洗浄に
使用しても、何ら問題が無い。

【００１５】請求項３に係る発明の保管方法では、基板
洗浄用ブラシが１個ずつ別々に容器に収納されるので、
洗浄用ブラシを容器から取り出して基板洗浄装置のブラ
シ保持アームのブラシ回転軸に取り付ける際に便利であ
る。また、容器本体が蓋体で密閉されるので、容器内に
収容された液体が保管や輸送中に漏れ出たり蒸発したり
する心配が無く、また、保管や輸送中に容器内へパーテ
ィクルが混入することもない。さらに、ブラシ本体の全
体が常に液体中に浸漬された状態となるように容器本体
内が液体で満たされるので、保管や輸送中に容器が傾い
たり逆さになったりしても、ブラシ本体が部分的に湿潤
状態でなくなる、といった恐れが無い。

【００１６】

【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。

【００１７】図１ないし図３は、この発明に係るブラシ
保管方法を実施する態様の１例を示し、図１は、基板洗
浄用ブラシを分解するとともにその洗浄用ブラシを収納
するための収納容器を分離した状態を示す斜視図、図２
は、収納容器に洗浄用ブラシを収納した状態を示す部分
縦断面図、図３は、洗浄用ブラシを基板洗浄装置のブラ
シ回転軸に取着した状態を示す部分縦断面図である。

【００１８】図に示した洗浄用ブラシ１０は、上部取着
部１２と下部保持部１４とからなるブラシホルダにブラ
シ本体１６を保持して構成されている。ブラシ本体１６
は、上半部が大径に形成され、下半部が大径部１８より
小径の小径部２０となっている。このブラシ本体１６
は、親水性を有するスポンジ状の多孔質素材、例えばポ
リビニルアルコールを原料とした多孔質素材によって形
成されている。多孔質素材は、例えば、ポリビニルアル
コールに酸を触媒としてホルムアルデヒドを結合させる
ホルマール化反応によりポリビニルホルマールを生成
し、その際、気孔生成剤を加えて気孔形成を行ない、不
溶性の多孔質基質が完成した後、気泡生成剤を抽出する
ことにより製造される。この素材により形成されたブラ
シ本体１６は、連続的な気孔が形成され、親水性を有
し、湿潤時には良好な柔軟性、弾力性を呈し、乾燥時に
は全く弾力性が無くなって硬質物化する。

【００１９】ブラシホルダの上部取着部１２の上面中央
部には、洗浄用ブラシ１０を基板洗浄装置のブラシ回転
軸に取着するための係止部２２が一体に突設されてお
り、係止部２２に雄ねじ２４が螺刻されている。また、
係止部２２の上端面には、その中央部に角穴２６が軸心
線方向に穿設されている。上部取着部１２の下半部は、
上半部に比べて若干細く形成されており、この下半部の
嵌合部２８に円筒状の下部保持部１４の上端部が嵌着さ
れる。図１中の符号３０は、上部取着部１２の嵌合部２
８の外周面に形設された係止小突起であり、符号３２
は、嵌合部２８に下部保持部１４の上端部を嵌着したと
きに係止小突起３０と係合する係止小凹部である。下部
保持部１４の外径寸法は、上部取着部１２の上半部の外
径と同じにし、また、下部保持部１４の内径寸法は、ブ
ラシ本体１６の大径部１８の外径より僅かに大きくされ
ている。また、下部保持部１４の下端近くの内周面に
は、支持環状部３４が一体に形設されている。支持環状
部３４の内径寸法は、ブラシ本体１６の小径部２０の外
径より僅かに大きくかつ大径部１８の外径より小さくさ
れている。また、下部保持部１４の下端には、互いに１
８０°の角度をなす位置関係で２個所に回り止め用切欠
き３６が形成されている。このブラシホルダは、例えば
ポリプロピレン等のプラスチック材によって形成され
る。

【００２０】ブラシホルダにブラシ本体１６を保持する
には、下部保持部１４の支持環状部３４の孔にブラシ本
体１６の小径部２０を挿入して、下部保持部１４内にブ
ラシ本体１６を収容した後、下部保持部１４の上端部に
上部取着部１２の嵌合部２８を嵌着させるようにすれば
よい。このとき、ブラシ本体１６は、下部保持部１４の
支持環状部３４によって支持されるとともに、上面が上
部取着部１２の下面に当接して、ブラシホルダに対する
上下方向の移動が規制され、また、下部保持部１４の内
周面によってブラシホルダに対する横方向の移動が規制
される。そして、ブラシ本体１６がブラシホルダに保持
されたときに、ブラシ本体１６の下端面が下部保持部１
４の下端より下方へ突き出た状態になる。

【００２１】収納容器３８は、容器本体４０と蓋体４２
とから構成されており、容器本体４０及び蓋体４２は、
例えばポリプロピレン等のプラスチック材によって形成
されている。容器本体４０は、その上面が開口し、内径
寸法が洗浄用ブラシ１０のブラシホルダの外径より僅か
に大きくされている。また、容器本体４０の内周面に
は、互いに１８０°の角度をなす位置関係で２個所に、
容器本体４０の内底面から容器本体４０の軸線方向に沿
って延びる回り止め用棒状突起４４がそれぞれ突設され
ており、また、両回り止め用棒状突起４４を含めて互い
に６０°ずつの角度をなす位置関係で４個所に、容器本
体４０の内底面から容器本体４０の軸線方向に沿って延
び回り止め用棒状突起４４より若干短い支持用棒状突起
４６がそれぞれ突設されている。そして、図２に示すよ
うに、洗浄用ブラシ１０を容器本体４０内へ、ブラシホ
ルダの下部保持部１４の回り止め用切欠き３６の位置と
容器本体４０の回り止め用棒状突起４４の位置とを合わ
せて嵌挿すると、４個の支持用棒状突起４６の上端に洗
浄用ブラシ１０のブラシホルダの下部保持部１４の下端
が当接し、４個の支持用棒状突起４６によって洗浄用ブ
ラシ１０が容器本体４０内において支持されるととも
に、各回り止め用棒状突起４４の上端部に各回り止め用
切欠き３６がそれぞれ嵌合して、洗浄用ブラシ１０が容
器本体４０内において軸心線回りに回動しないように固
定される。このとき、洗浄用ブラシ１０のブラシ本体１
６の下端面が容器本体４０の内底面に接触しないように
なっている。また、容器本体４０の上端部外周面には雄
ねじ４８が螺刻されている。

【００２２】蓋体４２の内周面には、図１には示されて
いないが、容器本体４０の上端部外周面に螺刻された雄
ねじ４８に螺合する雌ねじが螺刻されている。また、蓋
体４２の内側上面の中央部に、洗浄用ブラシ１０の係止
部２２が遊嵌する凹部５０が形成されている。そして、
蓋体４２の内側上面の、凹部５０の形成部分以外の面
が、洗浄用ブラシ１０のブラシホルダ上面と接触もしく
は近接して洗浄用ブラシ１０の移動を規制もしくは許容
範囲で制限する制動部をなすことになる。また、蓋体４
２の内側上面の周縁部には、蓋体４２の内周面の雌ねじ
に容器本体４０の上端部外周面の雄ねじ４８を螺入させ
て、蓋体４２を容器本体４０に螺合させたときに、容器
本体４０の上端側に密接して収納容器３８の内部を気密
に保持するガスケット５２が取着されている。

【００２３】洗浄用ブラシ１０は、収納容器３８の容器
本体４０内に図２に示すような状態で収納され、容器本
体４０内には、ブラシ本体１６を腐食させたり変質させ
たりすることがなくブラシ本体から物質を溶出させるこ
ともない液体、例えば過酸化水素水又はイソプロピルア
ルコールが注入され、その後に、蓋体４２によって容器
本体４０の上面開口が密閉される。過酸化水素水やイソ
プロピルアルコールは、収納容器３８内で微生物が発生
するのを抑制する効果もあり、また、純水に溶解するの
で、この点でも好ましい。収納容器３８内に注入する液
体の量は、保管や輸送中に収納容器３８が傾いたり逆さ
になったりしても、ブラシ本体１６の全体が常に液体中
に浸漬された状態となる程度としておく。容器本体４０
に蓋体４２を螺合させて収納容器３８を密閉した状態に
おいては、上記したように収納容器３８内での洗浄用ブ
ラシ１０の移動が規制されもしくは許容範囲で制限さ
れ、保管や輸送中に洗浄用ブラシ１０が収納容器３８内
で大きく揺動することはない。また、ブラシ本体１６の
下端面が容器本体４０の内底面に接触しないように保持
されるので、洗浄用ブラシ１０の保管や輸送中にブラシ
本体１６が変形するようなことがない。さらに、収納容
器３８が密閉された状態においては、保管や輸送中に収
納容器３８内から液体が漏れ出たり蒸発したりすること
がなく、また、保管や輸送中に収納容器３８内へパーテ
ィクルが混入する心配も無い。そして、洗浄用ブラシ１
０のブラシ本体１６は、常に全体が液体中に浸漬してい
るので、柔軟化し弾力性を有する状態に保たれる。従っ
て、洗浄用ブラシ１０は、収納容器３８から取り出して
直ちに基板の洗浄処理に使用することが可能である。

【００２４】次に、収納容器３８に収納された洗浄用ブ
ラシ１０を基板洗浄装置のブラシ回転軸に取着し、ま
た、ブラシ回転軸に取着された洗浄用ブラシ１０をブラ
シ回転軸から取り外して収納容器３８に収納する操作に
ついて、図３を参照しながら説明しておく。

【００２５】図３に示すように、洗浄用ブラシ１０が取
着されるブラシ回転軸５４は、その下端近くにフランジ
部５６が一体に形設されており、そのフランジ部５６よ
り下端側の部分５８が、洗浄用ブラシ１０の係止部２２
の上端面中央部に穿設された角穴２６と嵌合する角棒状
に形成されている。また、ブラシ回転軸５４のフランジ
部５６には、洗浄用ブラシ１０の係止部２２の雄ねじ２
４に螺合する雌ねじが螺刻されたナット６０が、ブラシ
回転軸５４の周りに回転可能に係合して保持されてい
る。そして、ブラシ回転軸５４に洗浄用ブラシ１０を取
着するには、まず、収納容器３８の蓋体４２を取り去っ
て容器本体４０の上面を開口させ、洗浄用ブラシ１０の
ブラシホルダの上面側を容器本体４０の上面開口から覗
かせた状態にする。次に、容器本体４０に洗浄用ブラシ
１０を収納したまま、容器本体４０を手で持って洗浄用
ブラシ１０を下方からブラシ回転軸５４に接近させ、係
止部２２の角穴２６をブラシ回転軸５４の下端部の角棒
状部分５８に嵌合させる。そして、容器本体４０を手で
支え持った状態で、係止部２２の雄ねじ２４にナット６
０を螺合させて締め付ける。この際、係止部２２の雄ね
じ２４にナット６０の雌ねじが螺合した状態で、手でナ
ット６０を回転させるように操作するが、ブラシホルダ
の下部保持部１４の回り止め用切欠き３６が容器本体４
０の内周面の回り止め用棒状突起４４の上端部に係合し
ているため、容器本体４０を手で把持しておくことによ
り、ナット６０を回転させても洗浄用ブラシ１０が共回
りすることはない。以上のようにして、図３に示すよう
に洗浄用ブラシ１０がブラシ回転軸５４に取着される
と、容器本体４０を下向きに引き上げて洗浄用ブラシ１
０から抜き出す。この間、洗浄用ブラシ１０には一切手
を触れずに、上記した一連の操作が行なわれる。

【００２６】一方、ブラシ回転軸５４から洗浄用ブラシ
１０を取り外すときは、ブラシ回転軸５４に取着された
洗浄用ブラシ１０に下方から容器本体４０を接近させ、
図３に示したように洗浄用ブラシ１０に容器本体４０を
外挿する。そして、容器本体４０を手で支え持った状態
でナット６０を回転させ、ナット６０を係止部２２から
離脱させる。この際、ブラシホルダの下部保持部１４の
回り止め用切欠き３６が容器本体４０の内周面の回り止
め用棒状突起４４の上端部に係合しているため、容器本
体４０を手で把持しておくことにより、ナット６０を回
転させても洗浄用ブラシ１０が共回りすることはない。
ナット６０が係止部２２から離脱すると、容器本体４０
を下向きに引き下げ、係止部２２の角穴２６をブラシ回
転軸５４の下端部の角棒状部分５８から抜き出して、ブ
ラシ回転軸５４から洗浄用ブラシ１０を取り外す。そし
て、容器本体４０内へ過酸化水素水又はイソプロピルア
ルコールを注入した後、容器本体４０に蓋体４２を螺合
させる。この取外し操作の間も、洗浄用ブラシ１０に一
切手を触れることがない。

【００２７】以上、図１ないし図３に示した実施例によ
り、この発明に係るブラシ保管方法を説明したが、この
発明の方法は、上記説明並びに図面の内容に限定される
ものでないことは勿論である。すなわち、洗浄用ブラシ
のブラシホルダの構成やブラシ本体の形状、素材など
は、上記実施例のものに限定されないし、また、上記実
施例では、収納容器に１個の基板洗浄用ブラシを収納す
るようにしているが、液体が入った容器に複数個の洗浄
用ブラシを同時に収納して保管するようにしても差し支
えない。

【００２８】

【発明の効果】請求項１に係る発明のブラシ保管方法に
よると、ブラシ本体が親水性を有するスポンジ状の多孔
質素材によって形成された基板洗浄用ブラシを、基板の
洗浄処理に使用するのに際して直ちに使用可能な状態で
保管することができ、このため、基板洗浄装置における
ライン稼動への立上げ時間の短縮化を図ることができ
る。また、洗浄用ブラシの保管や輸送中にブラシ本体に
パーティクルが付着したりブラシ本体からダストが発生
することがなくなるため、基板の洗浄時における基板表
面へのパーティクルの付着を防止して基板品質の低下を
防ぐことができる。さらに、ブラシ本体が湿潤状態と乾
燥状態とを交互に繰り返すことによる変形を防止するこ
とができるため、それを用いて基板の洗浄を行なったと
きの洗浄効果の低下を防ぐことができる。

【００２９】請求項２に係る発明の保管方法では、容器
内に収容された液体によってブラシ本体を腐食させたり
変質させたりすることがなく、ブラシ本体から物質を溶
出させたりすることもないので、洗浄用ブラシの保管の
期間中、ブラシ本体の品質を維持することができる。ま
た、容器内での微生物の発生も抑えることができ、さら
に、容器内に収容された液体は純水に溶解するため、洗
浄用ブラシを容器から取り出してそのまま純水での基板
洗浄に使用しても問題が無い。

【００３０】請求項３に係る発明の保管方法では、洗浄
用ブラシを容器から取り出して基板洗浄装置のブラシ保
持アームのブラシ回転軸に取り付けるのに便利であり、
また、洗浄用ブラシの保管や輸送中に、容器内に収容さ
れた液体が漏れ出たり蒸発したりすることがなく、容器
内へパーティクルが混入することも防止される。さら
に、保管や輸送中に容器が傾いたり逆さになったりする
ことがあっても、ブラシ本体は、その全体が常に液体中
に浸漬された状態となるため、請求項１に係る発明の上
記効果が確実に奏されることとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るブラシ保管方法を実施する態様
の１例を示し、基板洗浄用ブラシを分解するとともにそ
の収納容器を分離した状態を示す斜視図である。

【図２】図１に示した収納容器に図１に示した洗浄用ブ
ラシを収納した状態を示す部分縦断面図である。

【図３】図１に示した洗浄用ブラシを基板洗浄装置のブ
ラシ回転軸に取着した状態を示す部分縦断面図である。

【符号の説明】

１０洗浄用ブラシ１２ブラシホルダの上部取着部１４ブラシホルダの下部保持部１６ブラシ本体２２ブラシホルダの係止部３６回り止め用切欠き部３８収納容器４０容器本体４２蓋体４４回り止め用棒状突起４６支持用棒状突起５４基板洗浄装置のブラシ回転軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者森田彰彦京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者小野寺直子神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内 (72)発明者三重野文健神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ブラシ本体が親水性を有するスポンジ状
の多孔質素材によって形成された基板洗浄用ブラシを保
管する方法において、容器内に液体を収容し、その液体中に前記ブラシ本体を
浸漬させることを特徴とする基板洗浄用ブラシの保管方
法。
【請求項２】ブラシ本体を形成する多孔質素材が、ポ
リビニルアルコールを原料として製造されたものであ
り、容器内に収容される液体が、過酸化水素水又はイソプロ
ピルアルコールである請求項１記載の基板洗浄用ブラシ
の保管方法。
【請求項３】容器が、基板洗浄用ブラシを１個収納す
る容器本体と、この容器本体を密閉する蓋体とからな
り、前記容器本体内が、ブラシ本体の全体が常に液体中に浸
漬された状態となるように液体で満たされる請求項１又
は請求項２記載の基板洗浄用ブラシの保管方法。