JPH0136185Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、フオトマスクなどを製造するために
使用する感光性材料（以下、「レジスト」とい
う。）を、保存・滴下するために使用するレジス
ト液用容器（以下「容器」という。）に関するも
のである。

従来、この種の容器としては、第１図に示すも
のがあつた。すなわち、レジストを入れておくた
めの容器本体１、レジストを分注・滴下するため
の口１１及び外部のゴミなどが容器本体１に入る
のを防止するための蓋２からなつていた。この容
器によるレジストの分注・滴下は、まず容器本体
１の口１１から蓋２を取り外し、容器本体１を傾
けてフオトマスクブランク（図示せず。）上に口
１１よりレジストの所望量を分注・滴下した。そ
の後、容器本体１を垂直にし、口１１に蓋２を嵌
合してレジストを保存していた。

しかしながら、従来の容器は前記のように構成
されているので、容器の口に残留したレジストは
乾燥しやすく、その乾燥したレジストが、蓋を脱
着するたびに剥離し、容器本体中のレジストに混
入して、レジストの粘度の均一性を乱す欠点があ
つた。また、容器本体の口に残留したレジストに
外部のゴミが付着し、さらに蓋を容器本体に嵌合
すると、この蓋に付着しているゴミが口に付着し
て、再度レジストを分注・滴下するとき、口に付
着したゴミがフオトマスク上に付着する欠点があ
つた。

本考案は、前記のような欠点を除去するために
なされたもので、容器本体の口を含めて容器本体
の内側に付着しているレジストを乾燥させずに液
状に保持させる機能及び蓋としての機能を有する
レジスト乾燥防止用治具（以下、「乾燥防止治具」
という。）と、レジストを貯蔵する部分と分注・
滴下する口などよりなる容器本体とからなり、容
器本体の口などに残留するレジストの乾燥を防止
し、口の部分にゴミの付着を防止する容器を提供
することを目的としている。

以下、本考案の一実施例を詳細に説明する。

（実施例 １） 第２図及び第３図に基づき詳細に説明する。第
２図ａは本実施例の乾燥防止治具の斜視図、同図
ｂは乾燥防止治具の上面を除いたときの斜視図、
同図ｃは同図ａの平面図及び同図ｄは同図ａの正
面図であり、第３図ａ，ｂはそれぞれ本実施例の
容器本体の平面図、正面図、同図ｃ，ｄはそれぞ
れ前記乾燥防止治具を容器本体に挿入して形成し
た本実施例の容器の正面図、側面図である。

まず、コの字状をなす側面３１、側面３１に囲
まれてコの字状で凹部がＵ字状の底面３２、この
Ｕ字状の部分に底面３２から側面３１より高さが
低く、ほぼ垂直に設けて後記する容器本体の乾燥
防止治具取付け部を挿入するＵ字状内面３３、前
記Ｕ字状内面３３に囲まれている開口部３５、前
記側面３１の開口面３４の近傍に、側面３１の一
部とＵ字状内面３３の一部とに囲まれ、側面３１
の開口面３４側を封止している封止面３６とを設
けている袋体３７、側面３１とＵ字状内面３３及
び袋体３７の封止面３６より形成されるレジスト
乾燥防止液を貯蔵する貯蔵部３８、この貯蔵部３
８の上部は袋体３７の上面で一部覆われており、
さらに側面３１に囲まれた上面３９よりなる乾燥
防止治具３を用意する。この乾燥防止治具３は、
レジスト乾燥防止液によつて侵されない材質、例
えばガラスであればよい。次に、貯蔵部３８に、
例えば分注・滴下するレジストが、COP（Meed
Chemical社商品名）のときは、モノクロルベン
ゼンのレジスト乾燥防止液４を注入し、この液量
は乾燥防止治具３が、袋体３７の封止面３６を底
面にしてほぼ垂直にされても袋体３７中に収容で
きる程度の液量である。次に、円形状の口５１
と、六角柱の乾燥防止治具取付け部（以下、「取
付け部」という。）５２、乾燥防止治具３を保持
する斜面の肩５３及び円筒状のレジスト貯蔵部５
４よりなる容器本体５を用意する。円形状の口５
１の直径は、側面３１の開口面３４を形成する側
面から側面までの距離l₁よりも小さく、取付け部
５２の口５１方向への高さh₁は袋体３７の高さh₂
よりも高くて上面３９に接触しない高さであれば
よく、さらに、取付け部５２の六角形の最大長
m₁がＵ字状内面３３間の距離l2及び奥行ｎより
も小さければよい。また、レジスト貯蔵部５４の
直径がＵ字状内面３３間の距離l₂よりも大きけれ
ばよい。次に、乾燥防止治具３のＵ字状内面３３
間に容器本体５の取付部５２を、取付部５２の六
角形の一つの角部を開口面３４側に向けて挿入す
る。また、乾燥防止治具３は、容器本体５の肩５
３により保持され本考案の容器を形成する。

次に、本実施例のレジスト分注・滴下方法を下
記に示す。まず、乾燥防止治具３に容器本体５を
挿入した状態で、容器本体５を任意の角度に傾
け、フオトマスクブランク上にレジストを分注・
滴下する。フオトマスクブランク上に分注・滴下
されたレジストが適量に達した後、容器本体５を
直立させ、レジストの分注・滴下を停止する。こ
の分注・滴下の繰り返し動作において、乾燥防止
治具３の貯蔵部３８内をレジスト乾燥防止液４が
移動し、この移動によりレジスト乾燥防止液４の
揮発成分の蒸発速度が大きくなり、このレジスト
乾燥防止液４の揮発成分ガスが、容器本体５の口
５１及びレジスト貯蔵部５４の内部に充満する。
これにより、容器本体５の口５１を含めて容器本
体の内側に付着しているレジストの乾燥を防止
し、口５１の部分にゴミの付着を防止することが
できる。さらに、本実施例によれば容器本体５の
取付部５２の六角形の一つの角部を開口面３４側
に向けて、容器本体５を乾燥防止治具３に挿入す
るので、レジストを分注・滴下するとき、取付部
５２の角部に沿つてレジストが分注・滴下される
ので、円筒状の取付部５２よりもレジストの残液
が付着する表面積は小さく、この六角形の取付部
５２の方が、レジストの乾燥速度をより遅くする
ことができ、レジストの粘度はさらに安定する。

（実施例 ２） 第４図に基づき詳細に説明する。第４図ａ，ｂ
はそれぞれ本実施例の容器本体の平面図、正面
図、同図ｃ，ｄはそれぞれ前記容器本体に乾燥防
止治具を挿着して形成した本実施例の容器の正面
図、側面図である。

まず、容器本体５は六角錘台の口５１、六角柱
の取付け部５２、六角錘台の肩５３、六角柱のレ
ジスト貯蔵部５４からなり、それぞれの六角形が
相似状をなしている。次に乾燥防止治具３は、取
付部５２の六角形の最小長m₂がＵ字状内面３３
間の距離l₂よりもわずかに小さく、例えば１mm程
度小さく、材質がテフロンなどの弾力性のある、
レジスト乾燥防止液により侵されない樹脂であ
り、他は実施例１と同様である。次に、この乾燥
防止治具３に、実施例１と同様のレジスト乾燥防
止液４を注入し、乾燥防止治具３のＵ字状内面３
３間に取付部５２などの六角形の一つの角部を開
口面３４側に向けて、容器本体５の取付け部５２
を挿入し、本考案の容器を形成する。このとき、
乾燥防止治具３が弾力性のある材質であり、さら
に、取付け部５２の六角形の最小長m₂がＵ字状
内面３３間の距離l₂よりも小さいので、乾燥防止
治具３は、容器本体５の取付け部５２に挿着され
る。この容器によりレジストを分注・滴下すると
き、レジスト貯蔵部５４、肩５３、取付け部５
２、口５１の角部に沿つてレジストが分注・滴下
されるので、実施例１よりもさらにレジストの残
液が付着する表面積は小さく、レジストの乾燥速
度はより遅くなり、レジストの粘度はさらに安定
する。レジストの乾燥防止及び口の部分にゴミの
付着を防止する効果は実施例１と同様である。

以上、本考案によれば、実施例１，２での乾燥
防止治具の形状に限らず、例えば第５図に示すよ
うな円板状のような形状などの他の形状であつて
もよく、少なくとも容器本体を取り付ける凹状を
形成する内面３３と、この内面３３を囲むように
して前記内面３３の凹状の開口部３５側に開口面
３４を設けた側面３１を形成し、この内面３３と
側面３１との間にレジスト乾燥防止液の貯蔵部３
８を設け、少なくとも内面３３及び側面３１の開
口面３４の近傍に、容器を傾けたときに、レジス
ト乾燥防止液が収納される容積を持つた袋体３７
を設け、さらに前記貯蔵部３８を覆うための上面
３９からなつていればよい。次に、実施例１，２
での容器本体の形状に限らず、例えば第６図に示
すように、肩の部分がなくてもよいし、レジスト
貯蔵部と取付け部が同一形状であつてもよく、横
断面の寸法が同一であつてもよい。また、乾燥防
止治具を容器本体に取り付け保持するのは、実施
例１，２に限らず、接着剤を用いて容器本体と凹
状の内面とを固着してもよい。さらに、レジスト
乾燥防止液は、モノクロルベンゼンに限らず、分
注・滴下されるレジストの蒸気圧以上の蒸気圧を
有する液体であればよい。

以上、本考案によれば、容器本体の口に残留す
るレジスト及び取付け部、レジスト貯蔵部に付着
したレジストの乾燥を防止でき、容器本体の口に
ゴミを付着することも防止でき、口に蓋を嵌合す
る作業も省くこともでき、さらにレジストの粘度
の均一性を保つことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の容器を示す概略図であり、第２
図ａは本考案の一実施例の乾燥防止治具を示す斜
視図、同図ｂは同図ａの上面を除いた斜視図、同
図ｃ，ｄは同図ａの平面図、正面図であり、第３
図ａ，ｂは本考案の一実施例の容器本体を示す平
面図、正面図、同図ｃ，ｄは本考案の容器の一実
施例を示す正面図、側面図であり、第４図ａ，ｂ
は本考案の他の実施例の容器本体を示す平面図、
正面図、同図ｃ，ｄは本考案の容器の他の実施例
を示す正面図、側面図であり、第５図は本考案の
他の実施例の乾燥防止治具を示す斜視図であり、
第６図ａ，ｂは本考案の他の実施例の容器本体を
示す平面図、正面図である。 ３……乾燥防止治具、４……レジスト乾燥防止
液、５……容器本体、３１……側面、３２……底
面、３３……Ｕ字状内面、３４……開口面、３５
……開口部、３６……封止面、３７……袋体、３
８……貯蔵部、３９……上面、５１……口、５２
……取付部、５３……肩、５４……レジスト貯蔵
部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 口、乾燥防止治具取付部及びレジスト貯蔵部
   を設けている容器本体と、容器本体を取り付け
   る凹状を形成する内面、前記内面の凹状の開口
   部側に開口面を設けて前記内面を囲むようにし
   て形成する側面、前記内面と前記側面との間に
   レジスト乾燥防止液を貯蔵する貯蔵部、前記貯
   蔵部の前記開口面の少なくとも近傍に形成する
   袋体及び前記内面、前記貯蔵部、前記袋体を覆
   う上面から少なくともなる乾燥防止治具と、前
   記貯蔵部内に注入されたレジスト乾燥防止液と
   からなり、さらに前記容器本体の口が前記乾燥
   防止治具内に挿入されていることを特徴とする
   レジスト用容器。 (2) 前記レジスト乾燥防止液が、所望するレジス
   トの蒸気圧以上の蒸気圧を有する液体であるこ
   とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項
   記載のレジスト用容器。