JPH0997718A - 薄膜トランス及びその製造方法 - Google Patents
薄膜トランス及びその製造方法Info
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- JPH0997718A JPH0997718A JP7252599A JP25259995A JPH0997718A JP H0997718 A JPH0997718 A JP H0997718A JP 7252599 A JP7252599 A JP 7252599A JP 25259995 A JP25259995 A JP 25259995A JP H0997718 A JPH0997718 A JP H0997718A
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Landscapes
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- Thin Magnetic Films (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化、軽量化、高効率化に最適な薄膜コン
バータを実現する。 【解決手段】 従来の薄膜トランスのうち磁性膜の一部
分を磁性フェライト基板である上側磁性基板４に置き換
える。また、上側磁性基板４をペルヒドロポリシラザン
によって磁性基板３上に接着する。さらに、磁芯を磁性
薄膜で形成せずに接着剤に含まれた磁性粉で形成する。
バータを実現する。 【解決手段】 従来の薄膜トランスのうち磁性膜の一部
分を磁性フェライト基板である上側磁性基板４に置き換
える。また、上側磁性基板４をペルヒドロポリシラザン
によって磁性基板３上に接着する。さらに、磁芯を磁性
薄膜で形成せずに接着剤に含まれた磁性粉で形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、携帯用無線機
等に利用されるＤＣ−ＤＣコンバータに用いられる薄膜
トランスに関する。
等に利用されるＤＣ−ＤＣコンバータに用いられる薄膜
トランスに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、高度情報化社会の進展及び、マル
マルチメディア時代の到来に伴い、パーソナル用途のポ
ータブル電子機器の普及が進展してきている。このよう
なポータブル電子機器は一般に電力源として電池を内蔵
してる。その電池電圧はそのままデバイスに供給される
こともあるが、デバイスが必要とする電源電圧と異なる
場合にはＤＣ−ＤＣコンバータ等によって適切な電圧に
変換されそれぞれのデバイスに供給される。ＤＣ−ＤＣ
コンバータは、入力直流電圧を半導体スイッチによって
断続的に制御し安定した所望の出力電圧を得ることを目
的とするもので、その主要部品としてトランスが重要な
役割を果たしおり、スイッチング周波数を高くすればす
るほどその小型化が図れる。このような電源として要求
される特性は、小型、軽量、等であるためこれらの要求
に合致するトランスとして薄膜のトランスが採用されつ
つある。薄膜のトランスは図５に示すように基板上に薄
膜コイル１１や薄膜磁性体コア１２を形成するもので、
上記要求を満たすものである。
マルチメディア時代の到来に伴い、パーソナル用途のポ
ータブル電子機器の普及が進展してきている。このよう
なポータブル電子機器は一般に電力源として電池を内蔵
してる。その電池電圧はそのままデバイスに供給される
こともあるが、デバイスが必要とする電源電圧と異なる
場合にはＤＣ−ＤＣコンバータ等によって適切な電圧に
変換されそれぞれのデバイスに供給される。ＤＣ−ＤＣ
コンバータは、入力直流電圧を半導体スイッチによって
断続的に制御し安定した所望の出力電圧を得ることを目
的とするもので、その主要部品としてトランスが重要な
役割を果たしおり、スイッチング周波数を高くすればす
るほどその小型化が図れる。このような電源として要求
される特性は、小型、軽量、等であるためこれらの要求
に合致するトランスとして薄膜のトランスが採用されつ
つある。薄膜のトランスは図５に示すように基板上に薄
膜コイル１１や薄膜磁性体コア１２を形成するもので、
上記要求を満たすものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の薄膜ト
ランスであっても今日では、さらなる小型化が要求され
るようになり従来の薄膜トランスでは十分な特性を得ら
れなくなってきた。即ち、磁芯が全てパーマロイ等の磁
性薄膜で形成されるため十分な量の電流即ち、磁束をそ
こに通すことが出来ず磁芯が飽和してしまうと言う問題
があった。また、全ての磁芯を磁性薄膜で形成しようと
すると複雑なウエハプロセスを採用しなければならない
ため工程が複雑化しコストアップを招くと言う問題があ
った。
ランスであっても今日では、さらなる小型化が要求され
るようになり従来の薄膜トランスでは十分な特性を得ら
れなくなってきた。即ち、磁芯が全てパーマロイ等の磁
性薄膜で形成されるため十分な量の電流即ち、磁束をそ
こに通すことが出来ず磁芯が飽和してしまうと言う問題
があった。また、全ての磁芯を磁性薄膜で形成しようと
すると複雑なウエハプロセスを採用しなければならない
ため工程が複雑化しコストアップを招くと言う問題があ
った。
【０００４】上記課題を解決すべく本発明では、磁性基
板の表面に形成された一次コイル用の磁芯と二次コイル
用の磁芯と、これら、一次コイル用および二次コイル用
磁芯にスパイラル状に形成される一次用及び二次用の薄
膜コイルと、上記、一次用及び二次コイル用磁芯上に被
着して配される上側磁性基板と、からなる薄膜トラン
ス。前記磁性基板が磁性フェライト基板である上記の薄
膜トランス。前記上側磁性基板が磁性フェライト基板で
ある上記の薄膜トランス。前記磁性基板が非磁性基板上
に形成されたＦｅＴａＮ合金膜で形成されたことを特徴
とする上記の薄膜トランス。前記上側磁性基板が非磁性
基板上に形成されたＦｅＴａＮ合金膜で形成されたこと
を特徴とする上記の薄膜トランス。前記磁性基板上に形
成される一次用または／及び二次コイル用磁芯がＦｅＴ
ａＮ合金膜で形成されたことを特徴とする上記の薄膜ト
ランス前記一次用及び二次コイル用磁芯上に形成される
上側磁性基板がポリシラザンによって被着されたことを
特徴とする上記の薄膜トランス。磁性基板の表面に磁性
薄膜からなる一次コイル用及び二次コイル用磁芯を形成
する工程と、これら一次コイル用及び二次コイル用磁芯
のそれぞれにスパイラル状に薄膜コイルを形成する工程
と、上記一次用および二次用磁芯の上に上側磁性基板を
接着剤で貼り付ける工程と、からなる薄膜トランスの製
造方法。磁性基板の表面にスパイラル状に一次用及び二
次用の薄膜コイルを形成する工程と、上記一次用および
二次用の薄膜コイルが形成された磁性基板上に磁性粉末
を含む接着剤を塗布する工程と、これら一次用及び二次
コイル用の上に上側磁性基板を配する工程と、この上側
磁性基板が配されたものを加熱し前記接着剤を固化し前
記一次用及び二次用のスパイラル状コイルの中心部の前
記接着剤により磁芯を形成する工程と、からなる薄膜ト
ランスの製造方法。を提供する。さらに、チップ状保護
ケースを具備する薄膜トランスであって、この薄膜トラ
ンスは、磁性基板の表面に形成された一次コイル用磁芯
と二次コイル用磁芯と、これらの一次コイル用および二
次コイル用磁芯にスパイラル状に形成される一次用及び
二次用の薄膜コイルと、この薄膜コイルの端部に設けら
れるバンプ状電極である端子部と、上記、一次用及び二
次コイル用磁芯上に被着して配される上側磁性基板とか
らなり、前記バンプ状電極が前記チップ状保護ケースの
外部接続電極に直接的に接続されている薄膜トランス。
前記チップ状保護ケースは外部接続電極を有するケース
底板部と、薄膜トランスが形成された面を前記ケース底
板部に向けて電機的に接続され張り合わされた前記磁性
基板であるケース上板部と、からなることを特徴とする
請求項１０記載の薄膜トランス。前記ケース底板部がセ
ラミクス基板からなることを特徴とする請求項１１記載
の薄膜トランス。チップ状保護ケースを具備する薄膜ト
ランスの製造方法であって、磁性基板の表面に一次コイ
ル用磁芯と二次コイル用磁芯とを形成する工程と、これ
らの一次コイル用および二次コイル用磁芯にスパイラル
状に一次用及び二次用の薄膜コイルと、この薄膜コイル
の端部に設けられるバンプ状電極である端子部とを形成
しする工程と、上記、一次用及び二次コイル用磁芯上に
上側磁性基板を形成する工程と、前記バンプ状電極を前
記チップ状保護ケースの外部接続電極に直接的に加熱圧
着により接続する工程と、からなる薄膜トランスの製造
方法。をも提供する。
板の表面に形成された一次コイル用の磁芯と二次コイル
用の磁芯と、これら、一次コイル用および二次コイル用
磁芯にスパイラル状に形成される一次用及び二次用の薄
膜コイルと、上記、一次用及び二次コイル用磁芯上に被
着して配される上側磁性基板と、からなる薄膜トラン
ス。前記磁性基板が磁性フェライト基板である上記の薄
膜トランス。前記上側磁性基板が磁性フェライト基板で
ある上記の薄膜トランス。前記磁性基板が非磁性基板上
に形成されたＦｅＴａＮ合金膜で形成されたことを特徴
とする上記の薄膜トランス。前記上側磁性基板が非磁性
基板上に形成されたＦｅＴａＮ合金膜で形成されたこと
を特徴とする上記の薄膜トランス。前記磁性基板上に形
成される一次用または／及び二次コイル用磁芯がＦｅＴ
ａＮ合金膜で形成されたことを特徴とする上記の薄膜ト
ランス前記一次用及び二次コイル用磁芯上に形成される
上側磁性基板がポリシラザンによって被着されたことを
特徴とする上記の薄膜トランス。磁性基板の表面に磁性
薄膜からなる一次コイル用及び二次コイル用磁芯を形成
する工程と、これら一次コイル用及び二次コイル用磁芯
のそれぞれにスパイラル状に薄膜コイルを形成する工程
と、上記一次用および二次用磁芯の上に上側磁性基板を
接着剤で貼り付ける工程と、からなる薄膜トランスの製
造方法。磁性基板の表面にスパイラル状に一次用及び二
次用の薄膜コイルを形成する工程と、上記一次用および
二次用の薄膜コイルが形成された磁性基板上に磁性粉末
を含む接着剤を塗布する工程と、これら一次用及び二次
コイル用の上に上側磁性基板を配する工程と、この上側
磁性基板が配されたものを加熱し前記接着剤を固化し前
記一次用及び二次用のスパイラル状コイルの中心部の前
記接着剤により磁芯を形成する工程と、からなる薄膜ト
ランスの製造方法。を提供する。さらに、チップ状保護
ケースを具備する薄膜トランスであって、この薄膜トラ
ンスは、磁性基板の表面に形成された一次コイル用磁芯
と二次コイル用磁芯と、これらの一次コイル用および二
次コイル用磁芯にスパイラル状に形成される一次用及び
二次用の薄膜コイルと、この薄膜コイルの端部に設けら
れるバンプ状電極である端子部と、上記、一次用及び二
次コイル用磁芯上に被着して配される上側磁性基板とか
らなり、前記バンプ状電極が前記チップ状保護ケースの
外部接続電極に直接的に接続されている薄膜トランス。
前記チップ状保護ケースは外部接続電極を有するケース
底板部と、薄膜トランスが形成された面を前記ケース底
板部に向けて電機的に接続され張り合わされた前記磁性
基板であるケース上板部と、からなることを特徴とする
請求項１０記載の薄膜トランス。前記ケース底板部がセ
ラミクス基板からなることを特徴とする請求項１１記載
の薄膜トランス。チップ状保護ケースを具備する薄膜ト
ランスの製造方法であって、磁性基板の表面に一次コイ
ル用磁芯と二次コイル用磁芯とを形成する工程と、これ
らの一次コイル用および二次コイル用磁芯にスパイラル
状に一次用及び二次用の薄膜コイルと、この薄膜コイル
の端部に設けられるバンプ状電極である端子部とを形成
しする工程と、上記、一次用及び二次コイル用磁芯上に
上側磁性基板を形成する工程と、前記バンプ状電極を前
記チップ状保護ケースの外部接続電極に直接的に加熱圧
着により接続する工程と、からなる薄膜トランスの製造
方法。をも提供する。
【０００５】
【発明の実施の形態】本願発明の薄膜トランスを図１を
用いて説明する。薄膜トランスは、磁性フェライト例え
ばＮｉ−Ｚｎフェライト等の磁性基板３上に薄膜工程と
機械工程とによって形成される。薄膜工程で形成される
部分としては、まず磁性フェライト基板等の磁性基板３
上に磁芯２，１５となる磁性薄膜を形成する。この磁芯
２，１５は一次用トランスのものと二次用トランスのも
のがそれぞれ所定の位置に形成される。この磁芯２，１
５は飽和磁束密度の高いものを採用する必要がありＦｅ
ＴａＮ合金のものを用いるのが良い。そして、このそれ
ぞれの磁芯２，１５ごとにスパイラル状に薄膜コイル
１，６やコイル電極１６を薄膜工程を用いて形成する。
薄膜工程で製造されるコイルは極めてその製造精度を高
くすることが出来るのでコイルの実装密度を向上するの
に適している。そして、機械工程として上側磁性基板４
としてのフェライト等の基板をこの上に貼り付ける。こ
のようにフェライト基板を採用するのは磁気飽和の問題
を解決するためでフェライト等の磁性基板ではその断面
積を十分大きく取れるのでこの部分を磁性薄膜で形成す
るより十分大きな磁束を流すことが出来る。さらに、こ
の部分を磁性フェライトすることによるメリットとして
この部分の製造を機械工程で出来るため作業が簡単で従
来薄膜で製造していたものに比較して歩留りが向上して
製品の信頼性が向上すると言うメリットもある。
用いて説明する。薄膜トランスは、磁性フェライト例え
ばＮｉ−Ｚｎフェライト等の磁性基板３上に薄膜工程と
機械工程とによって形成される。薄膜工程で形成される
部分としては、まず磁性フェライト基板等の磁性基板３
上に磁芯２，１５となる磁性薄膜を形成する。この磁芯
２，１５は一次用トランスのものと二次用トランスのも
のがそれぞれ所定の位置に形成される。この磁芯２，１
５は飽和磁束密度の高いものを採用する必要がありＦｅ
ＴａＮ合金のものを用いるのが良い。そして、このそれ
ぞれの磁芯２，１５ごとにスパイラル状に薄膜コイル
１，６やコイル電極１６を薄膜工程を用いて形成する。
薄膜工程で製造されるコイルは極めてその製造精度を高
くすることが出来るのでコイルの実装密度を向上するの
に適している。そして、機械工程として上側磁性基板４
としてのフェライト等の基板をこの上に貼り付ける。こ
のようにフェライト基板を採用するのは磁気飽和の問題
を解決するためでフェライト等の磁性基板ではその断面
積を十分大きく取れるのでこの部分を磁性薄膜で形成す
るより十分大きな磁束を流すことが出来る。さらに、こ
の部分を磁性フェライトすることによるメリットとして
この部分の製造を機械工程で出来るため作業が簡単で従
来薄膜で製造していたものに比較して歩留りが向上して
製品の信頼性が向上すると言うメリットもある。
【０００６】本願の他の発明では磁芯部分をも薄膜で形
成することはせず上側基板を貼り付ける際に用いていた
接着剤５に磁性粉を混入してこれを固化し磁芯として機
能させるのでさらに工程が簡略化して製品の信頼性向上
する。混入する磁性粉としては軟磁性のものでかつ飽和
磁束密度の大きいものが好ましい。
成することはせず上側基板を貼り付ける際に用いていた
接着剤５に磁性粉を混入してこれを固化し磁芯として機
能させるのでさらに工程が簡略化して製品の信頼性向上
する。混入する磁性粉としては軟磁性のものでかつ飽和
磁束密度の大きいものが好ましい。
【０００７】本願のさらに他の発明は磁性基板や上側の
磁性基板として非磁性基板上に形成されたＦｅＴａＮ合
金を用いるので工程を簡略化すると同時に、飽和磁束密
度をさらに向上して薄膜トランスの効率を上げることが
出来る。
磁性基板として非磁性基板上に形成されたＦｅＴａＮ合
金を用いるので工程を簡略化すると同時に、飽和磁束密
度をさらに向上して薄膜トランスの効率を上げることが
出来る。
【０００８】本願の発明に用いられるフェライト基板は
その厚さが高々１ｍｍ以下なので十分に小型化が可能で
あるし，また、その特性は全てを薄膜で形成していた従
来のものより優れ且つ安価に作成することが出来る。ま
たコイルは必ずしも単層のものに限定されず二層以上の
ものであっても良い。さらに、磁性基板や上側磁性基板
は磁性フェライト上にＦｅＴａＮ合金を形成したものを
用いてもよい。さらに、上側基板を磁性基板上に貼り付
ける接着剤としてペルヒドロポリシラザンを用いた場合
には従来用いられてきた有機系接着剤と異なり高温度で
も変質しないので磁性材料の特性を向上するために上側
磁性基板を形成した後で高温度でアニールすることが出
来る。上側磁性基板として例えば、ＦｅＴａＮ合金膜
や、センダストのような材料を用いる場合にはアニール
が必須の条件となり特にこの発明は大きな効果を有す
る。また、本発明は、図４に示すように薄膜トランスを
ケースに入れて保護する形態としたので薄膜トランスの
対環境性が向上すると共に電極をバンプ電極９としてケ
ース底板８に設けられた外部電極１０に直接的に接続す
るようにしたので従来のようにケーシングの際にワイヤ
ボンディングする必要がなく製造が極めて容易になると
共に製品としての信頼性が向上する。また、ケース底板
部８としてセラミクス基板を用いるので機械的強度に優
れ対衝撃性が極めて良好になる。さらに、機械的強度に
優れるため薄膜トランスを電子部品としてプリント基板
等に挿入する際にいわゆる自動機による機械的なチップ
挿入が可能となり工数のさらなる削減が可能となる。
その厚さが高々１ｍｍ以下なので十分に小型化が可能で
あるし，また、その特性は全てを薄膜で形成していた従
来のものより優れ且つ安価に作成することが出来る。ま
たコイルは必ずしも単層のものに限定されず二層以上の
ものであっても良い。さらに、磁性基板や上側磁性基板
は磁性フェライト上にＦｅＴａＮ合金を形成したものを
用いてもよい。さらに、上側基板を磁性基板上に貼り付
ける接着剤としてペルヒドロポリシラザンを用いた場合
には従来用いられてきた有機系接着剤と異なり高温度で
も変質しないので磁性材料の特性を向上するために上側
磁性基板を形成した後で高温度でアニールすることが出
来る。上側磁性基板として例えば、ＦｅＴａＮ合金膜
や、センダストのような材料を用いる場合にはアニール
が必須の条件となり特にこの発明は大きな効果を有す
る。また、本発明は、図４に示すように薄膜トランスを
ケースに入れて保護する形態としたので薄膜トランスの
対環境性が向上すると共に電極をバンプ電極９としてケ
ース底板８に設けられた外部電極１０に直接的に接続す
るようにしたので従来のようにケーシングの際にワイヤ
ボンディングする必要がなく製造が極めて容易になると
共に製品としての信頼性が向上する。また、ケース底板
部８としてセラミクス基板を用いるので機械的強度に優
れ対衝撃性が極めて良好になる。さらに、機械的強度に
優れるため薄膜トランスを電子部品としてプリント基板
等に挿入する際にいわゆる自動機による機械的なチップ
挿入が可能となり工数のさらなる削減が可能となる。
【０００９】
【発明の効果】以上のようにこの発明の薄膜トランス
は、従来のものに比較して飽和磁束密度を高く出来るの
で高効率のコンバータを実現でき、また、従来のものに
比較して一部に機械的製造工程を採用したので製造が容
易となり製造歩留りが向上して、信頼性の大きなコンバ
ータを実現できる。また、磁芯を接着剤を固化すること
によって形成することにしたのでわざわざ磁芯を薄膜工
程を用いて製造する必要がなくさらに製造の容易化が図
られる。また、ケースに挿入して保護するので対環境性
や対衝撃性に優れチップ部品として取り扱えると言うメ
リットがある。以上のようであるのでこの発明のコンバ
ータは益々小型化、軽量化、高効率化が要求される薄膜
トランスとして最適な薄膜トランスを実現できる。
は、従来のものに比較して飽和磁束密度を高く出来るの
で高効率のコンバータを実現でき、また、従来のものに
比較して一部に機械的製造工程を採用したので製造が容
易となり製造歩留りが向上して、信頼性の大きなコンバ
ータを実現できる。また、磁芯を接着剤を固化すること
によって形成することにしたのでわざわざ磁芯を薄膜工
程を用いて製造する必要がなくさらに製造の容易化が図
られる。また、ケースに挿入して保護するので対環境性
や対衝撃性に優れチップ部品として取り扱えると言うメ
リットがある。以上のようであるのでこの発明のコンバ
ータは益々小型化、軽量化、高効率化が要求される薄膜
トランスとして最適な薄膜トランスを実現できる。
【図１】 本発明の薄膜トランスを示す断面図
【図２】 本発明の他の薄膜トランスを示す断面図
【図３】 本発明の薄膜トランスの製造方法を示す概念
図
図
【図４】 本発明のケース挿入された薄膜トランスを示
す図（コイル等は省略）
す図（コイル等は省略）
【図５】 従来の薄膜トランスを示す断面図
１ 一次コイル用 ２ 一次コイル用磁芯 ３ 磁性基板 ４ 上側磁性基板 ５ 接着剤 ６ 二次コイル用 ７ ＦｅＴａＮ合金膜 ８ ケース底板部 ９ バンプ電極 １０ 外部電極 １４ チップ状保護ケース １５ 二次コイル用磁芯
Claims (13)
- 【請求項１】磁性基板の表面に形成された一次コイル用
磁芯と二次コイル用磁芯と、 これら、一次コイル用および二次コイル用磁芯にスパイ
ラル状に形成される一次用及び二次用の薄膜コイルと、 上記、一次用及び二次コイル用の磁芯上に被着して配さ
れる上側磁性基板と、からなる薄膜トランス。 - 【請求項２】前記磁性基板が磁性フェライト基板である
請求項１記載の薄膜トランス。 - 【請求項３】前記上側磁性基板が磁性フェライト基板で
ある請求項１記載の薄膜トランス。 - 【請求項４】前記磁性基板が非磁性基板上に形成された
ＦｅＴａＮ合金膜で形成されたことを特徴とする請求項
１記載の薄膜トランス。 - 【請求項５】前記上側磁性基板が非磁性基板上に形成さ
れたＦｅＴａＮ合金膜で形成されたことを特徴とする請
求項１記載の薄膜トランス。 - 【請求項６】前記磁性基板上に形成される一次用または
／及び二次コイル用磁芯がＦｅＴａＮ合金膜で形成され
たことを特徴とする請求項１記載の薄膜トランス。 - 【請求項７】前記一次用及び二次コイル用磁芯上に形成
される上側磁性基板がペルヒドロポリシラザンによって
被着されたことを特徴とする請求項１記載の薄膜トラン
ス。 - 【請求項８】磁性基板の表面に磁性薄膜からなる一次コ
イル用及び二次コイル用磁芯を形成する工程と、これら
一次コイル用及び二次コイル用磁芯のそれぞれにスパイ
ラル状に薄膜コイルを形成する工程と、上記一次用およ
び二次用磁芯の上に上側磁性基板を接着剤で貼り付ける
工程と、からなる薄膜トランスの製造方法。 - 【請求項９】磁性基板の表面にスパイラル状に一次用及
び二次用の薄膜コイルを形成する工程と、上記一次用お
よび二次用の薄膜コイルが形成された磁性基板上に磁性
粉末を含む接着剤を塗布する工程と、これら一次用及び
二次コイル用の上に上側磁性基板を配する工程と、この
上側磁性基板が配されたものを加熱し前記接着剤を固化
し前記一次用及び二次用のスパイラル状コイルの中心部
の前記接着剤により磁芯を形成する工程と、からなる薄
膜トランスの製造方法。 - 【請求項１０】チップ状保護ケースを具備する薄膜トラ
ンスであって、この薄膜トランスは、磁性基板の表面に
形成された一次コイル用の磁芯と二次コイル用磁芯と、
これらの一次コイル用および二次コイル用磁芯にスパイ
ラル状に形成される一次用及び二次用の薄膜コイルと、
この薄膜コイルの端部に設けられるバンプ状電極である
端子部と、上記、一次用及び二次コイル用の磁芯上に被
着して配される上側磁性基板とからなり、前記バンプ状
電極が前記チップ状保護ケースの外部接続電極に直接的
に接続されている薄膜トランス。 - 【請求項１１】前記チップ状保護ケースは外部接続電極
を有するケース底板部と、薄膜トランスが形成された面
を前記ケース底板部に向けて電気的に接続され張り合わ
された前記磁性基板であるケース上板部と、からなるこ
とを特徴とする請求項１０記載の薄膜トランス。 - 【請求項１２】前記ケース底板部がセラミクス基板から
なることを特徴とする請求項１１記載の薄膜トランス。 - 【請求項１３】チップ状保護ケースを具備する薄膜トラ
ンスの製造方法であって、磁性基板の表面に一次コイル
用磁芯と二次コイル用磁芯とを形成する工程と、これら
の一次コイル用および二次コイル用磁芯にスパイラル状
に一次用及び二次用の薄膜コイルと、この薄膜コイルの
端部に設けられるバンプ状電極である端子部とを形成す
る工程と、上記、一次用及び二次コイル用磁芯上に上側
磁性基板を形成する工程と、前記バンプ状電極を前記チ
ップ状保護ケースの外部接続電極に直接的に加熱圧着に
より接続する工程と、からなる薄膜トランスの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7252599A JP2991091B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 薄膜トランスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7252599A JP2991091B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 薄膜トランスおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0997718A true JPH0997718A (ja) | 1997-04-08 |
| JP2991091B2 JP2991091B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=17239615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7252599A Expired - Lifetime JP2991091B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 薄膜トランスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2991091B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004047849A (ja) * | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Jfe Steel Kk | 平面磁気素子 |
| US6835576B2 (en) | 2000-05-02 | 2004-12-28 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic thin film, a magnetic component that uses this magnetic thin film, manufacturing methods for the same, and a power conversion device |
| JP2006128335A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Jfe Mineral Co Ltd | 平面磁気素子 |
| JP2015018862A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 富士通株式会社 | ２重螺旋構造電子部品、２重螺旋構造電子部品の製造方法及び多機能シート |
-
1995
- 1995-09-29 JP JP7252599A patent/JP2991091B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6835576B2 (en) | 2000-05-02 | 2004-12-28 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic thin film, a magnetic component that uses this magnetic thin film, manufacturing methods for the same, and a power conversion device |
| JP2004047849A (ja) * | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Jfe Steel Kk | 平面磁気素子 |
| JP2006128335A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Jfe Mineral Co Ltd | 平面磁気素子 |
| JP2015018862A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 富士通株式会社 | ２重螺旋構造電子部品、２重螺旋構造電子部品の製造方法及び多機能シート |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2991091B2 (ja) | 1999-12-20 |
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