JPH0997733A - Manufacture of laminated ceramic component - Google Patents

Manufacture of laminated ceramic component

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JPH0997733A
JPH0997733A JP7276606A JP27660695A JPH0997733A JP H0997733 A JPH0997733 A JP H0997733A JP 7276606 A JP7276606 A JP 7276606A JP 27660695 A JP27660695 A JP 27660695A JP H0997733 A JPH0997733 A JP H0997733A
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JP
Japan
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green sheet
layers
laminated
green sheets
protective layer
Prior art date
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Application number
JP7276606A
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Japanese (ja)
Inventor
Shunji Murai
俊二 村井
Kiyoshi Miyazaki
清 宮崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To hardly generate a delamination between dielectric layers and protective layers by a method wherein green sheets, whose shrinkgage starting temperature due to a firing is lower than that of green sheets for the dielectric layers use, are used as green sheets for the protective layers use. SOLUTION: A plurality of sheets of green sheets, which are respectively formed with an internal electrode pattern 4 consisting of a conductive paste and are ones for dielectric layers 2 use, are laminated on a green sheet in such a way that the patterns 4 oppose to each other holding the green sheets for the layers 2 use between them. Moreover, green sheets for protective layers 6 use are laminated on the upper and lower surfaces of this laminated material by several sheets and a large pressure is applied to the laminated material from the vertical directions to make these green sheets pressure bond. At this time, as the green sheets for the layers 6 use, green sheets, whose shrinkage starting temperature due to a firing is lower than that of the green sheets for the layers 2 use, are used and green sheets having a density higher than that of the green sheets for the layers 2 use are used. Thereby, a difference between the shrinkage behavoirs of the green sheets for the layers 6 use and the green sheets for the layers 2 use at the time of the firing is decreased and as the internal stress of the laminated material is relaxed, the deformation of a product is reduced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック層と導
電体層とを交互に積層し、端部に外部電極を形成してな
る積層セラミック部品、特に積層セラミックコンデンサ
の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a monolithic ceramic component, in particular a monolithic ceramic capacitor, in which ceramic layers and conductor layers are alternately laminated and external electrodes are formed at ends thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】図1は積層セラミックコンデンサの一例
の断面図である。同図に示すように、この積層セラミッ
クコンデンサは、交互に積層された複数層の誘電体層2
と複数層の内部電極4の外側に一対の保護層6が各々積
層され、一対の外部電極8,8によって内部電極4の端
部が交互に並列に接続された構造になっている。
2. Description of the Related Art FIG. 1 is a sectional view of an example of a monolithic ceramic capacitor. As shown in the figure, this monolithic ceramic capacitor has a plurality of dielectric layers 2 which are alternately laminated.
And a pair of protective layers 6 are laminated on the outer sides of the plurality of layers of internal electrodes 4, and the ends of the internal electrodes 4 are alternately connected in parallel by the pair of external electrodes 8, 8.

【0003】ここで、誘電体層2及び保護層6は、例え
ばチタン酸バリウムなどの誘電体材料を主成分としたセ
ラミックからなり、内部電極4はパラジウム粉末を主成
分とした導電性ペーストを焼成して形成した導電体膜か
らなる。外部電極8も内部電極4と同様の導電体からな
る。
Here, the dielectric layer 2 and the protective layer 6 are made of a ceramic containing a dielectric material such as barium titanate as a main component, and the internal electrodes 4 are made of a conductive paste containing palladium powder as a main component. It is composed of a conductor film formed in this way. The outer electrode 8 is also made of the same conductor as the inner electrode 4.

【0004】次に、この従来の積層セラミックコンデン
サの製造方法の一例について説明する。
Next, an example of a method of manufacturing this conventional monolithic ceramic capacitor will be described.

【0005】まず、チタン酸バリウム等のセラミック原
料粉末、有機バインダー及び有機溶剤等をジルコニアボ
ールとともにボールミル内に入れ、これらを粉砕・混合
してスラリーを作成する。そして、このスラリーを、走
行するポリエチレンテレフタレート(以下、PETとい
う。)フィルム上にドクターブレード法で膜状に塗布
し、この膜状のスラリーをそのままPETフィルム上で
乾燥させ、チタン酸バリウム粉末を主成分とするグリー
ンシートを得る。
First, a ceramic raw material powder such as barium titanate, an organic binder, an organic solvent and the like are put in a ball mill together with zirconia balls, and these are crushed and mixed to prepare a slurry. Then, this slurry is applied in a film form on a running polyethylene terephthalate (hereinafter referred to as PET) film by a doctor blade method, and the film form slurry is dried as it is on a PET film to mainly contain barium titanate powder. Obtain a green sheet as an ingredient.

【0006】次に、このグリーンシート上に導電性ペー
ストからなる内部電極パターンをスクリーン印刷法によ
り印刷する。そして、この内部電極パターンを形成した
グリーンシートを複数枚、内部電極パターンがグリーン
シートを挟んで対向するように積層し、更に、この積層
した複数枚のグリーンシートの上下面に、内部電極パタ
ーンを印刷してないグリーンシートを数枚ずつ積層す
る。そして、この積層物に加熱下で上下方向から大きな
圧力を加えて各層を圧着させる。
Next, an internal electrode pattern made of a conductive paste is printed on this green sheet by a screen printing method. Then, a plurality of green sheets on which the internal electrode patterns are formed are laminated so that the internal electrode patterns face each other with the green sheets sandwiched therebetween, and further, the internal electrode patterns are formed on the upper and lower surfaces of the laminated green sheets. Stack several unprinted green sheets one by one. Then, a large pressure is applied to the laminated body from above and below under heating so that the respective layers are pressure-bonded.

【0007】次に、この積層物を内部電極パターン毎に
格子状に裁断して積層体チップとし、この積層体チップ
を1200〜1400℃で焼成する。この焼成により、
内部電極パターンは焼結して内部電極となり、内部電極
に挟まれた部分のグリーンシートは焼結して誘電体層と
なり、最外のグリーンシートは焼結して保護層となる。
Next, the laminated body is cut into a lattice shape for each internal electrode pattern to form a laminated body chip, and the laminated body chip is fired at 1200 to 1400.degree. By this firing,
The internal electrode pattern is sintered to become an internal electrode, the green sheet sandwiched between the internal electrodes is sintered to become a dielectric layer, and the outermost green sheet is sintered to become a protective layer.

【0008】次に、この焼成された積層体チップの両端
面に導電性ペーストを各々焼き付けて一対の外部電極を
形成させる。内部電極の端部はこの一対の外部電極によ
って交互に並列に接続させられ、積層セラミックコンデ
ンサが完成する。
Next, a conductive paste is baked on both end faces of the fired laminated chip to form a pair of external electrodes. The ends of the internal electrodes are alternately connected in parallel by the pair of external electrodes to complete a monolithic ceramic capacitor.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の積層セラミックコンデンサの製造方法において、積
層体チップを焼成させた場合、内部電極パターンが金属
粉末を主成分としているので焼結開始温度が低く、誘電
体層よりも先に収縮し始め、誘電体層も、この内部電極
パターンの収縮の影響を受けて、単独で存在するときよ
り低い温度で収縮を開始する。ところが、保護層には内
部電極パターンが設けられていないので、内部電極パタ
ーンの収縮の影響が少ない。このため、焼成の初期にお
いては、保護層と誘電体層との間に収縮差が生じ、デラ
ミネーションを生じることがあった。
By the way, in the above-described conventional method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor, when a laminated chip is fired, the internal electrode pattern contains metal powder as a main component, so that the sintering starting temperature is low. The shrinkage of the dielectric layer starts before the dielectric layer, and the dielectric layer is also affected by the shrinkage of the internal electrode pattern and starts shrinking at a lower temperature than when it exists alone. However, since the protective layer is not provided with the internal electrode pattern, the shrinkage of the internal electrode pattern is less affected. Therefore, in the initial stage of firing, a difference in shrinkage may occur between the protective layer and the dielectric layer, and delamination may occur.

【0010】また、焼成の後期においては、誘電体層の
収縮が終了しているのに保護層の収縮が続き、誘電体層
がこの保護層の収縮に引きずられて更に収縮させられ、
積層セラミックコンデンサは、図2に示すように、平面
方向で収縮し、厚み方向で膨張して、内部歪みの有る半
田耐熱性の悪い製品になってしまうことがあった。
In the latter stage of firing, the shrinkage of the dielectric layer is completed, but the shrinkage of the protective layer continues, and the dielectric layer is dragged by the shrinkage of the protective layer to be further shrunk.
As shown in FIG. 2, the monolithic ceramic capacitor sometimes contracts in the plane direction and expands in the thickness direction, resulting in a product having internal distortion and poor solder heat resistance.

【0011】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、誘電体層等の内部セラミック層
と保護層との間でデラミネーションを生じ難く、製品の
変形が小さく、しかも半田耐熱性が良い積層セラミック
部品の製造方法を得ることを目的とするものである。
The present invention has been made to solve the above problems, and it is difficult for delamination to occur between an internal ceramic layer such as a dielectric layer and a protective layer, and the product deformation is small. Moreover, it is an object of the present invention to obtain a method for manufacturing a monolithic ceramic component having good soldering heat resistance.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る積層セラミック部品の製造方法は、保
護層用のグリーンシートとして、焼成による収縮開始温
度が内部セラミック層用のグリーンシートよりも低いグ
リーンシートを用いた。これ以外の工程は従来技術と同
様である。
In order to achieve the above-mentioned object, a method for manufacturing a laminated ceramic component according to the present invention is such that a green sheet for a protective layer has a shrinkage starting temperature by firing more than a green sheet for an internal ceramic layer. Low green sheet was used. The other steps are the same as in the conventional technique.

【0013】ここで、前記保護層用のグリーンシートと
して前記内部セラミック層用のグリーンシートよりも密
度の高いグリーンシートを用いれば、焼成による収縮開
始温度を低くさせることができる。
If a green sheet having a higher density than that of the green sheet for the internal ceramic layer is used as the green sheet for the protective layer, the shrinkage initiation temperature due to firing can be lowered.

【0014】前記保護層用のグリーンシートを作成する
スラリーの粉砕・混合時間を前記内部セラミック層用の
グリーンシートを作成するスラリーの粉砕・混合時間よ
り長くすることによって、密度の高いグリーンシートを
得ることができる。
By making the crushing / mixing time of the slurry for forming the green sheet for the protective layer longer than the crushing / mixing time of the slurry for forming the green sheet for the internal ceramic layer, a high density green sheet is obtained. be able to.

【0015】また、前記保護層用のグリーンシートを作
成するスラリーを粉砕・混合するのに使用する粉砕用メ
ディア(粉砕石)の量を前記内部セラミック層用のグリ
ーンシートを作成するスラリーを粉砕・混合するのに使
用するメディアの量より多くすることによっても、密度
の高いグリーンシートを得ることができる。
Further, the amount of grinding media (crushed stone) used for crushing and mixing the slurry for forming the green sheet for the protective layer is adjusted by crushing the slurry for forming the green sheet for the internal ceramic layer. A green sheet having a high density can be obtained by increasing the amount of the medium used for mixing.

【0016】また、前記保護層用のグリーンシートを予
め圧縮させることによっても、密度の高いグリーンシー
トを得ることができる。
Further, a green sheet having a high density can be obtained by previously compressing the green sheet for the protective layer.

【0017】前記保護層用のグリーンシートに焼結助剤
を含有させても、焼成による収縮開始温度を低くさせる
ことができる。前記焼結助剤としてはガラス成分となる
液相形成物質、金属酸化物を使用することができる。
Even if the green sheet for the protective layer contains a sintering aid, the shrinkage initiation temperature by firing can be lowered. As the sintering aid, a liquid phase forming substance that becomes a glass component or a metal oxide can be used.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】まず、セラミック原料粉末に有機
バインダ及び有機溶剤等を加え、これらをセラミックボ
ール、セラミックビーズ、ウレタンボール等とともにボ
ールミル内に入れ、充分に粉砕・混合させてスラリーを
作成する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION First, an organic binder, an organic solvent, etc. are added to a ceramic raw material powder, and these are put in a ball mill together with ceramic balls, ceramic beads, urethane balls, etc., and sufficiently pulverized and mixed to form a slurry. .

【0019】ここで、セラミック原料粉末としては、例
えばチタン酸バリウムを使用することができるが、目的
とする製品に応じ、これ以外の材料を使用してもよい。
有機バインダとしては、アクリル酸エステルポリマー、
グリセリン、縮合リン酸塩等を使用することができる。
Here, for example, barium titanate can be used as the ceramic raw material powder, but other materials may be used depending on the intended product.
As the organic binder, an acrylic ester polymer,
Glycerin, condensed phosphate, etc. can be used.

【0020】次に、上記のようにして作成したスラリー
を、走行するPETフィルム上にドクターブレード法で
膜状に塗布し、この膜状のスラリーをそのままPETフ
ィルム上で乾燥させ、グリーンシートを得る。
Next, the slurry prepared as described above is applied in a film form on a running PET film by a doctor blade method, and the film form slurry is dried as it is on the PET film to obtain a green sheet. .

【0021】次に、このグリーンシート上に導電性ペー
ストからなる内部電極パターンをスクリーン印刷法によ
り印刷する。導電性ペーストとしては、平均粒径が1.
5μm程度のパラジウム粉末及び少量のエチルセルロー
スをブチルカルビトールに分散させたものを使用するこ
とができる。
Next, an internal electrode pattern made of a conductive paste is printed on the green sheet by a screen printing method. The conductive paste has an average particle size of 1.
It is possible to use a powder obtained by dispersing palladium powder having a size of about 5 μm and a small amount of ethyl cellulose in butyl carbitol.

【0022】次に、この内部電極パターンを形成したグ
リーンシート(内部セラミック層用のグリーンシート)
を複数枚、内部電極パターンが内部セラミック層用のグ
リーンシートを挟んで対向するように積層する。そし
て、更に、この積層体の上下面に、内部電極パターンを
印刷してない保護層用のグリーンシートを数枚ずつ積層
し、上下方向から大きな圧力を加えてこれらを圧着させ
る。
Next, a green sheet on which this internal electrode pattern is formed (green sheet for internal ceramic layer)
Are laminated so that the internal electrode patterns face each other with the green sheet for the internal ceramic layer interposed therebetween. Further, several green sheets for the protective layer, on which the internal electrode patterns are not printed, are laminated on the upper and lower surfaces of this laminated body, and a large pressure is applied in the vertical direction to press them together.

【0023】前記保護層用のグリーンシートとしては、
焼成による収縮開始温度が前記内部セラミック層用のグ
リーンシートよりも低いものがよい。ここで、前記保護
層用のグリーンシートとして前記内部セラミック層用の
グリーンシートよりも密度の高いグリーンシートを用い
れば、焼成による収縮開始温度を低くさせることができ
る。
As the green sheet for the protective layer,
It is preferable that the shrinkage start temperature by firing is lower than that of the green sheet for the internal ceramic layer. Here, if a green sheet having a higher density than that of the green sheet for the internal ceramic layer is used as the green sheet for the protective layer, the shrinkage initiation temperature due to firing can be lowered.

【0024】前記保護層用のグリーンシートを作成する
スラリーの粉砕・混合時間を前記内部セラミック層用の
グリーンシートを作成するスラリーの粉砕・混合時間よ
り長くすることにより密度の高いグリーンシート得るこ
とができる。
It is possible to obtain a dense green sheet by making the crushing / mixing time of the slurry for forming the green sheet for the protective layer longer than the crushing / mixing time of the slurry for forming the green sheet for the internal ceramic layer. it can.

【0025】また、前記保護層用のグリーンシートを作
成するスラリーを粉砕・混合するのに使用するメディア
の量を前記内部セラミック層用のグリーンシートを作成
するスラリーを粉砕・混合するのに使用するメディアの
量より多くすることによっても密度の高いグリーンシー
ト得ることができる。
Further, the amount of the medium used for pulverizing and mixing the slurry for forming the green sheet for the protective layer is used for pulverizing and mixing the slurry for forming the green sheet for the internal ceramic layer. A green sheet having a high density can be obtained by increasing the amount of the medium.

【0026】また、前記保護層用グリーンシートを積層
の前に予め圧縮させることによっても密度の高いグリー
ンシート得ることができる。
A high density green sheet can also be obtained by pre-compressing the protective layer green sheet before lamination.

【0027】前記保護層用グリーンシートに焼結助剤を
含有させても、焼成による収縮開始温度を低くさせるこ
とができる。前記焼結助剤としてはガラス成分となる液
相形成物質又は金属酸化物を使用することができる。
Even if the green sheet for the protective layer contains a sintering aid, the shrinkage initiation temperature by firing can be lowered. As the sintering aid, a liquid phase forming substance or a metal oxide which becomes a glass component can be used.

【0028】なお、これらの方法を組み合わせて、密度
の高い保護層用グリーンシートを製造しても良いことは
もちろんである。
It goes without saying that a green sheet for a protective layer having a high density may be manufactured by combining these methods.

【0029】次に、上述のようにして形成された積層物
を内部電極パターン毎に格子状に裁断して積層体チップ
とし、この積層体チップを1200〜1400℃で焼成
する。この焼成により、内部電極パターンは焼結して内
部電極となり、内部電極に挟まれた部分のグリーンシー
トは焼結して誘電体層となり、最外のグリーンシートは
焼結して保護層となる。
Next, the laminate formed as described above is cut into a lattice shape for each internal electrode pattern to obtain a laminate chip, and the laminate chip is fired at 1200 to 1400 ° C. By this firing, the internal electrode pattern is sintered to become an internal electrode, the green sheet between the internal electrodes is sintered to become a dielectric layer, and the outermost green sheet is sintered to become a protective layer. .

【0030】次に、この積層体チップの両端部に導電性
ペーストを各々塗布し、550℃程度の温度で焼き付け
て外部電極を形成させる。これによって、本発明に係る
積層セラミックコンデンサが形成される。
Next, a conductive paste is applied to both ends of this laminated chip and baked at a temperature of about 550 ° C. to form external electrodes. As a result, the monolithic ceramic capacitor according to the present invention is formed.

【0031】なお、上記のように積層体チップを焼成し
た後に外部電極を形成させるのではなく、積層体チップ
を焼成する前に積層体チップの両端部に導電性ペースト
を各々塗布しておき、積層体チップの焼成と同時に外部
電極を形成させてもよい。また、この発明は上記した積
層セラミックコンデンサに限定されるものではなく、積
層チップインダクタ、積層LC部品その他の積層セラミ
ック部品にも適用できるものである。
It should be noted that instead of forming the external electrodes after firing the laminated chip as described above, the conductive paste is applied to both ends of the laminated chip before firing the laminated chip, The external electrodes may be formed at the same time when the laminated chip is fired. The present invention is not limited to the above-mentioned multilayer ceramic capacitor, but can be applied to a multilayer chip inductor, a multilayer LC component and other multilayer ceramic components.

【0032】[0032]

【実施例】【Example】

実施例1 チタン酸バリウムを主成分とするセラミック原料粉末、
有機バインダ及び有機溶剤をジルコニアボールとともに
ボールミルに入れ、これらを24時間粉砕・混合させて
スラリーを作成し、このスラリーを、走行するPETフ
ィルム上にドクターブレード法で膜状に塗布し、乾燥さ
せて、誘電体層(内部セラミック層)用のグリーンシー
トを得た。この誘電体層用のグリーンシートの密度は
3.05g/cm3 であった。
Example 1 Ceramic raw material powder containing barium titanate as a main component,
An organic binder and an organic solvent are put in a ball mill together with zirconia balls, and these are crushed and mixed for 24 hours to prepare a slurry, and this slurry is applied in a film form on a running PET film by a doctor blade method and dried. A green sheet for the dielectric layer (internal ceramic layer) was obtained. The density of the green sheet for this dielectric layer was 3.05 g / cm 3 .

【0033】次に、上記と同一組成の原料とジルコニア
ボールとを、上記と同じ量、ボールミルに入れ、これら
を48時間粉砕・混合させてスラリーを得、このスラリ
ーを、走行するPETフィルム上にドクターブレード法
で膜状に塗布し、乾燥させて、保護層用のグリーンシー
トを得た。この保護層用のグリーンシートの密度は3.
20g/cm3 であった。
Next, the same amount of raw material and zirconia balls as described above were placed in a ball mill and crushed and mixed for 48 hours to obtain a slurry. This slurry was placed on a running PET film. A green sheet for a protective layer was obtained by applying a film by a doctor blade method and drying. The density of the green sheet for this protective layer is 3.
It was 20 g / cm 3 .

【0034】次に、誘電体層用のグリーンシートに内部
電極パターンを印刷し、この誘電体層用のグリーンシー
トを複数枚、内部電極パターンが誘電体層用のグリーン
シートを挟んで対向するように積層し、更にその上下面
に、保護層用のグリーンシートを数枚ずつ積層して積層
体を形成し、この積層体を100℃の下で上下方向から
400kgf/cm2 の圧力を加えて圧着させた。この
圧着させた積層体の誘電体層用のグリーンシートの密度
は3.60g/cm3 、保護層用のグリーンシートの密
度は3.80g/cm3 になっていた。
Next, an internal electrode pattern is printed on the dielectric layer green sheet, and a plurality of the dielectric layer green sheets are arranged so that the internal electrode patterns face each other with the dielectric layer green sheet interposed therebetween. And a plurality of green sheets for protective layers are laminated on each of the upper and lower surfaces to form a laminated body, and the laminated body is applied with a pressure of 400 kgf / cm 2 from below in 100 ° C. Crimped. Density of the green sheet for the dielectric layer of the crimped allowed laminates were 3.60 g / cm 3, the density of the green sheet for the protective layer had become 3.80 g / cm 3.

【0035】次に、この積層体を内部電極パターン毎に
格子状に裁断して、積層体チップを形成し、この積層体
チップを1250℃で焼成し、この焼成した積層体チッ
プの端部に導電性ペーストを焼き付けて外部電極を形成
させ、積層セラミックコンデンサを完成させた。
Next, the laminated body is cut into a grid shape for each internal electrode pattern to form a laminated body chip, and the laminated body chip is fired at 1250 ° C., and the end portion of the fired laminated body chip is cut. The conductive paste was baked to form external electrodes, thus completing the laminated ceramic capacitor.

【0036】次に、この積層セラミックコンデンサにつ
いてデラミネーションの発生数及び製品の変形量を調
べ、更に半田耐熱試験を行ったところ表1に示す通りで
あった。
Next, the number of occurrences of delamination and the amount of product deformation of this laminated ceramic capacitor were examined, and a solder heat resistance test was conducted. The results are shown in Table 1.

【0037】ここで、デラミネーションは、製品100
個を研磨してデラミネーションのある製品の個数を調
べ、製品の変形は、製品のL寸法方向の長さで、一番収
縮している部分L1 と、収縮していない部分L2 の差を
変形量とし(図2参照)、半田耐熱試験は、製品を予熱
なしに溶融した半田の中に3秒間浸漬したのち外観でク
ラックのある製品の個数を調べた。
Here, the delamination is the product 100.
The number of delaminated products is checked by polishing each product, and the product deformation is the difference between the most contracted part L 1 and the non-contracted part L 2 in the length of the product in the L dimension direction. In the solder heat resistance test, the number of products with cracks in appearance was examined after immersing the product in molten solder for 3 seconds without preheating.

【0038】実施例2 原料組成は実施例1と同じ、ジルコニアボールの量はセ
ラミック原料粉末の重量の2倍、粉砕・混合時間は24
時間という条件でスラリーを作成し、このスラリーを用
いて誘電体層用のグリーンシートを作成した。この誘電
体層用のグリーンシートの密度は3.05g/cm3
あった。
Example 2 The raw material composition was the same as in Example 1, the amount of zirconia balls was twice the weight of the ceramic raw material powder, and the crushing / mixing time was 24.
A slurry was prepared under the condition of time, and a green sheet for a dielectric layer was prepared using this slurry. The density of the green sheet for this dielectric layer was 3.05 g / cm 3 .

【0039】また、原料組成は実施例1と同じ、ジルコ
ニアボールの量はセラミック原料粉末の重量の4倍、粉
砕・混合時間は24時間という条件でスラリーを作成
し、このスラリーを用いて保護層用のグリーンシートを
得た。この保護層用のグリーンシートの密度は3.15
g/cm3 であった。
Further, the raw material composition was the same as in Example 1, the amount of zirconia balls was 4 times the weight of the ceramic raw material powder, and the slurry was prepared under the conditions that the crushing and mixing time was 24 hours, and the slurry was used to form the protective layer. I got a green sheet for. The density of the green sheet for this protective layer is 3.15.
It was g / cm 3 .

【0040】次に、誘電体層用のグリーンシートに内部
電極パターンを印刷し、この誘電体層用のグリーンシー
ト及び保護層用のグリーンシートを用いて積層体を形成
し、この積層体を100℃下で上下方向から400kg
f/cm2 の圧力を加えて圧着させた。この圧着させた
積層体の誘電体層用のグリーンシートの密度は3.60
g/cm3 、保護層用のグリーンシートの密度は3.7
0g/cm3 であった。
Next, an internal electrode pattern is printed on the green sheet for the dielectric layer, and the green sheet for the dielectric layer and the green sheet for the protective layer are used to form a laminated body. 400kg from below in ℃
A pressure of f / cm 2 was applied for pressure bonding. The density of the green sheet for the dielectric layer of the pressure-bonded laminated body is 3.60.
g / cm 3 , the density of the green sheet for the protective layer is 3.7
It was 0 g / cm 3 .

【0041】次に、この積層体を裁断して積層体チップ
とし、これを焼成して積層セラミックコンデンサを作成
し、この積層セラミックコンデンサについて、実施例1
と同様にして、デラミネーションの発生個数及び製品の
変形量を調べ、更に半田耐熱試験を行なったところ、表
1に示す通りとなった。
Next, this laminated body was cut into a laminated body chip, which was fired to prepare a laminated ceramic capacitor.
Similarly to the above, the number of delaminations and the amount of deformation of the product were examined, and a solder heat resistance test was conducted. The results are shown in Table 1.

【0042】実施例3 誘電体層用のグリーンシート(密度3.05g/cm
3 )を実施例1と同じ条件で作成した。また、この誘電
体層用のグリーンシートの何枚かを100℃下で400
kgf/cm2 の圧力をかけて圧縮し、密度3.55g
/cm3 の保護層用のグリーンシートを作成した。
Example 3 Green sheet for a dielectric layer (density 3.05 g / cm
3 ) was prepared under the same conditions as in Example 1. In addition, some of the green sheets for this dielectric layer are 400
Compressed by applying pressure of kgf / cm 2 , density 3.55g
A green sheet for a protective layer of / cm 3 was prepared.

【0043】次に、誘電体層用のグリーンシートに内部
電極パターンを印刷し、この誘電体層用のグリーンシー
ト及び保護層用のグリーンシートを用いて積層体を形成
し、この積層体を100℃下で上下方向から400kg
f/cm2 の圧力を加えて圧着させた。この圧着させた
積層体の誘電体層用のグリーンシートの密度は3.60
g/cm3 、保護層用のグリーンシートの密度は3.7
0g/cm3 であった。
Next, an internal electrode pattern is printed on the green sheet for the dielectric layer, a laminated body is formed using the green sheet for the dielectric layer and the green sheet for the protective layer, and this laminated body is formed into 100 layers. 400kg from below in ℃
A pressure of f / cm 2 was applied for pressure bonding. The density of the green sheet for the dielectric layer of the pressure-bonded laminated body is 3.60.
g / cm 3 , the density of the green sheet for the protective layer is 3.7
It was 0 g / cm 3 .

【0044】次に、この積層体を裁断して積層体チップ
とし、これを焼成して積層セラミックコンデンサを作成
し、この積層セラミックコンデンサについて、実施例1
と同様にして、デラミネーションの発生個数及び製品の
変形量を調べ、更に半田耐熱試験を行なったところ、表
1に示す通りとなった。
Next, this laminated body was cut into a laminated body chip, which was fired to prepare a laminated ceramic capacitor.
Similarly to the above, the number of delaminations and the amount of deformation of the product were examined, and a solder heat resistance test was conducted. The results are shown in Table 1.

【0045】実施例4 誘電体層用のグリーンシート(密度3.05g/cm
3 )を実施例1と同じ条件で作成した。また、セラミッ
ク粉末に対して0.5wt%のLi−Ca−Si−O系
の液相形成物質を添加したスラリーを用い、この誘電体
層用のグリーンシートを作成した場合と同様の条件で、
密度3.03g/cm3 の保護層用のグリーンシートを
作成した。
Example 4 Green sheet for a dielectric layer (density 3.05 g / cm
3 ) was prepared under the same conditions as in Example 1. Further, using a slurry obtained by adding 0.5 wt% of a Li-Ca-Si-O-based liquid phase forming substance to the ceramic powder, under the same conditions as when the green sheet for the dielectric layer was prepared,
A green sheet for a protective layer having a density of 3.03 g / cm 3 was prepared.

【0046】次に、誘電体層用のグリーンシートに内部
電極パターンを印刷し、この誘電体層用のグリーンシー
ト及び保護層用のグリーンシートを用いて積層体を形成
し、この積層体を100℃下で上下方向から400kg
f/cm2 の圧力を加えて圧着させた。この圧着させた
積層体の誘電体層用のグリーンシートの密度は3.55
g/cm3 、保護層用のグリーンシートの密度は3.5
0g/cm3 であった。
Next, an internal electrode pattern is printed on the green sheet for the dielectric layer, a laminated body is formed by using the green sheet for the dielectric layer and the green sheet for the protective layer, and the laminated body is formed into 100 layers. 400kg from below in ℃
A pressure of f / cm 2 was applied for pressure bonding. The density of the green sheet for the dielectric layer of the laminated body which is pressure-bonded is 3.55.
g / cm 3 , the density of the green sheet for the protective layer is 3.5
It was 0 g / cm 3 .

【0047】次に、この積層体を裁断して積層体チップ
とし、焼成して積層セラミックコンデンサを作成し、こ
の積層セラミックコンデンサについて、実施例1と同様
にして、デラミネーションの発生個数及び製品の変形量
を調べ、更に半田耐熱試験を行なったところ、表1に示
す通りとなった。
Next, this laminated body is cut into laminated body chips and fired to produce a laminated ceramic capacitor. The laminated ceramic capacitor is manufactured in the same manner as in Example 1, and the number of delaminations and the product When the amount of deformation was examined and a solder heat resistance test was further conducted, the results are shown in Table 1.

【0048】実施例5 誘電体層用のグリーンシート(密度3.05g/cm
3 )を実施例1と同じ条件で作成した。また、セラミッ
ク粉末に対して0.2wt%のTiO2 を焼結助剤とし
て添加したスラリーを用い、この誘電体層用のグリーン
シートを作成した場合と同様の条件で、密度3.05g
/cm3 の保護層用のグリーンシートを作成した。
Example 5 Green sheet for a dielectric layer (density 3.05 g / cm
3 ) was prepared under the same conditions as in Example 1. Also, using a slurry in which 0.2 wt% of TiO 2 was added to the ceramic powder as a sintering aid, the density was 3.05 g under the same conditions as when the green sheet for this dielectric layer was prepared.
A green sheet for a protective layer of / cm 3 was prepared.

【0049】次に、誘電体層用のグリーンシートに内部
電極パターンを印刷し、この誘電体層用のグリーンシー
ト及び保護層用のグリーンシートを用いて積層体を形成
し、この積層体を100℃下で上下方向から400kg
f/cm2 の圧力をかけて圧着させた。この圧着させた
積層体の誘電体層用のグリーンシートの密度は3.55
g/cm3 、保護層用のグリーンシートの密度は3.5
0g/cm3 であった。
Next, an internal electrode pattern is printed on the green sheet for the dielectric layer, a laminated body is formed using the green sheet for the dielectric layer and the green sheet for the protective layer, and this laminated body is formed into 100 layers. 400kg from below in ℃
A pressure of f / cm 2 was applied for pressure bonding. The density of the green sheet for the dielectric layer of the laminated body which is pressure-bonded is 3.55.
g / cm 3 , the density of the green sheet for the protective layer is 3.5
It was 0 g / cm 3 .

【0050】次に、この積層体を裁断して積層体チップ
とし、焼成して積層セラミックコンデンサを作成し、こ
の積層セラミックコンデンサについて、実施例1と同様
にして、デラミネーションの発生個数及び製品の変形量
を調べ、更に半田耐熱試験を行なったところ、表1に示
す通りとなった。
Next, this laminated body was cut into laminated body chips and fired to form a laminated ceramic capacitor. The laminated ceramic capacitor was processed in the same manner as in Example 1 to find the number of delaminations and the product. When the amount of deformation was examined and a solder heat resistance test was further conducted, the results are shown in Table 1.

【0051】比較例1 実施例1の誘電体層用のグリーンシート作成の条件と同
じ条件で密度3.05g/cm3 のグリーンシートを作
成し、このグリーンシートを誘電体層用のグリーンシー
ト及び保護層用のグリーンシートとした。
Comparative Example 1 A green sheet having a density of 3.05 g / cm 3 was prepared under the same conditions as the preparation of the green sheet for the dielectric layer of Example 1, and this green sheet was used as a green sheet for the dielectric layer. It was used as a green sheet for the protective layer.

【0052】次に、誘電体層用のグリーンシートに内部
電極パターンを印刷し、この誘電体層用のグリーンシー
ト及び保護層用のグリーンシートを用いて積層体を形成
し、この積層体を100℃で400kgf/cm2 の圧
力をかけて圧着させた。誘電体層用のグリーンシートの
密度は3.60g/cm3 、保護層用のグリーンシート
の密度は3.55g/cm3 であった。
Next, an internal electrode pattern is printed on the green sheet for the dielectric layer, and the green sheet for the dielectric layer and the green sheet for the protective layer are used to form a laminated body. A pressure of 400 kgf / cm 2 was applied at 0 ° C. to perform pressure bonding. The density of the green sheet for the dielectric layer was 3.60 g / cm 3 , and the density of the green sheet for the protective layer was 3.55 g / cm 3 .

【0053】次に、この積層体を裁断して積層体チップ
とし、焼成して積層セラミックコンデンサを作成し、こ
の積層セラミックコンデンサについて、実施例1と同様
にして、デラミネーションの発生個数及び製品の変形量
を調べ、更に半田耐熱試験を行なったところ、表1に示
す通りとなった。
Next, this laminated body was cut into laminated body chips and fired to produce a laminated ceramic capacitor. With respect to this laminated ceramic capacitor, the number of delaminations generated and the product When the amount of deformation was examined and a solder heat resistance test was further conducted, the results are shown in Table 1.

【0054】[0054]

【表1】[Table 1]

【0055】[0055]

【発明の効果】この発明によれば、誘電体層用のグリー
ンシートと保護層用のグリーンシートとで、焼成時の収
縮挙動の差が小さくなり、内部応力が緩和されるため、
デラミネーションの発生が抑制され、製品の変形が小さ
くなり、半田熱によるクラックの発生が抑制されるとい
う効果がある。
According to the present invention, the difference in shrinkage behavior during firing between the green sheet for the dielectric layer and the green sheet for the protective layer becomes small, and the internal stress is relieved.
This has the effects of suppressing the occurrence of delamination, reducing the deformation of the product, and suppressing the generation of cracks due to solder heat.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】一般的な積層セラミックコンデンサの断面図で
ある。
FIG. 1 is a sectional view of a general monolithic ceramic capacitor.

【図2】変形した積層セラミックコンデンサの断面図で
ある。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a modified monolithic ceramic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 誘電体層 4 内部電極 6 保護層 8 外部電極 2 Dielectric layer 4 Internal electrode 6 Protective layer 8 External electrode

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 内部セラミック層用のグリーンシートと
導電体層用の導電性ペースト膜とが交互に積層され、最
外層に一対の保護層用のグリーンシートが各々積層され
ている積層体チップを形成する工程と、この積層体チッ
プを焼成する工程とを少なくとも有する積層セラミック
部品の製造方法において、 前記保護層用のグリーンシートとして、前記焼成による
収縮開始温度が前記内部セラミック層用のグリーンシー
トよりも低いグリーンシートを用いたことを特徴とする
積層セラミック部品の製造方法。
1. A laminate chip in which green sheets for internal ceramic layers and conductive paste films for conductor layers are alternately laminated, and a pair of green sheets for protective layers are laminated as outermost layers. In the method for manufacturing a laminated ceramic component having at least a step of forming and a step of firing the multilayer chip, as a green sheet for the protective layer, a shrinkage start temperature due to the firing is higher than that of the green sheet for the internal ceramic layer. A method for manufacturing a laminated ceramic component, characterized in that a low green sheet is used.
【請求項2】 前記保護層用のグリーンシートとして、
前記内部セラミック層用のグリーンシートよりも密度の
高いグリーンシートを用いたことを特徴とする請求項1
に記載の積層セラミック部品の製造方法。
2. A green sheet for the protective layer,
2. A green sheet having a density higher than that of the green sheet for the internal ceramic layer is used.
A method for manufacturing the laminated ceramic component according to.
【請求項3】 前記保護層用のグリーンシートを作成す
るスラリーの粉砕・混合時間を前記内部セラミック層用
のグリーンシートを作成するスラリーの粉砕・混合時間
より長くしたことを特徴とする請求項2に記載の積層セ
ラミック部品の製造方法。
3. The crushing / mixing time of the slurry for forming the green sheet for the protective layer is longer than the crushing / mixing time of the slurry for forming the green sheet for the internal ceramic layer. A method for manufacturing the laminated ceramic component according to.
【請求項4】 前記保護層用のグリーンシートを作成す
るスラリーを粉砕・混合するのに使用する粉砕用メディ
アの量を前記内部セラミック層用のグリーンシートを作
成するスラリーを粉砕・混合するのに使用するメディア
の量より多くしたことを特徴とする請求項2又は3に記
載の積層セラミック部品の製造方法。
4. The amount of grinding media used to grind and mix the slurry to form the green sheet for the protective layer is to grind and mix the slurry to form the green sheet for the inner ceramic layer. The method for producing a laminated ceramic component according to claim 2 or 3, wherein the amount of the medium used is larger than that of the medium.
【請求項5】 前記保護層用のグリーンシートを予め圧
縮させたことを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記
載の積層セラミック部品の製造方法。
5. The method for manufacturing a laminated ceramic component according to claim 2, wherein the green sheet for the protective layer is pre-compressed.
【請求項6】 前記保護層用のグリーンシートに焼結助
剤を含有させたことを特徴とする請求項1〜5のいずれ
かに記載の積層セラミック部品の製造方法。
6. The method for producing a laminated ceramic component according to claim 1, wherein the green sheet for the protective layer contains a sintering aid.
【請求項7】 前記焼結助剤がガラス成分となる液相形
成物質であることを特徴とする請求項6に記載の積層セ
ラミック部品の製造方法。
7. The method for producing a laminated ceramic component according to claim 6, wherein the sintering aid is a liquid phase forming substance that becomes a glass component.
【請求項8】 前記焼結助剤が金属酸化物であることを
特徴とする請求項6に記載の積層セラミック部品の製造
方法。
8. The method for manufacturing a monolithic ceramic component according to claim 6, wherein the sintering aid is a metal oxide.
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