JPH10100083A - 工業用ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 消費電力を低減することができ、内部構造の
簡素化が図れ、部品点数も低減できる工業用ロボットを
提供する。 【解決手段】 基部が回転自在に設けられた第１アーム
１１と、第１アーム１１の先端部に基端部が回転自在に
設けられた第２アーム１２と、駆動力を発生させる駆動
モータ１８と、第１アーム１１のみを回動させる状態お
よび第１アーム１１を回動させるとともに第２アーム１
２を第１アーム１１に対して回動させる状態に駆動モー
タ１８の駆動力を切り換える切換機構２３，２４，３４
とを具備することにより、一つの駆動モータ１８で対応
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特に、消費電力の
低減、内部構造の簡素化および部品点数の低減を実現で
きる工業用ロボットに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造工程において、例えばウェ
ハーに成膜処理を行う工程では、ウェハーが格納される
カセット室と、ウェハーに成膜を行う成膜室と、これら
の間のロボットを有する搬送室とを具備する装置を用い
て、搬送室のロボットでカセット室からウェハーを取り
出し成膜室に設置し成膜室で成膜処理を行う方法が採用
されている。このような装置において採用されるロボッ
トとして、基部が鉛直軸回りに回転自在に設けられた第
１アームと、この第１アームの先端部に基端部が鉛直軸
回りに回転自在に設けられた第２アームと、この第２ア
ームの先端部に鉛直軸回りに回転自在に設けられたワー
ク支持部とを有するスカラ形のもので、一の駆動モータ
の駆動力で第１アームを回動させつつ第２アームを第１
アームに対して回動させてワーク支持部を一定姿勢で直
線的に前後進させるとともに、該一の駆動モータの駆動
力と他の駆動モータの駆動力とで第１アームのみを回動
させてワーク支持部の前後進の方向を換える構造のもの
が採用されている。このロボットは、ワーク支持部の前
進方向をカセット室方向に向けた状態で前記一の駆動モ
ータの駆動力で第１アームおよび第２アームを回動させ
ワーク支持部を前進させて該ワーク支持部によりカセッ
ト室のウェハーを取り出し、ワーク支持部を後退させた
状態でワーク支持部の移動方向を前記他の駆動モータの
駆動力で成膜室方向に向け、ワーク支持部を前進させて
成膜室にワーク支持部で支持したウェハーを載置させる
ようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように、第１アームのみを回動させる状態と、第１アー
ムを回動させるとともに第２アームを第１アームに対し
て回動させる状態とを、二つの駆動モータの駆動力の切
り換えで行う従来の工業用ロボットでは、駆動モータを
二つ有することから、消費電力が大きくなってしまう。
また、これに加えて、二つのモータを直列に並べると内
部構造が複雑になってしまうという問題が生じ、並列に
並べると部品点数が多くなってしまうという問題が生じ
てしまう。したがって、本発明の目的は、消費電力を低
減することができ、内部構造の簡素化が図れ、部品点数
も低減できる工業用ロボットを提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の工業用ロボットは、基部が回転自在に設け
られた第１アームと、該第１アームの先端部に基端部が
回転自在に設けられた第２アームと、駆動力を発生させ
る駆動モータと、前記第１アームのみを回動させる状態
と前記第１アームを回動させるとともに前記第２アーム
を第１アームに対して回動させる状態とに、前記駆動モ
ータの駆動力を切り換える切換機構と、を具備すること
を特徴としている。これにより、切換機構が、第１アー
ムのみを回動させる状態と第１アームを回動させるとと
もに第２アームを第１アームに対して回動させる状態と
に、駆動モータの駆動力を切り換えることになるため、
駆動モータが一つで済む。

【０００５】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を図１
〜図３を参照して以下に説明する。図１および図２は第
１の実施の形態のマニピュレータ（工業用ロボット）１
０の全体を示すもので、このマニピュレータ１０は、鉛
直軸回りに基端側が回転自在に設けられた第１アーム１
１と、この第１アーム１１の先端側に基端側が鉛直軸回
りに回転自在に設けられた第２アーム１２と、この第２
アーム１２の先端側に鉛直軸回りに回転自在に設けられ
たワーク支持部１３とを有している。

【０００６】マニピュレータ１０は、中空箱状のベース
１５を有しており、このベース１５内にはフランジ１６
が取り付けられている。フランジ１６の下側には、駆動
モータ１８が一つ、図３に示すように、回転軸１７を鉛
直に配置させかつフランジ１６から上方に突出させた状
態で取り付けられており、この駆動モータ１８の回転軸
１７の下側部分には、フランジ１６の上側に取り付けら
れた変速機１９が連結されている。変速機１９の出力側
となる上側には、下端が閉塞された段付円筒状のケース
２１が取り付けられており、該ケース２１は、駆動モー
タ１８の回転軸１７の回転が変速機１９で適宜変速され
て伝達されることで回転させられるもので、回転軸１７
と同軸に配置されている。

【０００７】駆動モータ１８の回転軸１７の上側部分は
ケース２１内に突出されており、この部分には、ケース
２１の下面部２１ａの内面に取り付けられた変速機２２
が連結されている。この変速機２２の出力側となる上側
には、電磁式のクラッチ（切換機構）２３が取り付けら
れている。また、ケース２１の上面部２１ｂの内面に
も、クラッチ２３と対向した状態で電磁式のクラッチ
（切換機構）２４が取り付けられている。

【０００８】ベース１５の上面部１５ａには、回転軸１
７と同軸に配置された円筒部１５ｃが設けられており、
該円筒部１５ｃの内側には上下のベアリング２６，２７
を介して円筒軸２８が回転軸１７と同軸をなして回転自
在に支持されている。この円筒軸２８は、前記支持状態
においてその上端部をベース１５の円筒部１５ｃより上
方に突出させており、また、その下端部がケース２１の
上端部の内側に嵌合状態で固定されている。なお、円筒
部１５ｃとベアリング２６，２７と円筒軸２８との間に
は、シール部材２９が設けられている。

【０００９】円筒軸２８の内側には、上下のベアリング
３１，３２を介して回転軸３３が、回転軸１７と同軸を
なして回転自在に支持されている。この回転軸３３は、
下側部分を円筒軸２８から突出させケース２１内に挿通
させており、その下端部には、フランジ部（切換機構）
３４がクラッチ２３およびクラッチ２４間に介在した状
態で取り付けられている。このフランジ部３４は、回転
軸３３に対し、軸線方向の移動が許容された状態で軸回
りの回転が規制されている。なお、円筒軸２８とベアリ
ング３１，３２と回転軸３３との間にも、シール部材３
５が設けられている。

【００１０】フランジ部３４は、クラッチ２３が励磁さ
れかつクラッチ２４が消磁された状態においては、クラ
ッチ２３に吸着されることにより、ケース２１とは切り
離された状態で変速機２２の出力側に接続固定され、他
方、クラッチ２３が消磁されかつクラッチ２４が励磁さ
れた状態においては、クラッチ２４に吸着されることに
より、変速機２２の出力側とは切り離された状態でケー
ス２１に接続固定されることになる。

【００１１】ここで、変速機２２と変速機１９の変速比
は、各々−１／Ｒ，（１＋Ｒ）／Ｒとなっており、変速
機１９の出力回転をｎとすると変速機２２の出力回転は
−ｎとなる。すなわち、クラッチ２３が励磁されかつク
ラッチ２４が消磁された状態においては、駆動モータ１
８の駆動力が変速機１９を介して伝達されて回転するケ
ース２１および円筒軸２８に対し、駆動モータ１８の駆
動に関わらず回転軸３３がベース１５に対し非回転状態
とされる。他方、クラッチ２３が消磁されかつクラッチ
２４が励磁された状態においては、駆動モータ１８の駆
動力が変速機１９を介して伝達されて回転するケース２
１および円筒軸２８と、回転軸３３とが一体に回転され
る。なお、同軸とされた、駆動モータ１８の回転軸１
７、ケース２１、円筒軸２８、回転軸３３等の回転中心
軸線をＡ軸とする。

【００１２】図２に示すように、円筒軸２８のベース１
５から上方に突出する上端部には、中空の第１アーム１
１が水平方向に延在するよう配置された状態でその基部
において固定されている。この第１アーム１１の先端側
には、軸線を鉛直に沿わせた状態で上面よりさらに上方
に突出する軸部材３７が下面内側に固定されている。

【００１３】また、円筒軸２８の内側に配置された回転
軸３３は、第１アーム１１内まで延出されており、その
上端部に、第１アーム１１内に収納された状態でプーリ
３８が同軸に固定されている。他方、第１アーム１１の
先端部の上面には、キャップ３９が取り付けられてお
り、該キャップ３９の内側にはベアリング４０およびシ
ール部材４１を介して、上述した軸部材３７と同軸をな
す円筒軸４３が上方に一部突出された状態で回転自在に
支持されている。この円筒軸４３の下端には、第１アー
ム１１内においてプーリ４４が同軸に固定されており、
プーリ３８およびプーリ４４にはベルト４５が巻き掛け
られている。

【００１４】なお、プーリ３８とプーリ４４との比は
２：１とされており、これによりプーリ３８の１回転に
対しプーリ４４が２回転することになる。ここで、同軸
とされた、円筒軸４３、プーリ４４および軸部材３７の
回転中心軸線をＢ軸とする。円筒軸４３の第１アーム１
１から上方に突出する上端部には、中空の第２アーム１
２が水平方向に延在するよう配置された状態でその基端
部において固定されている。

【００１５】また、円筒軸４３の内側に配置された軸部
材３７の上端は、第２アーム１２の内側まで延出されて
おり、第２アーム１２の内側に収納された状態でプーリ
４６が同軸に固定されている。他方、第２アーム１２の
先端側の上面には、キャップ４７が取り付けられてお
り、該キャップ４７の内側にはベアリング４８およびシ
ール部材４９を介して軸部材５０が、上方に一部突出さ
れた状態でしかも軸線を鉛直に沿わせた状態で回転自在
に支持されている。この軸部材５０の下端には、プーリ
５２が同軸をなして固定されており、このプーリ５２と
上記プーリ４６との間にはベルト５３が巻き掛けられて
いる。ここで、同軸とされた、軸部材５０およびプーリ
５２の回転中心軸線をＣ軸とする。

【００１６】なお、プーリ４６とプーリ５２との比は
１：２とされており、これによりプーリ４６の２回転に
対しプーリ５２が１回転することになる。ここで、Ａ軸
とＢ軸との間の距離と、Ｂ軸とＣ軸との間の距離とは等
しくされている。軸部材５０の第２アーム１２から上方
に突出する上端部には、ワーク支持部１３が水平方向に
延在するよう配置された状態で固定されている。

【００１７】次に、以上のような構成の第１の実施の形
態のマニピュレータ１０の作動について説明する。ま
ず、例えば、第１アーム１１と第２アーム１２との水平
方向における位置を一致させるよう重ね合わせ、Ａ軸と
Ｃ軸とを同軸とし、さらにワーク支持部１３をこれら第
１アーム１１および第２アーム１２に対し直交させその
先端部をこれらに対し反対側に位置させた初期状態か
ら、クラッチ２３を励磁しかつクラッチ２４を消磁し、
フランジ部３４が変速機２２の出力側に接続固定された
状態として、駆動モータ１８を所定の方向に回転させ
る。この駆動モータ１８の回転により、その回転が変速
機１９で変速され、ケース２１および円筒軸２８を介し
て第１アーム１１をＡ軸回りに回転させることになる。

【００１８】ここで、上記のように、クラッチ２３によ
り駆動モータ１８の駆動に関わらず回転軸３３がベース
１５に対し非回転状態すなわち停止状態とされているこ
とから、回転軸３３に固定されたプーリ３８も停止して
おり、この状態で第１アーム１１を上記のようにＡ軸回
りに回転させると、プーリ３８とプーリ４４との比は
２：１とされていることから、上記第１アーム１１の回
転で、プーリ４４および円筒軸４３すなわち第２アーム
１２がプーリ比に応じた２倍の角度、第１アーム１１の
回転方向に対し逆方向にＢ軸回りに回転することにな
る。

【００１９】すると、プーリ４６は第１アーム１１に固
定されており、該プーリ４７とプーリ５２との比は１：
２とされていることから、上記第２アーム１２の第１ア
ーム１１に対する回転で、プーリ５２および軸部材５０
すなわちワーク支持部１３が第２アーム１２に対しさら
に逆方向にプーリ比に応じた１／２倍の角度、第２アー
ム１２の回転方向に対し逆方向にＣ軸回りに回転するこ
とになる。これにより、連動する第１アーム１１と第２
アーム１２とが二等辺三角形をなした状態で第２アーム
１２の先端側すなわちワーク支持部１３が第１アーム１
１の基端の回転中心であるＡ軸から直線移動しつつ離間
することになり、しかもワーク支持部１３はこの直線移
動の軌跡に沿って常に長さ方向を一致させ先端部を前側
にして姿勢を一定させるよう回転することになる。

【００２０】以上では、ワーク支持部１３をＡ軸から離
間させる前進時を例にとり説明したが、勿論、ワーク支
持部１３が前進した状態から、駆動モータ１８の逆回転
で、該ワーク支持部１３を前記Ａ軸に近接させる後退時
は、上記とは全く逆に作動する。すなわち、ワーク支持
部１３をその先端部を後側として姿勢を一定させたまま
上記と同じ軌跡を上記とは逆方向に移動させることにな
る。

【００２１】そして、ワーク支持部１３の直線移動の方
向を変更する場合には、クラッチ２３を消磁しかつクラ
ッチ２４を励磁して、フランジ部３４をケース２１に接
続固定させた状態で、駆動モータ１８を所定の方向に回
転させる。この駆動モータ１８の回転により、その回転
が変速機１９で変速され、ケース２１および円筒軸２８
を介して第１アーム１１をＡ軸回りに回転させることに
なる。

【００２２】ここで、上記のように、クラッチ２４によ
りケース２１および円筒軸２８と回転軸３３とが、すな
わち第１アーム１１とプーリ３８とが一体にされている
ため、第２アーム１２が第１アーム１１に対し回転せず
ワーク支持部１３も第２アーム１２に対し回転せず、こ
れら第２アーム１２およびワーク支持部１３は、第１ア
ーム１１と一体的に回転して全体的に向きを変えること
になり、このようにしてワーク支持部１３を所望の直進
移動方向に向けさせる。

【００２３】以上に述べた第１の実施の形態のマニピュ
レータ１０によれば、クラッチ２３およびクラッチ２４
が、第２アーム１２を第１アーム１１に対し非回動状態
としワーク支持部１３を第２アーム１２に対し非回動状
態として、第１アーム１１のみをベース１５に対し回動
させる状態と、ベース１５に対し第１アーム１１を回動
させるとともに第２アーム１２を第１アーム１１に対し
て回動させ、さらにワーク支持部１３を第２アーム１２
に対し回転させてワーク支持部１３を直線移動させる状
態とに、駆動モータ１８の駆動力を切り換えることにな
るため、駆動モータ１８が一つで済む。

【００２４】したがって、消費電力を低減することがで
き、内部構造の簡素化が図れ、部品点数も低減でき、発
熱量も抑えることができる。加えて、駆動モータ１８が
一つで済むため、暴走および防爆対策も容易にでき、ま
た、ベース１５を小型化することもできることから、必
要なクリーン度、真空度を確保することに要する時間を
短縮することができ、ランニングコストが低減でき、生
産性を向上することができる。しかも、駆動モータ１
８、クラッチ２３、回転軸３３のフランジ部３４および
クラッチ２４を、第１アーム１１に固定される円筒軸２
８およびプーリ３８に固定される回転軸３３に対し直列
に配置しているため、ベース１５の水平方向における大
きさをさらにコンパクトにすることができる。

【００２５】次に、本発明の第２の実施の形態を図４を
参照して、第１の実施の形態との相違部分を中心に以下
に説明する。なお、第１の実施の形態と同様の部分には
同一の符号を付しその説明は略す。第２の実施の形態に
おいては、駆動モータ１８の回転軸１７は、変速機１９
のみに連結されており、該変速機１９の出力側に取り付
けられたケース２１には、側部に開口部５５が形成され
ている。

【００２６】そして、ベース１５には、ケース２１の開
口部５５から挿入されて回転軸３３のフランジ部３４の
下側に至る板状の延出部材５６が固定されている。この
延出部材５６の上面には摩擦係数の高い高摩擦部材５７
が貼付されており、この高摩擦部材５７に対向して、フ
ランジ部３４の下面にも高摩擦部材５８が貼付されてい
る。また、フランジ部３４の上面にも高摩擦部材５９が
貼付され、該高摩擦部材５９に対向してクラッチ２４に
も高摩擦部材６０が貼付されている。ここで、延出部材
５６およびケース２１の開口部５５の大きさおよび位置
は、第１アーム１１の回動の全範囲において、互いに干
渉せぬよう設定されている。

【００２７】このような構成の第２の実施の形態によれ
ば、クラッチ２４が励磁されてフランジ部３４がクラッ
チ２４に吸着固定された状態においては、円筒軸２８と
回転軸３３とが一体、すなわちプーリ３８と第１アーム
１１とが一体とされることにより、第１の実施の形態と
同様、第２アーム１２を第１アーム１１に対し非回動状
態としワーク支持部１３を第２アーム１２に対し非回動
状態として、第１アーム１１のみをベース１５に対し回
動させる状態となる。他方、クラッチ２４が消磁されて
フランジ部３４が自重により下がりその高摩擦部材５８
を延出部材５６の高摩擦部材５７に接触させた状態にお
いては、高摩擦部材５７，５８同士が発生させる摩擦力
により、フランジ部３４すなわち回転軸３３を延出部材
５６に対し停止させて、プーリ３８をベース１５に対し
非回転状態とすることになり、これにより、第１の実施
の形態と同様、ベース１５に対し第１アーム１１を回動
させるとともに第２アーム１２を第１アーム１１に対し
て回動させ、さらにワーク支持部１３を第２アーム１２
に対し回転させてワーク支持部１３を直線移動させる状
態となる。

【００２８】以上の第２の実施の形態によれば、第１の
実施の形態の奏する効果に加えて、さらに、変速機およ
びクラッチを減らすことができて、コストを低減できる
とともに、さらなる小型化が図れる。また、ケース２１
すなわち第１アーム１１の回転範囲をケース２１と延出
部材５６との干渉で制限することになるため、暴走を規
制することができる。なお、第２の実施の形態におい
て、延出部材５６にフランジ部３４を吸着させるクラッ
チを設けることも勿論可能である。

【００２９】次に、本発明の第３の実施の形態を図５を
参照して、第１の実施の形態との相違部分を中心に以下
に説明する。なお、第１の実施の形態と同様の部分には
同一の符号を付しその説明は略す。第３の実施の形態に
おいては、中空箱状のベース６２内に上下二カ所にフラ
ンジ６３，６４が取り付けられている。

【００３０】上側のフランジ６３の上側には、駆動モー
タ６６が一つ、回転軸６５を鉛直に配置させかつフラン
ジ６３から下方に突出させた状態で取り付けられてお
り、この駆動モータ６６の回転軸６５には、フランジ６
３の下側に取り付けられた変速機６７が連結されてい
る。変速機６７はその出力軸６８を回転軸６５と同軸を
なして下方に延在させており、該出力軸６８には、中間
位置にプーリ６９が同軸に固定され、該プーリ６９の下
側の端部にクラッチ（切換機構）７０が固定されてい
る。プーリ６９およびクラッチ７０は、駆動モータ６６
の回転軸６５の回転が変速機６７で適宜変速されて伝達
されることで一体に回転させられる。また、フランジ６
４の上面にも、クラッチ７０と対向した状態で電磁式の
クラッチ（切換機構）７２が取り付けられている。

【００３１】ベース６２の上面部６２ａおよび上側のフ
ランジ６３には、ベアリング７３，７４，を介して円筒
軸７５が回転自在に支持されており、該円筒軸７５の上
端部はベース６２から上方に突出され、この部分には、
中空の第１アーム１１が水平方向に延在するよう配置さ
れた状態でその基端側において固定されている。円筒軸
７５の下端部にはプーリ７６が同軸に固定されており、
このプーリ７６と上記したプーリ６９には、ベルト７７
が巻き掛けられて連結されている。なお、ベース６２の
上面部６２ａと上側のフランジ６３との間には、円筒軸
７５の外側を覆うように円筒部材７９が取り付けられて
おり、この円筒部材７９とベアリング７３，７４と円筒
軸７５との間には、シール部材８０が設けられている。

【００３２】円筒軸７５の内側には、上下のベアリング
８１，８２を介して回転軸８３が、同軸をなして回転自
在に支持されている。この回転軸８３は、中間部分をフ
ランジ６４に取り付けられたベアリング８４に、下端部
分をベース６２の下面部６２ｂに取り付けられたベアリ
ング８５にそれぞれ嵌合させており、よって、円筒軸７
５のベアリング８１，８２とともにこれらベアリング８
４，８５で回転自在に支持されている。この回転軸８３
には、フランジ６４とベース６２の下面部６２ｂとの間
の位置にプーリ８７が同軸に固定されている。なお、円
筒軸７５とベアリング８１，８２と回転軸８３との間に
は、シール部材８８が設けられている。なお、同軸とさ
れた、円筒軸７５および回転軸８３等の回転中心軸線が
Ａ軸となる。

【００３３】変速機６７の出力軸６８の下側には、ベー
ス６２の下面部６２ｂに取り付けられたベアリング８９
により回転軸９０が同軸をなして回転自在に支持されて
おり、この回転軸９０には、フランジ６４とベース６２
の下面部６２ｂとの間の位置にプーリ９１が同軸に固定
されている。プーリ９１およびプーリ８７には、ベルト
９２が巻き掛けられている。なお、これらプーリ９１と
プーリ８７との比は、上述したプーリ６９とプーリ７６
との比に等しくされている。

【００３４】回転軸９０の上端部には、フランジ部（切
換機構）９３がクラッチ７０およびクラッチ７２間に介
在した状態で取り付けられている。このフランジ部９３
は、回転軸９０に対し、軸線方向の移動が許容された状
態で軸回りの回転が規制されている。

【００３５】このフランジ部９３は、クラッチ７０が励
磁されかつクラッチ７２が消磁された状態においては、
クラッチ７０に吸着されることにより、変速機６７の出
力軸６８に接続固定され、他方、クラッチ７０が消磁さ
れかつクラッチ７２が励磁された状態においては、クラ
ッチ７２に吸着されることにより、変速機６７の出力軸
６８とは切り離された状態でフランジ６４に固定される
ことになる。なお、クラッチ７２の上面には摩擦係数の
高い高摩擦部材９４が貼付されており、この高摩擦部材
９４に対向して、フランジ部９３の下面にも高摩擦部材
９５が貼付されている。また、フランジ部９３の上面に
も高摩擦部材９６が貼付され、該高摩擦部材９６に対向
してクラッチ７０にも高摩擦部材９７が貼付されてい
る。

【００３６】このような構成の第３の実施の形態によれ
ば、クラッチ７０が励磁されかつクラッチ７２が消磁さ
れた状態においては、変速機６７の出力軸６８と回転軸
９０とが一体とされることになり、またプーリ９１とプ
ーリ８７との比がプーリ６９とプーリ７６との比に等し
くされていることから、円筒軸７５と回転軸８３とが一
体、すなわちプーリ３８と第１アーム１１とが一体とさ
れることになって、第１の実施の形態と同様、第２アー
ム１２を第１アーム１１に対し非回動状態とし、ワーク
支持部１３を第２アーム１２に対し非回動状態として、
第１アーム１１のみをベース１５に対し回動させる状態
となり、他方、クラッチ７０が消磁されかつクラッチ７
２が励磁された状態においては、変速機６７の出力軸６
８と回転軸９０とが切り離され、かつ回転軸９０がフラ
ンジ６４に固定されて、プーリ３８をベース１５に対し
非回転状態とすることになり、これにより、第１の実施
の形態と同様、ベース１５に対し第１アーム１１を回動
させるとともに第２アーム１２を第１アーム１１に対し
て回動させ、さらにワーク支持部１３を第２アーム１２
に対し回転させてワーク支持部１３を直線移動させる状
態となる。

【００３７】以上の第３の実施の形態によれば、第１の
実施の形態の奏する、駆動モータが一つで済むことによ
る効果に加えて、駆動モータ６６、クラッチ７０、回転
軸９０のフランジ部９３およびクラッチ７２を、第１ア
ーム１１に固定される円筒軸７５およびプーリ３８に固
定される回転軸８３に対し並列に配置しているため、ベ
ース６２の鉛直方向における大きさをコンパクトにする
ことができる。

【００３８】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の工業用ロ
ボットによれば、切換機構が、第１アームのみを回動さ
せる状態と第１アームを回動させるとともに第２アーム
を第１アームに対して回動させる状態とに、駆動モータ
の駆動力を切り換えることになるため、駆動モータが一
つで済む。したがって、消費電力を低減することがで
き、内部構造の簡素化が図れ、部品点数も低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の工業用ロボットの第１の実施の形態
を示す平面図である。

【図２】 本発明の工業用ロボットの第１の実施の形態
を示す側断面図である。

【図３】 本発明の工業用ロボットの第１の実施の形態
の要部を示す側断面図である。

【図４】 本発明の工業用ロボットの第２の実施の形態
の要部を示す側断面図である。

【図５】 本発明の工業用ロボットの第３の実施の形態
の要部を示す側断面図である。

【符号の説明】

１０ マニピュレータ １１ 第１アーム １２ 第２アーム １８ 駆動モータ ２３ クラッチ（切換機構） ２４ クラッチ（切換機構） ３４ フランジ部（切換機構） ６６ 駆動モータ ７０ クラッチ（切換機構） ７２ クラッチ（切換機構）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基部が回転自在に設けられた第１アーム
   と、 該第１アームの先端部に基端部が回転自在に設けられた
   第２アームと、 駆動力を発生させる駆動モータと、 前記第１アームのみを回動させる状態と前記第１アーム
   を回動させるとともに前記第２アームを第１アームに対
   して回動させる状態とに、前記駆動モータの駆動力を切
   り換える切換機構と、を具備することを特徴とする工業
   用ロボット。