JPH1010174A - 水晶振動子のci測定方法 - Google Patents
水晶振動子のci測定方法Info
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- JPH1010174A JPH1010174A JP16222096A JP16222096A JPH1010174A JP H1010174 A JPH1010174 A JP H1010174A JP 16222096 A JP16222096 A JP 16222096A JP 16222096 A JP16222096 A JP 16222096A JP H1010174 A JPH1010174 A JP H1010174A
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Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 広範囲の周波数またはCI値を有する様々な
水晶振動子対して、短時間で、簡易、高精度でCIの測
定を行うことのできる新しい水晶振動子のCI測定方法
を提供する。 【解決手段】 水晶振動子を、該水晶振動子の直列共振
周波数に極めて近い周波数で発進させることのできる水
晶発振回路を用い、該水晶発振回路において水晶振動子
のインピーダンスの絶対値を測定し、このインピーダン
スの絶対値を水晶振動子のCI値と見なすことによりC
I値を得る。
水晶振動子対して、短時間で、簡易、高精度でCIの測
定を行うことのできる新しい水晶振動子のCI測定方法
を提供する。 【解決手段】 水晶振動子を、該水晶振動子の直列共振
周波数に極めて近い周波数で発進させることのできる水
晶発振回路を用い、該水晶発振回路において水晶振動子
のインピーダンスの絶対値を測定し、このインピーダン
スの絶対値を水晶振動子のCI値と見なすことによりC
I値を得る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、水晶振動子のC
I測定方法に関するものである。さらに詳しくは、この
発明は、水晶振動子のパラメータの一つであるCIを、
定励振電圧、定励振電流、又は定励振電力を基にして、
電圧値または電流値として直読することにより、短時間
で、容易に、正確なCIの測定を行うことのできる新し
い水晶振動子のCI測定方法に関するものである。
I測定方法に関するものである。さらに詳しくは、この
発明は、水晶振動子のパラメータの一つであるCIを、
定励振電圧、定励振電流、又は定励振電力を基にして、
電圧値または電流値として直読することにより、短時間
で、容易に、正確なCIの測定を行うことのできる新し
い水晶振動子のCI測定方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術とその課題】従来より、水晶振動子のCI
の測定方法としては、抵抗置換法や自由振動法などが用
いられている。抵抗置換法は、被測定水晶振動子が自励
発振回路の帰還ループの中に組み込まれ、該水晶振動子
を完全な直列共振で励振させたときのインピーダンスと
して水晶振動子のCIを測定する方法である。
の測定方法としては、抵抗置換法や自由振動法などが用
いられている。抵抗置換法は、被測定水晶振動子が自励
発振回路の帰還ループの中に組み込まれ、該水晶振動子
を完全な直列共振で励振させたときのインピーダンスと
して水晶振動子のCIを測定する方法である。
【0003】しかしながら、この抵抗置換法では、発振
周波数の調整・設定を、被測定水晶振動子ごとに行わな
ければならず、さらにまた、その発振周波数が共振周波
数の約±10ppmからずれると、CIの測定精度が急
激に低下してしまうため、様々な水晶振動子のCIを正
確に測定するためには、非常に困難で時間のかかる操作
が必要であると言った問題があった。また、様々な発振
周波数の水晶振動子のCIを測定する場合においては、
周波数レンジの切り換え、励振レベルの設定など、非常
に複雑な操作が必要であるといった問題もあった。
周波数の調整・設定を、被測定水晶振動子ごとに行わな
ければならず、さらにまた、その発振周波数が共振周波
数の約±10ppmからずれると、CIの測定精度が急
激に低下してしまうため、様々な水晶振動子のCIを正
確に測定するためには、非常に困難で時間のかかる操作
が必要であると言った問題があった。また、様々な発振
周波数の水晶振動子のCIを測定する場合においては、
周波数レンジの切り換え、励振レベルの設定など、非常
に複雑な操作が必要であるといった問題もあった。
【0004】自由振動法は、先ず被測定水晶振動子を水
晶発振回路において何らかの方法により発振させてお
き、そのCIを測定する時点で、該水晶振動子を水晶発
振回路から切り離し、それまでの振動の余韻である減衰
振動の減衰時間を測定して、CIを推定する方法であ
る。しかしながら、この自由振動法では、当然従来の発
振周波数とは異なる周波数で発振しており、また励振レ
ベルも大きい値から減衰してくるため、通常の発振時の
CIとは異なったCIを測定していることとなり、正確
なCIを測定することはできないといった問題があっ
た。
晶発振回路において何らかの方法により発振させてお
き、そのCIを測定する時点で、該水晶振動子を水晶発
振回路から切り離し、それまでの振動の余韻である減衰
振動の減衰時間を測定して、CIを推定する方法であ
る。しかしながら、この自由振動法では、当然従来の発
振周波数とは異なる周波数で発振しており、また励振レ
ベルも大きい値から減衰してくるため、通常の発振時の
CIとは異なったCIを測定していることとなり、正確
なCIを測定することはできないといった問題があっ
た。
【0005】この様に、従来のCI測定方法では、短時
間で、簡易に、正確なCIの測定を行うことが非常に困
難であった。そこで、この発明は、以上のような従来技
術の欠点を解決するために創案されたものであって、広
範囲の周波数またはCI値を有する様々な水晶振動子に
対して、短時間で、簡易に、高精度でCIの測定を行う
ことのできる、新しい水晶振動子のCI測定方法を提供
することを目的としている。
間で、簡易に、正確なCIの測定を行うことが非常に困
難であった。そこで、この発明は、以上のような従来技
術の欠点を解決するために創案されたものであって、広
範囲の周波数またはCI値を有する様々な水晶振動子に
対して、短時間で、簡易に、高精度でCIの測定を行う
ことのできる、新しい水晶振動子のCI測定方法を提供
することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、水晶振動子のCI値の測定方法
であって、水晶振動子を、該水晶振動子の直列共振周波
数に極めて近い周波数で発振させることのできる水晶発
振回路を用い、該水晶発振回路において水晶振動子のイ
ンピーダンスの絶対値を測定し、このインピーダンスの
絶対値を水晶振動子のCI値と見なすことにより、CI
値を得ることを特徴とする水晶振動子のCI測定方法
(請求項1)を提供する。
を解決するものとして、水晶振動子のCI値の測定方法
であって、水晶振動子を、該水晶振動子の直列共振周波
数に極めて近い周波数で発振させることのできる水晶発
振回路を用い、該水晶発振回路において水晶振動子のイ
ンピーダンスの絶対値を測定し、このインピーダンスの
絶対値を水晶振動子のCI値と見なすことにより、CI
値を得ることを特徴とする水晶振動子のCI測定方法
(請求項1)を提供する。
【0007】また、この発明は、上記の測定方法におい
て、増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用いる
こと(請求項2)や、増幅回路が電流出力型である水晶
発振回路を用いること(請求項3)もその態様としてい
る。また、この発明は、上記の測定方法において、水晶
振動子の発振周波数に関わらず、定励振電圧、定励振電
流、または定励振電力により水晶振動子を発振させるた
めに、微分回路が一個または複数個組み込まれている水
晶発振回路を用いること(請求項4)もその好ましい態
様の一つとしている。
て、増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用いる
こと(請求項2)や、増幅回路が電流出力型である水晶
発振回路を用いること(請求項3)もその態様としてい
る。また、この発明は、上記の測定方法において、水晶
振動子の発振周波数に関わらず、定励振電圧、定励振電
流、または定励振電力により水晶振動子を発振させるた
めに、微分回路が一個または複数個組み込まれている水
晶発振回路を用いること(請求項4)もその好ましい態
様の一つとしている。
【0008】さらにまた、この発明は、上記の測定方法
において、水晶振動子のCIに関わらず、定励振電圧に
より水晶振動子を発振させるために、AGC回路が一個
または複数個組み込まれている水晶発振回路を用いるこ
と(請求項5)や、定励振電流により水晶振動子を発振
させるために、AGC回路が一個または複数個組み込ま
れている水晶発振回路を用いること(請求項6)や、定
励振電力により水晶振動子を発振させるために、AGC
回路が一個または複数個、乗算回路が一個、および除算
回路が一個組み込まれている水晶発振回路を用いること
(請求項7)や、定励振電力により水晶振動子を発振さ
せるために、AGC回路が一個または複数個、入力信号
の自乗に反比例する出力特性を持つ回路が一個、および
入力信号の自乗に比例する出力特性を持つ回路が一個組
み込まれている水晶発振回路を用いること(請求項8)
等もその好ましい態様としている。
において、水晶振動子のCIに関わらず、定励振電圧に
より水晶振動子を発振させるために、AGC回路が一個
または複数個組み込まれている水晶発振回路を用いるこ
と(請求項5)や、定励振電流により水晶振動子を発振
させるために、AGC回路が一個または複数個組み込ま
れている水晶発振回路を用いること(請求項6)や、定
励振電力により水晶振動子を発振させるために、AGC
回路が一個または複数個、乗算回路が一個、および除算
回路が一個組み込まれている水晶発振回路を用いること
(請求項7)や、定励振電力により水晶振動子を発振さ
せるために、AGC回路が一個または複数個、入力信号
の自乗に反比例する出力特性を持つ回路が一個、および
入力信号の自乗に比例する出力特性を持つ回路が一個組
み込まれている水晶発振回路を用いること(請求項8)
等もその好ましい態様としている。
【0009】
【発明の実施の形態】この発明の水晶振動子のCI測定
方法は、上記の通り、被測定水晶振動子を、その直列共
振周波数に極めて近い周波数、たとえば、水晶振動子の
インピーダンスの絶対値が直列抵抗の値に対して±10
%以内の偏差となる周波数、で発振させることのできる
水晶発振回路を用い、該水晶発振回路において水晶振動
子のインピーダンスの絶対値を測定し、そのインピーダ
ンスの絶対値を水晶振動子のCIの値と見なすことによ
り、CI値を得ることができる。
方法は、上記の通り、被測定水晶振動子を、その直列共
振周波数に極めて近い周波数、たとえば、水晶振動子の
インピーダンスの絶対値が直列抵抗の値に対して±10
%以内の偏差となる周波数、で発振させることのできる
水晶発振回路を用い、該水晶発振回路において水晶振動
子のインピーダンスの絶対値を測定し、そのインピーダ
ンスの絶対値を水晶振動子のCIの値と見なすことによ
り、CI値を得ることができる。
【0010】一般に、水晶振動子は、図1(a)に例示
した等価回路により表すことができる。この図1(a)
において、Leは等価インダクタンス、Ceは等価キャ
パシタンス、Reは等価抵抗、Coは振動子の電極間キ
ャパシタンスである。また、直列共振周波数に極めて近
い周波数で発振される水晶振動子は、図1(b)に例示
した等価回路により表すことができる。
した等価回路により表すことができる。この図1(a)
において、Leは等価インダクタンス、Ceは等価キャ
パシタンス、Reは等価抵抗、Coは振動子の電極間キ
ャパシタンスである。また、直列共振周波数に極めて近
い周波数で発振される水晶振動子は、図1(b)に例示
した等価回路により表すことができる。
【0011】この図1(b)において、水晶振動子のイ
ンピーダンスZxの絶対値は、
ンピーダンスZxの絶対値は、
【0012】
【数1】
【0013】となる。ここで、ωは水晶振動子の発振角
周波数である。この発明の測定方法では、式(1)によ
り示される水晶振動子のインピーダンスの絶対値を、水
晶振動子の抵抗Rxの近似値、つまりCIの近似値と見
なすことにより、水晶振動子のCIの値を得る。この水
晶振動子のインピーダンスの絶対値は、水晶振動子の発
振周波数がその直列共振周波数に近いほど、より精度の
高いRxの近似値となる。つまり、たとえば、水晶振動
子のインピーダンスの絶対値が直列抵抗の値に対して±
10%以内の偏差となれば、従来の測定方法により得ら
れるCIと比べ、非常に精度の高いCIを得ることがで
きる。
周波数である。この発明の測定方法では、式(1)によ
り示される水晶振動子のインピーダンスの絶対値を、水
晶振動子の抵抗Rxの近似値、つまりCIの近似値と見
なすことにより、水晶振動子のCIの値を得る。この水
晶振動子のインピーダンスの絶対値は、水晶振動子の発
振周波数がその直列共振周波数に近いほど、より精度の
高いRxの近似値となる。つまり、たとえば、水晶振動
子のインピーダンスの絶対値が直列抵抗の値に対して±
10%以内の偏差となれば、従来の測定方法により得ら
れるCIと比べ、非常に精度の高いCIを得ることがで
きる。
【0014】水晶振動子のインピーダンスの絶対値が直
列抵抗の値に対して±10%以内の偏差となるようにす
るためには、実際には、水晶振動子の発振角周波数が直
列共振角周波数と比べて約±10ppm以内の偏差とな
らなければならない。水晶振動子の発振角周波数を直列
共振角周波数と比較して約±10ppm以内の偏差に抑
えることのできる水晶発振回路としては、たとえば、図
2(a)に示したようなものとすることができる。
列抵抗の値に対して±10%以内の偏差となるようにす
るためには、実際には、水晶振動子の発振角周波数が直
列共振角周波数と比べて約±10ppm以内の偏差とな
らなければならない。水晶振動子の発振角周波数を直列
共振角周波数と比較して約±10ppm以内の偏差に抑
えることのできる水晶発振回路としては、たとえば、図
2(a)に示したようなものとすることができる。
【0015】この図2(a)は、電圧出力反転型増幅回
路を用いたコルピッツ型水晶発振回路を例示したもので
あり、増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路であ
る。この図2(a)において、−Avは増幅回路の交流
電圧増幅率、Q1は水晶振動子、R1は増幅回路の出力
側抵抗、C1は増幅回路の出力側キャパシタンス、R2
は増幅回路の入力側抵抗、C2は増幅回路の入力側キャ
パシタンス、foutは発振回路の出力端である。
路を用いたコルピッツ型水晶発振回路を例示したもので
あり、増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路であ
る。この図2(a)において、−Avは増幅回路の交流
電圧増幅率、Q1は水晶振動子、R1は増幅回路の出力
側抵抗、C1は増幅回路の出力側キャパシタンス、R2
は増幅回路の入力側抵抗、C2は増幅回路の入力側キャ
パシタンス、foutは発振回路の出力端である。
【0016】また、R2がC2のリアクタンスよりも非
常に大きい場合は、R2を無限大と見なすことができる
ために、図2(a)に示される水晶発振回路は、図2
(b)に例示したように、R2を省略して考えることが
できる。この図2(b)において、発振角周波数ωv
は、
常に大きい場合は、R2を無限大と見なすことができる
ために、図2(a)に示される水晶発振回路は、図2
(b)に例示したように、R2を省略して考えることが
できる。この図2(b)において、発振角周波数ωv
は、
【0017】
【数2】
【0018】となる。この式(2)において、
【0019】
【数3】
【0020】の項が、発振角周波数と直列共振角周波数
との偏差を表しており、これを上述のように±10pp
m以内にするためには、実際には、増幅回路の出力側キ
ャパシタンスC1及び入力側キャパシタンスC2を水晶
振動子のキャパシタンスCxと比較して105 〜106
にする必要がある。図2(b)に例示した水晶発振回路
は、C1及びC2をCxと比較して105 〜106 にす
ることができる。
との偏差を表しており、これを上述のように±10pp
m以内にするためには、実際には、増幅回路の出力側キ
ャパシタンスC1及び入力側キャパシタンスC2を水晶
振動子のキャパシタンスCxと比較して105 〜106
にする必要がある。図2(b)に例示した水晶発振回路
は、C1及びC2をCxと比較して105 〜106 にす
ることができる。
【0021】従って、増幅回路が電圧出力型である水晶
発振回路を用いることにより、発振角周波数と直列共振
角周波数との偏差を、たとえば±10ppm以内に抑え
ることができるために、水晶振動子のインピーダンスの
絶対値を正確に測定し、水晶振動子のCI値を高精度で
得ることができる。しかしながら、このような増幅回路
が電圧出力型である水晶発振回路では、水晶振動子の抵
抗Rxが増幅回路の出力側抵抗R1と比較して極端に大
きくなる、たとえば10倍以上となる場合では、発振角
周波数と直列共振角周波数との偏差を±10ppm以内
に抑えることができなくなる。
発振回路を用いることにより、発振角周波数と直列共振
角周波数との偏差を、たとえば±10ppm以内に抑え
ることができるために、水晶振動子のインピーダンスの
絶対値を正確に測定し、水晶振動子のCI値を高精度で
得ることができる。しかしながら、このような増幅回路
が電圧出力型である水晶発振回路では、水晶振動子の抵
抗Rxが増幅回路の出力側抵抗R1と比較して極端に大
きくなる、たとえば10倍以上となる場合では、発振角
周波数と直列共振角周波数との偏差を±10ppm以内
に抑えることができなくなる。
【0022】そこで、RxがR1と比較して極端に大き
い場合において水晶振動子の発振角周波数を直列共振角
周波数と比較して±10ppm以内の偏差に抑えること
のできる水晶発振回路としては、たとえば、図3(a)
に例示したように、増幅回路が電流出力型であるものと
することができる。この図3(a)は、電流出力反転型
増幅回路を用いたコルピッツ型水晶発振回路を例示した
ものであり、−gmは増幅回路の相互コンダクタンス、
Q1は水晶振動子、R1は増幅回路の出力側抵抗、C1
は増幅回路の出力側キャパシタンス、R2は増幅回路の
入力側抵抗、C2は増幅回路の入力側キャパシタンス、
foutは発振回路の出力端である。
い場合において水晶振動子の発振角周波数を直列共振角
周波数と比較して±10ppm以内の偏差に抑えること
のできる水晶発振回路としては、たとえば、図3(a)
に例示したように、増幅回路が電流出力型であるものと
することができる。この図3(a)は、電流出力反転型
増幅回路を用いたコルピッツ型水晶発振回路を例示した
ものであり、−gmは増幅回路の相互コンダクタンス、
Q1は水晶振動子、R1は増幅回路の出力側抵抗、C1
は増幅回路の出力側キャパシタンス、R2は増幅回路の
入力側抵抗、C2は増幅回路の入力側キャパシタンス、
foutは発振回路の出力端である。
【0023】また、図3(a)においてR2がC2のリ
アクタンスよりも非常に大きい場合は、R2を無限大と
見なすことができるために、この水晶発振回路は、図3
(b)に例示したように、R2を省略して考えることが
できる。この図3(b)において、発振角周波数ωi
は、
アクタンスよりも非常に大きい場合は、R2を無限大と
見なすことができるために、この水晶発振回路は、図3
(b)に例示したように、R2を省略して考えることが
できる。この図3(b)において、発振角周波数ωi
は、
【0024】
【数4】
【0025】となる。この式(4)において、
【0026】
【数5】
【0027】の項が、発振角周波数と直列共振角周波数
との偏差を表している。この項には、前述の増幅回路が
電圧出力型である水晶発振回路における式(3)と比べ
て分かるように、Rxが存在していない。つまり、増幅
回路が電流出力型である水晶発振回路においては、Rx
がR1に比べ極端に大きくなるような場合においても、
Rxの影響を受けずに水晶振動子の発振角周波数を直列
共振角周波数と比較して±10ppm以内の偏差に抑え
ることができ、よって、常に、水晶振動子のインピーダ
ンスの絶対値を正確に測定して、水晶振動子のCI値を
高精度で得ることができる。
との偏差を表している。この項には、前述の増幅回路が
電圧出力型である水晶発振回路における式(3)と比べ
て分かるように、Rxが存在していない。つまり、増幅
回路が電流出力型である水晶発振回路においては、Rx
がR1に比べ極端に大きくなるような場合においても、
Rxの影響を受けずに水晶振動子の発振角周波数を直列
共振角周波数と比較して±10ppm以内の偏差に抑え
ることができ、よって、常に、水晶振動子のインピーダ
ンスの絶対値を正確に測定して、水晶振動子のCI値を
高精度で得ることができる。
【0028】増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路
は、Rx、つまりCIが極端に大きくなるような場合で
は発振角周波数と直列共振角周波数との偏差を±10p
pm以内に抑えることができないものの、Rxの値が通
常の範囲内である場合では何ら問題なくCI値を高精度
で測定することができ、また、増幅回路が電流出力型で
ある水晶発振回路よりも簡易な回路構成となるために測
定装置全体の小型化を図ることができるため、Rxの値
が小さい場合におけるCI測定には、回路構成が簡易
な、増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用いて
もよい。
は、Rx、つまりCIが極端に大きくなるような場合で
は発振角周波数と直列共振角周波数との偏差を±10p
pm以内に抑えることができないものの、Rxの値が通
常の範囲内である場合では何ら問題なくCI値を高精度
で測定することができ、また、増幅回路が電流出力型で
ある水晶発振回路よりも簡易な回路構成となるために測
定装置全体の小型化を図ることができるため、Rxの値
が小さい場合におけるCI測定には、回路構成が簡易
な、増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用いて
もよい。
【0029】このように、この発明の測定方法では、増
幅回路が電流出力型もしくは電圧出力型であり、被測定
水晶振動子をその直列共振周波数に極めて近い周波数で
発振させることのできる水晶発振回路を用いることによ
り、該水晶発振回路において水晶振動子のインピーダン
スの絶対値を簡易に正確に測定し、よってCIを高精度
で簡易に得ることができる。
幅回路が電流出力型もしくは電圧出力型であり、被測定
水晶振動子をその直列共振周波数に極めて近い周波数で
発振させることのできる水晶発振回路を用いることによ
り、該水晶発振回路において水晶振動子のインピーダン
スの絶対値を簡易に正確に測定し、よってCIを高精度
で簡易に得ることができる。
【0030】実際には、このような水晶発振回路を用い
た水晶振動子のインピーダンスの絶対値を測定するため
の測定回路、つまりCIの測定回路としては、たとえ
ば、図4(a)(b)、図5、図6、図7に例示したよ
うなものとすることができる。図4(a)は、増幅回路
が電圧出力型であり、水晶振動子の励振を定電圧駆動す
ることのできるCI測定回路を例示したものであり、定
電圧駆動、つまり水晶振動子の両端に印加される励振電
圧を一定に保ち、定励振電圧により水晶振動子を発振さ
せるために、微分回路とAGC増幅回路とがそれぞれ一
個、組み込まれている。
た水晶振動子のインピーダンスの絶対値を測定するため
の測定回路、つまりCIの測定回路としては、たとえ
ば、図4(a)(b)、図5、図6、図7に例示したよ
うなものとすることができる。図4(a)は、増幅回路
が電圧出力型であり、水晶振動子の励振を定電圧駆動す
ることのできるCI測定回路を例示したものであり、定
電圧駆動、つまり水晶振動子の両端に印加される励振電
圧を一定に保ち、定励振電圧により水晶振動子を発振さ
せるために、微分回路とAGC増幅回路とがそれぞれ一
個、組み込まれている。
【0031】この図4(a)において、水晶振動子Q1
の励振電圧vqは、交流増幅回路Av2により交流増幅
された後、整流回路Rec2により整流されて、励振電
圧vqに比例した直流電圧Vqとなる。この直流電圧V
qは、差動型直流増幅回路AVにより、電圧値設定用ボ
リュームVR1によって設定される励振電圧設定値VV
と比較増幅されて、直流電圧VAGCとなり、入力直流
電圧VAGCによってゲイン可変であるAGC増幅回路
Gvを制御する。これにより直流電圧Vqが励振電圧設
定値VVと常に等しくなるため、Rxの値が通常の範囲
内である場合においては、Rxの値に影響されずに、励
振電圧vqは常に一定値となるように制御される。これ
により、水晶振動子を、そのCI値に関わらずに、無調
整で定励振電圧により発振させることができる。また、
増幅回路の入力側キャパシタンスC2の両端に印加され
る電圧viは、交流増幅回路AV1により交流増幅され
た後、微分回路Diにより周波数補正され、そして整流
回路Rec1により整流されて、水晶振動子のCIに反
比例した直流電圧V(1/CI)となる。微分回路Di
による周波数補正を施すことにより、水晶振動子の発振
角周波数ωの大小に関わらず、同一測定回路において任
意の周波数の水晶振動子のCIを無調整で測定すること
ができる。
の励振電圧vqは、交流増幅回路Av2により交流増幅
された後、整流回路Rec2により整流されて、励振電
圧vqに比例した直流電圧Vqとなる。この直流電圧V
qは、差動型直流増幅回路AVにより、電圧値設定用ボ
リュームVR1によって設定される励振電圧設定値VV
と比較増幅されて、直流電圧VAGCとなり、入力直流
電圧VAGCによってゲイン可変であるAGC増幅回路
Gvを制御する。これにより直流電圧Vqが励振電圧設
定値VVと常に等しくなるため、Rxの値が通常の範囲
内である場合においては、Rxの値に影響されずに、励
振電圧vqは常に一定値となるように制御される。これ
により、水晶振動子を、そのCI値に関わらずに、無調
整で定励振電圧により発振させることができる。また、
増幅回路の入力側キャパシタンスC2の両端に印加され
る電圧viは、交流増幅回路AV1により交流増幅され
た後、微分回路Diにより周波数補正され、そして整流
回路Rec1により整流されて、水晶振動子のCIに反
比例した直流電圧V(1/CI)となる。微分回路Di
による周波数補正を施すことにより、水晶振動子の発振
角周波数ωの大小に関わらず、同一測定回路において任
意の周波数の水晶振動子のCIを無調整で測定すること
ができる。
【0032】このようなCI測定回路においては、
【0033】
【数6】
【0034】が成立する。この式においてaは定数であ
る。すなわち、図4(a)に示したCI測定回路を用い
ることにより、Rxに反比例した電圧値としてV(1/
CI)が測定され、このV(1/CI)からRx値、つ
まりCI値を簡便正確に得ることができる。また、この
水晶振動子のCI測定回路においては、水晶振動子の励
振電圧として、図4(a)のCI測定回路における水晶
振動子Q1の励振電圧vqの代わりに、たとえば、図4
(b)に例示したように、励振電圧vqの近似電圧であ
るvq’を用いても良い。この場合のCI測定回路は、
その回路構成が図4(a)のCI測定回路の回路構成と
比べて簡易なものとなるという利点がある。
る。すなわち、図4(a)に示したCI測定回路を用い
ることにより、Rxに反比例した電圧値としてV(1/
CI)が測定され、このV(1/CI)からRx値、つ
まりCI値を簡便正確に得ることができる。また、この
水晶振動子のCI測定回路においては、水晶振動子の励
振電圧として、図4(a)のCI測定回路における水晶
振動子Q1の励振電圧vqの代わりに、たとえば、図4
(b)に例示したように、励振電圧vqの近似電圧であ
るvq’を用いても良い。この場合のCI測定回路は、
その回路構成が図4(a)のCI測定回路の回路構成と
比べて簡易なものとなるという利点がある。
【0035】図5は、増幅回路が電圧出力型であり、水
晶振動子の励振を定電流駆動することのできるCI測定
回路を例示したものであり、定電流駆動、つまり水晶振
動子を流れる励振電流を一定に保ち、定励振電流により
水晶振動子を発振させるために、微分回路とAGC増幅
回路とがそれぞれ一個、組み込まれている。この図5に
おいて、水晶振動子Q1の励振電圧vqは、交流増幅回
路Av2により交流増幅された後、整流回路Rec2に
より整流されて、水晶振動子のCIに比例した直流電圧
VCIとなる。また、増幅回路の入力側キャパシタンス
C2の両端に印加される電圧viは、交流増幅回路AV
1により交流増幅された後、微分回路Diにより周波数
補正が施され、そして整流回路Rec1により整流され
て、水晶振動子を流れる励振電流に比例した直流電圧V
iとなる。この直流電圧Viは、差動型直流増幅回路A
Vにより、電流値設定用ボリュームVR1によって設定
される励振電流設定値VIと比較増幅されて、直流電圧
VAGCとなり、入力直流電圧VAGCによってゲイン
可変であるAGC増幅回路Gvを制御する。これにより
直流電圧Viが励振電流設定値VIと常に等しくなるた
め、電圧viは常に一定値となるように制御され、これ
により、水晶振動子を、そのCI値の大小に関わらず
に、無調整で常に一定の励振電流により発振させること
ができる。
晶振動子の励振を定電流駆動することのできるCI測定
回路を例示したものであり、定電流駆動、つまり水晶振
動子を流れる励振電流を一定に保ち、定励振電流により
水晶振動子を発振させるために、微分回路とAGC増幅
回路とがそれぞれ一個、組み込まれている。この図5に
おいて、水晶振動子Q1の励振電圧vqは、交流増幅回
路Av2により交流増幅された後、整流回路Rec2に
より整流されて、水晶振動子のCIに比例した直流電圧
VCIとなる。また、増幅回路の入力側キャパシタンス
C2の両端に印加される電圧viは、交流増幅回路AV
1により交流増幅された後、微分回路Diにより周波数
補正が施され、そして整流回路Rec1により整流され
て、水晶振動子を流れる励振電流に比例した直流電圧V
iとなる。この直流電圧Viは、差動型直流増幅回路A
Vにより、電流値設定用ボリュームVR1によって設定
される励振電流設定値VIと比較増幅されて、直流電圧
VAGCとなり、入力直流電圧VAGCによってゲイン
可変であるAGC増幅回路Gvを制御する。これにより
直流電圧Viが励振電流設定値VIと常に等しくなるた
め、電圧viは常に一定値となるように制御され、これ
により、水晶振動子を、そのCI値の大小に関わらず
に、無調整で常に一定の励振電流により発振させること
ができる。
【0036】このようなCI測定回路においては、
【0037】
【数7】
【0038】が成立する。この式においてbは定数であ
る。すなわち、図5に示したCI測定回路を用いること
により、Rxに比例した電圧値としてVCIが測定さ
れ、このVCIからRx値、つまりCI値を簡便正確に
得ることができる。また、この水晶振動子のCI測定回
路においては、水晶振動子の励振電圧として、図4
(b)のCI測定回路と同様に、図5のCI測定回路に
おける水晶振動子Q1の励振電圧vqの代わりに、たと
えば、励振電圧vqの近似電圧であるvq’を用いても
良い。この場合のCI測定回路は、その回路構成が図5
のCI測定回路の回路構成と比べて簡単なものとなると
いう利点がある。
る。すなわち、図5に示したCI測定回路を用いること
により、Rxに比例した電圧値としてVCIが測定さ
れ、このVCIからRx値、つまりCI値を簡便正確に
得ることができる。また、この水晶振動子のCI測定回
路においては、水晶振動子の励振電圧として、図4
(b)のCI測定回路と同様に、図5のCI測定回路に
おける水晶振動子Q1の励振電圧vqの代わりに、たと
えば、励振電圧vqの近似電圧であるvq’を用いても
良い。この場合のCI測定回路は、その回路構成が図5
のCI測定回路の回路構成と比べて簡単なものとなると
いう利点がある。
【0039】図6は、増幅回路が電圧出力型であり、水
晶振動子の励振を定電力駆動することのできるCI測定
回路を例示したものであり、定電力駆動、つまり水晶振
動子の励振電力を一定に保ち、定励振電力により水晶振
動子を発振させるために、微分回路、AGC増幅回路、
乗算回路、および除算回路が、それぞれ一個、組み込ま
れている。
晶振動子の励振を定電力駆動することのできるCI測定
回路を例示したものであり、定電力駆動、つまり水晶振
動子の励振電力を一定に保ち、定励振電力により水晶振
動子を発振させるために、微分回路、AGC増幅回路、
乗算回路、および除算回路が、それぞれ一個、組み込ま
れている。
【0040】この図6において、水晶振動子Q1の励振
電圧vqは、交流増幅回路Av2により交流増幅された
後、整流回路Rec2により整流されて、励振電圧vq
に比例した直流電圧Vvとなる。また、増幅回路の入力
側キャパシタンスC2の両端に印加される電圧viは、
交流増幅回路AV1により交流増幅された後、微分回路
Diにより周波数補正され、そして整流回路Rec1に
より整流されて、水晶振動子を流れる励振電流に比例し
た直流電圧Viとなる。直流電圧VvとViとは、乗算
回路Mulにより掛け合わされ、水晶振動子の励振電力
に比例した直流電圧Vpとなる。この直流電圧Vpは、
差動型直流増幅回路AVにより、電力値設定用ボリュー
ムVR1によって設定される励振電力設定値VPと比較
増幅されて、直流電圧VAGCとなり、入力直流電圧V
AGCによってゲイン可変であるAGC増幅回路Gvを
制御する。これにより直流電圧Vpが励振電力設定値V
Pと常に等しくなるため、水晶振動子の励振電圧vqと
電圧viとを掛け合わせた数値、すなわち水晶振動子の
励振電力に比例した数値は、常に一定値となるように制
御される。これにより、水晶振動子を、そのCI値の大
小に関わらずに、無調整で常に一定の励振電力により発
振させることができる。また、直流電圧Vvは、除算回
路Devにより直流電圧Viで除算され、水晶振動子の
CIに比例した直流電圧VCIとなる。
電圧vqは、交流増幅回路Av2により交流増幅された
後、整流回路Rec2により整流されて、励振電圧vq
に比例した直流電圧Vvとなる。また、増幅回路の入力
側キャパシタンスC2の両端に印加される電圧viは、
交流増幅回路AV1により交流増幅された後、微分回路
Diにより周波数補正され、そして整流回路Rec1に
より整流されて、水晶振動子を流れる励振電流に比例し
た直流電圧Viとなる。直流電圧VvとViとは、乗算
回路Mulにより掛け合わされ、水晶振動子の励振電力
に比例した直流電圧Vpとなる。この直流電圧Vpは、
差動型直流増幅回路AVにより、電力値設定用ボリュー
ムVR1によって設定される励振電力設定値VPと比較
増幅されて、直流電圧VAGCとなり、入力直流電圧V
AGCによってゲイン可変であるAGC増幅回路Gvを
制御する。これにより直流電圧Vpが励振電力設定値V
Pと常に等しくなるため、水晶振動子の励振電圧vqと
電圧viとを掛け合わせた数値、すなわち水晶振動子の
励振電力に比例した数値は、常に一定値となるように制
御される。これにより、水晶振動子を、そのCI値の大
小に関わらずに、無調整で常に一定の励振電力により発
振させることができる。また、直流電圧Vvは、除算回
路Devにより直流電圧Viで除算され、水晶振動子の
CIに比例した直流電圧VCIとなる。
【0041】このような図6に示したCI測定回路にお
いては、
いては、
【0042】
【数8】
【0043】が成立する。この式においてcは定数であ
る。すなわち、図6に示したCI測定回路を用いること
により、Rxに比例した電圧値としてVCIが測定さ
れ、このVCIからRx値、つまりCI値を簡便正確に
得ることができる。また、この水晶振動子のCI測定回
路においては、水晶振動子の励振電圧として、図4
(b)のCI測定回路と同様に、図6のCI測定回路に
おける水晶振動子Q1の励振電圧vqの代わりに、たと
えば、励振電圧vqの近似電圧であるvq’を用いても
良い。この場合のCI測定回路は、その回路構成が図6
のCI測定回路の回路構成と比べて簡単なものとなると
いう利点がある。
る。すなわち、図6に示したCI測定回路を用いること
により、Rxに比例した電圧値としてVCIが測定さ
れ、このVCIからRx値、つまりCI値を簡便正確に
得ることができる。また、この水晶振動子のCI測定回
路においては、水晶振動子の励振電圧として、図4
(b)のCI測定回路と同様に、図6のCI測定回路に
おける水晶振動子Q1の励振電圧vqの代わりに、たと
えば、励振電圧vqの近似電圧であるvq’を用いても
良い。この場合のCI測定回路は、その回路構成が図6
のCI測定回路の回路構成と比べて簡単なものとなると
いう利点がある。
【0044】また、図6に示したCI測定回路において
は、乗算回路と除算回路はアナログ方式のものである
が、マイクロコンピュータなどを用いたプログラム方式
の乗算器および除算器を測定回路に組み込んでもよい。
図7は、増幅回路が電圧出力型であり、水晶振動子の励
振を定電力駆動することのできるCI測定回路を例示し
たものであり、定電力駆動、つまり水晶振動子の励振電
力を一定に保ち、定励振電力により水晶振動子を発振さ
せるために、微分回路、AGC増幅回路、入力信号の自
乗に反比例した出力特性を持つ回路、および入力信号の
自乗に比例した出力特性を持つ回路が、それぞれ一個、
組み込まれている。
は、乗算回路と除算回路はアナログ方式のものである
が、マイクロコンピュータなどを用いたプログラム方式
の乗算器および除算器を測定回路に組み込んでもよい。
図7は、増幅回路が電圧出力型であり、水晶振動子の励
振を定電力駆動することのできるCI測定回路を例示し
たものであり、定電力駆動、つまり水晶振動子の励振電
力を一定に保ち、定励振電力により水晶振動子を発振さ
せるために、微分回路、AGC増幅回路、入力信号の自
乗に反比例した出力特性を持つ回路、および入力信号の
自乗に比例した出力特性を持つ回路が、それぞれ一個、
組み込まれている。
【0045】この図7において、増幅回路の入力側キャ
パシタンスC2の両端に印加される電圧viは、交流増
幅回路AV1により交流増幅された後、微分回路Diに
より周波数補正され、そして整流回路Rec1により整
流されて、水晶振動子を流れる励振電流に比例した直流
電圧Viとなる。この直流電圧Viは、入力信号の自乗
に反比例した出力特性を持つ、たとえばアンチログ回路
などのような回路1/S2 により、入力信号である直流
電圧Viの自乗の値Vi2 に反比例した直流電圧VAG
Cに変換され、入力直流電圧VAGCによってゲイン可
変であるAGC増幅回路Gvを制御する。これにより水
晶振動子の励振電力は、常に一定値となるように制御さ
れる。また、水晶振動子が定電力で励振されている場
合、水晶振動子のRxは該水晶振動子の励振電圧vqの
自乗に比例するため、励振電圧vqを交流増幅回路Av
2により交流増幅した後、整流回路Rec2により整流
して、直流電圧Vvとし、さらに入力信号の自乗に比例
した出力特性を持つ、たとえばアンチログ回路などのよ
うな回路S2 により、入力信号である直流電圧Vvの自
乗の値Vv2 に比例した直流電圧VCIに変換する。
パシタンスC2の両端に印加される電圧viは、交流増
幅回路AV1により交流増幅された後、微分回路Diに
より周波数補正され、そして整流回路Rec1により整
流されて、水晶振動子を流れる励振電流に比例した直流
電圧Viとなる。この直流電圧Viは、入力信号の自乗
に反比例した出力特性を持つ、たとえばアンチログ回路
などのような回路1/S2 により、入力信号である直流
電圧Viの自乗の値Vi2 に反比例した直流電圧VAG
Cに変換され、入力直流電圧VAGCによってゲイン可
変であるAGC増幅回路Gvを制御する。これにより水
晶振動子の励振電力は、常に一定値となるように制御さ
れる。また、水晶振動子が定電力で励振されている場
合、水晶振動子のRxは該水晶振動子の励振電圧vqの
自乗に比例するため、励振電圧vqを交流増幅回路Av
2により交流増幅した後、整流回路Rec2により整流
して、直流電圧Vvとし、さらに入力信号の自乗に比例
した出力特性を持つ、たとえばアンチログ回路などのよ
うな回路S2 により、入力信号である直流電圧Vvの自
乗の値Vv2 に比例した直流電圧VCIに変換する。
【0046】このような図7に示したCI測定回路にお
いては、
いては、
【0047】
【数9】
【0048】が成立する。この式においてdは定数であ
る。すなわち、図7に示したCI測定回路を用いること
により、Rxに比例した電圧値としてVCIが測定さ
れ、このVCIからRx値、つまりCI値を簡便正確に
得ることができる。また、この水晶振動子のCI測定回
路においては、水晶振動子の励振電圧として、図4
(b)のCI測定回路と同様に、図7のCI測定回路に
おける水晶振動子Q1の励振電圧vqの代わりに、たと
えば、励振電圧vqの近似電圧であるvq’を用いても
良い。この場合のCI測定回路は、その回路構成が図7
のCI測定回路の回路構成と比べて簡単なものとなると
いう利点がある。
る。すなわち、図7に示したCI測定回路を用いること
により、Rxに比例した電圧値としてVCIが測定さ
れ、このVCIからRx値、つまりCI値を簡便正確に
得ることができる。また、この水晶振動子のCI測定回
路においては、水晶振動子の励振電圧として、図4
(b)のCI測定回路と同様に、図7のCI測定回路に
おける水晶振動子Q1の励振電圧vqの代わりに、たと
えば、励振電圧vqの近似電圧であるvq’を用いても
良い。この場合のCI測定回路は、その回路構成が図7
のCI測定回路の回路構成と比べて簡単なものとなると
いう利点がある。
【0049】また、図4、図5、図6、図7に示したC
I測定回路はすべて、増幅回路が電圧出力型である水晶
発振回路を用いたものであるが、増幅回路が電流出力型
である水晶発振回路を用いたCI測定回路でも、同様に
して、CIの測定を簡便に精度良く行うことができるこ
とは言うまでもない。前述のように、増幅回路が電流出
力型である水晶発振回路を用いたCI測定回路は、増幅
回路が電圧出力型である水晶発振回路よりも回路構成が
若干複雑なものとなってしまうものの、RxがR1と比
較して極端に大きくなるような場合でも、Rxの値の影
響を受けずに、CI測定を精度良く行うことができる。
また、増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用い
たCI測定回路は、RxがR1と比較して極端に大きく
なるような場合では、CIの測定精度が若干低下するも
のの、増幅回路が電流出力型である水晶発振回路よりも
回路構成が簡易なものとなる。したがって、CI測定回
路の使用環境、たとえば、水晶振動子の種類、CI測定
回路を組み込む装置の大きさ、その設置場所などを考慮
して、電圧出力型または電流出力型のどちらかを選び用
いて、CI測定することが好ましい。
I測定回路はすべて、増幅回路が電圧出力型である水晶
発振回路を用いたものであるが、増幅回路が電流出力型
である水晶発振回路を用いたCI測定回路でも、同様に
して、CIの測定を簡便に精度良く行うことができるこ
とは言うまでもない。前述のように、増幅回路が電流出
力型である水晶発振回路を用いたCI測定回路は、増幅
回路が電圧出力型である水晶発振回路よりも回路構成が
若干複雑なものとなってしまうものの、RxがR1と比
較して極端に大きくなるような場合でも、Rxの値の影
響を受けずに、CI測定を精度良く行うことができる。
また、増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用い
たCI測定回路は、RxがR1と比較して極端に大きく
なるような場合では、CIの測定精度が若干低下するも
のの、増幅回路が電流出力型である水晶発振回路よりも
回路構成が簡易なものとなる。したがって、CI測定回
路の使用環境、たとえば、水晶振動子の種類、CI測定
回路を組み込む装置の大きさ、その設置場所などを考慮
して、電圧出力型または電流出力型のどちらかを選び用
いて、CI測定することが好ましい。
【0050】
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この発明によ
って、広範囲の周波数またはCI値を有する様々な水晶
振動子に対して、同一測定回路において、周波数補正や
励振レベルの設定などの調整を回路が自動的に行い、よ
って、短時間で、簡易に、正確なCIの測定を行うこと
のできる新しい水晶振動子のCI測定方法が提供され
る。
って、広範囲の周波数またはCI値を有する様々な水晶
振動子に対して、同一測定回路において、周波数補正や
励振レベルの設定などの調整を回路が自動的に行い、よ
って、短時間で、簡易に、正確なCIの測定を行うこと
のできる新しい水晶振動子のCI測定方法が提供され
る。
【図1】水晶振動子の等価回路を例示した回路図であ
り、(a)は通常の回路構成図であり、(b)は直列共
振周波数に極めて近い周波数で発振される場合の回路構
成図である。
り、(a)は通常の回路構成図であり、(b)は直列共
振周波数に極めて近い周波数で発振される場合の回路構
成図である。
【図2】電圧出力反転型増幅回路を用いたコルピッツ型
水晶発振回路を例示した回路図であり、(a)は通常の
回路構成図であり、(b)はR2がC2のリアクタンス
よりも非常に大きい場合の回路構成図である。
水晶発振回路を例示した回路図であり、(a)は通常の
回路構成図であり、(b)はR2がC2のリアクタンス
よりも非常に大きい場合の回路構成図である。
【図3】電流出力反転型増幅回路を用いたコルピッツ型
水晶発振回路を例示した回路図であり、(a)は通常の
構成図であり、(b)はR2がC2のリアクタンスより
も非常に大きい場合の構成図である。
水晶発振回路を例示した回路図であり、(a)は通常の
構成図であり、(b)はR2がC2のリアクタンスより
も非常に大きい場合の構成図である。
【図4】増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用
いた定電圧励振であるCI測定回路を例示した回路図で
あり、(a)は水晶振動子の励振電圧としてvqを用い
た場合の回路図であり、(b)は水晶振動子の励振電圧
としてvqの近似電圧vq’を用いた場合の回路図であ
る。
いた定電圧励振であるCI測定回路を例示した回路図で
あり、(a)は水晶振動子の励振電圧としてvqを用い
た場合の回路図であり、(b)は水晶振動子の励振電圧
としてvqの近似電圧vq’を用いた場合の回路図であ
る。
【図5】増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用
いた定電流励振であるCI測定回路を例示した回路図で
ある。
いた定電流励振であるCI測定回路を例示した回路図で
ある。
【図6】増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用
いた定電力励振であるCI測定回路を例示した回路図で
ある。
いた定電力励振であるCI測定回路を例示した回路図で
ある。
【図7】増幅回路が電圧出力型である水晶発振回路を用
いた定電力励振であるCI測定回路を例示した回路図で
ある。
いた定電力励振であるCI測定回路を例示した回路図で
ある。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成8年7月18日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図6
【補正方法】変更
【補正内容】
【図6】
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図7
【補正方法】変更
【補正内容】
【図7】
【手続補正書】
【提出日】平成8年7月18日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0019
【補正方法】変更
【補正内容】
【0019】
【数3】
Claims (8)
- 【請求項1】 水晶振動子のCI値の測定方法であっ
て、水晶振動子を、該水晶振動子の直列共振周波数に極
めて近い周波数で発振させることのできる水晶発振回路
を用い、該水晶発振回路において水晶振動子のインピー
ダンスの絶対値を測定し、このインピーダンスの絶対値
を水晶振動子のCI値と見なすことにより、CI値を得
ることを特徴とする水晶振動子のCI測定方法。 - 【請求項2】 請求項1の測定方法において、増幅回路
が電圧出力型である水晶発振回路を用いることを特徴と
する水晶振動子のCI測定方法。 - 【請求項3】 請求項1の測定方法において、増幅回路
が電流出力型である水晶発振回路を用いることを特徴と
する水晶振動子のCI測定方法。 - 【請求項4】 請求項2または3の測定方法において、
水晶振動子の発振周波数に関わらず、定励振電圧、定励
振電流、または定励振電力により水晶振動子を発振させ
るために、微分回路が一個または複数個組み込まれてい
る水晶発振回路を用いることを特徴とする水晶振動子の
CI測定方法。 - 【請求項5】 請求項4の測定方法において、水晶振動
子のCIに関わらず、定励振電圧により水晶振動子を発
振させるために、AGC回路が一個または複数個組み込
まれている水晶発振回路を用いることを特徴とする水晶
振動子のCI測定方法。 - 【請求項6】 請求項4の測定方法において、水晶振動
子のCIに関わらず、定励振電流により水晶振動子を発
振させるために、AGC回路が一個または複数個組み込
まれている水晶発振回路を用いることを特徴とする水晶
振動子のCI測定方法。 - 【請求項7】 請求項4の測定方法において、水晶振動
子のCIに関わらず、定励振電力により水晶振動子を発
振させるために、AGC回路が一個または複数個、乗算
回路が一個、および除算回路が一個組み込まれている水
晶発振回路を用いることを特徴とする水晶振動子のCI
測定方法。 - 【請求項8】 請求項4の測定方法において、水晶振動
子のCIに関わらず、定励振電力により水晶振動子を発
振させるために、AGC回路が一個または複数個、入力
信号の自乗に反比例する出力特性を持つ回路が一個、お
よび入力信号の自乗に比例する出力特性を持つ回路が一
個組み込まれている水晶発振回路を用いることを特徴と
する水晶振動子のCI測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16222096A JPH1010174A (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 水晶振動子のci測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16222096A JPH1010174A (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 水晶振動子のci測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1010174A true JPH1010174A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15750256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16222096A Pending JPH1010174A (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 水晶振動子のci測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1010174A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010246059A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-10-28 | Seiko Npc Corp | 水晶振動子の良否判定方法及びこの方法に用いる水晶発振器 |
| CN102928692A (zh) * | 2012-10-12 | 2013-02-13 | 中国电子科技集团公司第二十研究所 | 在石英晶振自动测试系统运行中测量新加入被测件的方法 |
| JP2018059201A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-12 | 株式会社昭和真空 | 膜厚監視装置、成膜装置及び膜厚監視方法 |
-
1996
- 1996-06-21 JP JP16222096A patent/JPH1010174A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010246059A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-10-28 | Seiko Npc Corp | 水晶振動子の良否判定方法及びこの方法に用いる水晶発振器 |
| CN102928692A (zh) * | 2012-10-12 | 2013-02-13 | 中国电子科技集团公司第二十研究所 | 在石英晶振自动测试系统运行中测量新加入被测件的方法 |
| CN102928692B (zh) * | 2012-10-12 | 2014-10-29 | 中国电子科技集团公司第二十研究所 | 在石英晶振自动测试系统运行中测量新加入被测件的方法 |
| JP2018059201A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-12 | 株式会社昭和真空 | 膜厚監視装置、成膜装置及び膜厚監視方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040811 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050510 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |