JPH0666860A - 静電センサの感度調整方法および装置 - Google Patents
静電センサの感度調整方法および装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 オペレータの負担を軽減する。調整時間を短
縮する。 【構成】 電圧制御発振回路２は、基準周波数掃引回路
２０から供給された基準周波数掃引制御電圧ＶＣに基づ
き、所定の周波数範囲で基準周波数信号の周波数を繰り
返し変化する。共振器３は、その共振特性と前記基準周
波数信号の周波数の変化に応じて振幅の変化する高周波
電圧を出力する。検波器７は、前記高周波電圧の振幅に
応じた直流電圧を出力する。この直流電圧が、所定の変
化範囲となるように、静電センサ１の感度を調整する。 【効果】 テストピースを検出電極間に通過させること
を繰り返す必要がなくなる。
縮する。 【構成】 電圧制御発振回路２は、基準周波数掃引回路
２０から供給された基準周波数掃引制御電圧ＶＣに基づ
き、所定の周波数範囲で基準周波数信号の周波数を繰り
返し変化する。共振器３は、その共振特性と前記基準周
波数信号の周波数の変化に応じて振幅の変化する高周波
電圧を出力する。検波器７は、前記高周波電圧の振幅に
応じた直流電圧を出力する。この直流電圧が、所定の変
化範囲となるように、静電センサ１の感度を調整する。 【効果】 テストピースを検出電極間に通過させること
を繰り返す必要がなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、静電センサ感度調整
方法および装置に関し、さらに詳しくは、容易に且つ短
時間に静電センサの感度を調整することが出来る静電セ
ンサの感度調整方法および装置に関する。
方法および装置に関し、さらに詳しくは、容易に且つ短
時間に静電センサの感度を調整することが出来る静電セ
ンサの感度調整方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、静電センサ１の構成図である。
この静電センサ１において、電圧制御発振回路２は、共
振器３に基準周波数ｆ０の基準周波数信号を供給する。
共振器３は、その共振特性と電圧制御発振回路２から出
力される基準周波数信号とに応じた振幅の高周波電圧を
出力する。共振特性は、検出電極４ａ，４ｂ間が空間の
ときには図６の実線のようになり、検出電極４ａ，４ｂ
間に例えば紙が存在するときには図６の点線のようにな
る。つまり、検出電極４ａ，４ｂ間が空間のときと紙が
存在するときとでは、共振特性はΔｆだけシフトする。
なお、この共振特性は、調整用コンデンサ６ａにより調
整可能である。検波器７は、共振器３の出力する高周波
電圧を検波し、その振幅に応じた直流電圧を出力する。
従って、静電センサ１は、検出電極４ａ，４ｂ間が空間
のときには直流電圧Ｖａを出力し、検出電極４ａ，４ｂ
間に紙が存在するときには直流電圧Ｖｂを出力するの
で、これにより紙の有無や厚さを検出できる。
この静電センサ１において、電圧制御発振回路２は、共
振器３に基準周波数ｆ０の基準周波数信号を供給する。
共振器３は、その共振特性と電圧制御発振回路２から出
力される基準周波数信号とに応じた振幅の高周波電圧を
出力する。共振特性は、検出電極４ａ，４ｂ間が空間の
ときには図６の実線のようになり、検出電極４ａ，４ｂ
間に例えば紙が存在するときには図６の点線のようにな
る。つまり、検出電極４ａ，４ｂ間が空間のときと紙が
存在するときとでは、共振特性はΔｆだけシフトする。
なお、この共振特性は、調整用コンデンサ６ａにより調
整可能である。検波器７は、共振器３の出力する高周波
電圧を検波し、その振幅に応じた直流電圧を出力する。
従って、静電センサ１は、検出電極４ａ，４ｂ間が空間
のときには直流電圧Ｖａを出力し、検出電極４ａ，４ｂ
間に紙が存在するときには直流電圧Ｖｂを出力するの
で、これにより紙の有無や厚さを検出できる。
【０００３】従来、この静電センサ１の感度調整は次の
ようにして行われている。すなわち、オペレータは、テ
ストピース（共振特性を所定量Δｆｔだけシフトする静
電容量を持ったシート状物）を検出電極４ａ，５ａ間の
空隙に通過させ、そのときの出力電圧ＶOUT の変化が所
定の出力変化範囲となるように、調整用コンデンサ６ａ
を調節している。具体的には、図７に示すように、調整
用コンデンサ６ａが静電容量Ｃ１のときにテストピース
を検出電極４ａ，５ａ間の空隙に通過させ、そのときの
出力電圧ＶOUT の変化が１ｍＶであり、小さ過ぎるとす
ると、オペレータは、調整用コンデンサ６ａの静電容量
を変化させてから、再びテストピースを検出電極４ａ，
５ａ間の空隙に通過させ、そのときの出力電圧ＶOUT の
変化をチェックする。これを、テストピースを検出電極
４ａ，５ａ間の空隙に通過させたときの出力電圧ＶOUT
の変化が適正値（例えば２ｍＶ）になるまで、繰り返し
ている。図７では、出力電圧ＶOUT の変化が適正値（２
ｍＶ）になったときの調整用コンデンサ６ａが静電容量
はＣ２になっている。
ようにして行われている。すなわち、オペレータは、テ
ストピース（共振特性を所定量Δｆｔだけシフトする静
電容量を持ったシート状物）を検出電極４ａ，５ａ間の
空隙に通過させ、そのときの出力電圧ＶOUT の変化が所
定の出力変化範囲となるように、調整用コンデンサ６ａ
を調節している。具体的には、図７に示すように、調整
用コンデンサ６ａが静電容量Ｃ１のときにテストピース
を検出電極４ａ，５ａ間の空隙に通過させ、そのときの
出力電圧ＶOUT の変化が１ｍＶであり、小さ過ぎるとす
ると、オペレータは、調整用コンデンサ６ａの静電容量
を変化させてから、再びテストピースを検出電極４ａ，
５ａ間の空隙に通過させ、そのときの出力電圧ＶOUT の
変化をチェックする。これを、テストピースを検出電極
４ａ，５ａ間の空隙に通過させたときの出力電圧ＶOUT
の変化が適正値（例えば２ｍＶ）になるまで、繰り返し
ている。図７では、出力電圧ＶOUT の変化が適正値（２
ｍＶ）になったときの調整用コンデンサ６ａが静電容量
はＣ２になっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の静電センサ
の感度調整方法では、検出電極間の空隙にテストピース
を通過させることをオペレータが繰り返し行う必要があ
るため、オペレータの作業が煩雑となり、また、調整時
間が長くなる問題点がある。そこで、この発明の目的
は、容易に且つ短時間に静電センサの感度を調整するこ
とが出来る静電センサの感度調整方法および装置を提供
することにある。
の感度調整方法では、検出電極間の空隙にテストピース
を通過させることをオペレータが繰り返し行う必要があ
るため、オペレータの作業が煩雑となり、また、調整時
間が長くなる問題点がある。そこで、この発明の目的
は、容易に且つ短時間に静電センサの感度を調整するこ
とが出来る静電センサの感度調整方法および装置を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】第１の観点では、この発
明は、少なくとも一対の検出電極と，その検出電極間の
静電容量の変化に応じて共振特性を変化させる共振器
と，その共振器に基準周波数信号を供給する発振回路と
を有する静電センサの感度調整方法であって、前記基準
周波数信号の周波数を所定の周波数範囲で変化させ、そ
れによって生じる前記共振器の出力変化が所定の出力変
化範囲となるように、前記静電センサの感度を調整する
ことを特徴とする静電センサの感度調整方法を提供す
る。
明は、少なくとも一対の検出電極と，その検出電極間の
静電容量の変化に応じて共振特性を変化させる共振器
と，その共振器に基準周波数信号を供給する発振回路と
を有する静電センサの感度調整方法であって、前記基準
周波数信号の周波数を所定の周波数範囲で変化させ、そ
れによって生じる前記共振器の出力変化が所定の出力変
化範囲となるように、前記静電センサの感度を調整する
ことを特徴とする静電センサの感度調整方法を提供す
る。
【０００６】第２の観点では、この発明は、少なくとも
一対の検出電極と，その検出電極間の静電容量の変化に
応じて共振特性を変化させる共振器と，その共振器に基
準周波数信号を供給する発振回路とを有する静電センサ
の感度調整装置であって、前記発振回路に結合され、前
記基準周波数信号の周波数を所定の周波数範囲で反復し
て変化させる基準周波数反復変更手段を具備してなるこ
とを特徴とする静電センサの感度調整装置を提供する。
一対の検出電極と，その検出電極間の静電容量の変化に
応じて共振特性を変化させる共振器と，その共振器に基
準周波数信号を供給する発振回路とを有する静電センサ
の感度調整装置であって、前記発振回路に結合され、前
記基準周波数信号の周波数を所定の周波数範囲で反復し
て変化させる基準周波数反復変更手段を具備してなるこ
とを特徴とする静電センサの感度調整装置を提供する。
【０００７】
【作用】この発明の静電センサの感度調整方法および装
置では、検出電極間の静電容量を固定しておき、共振器
に供給する基準周波数信号を所定の周波数範囲で反復し
て変化させる。この周波数範囲を、従来のテストピース
の有無による共振特性の変化量に相当する量に設定して
おけば、静電センサの出力側から見て、従来のテストピ
ースを検出電極間に通過させた場合と等価となる。従っ
て、従来と同様に感度調整を行える。その上、テストピ
ースを検出電極間に通過させることを繰り返す必要がな
いため、作業が容易となり、オペレータの負担を軽減す
ることが出来る。また、調整時間を短縮することが出来
る。
置では、検出電極間の静電容量を固定しておき、共振器
に供給する基準周波数信号を所定の周波数範囲で反復し
て変化させる。この周波数範囲を、従来のテストピース
の有無による共振特性の変化量に相当する量に設定して
おけば、静電センサの出力側から見て、従来のテストピ
ースを検出電極間に通過させた場合と等価となる。従っ
て、従来と同様に感度調整を行える。その上、テストピ
ースを検出電極間に通過させることを繰り返す必要がな
いため、作業が容易となり、オペレータの負担を軽減す
ることが出来る。また、調整時間を短縮することが出来
る。
【０００８】
【実施例】以下、図に示す実施例によりこの発明をさら
に詳しく説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。
に詳しく説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。
【０００９】図１は、この発明の一実施例による静電セ
ンサの感度調整装置１０および静電センサ１の構成図で
ある。静電センサの感度調整装置１０は、静電センサ１
の感度調整時にのみ静電センサ１に結合される。このと
き、基準周波数掃引回路２０は、電圧制御発振回路２に
結合され、電圧制御発振回路２が発振する基準周波数信
号の周波数を所定の周波数範囲（図２のｆ０〜ｆ０＋Δ
ｆｔ）で反復して連続変化させる基準周波数掃引制御電
圧ＶＣを供給する。なお、Δｆｔは、検出電極４ａ，５
ａ間にテストピースを通過させたときに生じる共振特性
のシフト量に相当する値であり、調整済みの静電センサ
を用いて予め測定され、設定されている。
ンサの感度調整装置１０および静電センサ１の構成図で
ある。静電センサの感度調整装置１０は、静電センサ１
の感度調整時にのみ静電センサ１に結合される。このと
き、基準周波数掃引回路２０は、電圧制御発振回路２に
結合され、電圧制御発振回路２が発振する基準周波数信
号の周波数を所定の周波数範囲（図２のｆ０〜ｆ０＋Δ
ｆｔ）で反復して連続変化させる基準周波数掃引制御電
圧ＶＣを供給する。なお、Δｆｔは、検出電極４ａ，５
ａ間にテストピースを通過させたときに生じる共振特性
のシフト量に相当する値であり、調整済みの静電センサ
を用いて予め測定され、設定されている。
【００１０】静電センサ１の稼働時は、静電センサの感
度調整装置１０は、静電センサ１から外され、代りに電
圧制御発振回路２が発振する基準周波数信号の周波数を
所定の周波数（図２のｆ０）に固定する基準電圧源（図
示省略）が結合される。
度調整装置１０は、静電センサ１から外され、代りに電
圧制御発振回路２が発振する基準周波数信号の周波数を
所定の周波数（図２のｆ０）に固定する基準電圧源（図
示省略）が結合される。
【００１１】静電センサ１において、電圧制御発振回路
２は、共振器３に基準周波数の基準周波数信号を供給す
る。共振器３は、その共振特性と電圧制御発振回路２か
ら出力される基準周波数信号とに応じた振幅の高周波電
圧を出力する。共振特性は、検出電極４ａ，４ｂ間の静
電容量に応じて変化する。この共振特性は、調整用コン
デンサ６ａにより調整可能である。検波器７は、共振器
３の出力する高周波電圧を検波し、その振幅に応じた直
流電圧を出力する。
２は、共振器３に基準周波数の基準周波数信号を供給す
る。共振器３は、その共振特性と電圧制御発振回路２か
ら出力される基準周波数信号とに応じた振幅の高周波電
圧を出力する。共振特性は、検出電極４ａ，４ｂ間の静
電容量に応じて変化する。この共振特性は、調整用コン
デンサ６ａにより調整可能である。検波器７は、共振器
３の出力する高周波電圧を検波し、その振幅に応じた直
流電圧を出力する。
【００１２】図３は、感度調整動作のフロー図である。
ステップＳＴ１では、基準周波数掃引回路２０を、感度
調整したい静電センサ１に結合する。ステップＳＴ２で
は、基準周波数掃引回路２０から電圧制御発振回路２に
基準周波数掃引制御電圧ＶＣを供給し、基準周波数信号
を周波数ｆ０〜ｆ０＋Δｆｔの範囲で掃引する。ステッ
プＳＴ３では、出力電圧ＶOUT が所定の出力変化範囲と
なるように調整用コンデンサ６ａを調節する。
ステップＳＴ１では、基準周波数掃引回路２０を、感度
調整したい静電センサ１に結合する。ステップＳＴ２で
は、基準周波数掃引回路２０から電圧制御発振回路２に
基準周波数掃引制御電圧ＶＣを供給し、基準周波数信号
を周波数ｆ０〜ｆ０＋Δｆｔの範囲で掃引する。ステッ
プＳＴ３では、出力電圧ＶOUT が所定の出力変化範囲と
なるように調整用コンデンサ６ａを調節する。
【００１３】以上のように、この発明の静電センサの感
度調整装置１０を用いれば、従来と同様に感度調整を行
える上に、テストピースを検出電極４ａ，５ａ間に通過
させることを繰り返す必要がないため、作業が容易とな
り、オペレータの負担を軽減することが出来る。また、
調整時間を短縮することが出来る。
度調整装置１０を用いれば、従来と同様に感度調整を行
える上に、テストピースを検出電極４ａ，５ａ間に通過
させることを繰り返す必要がないため、作業が容易とな
り、オペレータの負担を軽減することが出来る。また、
調整時間を短縮することが出来る。
【００１４】図４は、上記静電センサの感度調整装置１
０を、複数の検出部１００，１０１，１０２を持つ静電
センサ１Ａの感度調整に用いた場合の説明図である。従
来の感度調整方法では、各検出部１００，１０１，１０
２ごとにテストピースを検出電極間に通過させることを
繰り返して感度調整する必要があり、非常に手間がかか
っていた。しかし、この発明の静電センサの感度調整装
置１０を用いれば、各検出部１００，１０１，１０２ご
とにテストピースを検出電極間に通過させることを繰り
返す必要がないため、作業が格段に容易となり、オペレ
ータの負担を著しく軽減することが出来る。また、調整
時間を大幅に短縮することが出来る。
０を、複数の検出部１００，１０１，１０２を持つ静電
センサ１Ａの感度調整に用いた場合の説明図である。従
来の感度調整方法では、各検出部１００，１０１，１０
２ごとにテストピースを検出電極間に通過させることを
繰り返して感度調整する必要があり、非常に手間がかか
っていた。しかし、この発明の静電センサの感度調整装
置１０を用いれば、各検出部１００，１０１，１０２ご
とにテストピースを検出電極間に通過させることを繰り
返す必要がないため、作業が格段に容易となり、オペレ
ータの負担を著しく軽減することが出来る。また、調整
時間を大幅に短縮することが出来る。
【００１５】
【発明の効果】この発明の静電センサの感度調整方法お
よび装置によれば、検出電極間の空隙にテストピースを
通過させることを繰り返す必要がないので、オペレータ
の負担が軽減されると共に、調整時間を短縮することが
出来る。
よび装置によれば、検出電極間の空隙にテストピースを
通過させることを繰り返す必要がないので、オペレータ
の負担が軽減されると共に、調整時間を短縮することが
出来る。
【図１】この発明の一実施例による静電センサの感度調
整装置と静電センサの構成図である。
整装置と静電センサの構成図である。
【図２】感度調整時の基準周波数の掃引の説明図であ
る。
る。
【図３】感度調整動作のフロー図である。
【図４】この発明の静電センサの感度調整装置の使用例
の説明図である。
の説明図である。
【図５】静電センサの全体構成図である。
【図６】静電センサの作動原理の説明図である。
【図７】従来の静電センサの感度調整方法の説明図であ
る。
る。
１０ 静電センサの感度調整装置 ２０ 基準周波数掃引回路 １ 静電センサ ２ 電圧制御発振回路 ３ 共振器 ４ａ，５ａ 検出電極 ４ｃ，５ｃ，４ｄ，５ｄ，４ｅ，５ｅ 検出電極 ６ａ 調整用コンデンサ ６ｃ，６ｄ，６ｅ 調整用コンデン
サ ７ 検波器 ７ｃ，７ｄ，７ｅ 検波器
サ ７ 検波器 ７ｃ，７ｄ，７ｅ 検波器
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも一対の検出電極と，その検出
電極間の静電容量の変化に応じて共振特性を変化させる
共振器と，その共振器に基準周波数信号を供給する発振
回路とを有する静電センサの感度調整方法であって、前
記基準周波数信号の周波数を所定の周波数範囲で変化さ
せ、それによって生じる前記共振器の出力変化が所定の
出力変化範囲となるように、前記静電センサの感度を調
整することを特徴とする静電センサの感度調整方法。 - 【請求項２】 少なくとも一対の検出電極と，その検出
電極間の静電容量の変化に応じて共振特性を変化させる
共振器と，その共振器に基準周波数信号を供給する発振
回路とを有する静電センサの感度調整装置であって、前
記発振回路に結合され、前記基準周波数信号の周波数を
所定の周波数範囲で反復して変化させる基準周波数反復
変更手段を具備してなることを特徴とする静電センサの
感度調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22313092A JP3052594B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | 静電センサの感度調整方法および静電センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22313092A JP3052594B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | 静電センサの感度調整方法および静電センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666860A true JPH0666860A (ja) | 1994-03-11 |
| JP3052594B2 JP3052594B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=16793275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22313092A Expired - Fee Related JP3052594B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | 静電センサの感度調整方法および静電センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3052594B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5130772A (en) * | 1989-12-15 | 1992-07-14 | Samsung Electron Devices Co., Ltd. | Thin film transistor with a thin layer of silicon nitride |
| JP2014530365A (ja) * | 2011-10-05 | 2014-11-17 | オラクル・インターナショナル・コーポレイション | 空間変動電荷分布を用いた半導体ダイの間隔の決定 |
| KR20210041193A (ko) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | 레시너코리아 주식회사 | 자동 민감도 조정기능을 구비한 정전용량형 센서 및 그 센서의 민감도 조정방법 |
| WO2024024886A1 (ja) * | 2022-07-28 | 2024-02-01 | カヤバ株式会社 | 流体性状検出装置 |
-
1992
- 1992-08-24 JP JP22313092A patent/JP3052594B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5130772A (en) * | 1989-12-15 | 1992-07-14 | Samsung Electron Devices Co., Ltd. | Thin film transistor with a thin layer of silicon nitride |
| JP2014530365A (ja) * | 2011-10-05 | 2014-11-17 | オラクル・インターナショナル・コーポレイション | 空間変動電荷分布を用いた半導体ダイの間隔の決定 |
| KR20210041193A (ko) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | 레시너코리아 주식회사 | 자동 민감도 조정기능을 구비한 정전용량형 센서 및 그 센서의 민감도 조정방법 |
| WO2024024886A1 (ja) * | 2022-07-28 | 2024-02-01 | カヤバ株式会社 | 流体性状検出装置 |
| JP2024017985A (ja) * | 2022-07-28 | 2024-02-08 | カヤバ株式会社 | 流体性状検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3052594B2 (ja) | 2000-06-12 |
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