JPH1010315A

JPH1010315A - カラーフィルタ用感光性フィルム及びこれを用いたカラーフィルタの製造法

Info

Publication number: JPH1010315A
Application number: JP16746196A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Furubayashi; 寛巳古林; Hiroshi Yamazaki; 宏山崎; Manabu Saito; 学斉藤
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1996-06-27
Filing date: 1996-06-27
Publication date: 1998-01-16

Abstract

(57)【要約】【課題】感光性樹脂層の上部の層を剥離してから露光
しても、酸素阻害がなく、パターンの解像度が良好なカ
ラーフィルタを製造できるカラーフィルタ用感光性フィ
ルム及びこれを用いたカラーフィルタの製造法を提供す
る。【解決手段】フィルム性支持体上に、厚さ０．５〜５
μｍの感光性樹脂層及びカバーフィルムを有する感光性
フィルムにおいて、感光性樹脂層が、（Ａ）アクリル酸
又はメタクリル酸を１７〜３０重量％共重合したフィル
ム性付与ポリマー、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物、
（Ｃ）モルホリン環を有する光重合開始剤及び（Ｄ）顔
料又は染料を含有するものであるカラーフィルタ用感光
性フィルム並びにこのカラーフィルタ用感光性フィルム
のカバーフィルムを剥離しながら、透明基板上に感光性
樹脂層が接するように感光性樹脂層及びフィルム性支持
体を積層し、フィルム性支持体を剥離した後、感光性樹
脂層を露光し、現像することによってパターンを形成す
ることを特徴とするカラーフィルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタ用
感光性フィルム及びこれを用いたカラーフィルタの製造
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタは、ガラスなど光学的に
透明な基板の表面に２種以上の色相を異にする極めて微
細なストライプ状又はモザイク状のパターンを一定の間
隔で平行に又は交差して並べたものである。これらのパ
ターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をおいて整然
と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層とする必要
があり、種々のカラーフィルタの製造法が提案されてい
る。例えば、スクリーン印刷法では、低コストのカラー
フィルタの形成が可能である。また、フォトリソグラフ
ィー技術を用いる方法、即ち、カラーフィルタ用基板上
に形成された透明膜に、所定のネガマスクを通して紫外
線照射し、未露光部を除去した後、防染層を形成しなが
ら染色する方法がある。

【０００３】前記の方法の改良法として、基板上に着色
した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、露
光、現像して一色のパターンを形成させ、各工程を他の
色についても同様に繰り返し行ってカラーフィルタを形
成する方法がある。また、現在プリント配線板製造時の
エッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジスト
等に一般に使用されている透明支持体フィルム及び感光
性樹脂層とからなる感光性フィルムを使用して、多色の
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単に
高精度で形成できるカラーフィルタの製造法が知られて
いる。この方法では、透明基板上に支持体フィルムと一
色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フィルム
を、その着色感光性樹脂層が基板に接するように張り合
わせる工程、所定のパターンに露光する工程及び前記支
持体フィルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色
のパターンを形成させることによりカラーフィルタが製
造される。

【０００４】また、例えば、一つの色相の着色剤を含む
感光性樹脂層を透明支持体フィルムに塗布乾燥した感光
性フィルムの感光性樹脂層を透明基板上に転写し、所定
のパターンのマスクを介して露光、現像してパターンを
形成させる方法（特開昭６１−９９１０２号公報）があ
る。また、同様の感光性フィルムに所定のパターンのマ
スクを介して露光、現像してパターンを形成した後に、
透明基板上に転写することによりカラーフィルタのパタ
ーンを形成する方法（特開昭６１−９９１０３号公報）
及び同様の感光性フィルムを透明基板上に加熱圧着し、
所定のパターンのマスクを介して露光し、支持体フィル
ムを剥離し、現像して透明着色画像パターンを形成する
方法（特開昭６３−１８７２０３号公報）が知られてい
る。さらに、着色感光性樹脂層の上にポリ酢酸ビニル共
重合体の接着層を設けた感光性フィルムを用い、その接
着層を介して着色感光性樹脂層を基板上に積層し、特開
昭６３−１８７２０３号公報と同様の方法でカラーフィ
ルタのパターンを形成する方法（特開平２−２４６２４
号公報）が知られている。

【０００５】感光性フィルムは、透明支持体フィルム、
例えば、ポリエチレンテレフタレート等のフィルム上
に、赤、青及び緑にそれぞれ着色した感光性樹脂組成物
を塗布し、乾燥させて各色に着色した着色感光性樹脂層
を形成したものである。この感光性樹脂層の膜厚は、
０．５〜５．０μｍであり、好ましくは１．０〜２．５
μｍである。また、着色感光性樹脂層は、未硬化であ
り、柔軟で、粘着性を有するため、この上に更にポリエ
チレンフィルム等のカバーフィルム（保護フィルム）を
張り合わせて、外部からの損傷、異物の付着などを防止
することが望ましい。感光性フィルムに形成された着色
感光性樹脂層は、保護フィルムを剥がしながら透明基板
上に張り合わせる。

【０００６】しかしながら、感光性フィルムを用いたカ
ラーフィルタの製造においては、多色パターンのうち２
色目パターン以降を感光性フィルムのラミネート（積
層）で形成する際に、どうしても既に形成されたパター
ン部分上で感光性フィルムが盛り上がり、波型となるた
め、その状態で露光し、現像すると、形成したパターン
表面に段差が発生する問題がある。この段差は、後工程
の透明樹脂から成るオーバーコート層の塗布むらやその
後のスパッタリングによるＩｎ₂Ｏ₃−ＳｎＯ₂系の電極
形成不良による高抵抗化の問題がある。また、直接に画
像の荒れとして現れることもある。この段差を低減する
ために、着色感光性樹脂層と透明支持体との間に熱可塑
性樹脂層を設け、ラミネート時の圧力と温度で平坦化す
る方法（特開平４−２０８９４０号公報、特開平７−２
０３０９号公報）が提案されている。しかし、この方法
では着色感光性樹脂層と熱可塑性樹脂層が密着している
ため、熱可塑性樹脂層の上に所定のパターンのマスクを
おいて露光しなければならず、著しい解像度不足を招く
結果となっている。

【０００７】また、この改善策として、感光性樹脂層の
上部の各層を剥離してから、露光することが考えられる
が、感光性樹脂層の酸素阻害によって感度不足が発生
し、実用的ではなかった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】請求項１及び２記載の
発明は、感光性樹脂層の上部の層を剥離してから露光し
ても、酸素阻害がなく、パターンの解像度が良好なカラ
ーフィルタを製造できるカラーフィルタ用感光性フィル
ムを提供するものである。請求項３記載の発明は、請求
項１及び２記載の発明の効果を奏し、さらに段差が少な
くでき、パターン形状の良好なカラーフィルタを製造で
きるカラーフィルタ用感光性フィルムを提供するもので
ある。請求項４記載の発明は、パターンの解像度が良好
なカラーフィルタを、作業性、歩留まりよく製造できる
カラーフィルタの製造法を提供するものである。請求項
５記載の発明は、パターンの解像度が良好で、段差が少
なく、パターン形状の良好なカラーフィルタを、作業
性、歩留まりよく製造できるカラーフィルタの製造法を
提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、フィルム性支
持体上に、厚さ０．５〜５μｍの感光性樹脂層及びカバ
ーフィルムを有する感光性フィルムにおいて、感光性樹
脂層が、（Ａ）アクリル酸又はメタクリル酸を１７〜３
０重量％共重合したフィルム性付与ポリマー、（Ｂ）エ
チレン性不飽和化合物、（Ｃ）モルホリン環を有する光
重合開始剤及び（Ｄ）顔料又は染料を含有するものであ
るカラーフィルタ用感光性フィルムに関する。また、本
発明は、（Ｃ）成分のモルホリン環を有する光重合開始
剤が、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−
モルホリニル）−ブタノン−１又は２−メチル−１−
（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノ−プロパ
ノン−１である前記カラーフィルタ用感光性フィルムに
関する。

【００１０】また、本発明は、フィルム性支持体と感光
性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を有し、熱可塑性樹脂
層が感光性樹脂層よりもフィルム性支持体に強く密着し
ている前記カラーフィルタ用感光性フィルムに関する。
また、本発明は、前記カラーフィルタ用感光性フィルム
のカバーフィルムを剥離しながら、透明基板上に感光性
樹脂層が接するように感光性樹脂層及びフィルム性支持
体を積層し、フィルム性支持体を剥離した後、感光性樹
脂層を露光し、現像することによってパターンを形成す
ることを特徴とするカラーフィルタの製造法に関する。
また、本発明は、前記カラーフィルタ用感光性フィルム
のカバーフィルムを剥離しながら、透明基板上に感光性
樹脂層が接するように感光性樹脂層、熱可塑性樹脂層及
びフィルム性支持体を積層し、熱可塑性樹脂層及びフィ
ルム性支持体を剥離した後、感光性樹脂層を露光し、現
像することによってパターンを形成することを特徴とす
るカラーフィルタの製造法に関する。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の感光性フィルムは、フィ
ルム性支持体上に感光性樹脂層及びカバーフィルムを積
層したものであるが、フィルム性支持体としては、例え
ば、ポリエチレンテレフタレート等の透明フィルムが用
いられ、カバーフィルムとしてはポリエチレンフィルム
などが用いられる。

【００１２】本発明における感光性樹脂層は、上記の
（Ａ）成分〜（Ｄ）成分を含むものである。この（Ａ）
成分である、アクリル酸又はメタクリル酸を１７〜３０
重量％共重合したフィルム性付与ポリマーとしては、例
えば、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アル
キルエステル、アクリル酸、メタクリル酸、これらと共
重合しうるビニルモノマー等との共重合体が挙げられ
る。

【００１３】アクリル酸アルキルエステル、メタクリル
酸アルキルエステルとしては、例えば、アクリル酸メチ
ル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリ
ル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、
アクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸２−エチ
ルヘキシル等が挙げられる。また、前記共重合しうるビ
ニルモノマーとしては、アクリル酸ジメチルアミノエチ
ル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸テ
トラヒドロフルフリル、メタクリル酸テトラヒドロフル
フリル、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレー
ト、２，２，２−トリフルオロエチルメタクリレート、
２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリレー
ト、２，２，３，３−テトラフルオロプロピルメタクリ
レート、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、
スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。

【００１４】（Ａ）成分中のアクリル酸又はメタクリル
酸の量は１７〜３０重量％とされる。この量が１７重量
％未満であると、現像しにくくなり、後工程のタクトタ
イムが長くなり、生産性が低下し、３０重量％を超える
と、現像時間が極めて短くなり、生産ライン速度をコン
トロールできなくなる。また、レジスト形状が悪化しや
すく、工程が安定しない。（Ａ）成分の配合量は、
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量を１００重量部として４
５〜７０重量部であることが好ましい。この配合量が４
５重量部未満であると塗膜性が不充分となり、７０重量
部を超えると硬化物の膜特性が低下する傾向がある。

【００１５】（Ｂ）成分として用いるエチレン性不飽和
化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不
飽和カルボン酸を付加して得られる化合物（トリメチロ
ールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパン
ジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、
テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチ
ロールメタントリメタクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアク
リレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレー
ト等）、グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カル
ボン酸を付加して得られる化合物（トリメチロールプロ
パントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフ
ェノールＡジグリシジルエーテルジアクリレート、ビス
フェノールＡジグリシジルエーテルジメタクリレート
等）、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及び
エチレン性不飽和基を有する化合物（β−ヒドロキシエ
チルアクリレート、β−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト等）とのエステル化物、アクリル酸のアルキルエステ
ル、メタクリル酸のアルキルエステル（アクリル酸メチ
ル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリ
ル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、
アクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸２−エチ
ルヘキシル等）、トリメチルヘキサメチレンジイソシア
ナートと２価アルコールと２価のアクリル酸モノエステ
ル、メタクリル酸モノエステルとを反応させて得られる
ウレタンジアクリレート化合物（２，２′−ビス〔４−
（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル〕プロパン、
γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−メタクリ
ロキシエチル−ｏ−フタレート等）などが挙げられる。
これらの化合物は２種以上組み合わせて用いてもよい。

【００１６】（Ｂ）成分の配合量は、（Ａ）成分と
（Ｂ）成分の総量を１００重量部として３０〜５５重量
部とすることが好ましい。この配合量が３０重量部未満
であると、光感度が不充分で硬化物の膜特性が低下し、
５５重量部を超えると塗膜性が不充分となる傾向があ
る。

【００１７】本発明における感光性樹脂層に（Ｃ）成分
として用いられるモルホリン環を有する光重合開始剤と
しては、例えば、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−
１−（４−モルホリニル）−ブタノン−１、２−メチル
−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノ−
プロパノン−１などが挙げられる。これらは、単独で又
は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

【００１８】また、上記以外の光重合開始剤を併用する
こともでき、その具体例としては、芳香族ケトン（ベン
ゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジア
ミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ′−テ
トラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−
メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−
エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等）、ベ
ンゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル
等）、ベンゾイン誘導体（メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン等）、ベンジル誘導体（ベンジルジメチルケタ
ール等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量
体（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量
体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−
メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フ
ェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシ
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、
２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体等）、アクリジン誘導体（９
−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アク
リジニル）ヘプタン等）などが挙げられる。これらは、
単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

【００１９】（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量を１００重量部として、０．１〜１０
重量部とすることが好ましい。この配合量が０．１重量
部未満であると、光感度が不充分となり、１０重量部を
超えると露光の際に感光性樹脂層の表面での光吸収が増
大し、内部の光硬化が不充分となる傾向がある。

【００２０】また、（Ｄ）成分である顔料又は染料とし
ては、任意の公知着色剤を使用することができ、感光性
樹脂層の成分、特に、（Ａ）成分のフィルム付与性ポリ
マー又は（Ｂ）成分のエチレン性不飽和化合物に対する
相溶性、目標とする色相、光透過性などを考慮して選択
される。例えば、赤色顔料であるカラーテックス・レッ
ド・ユーイーエム（Colortex Red UEM）、青色顔料であ
るカラーテックス・ブルー・ユーイーエム（Colortex B
lue UEM)、カラーテックス・グリーン・ユーイー−１２
０３（Colortex Green UE-１２０３）（いずれも山陽色
素株式会社製）などが挙げられる。

【００２１】（Ｄ）成分の配合量は、（Ａ）成分と
（Ｂ）成分の総量を１００重量部として０．１〜４０重
量部とすることが好ましく、１０〜４０重量部とするこ
とがより好ましく、１５〜４０重量部とすることが徳に
好ましい。この配合量が０．１重量部未満であると着色
が不充分であり、４０重量部を超えると光透過性が低下
する傾向がある。

【００２２】本発明における感光性樹脂層は、上記の
（Ａ）成分〜（Ｄ）成分の他に熱重合性成分安定剤、メ
ラミン樹脂等の熱硬化性樹脂などを含有していてもよ
い。本発明の極薄膜感光性フィルムは、フィルム性支持
体上に感光性樹脂溶液をロールコータ、コンマコータ、
グラビアコータ、エアナイフコータ、ダイコータ、バー
コータなどで塗布し、乾燥後に保護フィルムを積層する
ことによって製造される。

【００２３】フィルム性支持体としては、例えば、ポリ
エチレンテレフタレート、配向ポリプロピレン（ＯＰ
Ｐ）、無延伸ポリプロピレン、離型処理ポリエステル、
硬質ポリ塩化ビニル、アセテート（セルローストリアセ
テート）、２軸延伸ナイロン、無延伸ナイロン、ポリイ
ミド、２軸延伸ポリナフタレートなどが挙げられ、配向
ポリプロピレン（ＯＰＰ）としては、例えば、２軸延伸
ポリプロピレンなどが挙げられる。フィルム性支持体の
厚さは、３〜１００μｍとすることが好ましい。この厚
さが３μｍ未満では製造が困難となる傾向にあり、１０
０μｍを超えるとフィルムとしての柔軟性が低下する傾
向がある。

【００２４】また、フィルム性支持体と感光性樹脂層と
の間に熱可塑性樹脂層を設ける場合、熱可塑性樹脂層に
はポリエチレン、ポリビニルアルコール、アクリル基又
はメタクリル基等を有するポリマーなどが用いられる。
熱可塑性樹脂層をフィルム性支持体に積層する方法とし
ては、その熱可塑性樹脂層が感光性樹脂層よりもフィル
ム性支持体の方に強く密着させることができる限り任意
の方法を採用でき、例えば、ホットメルト塗布、溶液塗
布などの方法が挙げられる。溶液塗布を行うには、熱可
塑性樹脂を有機溶剤又は水に溶解し、これをロールコー
タ法、グラビアコータ法、スプレーコータ法、ナイフコ
ータ法などが挙げられる。塗布後の乾燥温度は３０〜１
７５℃とすることが好ましいが、これに限定されるもの
ではない。

【００２５】なお、感光性樹脂層の保護のため保護フィ
ルムを用いることが好ましい。この保護フィルムとして
は、例えば、ポリエステルフィルム、ポリオレフィンフ
ィルムなどが用いられるが、価格、柔軟性、強度、硬度
等の面からポリオレフィンフィルム、中でもポリエチレ
ンフィルムが好ましい。また、その厚みは１０〜４０μ
ｍであることが好ましく、１０μｍ未満では取り扱い性
に劣る傾向があり、４０μｍを超えるとコストアップと
なる傾向がある。

【００２６】本発明のカラーフィルタ用感光性フィルム
を用いてカラーフィルタは次のようにして製造される。
まず、透明基板上に必要に応じてブラックマトリックス
を形成したものに、必要に応じてこの基板を加熱（１０
０〜２００℃、３〜３０分間）した後、その基板上に感
光性フィルムの保護フィルムを剥がしながら感光性樹脂
層をラミネートし、感光性樹脂層の表面の透明支持体フ
ィルムを剥離した後、感光性樹脂層上に所定パターンの
ネガマスクをのせて露光する。次いで、現像し、未露光
部を除去して着色パターンが形成される。この着色パタ
ーンの形成工程を、色の異なる感光性フィルムを用いて
所定回数繰り返すことにより多色の着色パターンを形成
させ、カラーフィルタが得られる。本発明における感光
性樹脂層は、酸素阻害がないため、透明支持体フィルム
を剥離した後に露光しても感度低下がなく、露光速度の
低下は起こらず、解像度の高いカラーフィルタが得られ
る。

【００２７】ラミネート工程は、一般にホットロールと
呼ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと呼ばれる
加熱用のジャケットとラミネートロールと呼ばれるロー
ルにより、感光性樹脂層を加熱し、軟化しながら行う。
本発明の感光性フィルムを用いると、２色目以降の着色
パターンを形成する際に、特別な処理をすることなくパ
ターンの段差を低減できる。露光工程は、一般に専用の
露光機があり、接触又は非接触型のものを用いて行う。
光源としては高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライ
ドランプ、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射する
ものを用いることができる。現像方法は、ディップ法、
スプレー法などが挙げられ、高解像度化には高圧スプレ
ー法が最適である。

【００２８】さらに、本発明の、フィルム性支持体、熱
可塑性樹脂層、感光性樹脂層及び保護フィルムから構成
されたカラーフィルタ用感光性フィルムを用いてカラー
フィルタを製造する方法について説明する。

【００２９】上記と同様に、上記の感光性フィルムの保
護フィルムを剥離しながら透明基板上に感光性樹脂層を
積層し、この感光性フィルムのフィルム性支持体と熱可
塑性樹脂層を剥離する。次いで、露光工程を行うが、フ
ィルム性支持体及び熱可塑性樹脂層が存在しないため、
感光性樹脂層上に所定パターンのネガマスクをのせて露
光することができる。本発明における感光性樹脂層は、
前記のように、酸素阻害がないため、感度低下がなく、
露光速度の低下は起こらないという、本発明における感
光性樹脂層の効果を充分に発揮することができ、熱可塑
性樹脂層を有する感光性フィルムを用いても、露光は、
熱可塑性樹脂層を剥離した状態で行うので、感光性樹脂
層の解像度が従来法と比較して著しく向上する。さら
に、熱可塑性樹脂層を有する感光性フィルムを用いる場
合には、２色目の感光性樹脂層をラミネートする際、感
光性樹脂層の上部に熱可塑性樹脂層が存在するため、感
光性樹脂層は１色目のパターンへの追従性が向上する。

【００３０】

【実施例】次に、実施例により本発明を説明する。

【００３１】実施例１〜２及び比較例１〜２フィルム性支持体として厚さ２０μｍのポリエチレンテ
レフタレートフィルム（帝人(株)製ＧＳタイプ）を用
い、その上に膜厚が２０μｍになるようにポリエチレン
樹脂をホットメルト塗布し、ポリエチレンテレフタレー
トとポリエチレンの積層フィルムを作製する。得られた
積層フィルムのポリエチレン上に、表１及び表２の配合
の感光性樹脂組成物をマイクログラビア法で塗布し、８
０℃の熱風対流式乾燥機で１０分乾燥し、感光性樹脂層
を得る。この感光性樹脂層の上に膜厚２２μｍの２軸延
伸ポリプロピレンを保護フィルムとして積層し、カラー
フィルタ用感光性フィルムを得た。感光性樹脂層の乾燥
後の膜厚は、１．８μｍであった。

【００３２】

【表１】

【００３３】

【表２】

【００３４】次に、カラーフィルタ用基板を８０〜１５
０℃に１０分間加熱した後、１色目の着色感光性フィル
ムの保護フィルムを剥がしながら、その感光性樹脂層を
積層した。フィルム性支持体を熱可塑性樹脂層と一緒に
剥離した後、所定のパターンのネガマスクを通して露光
し、０．２重量％ホウ砂水溶液（２５℃）で浸漬現像
し、１色目のパターンを形成した。このパターン形成工
程を２色目についても、同様に行った。

【００３５】上記、感光性樹脂を露光する際に必要な露
光感度（コダック製グレーススケール２１段のネガを用
いて５kWの高圧水銀灯で露光後、０．２重量％ホウ砂水
溶液（２５℃）で浸漬現像した後、硬化段数が８段にな
る露光量）を、感光性樹脂硬化性として以下の基準によ
り評価し、結果を表３に示した。良好：必要露光感度が２００mJ/cm²以下のとき不良：必要露光感度が２００mJ/cm²より高いとき

【００３６】また、所定の解像度測定用のネガを用いて
露光、現像した後、解像された感光性樹脂の間隔を測定
して解像度とし、以下の基準により評価し、結果を表３
に示した。良好：１０μｍ以下不良：１０μｍを超えるもの

【００３７】また、得られたカラーフィルタ用感光性フ
ィルムを用いて露光及び現像を行い、１色目のパターン
及び２色目のパターンを形成し、図１に示したように、
１色目パターン２の表面をベースラインとして２色目パ
ターン３の形成の際に発生した凹凸を表面粗さ測定器
（小坂研究所製、サーフコーダＳＥ３０）で測定して画
素の段差ｈとし、以下の基準により評価し、結果を表３
に示した。良好：段差ｈが０．０５μｍ以下不良：段差ｈが０．０５μｍを超えるもの

【００３８】

【表３】

【００３９】表３に示した結果から明らかなとおり、実
施例１及び２は感光性樹脂硬化性、解像度及び画素の段
差のいずれにおいても良好であったが、比較例１及び２
のものは、感光性樹脂硬化性、解像度及び画素の段差の
いずれにおいても不良であった。

【００４０】

【発明の効果】請求項１及び２記載のカラーフィルタ用
感光性フィルムは、感光性樹脂層の上部の層を剥離して
から露光しても、酸素阻害がなく、感度が低下せず、パ
ターンの解像度が良好なカラーフィルタを製造すること
ができる。請求項３記載のカラーフィルタ用感光性フィ
ルムは、請求項１及び２記載のカラーフィルタ用感光性
フィルムの効果を奏し、さらに段差が少なくでき、パタ
ーン形状の良好なカラーフィルタを製造できる。請求項
４記載のカラーフィルタの製造法は、パターンの解像度
が良好なカラーフィルタを、作業性、歩留まりよく製造
できる。請求項５記載のカラーフィルタの製造法は、パ
ターンの解像度が良好で、段差が少なく、パターン形状
の良好なカラーフィルタを、作業性、歩留まりよく製造
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例及び比較例における画素の段差の測定方
法の説明図である。

【符号の説明】

１基板２１色目パターン３２色目パターンｈ段差

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/031 Ｇ０３Ｆ 7/031 7/033 7/033 7/11 ５０３ 7/11 ５０３

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フィルム性支持体上に、厚さ０．５〜５
μｍの感光性樹脂層及びカバーフィルムを有する感光性
フィルムにおいて、感光性樹脂層が、（Ａ）アクリル酸
又はメタクリル酸を１７〜３０重量％共重合したフィル
ム性付与ポリマー、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物、
（Ｃ）モルホリン環を有する光重合開始剤及び（Ｄ）顔
料又は染料を含有するものであるカラーフィルタ用感光
性フィルム。
【請求項２】（Ｃ）成分のモルホリン環を有する光重
合開始剤が、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−
（４−モルホリニル）−ブタノン−１又は２−メチル−
１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノ−プ
ロパノン−１である請求項１記載のカラーフィルタ用感
光性フィルム。
【請求項３】フィルム性支持体と感光性樹脂層との間
に熱可塑性樹脂層を有し、熱可塑性樹脂層が感光性樹脂
層よりもフィルム性支持体に強く密着している請求項１
又は２記載のカラーフィルタ用感光性フィルム。
【請求項４】請求項１又は２記載のカラーフィルタ用
感光性フィルムのカバーフィルムを剥離しながら、透明
基板上に感光性樹脂層が接するように感光性樹脂層及び
フィルム性支持体を積層し、フィルム性支持体を剥離し
た後、感光性樹脂層を露光し、現像することによってパ
ターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製
造法。
【請求項５】請求項３記載のカラーフィルタ用感光性
フィルムのカバーフィルムを剥離しながら、透明基板上
に感光性樹脂層が接するように感光性樹脂層、熱可塑性
樹脂層及びフィルム性支持体を積層し、熱可塑性樹脂層
及びフィルム性支持体を剥離した後、感光性樹脂層を露
光し、現像することによってパターンを形成することを
特徴とするカラーフィルタの製造法。