JPH1010560A - アドレス構体及び電極構体製造方法 - Google Patents

アドレス構体及び電極構体製造方法

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JPH1010560A
JPH1010560A JP9072184A JP7218497A JPH1010560A JP H1010560 A JPH1010560 A JP H1010560A JP 9072184 A JP9072184 A JP 9072184A JP 7218497 A JP7218497 A JP 7218497A JP H1010560 A JPH1010560 A JP H1010560A
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ポウル・シー・マーティン
Thomas S Buzak
トーマス・エス・ブザク
Kevin J Ilcisin
ケビン・ジェー・イルシシン
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電極構体の製造コストを安価にし、単位長当
たりの抵抗を低くし、その長さ方向全体にわたる放電電
流を均一にし、表示アドレス指定を失敗しない用にす
る。 【解決手段】 チャンネル２０内に細長いアノード電極
３０及びカソード電極６２を設けて、電位差によりイオ
ン化可能なガス媒体プラズマ化する。これら電極を抵抗
層１１２で被覆して、放電電流量を制限すると共に、イ
オン化可能なガス媒体に流れる放電電流を均一に分配す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子画像表示装
置、特に、プラズマ表示アドレス構体における放電電流
を均一に配分すると共に制限する電極構体の構成及びそ
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】データ蓄積要素を用いるシステムには、
例えば、ビデオ・カメラ及び画像表示器などがある。か
かるシステムは、蓄積要素にデータを与えたり、この蓄
積要素からデータを回収するアドレス構体を用いてい
る。本発明の一実施例が特に目指す形式のシステムは、
汎用フラット・パネル表示器であり、その蓄積要素又は
表示要素に光パターン・データを蓄積する。比較的重
く、かさばり、高電圧を必要とする陰極線管を基本とし
たシステムの代替え品として、フラット・パネルを基本
とした表示システムが望ましい。
【０００３】フラット・パネル表示器は、表示面の観察
領域にわたって配置された多数の表示要素、即ち、「ピ
クセル」を有する。液晶フラット・パネル表示器におい
て、各ピクセルの光学的な性質を、そこに供給する電位
傾斜の大きさに応じて決定する。かかる装置において、
一般的には、各ピクセルに対する電位傾斜を独立に設定
できることが望ましい。この目的を達成するために種々
の技術が考案されている。現在利用可能なアクティブ・
マトリクス液晶配列では、一般に、各ピクセルに薄膜ト
ランジスタ（ＴＦＴ）を設けている。このトランジスタ
は、典型的には、行駆動線により「オン」にストローブ
されると共に、列駆動線からのある値も受ける。この値
は、次の行駆動線のストローブまで蓄積される。このピ
クセルの各側の透明電極は、そのピクセルに蓄積された
値に対応する電位傾斜を供給して、その光学的な特性を
決定する。
【０００４】米国特許第４，８９６，１４９号公報は、
アクティブ・マトリクス液晶配列の代替えであり、「プ
ラズマによるアドレス指定可能な液晶（Plasma-Address
ableLiquid Crystal ）」、即ち、「ＰＡＬＣ」表示器
と呼ばれる表示器の構成及び動作を記載している。この
技術は、総てのピクセルに対して薄膜トランジスタを用
いるという煩わしさと制限を解消している。薄く不浸透
性の誘電体障壁と導電面との間に、液晶セルの各ピクセ
ルを配置する。この薄い障壁の反対側に不活性ガスを蓄
える。この不活性ガスは、イオン化されていない非導電
性状態から、このガスの体積にわたって十分な電位傾斜
を与えることにより、イオン化された導電プラズマに選
択的に切り替わる。なお、本願明細書では、ＰＡＬＣを
単にプラズマ・アドレス液晶表示器と呼ぶこともある。
【０００５】ガスが導電性状態の時、薄い障壁の表面を
効果的に接地電位にする。この状態にて、そのピクセル
及び薄い誘電体障壁の電位が、導電面に生じた電圧に等
しくなる。このガスの体積にわたる電圧を取り除いた
後、イオン化可能なガスが非導電性状態に戻る。ピクセ
ルに誘導された電位傾斜が、液晶材料及び誘電体障壁の
本来の容量により蓄積される。この電位傾斜は、導電面
の電圧レベルに関係なく一定である。これは、誘導され
た電位差により導電面の電圧よりも低いレベルに薄い障
壁の電圧がフローティングされる一方、導電面の電圧が
接地されるためである。
【０００６】概略的に見ると、ＰＡＬＣ表示器は、絶縁
基板内に形成された１組のチャンネルを含んでいる。こ
れらチャンネルは、頂部基板の下側に不活性ガスを収容
している。この誘電体基板は、チャンネルを形成するリ
ブの頂部に接触し、チャンネルの周囲に沿って絶縁基板
に密封されている。平行電極が各チャンネルの対向側で
長手方向に延びている。動作期間中、このガスがイオン
化されるので、対向する電極間に大きな電位傾斜が誘導
されて、導電性プラズマを与える。イオン化したガス内
の帯電粒子のいくつかが、薄い誘電体障壁に移動して、
そこを接地電位にする。表示器の動作中、この動作が１
秒間に多数回生じる。
【０００７】ガスのイオン化期間中に、電極の長さ方向
に沿った電位の違いを避けるために、電極の単位長さ当
たりの抵抗は、１ｃｍ当たり２オーム（１インチ当たり
５オーム）より大きくないのが望ましい。電極として利
用可能な小さな断面積にて、単位長さ当たりの抵抗値を
小さくするために、金、銀、銅及びアルミニウムの如き
導電性の高い金属を用いる。製造コストを低減し、寿命
を短くするスパッタリング問題を改善するには、銅電極
を典型的には用い、酸化及び耐スパッタリング被覆によ
りメッキをする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、電極の単位長
さ当たりの抵抗を下げることは、しばしば高価であり、
電極の長手方向に沿ったプラズマ放電電流が不均一であ
ることが判った。以下の例で説明するように、過放電電
流により、スパッタリングの如く寿命が短くなる問題が
生じ、不均一な放電電流により、表示アドレス指定が不
均一となり、表示アドレス指定を失敗してしまった。
【０００９】まず、１対の低抵抗線で平行に接続された
１対のスパーク・プラグを駆動するスパーク・コイルを
考察してみる。スパーク・プラグのギャップにおける瞬
間的な差により、スパーク・プラグの１つが先ずファイ
アする（プラズマ化の電位に達する）。これは、別のス
パーク・プラグが利用可能な電圧を制限するので、この
別のスパーク・プラグがファイアするのが阻止される。
ＰＡＬＣ表示器でも同様であり、低抵抗電極で平行接続
された１対の隣接放電点を駆動する電圧を考慮する。ガ
ス媒体の瞬間的な差、又は電極間のギャップの間隔によ
り、放電点の１つが先ずファイアする。これは、隣接放
電点が利用可能な電圧を制限するので、ガス混合物が放
電するのを阻止するか、そうでなければ、利用可能な放
電電流量を低下させる。隣接放電点の間が３ｃｍ程度に
離れると、表示アドレス指定を失敗する領域が生じる。
【００１０】よって、製造コストが安価で、単位長当た
りの抵抗が低く、その長さ方向全体にわたる放電電流が
均一で、表示アドレス指定を失敗しない電極構体が必要
とされている。
【００１１】したがって、本発明の目的は、その長さ方
向全体にわたって放電電流を均一にする電極構体の提供
にある。
【００１２】本発明の他の目的は、ＰＡＬＣ表示器用の
かかる電極構体の提供にある。
【００１３】本発明の更に他の目的は、電極構体の製造
方法の提供にある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも１
つの半導電性（partially conductive）の化合物を用い
て電極を抵抗被覆することである。また、本発明は、電
気泳動方法による付着方法と、少なくとも１つの半導電
性の化合物の粒子によるスクリーン印刷方法との一方又
は両方によって、電極を被覆する。「フリット」として
知られている２次的な粒子を付着又はスクリーン印刷す
る。１時間の焼成により、これら粒子が溶融するので、
半導電性の化合物が電極に固着する。
【００１５】また、本発明は、プラズマ・アドレス構体
に関するものであり、電気泳動付着及び／又はスクリー
ン印刷を用いて、少なくとも１つの半導電性の化合部の
粒子を表示器の電極上に付着させる。その結果得られた
電極構体は、ＰＡＬＣ表示器の如きイオン化可能なガス
媒体装置の動作における放電電流を制限すると共に、均
一に配分する。
【００１６】本発明の他の目的及び利点は、添付図を参
照した好適実施例の以下の詳細説明から明らかになろ
う。
【００１７】
【発明の実施の形態】まず、従来技術との関係から本発
明を説明する。図４は、本発明を用いたプラズマ・アド
レス構体を適用する従来の表示パネルの表示面の正面図
及び関連した駆動回路を示す図である。図５は、図４の
左側から見た場合の従来の表示パネルを形成する構成要
素の層を示す拡大断面斜視図である。図６は、図５の従
来の表示パネルの内部を異なる深さで示し、部分的に切
り欠きのある拡大正面図である。これら図４〜図６にお
いて、従来のフラット・パネル表示装置１０は、表示面
１４を有する表示パネル１２を具えている。この表示面
１４は、垂直方向及び水平方向に所定距離で相互に分離
し、公称的には同じデータ蓄積要素又は表示要素（「ピ
クセル」）１６の矩形配列により形成されたパターンを
含んでいる。この配列の各ピクセル１６は、薄く且つ狭
い垂直方向の電極１８と、細長く且つ狭い水平方向のプ
ラズマ・チャンネル２０との重なり合った交差部を表し
ている。（電極１８を、以下において「列電極１８」と
呼ぶ。）特定のプラズマ・チャンネル２０内の不活性ガ
スが充分にイオン化された際、このプラズマ・チャンネ
ル２０の総てのピクセル１６が同時に設定される。この
時、各ピクセルは、列電極及び接地間の電位傾斜に設定
される。
【００１８】列電極１８及びプラズマ・チャンネル２０
の幅が、矩形形状である表示要素１６の寸法を決める。
実施例では、列電極１８は、電気的に非導電性で光学的
に透明な第１基板の主面上に配置（付着）され、プラズ
マ・チャンネル２０は、電気的に非導電性で光学的に透
明な第２基板内に刻まれる。直視型又は投射型の反射表
示器の如きある装置では、これら基板の一方のみが光学
的に透明であればよいことが、当業者には明かであろ
う。
【００１９】列電極１８は、データ・ドライバ、即ち、
駆動回路２４の出力増幅器２２（図５及び図６を参照）
の各々が平行出力導体２２’に発生したアナログ電圧形
式のデータ駆動信号を受ける。プラズマ・チャンネル２
０は、ストローブ回路２８の出力増幅器２６（図５及び
図６）の各々が出力導体２６’に発生した電圧パルス形
式のデータ・ストローブ信号を受ける。プラズマ・チャ
ンネル２０の各々は、基準電極又はアノード（陽極）電
極（導電性材料のストリップ）３０（図５及び図６）を
含んでおり、この基準電極には、各チャンネル及びデー
タ・ストローブ回路２８と共通の基準電位が供給され
る。
【００２０】表示面１４の全領域上に画像を合成するた
めに、表示装置１０は、データ・ドライバ２４及びデー
タ・ストローブ回路２８の機能を互いに調和させる走査
制御回路３２を用いているので、表示パネル１２のピク
セル１６の総ての列が、行走査形式で行毎にアドレス指
定される。表示パネル１２は、異なる形式の電気光学材
料を用いてもよい。例えば、入射光線３３（図５）の偏
光状態を変化させる材料を用いる場合、表示パネル１２
が１対の光偏光フィルタ３４及び３６（図５）の間に配
置される。これら光偏光フィルタは、表示パネル１２と
協動して、これらを伝搬する光の明るさを変化させる。
しかし、散乱液晶セルを電気光学材料として用いると、
偏光フィルタ３４及び３６を使用する必要がない。表示
パネル１２内にカラー・フィルタ（図示せず）を配置し
て、制御可能なカラー輝度の多色画像を発生してもよ
い。投射型表示器の場合、夫々が基本色の１つを制御す
る３個の独立したモノクロ・パネル１０を用いて、カラ
ー投射を実現できる。
【００２１】次に、特に図５及び図６を参照する。表示
パネル１２は、ネマチック液晶の如き電気光学材料層４
４により空間的に分離された１対のほぼ平行な電極構体
４０及び４２を含むアドレス構体と、ガラス、マイカ
（雲母）又はプラスチックの如き絶縁材料の薄い層（薄
膜）４６とを具えている。電極構体４０は、ガラス誘電
体基板４８を具えており、この誘電体基板４８の内側面
５０には、光学的に透明な酸化スズ・インジウムの列電
極１８が付着されており、ストリップ（細長い）パター
ンを形成する。列電極１８の隣接した対は、距離５２だ
け互いに分離しており、この距離により、隣接した表示
要素１６間の行における水平空間が決まる。
【００２２】電極構体４２は、ガラス誘電体基板５４を
具えている。湾曲した側壁を有し、断面が台形の多数の
プラズマ・チャンネル２０を誘電体基板５４の上面５６
に刻む。プラズマ・チャンネル２０の深さ５８は、頂部
面５６から底部６０までである。プラズマ・チャンネル
２０の各々は、アノード電極３０の他にカソード（陰
極）電極（導電性材料のストリップ）６２も具えてお
り、これら電極は共に薄く幅が狭い。また、これら電極
の各々は、底部６０の長手方向に沿って延びており、内
側の１対の側壁６４の夫々は、底部６０から頂部面５６
に向かう方向で広がっている。
【００２３】プラズマ・チャンネル２０のアノード電極
３０を共通基準電位源に接続する。なお、この基準電位
源は、図示の如く、接地電位に固定することもできる。
プラズマ・チャンネル２０のカソード電極６２は、デー
タ・ストローブ回路２８の出力増幅器２６（図５及び図
６では夫々３個及び５個だけ示す）の異なる１個ずつに
接続する。アドレス構体の適切な動作を確実にするた
め、アノード電極３０及びカソード電極６２を、好まし
くは、表示パネル１０の両端部で、基準電位源及びデー
タ・ストローブ回路２８の増幅出力線２６’に夫々接続
する。
【００２４】隣接したプラズマ・チャンネル２０の間の
側壁６４により、複数の支持構体６６が定まる。この支
持構体６６の頂部面５６は、薄い誘電体材料層４６を支
持する。各支持構体６６の頂部の幅６８により、隣接し
たプラズマ・チャンネル２０が離間される。この頂部の
幅６８により、隣接ピクセル１６間の列における垂直間
隔が決まる。列電極１８及びプラズマ・チャンネル２０
の重なった領域７０が、図５及び図６にて点線で示すよ
うに、表示要素１６の寸法を定める。図６は、表示要素
１６の配列と、これらの間の垂直及び水平間隔を明瞭に
示している。
【００２５】列電極１８に供給する電圧の大きさに応じ
て、隣接する列電極１８の絶縁を確実にする距離５２が
決まる。この距離５２は、典型的には、列電極１８の幅
よりも非常に短い。隣接するプラズマ・チャンネル２０
の間における内部側壁６４の傾きが幅６８を決める。こ
の距離６８は、典型的には、プラズマ・チャンネル２０
の幅よりも非常に短い。列電極１８及びプラズマ・チャ
ンネル２０の幅は、典型的には同じであり、表示アプリ
ケーションで特定される所望の画像分解能により決ま
る。これら距離５２及び幅６８は、できるだけ短いのが
望ましい。表示パネル１２において、チャンネルの深さ
５８は、チャンネルの幅の約２分の１である。
【００２６】チャンネル２０の各々を、イオン化可能な
ガス混合物、代表的には、不活性ガスの混合物で満た
す。誘電体材料の薄い層４６は、プラズマ・チャンネル
２０内に包含されたイオン化可能なガス混合物と、液晶
材料層４４との間の絶縁障壁として作用する。しかし、
この誘電体材料の薄い層４６がないと、液晶材料がプラ
ズマ・チャンネル２０に流れるか、又はイオン化可能な
ガス混合物が液晶材料を汚染する。個体電気光学材料又
はカプセルで包まれた電気光学材料を用いる表示器の場
合には、薄い層４６を除去してもよい。
【００２７】図７は、ガラス基板５４内に形成した従来
のプラズマ・チャンネル２０の第１実施例の細部を示
す。プラズマ・チャンネル２０は、頂部の幅が４５０ミ
クロンで、この頂部は薄い層４６で囲まれている。薄い
層４６及び基部６０の間の深さが２００ミクロンで、基
部６０を横切る幅が３００ミクロンである。アノード電
極３０及びカソード電極６２（以下、電極３０及び６２
という）の各々幅は７５ミクロンである。クロムの底部
層７２は、その厚さが０．２ミクロンで、ガラス基板５
４に良好に固着している。銅層（導電性材料層）７４
は、その厚さは２．０ミクロンで、導電性が良好であ
る。クロムの頂部層７６は、その厚さが０．２ミクロン
で、酸化に対して、銅層７４を密封して保護する。これ
ら総ての寸法が適切であり、銅の導電性が高く、クロム
が電気的導電性でガスに対して不浸透性であることは、
当業者に明かであろう。
【００２８】従来のプラズマ・チャンネル２０及び電極
３０、６２の第１実施例は、代表的には、パターン・マ
スクを用いても用いなくてもよいスパッタリング、蒸着
被覆、又は電気泳動などの既知のガラス・エッチング及
び付加的な薄膜付着技法により形成した。
【００２９】代わりに、導電層を上から配置し、レジス
ト層を写真パターンで形成し、導電層の総てに対して所
望パターンでエッチングするなどの減法工程を用いても
よい。この工程を繰り返して、図７に示す如き多層構体
を形成してもよい。
【００３０】上述のガラス・エッチング及び薄膜付着工
程は、プラズマ・アドレス構体を作成するための製造工
程の一部に過ぎない。厚膜、スクリーン印刷、及び上述
の工程の組み合わせの如き多くの他の製造工程を用いて
もよい。しかし、これら工程のいくつかは、図７に示す
如きアドレス構体を作成するには向かない。
【００３１】かかる工程によって作成するのに向くＰＡ
ＬＣ表示器用電極構体の別の実施例は、本願出願人に譲
渡され１９９５年９月２６日に発行された米国特許第５
４５３６６０号「イオン化可能なガス媒体を用いたアド
レス構体用双チャンネル電極構成及びその動作方法」に
記載されている。
【００３２】図８は、層４６、平面ガラス基板８０及び
１対のリブ８２の間に封じ込められた従来のプラズマ・
チャンネル２０の第２実施例の細部を示す。この実施例
において、多層薄膜スクリーン印刷及び焼成の如き付加
的な工程を用いて、ガラス基板８０の基部６０の上に電
極３０及び６２を典型的には形成している。例えば、リ
ブ形成層を付着し、穏やかに焼成して層を固め、他の層
を付着し、穏やかに焼成し、リブ８２が適切な高さにな
るまでこの工程を繰り返し、完成したリブ構体を焼成し
て、電極３０及び６２の頂部にリブ８２を付加的に形成
してもよい。代わりに、リブ８２を絶縁ガラス又はファ
イバ材料から形成し、導電ニッケル・フリット８４によ
り薄膜４６及び電極３０、６２に融合させてもよい。
【００３３】従来のプラズマ・チャンネル２０の第２実
施例において、典型的には、基部６０上に金属導体（電
気的導電材料層）８６をスクリーン印刷して、電極３０
及び６２から形成する。分配バス又は放出層の如きオプ
ション的な付加層８８を金属導体８６の頂部に付着又は
スクリーン印刷してもよい。米国特許第５４５３６６０
号は、電極３０、６２及びプラズマ・チャンネル２０を
形成する別の種々の方法を記載している。
【００３４】図９は、図７及び図８のアドレス構体の電
気的な等価回路を示す。電極３０及び６２は、（点線で
囲んで示す）イオン化可能なガス媒体９０の中でほぼ平
行な構成で延びている。電極３０は、多くの隣接した放
電点９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃ・・・９２Ｎ（集合的に
「放電点９２」という）を含んでおり、電極６２は、対
応する隣接した放電点９４Ａ、９４Ｂ、９４Ｃ・・・９
４Ｎ（集合的に「放電点９４」という）を含んでいる。
電極３０又は６２を駆動する出力増幅器２６（図５及び
図６）を、電極３０及び６２に電圧Ｖを供給する電圧源
９６で示す。抵抗器９８は、電圧源９６の内部インピー
ダンスを示す。
【００３５】電圧Ｖは、放電点９２からイオン化可能な
ガス媒体９０を介して放電点９４に放電電流を流すのに
充分な値でなければならない。この放電電流の値は、１
対の対応する放電点９２及び９４の間のイオン化可能な
ガス媒体９０と、電圧Ｖの値とで決まる。なお、イオン
化可能なガス媒体の抵抗は、電極３０及び６２の局部的
な空間、形及び構成と、イオン化可能なガス媒体９０の
圧力、ガス混合物、温度及びイオン化しきい値電圧とに
より可変する。さらに、イオン化可能なガス媒体９０の
抵抗は、放電電流が流れないとき（イオン化可能なガス
媒体９０がイオン化されないとき）に高く、放電電流が
流れるとき（イオン化可能なガス媒体９０がイオン化さ
れたとき）に比較的低い。放電点９２及び９４の各対の
間のイオン化可能なガス媒体９０の抵抗は、対応する種
々の抵抗器１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ・・・１００
Ｎで表す。放電点９２及び９４の各対の間を流れる放電
電流を、対応放電電流１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ・
・・１０２Ｎで表す。
【００３６】例えば、電源９６が電圧Ｖを電極３０及び
６２間に突然供給したと仮定する。さらに、イオン化可
能なガス媒体９０が先ず放電点９２Ｂ及び９４Ｂ間でイ
オン化し、隣接する可変抵抗器１００Ａ及び１００Ｃに
対して可変抵抗器１００Ｂが小さい値だと仮定する。急
激に増加した放電電流１０２Ｂは、電圧源９６を流れ、
抵抗器９８に電圧降下を生じる。これにより、電極３０
及び６２間に供給する電圧Ｖが急激に低下する。最悪の
場合には、電圧Ｖが、電極３０及び６２の長手方向のい
ずれかでイオン化可能なガス媒体９０のイオン化しきい
値電圧よりも下がり、これら領域にてイオン化可能なガ
ス媒体９０のイオン化が阻止される。他の例では、電圧
Ｖが電極３０及び６２の長手方向に沿って低下し、９２
Ａ及び９４Ａや、９２Ｃ及び９４Ｃの如く隣接した放電
点の対の間で、放電電流が低下する。更に他の例では、
過度で不均一なプラズマ放電電流が、電極３０及び６２
の長手方向に沿って生じる。これは、電極のスパッタリ
ングや、表示アドレス指定の不均一性や、最悪の場合に
は、表示アドレスの失敗などの問題を生じる。
【００３７】図１は、本発明による改善されたプラズマ
・アドレス構体１１０におけるチャンネル及び電極の第
１実施例を示す。改善されたプラズマ・アドレス構体１
１０は、図７に示す如き従来のプラズマ・アドレス構体
を元にしており、電極３０及び６２の少なくとも一方の
頂部の上に抵抗層１１２を追加している。図では、抵抗
層１１２は、電極３０及び６２の両方の頂部の上に設け
ている。しかし、本発明は、抵抗層１１２をただ１個の
電極に適用しても適切に機能する。なお、電極構体の構
造の元は、図７に示すものに限定されない。抵抗層１１
２は、図３を参照して説明するように、改善されたプラ
ズマ・アドレス構体１１０に流れる放電電流を制限し、
均一にする。
【００３８】改善されたプラズマ・アドレス構体１１０
を作成する好適な方法は、マスクを用いて、７５％の二
酸化ルテニウムと２５％のガラス・フリット（コーニン
グ社製８４６３型ガラス・フリット）との混合物を厚さ
２〜４ミクロンに電気泳動で付着させ、この付着した混
合物を摂氏４００度で１時間焼成して、電極３０及び６
２の少なくとも一方を覆うように抵抗層１１２を形成す
る。
【００３９】代わりに、二酸化ルテニウム層を先ず付着
させて、ガラス・フリット層を設けてもよい。この付着
した組み合わせを、摂氏４００度で１時間焼成してもよ
い。７５％のヘキサボライド・ランタン（ＬａＢ6）と
２５％のガラス・フリットとから成るオプションとして
の放出層（図示せず）を抵抗層１１２の頂部に付着し
て、摂氏４００度で１時間焼成してもよい。上述の如
く、ＬａＢ6及びガラス・フリットを分離して付着させ
てから、焼成してもよい。
【００４０】図２は、本発明の改善されたプラズマ・ア
ドレス構体１２０のチャンネル及び電極の第２実施例を
示す。この改善されたプラズマ・アドレス構体１２０
は、図８に示す如き従来のプラズマ・アドレス構体を元
にしており、電極３０及び６２の少なくとも一方の頂部
上に抵抗層１２２を追加している。この抵抗層１２２
は、図２では、電極３０及び６２の両方の頂部の上にあ
るが、ただ１個の電極に抵抗層１２２を適用しても適切
に機能する。また、本発明の電極構体の元は、図８に示
すものに限定されない。図１の抵抗層１１２と同様な方
法で、図３を参照して説明するように、抵抗層１２２
は、改善されたプラズマ・アドレス構体１２０に流れる
放電電流を制限して、均一にする。
【００４１】改善されたプラズマ・アドレス構体１２０
を製造する好適な方法では、多層厚膜スクリーン印刷及
び焼成の如き加法的な工程を用いて電極３０及び６２の
少なくとも一方の上に抵抗層１２２を形成する必要があ
る。先ず、基部６０上に金属導体８６をスクリーン印刷
して、電極３０及び６２を形成する。分配バスの如き付
加層８８を金属導体８６の頂部の上に付着又はスクリー
ン印刷する。次に、金属導体８６及び付加層８８の頂部
に抵抗層１２をスクリーン印刷する。抵抗層１２２は、
好適には、７５％の二酸化ルテニウムと２５％のガラス
・フリットとの混合物である。代わりに、二酸化ルテニ
ウムの層を先ずスクリーン印刷して、ガラス・フリット
の層を設けてもよい。いずれの方法でも、次に、スクリ
ーン印刷の組み合わせを摂氏４００度で１時間焼成す
る。
【００４２】７５％のＬａＢ6及び２５％のガラス・フ
リットから成るオプションとしての放出層（図示せず）
を抵抗層１２２の頂部にスクリーン印刷して、摂氏４０
０度で１時間焼成してもよい。第１実施例と同様に、Ｌ
ａＢ6及びガラス・フリットを別々にスクリーン印刷
し、次に焼成してもよい。勿論、オプションとしての放
出層を電気泳動により付着してもよい。
【００４３】スクリーン印刷を行う際、スクリーン印刷
の間に、摂氏１２０度で２０分間焼成すると、次の層の
スクリーン印刷する前に各層が安定する。これと同様
に、最終的な層の組み合わせを摂氏４００度で１時間焼
成して、材料を互いに溶融し、抵抗層１２２をリブ８２
に接合する。
【００４４】図３は、図１及び図２に示す如き改善され
た具体的プラズマ・アドレス構体の電気的等価回路を示
す。しかし、この例では、抵抗層１１２、１２２を電極
３０のみに適用した場合を示している。抵抗層１１２及
び１２２は、対応する１対の放電点９２及び９４と電極
３０とに夫々直列に挿入された抵抗器１３０Ａ、１３０
Ｂ、１３０Ｃ・・・１３０Ｎとして作用する。直列抵抗
器１３０は、スパッタリングなどの寿命を短縮する影響
を与える過度のレベルに放電電流１０２の各々が達する
のを阻止する。
【００４５】放電電流を同時に制限することは、電極３
０及び６２の長手方向全体にわたって放電電流１０２を
一様にする有益な特性を示す。所定電圧Ｖに対して、あ
る値の放電電流１０２が放電点９２及び９４の各対応す
る対の間を流れるが、これは、放電電流経路内の総合抵
抗により決まる。図９を参照して説明した従来例におい
ては、可変抵抗器１００のみが各放電電流経路に存在
し、広範囲にわたって抵抗が変化した。可変抵抗器１０
０の値が大きいか、又は過度の放電電流１０２によって
電圧Ｖが小さな値に低下すると、イオン化可能なガス媒
体９０は、放電点９２及び９４のある対の間でイオン化
できないと上述した。
【００４６】しかし、図３に示すように、抵抗器１３０
を放電点９２及び９４と直列に挿入することにより、特
定の可変抵抗器、例えば、可変抵抗器１００Ｂの値が比
較的に小さいことにより、電流１０２Ｂが大きくても、
その結果の電流１０２Ｂは、抵抗器１３０Ｂにより制限
される。さらに、抵抗器１３０Ｂの電圧降下が比較的大
きくなるので、放電電流１０２Ｂの影響から、又は、こ
の問題では、任意の他の過大放電電流１０２の影響から
電圧Ｖを分離できる。
【００４７】放電電流１０２が制限され、電圧Ｖが安定
するので、放電電流１０２は、主に電圧Ｖ、抵抗器１３
０及び可変抵抗器１００により決まる。したがって、可
変抵抗器１００の変化は２次的影響となり、放電電流１
０２の各々がほぼ一様になる。これにより、電極３０及
び６２の長手方向全体にわたって、放電電流が均一に分
配され、表示器のアドレス指定の失敗を防止する。
【００４８】上述の好適実施例と異なる構成及び方法
で、本発明の一部を実現できることが当業者には明かで
あろう。例えば、多くの半導電性化合物又は耐火性化合
物は、本発明の抵抗層１１２及び１２２を形成するのに
有用である。かかる代替えの化合物は、酸化錫インジウ
ム及びフリットか、又は窒化硼素及びフリットを含んで
もよい。
【００４９】上述では、本発明を一般的に述べたが、ビ
デオ・カメラ、メガサンプル・アナログ・メモリなどの
他のプラズマ・アドレス装置や、液晶以外の電気光学効
果を用いた表示器や、交流及び直流プラズマ表示装置な
どに本発明を用いてもよい。本発明の要旨を逸脱するこ
となく、上述の本発明の好適実施例の細部において種々
の変更が可能なことが当業者には明かであろう。よっ
て、本発明は、ＰＡＬＣ表示器用以外の電極構体にも適
用可能である。
【００５０】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、製造コスト
が安価で、単位長当たりの抵抗が低く、その長さ方向全
体にわたる放電電流が均一で、表示アドレス指定を失敗
しない電極構体及びその製造方法が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による改善されたプラズマ・アドレス構
体のチャンネル及び電極の第１実施例を示す拡大斜視図
である。
【図２】本発明による改善されたプラズマ・アドレス構
体のチャンネル及び電極の第２実施例を示す拡大斜視図
である。
【図３】図１及び図２の改善されたプラズマ・アドレス
構体の電気的等価回路を示す図である。
【図４】本発明を適用できるプラズマ・アドレス構体用
の従来の表示パネルの表示面の正面図及び関連した駆動
回路を示す図である。
【図５】図４の左側から見た場合の従来の表示パネルを
形成する構成要素の層を示す拡大断面斜視図である。
【図６】図５の従来の表示パネルの内部を異なる深さで
示し、部分的に切り欠きのある拡大正面図である。
【図７】プラズマ・アドレス構体用の従来のチャンネル
及び電極を示し、図６の線７−７に沿う拡大断面図であ
る。
【図８】プラズマ・アドレス構体用の従来の他のチャン
ネル及び電極を示す拡大断面図である。
【図９】図７及び図８の従来のプラズマ・アドレス構体
の電気的等価回路を示す図である。
【符号の説明】
１０ 表示パネル ２０ プラズマ・チャンネル ２４ データ・ドライバ ２８ データ・ストローブ回路 ３０ アノード電極（導電性材料のストリップ） ４０、４２ 電極構体 ４４ 電気光学材料層 ４６ 絶縁材料の薄い層（薄膜） ４８ 誘電体基板 ５４ 誘電体基板 ６０ 底部 ６２ カソード電極（導電性材料のストリップ） ６４ 内部側壁 ７４ 銅層（電気的導電材料層） ８０ ガラス基板 ８２ リブ ８４ 導電ニッケル・フリット ８６ 金属導体（電気的導電材料層） ８８ 付加層 ９２ 放電点 ９４ 放電点 ９６ 電圧源 １００ 可変抵抗器 １０２ 放電電流 １１０ プラズマ・アドレス構体 １１２ 抵抗層 １２０ プラズマ・アドレス構体 １２２ 抵抗層 １３０ 抵抗器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トーマス・エス・ブザク アメリカ合衆国 オレゴン州 97007 ビ ーバートン サウスウェスト ストーンク リーク・ドライブ 9755 (72)発明者 ケビン・ジェー・イルシシン アメリカ合衆国 オレゴン州 97007 ビ ーバートン サウスウェスト ハーギス・ ロード 16728

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 イオン化可能なガス媒体と、データ信号
    を蓄積するデータ要素と、細長い少なくとも第１及び第
    ２電極とを有し、上記データ要素をアドレス指定するア
    ドレス構体であって、上記第１及び第２電極の間に供給
    した電位差により上記イオン化可能なガス媒体に放電電
    流を流して、上記第１及び第２電極の少なくとも一方と
    上記データ要素との間を切断可能に電気的接続を行っ
    て、上記データ要素を選択的にアドレス指定するアドレ
    ス構体において、 上記第１及び第２電極の長手方向に沿って延び、上記第
    １及び第２電極の長手方向に沿って電位差を均一に配分
    する上記第１及び第２電極用の電気的導電材料層と、 上記第１及び第２電極の少なくとも一方の長手方向に延
    び、上記放電電流量を制限すると共に、上記イオン化可
    能なガス媒体に流れる放電電流を均一に分配する抵抗層
    とを具えたアドレス構体。
  2. 【請求項２】 イオン化可能なガス媒体と、データ信号
    を蓄積するデータ要素と、細長い第１及び第２電極とを
    有し、上記第１及び第２電極間の電位差により上記イオ
    ン化可能なガス媒体に放電電流を流し、上記第１及び第
    ２電極の少なくとも一方と上記データ要素との間に中断
    可能な電気的接続を行って、上記データ要素を選択的に
    アドレス指定するアドレス構体において、上記第１及び
    第２電極を製造する方法であって、 一方の主面に離間した複数の一連のプラズマ・チャンネ
    ルを有する電気的非導電性材料の基板を設け、 長手方向が上記プラズマ・チャンネルの各々に沿った電
    気的導電性材料の第１及び第２ストリップを形成し、 各プラズマ・チャンネル内の少なくとも１個の上記スト
    リップ上に抵抗層を電気泳動により付着し、 上記基板、上記第１及び第２ストリップ並びに上記抵抗
    層を大気中で焼いて、上記プラズマ・チャンネルの各々
    の少なくとも１個の上記ストリップに上記抵抗層を溶融
    することを特徴とする電極構体製造方法。
  3. 【請求項３】 イオン化可能なガス媒体と、データ信号
    を蓄積するデータ要素と、第１及び第２電極とを有し、
    上記第１及び第２電極間の電位差により上記イオン化可
    能なガス媒体内に放電電流を流し、上記第１及び第２電
    極の少なくとも一方と上記データ要素との間に切断可能
    な電気的接続を行って、上記データ要素を選択的にアド
    レス指定するアドレス構体において、上記第１及び第２
    電極を製造する方法であって、 電気的非導電性材料のほぼ平面の基板を設け、 上記基板の主面に沿って、電気的導電性材料の少なくと
    も第１及び第２のストリップを形成し、 上記導電性材料のストリップの少なくとも１つの上に抵
    抗層を設け、 上記基板、上記第１及び第２ストリップ並びに上記抵抗
    層を大気中で焼いて、上記プラズマ・チャンネルの各々
    にて上記導電性材料のストリップの少なくとも１つに上
    記抵抗層を溶融することを特徴とする電極構体製造方
    法。
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