JPH10106963A - 連結装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被連結側装置と連結側装置とを所定の位置関係
となる様連結し、作業性を向上すると共に作業者の負担
を軽減し、更に作業の安全性を高める。 【解決手段】被連結側装置５０の連結把持部を把持する
クランプ部２と連結側装置５２の連結端５３が挿入可能
なホールド部３を具備し、クランプ部により連結装置１
を被連結側装置に固着し、連結装置に対して連結側装置
の連結端を前記ホールド部に挿入することで簡単に被連
結側装置と連結側装置が所定の位置関係で連結される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は被連結側装置と連結
側装置とを所定の関係に位置付けが行える連結装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば縦型炉を有する半導体製造装置の
組立に於いて、縦型炉の構成品である石英管を搬送装置
により半導体製造装置近傍に搬送した場合、通常搬送装
置は、複数の半導体製造装置に対して各種構成品を搬送
する汎用の搬送装置である為、個々の半導体製造装置と
は厳格な位置関係は成立しない。特に、個々の半導体製
造装置は床面に凹凸がある、或は傾斜があることから床
面に対して微妙な設置条件の差異があり、搬送装置が所
定の半導体製造装置に対して成立する位置関係も他の半
導体製造装置に対してはその位置関係が成立しないとい
う不具合がある。

【０００３】従って、従来では搬送装置で搬送した構成
品を、搬送装置に装備した組立装置により、搬送装置か
らそのまま半導体製造装置内に組込むことは難しく、一
旦搬送装置から取外して手作業で組込む等していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来では搬送装置で搬
送した半導体製造装置の構成品を、一旦は搬送装置から
取外して手作業により組立作業を行っている為、作業性
が悪く、特に炉を構成する石英管等は大型で而も重量物
であり、又無理な姿勢での作業となる等、作業者の負担
が大きく、又危険も大きかった。

【０００５】本発明は斯かる実情に鑑み、被連結側装置
と連結側装置、例えば半導体製造装置と搬送装置とを所
定の位置関係となる様連結し、搬送装置から組立装置等
を用いて半導体製造装置内に直接組立て得る様にし、作
業性を向上すると共に作業者の負担を軽減し、更に作業
の安全性を高めようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、被連結側装置
の連結把持部を把持するクランプ部と連結側装置の連結
端が挿入可能なホールド部を具備した連結装置に係り、
又前記クランプ部が水平方向に延出する調節腕と該調節
腕が貫通する把持板と該把持板に対峙して設けられた加
圧座と、該加圧座を前記把持板に対して近接離反させる
ロックボルトとを有する連結装置に係り、又前記ホール
ド部が昇降自在の整合金具を左右に有し、該整合金具に
前記連結端の幅端面に転動自在に当接するサイドローラ
を設けた連結装置に係るものであり、連結装置を介して
被連結側装置と連結側装置とが所定の関係に位置付けら
れ、又クランプ部により連結装置が被連結側装置に容易
に着脱可能であり、ホールド部には連結側装置の連結端
が挿脱可能であり、クランプ部により連結装置を被連結
側装置に固着し、連結側装置の連結端を前記ホールド部
に挿入することで簡単に被連結側装置と連結側装置が連
結されると共に両者の位置関係が所定の状態に位置決め
される。更に、前記ホールド部の連結端を把持する部分
が上下方向に変位可能であるので床面の凹凸、傾斜を吸
収して連結端の挿入を確実容易にする。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。

【０００８】図１中、１は本実施の形態に係る連結装置
を示し、該連結装置１には前方にクランプ部２、後方に
ホールド部３がそれぞれ構成される。先ずクランプ部２
を説明する。

【０００９】側板５はクランク形状をし、側板６は略Ｌ
字状をしており、前記側板５、側板６は平行に配設され
ると共に中間下部が連結板７により連結され、前端部が
クランプアーム８により連結されている。

【００１０】該クランプアーム８は前記側板５、側板６
より更に前方に延出する水平な２股調節腕９，９を有す
ると共に後端側より下方に垂下する垂直辺部１０を有
し、前記調節腕９，９の上面には複数条の調整溝１１を
刻設する。

【００１１】前記調節腕９，９より把持板１２を垂設す
る。該把持板１２は上端近傍に前記調整溝１１と係合可
能な鉤部１３を幅方向全長に亘って設け、又該鉤部１３
の下側には前記調節腕９，９が貫通可能な水平スリット
孔１４，１４を穿設し、該水平スリット孔１４，１４の
下端縁に沿って前方に突出するリブ１５を把持板１２全
幅に亘って設ける。又、前記把持板１２の後面下部には
下縁に沿って所要幅の摩擦部材１６を貼設する。該摩擦
部材１６には硬度の高いゴム材、例えばウレタンゴム等
を使用する。

【００１２】前記垂直辺部１０の前記把持板１２の両端
部に対応する２箇所に前記垂直辺部１０に垂直に、短管
状のチューブナット２１を固着し、該チューブナット２
１にロックボルト２２を螺通し、該ロックボルト２２の
先端に加圧座２３を回転自在に取付け、該加圧座２３の
加圧面には硬度が高く摩擦力の大きいゴム板２４を固着
する。

【００１３】次に、前記ホールド部３について説明す
る。前記側板６の内側面にスライドガイド２５を鉛直方
向に設け、該スライドガイド２５にスライダ２６を摺動
自在に設け、該スライダ２６に断面Ｌ字状の整合金具２
７を固着し、該整合金具２７の上端縁に庇部２８を水平
に固着する。前記整合金具２７の垂直部位内側の反クラ
ンプアーム８側（後側）の位置に軸３０を水平に突設
し、該軸３０に上ガイドローラ３１を回転自在に設け
る。前記整合金具２７の水平部位の前側に水平に軸３２
を突設し、該軸３２に下ガイドローラ３３を回転自在に
設ける。前記上ガイドローラ３１の下端面と前記下ガイ
ドローラ３３の上端面とは垂直方向に後述する連結端５
３の板厚分だけ距離が離れている。前記整合金具２７の
水平部位には前後に軸３５，３５が立設され、該軸３５
のそれぞれにサイドローラ３６を回転自在に設ける。

【００１４】前記側板６の上端の前記庇部２８と対峙す
る位置にナットブロック３７を固着し、該ナットブロッ
ク３７に蝶ボルト３８を螺通し、該蝶ボルト３８には前
記ナットブロック３７の上側に位置する様蝶ナット３９
を螺合し、前記蝶ボルト３８の下端は前記庇部２８に回
転自在に連結する。

【００１５】前記側板５の内側面にスライドガイド４０
を鉛直方向に設け、該スライドガイド４０にスライダ４
１を摺動自在に設け、該スライダ４１に断面Ｌ字状の整
合金具４２を固着し、該整合金具４２の水平部位の前後
に軸４３，４３が立設され、該軸４３のそれぞれにサイ
ドローラ４４を回転自在に設ける。前記整合金具４２に
は前記スライドガイド４０の上端に係合可能な鉤状のス
トッパ４５が設けられ、前記側板５の後端上部には前記
スライダ４１と係合可能な突起４６が形成されており、
前記ストッパ４５は前記スライダ４１の下限を規制し、
前記突起４６は前記スライダ４１の上限を規制する。

【００１６】以下、図２を参照して作動を説明する。

【００１７】図２中、５０は被連結側装置を示し、該被
連結側装置５０の連結把持部５１に前記クランプ部２を
クランプする。又、図２中、５２は連結側装置を示し、
該連結側装置５２の連結端５３が前記ホールド部３に把
持される。

【００１８】更に具体的に説明する。

【００１９】先ず、前記連結把持部５１の幅に合わせて
前記把持板１２の位置を決定する。前記調節腕９，９を
前記水平スリット孔１４，１４に挿通し、前記鉤部１３
を前記調整溝１１に嵌合する。前記鉤部１３が前記調整
溝１１に嵌合することで鉤部１３は調節腕９の上面に当
接すると共に前記リブ１５が前記調節腕９の下面に当接
し、前記クランプアーム８は水平方向の動きが拘束され
ると共に該クランプアーム８に対して時計方向の回転が
拘束される。更に、該クランプアーム８の水平方向、図
２中紙面に対して垂直方向の動きは調節腕９が水平スリ
ット孔１４に嵌合することで拘束される。

【００２０】次に、前記ロックボルト２２を締込み、前
記加圧座２３を前記連結把持部５１に対して前進させ
る。前記摩擦部材１６、ゴム板２４が圧縮され、該摩擦
部材１６、ゴム板２４に充分な変形量を与える様、前記
ロックボルト２２を締込む。前記連結把持部５１が前記
把持板１２と加圧座２３間に把持される。前記摩擦部材
１６、ゴム板２４が圧縮され、前記連結把持部５１に密
着することで該連結把持部５１と前記把持板１２、加圧
座２３間に大きな摩擦力が発生し、前記連結把持部５１
は前記クランプ部２に堅固に把持される。而して、前記
側板５、側板６は前記被連結側装置５０に対して位置決
めされる。

【００２１】前記蝶ボルト３８を回して前記整合金具２
７の上下方向の位置を調整し、該整合金具２７を床面５
４に密着させ、前記蝶ナット３９で前記蝶ボルト３８を
ロックする。前記整合金具４２は上下方向に摺動自在で
あるので、前記被連結側装置５０に前記連結装置１が固
着された段階で前記整合金具４２は床面５４に密着し位
置決めされる。

【００２２】前記連結側装置５２を被連結側装置５０側
に前進させ、前記連結端５３を前記ホールド部３に挿入
する。

【００２３】前記連結端５３は両サイドを前記サイドロ
ーラ３６，３６及びサイドローラ４４，４４にガイドさ
れ、又前記連結端５３の上面、下面は前記上ガイドロー
ラ３１、下ガイドローラ３３にガイドされ、結局前記連
結端５３は上下方向、左右方向（図２の紙面に対して垂
直方向）を前記ホールド部３により拘束され、前記被連
結側装置５０に対して近接離反方向にのみ自在に動き得
る様に把持される。而して、被連結側装置５０に対し、
左右方向の位置決めがなされた状態で前記連結側装置５
２が連結される。尚、特に図示していないが、前記連結
装置１に前記連結端５３の先端が当接するストッパを設
け、該連結端５３が該ストッパに当接するまで挿入すれ
ば、被連結側装置５０に対する近接離反方向の位置決め
もなされる。

【００２４】前記床面５４は微妙に凹凸、傾斜があり、
完全な水平面とは言えないが、前記した様に前記整合金
具２７、整合金具４２を前記床面５４に接地させること
ができるので前記上ガイドローラ３１、下ガイドローラ
３３、サイドローラ３６，３６、サイドローラ４４，４
４の前記床面５４からの位置を確実に規定の値に設定す
ることができ、前記連結端５３の前記ホールド部３に対
する挿入を確実に而も簡単に行え、前記連結装置１に対
する前記連結側装置５２の連結が簡単確実に行える。従
って、前記被連結側装置５０に対する前記連結側装置５
２の連結を前記連結装置１を介して簡単確実に行え、而
も前記被連結側装置５０と前記連結側装置５２間の位置
決めも併せて行える。

【００２５】而して、前記連結側装置５２が搬送装置で
あり、被連結側装置５０に組込む部品等を搬送する場合
に、両装置の位置決めが行われるので連結側装置５２か
らの被連結側装置５０への移載を機械化することが可能
であり、更に連結側装置５２に組立装置等を具備させる
と搬送した部品の被連結側装置５０への自動組立てが可
能となる。

【００２６】尚、上記実施の形態に於いて調節腕９を２
股形状としたが、１つにまとめたものでもよい。又、把
持板１２の鉤部１３を省略し、水平スリット孔の上枠縁
をナイフエッヂとし該上枠縁が前記調整溝１１に嵌合す
る様にしてもよく、又リブ１５は省略してもよい。

【００２７】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、クラン
プ部により連結装置が被連結側装置に容易に着脱可能で
あり、クランプ部により連結装置を被連結側装置に固着
し、連結側装置の連結端を前記ホールド部に挿入するこ
とで簡単に被連結側装置と連結側装置が連結されると共
に両者の位置関係が所定の状態に位置決めされ、更に前
記ホールド部の連結端を把持する部分が上下方向に変位
可能であるので床面の凹凸、傾斜が吸収され連結端の挿
入が確実容易になり、床面の状態に拘らず被連結側装置
と連結側装置との連結が行える等の優れた効果を発揮す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ矢視図である。

【符号の説明】

１ 連結装置 ２ クランプ部 ３ ホールド部 １０ 垂直辺部 １１ 調整溝 １２ 把持板 １３ 鉤部 ２２ ロックボルト ２３ 加圧座 ２５ スライドガイド ２７ 整合金具 ３１ 上ガイドローラ ３３ 下ガイドローラ ３６ サイドローラ ３８ 蝶ボルト ４０ スライドガイド ４２ 整合金具 ４４ サイドローラ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被連結側装置の連結把持部を把持するク
   ランプ部と連結側装置の連結端が挿入可能なホールド部
   を具備したことを特徴とする連結装置。
2. 【請求項２】 前記クランプ部が水平方向に延出する調
   節腕と該調節腕が貫通する把持板と該把持板に対峙して
   設けられた加圧座と、該加圧座を前記把持板に対して近
   接離反させるロックボルトとを有する請求項１の連結装
   置。
3. 【請求項３】 前記ホールド部が昇降自在の整合金具を
   左右に有し、該整合金具に前記連結端の幅端面に転動自
   在に当接するサイドローラを設けた請求項１の連結装
   置。