JPH10107169A - Icパッケージのリードピン検査方法及びその装置 - Google Patents

Icパッケージのリードピン検査方法及びその装置

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JPH10107169A JP9249037A JP24903797A JPH10107169A JP H10107169 A JPH10107169 A JP H10107169A JP 9249037 A JP9249037 A JP 9249037A JP 24903797 A JP24903797 A JP 24903797A JP H10107169 A JPH10107169 A JP H10107169A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ICパッケージのリードピン検査に対する精
密度及び効率を向上させる。 【解決手段】 移動及び回動可能に設けられ、検査され
るICパッケージ10をピックアップする支持手段と、
前記ICパッケージ10のリードピン12列を挟んで相
互対向するように設けられた少なくとも三対の発光セン
サ221,222,223及び受光センサ231,23
2,233と、前記各発光センサ221,222,22
3から出射され、リードピン12の間を通過した後、各
受光センサ231,232,233に到達する光量を測
定することによりリードピン12の整列状態を検査する
制御器とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はICパッケージのリ
ードピン検査方法及びその装置に係り、特にフラット型
のICパッケージのリードピンの整列状態を検査するた
めのICパッケージのリードピンの検査方法及びその装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、図1に示された、QFP(Quad
Flat Package)のようなフラット型のICパッケージ1
0は本体11と、その本体11の側面に配置された多数
のリードピン12とを備える。前記リードピン12は、
図示されたように、パッケージの本体11から横方向に
突き出された延長部121と、前記延長部121から下
方に所定角度傾斜して延長された傾斜部122と、前記
傾斜部122から再び横方向に延長された端部123と
を有する。
【0003】ICパッケージ10を印刷回路基板(図示
せず)に実装する時、前記リードピン12の位置、方
向、間隔及び高さ等の整列状態が均一でなければ前記リ
ードピン12は回路基板に正確に接触できない。すなわ
ち、前記リードピン12の整列状態が均一でなければ、
ICパッケージ10を基板に実装する時、図2に示した
ように、回路基板1と接触できないリードピン12が発
生するため適切なはんだ付けが行われない。従って、I
Cパッケージが基板に実装される前にリードピンの整列
状態を検査する過程を経るが、このようなリードピンの
整列状態はリードピンが同一平面上に位置する程度を示
す共面度を測定することにより分かることができる。
【0004】図3及び図4を参照すると、前記共面度を
測定するための従来のリードピン検査装置は、ICパッ
ケージ10を吸着するための吸着ノズル111と、前記吸
着ノズル111に吸着されるICパッケージ10のリー
ドピン12の列を挟んで相互対向して設けられる発光セ
ンサ120及び受光センサ130と、前記発光センサ1
20から出射され前記リードピン12の間を通過して前
記受光センサ130に到達する光量を測定することによ
り前記リードピン12の整列状態を検出する制御器140
とを含んで構成される。
【0005】前記吸着ノズル111により吸着されたI
Cパッケージ10は前記発光センサ120と受光センサ
130の間に移動して整列される。この状態で前記発光
センサ120から前記受光センサ130へと光が出射さ
れる。この際、リードピン12の整列状態が不均一で高
さの偏差が大きいと、前記リードピン12により遮光され
る光量は増加し、前記受光センサ130に到達する受光
量は減少する。従って、前記受光センサ130に到達す
る光量を測定することによりICパッケージ10のリー
ドピン12の共面度を測定することができる。
【0006】しかしながら、前述したような従来のIC
パッケージのリードピン検査装置において、基本的に検
査されるICパッケージの胴体の側面とリードピンの先
端の配列線が相互平行しなければ正確な検査結果を得る
ことができない。ところが、実際の検査過程において
は、前記条件を充足させるのが容易でないため検査の精
密度が落ちる。
【0007】かつ、図5に示したように、ICパッケー
ジ10が吸着ノズル111により光軸と平行せず角度
(θ)をなして吸着される場合には、リードピン12の整
列状態が均一であってもリードピン12の傾斜部122
(図1参照)により光が遮断される領域(B)が形成され
る。よって、受光センサ130に到達する受光量は減少
する。従来のリードピン検査方法によると、受光センサ
に受光された光量の絶対値と基準値とを比較してリード
ピンの整列状態の良否を判定するので、前述したように
ICパッケージが正確に吸着されない場合にもリードピ
ンの整列状態に問わず不良として判定される場合があ
り、検査の信頼度が落ちる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記問題点を
解決するための案出されたものであり、フラット型のI
Cパッケージのリードピンの整列状態に対する検査の精
密度及び効率を向上させたICパッケージのリードピン
検査方法及びその装置を提供するにその目的がある。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明のICパッケージのリードピン検査装置は、移
動及び回動可能に設けられ、検査されるICパッケージ
をピックアップする支持手段と、前記ICパッケージの
リードピン列を挟んで相互対向するように設けられた少
なくとも三対の発光センサ及び受光センサと、前記各発
光センサから出射され前記リードピンの間を通過した
後、前記各受光センサに到達する光量を測定することに
より前記リードピンの整列状態を検査する制御器とを含
むことを特徴とする。
【0010】かつ、前記目的を達成するために本発明に
よるICパッケージのリードピン検査方法は、ICパッ
ケージのリードピン列を挟んで相互対向するように設け
られた少なくとも三対の発光及び受光センサを含むリー
ドピン検査装置を用いたICパッケージのリードピン検
査方法において、前記発光及び受光センサの間にICパ
ッケージを位置させる段階と、前記発光センサから出射
され前記ICパッケージのリードピンの間を通過して前
記受光センサに到達する光量を測定する段階と、前記各
発光センサと受光センサにより形成される各光軸の間の
角度と前記リードピンにより遮光された遮光量を変数と
する関数を求める段階と、前記関数の最小値及び最小光
軸角を求める段階と、前記最小光軸角に当たる最大受光
量と基準値とを比較してリードピンの整列状態を検査す
る段階とを含むことを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて、添付した図面に基づき更に詳細に説明する。図6
及び図7を参照すると、本発明によるリードピン検査装
置は、ICパッケージ10を吸着してピックアップする
ために移動可能に設けられた吸着ノズル211と、前記
吸着ノズル211に吸着されるICパッケージ10のリ
ードピン12列を挟んでその配列方向に相互対応するよ
うに設けられた少なくとも三対の発光センサ221・2
22・223及び受光センサ231・232・233
と、前記各発光センサ221・222・223から出射
され前記リードピン12の間を通過した後、前記各受光
センサ231・232・233に到達する光量を測定し
て前記リードピン12の整列状態を検査する制御器24
0とを含んで構成される。
【0012】前記発光センサ222・232及び受光セ
ンサ223・233により形成される光軸は前記発光及
び受光センサ221・231により形成される光軸に対
してそれぞれ角度(θ)ほど傾斜している。従って、それ
ぞれの光軸は、一点(F)で交差する。図6の参照符号2
10は、前記吸着ノズル211を乗降及び回転可能に支
持するヘッド部であり、例えば前記ICパッケージ10
の一側のリードピン12に対する検査が完了すると、前
記ヘッド部210は、前記吸着ノズル211を移動又は
回転させて他の側のリードピンを検査する。
【0013】一方、前記ヘッド部210は、例えばXY
ロボットや多関節ロボット等により自由に移動できるよ
うに設けられる。かつ、参照符号220と230はそれ
ぞれ前記発光センサ221,222,223と受光セン
サ231,232,233を支持するための支持部材で
ある。
【0014】前述したような構成を有する本発明のIC
パッケージのリードピン検査装置の動作において、例え
ばボウルフィーダーや線形フィーダーのような通常的な
部品供給装置のステーション(図示せず)の上に検査され
るICパッケージ10が整列されると、前記ステーショ
ンに設けられたセンサ(図示せず)の信号感知により前記
ヘッド部110は、前記ステーション上に移動した後、
下降してICパッケージ10を吸着してピックアップす
る。
【0015】このように吸着されたICパッケージ10
は、前記ヘッド部210の移動により前記発光センサ2
21・222・223と受光センサ231・232・2
33の間の検査領域に整列される。本発明の特徴による
と、ICパッケージ10が吸着ノズル211に正確に吸
着されなくても、複数の受光センサ231・232・2
33により受け付けられた受光量を変数として最大の受
光地点を探すことができる。三対の発光及び受光センサ
を備えたリードピン検査装置を示した図8に基づき更に
詳細に説明する。
【0016】図8に示したように、ICパッケージ10
が吸着ノズル211に正確に吸着されない場合、受光セ
ンサ231・232・233に到達する光量は相異な
る。従って、各光軸の角度θ゜,0゜,-θ゜とそれぞれの遮
光量F(θ゜),F(0゜),F(-θ゜)を変数として下記のよう
な2次関数を求めることができる。F(θ)=aθ2+b
θ+c
【0017】ここで、aとb及びcは前記光軸の角度及
び遮光量により決定される係数である。前記関数から、
最小遮光角θ=-b/2aである時の最小遮光量(L)は、
図9に示したように、c−b2/4aであることが分か
り、かつ、これは最大受光角のことを示す。もし、最小
遮光角θ=-b/2aが-θ゜とθ゜との間に存在しない場
合には、F(θ゜)とF(-θ゜)のうち小さい値が最小遮光
量になる。
【0018】前記最小遮光角は最大受光角になり、前記
最大受光角は、検査されるリードピンの共面度を代表す
る値になり、前記値と基準値とを比較してリードピンの
共面度を検査するようになる。すなわち、本発明による
と、ICパッケージの設置状態に問わず、多数の発光及
び受光センサにより測定された値を変数として関数を求
め、前記関数から最大受光角及び最大受光量を探して前
記値によりリードピンの整列状態を検査する。従って、
最大受光量は常に一定なので、リードピンの検査信頼度
を向上させることができる。本実施の形態においては、
三対の発光及び受光センサにより2次関数が誘導された
が、複数の発光及び受光センサが採用された場合には高
次関数を誘導すればよい。
【0019】
【発明の効果】以上、本発明によるICパッケージのリ
ードピン検査方法及び装置は、吸着ノズルに吸着された
ICパッケージの位置誤差に問わずリードピン検査に対
する精密度及び効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 一般的なフラット型のICパッケージを示し
た概略斜視図である。
【図2】 フラット型のICパッケージの基板実装状態
を示した概略断面図である。
【図3】 従来のICパッケージのリードピン検査装置
を示した概略斜視図である。
【図4】 図3に示した従来のICパッケージのリード
ピン検査装置を示した側面図である。
【図5】 図3に示した従来のICパッケージの動作を
説明するための概略平面図である。
【図6】 本発明によるICパッケージのリードピン検
査装置を示した斜視図である。
【図7】 本発明によるICパッケージのリードピン検
査装置を示した平面図である。
【図8】 本発明によるICパッケージのリードピン検
査装置の動作を説明するための概略平面図である。
【図9】 本発明によるICパッケージのリードピン検
査方法により求められた関数を示したグラフである。
【符号の説明】
10 ICパッケージ 11 本体 12 リードピン 121 延長部 122 傾斜部 123 端部 130 受光センサ 211 吸着ノズル 211,222,223 発光センサ 231,232,233 受光センサ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 移動及び回動可能に設けられ、検査され
    るICパッケージをピックアップする支持手段と、 前記ICパッケージのリードピン列を挟んで相互対向す
    るように設けられた少なくとも三対の発光センサ及び受
    光センサと、 前記各発光センサから出射され前記リードピンの間を通
    過した後、前記各受光センサに到達する光量を測定する
    ことにより前記リードピンの整列状態を検査する制御器
    とを含むことを特徴とするICパッケージのリードピン
    検査装置。
  2. 【請求項2】 前記各発光及び受光センサにより形成さ
    れる光軸は相互角度をなして交差することを特徴とする
    請求項1に記載のICパッケージのリードピン検査装
    置。
  3. 【請求項3】 前記光軸は一点で交差することを特徴と
    する請求項2に記載のICパッケージのリードピン検査
    装置。
  4. 【請求項4】 ICパッケージのリードピン列を挟んで
    相互対向するように設けられた少なくとも三対の発光及
    び受光センサを含むリードピン検査装置を用いたICパ
    ッケージのリードピン検査方法において、 前記発光及び受光センサの間にICパッケージを位置さ
    せる段階と、 前記発光センサから出射され前記ICパッケージのリー
    ドピンの間を通過して前記受光センサに到達する光量を
    測定する段階と、 前記各発光センサと受光センサにより形成される各光軸
    の間の角度と前記リードピンにより遮光された遮光量を
    変数とする関数を求める段階と、 前記関数の最小値及び最小光軸角を求める段階と、 前記最小光軸角に当たる最大受光量と基準値とを比較し
    てリードピンの整列状態を検査する段階とを含むことを
    特徴とするICパッケージのリードピン検査方法。
  5. 【請求項5】 前記光軸は一点で交差することを特徴と
    する請求項4に記載のICパッケージのリードピン検査
    装置。
  6. 【請求項6】 前記発光及び受光センサはそれぞれ三対
    であり、前記関数は2次関数であることを特徴とする請
    求項4に記載のICパッケージのリードピン検査装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6230398B1 (en) * 1996-09-17 2001-05-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Connector manufacturing method
WO2020070880A1 (ja) * 2018-10-05 2020-04-09 株式会社Fuji 測定装置及び部品実装機
CN117781959A (zh) * 2023-12-26 2024-03-29 成都宏明双新科技股份有限公司 一种屏蔽罩Pin脚平面度检测装置及对标方法
JP2024136727A (ja) * 2023-03-24 2024-10-04 三菱電機株式会社 端子検査装置及び半導体装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100287786B1 (ko) * 1998-07-21 2001-04-16 이중구 부품위치정렬장치및이를이용한부품정렬방법
KR100552328B1 (ko) * 2003-07-28 2006-02-20 (주)알티에스 반도체 칩 검사 방법 및 반도체 칩의 토탈하이트와스탠드오프 측정방법
CN100468678C (zh) * 2006-04-27 2009-03-11 南茂科技股份有限公司 封装载体的检测方法及其装置
KR101431917B1 (ko) * 2012-12-27 2014-08-27 삼성전기주식회사 반도체 패키지의 검사장비
CN106604628B (zh) * 2015-10-20 2019-07-12 泰科电子(上海)有限公司 用于确定电连接器的插脚的安装状态的系统
KR102062656B1 (ko) 2019-09-09 2020-01-06 (주)에이앤에이 원통형 배터리 정렬장치
CN112378350B (zh) * 2020-11-16 2021-08-17 四川显石电子科技有限公司 一种网络变压器pin脚平整度检测方法
CN117038494B (zh) * 2023-10-10 2023-12-15 天津芯成半导体有限公司 一种用于芯片加工产业的辅助智能检测系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62143448A (ja) * 1985-12-18 1987-06-26 Hitachi Tokyo Electron Co Ltd リ−ド平坦度検査装置
JPH01260349A (ja) * 1988-04-12 1989-10-17 Maidasu Kogyo:Kk Icリードピン曲がり検出方法
JPH07111330B2 (ja) * 1991-06-11 1995-11-29 北城 徹也 Icパッケージの外観自動検査方法
JP3012038B2 (ja) * 1991-06-28 2000-02-21 ソニー株式会社 リード検査装置
JPH05235131A (ja) * 1992-02-26 1993-09-10 Hitachi Ltd 半導体装置のリード曲がり検査装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6230398B1 (en) * 1996-09-17 2001-05-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Connector manufacturing method
WO2020070880A1 (ja) * 2018-10-05 2020-04-09 株式会社Fuji 測定装置及び部品実装機
JPWO2020070880A1 (ja) * 2018-10-05 2021-04-01 株式会社Fuji 測定装置及び部品実装機
JP2022107020A (ja) * 2018-10-05 2022-07-20 株式会社Fuji 測定装置及び部品実装機
JP2024136727A (ja) * 2023-03-24 2024-10-04 三菱電機株式会社 端子検査装置及び半導体装置
CN117781959A (zh) * 2023-12-26 2024-03-29 成都宏明双新科技股份有限公司 一种屏蔽罩Pin脚平面度检测装置及对标方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1108636C (zh) 2003-05-14
KR100238269B1 (ko) 2000-01-15
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CN1190793A (zh) 1998-08-19

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