JPH10113854A - 球面加工装置およびその加工方法 - Google Patents

球面加工装置およびその加工方法

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JPH10113854A
JPH10113854A JP26850296A JP26850296A JPH10113854A JP H10113854 A JPH10113854 A JP H10113854A JP 26850296 A JP26850296 A JP 26850296A JP 26850296 A JP26850296 A JP 26850296A JP H10113854 A JPH10113854 A JP H10113854A
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polishing table
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健一 大野
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虎彦 神田
Masanari Mihashi
真成 三橋
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業能率の向上を図る。 【解決手段】 研磨台2の上面に形成された凹状の球面
形状の研磨面2a上に、表面に砥粒が固着されリール
4,5間に張設された研磨テープ6が設けられている。
チャック部材8に取付られた被加工物9は、荷重押圧手
段10によって研磨テープ6を介して研磨面2aに押圧
されている。被加工物9はモータ11によって回転する
とともに、矢印C方向(研磨面2aの長手方向)に往復
移動し、研磨テープ6がB方向に走行する。そして、荷
重押圧手段10によって、前加工では被加工物9の研磨
面2aへの押圧力を高くし、仕上げ加工時には押圧力を
低下させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバコネク
タ、ガラス、セラミックス、プラスチック等からなる柱
状の材料やブロックの端面を凸状の球面形状に鏡面加工
する装置およびその加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図10は、光ファイバ32を備えた光コ
ネクタ30の、凸状球面形状に鏡面研磨加工した端面3
1を対向させた状態を示す。これら光ファイバ32,3
2どうしを接続して光信号を伝搬する際、ファイバ端面
33の隙間に起因して発生する光損失や反射を、極力抑
制する必要がある。この低光損失を実現する方法とし
て、光ファイバ32の端面33を相互に密着させるPC
(Physical Contact)光コネクタ30が広く利用されて
いる。一般に、PC光コネクタ30を製作する際、光フ
ァイバ32をフェルール34に挿入して固着する課程
で、先端には余剰接着剤や余長光ファイバが残る。従来
の加工装置で端面31を凸状の球面形状に鏡面加工する
場合には、この余剰接着剤や余長光ファイバを粗研削に
よって取除く。次に、図11(a)に示すように、回転
砥石35を用いた研削か、あるいは砥粒を懸濁した研磨
液を用いたラッピングにより、フェルール34の端面3
1を円錐状に形成する。さらに、特公平4ー2388号
公報に開示された方法、すなわち同図(b)に示すよう
に、回転板38に張設され上面には砥粒36を混濁した
研磨液を散布した弾性シート37に端面31を押し当て
ながらフェルール34を回転させ、弾性シート37の局
所的な変形と、砥粒36の研磨作用で滑らかな凸状の球
面形状の鏡面に仕上げている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のフェルール34の端面31の球面加工方法は、
端面を円錐状に形成するための工具として回転砥石35
を、さらに鏡面に仕上げをするために遊離砥粒36と弾
性シート37を使用するため、一つのPC光コネクタ3
0を製作する度に工具の交換が必要となり、作業能率が
悪いといった問題があった。
【0004】したがって、本発明は上記した従来の問題
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、作業能率の向上を図った球面加工装置およびその製
造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係る球面加工装置は、断面が被加工物の被
加工面と略同じ断面からなる溝状に形成された加工面を
有する研磨台と、この研磨台の加工面上に設けられた研
磨テープと、この研磨テープを介して被加工物の被加工
面を研磨台の加工面に押圧する荷重押圧手段と、前記被
加工物を、被加工面の中心を通り被加工面に垂直な軸を
回転中心として回転させる回転駆動手段と、前記被加工
物を前記研磨台の加工面上を往復移動させる移動駆動手
段とを備えたものである。したがって、荷重押圧手段の
押圧力を変えることにより粗加工と仕上げ加工とがなさ
れる。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。図1は本発明に係る球面加工装置の
全体を示す斜視図である。同図において、全体を符号1
で示す球面加工装置には、上面に断面が凹状円弧形状に
形成され長手方向に延在する溝状の加工面2aを有する
研磨台2と、この研磨台2を図中矢印A方向に移動調節
自在とする位置調整台3とが備えられている。研磨台2
の加工面2a上には、供給リール4と巻取リール5との
間に張設された表面に砥粒が固着された研磨テープ6が
設けられており、この研磨テープ6は巻取リール5を回
転駆動するモータ7によって矢印B方向に巻き取られる
ように構成されている。
【0007】8は被加工物9が取付けられるチャック部
材であって、下方への荷重を調節自在な荷重押圧手段1
0によって下方に押圧され、被加工物9の下端の被加工
面9aが研磨テープ6を介して研磨台2の加工面2aに
押圧されるように構成されている。11はモータであっ
て、チャック部材8に固着されたギア13に噛合するモ
ータギア12が設けられており、モータ11が回転する
ことによってチャック部材8に取付られた被加工物9が
回転する。モータ11とチャック部材8とは、球面加工
装置1内に固定された図示を省略したガイド部材によっ
て矢印C方向、すなわち研磨台2の長手方向に移動自在
に案内されたブラケット(図示せず)によって連結され
て一体化されている。そして、モータギア12にはピニ
オン14が固着され、このピニオン14は球面加工装置
1内に固定されたラック15と噛合しており、モータ1
1が回転することによって、チャック部材8はモータ1
1とともにブラケット(図示せず)を介して矢印C方向
に往復動するように構成されている。
【0008】次に、このような構成の球面加工装置にお
ける加工動作を説明する。まず、位置調整台3によって
研磨台2を矢印A方向に微動させて、チャック部材8に
取付られた被加工物9の回転中心と、研磨台2の加工面
2aの曲率中心を一致させ、荷重押圧手段10によって
比較的大きい荷重を下方に作用させ、被加工物9の加工
面9aを研磨テープ6を介して研磨台2の加工面2aに
押圧する。この状態で、モータ7を低速で回転させ研磨
テープ6を矢印B方向に走行させるとともに、モータ1
1を回転させると、被加工物9が回転し、かつ被加工物
9が矢印C方向に移動する。
【0009】被加工物9が研磨台2の両端面に達する
と、図示を省略したスイッチが作動してモータ11が反
転するので、被加工物9は研磨台2の両端面間を往復移
動する。往復移動する間に被加工物9の被加工面9aが
研磨テープ6の砥粒によって粗研磨され、凸状の球面形
状に前加工される。ある一定時間前加工を行った後に、
荷重押圧手段10を作動させ、下方への荷重を低下させ
ることによって、被加工物9の被加工面9aの加工面2
aへの押圧力を低下させる。押圧力を低下させることに
よって、被加工物9の被加工面9aは、徐々に滑らかな
凸状の球面形状に仕上げ加工される。このように、荷重
押圧手段10による荷重の変更で、前加工と仕上げ加工
とを行うようにしたことにより、従来のように工具の変
更による取付け取外し作業が不要となり、このため作業
が連続的に行うことができて作業能率が向上する。
【0010】図2は本発明の第2の実施の形態を示す研
磨テープ6の断面図である。同図において、研磨テープ
6は基材17に粗砥粒18が設けられ、さらにこの粗砥
粒18が設けられた表面上に接着剤19を介して微細砥
粒20が設けられている。このような研磨テープ6を用
いて、上述した第1の実施の形態と同様に、最初に荷重
押圧手段10によって下方への荷重を大きくすると、荷
重が大きいために被加工物9の被加工面9aは、研磨テ
ープ6の表面の微細砥粒20だけでなく粗砥粒18によ
って粗研磨され前加工される。次に、荷重押圧手段10
による下方への荷重を低下させると、被加工物9の被加
工面9aは微細砥粒20のみによって研磨されるので、
微細な仕上げ加工が行われる。
【0011】図3は本発明の第3の実施の形態を示す研
磨テープ6の断面図である。同図において、研磨テープ
6は基材17に高硬度の粗砥粒21が設けられ、さらに
この粗砥粒21が設けられた表面上に接着剤19を介し
て低硬度の微細砥粒22が設けられている。このような
研磨テープ6を用いて、上述した第1の実施の形態と同
様に、最初に荷重押圧手段10によって、下方への荷重
を大きくすると、荷重が大きいために被加工物9の被加
工面9aは、研磨テープ6の表面の低硬度の微細砥粒2
2だけでなく高硬度の粗砥粒21によって粗研磨され前
加工され、短時間のうちに前加工される。次に、荷重押
圧手段10による下方への荷重を低下させると、低硬度
の微細砥粒22の作用によって被加工物9の被加工面9
aは加工変質層の少ない良好な面に仕上げ加工される。
【0012】図4は本発明の第4の実施の形態を示す正
面図である。同図において、上述した第1の実施の形態
と同一または同等の部材については同一の符号を付し詳
細な説明は省略する。この第4の実施の形態の特徴は、
被加工物が取付けられるチャック部材8に、先端が凸状
の球面形状に形成された軸付きの砥石24を取付けるよ
うにしたものである。この砥石24の先端部の断面形状
は、上述した研磨台2の加工面2aの断面と略同じに形
成されている。このように構成することにより、この砥
石24を用いて研磨台2の上端面に凹状の球面形状の加
工面を形成することができる。なお、図中25はモータ
11とチャック部材8とを連結するブラケット、26は
球面加工装置1のフレームに固定されブラケット25を
矢印C方向に案内するガイド部材である。27,27は
ガイド部材26に固定されブラケット25のC方向の移
動の両端限を検出し、モータ11の回転を反転させて砥
石24を研磨台2の両端面間を往復移動させる制御用の
スイッチである。
【0013】図5ないし図7は第5の実施の形態の動作
を説明するためのもので、図5は球面加工装置の正面
図、図6は同じく要部を示す側面図、図7は同じく軸付
きの砥石を拡大して示す正面図である。これらの図にお
いて、上述した第4の実施の形態と同一または同等の部
材については同一の符号を付し詳細な説明は省略する。
図7(a)に示すように、砥石24の先端部は半円球状
に形成され、表面に砥粒28が設けられている。
【0014】このような構成において、まず、砥石24
をチャック部材8に取付け、荷重押圧手段10によって
砥石24の先端を研磨台2の上面に押圧し、モータ11
を回転させることによって、砥石24を回転させるとと
もに、ラック12の長手方向、すなわち矢印C方向に往
復移動させる。この往復移動によって、図6(b)に示
すように研磨台2の上面には、砥石24の研磨作用によ
り断面中心がチャック部材8の回転中心と一致した、砥
石24の先端面の球面形状と略同じ断面の溝状の加工面
2aが形成される。
【0015】次に、砥石24をチャック部材8から取外
し、被加工物をチャック部材8に取付け、かつ上述した
第1から第3の実施の形態と同様に、研磨テープを被加
工物と研磨台2の加工面2aとの間に配設する。このよ
うな状態として、モータ4を回転させ研磨テープを走行
させるとともに、モータ11を回転させると被加工物が
回転するとともに、矢印C方向に往復移動するので、被
加工物の被加工面は上述した第1から第3の実施の形態
と同様に凸状の球面形状に形成される。
【0016】図8および図9は本発明の第6の実施の形
態を説明するためのもので、図8は本発明の球面加工装
置の全体を示す斜視図、図9は要部を拡大して示す斜視
図である。この第6の実施の形態では、先端が凸状の球
面形状に形成された棒状の冶具29をチャック部材8に
取付け、砥粒6aが設けられた側が研磨台2の上面に接
触するように、供給リール4と巻取リール5との間に研
磨テープ6を張設する。この状態として、モータ7を回
転させて研磨テープ6を矢印B方向に巻き取り、モータ
11を回転させて、冶具29を回転させるとともに、矢
印C方向に往復移動させる。冶具29に押圧された研磨
テープ6の砥粒6aによる研磨作用によって、研磨台2
の上面には、図9(b)に示すように断面中心がチャッ
ク部材8の回転中心と一致し、かつ冶具29の先端面の
凸状の球面形状と略同じ断面の溝状の加工面2aが形成
される。次に、研磨テープ6の表裏を反転させて砥粒6
aが設けられた側を上方に向けるようにして研磨テープ
6を供給リール4と巻取りリール5との間に張設し、チ
ャック部材8に被加工物を取付ける。この状態として、
モータ7を回転させて研磨テープ6を矢印B方向に巻き
取り、モータ11を回転させて、被加工物を回転させる
とともに、矢印C方向に往復移動させることにより、被
加工物の先端を凸状の球面形状に形成する。
【0017】
【実施例】上述した第1の実施の形態において、研磨台
2の材質をテフロンとし、加工面の曲率半径を20mm
とした。研磨テープ6は全長150m、幅25mm、基
材17の厚みを25μmとし、径が8μmのAl23
粒を固着させたものを用いた。被加工物9は、径が12
5μmの光ファイバを挿入した径が2.5mmのガラス
製フェルールからなる光コネクタとした。モータ11の
モータギア12とチャック部材8のギア13との外径比
を2:1とし、モータ11が1回転する毎に被加工物9
を2回転させた。荷重押圧手段10から被加工物9に3
00gfの垂直荷重を与えた後、モータ11を200r
pmで回転させて、2分間の前加工を行う。その後、被
加工物9に付与する垂直方向の荷重を、荷重押圧手段1
0により150gfに低下させて、モータ11を200
rpmで回転させて、2分間の仕上げ加工を行った。本
実施例では、連続して300個の被加工物9を加工でき
た。被加工物9を球面加工するのに要した時間は、被加
工物9を交換する時間を含めて1個あたり4.5分であ
った。被加工物9の端面9aは、球面の曲率半径が20
±1mm、表面の粗さが0.01μmRmax以下の歪みの
ない滑らかな凸状の球面形状の鏡面が得られた。
【0018】上述した第2の実施の形態において、研磨
テープ6は全長150m、幅25mm、基材17の厚み
を25μmとし、基材17の表面の粗砥粒18には径が
8μmのAl23砥粒の砥粒を用い、その表面を覆う微
細砥粒20には、径が0.1μmのCeO3 砥粒を用い
た。本実施例では図1に示す装置を用い、研磨台2の材
質をテフロンとし、加工面の曲率半径を20mmとし
た。被加工物9は、径が125μmの光ファイバを挿入
した径が2.5mmのガラス製フェルールからなる光コ
ネクタとした。モータ11のモータギア12とチャック
部材8のギア13との外径比を2:1とし、モータ11
が1回転する毎に被加工物9を2回転させた。荷重押圧
手段10から被加工物9に300gfの垂直荷重を与え
た後、モータ11を200rpmで回転させて、2分間
の前加工を行う。その後、被加工物9に付与する垂直方
向の荷重を、荷重押圧手段10により150gfに低下
させて、モータ11を200rpmで回転させて、2分
間の仕上げ加工を行った。本実施例では、連続して30
0個の被加工物9を加工できた。被加工物9を球面加工
するのに要した時間は、被加工物9を交換する時間を含
めて1個あたり4.5分であった。被加工物9の端面9
aは、球面の曲率半径が20±1mm、表面の粗さが
0.01μmRmax以下の歪みのない滑らかな凸状の球面
形状の鏡面が得られた。また、光接続損失0.2dB以
下、反射減衰量40dB以上が得られた。
【0019】上述した第3の実施の形態において、研磨
テープ6は全長150m、幅25mm、基材17の厚み
を25μmとし、基材17の表面の高硬度な砥粒21に
は径が8μmのAl23砥粒の砥粒を用い、その表面を
覆う低硬度な砥粒22には、径が0.3μmのAl23
砥粒を用いた。本実施例では図1に示す装置を用い、研
磨台2の材質をテフロンとし、加工面の曲率半径を20
mmとした。被加工物9は、径が125μmの光ファイ
バを挿入した径が2.5mmのガラス製フェルールから
なる光コネクタとした。モータ11のモータギア12と
チャック部材8のギア13との外径比を2:1とし、モ
ータ11が1回転する毎に被加工物9を2回転させた。
荷重押圧手段10から被加工物9に300gfの垂直荷
重を与えた後、モータ11を200rpmで回転させ
て、2分間の前加工を行う。その後、被加工物9に付与
する垂直方向の荷重を、荷重押圧手段10により150
gfに低下させて、モータ11を200rpmで回転さ
せて、2分間の仕上げ加工を行った。本実施例では、連
続して300個の被加工物9を加工できた。被加工物9
を球面加工するのに要した時間は、被加工物9を交換す
る時間を含めて1個あたり4.5分であった。被加工物
9の端面9aは、球面の曲率半径が20±1mm、表面
の粗さが0.01μmRmax以下の歪みのない滑らかな凸
状の球面形状の鏡面が得られた。また、光接続損失0.
2dB以下、反射減衰量40dB以上が得られた。
【0020】上述した第4および第5の実施の形態にお
いて、本実施例では図4に示す装置を用い、研磨台2の
材質を塩化ビニル樹脂とし、軸付き砥石24は図7
(a)に示す形状で、先端の凸状の球面形状の半径を2
0mmとし、径が8μmのダイヤモンド砥粒28を先端
に付着させたものを用いた。モータ11のモータギア1
2とチャック部材8のギア13との外径比を2:1と
し、モータ11が1回転する毎に軸付き砥石24を2回
転させた。荷重押圧手段10から軸付き砥石24に30
0gfの垂直荷重を与えた後、モータ11を200rp
mで回転させて、軸付き砥石24に3分間の回転かつ往
復運動を与えた。軸付き砥石24の先端のダイヤモンド
砥粒28の研削作用により、研磨台2の表面に20mm
Rの凹状の球面形状が形成された。その後、上述した第
1および第3の実施例と同様に、径が125μmの光フ
ァイバを挿入した径が2.5mmのガラス製フェルール
からなる光コネクタの加工を行った結果、同様な結果が
得られた。また、300個の光コネクタを加工した後
に、研磨台2の加工面2aの球面形状の断面中心と被加
工物9の回転中心を合わせることなく研磨台2を交換で
き、位置調節に要していた時間が短縮できた。ここで
は、軸付き砥石24として図7(a)に示すものを用い
たが、同図(b)に示すような先端部の側面が突出して
いない棒状のものでも同様に、研磨台2の上面に20m
mRの凹状の球面形状が形成できた。
【0021】上述した第6の実施の形態において、本実
施例では、図8に示す装置を用い、研磨台2の材質を塩
化ビニル樹脂、冶具29は材質をSUS303とし、先
端の凸状の球面形状の半径を20mmとした。研磨テー
プ6は全長50m、幅25mm、基材17の厚みを25
μmとし、径が8μmのダイヤモンド砥粒を固着させた
ものを用いた。モータ11のモータギア12とチャック
部材8のギア13との外径比を2:1とし、モータ11
が1回転する毎に冶具29を2回自転させた。荷重押圧
手段10から冶具29に300gfの垂直荷重を与えた
後、モータ7によって研磨テープ6を100mm/分の
速度で走行させ、モータ11を200rpmで回転させ
て、冶具29に3分間の回転かつ往復運動を与えた。研
磨テープ6のの研削作用により、研磨台2の表面に20
mmRの凹状の球面形状が形成された。その後、上述し
た第1〜第3の実施例と同様に、径が125μmの光フ
ァイバを挿入した径が2.5mmのガラス製フェルール
からなる光コネクタの加工を行った。上述した第2の実
施例の研磨テープを用いた場合は、光接続損失0.2d
B以下、反射減衰量40dB以上、第3の実施例の研磨
テープを用いた場合は、光接続損失0.2dB以下、反
射減衰量45dB以上といったように、第2、第3の実
施例と同様な結果が得られた。また、300個の光コネ
クタを加工した後に、研磨台2の加工面2aの球面形状
の断面中心と被加工物9の回転中心を合わせることなく
研磨台2を交換でき、位置調節に要していた時間が短縮
できた。
【0022】なお、本実施の形態では、被加工物9をC
方向に往復移動させ、かつ研磨テープ6をB方向に走行
させるようにしたが、どちらか一方を移動または走行さ
せるだけで、被加工物9の加工面9aを形成することが
できることは勿論である。また、被加工物9を円柱状の
ガラス製フェルールに石英光ファイバを挿入したものを
用いたが、ジルコニアセラミックス製フェルールやプラ
スチック製フェルールとしたものや、フェルールとは限
らず柱状やブロック状のものを用いても、同様の良好な
凸状の球面形状の鏡面が得られる。また、前加工用粗砥
粒18としてAl23、仕上げ加工用微細砥粒20とし
てCeO3 を用いたが、前加工用粗砥粒18をSiC・
ダイヤモンド、仕上げ加工用微細砥粒20をCr23
用いても同様な効果が得られる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、研
磨テープを介して被加工物の被加工面を研磨台の加工面
に押圧する荷重押圧手段を備えたことにより、荷重押圧
手段の押圧力を変えることによって、被加工物の粗仕上
げと微細仕上げとを一つの工程で行えるようになったの
で、作業の効率が図られる。
【0024】また、本発明によれば、研磨台の加工面を
加工するのに、被加工物の被加工面を研磨台の加工面に
押圧する荷重押圧手段に取付けた砥石部材あるいは冶具
によって行うようにしたので、研磨台の加工面と被加工
物の被加工面との位置あわせが不要となり、このため作
業の効率が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る球面加工装置の斜視図である。
【図2】 本発明に係る球面加工装置における第2の実
施の形態を示す研磨テープの断面図である。
【図3】 本発明に係る球面加工装置における第3の実
施の形態を示す研磨テープの断面図である。
【図4】 本発明に係る球面加工装置の第4の実施の形
態を示す側面図である。
【図5】 本発明に係る球面加工装置の第5の実施の形
態を示す側面図である。
【図6】 本発明に係る球面加工装置の第5の実施の形
態の動作を説明する要部を示す正面図で、(a)は加工
前の状態を示し、(b)は加工後の状態を示す。
【図7】 本発明に係る球面加工装置の第5の実施の形
態における軸付き砥石を拡大して示す正面図である。
【図8】 本発明に係る球面加工装置の第6の実施の形
態を示す斜視図である。
【図9】 本発明に係る球面加工装置の第6の実施の形
態の動作を説明する要部を示す正面図で、(a)は加工
前の状態を示し、(b)は加工後の状態を示す。
【図10】 一般的な光ファイバコネクタに用いられる
フェルールを一部破断して示す側面図である。
【図11】 従来の球面加工装置の概略構成を示し、
(a)は前加工を示し、(b)は仕上げ加工を示す。
【符号の説明】
1…球面加工装置、2…研磨台、2a…加工面、6…研
磨テープ、9…被加工物、10…荷重変更装置、18…
粗砥粒、20…微細砥粒、21…高硬度粗砥粒、22…
低硬度微細砥粒、24…軸付き砥石、29…棒状冶具、
30…光コネクタ、32…光ファイバ、33…ファイバ
端面、34…フェルール。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 断面が被加工物の被加工面と略同じ断面
    からなる溝状に形成された加工面を有する研磨台と、こ
    の研磨台の加工面上に設けられた研磨テープと、この研
    磨テープを介して被加工物の被加工面を研磨台の加工面
    に押圧する荷重押圧手段と、前記被加工物を、被加工面
    の中心を通り被加工面に垂直な軸を回転中心として回転
    させる回転駆動手段と、前記被加工物を前記研磨台の加
    工面上を往復移動させる移動駆動手段とを備えたことを
    特徴とする球面加工装置。
  2. 【請求項2】 断面が被加工物の被加工面と同じ形状に
    形成された加工面を有する研磨台と、この研磨台の加工
    面上に設けられた研磨テープと、この研磨テープを介し
    て被加工物の被加工面を研磨台の加工面に押圧する荷重
    押圧手段と、前記被加工物を、被加工面の中心を通り被
    加工面に垂直な軸を回転中心として回転させる回転駆動
    手段と、前記研磨テープを被加工物に対して走行させる
    走行駆動手段とを備えたことを特徴とする球面加工装
    置。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2記載の球面加工
    装置において、荷重押圧手段による押圧力を加工の前半
    は高く、後半は低くしたことを特徴とする球面加工装
    置。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の球面加工装置において、
    研磨テープは、表面側に設けた微細砥粒の層と、この微
    細砥粒の層に覆われた粗砥流の層の2層からなることを
    特徴とする球面加工装置。
  5. 【請求項5】 請求項3記載の球面加工装置において、
    研磨テープは、表面側に設けた高度の低い砥粒の層と、
    この高度の低い砥粒の層に覆われた高度の高い砥粒の層
    の2層からなることを特徴とする球面加工装置。
  6. 【請求項6】 断面が被加工物の被加工面と略同じ断面
    からなる溝状に形成された加工面を有する研磨台と、こ
    の研磨台の加工面上を走行する研磨テープと、この研磨
    テープを介して被加工物の被加工面を研磨台の加工面に
    押圧する荷重押圧手段と、前記被加工物を、被加工面の
    中心を通り被加工面に垂直な軸を回転中心として回転さ
    せる回転駆動手段とを備えた球面加工装置であって、前
    記研磨テープを研磨台の表面から取り除いた状態で前記
    荷重押圧手段に前記被加工物の替りに取付けられ研磨台
    の加工面を加工する砥石部材を設けたことを特徴とする
    球面加工装置。
  7. 【請求項7】 研磨台の加工面上に研磨テープを配置
    し、被加工物の被加工面を研磨テープを介して研磨台の
    加工面に押圧し、研磨テープを走行させるとともに被加
    工物を回転させることによって、研磨テープの研磨作用
    で被加工物の被加工面を加工する球面加工方法であっ
    て、前記研磨テープを研磨台の表面から取り除いた状態
    とし、前記被加工物の替わりに砥石部材を研磨台の加工
    面に押圧し、砥石部材の研磨作用により研磨台の加工面
    を加工したのち、この研磨台の加工面に被加工物の被加
    工面を研磨テープを介して押圧し、研磨テープの研磨作
    用で被加工物の被加工面を加工することを特徴とする球
    面加工方法。
  8. 【請求項8】 研磨台の加工面上に研磨テープを配置
    し、被加工物の被加工面を研磨テープを介して研磨台の
    加工面に押圧し、研磨テープを走行させるとともに被加
    工物を回転させることにより研磨テープの研磨作用で被
    加工物の被加工面を加工する球面加工方法であって、前
    記被加工物の替わりに冶具を研磨テープを介して研磨台
    の加工面に押圧し、研磨テープの研磨作用で研磨台の加
    工面を加工したのち、研磨テープの表裏を反転させて被
    加工物を研磨台の加工面に押圧することにより研磨テー
    プの研磨作用で被加工物の被加工面を加工することを特
    徴とする球面加工方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6120359A (en) * 1997-11-12 2000-09-19 Nec Corporation Apparatus and method for forming spherical end surface of coaxial composite member
JP5889471B1 (ja) * 2014-11-16 2016-03-22 和▲徳▼ 福添 表面処理装置
JP2016140930A (ja) * 2015-01-30 2016-08-08 株式会社リコー 研磨シート、研磨具、及び、研磨方法

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