JPH10117028A - レーザ放電管長制御装置 - Google Patents
レーザ放電管長制御装置Info
- Publication number
- JPH10117028A JPH10117028A JP30345096A JP30345096A JPH10117028A JP H10117028 A JPH10117028 A JP H10117028A JP 30345096 A JP30345096 A JP 30345096A JP 30345096 A JP30345096 A JP 30345096A JP H10117028 A JPH10117028 A JP H10117028A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- control heater
- discharge tube
- sub
- main control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は広い環境温度に適応し、かつ温度共振
現象の存在しない周波数安定化レーザを提供することを
目的とする 【構成】主制御ヒータと副制御ヒータを有する周波数安
定化レーザにおいて、副制御ヒータシステムの利得を非
線形にするため同システムの入力に交番電圧を重畳する
現象の存在しない周波数安定化レーザを提供することを
目的とする 【構成】主制御ヒータと副制御ヒータを有する周波数安
定化レーザにおいて、副制御ヒータシステムの利得を非
線形にするため同システムの入力に交番電圧を重畳する
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＨｅＮｅレーザの安
定化装置の性能向上に関するものである。
定化装置の性能向上に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ヒータによりレーザ放電管の温度を制御
してレーザ共振器長を一定に保ちレーザの安定化を行う
ことは古くから行われ、またヒータを主制御ヒータと副
制御ヒータにわけ、制御可能な温度範囲を拡げるこころ
みもなされ実用されている。
してレーザ共振器長を一定に保ちレーザの安定化を行う
ことは古くから行われ、またヒータを主制御ヒータと副
制御ヒータにわけ、制御可能な温度範囲を拡げるこころ
みもなされ実用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の技術は、
主制御ヒータの電圧値がある設定値以上になると副制御
ヒータの電圧を増加させて副制御ヒータの分担を増加さ
せ、またその逆を行うことにより制御温度範囲の大幅な
拡大を行うものであり実績を持つものであるが、これは
副制御ヒータの電圧がある設定値を境にして徐々に増加
するか減少するかのどちらかであり増加と減少の中間の
状態はない。
主制御ヒータの電圧値がある設定値以上になると副制御
ヒータの電圧を増加させて副制御ヒータの分担を増加さ
せ、またその逆を行うことにより制御温度範囲の大幅な
拡大を行うものであり実績を持つものであるが、これは
副制御ヒータの電圧がある設定値を境にして徐々に増加
するか減少するかのどちらかであり増加と減少の中間の
状態はない。
【０００４】そしてこの中間の状態がないということは
条件によっては好ましくない温度の振動状態を誘発す
る。本発明の課題はこの振動状態（温度共振現象）の誘
発の原因を取り除くことにある。
条件によっては好ましくない温度の振動状態を誘発す
る。本発明の課題はこの振動状態（温度共振現象）の誘
発の原因を取り除くことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の副制御ヒータの電
圧の増減は、主制御ヒータの電圧と設定電圧を電圧比較
器で比較し比較値の正負により正負（負正）の一定電圧
を発生せしめ、該電圧を大きな時定数を有する積分器で
積分し、該積分器の出力電圧を用いで行われるのが現状
であり、この方法では中間の状態は存在しない。
圧の増減は、主制御ヒータの電圧と設定電圧を電圧比較
器で比較し比較値の正負により正負（負正）の一定電圧
を発生せしめ、該電圧を大きな時定数を有する積分器で
積分し、該積分器の出力電圧を用いで行われるのが現状
であり、この方法では中間の状態は存在しない。
【０００６】そこで前記の電圧比較器の主制御ヒータの
電圧かあるいは設定電圧に対し、主制御ヒータの電圧と
設定電圧の値が十分接近すると電圧比較器の出力が飽和
現象により方形状になるごとき正弦波、三角波あるいは
他の波形を持つ交番電圧を重畳せしめ、電圧比較器の出
力変化の速さを極端に非線形にすることで前記の電圧の
増加と減少の中に中間帯を設けることにより前記の振動
状態の誘発の原因を除去するものである。
電圧かあるいは設定電圧に対し、主制御ヒータの電圧と
設定電圧の値が十分接近すると電圧比較器の出力が飽和
現象により方形状になるごとき正弦波、三角波あるいは
他の波形を持つ交番電圧を重畳せしめ、電圧比較器の出
力変化の速さを極端に非線形にすることで前記の電圧の
増加と減少の中に中間帯を設けることにより前記の振動
状態の誘発の原因を除去するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明における実施の動作形態を
図面を用いて説明する。
図面を用いて説明する。
【０００８】〔図１〕は前記の交番電圧を重畳しない場
合の前記電圧比較器の出力電圧の変化の様子であり、こ
の電圧を積分して得られる前記副制御ヒータの電流は単
調に増加するか減少するかで温度の振動状態すなわち発
振現象を呈する原因を作る。
合の前記電圧比較器の出力電圧の変化の様子であり、こ
の電圧を積分して得られる前記副制御ヒータの電流は単
調に増加するか減少するかで温度の振動状態すなわち発
振現象を呈する原因を作る。
【０００９】〔図２〕から〔図４〕は交番電圧を重畳し
た場合の電圧比較器の出力電圧の様子である。図の網が
け部分は積分器の出力を下げようとし他の白い部分は出
力を上げようとする。その結果、主制御ヒータの電圧と
設定電圧の差（以下入力電位差という）が大きいときは
〔図２〕のようになり、やや積分器の出力の変化速度を
ゆるめる程度であるが、入力電位差が小さくなると〔図
３〕のようになり、また入力電位差が零になると〔図
４〕のごとくなり副制御ヒータの電圧の増減は止まって
しまう。
た場合の電圧比較器の出力電圧の様子である。図の網が
け部分は積分器の出力を下げようとし他の白い部分は出
力を上げようとする。その結果、主制御ヒータの電圧と
設定電圧の差（以下入力電位差という）が大きいときは
〔図２〕のようになり、やや積分器の出力の変化速度を
ゆるめる程度であるが、入力電位差が小さくなると〔図
３〕のようになり、また入力電位差が零になると〔図
４〕のごとくなり副制御ヒータの電圧の増減は止まって
しまう。
【００１０】つまり入力電位差が零の点で極端な非線形
を有する制御系が構成されることになる。
を有する制御系が構成されることになる。
【００１１】
【実施例】〔図５〕は本発明の実施例である。レーザ管
３に巻かれた主制御ヒータ１で共振器が制御されてお
り、その印加電圧が電圧設定器７の電圧より高くなれば
電圧比較器４の出力電圧が変化して積分器５の出力電圧
が徐々に変化して副制御ヒータ２の電圧を徐々に上昇せ
しめ、その結果主制御ヒータ１の印加電圧は徐々に低下
しその電圧値は一定に保たれるわけであるが、この温度
のやりとりは条件によっては共振現象を招く。それを交
番電圧発生器６で発生させた交番電圧を電圧比較器４の
入力に重畳させることにより
３に巻かれた主制御ヒータ１で共振器が制御されてお
り、その印加電圧が電圧設定器７の電圧より高くなれば
電圧比較器４の出力電圧が変化して積分器５の出力電圧
が徐々に変化して副制御ヒータ２の電圧を徐々に上昇せ
しめ、その結果主制御ヒータ１の印加電圧は徐々に低下
しその電圧値は一定に保たれるわけであるが、この温度
のやりとりは条件によっては共振現象を招く。それを交
番電圧発生器６で発生させた交番電圧を電圧比較器４の
入力に重畳させることにより
【発明の実施の形態】で述べた原理に従って防止してい
る。
る。
【００１２】
【発明の効果】本発明により適用環境温度範囲が広くか
つ温度共振現象のない周波数安定化レーザを得ることが
できる。
つ温度共振現象のない周波数安定化レーザを得ることが
できる。
【００１３】
【図１】本発明に係る説明図である。
【図２】本発明に係る説明図である。
【図３】本発明に係る説明図である。
【図４】本発明に係る説明図である。
【図５】本発明に係る実施例である。
１． 主制御ヒータ ２． 副制御ヒータ ３． レーザ管 ４． 電圧比較器 ５． 積分器 ６． 交番電圧発生器 ７． 電圧設定器 ８． 電力増幅器
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ放電管の管長を熱的に制御すること
により発振周波数を安定化するＨｅＮｅレーザで、放電
管の温度を制御する主制御ヒータの他に該ヒータと独立
した副制御ヒータをもうけ、主制御ヒータの電圧値が一
定の設定値以上になると副制御ヒータの電圧が徐々に増
加し、該設定値以下になると徐々に減少するごとくされ
た装置において、該設定値に対し交番電圧信号を重畳さ
せることを特徴とするＨｅＮｅレーザ放電管長制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30345096A JPH10117028A (ja) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | レーザ放電管長制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30345096A JPH10117028A (ja) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | レーザ放電管長制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10117028A true JPH10117028A (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=17921141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30345096A Pending JPH10117028A (ja) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | レーザ放電管長制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10117028A (ja) |
-
1996
- 1996-10-09 JP JP30345096A patent/JPH10117028A/ja active Pending
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