JPH10120439A - ガラス−セラミックス焼成体用複合粉末の処理方法及びガラス−セラミックス焼成体の製造方法 - Google Patents
ガラス−セラミックス焼成体用複合粉末の処理方法及びガラス−セラミックス焼成体の製造方法Info
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- JPH10120439A JPH10120439A JP29809996A JP29809996A JPH10120439A JP H10120439 A JPH10120439 A JP H10120439A JP 29809996 A JP29809996 A JP 29809996A JP 29809996 A JP29809996 A JP 29809996A JP H10120439 A JPH10120439 A JP H10120439A
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Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 成分中にＢ2 Ｏ3 を含有するガラス粉末を含
むグリーンシートを長期間保存しても、水酸化ホウ素の
析出が生じないガラス−セラミックス複合粉末の処理方
法を提供することである。 【解決手段】 成分中にＢ2 Ｏ3 を含有するガラス粉末
と成分中にＡｌ2 Ｏ3 を含有するセラミックス粉末を混
合した複合粉末を、ガラス粉末の転移点以上軟化点以下
の温度で予備焼成することを特徴とする。
むグリーンシートを長期間保存しても、水酸化ホウ素の
析出が生じないガラス−セラミックス複合粉末の処理方
法を提供することである。 【解決手段】 成分中にＢ2 Ｏ3 を含有するガラス粉末
と成分中にＡｌ2 Ｏ3 を含有するセラミックス粉末を混
合した複合粉末を、ガラス粉末の転移点以上軟化点以下
の温度で予備焼成することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス−セラミックス
焼成体用複合粉末の処理方法と、ガラス−セラミックス
焼成体の製造方法に関するものである。
焼成体用複合粉末の処理方法と、ガラス−セラミックス
焼成体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】パッケージ、多層回路基板、チップイン
ダクター等の電子部品材料として使用されるガラス−セ
ラミックス複合粉末は、成分中にＢ2 Ｏ3 を含有するガ
ラス粉末を用いるので、１０００℃以下の温度で焼結さ
せることができる。このためＣｕ、Ａｇ、Ａｕ等の低抵
抗導体との同時焼成が可能である。またガラスの誘電率
が低いため、誘電率の低い材料を得ることができる。
ダクター等の電子部品材料として使用されるガラス−セ
ラミックス複合粉末は、成分中にＢ2 Ｏ3 を含有するガ
ラス粉末を用いるので、１０００℃以下の温度で焼結さ
せることができる。このためＣｕ、Ａｇ、Ａｕ等の低抵
抗導体との同時焼成が可能である。またガラスの誘電率
が低いため、誘電率の低い材料を得ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ガラス−セラミックス
複合粉末は、通常、有機溶媒、有機バインダー、可塑剤
等と混練してスラリー化し、ドクターブレード法等によ
ってグリーンシートに成形される。成形されたグリーン
シートは、さらにスルーホールを形成したり、導体を印
刷した後、積層され、焼成される。
複合粉末は、通常、有機溶媒、有機バインダー、可塑剤
等と混練してスラリー化し、ドクターブレード法等によ
ってグリーンシートに成形される。成形されたグリーン
シートは、さらにスルーホールを形成したり、導体を印
刷した後、積層され、焼成される。
【０００４】ところが、成形したグリーンシートを数日
間保管しておくと、ガラス中から酸化ホウ素が溶出して
空気中の水分と反応し、水酸化ホウ素の結晶がグリーン
シート表面に析出し易い。この析出結晶上に導体が印刷
されると、結晶が剥がれ落ちた時に回路が切断されてし
まうという問題が生じる。
間保管しておくと、ガラス中から酸化ホウ素が溶出して
空気中の水分と反応し、水酸化ホウ素の結晶がグリーン
シート表面に析出し易い。この析出結晶上に導体が印刷
されると、結晶が剥がれ落ちた時に回路が切断されてし
まうという問題が生じる。
【０００５】本発明の目的は、成分中にＢ2 Ｏ3 を含有
するガラス粉末を含むグリーンシートを長期間保存して
も、水酸化ホウ素の析出が生じないガラス−セラミック
ス複合粉末の処理方法と、これを利用したガラス−セラ
ミックス焼成体の製造方法を提供することである。
するガラス粉末を含むグリーンシートを長期間保存して
も、水酸化ホウ素の析出が生じないガラス−セラミック
ス複合粉末の処理方法と、これを利用したガラス−セラ
ミックス焼成体の製造方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス−セラミ
ックス複合粉末の処理方法は、成分中にＢ2 Ｏ3 を含有
するガラス粉末と成分中にＡｌ2 Ｏ3 を含有するセラミ
ックス粉末を混合した複合粉末を、ガラス粉末の転移点
以上軟化点以下の温度で予備焼成することを特徴とす
る。
ックス複合粉末の処理方法は、成分中にＢ2 Ｏ3 を含有
するガラス粉末と成分中にＡｌ2 Ｏ3 を含有するセラミ
ックス粉末を混合した複合粉末を、ガラス粉末の転移点
以上軟化点以下の温度で予備焼成することを特徴とす
る。
【０００７】またこの処理方法を利用した本発明のガラ
ス−セラミックス焼成体の製造方法は、成分中にＢ2 Ｏ
3 を含有するガラス粉末と成分中にＡｌ2 Ｏ3 を含有す
るセラミックス粉末を混合した複合粉末を、ガラス粉末
の転移点以上軟化点以下の温度で予備焼成し、次いでグ
リーンシートに成形し、積層後、焼成することを特徴と
する。
ス−セラミックス焼成体の製造方法は、成分中にＢ2 Ｏ
3 を含有するガラス粉末と成分中にＡｌ2 Ｏ3 を含有す
るセラミックス粉末を混合した複合粉末を、ガラス粉末
の転移点以上軟化点以下の温度で予備焼成し、次いでグ
リーンシートに成形し、積層後、焼成することを特徴と
する。
【０００８】本発明の方法において、ガラス粉末とセラ
ミックス粉末の割合は９０：１０〜４０：９０の範囲に
あることが好ましい。
ミックス粉末の割合は９０：１０〜４０：９０の範囲に
あることが好ましい。
【０００９】ガラス粉末としては成分中にＢ2 Ｏ3 を含
むものであればどのような組成系のガラスでも使用で
き、例えばホウケイ酸ガラス粉末が使用できる。また結
晶化ガラス或いは結晶性ガラスであっても差し支えな
い。
むものであればどのような組成系のガラスでも使用で
き、例えばホウケイ酸ガラス粉末が使用できる。また結
晶化ガラス或いは結晶性ガラスであっても差し支えな
い。
【００１０】またセラミックス粉末としては、例えばア
ルミナ粉末が使用できる。
ルミナ粉末が使用できる。
【００１１】
【作用】本発明の方法において、複合粉末を転移点以上
軟化点以下の温度で予備焼成すると、ガラス粉末から溶
出した酸化ホウ素とセラミックス粉末中のＡｌ2 Ｏ3 成
分とが反応する。これによって水酸化ホウ素の析出を抑
制することができる。なお焼成温度が転移点より低いと
上記反応が不十分になって水酸化ホウ素の析出を抑制す
ることができず、一方、軟化点より高いとガラス粉末と
セラミックス粉末の焼結が進行してしまい、粒度分布が
変化してグリーンシートの成形に支障をきたしてしま
う。
軟化点以下の温度で予備焼成すると、ガラス粉末から溶
出した酸化ホウ素とセラミックス粉末中のＡｌ2 Ｏ3 成
分とが反応する。これによって水酸化ホウ素の析出を抑
制することができる。なお焼成温度が転移点より低いと
上記反応が不十分になって水酸化ホウ素の析出を抑制す
ることができず、一方、軟化点より高いとガラス粉末と
セラミックス粉末の焼結が進行してしまい、粒度分布が
変化してグリーンシートの成形に支障をきたしてしま
う。
【００１２】
【実施例】ガラス転移点５００℃、軟化点７５０℃のホ
ウケイ酸ガラスをボールミルで平均粒径が３μｍになる
まで粉砕し、平均粒径３μｍのアルミナ粉末と６：４の
重量比で混合し、複合粉末を得た。この複合粉末を、６
００℃で１時間空気中で予備焼成した。次いで溶剤とし
てトルエン、バインダーとしてアクリル樹脂を使用して
スラリー化し、ドクターブレード法にてグリーンシート
に成形した。
ウケイ酸ガラスをボールミルで平均粒径が３μｍになる
まで粉砕し、平均粒径３μｍのアルミナ粉末と６：４の
重量比で混合し、複合粉末を得た。この複合粉末を、６
００℃で１時間空気中で予備焼成した。次いで溶剤とし
てトルエン、バインダーとしてアクリル樹脂を使用して
スラリー化し、ドクターブレード法にてグリーンシート
に成形した。
【００１３】また比較例として、予備焼成せず、他は上
記と同様にして作製したグリーンシートを用意した。
記と同様にして作製したグリーンシートを用意した。
【００１４】次に各シートを、温度４０℃、湿度８５％
の恒温槽に１００時間入れた。その後、各試料の表面を
観察したところ、予備焼成を行った実施例の試料は全く
結晶が認められなかった。一方、予備焼成を行わなかっ
た比較例の試料には水酸化ホウ素の結晶が表面一面に観
察された。
の恒温槽に１００時間入れた。その後、各試料の表面を
観察したところ、予備焼成を行った実施例の試料は全く
結晶が認められなかった。一方、予備焼成を行わなかっ
た比較例の試料には水酸化ホウ素の結晶が表面一面に観
察された。
【００１５】
【発明の効果】以上のように、本発明の方法によれば、
成分中にＢ2 Ｏ3 を含有するガラス粉末を含むガラス−
セラミックス複合粉末を用いてグリーンシートを作製し
ても、水酸化ホウ素の析出がなく、信頼性の高い回路基
板等の電子部品を製造することができる。
成分中にＢ2 Ｏ3 を含有するガラス粉末を含むガラス−
セラミックス複合粉末を用いてグリーンシートを作製し
ても、水酸化ホウ素の析出がなく、信頼性の高い回路基
板等の電子部品を製造することができる。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年１２月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 ガラス−セラミックス焼成体
用複合粉末の処理方法及びガラス−セラミックス焼成体
の製造方法
用複合粉末の処理方法及びガラス−セラミックス焼成体
の製造方法
Claims (10)
- 【請求項１】 成分中にＢ2 Ｏ3 を含有するガラス粉末
と成分中にＡｌ2 Ｏ3 を含有するセラミックス粉末を混
合した複合粉末を、ガラス粉末の転移点以上軟化点以下
の温度で予備焼成することを特徴とするガラス−セラミ
ックス焼成体用複合粉末の処理方法。 - 【請求項２】 ガラス粉末とセラミックス粉末の割合
が、重量比で９０：１０〜４０：６０の範囲にあること
を特徴とする請求項１のガラス−セラミックス焼成体用
複合粉末の処理方法。 - 【請求項３】 ガラス粉末がホウケイ酸ガラス粉末であ
ることを特徴とする請求項１のガラス−セラミックス焼
成体用複合粉末の処理方法。 - 【請求項４】 セラミックス粉末がアルミナ粉末である
ことを特徴とする請求項１のガラス−セラミックス焼成
体用複合粉末の処理方法。 - 【請求項５】 成分中にＢ2 Ｏ3 を含有するガラス粉末
と成分中にＡｌ2 Ｏ3 を含有するセラミックス粉末を混
合した複合粉末を、ガラス粉末の転移点以上軟化点以下
の温度で予備焼成し、次いでグリーンシートに成形し、
積層後、焼成することを特徴とするガラス−セラミック
ス焼成体の製造方法。 - 【請求項６】 ガラス粉末とセラミックス粉末の割合
が、重量比で９０：１０〜４０：６０の範囲にあること
を特徴とする請求項５のガラス−セラミックス焼成体の
製造方法。 - 【請求項７】 セラミックス粉末がアルミナ粉末である
ことを特徴とする請求項５のガラス−セラミックス焼成
体の製造方法。 - 【請求項８】 セラミックス粉末がアルミナ粉末である
ことを特徴とする請求項５のガラス−セラミックス焼成
体の製造方法。 - 【請求項９】 焼成体が、パッケージ、多層回路基板、
チップインダクター等の積層電子部品として使用される
ことを特徴とする請求項５のガラス−セラミックス焼成
体の製造方法。 - 【請求項１０】 Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ又はこれらの合金が
導体として使用されることを特徴とする請求項９のガラ
ス−セラミックス焼成体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29809996A JPH10120439A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | ガラス−セラミックス焼成体用複合粉末の処理方法及びガラス−セラミックス焼成体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29809996A JPH10120439A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | ガラス−セラミックス焼成体用複合粉末の処理方法及びガラス−セラミックス焼成体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10120439A true JPH10120439A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17855150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29809996A Pending JPH10120439A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | ガラス−セラミックス焼成体用複合粉末の処理方法及びガラス−セラミックス焼成体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10120439A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003055034A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 積層ガラスセラミック材料及び積層ガラスセラミック焼結体 |
| JP2007165467A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Asahi Glass Co Ltd | 基板の製造方法 |
-
1996
- 1996-10-22 JP JP29809996A patent/JPH10120439A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003055034A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 積層ガラスセラミック材料及び積層ガラスセラミック焼結体 |
| JP2007165467A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Asahi Glass Co Ltd | 基板の製造方法 |
| US7788948B2 (en) | 2005-12-12 | 2010-09-07 | Asahi Glass Company, Limited | Process for producing substrate |
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