JPH10122842A - 鋼板の平坦度測定方法 - Google Patents
鋼板の平坦度測定方法Info
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- JPH10122842A JPH10122842A JP8293324A JP29332496A JPH10122842A JP H10122842 A JPH10122842 A JP H10122842A JP 8293324 A JP8293324 A JP 8293324A JP 29332496 A JP29332496 A JP 29332496A JP H10122842 A JPH10122842 A JP H10122842A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱延鋼板の平坦度を簡易な装置構成で精度良
く測定する方法を提供すること。 【解決手段】 モーターの回転軸先端に４５度傾けて取
付けられたハーフミラー２にレーザ光４を入射させ、そ
の反射光２１、２２を走行する鋼板５上に斜めに照射し
て二本のレーザスポットの軌跡６を形成させ、次いで上
記鋼板５の走行方向に対し直角かつ上方に位置する二次
元ＣＣＤカメラ８で上記鋼板５上の二点のレーザスポッ
トを検出し、スポット軌跡６の垂直方向の直線からの変
位を測定することを特徴とする鋼板の平坦度測定方法。
く測定する方法を提供すること。 【解決手段】 モーターの回転軸先端に４５度傾けて取
付けられたハーフミラー２にレーザ光４を入射させ、そ
の反射光２１、２２を走行する鋼板５上に斜めに照射し
て二本のレーザスポットの軌跡６を形成させ、次いで上
記鋼板５の走行方向に対し直角かつ上方に位置する二次
元ＣＣＤカメラ８で上記鋼板５上の二点のレーザスポッ
トを検出し、スポット軌跡６の垂直方向の直線からの変
位を測定することを特徴とする鋼板の平坦度測定方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、鋼板の平坦度測定
方法に関し、詳しくは、特に走行する熱延鋼板の平坦度
を簡易な装置構成で精度良く測定する方法に関する。
方法に関し、詳しくは、特に走行する熱延鋼板の平坦度
を簡易な装置構成で精度良く測定する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】走行する熱延鋼板の形状、特に平坦度を
精度良く測定することは、鋼板材料の形状、品質を改善
する上で重要なことである。従来、鋼板の形状を測定す
る方法としては、例えば照射されたスポットレーザ光の
位置を互いに異なる位置に配置された２台のカメラで三
角測量方式で求める方法（特開平7-77414号公報）、光
線走査手段における走査１周期内での走査速度不均一性
等による測定誤差を軽減する方法（特開平7-243820号公
報）及び被検査物からの反射光のほぼ全体を集光レンズ
に入射し、フォトダイオード等により光量を検出するこ
とにより被検査物の欠陥を精度よく検出する方法（特開
平7-270336号公報）等が提案されている。しかしなが
ら、これらは、冷間圧延鋼材の測定にはよいが熱延鋼板
材には不向きであったり、装置が大がかりで精度が悪い
等の問題がある。
精度良く測定することは、鋼板材料の形状、品質を改善
する上で重要なことである。従来、鋼板の形状を測定す
る方法としては、例えば照射されたスポットレーザ光の
位置を互いに異なる位置に配置された２台のカメラで三
角測量方式で求める方法（特開平7-77414号公報）、光
線走査手段における走査１周期内での走査速度不均一性
等による測定誤差を軽減する方法（特開平7-243820号公
報）及び被検査物からの反射光のほぼ全体を集光レンズ
に入射し、フォトダイオード等により光量を検出するこ
とにより被検査物の欠陥を精度よく検出する方法（特開
平7-270336号公報）等が提案されている。しかしなが
ら、これらは、冷間圧延鋼材の測定にはよいが熱延鋼板
材には不向きであったり、装置が大がかりで精度が悪い
等の問題がある。
【０００３】また、熱延鋼板の形状測定方法としては、
レーザ利用の三角測量方式を採用した光切断法（松井等
「住友金属」vol.41, 69頁 (1989))、格子とレーザを利
用したレーザモアレ法「松尾等「材料とプロセス」vol.
1, 1581頁 (1983))及びレーザ光を回転面鏡と放物面鏡
により鋼板表面に照射し、反射光を受光装置で電気信号
に変換し、反射光の強度等を求める方法（特開昭60-695
03号公報）等が提案されている。しかしながら、光切断
法やレーザモアレ法は形状の変化量を絶対値では測定出
来ず、予め補正方式を定めて実測値を補正する相対測定
方式のため精度維持に問題があり装置も複雑である。ま
た、回転面鏡と放物面鏡を組み合わせる方法は、装置が
複雑になるという問題がある。
レーザ利用の三角測量方式を採用した光切断法（松井等
「住友金属」vol.41, 69頁 (1989))、格子とレーザを利
用したレーザモアレ法「松尾等「材料とプロセス」vol.
1, 1581頁 (1983))及びレーザ光を回転面鏡と放物面鏡
により鋼板表面に照射し、反射光を受光装置で電気信号
に変換し、反射光の強度等を求める方法（特開昭60-695
03号公報）等が提案されている。しかしながら、光切断
法やレーザモアレ法は形状の変化量を絶対値では測定出
来ず、予め補正方式を定めて実測値を補正する相対測定
方式のため精度維持に問題があり装置も複雑である。ま
た、回転面鏡と放物面鏡を組み合わせる方法は、装置が
複雑になるという問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、走行する鋼板、特に熱延鋼板の平坦度を簡易な装置
構成で精度良く測定する方法を提供することにある。
は、走行する鋼板、特に熱延鋼板の平坦度を簡易な装置
構成で精度良く測定する方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】かかる実情において、本
発明者は鋭意検討を行った結果本発明を完成するに至っ
た。すなわち、本発明はモーターの回転軸先端に４５度
傾けて取付けられたハーフミラーにレーザ光を入射さ
せ、その反射光を走行する鋼板上に斜めに照射して二本
のレーザスポットの軌跡を形成させ、次いで上記鋼板の
走行方向に対し直角かつ上方に位置する二次元ＣＣＤカ
メラで上記鋼板上の二点のレーザスポットを検出し、ス
ポット軌跡の垂直方向の直線からの変位を測定すること
を特徴とする鋼板の平坦度測定方法を提供するものであ
る。
発明者は鋭意検討を行った結果本発明を完成するに至っ
た。すなわち、本発明はモーターの回転軸先端に４５度
傾けて取付けられたハーフミラーにレーザ光を入射さ
せ、その反射光を走行する鋼板上に斜めに照射して二本
のレーザスポットの軌跡を形成させ、次いで上記鋼板の
走行方向に対し直角かつ上方に位置する二次元ＣＣＤカ
メラで上記鋼板上の二点のレーザスポットを検出し、ス
ポット軌跡の垂直方向の直線からの変位を測定すること
を特徴とする鋼板の平坦度測定方法を提供するものであ
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１〜図７
を参照して説明する。図１は本発明の測定方法の主要部
であるダブルビームの形成方法を示す図である。図２は
走行する鋼板上のレーザスポットの軌跡と二次元ＣＣＤ
カメラの位置関係を示す図である。図３はダブルビーム
スキャナーと走行する鋼板の位置関係を示す図である。
図４はダブルビームを形成する光学スキャナーの平面図
を示す図である。図５は二次元ＣＣＤカメラによるビー
ムスポットの軌跡観測画面例を示す図である。図６は鋼
板上のレーザスポットの相互位置関係を示す図である。
図７は画像処理装置での信号処理フローを示す。
を参照して説明する。図１は本発明の測定方法の主要部
であるダブルビームの形成方法を示す図である。図２は
走行する鋼板上のレーザスポットの軌跡と二次元ＣＣＤ
カメラの位置関係を示す図である。図３はダブルビーム
スキャナーと走行する鋼板の位置関係を示す図である。
図４はダブルビームを形成する光学スキャナーの平面図
を示す図である。図５は二次元ＣＣＤカメラによるビー
ムスポットの軌跡観測画面例を示す図である。図６は鋼
板上のレーザスポットの相互位置関係を示す図である。
図７は画像処理装置での信号処理フローを示す。
【０００７】図１に示すように、モーター１の回転軸先
端１０に４５度傾けて取付けられたハーフミラー２に前
面よりレーザビーム４を入射させる。ハーフミラー２は
表面と裏面で二回反射するように表面処理されたものを
用いる。該ハーフミラーの厚みとしては、特に制限され
ないが約１．０cmとするのが好ましい。また、図１では
モーター軸の前面にレーザ発生装置（レーザ光源）３を
備えるが、図４に示すようにミラー１１、１２の使用に
よりレーザビームが正面より入射するのであればモータ
ー１とレーザ発生装置３の位置関係は制限されない。モ
ータ１の回転によりハーフミラー２が回転すると、ハー
フミラー３により反射された２本の反射ビーム２１、２
２は、その間隔ｄ0 を保ちレーザビームの入射に対し直
交した平面上を回転する。
端１０に４５度傾けて取付けられたハーフミラー２に前
面よりレーザビーム４を入射させる。ハーフミラー２は
表面と裏面で二回反射するように表面処理されたものを
用いる。該ハーフミラーの厚みとしては、特に制限され
ないが約１．０cmとするのが好ましい。また、図１では
モーター軸の前面にレーザ発生装置（レーザ光源）３を
備えるが、図４に示すようにミラー１１、１２の使用に
よりレーザビームが正面より入射するのであればモータ
ー１とレーザ発生装置３の位置関係は制限されない。モ
ータ１の回転によりハーフミラー２が回転すると、ハー
フミラー３により反射された２本の反射ビーム２１、２
２は、その間隔ｄ0 を保ちレーザビームの入射に対し直
交した平面上を回転する。
【０００８】図２及び図３に示すように、走行する鋼板
５の上部に位置し、モーター、ハーフミラー及びレーザ
発生装置より成る光学スキャナー７から発生する反射ビ
ーム２１、２２を、走行する鋼板５上に投射すると鋼板
上に二本のレーザスポットの軌跡６が形成される。該反
射ビーム２１、２２は走行する鋼板５に対し斜めに投射
される。その好ましい投射角（入射角θ）としては、３
０度〜６０度であり、特に４５度とすることが測定精度
を高める点で好ましい。
５の上部に位置し、モーター、ハーフミラー及びレーザ
発生装置より成る光学スキャナー７から発生する反射ビ
ーム２１、２２を、走行する鋼板５上に投射すると鋼板
上に二本のレーザスポットの軌跡６が形成される。該反
射ビーム２１、２２は走行する鋼板５に対し斜めに投射
される。その好ましい投射角（入射角θ）としては、３
０度〜６０度であり、特に４５度とすることが測定精度
を高める点で好ましい。
【０００９】本発明において、二次元ＣＣＤカメラ８は
鋼板の走行方向に対し直角、かつ斜め上に位置する。該
カメラ８の方向と鋼板上のレーザスポットの軌跡線から
形成される撮影角（δ）は、特に制限されないが、２０
度〜５０度とするのが好ましい。このように撮影角を設
ける理由は、例えば、鋼板の幅が１ｍ、上下方向の変位
を１cmとすればレーザスポットの変化範囲もほぼ同じ程
度に変化する。従って測定視野は１ｍ×１cmとなって極
端に細長い視野になる。これをカメラで測定するとレー
ザスポット軌跡の変化量が小さいため分解能が非常に悪
くなるということを避けるためであり、これにより長手
方向を圧縮した細かいレーザスポットの軌跡の変化が拡
大された画面で得ることができる。また、図１に示すよ
うに、二点のレーザスポット間隔は常にｄ0 であり、こ
れを基準にして鋼板のうねり（変位）を求めればよい。
鋼板の走行方向に対し直角、かつ斜め上に位置する。該
カメラ８の方向と鋼板上のレーザスポットの軌跡線から
形成される撮影角（δ）は、特に制限されないが、２０
度〜５０度とするのが好ましい。このように撮影角を設
ける理由は、例えば、鋼板の幅が１ｍ、上下方向の変位
を１cmとすればレーザスポットの変化範囲もほぼ同じ程
度に変化する。従って測定視野は１ｍ×１cmとなって極
端に細長い視野になる。これをカメラで測定するとレー
ザスポット軌跡の変化量が小さいため分解能が非常に悪
くなるということを避けるためであり、これにより長手
方向を圧縮した細かいレーザスポットの軌跡の変化が拡
大された画面で得ることができる。また、図１に示すよ
うに、二点のレーザスポット間隔は常にｄ0 であり、こ
れを基準にして鋼板のうねり（変位）を求めればよい。
【００１０】本発明の方法おいて、鋼板上のレーザスポ
ットの軌跡を二次元ＣＣＤカメラで測定して得られる画
面は図５のようになる。鋼板が平坦であればレーザスポ
ットは二本の直線上を動く（図５（ａ））。鋼板が上下
すると該軌跡は直線のまま左右に移動する（図５
（ｂ））。一方平坦でない鋼板に対してはレーザスポッ
トの軌跡は直線からずれて鋼板のうねりに対応した曲線
を示す（図５（ｃ））。このように鋼板のうねりはレー
ザスポットの直線からのずれとして測定できる。
ットの軌跡を二次元ＣＣＤカメラで測定して得られる画
面は図５のようになる。鋼板が平坦であればレーザスポ
ットは二本の直線上を動く（図５（ａ））。鋼板が上下
すると該軌跡は直線のまま左右に移動する（図５
（ｂ））。一方平坦でない鋼板に対してはレーザスポッ
トの軌跡は直線からずれて鋼板のうねりに対応した曲線
を示す（図５（ｃ））。このように鋼板のうねりはレー
ザスポットの直線からのずれとして測定できる。
【００１１】次に本発明方法の測定原理について説明す
る。図６に示すように鋼板が基準位置からｄだけ上下に
ずれた場合には、レーザスポットは基準位置からｕだけ
左右に移動し、移動距離は次の（１）式で表される。 ｕ＝ｄ× tanθ （１） （式中、θは反射ビームの照射角を示す。） また、ビーム間隔ｕ0 は次の（２）式で表される。 ｕ0 ＝ｄ0 ／cos θ （２） ここでｕとｕ0 の比を求めると鋼板の上下移動距離（平
坦度）ｄは次の（３）式で表される。 ｄ＝（ｕ／ｕ0 ）×（ｄ0 ／sin θ） （３） （３）式から、カメラの視差に影響されず常に正確にｄ
が測定できることがわかる。また、式（１）及び式
（２）から明らかなように照射角度が水平に近くなるほ
ど移動距離ｕ、ｕ0 は大きくなり測定精度が上がる。
る。図６に示すように鋼板が基準位置からｄだけ上下に
ずれた場合には、レーザスポットは基準位置からｕだけ
左右に移動し、移動距離は次の（１）式で表される。 ｕ＝ｄ× tanθ （１） （式中、θは反射ビームの照射角を示す。） また、ビーム間隔ｕ0 は次の（２）式で表される。 ｕ0 ＝ｄ0 ／cos θ （２） ここでｕとｕ0 の比を求めると鋼板の上下移動距離（平
坦度）ｄは次の（３）式で表される。 ｄ＝（ｕ／ｕ0 ）×（ｄ0 ／sin θ） （３） （３）式から、カメラの視差に影響されず常に正確にｄ
が測定できることがわかる。また、式（１）及び式
（２）から明らかなように照射角度が水平に近くなるほ
ど移動距離ｕ、ｕ0 は大きくなり測定精度が上がる。
【００１２】本発明の方法において、ハーフミラーの回
転周期と二次元ＣＣＤカメラの走査周期を一致させるこ
とが、レーザスポットが常に安定に画面に映し出される
ことから好ましい。
転周期と二次元ＣＣＤカメラの走査周期を一致させるこ
とが、レーザスポットが常に安定に画面に映し出される
ことから好ましい。
【００１３】また、本発明の方法において、レーザの波
長を紫外線領域にとり、カメラにレーザの波長範囲の紫
外線領域の光線のみを透過させるフィルターを装着すれ
ば、鋼板が１０００℃以上に赤熱されていても鋼板の熱
放射光を除去して鮮明なレーザスポットがカメラで検出
できる。該紫外線領域の波長は、０．３μｍ以下とする
のが好ましい。
長を紫外線領域にとり、カメラにレーザの波長範囲の紫
外線領域の光線のみを透過させるフィルターを装着すれ
ば、鋼板が１０００℃以上に赤熱されていても鋼板の熱
放射光を除去して鮮明なレーザスポットがカメラで検出
できる。該紫外線領域の波長は、０．３μｍ以下とする
のが好ましい。
【００１４】本発明において、二次元ＣＣＤカメラの出
力は画像処理装置に入力される。図７に示すように画像
処理装置では、先ず二値化処理でレーザスポットのみを
検出する。次いで、スポット映像の重心を計算してこの
位置をレーザスポット位置とする。レーザスポットの軌
跡が重心の軌跡として検出される。画面上で垂直方向に
基準線をとり、この基準線からのずれを求め、ずれの平
均値は鋼板の上下動として無視し、平均値からのずれを
平坦度を示す変位とする。画面上の変位量は二点のレー
ザスポット間隔から視差を補正するために両者の比をと
り、前記（３）式から実効変位量ｄを求めればよい。
力は画像処理装置に入力される。図７に示すように画像
処理装置では、先ず二値化処理でレーザスポットのみを
検出する。次いで、スポット映像の重心を計算してこの
位置をレーザスポット位置とする。レーザスポットの軌
跡が重心の軌跡として検出される。画面上で垂直方向に
基準線をとり、この基準線からのずれを求め、ずれの平
均値は鋼板の上下動として無視し、平均値からのずれを
平坦度を示す変位とする。画面上の変位量は二点のレー
ザスポット間隔から視差を補正するために両者の比をと
り、前記（３）式から実効変位量ｄを求めればよい。
【００１５】本発明において、前記鋼板としては、特に
制限されず熱延鋼板の他、例えば冷延鋼板、紙、プラス
チック、繊維材料等の平板が挙げられる。
制限されず熱延鋼板の他、例えば冷延鋼板、紙、プラス
チック、繊維材料等の平板が挙げられる。
【００１６】また、鋼板は静止状態でも走行状態でもよ
い。カメラの走査周期とハーフミラーの回転速度との同
期時間を選択することにより必要とする測定密度が得ら
れ、例えば、２ｍ／秒の走行鋼板を１／６０秒で同期す
ると２／６０ｍの測定密度となる。
い。カメラの走査周期とハーフミラーの回転速度との同
期時間を選択することにより必要とする測定密度が得ら
れ、例えば、２ｍ／秒の走行鋼板を１／６０秒で同期す
ると２／６０ｍの測定密度となる。
【００１７】
【実施例】次に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に
説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限す
るものではない。
説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限す
るものではない。
【００１８】（ダミー鋼板の平坦度の測定）鋼板の幅が
５００mmで、５mm毎に１０段階に厚みを変化させたダミ
ー鋼板を測定した。レーザビームスキャナの構成は図３
及び図４に示すとおりとした。レーザ光源としては出力
５０mW、波長４８８nmの空冷型アルゴンレーザを用い
た。ハーフミラーをモータ軸の先端に４５度の角度で回
転可能に取り付けた。照射角度４５度、カメラの走査周
期１／60秒、ハーフミラーの回転速度は６０r.p.s とし
た。
５００mmで、５mm毎に１０段階に厚みを変化させたダミ
ー鋼板を測定した。レーザビームスキャナの構成は図３
及び図４に示すとおりとした。レーザ光源としては出力
５０mW、波長４８８nmの空冷型アルゴンレーザを用い
た。ハーフミラーをモータ軸の先端に４５度の角度で回
転可能に取り付けた。照射角度４５度、カメラの走査周
期１／60秒、ハーフミラーの回転速度は６０r.p.s とし
た。
【００１９】また、アルゴンレーザの波長のみを透過す
る干渉フィルターをとりつけた二次元ＣＣＤカメラを鋼
板の横に直角の視野がとれるようにし、撮影角４５度で
設置した。また、カメラの走査線の方向と鋼板の走行方
向を一致させた。従って、ｕの変位方向はカメラの走査
方向と一致することとなる。なお、二次元ＣＣＤカメラ
の出力は、画像処理装置にとり込み、前記画像処理方法
と同様に行い、実効変位量ｄ（平坦度）を求めた。結果
を表１に示した。なお、ｄ0 ＝１０mm、ｌはカメラから
測定点までの距離、ｕは変位量、ｕ0 は基準のスポット
間隔である。
る干渉フィルターをとりつけた二次元ＣＣＤカメラを鋼
板の横に直角の視野がとれるようにし、撮影角４５度で
設置した。また、カメラの走査線の方向と鋼板の走行方
向を一致させた。従って、ｕの変位方向はカメラの走査
方向と一致することとなる。なお、二次元ＣＣＤカメラ
の出力は、画像処理装置にとり込み、前記画像処理方法
と同様に行い、実効変位量ｄ（平坦度）を求めた。結果
を表１に示した。なお、ｄ0 ＝１０mm、ｌはカメラから
測定点までの距離、ｕは変位量、ｕ0 は基準のスポット
間隔である。
【００２０】
【表１】
【００２１】表１より明らかなように、本発明方法によ
ればダミー鋼板の平坦度の測定において±２mm以内の精
度を示した。
ればダミー鋼板の平坦度の測定において±２mm以内の精
度を示した。
【００２２】（熱延鋼板の平坦度の測定）鋼板として鋼
板表面温度１１００℃、鋼板移動速度１．５ｍ/sec、カ
メラから鋼板のセンタラインまでの距離２．５ｍとした
以外はダミー鋼板の平坦度の測定方法と同様の方法で行
った。得られた結果は、鋼板のセンタライン上を接触式
変位計で測定した結果と比較した。結果を図８に示し
た。測定精度は、±３mm以内の高い精度を示した。
板表面温度１１００℃、鋼板移動速度１．５ｍ/sec、カ
メラから鋼板のセンタラインまでの距離２．５ｍとした
以外はダミー鋼板の平坦度の測定方法と同様の方法で行
った。得られた結果は、鋼板のセンタライン上を接触式
変位計で測定した結果と比較した。結果を図８に示し
た。測定精度は、±３mm以内の高い精度を示した。
【００２３】
【発明の効果】本発明の方法によれば、走行する鋼板の
平坦度を簡易な装置構成で精度良く測定できる。また、
本方法は二次元ＣＣＤカメラを斜め上から配置し、基準
長さで補正するため距離（鋼板幅）の影響を受けずに画
面上の寸法を鋼板上の寸法に換算出来る。また、本方法
では鋼板の幅が変化しても自動的に端部を検出し、幅方
向の測定位置を決定できるため、例えば幅方向に５点等
分割した点の平坦度を検出することもできる。
平坦度を簡易な装置構成で精度良く測定できる。また、
本方法は二次元ＣＣＤカメラを斜め上から配置し、基準
長さで補正するため距離（鋼板幅）の影響を受けずに画
面上の寸法を鋼板上の寸法に換算出来る。また、本方法
では鋼板の幅が変化しても自動的に端部を検出し、幅方
向の測定位置を決定できるため、例えば幅方向に５点等
分割した点の平坦度を検出することもできる。
【図１】本発明の測定方法の主要部であるダブルビーム
の形成方法を示す図である。
の形成方法を示す図である。
【図２】本発明の走行する鋼板上のビームスポットの軌
跡と二次元ＣＣＤカメラの位置関係を示す図である。
跡と二次元ＣＣＤカメラの位置関係を示す図である。
【図３】本発明のダブルスキャナーと走行する鋼板の位
置関係を示す図である。
置関係を示す図である。
【図４】本発明のダブルビームを形成する光学スキャナ
ーの平面図を示す図である。
ーの平面図を示す図である。
【図５】本発明の鋼板上のレーザスポットの相互位置関
係を示す図である。
係を示す図である。
【図６】本発明の二次元ＣＣＤカメラによるレーザスポ
ットの軌跡観測画面例を示す図である。
ットの軌跡観測画面例を示す図である。
【図７】本発明の二次元ＣＣＤカメラによる画像処理装
置での信号処理フローを示す図である。
置での信号処理フローを示す図である。
【図８】本発明の測定方法と接触式変位計による測定方
法の相関図である。
法の相関図である。
１ モーター ２ ハーフミラー ３ レーザ光源 ５ 鋼板 ８ 二次元ＣＣＤカメラ
Claims (3)
- 【請求項１】 モーターの回転軸先端に４５度傾けて取
付けられたハーフミラーにレーザ光を入射させ、その反
射光を走行する鋼板上に斜めに照射して二本のレーザス
ポットの軌跡を形成させ、次いで上記鋼板の走行方向に
対し直角かつ上方に位置する二次元ＣＣＤカメラで上記
鋼板上の二点のレーザスポットを検出し、スポット軌跡
の垂直方向の直線からの変位を測定することを特徴とす
る鋼板の平坦度測定方法。 - 【請求項２】 前記ハーフミラーの回転周期と前記二次
元ＣＣＤカメラの走査周期を一致させ、前記二点のレー
ザスポットを検出する請求項１記載の鋼板の平坦度測定
方法。 - 【請求項３】 前記レーザ光の波長と前記二次元ＣＣＤ
カメラの検出波長を紫外線領域とし、赤熱する鋼板の熱
放射光を除去してレーザスポットを検出する請求項１又
は２記載の鋼板の平坦度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8293324A JPH10122842A (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | 鋼板の平坦度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8293324A JPH10122842A (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | 鋼板の平坦度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10122842A true JPH10122842A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17793362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8293324A Pending JPH10122842A (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | 鋼板の平坦度測定方法 |
Country Status (1)
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1996
- 1996-10-15 JP JP8293324A patent/JPH10122842A/ja active Pending
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