JPH10124821A - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH10124821A JPH10124821A JP29734796A JP29734796A JPH10124821A JP H10124821 A JPH10124821 A JP H10124821A JP 29734796 A JP29734796 A JP 29734796A JP 29734796 A JP29734796 A JP 29734796A JP H10124821 A JPH10124821 A JP H10124821A
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- jig
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業効率や作業精度の高い薄膜磁気ヘッドの
製造方法を提供すること。 【解決手段】 ウェハから複数のヘッドチップが内在す
るブロック２を切り出して真空装置内でエッチング処理
することにより、ヘッドコアスライダのディスク対向面
の加工を行う際、複数の前記ブロックにおけるディスク
対向面が形成される面を第１の基準ベース１の基準面に
当接し、前記複数のブロックを前記第１の基準ベースに
真空吸着させて保持し、接着剤を貼付した治具６を第２
の基準ベース５の基準面上に配置し、前記治具を前記第
２の基準ベースに真空吸着させて保持し、前記第１の基
準ベースと第２の基準ベースを組み合わせ、前記複数の
ブロックを前記治具上に転写貼付し、前記治具上に転写
貼付した複数のブロックを前記エッチング処理する。
製造方法を提供すること。 【解決手段】 ウェハから複数のヘッドチップが内在す
るブロック２を切り出して真空装置内でエッチング処理
することにより、ヘッドコアスライダのディスク対向面
の加工を行う際、複数の前記ブロックにおけるディスク
対向面が形成される面を第１の基準ベース１の基準面に
当接し、前記複数のブロックを前記第１の基準ベースに
真空吸着させて保持し、接着剤を貼付した治具６を第２
の基準ベース５の基準面上に配置し、前記治具を前記第
２の基準ベースに真空吸着させて保持し、前記第１の基
準ベースと第２の基準ベースを組み合わせ、前記複数の
ブロックを前記治具上に転写貼付し、前記治具上に転写
貼付した複数のブロックを前記エッチング処理する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばコンピュ
ータ用ハードディスクに用いられる薄膜磁気ヘッドの製
造方法に係り、特にヘッドコアスライダのディスク対向
面の加工を改良した薄膜磁気ヘッドの製造方法に関す
る。
ータ用ハードディスクに用いられる薄膜磁気ヘッドの製
造方法に係り、特にヘッドコアスライダのディスク対向
面の加工を改良した薄膜磁気ヘッドの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータ用ハードディスクには薄膜
磁気ヘッドが用いられている。この種の薄膜磁気ヘッド
の製造方法のうち、ヘッドコアスライダのディスク対向
面（以下、「ＡＢＳ」という）の加工は、ウェハから切
り出したブロック内のデプスを所定の寸法に仕上げた
後、平板状の治具に複数のブロックを貼付固定して、真
空装置内でエッチング処理することにより行われてい
る。尚、ブロックを貼付固定する接着剤としては、機械
加工等でブロックを保持する目的で使用する熱可塑性ワ
ックスや瞬間接着剤が使用されている。
磁気ヘッドが用いられている。この種の薄膜磁気ヘッド
の製造方法のうち、ヘッドコアスライダのディスク対向
面（以下、「ＡＢＳ」という）の加工は、ウェハから切
り出したブロック内のデプスを所定の寸法に仕上げた
後、平板状の治具に複数のブロックを貼付固定して、真
空装置内でエッチング処理することにより行われてい
る。尚、ブロックを貼付固定する接着剤としては、機械
加工等でブロックを保持する目的で使用する熱可塑性ワ
ックスや瞬間接着剤が使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ブロックを貼
付固定する際の作業性が悪いため、ブロック表面に接着
剤が付着することがあり、次工程へ円滑に移行すること
ができないという問題があった。また、エッチングに際
してはレジストパターンを形成するが、個々のブロック
の厚みにばらつきがあるため、レジストの密着不良が発
生し、ＡＢＳの形状が悪化するという問題があった。さ
らに、個々のブロックの厚みにばらつきがあるため、１
治具上に複数のブロックを貼付固定した場合、最終工程
におけるブロックリセットに長時間を要するという問題
があった。
付固定する際の作業性が悪いため、ブロック表面に接着
剤が付着することがあり、次工程へ円滑に移行すること
ができないという問題があった。また、エッチングに際
してはレジストパターンを形成するが、個々のブロック
の厚みにばらつきがあるため、レジストの密着不良が発
生し、ＡＢＳの形状が悪化するという問題があった。さ
らに、個々のブロックの厚みにばらつきがあるため、１
治具上に複数のブロックを貼付固定した場合、最終工程
におけるブロックリセットに長時間を要するという問題
があった。
【０００４】この発明は、上記課題を解決するためにな
されたものであり、作業効率や作業精度の高い薄膜磁気
ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
されたものであり、作業効率や作業精度の高い薄膜磁気
ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、ウェハから複数のヘッドチップが内在するブロッ
クを切り出して真空装置内でエッチング処理することに
より、ヘッドコアスライダのディスク対向面の加工を行
う薄膜磁気ヘッドの製造方法において、複数の前記ブロ
ックにおけるディスク対向面が形成される面を第１の基
準ベースの基準面に当接し、前記複数のブロックを前記
第１の基準ベースに真空吸着させて保持し、接着剤を貼
付した治具を第２の基準ベースの基準面上に配置し、前
記治具を前記第２の基準ベースに真空吸着させて保持
し、前記第１の基準ベースと第２の基準ベースを組み合
わせ、前記複数のブロックを前記治具上に転写貼付し、
前記治具上に転写貼付した複数のブロックを前記エッチ
ング処理することにより達成される。
れば、ウェハから複数のヘッドチップが内在するブロッ
クを切り出して真空装置内でエッチング処理することに
より、ヘッドコアスライダのディスク対向面の加工を行
う薄膜磁気ヘッドの製造方法において、複数の前記ブロ
ックにおけるディスク対向面が形成される面を第１の基
準ベースの基準面に当接し、前記複数のブロックを前記
第１の基準ベースに真空吸着させて保持し、接着剤を貼
付した治具を第２の基準ベースの基準面上に配置し、前
記治具を前記第２の基準ベースに真空吸着させて保持
し、前記第１の基準ベースと第２の基準ベースを組み合
わせ、前記複数のブロックを前記治具上に転写貼付し、
前記治具上に転写貼付した複数のブロックを前記エッチ
ング処理することにより達成される。
【０００６】上記構成によれば、第１の基準ベースの基
準面により複数のブロックのヘッドコアスライダのディ
スク対向面が面一となるので、個々のブロックの厚みの
ばらつきをキャンセルすることができ、エッチング処理
において良好なＡＢＳ形状を形成することができる。
準面により複数のブロックのヘッドコアスライダのディ
スク対向面が面一となるので、個々のブロックの厚みの
ばらつきをキャンセルすることができ、エッチング処理
において良好なＡＢＳ形状を形成することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施の形
態を添付図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施形態は、この発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発
明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの形態に限られるもので
はない。
態を添付図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施形態は、この発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発
明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの形態に限られるもので
はない。
【０００８】この発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法の実
施形態を説明する。ここで、この実施形態では、図１に
示すような矩形箱体状の第１の基準ベース１が使用され
る。第１の基準ベース１の２箇所の角部には、後述する
第２の基準ベースのピンと係合するピン孔１ａが穿設さ
れている。また、第１の基準ベース１の側壁には貫通孔
１ｃが形成されており、この貫通孔１ｃを図示しない排
気装置に接続することにより真空吸着手段が構成され
る。そして、第１の基準ベース１の底面は、複数のヘッ
ドチップを内在するブロック２を複数整列させる基準面
１ｂとなる。
施形態を説明する。ここで、この実施形態では、図１に
示すような矩形箱体状の第１の基準ベース１が使用され
る。第１の基準ベース１の２箇所の角部には、後述する
第２の基準ベースのピンと係合するピン孔１ａが穿設さ
れている。また、第１の基準ベース１の側壁には貫通孔
１ｃが形成されており、この貫通孔１ｃを図示しない排
気装置に接続することにより真空吸着手段が構成され
る。そして、第１の基準ベース１の底面は、複数のヘッ
ドチップを内在するブロック２を複数整列させる基準面
１ｂとなる。
【０００９】また、図２に示すような平板状の第２の基
準ベース５も使用される。第２の基準ベース５の２箇所
の角部には、第１の基準ベース１に穿設したピン孔１ａ
と係合するピン５ａが起立して設けられている。また、
第２の基準ベース５には、基準面５ｂに開口する貫通孔
５ｃが形成されており、この貫通孔５ｃを図示しない排
気装置に接続することにより真空吸着手段が構成され
る。そして、第２の基準ベース５の上面は、ブロック２
を処理する治具６を配置する基準面５ｂとなる。
準ベース５も使用される。第２の基準ベース５の２箇所
の角部には、第１の基準ベース１に穿設したピン孔１ａ
と係合するピン５ａが起立して設けられている。また、
第２の基準ベース５には、基準面５ｂに開口する貫通孔
５ｃが形成されており、この貫通孔５ｃを図示しない排
気装置に接続することにより真空吸着手段が構成され
る。そして、第２の基準ベース５の上面は、ブロック２
を処理する治具６を配置する基準面５ｂとなる。
【００１０】先ず、図１に示すように、第１の基準ベー
ス１上に、ヘッドチップが内在する複数のブロック２
を、ＡＢＳ形成用のレジストパターンがブロック同士で
干渉するのを防止するダミーブロック３を介して整列さ
せる。その際、個々のブロック２におけるＡＢＳ形成面
を第１の基準ベース１の基準面１ｂに当接させるように
配置する。従って、ＡＢＳ形成面と反対のブロック２の
上面を基準として貼付固定を行うことができ、これによ
りブロック厚みのばらつきをキャンセルすることができ
る。そして、Ｌ字状の２辺からなる基準板４に、ダミー
ブロック３を介して整列させたブロック２を突き当て
る。この状態で第１の基準ベース１内を排気装置で排気
し、ダミーブロック３を介して整列させたブロック２を
第１の基準ベース１の基準面１ｂに吸着して保持する。
ス１上に、ヘッドチップが内在する複数のブロック２
を、ＡＢＳ形成用のレジストパターンがブロック同士で
干渉するのを防止するダミーブロック３を介して整列さ
せる。その際、個々のブロック２におけるＡＢＳ形成面
を第１の基準ベース１の基準面１ｂに当接させるように
配置する。従って、ＡＢＳ形成面と反対のブロック２の
上面を基準として貼付固定を行うことができ、これによ
りブロック厚みのばらつきをキャンセルすることができ
る。そして、Ｌ字状の２辺からなる基準板４に、ダミー
ブロック３を介して整列させたブロック２を突き当て
る。この状態で第１の基準ベース１内を排気装置で排気
し、ダミーブロック３を介して整列させたブロック２を
第１の基準ベース１の基準面１ｂに吸着して保持する。
【００１１】次に、図２に示すように、第２の基準ベー
ス５上にブロック２を処理するための治具６を配置し、
第２の基準ベース５を排気装置で排気し、その基準面５
ｂ上に治具６を吸着して保持する。ここで、治具６は矩
形箱体状を呈しており、その上面には、ブロック２を貼
付固定するための接着剤７が貼付されている。接着剤７
には、例えば、住友３Ｍ社製のカプトン両面テープが用
いられる。この両面テープは、従来と異なり常温での接
着作業が可能であり、また耐熱温度が摂氏２６０度であ
るので、エッチング時の耐熱性に優れている。そして、
アセトン等の有機溶剤で２０分程度の超音波洗浄を行う
ことにより容易に剥離させることができる。
ス５上にブロック２を処理するための治具６を配置し、
第２の基準ベース５を排気装置で排気し、その基準面５
ｂ上に治具６を吸着して保持する。ここで、治具６は矩
形箱体状を呈しており、その上面には、ブロック２を貼
付固定するための接着剤７が貼付されている。接着剤７
には、例えば、住友３Ｍ社製のカプトン両面テープが用
いられる。この両面テープは、従来と異なり常温での接
着作業が可能であり、また耐熱温度が摂氏２６０度であ
るので、エッチング時の耐熱性に優れている。そして、
アセトン等の有機溶剤で２０分程度の超音波洗浄を行う
ことにより容易に剥離させることができる。
【００１２】次に、図３に示すように、第２の基準ベー
ス５に設けられているピン５ａを第１の基準ベース１に
穿設されたピン孔１ａ内に落とし込む。これにより、第
２の基準ベース５の自重が加わるので、複数のブロック
２をダミーブロック３を介した状態で治具６の接着剤７
上に転写貼付することができる。その後、ダミーブロッ
ク３を介して整列された複数のブロック２のＡＢＳ面に
シート上のレジストフィルムを貼付し、露光及び現像処
理する。これにより、必要とするレジストパーターンを
形成し、レジストパターンの未形成部分を真空装置内で
エッチング処理する。エッチング処理の終了後、接着剤
７をアセトン等の有機溶剤で剥離させ、治具６から複数
のブロック２を取り外すことにより、コンピュータハー
ドディスク用の薄膜磁気ヘッドブロックが完成する。
ス５に設けられているピン５ａを第１の基準ベース１に
穿設されたピン孔１ａ内に落とし込む。これにより、第
２の基準ベース５の自重が加わるので、複数のブロック
２をダミーブロック３を介した状態で治具６の接着剤７
上に転写貼付することができる。その後、ダミーブロッ
ク３を介して整列された複数のブロック２のＡＢＳ面に
シート上のレジストフィルムを貼付し、露光及び現像処
理する。これにより、必要とするレジストパーターンを
形成し、レジストパターンの未形成部分を真空装置内で
エッチング処理する。エッチング処理の終了後、接着剤
７をアセトン等の有機溶剤で剥離させ、治具６から複数
のブロック２を取り外すことにより、コンピュータハー
ドディスク用の薄膜磁気ヘッドブロックが完成する。
【００１３】以上のように、複数のヘッドチップが内在
したブロック２を治具６上に整列させる際、第１の基準
ベース１の基準面１ｂに、ＡＢＳ形成面を当接させて複
数のブロック２を整列させて真空吸着手段により保持す
ると共に、第２の基準ベース５の基準面５ｂ上に、接着
剤７を貼付したブロック処理用の治具６を真空吸着手段
により保持して、第１の基準ベース１と第２の基準ベー
ス５を組み合わせて治具６上に複数のブロック２を転写
貼付しているので、個々のブロック２の厚みのばらつき
を容易にキャンセルすることができ、エッチング処理に
おいて良好なＡＢＳ形状を形成することができる。従っ
て、機械加工による溝入れを行う場合、治具６でブロッ
ク２上面を保持しているので、溝入れ深さのばらつきを
抑制することができる。
したブロック２を治具６上に整列させる際、第１の基準
ベース１の基準面１ｂに、ＡＢＳ形成面を当接させて複
数のブロック２を整列させて真空吸着手段により保持す
ると共に、第２の基準ベース５の基準面５ｂ上に、接着
剤７を貼付したブロック処理用の治具６を真空吸着手段
により保持して、第１の基準ベース１と第２の基準ベー
ス５を組み合わせて治具６上に複数のブロック２を転写
貼付しているので、個々のブロック２の厚みのばらつき
を容易にキャンセルすることができ、エッチング処理に
おいて良好なＡＢＳ形状を形成することができる。従っ
て、機械加工による溝入れを行う場合、治具６でブロッ
ク２上面を保持しているので、溝入れ深さのばらつきを
抑制することができる。
【００１４】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
作業工数の削減を図ることができると共に、精度の高い
製品を製造することができる。
作業工数の削減を図ることができると共に、精度の高い
製品を製造することができる。
【図１】この発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法の実施形
態に使用する第１の基準ベース上に複数のブロックを整
列させた状態を示す平面図。
態に使用する第１の基準ベース上に複数のブロックを整
列させた状態を示す平面図。
【図２】図１に示す第１の基準ベース上に複数のブロッ
クを整列させた状態を示す正面図。
クを整列させた状態を示す正面図。
【図３】この発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法の実施形
態に使用する第２の基準ベース上に治具を配置した状態
を示す平面図。
態に使用する第２の基準ベース上に治具を配置した状態
を示す平面図。
【図４】図３に示す第２の基準ベース上に治具を配置し
た状態を示す正面図。
た状態を示す正面図。
【図５】図１に示す第１の基準ベースと図３に示す第２
の基準ベースを組み合わせる状態を示す概略図。
の基準ベースを組み合わせる状態を示す概略図。
１・・・第１の基準ベース、１ａ・・・ピン孔、１ｂ・
・・基準面、１ｃ・・・貫通孔、２・・・ブロック、３
・・・ダミーブロック、４・・・基準板、５・・・第２
の基準ベース、５ａ・・・ピン、５ｂ・・・基準面、５
ｃ・・・貫通孔、６・・・治具、７・・・接着剤
・・基準面、１ｃ・・・貫通孔、２・・・ブロック、３
・・・ダミーブロック、４・・・基準板、５・・・第２
の基準ベース、５ａ・・・ピン、５ｂ・・・基準面、５
ｃ・・・貫通孔、６・・・治具、７・・・接着剤
Claims (3)
- 【請求項１】 ウェハから複数のヘッドチップが内在す
るブロックを切り出して真空装置内でエッチング処理す
ることにより、ヘッドコアスライダのディスク対向面の
加工を行う薄膜磁気ヘッドの製造方法において、 複数の前記ブロックにおけるディスク対向面が形成され
る面を第１の基準ベースの基準面に当接し、 前記複数のブロックを前記第１の基準ベースに真空吸着
させて保持し、 接着剤を貼付した治具を第２の基準ベースの基準面上に
配置し、 前記治具を前記第２の基準ベースに真空吸着させて保持
し、 前記第１の基準ベースと第２の基準ベースを組み合わ
せ、 前記複数のブロックを前記治具上に転写貼付し、 前記治具上に転写貼付した複数のブロックを前記エッチ
ング処理することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項２】 前記複数のブロックにおけるディスク対
向面が形成される面を第１の基準ベースの基準面に当接
する際に、各ブロック間にダミーブロックを介した請求
項１に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記複数のブロックを前記治具上に転写
貼付する際に、常温で行う請求項１に記載の薄膜磁気ヘ
ッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29734796A JPH10124821A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29734796A JPH10124821A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10124821A true JPH10124821A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17845342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29734796A Pending JPH10124821A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10124821A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG93889A1 (en) * | 1999-10-04 | 2003-01-21 | Tdk Corp | Method of manufacturing magnetic head slider and method of fixing magnetic head slider |
| CN100336654C (zh) * | 2005-04-15 | 2007-09-12 | 罗铁威 | 高密度光盘生产的真空磁控粘合方法及其装置 |
| CN104551589A (zh) * | 2013-10-24 | 2015-04-29 | 富士通株式会社 | 零件装配件制造方法、定位装置和零件装配件 |
-
1996
- 1996-10-18 JP JP29734796A patent/JPH10124821A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG93889A1 (en) * | 1999-10-04 | 2003-01-21 | Tdk Corp | Method of manufacturing magnetic head slider and method of fixing magnetic head slider |
| US6687976B1 (en) | 1999-10-04 | 2004-02-10 | Tdk Corporation | Method of manufacturing magnetic head slider and method of fixing magnetic head slider |
| CN100336654C (zh) * | 2005-04-15 | 2007-09-12 | 罗铁威 | 高密度光盘生产的真空磁控粘合方法及其装置 |
| CN104551589A (zh) * | 2013-10-24 | 2015-04-29 | 富士通株式会社 | 零件装配件制造方法、定位装置和零件装配件 |
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