JPH10125568A5 - - Google Patents
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- JPH10125568A5 JPH10125568A5 JP1996275151A JP27515196A JPH10125568A5 JP H10125568 A5 JPH10125568 A5 JP H10125568A5 JP 1996275151 A JP1996275151 A JP 1996275151A JP 27515196 A JP27515196 A JP 27515196A JP H10125568 A5 JPH10125568 A5 JP H10125568A5
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Claims (3)
- 日時を計時するタイマ管理部と、
半導体製造装置から送信される装置の情報を、装置が半導体を生産していることを示す「生産時間」か、生産をしていない「非計画時間」か、装置が故障中又は停止中であることを示す「ダウンタイム」かに分別し、１日ごとに装置がそれぞれの状態にある時間を前記タイマ管理部から入力される日時を利用して計時し、故障が起きた回数と装置がダウンした回数とをカウントする装置データ収集部と、
前記計時された時間と、カウントされた回数とを格納する装置データ・入力データ格納メモリと、
前記装置データ・入力データ格納メモリに格納されている情報に基いて、 MTBF 、 MTTR 、 MTOL 、装置稼動利用性、装置総合利用性の内少なくとも一つを計算によって求める画面制御部と、
を有することを特徴とする半導体製造装置の制御装置。 - 半導体を生産していることを示す「生産時間」か、生産をしていない「非計画時間」か、装置が故障中又は停止中であることを示す「ダウンタイム」かに分別する装置の情報を前記装置データ収集部に送信する請求項１記載の半導体製造装置。
- 半導体製造装置から送信される装置の情報を、装置データ収集部により装置が半導体を生産していることを示す「生産時間」か、生産をしていない「非計画時間」か、装置が故障中又は停止中であることを示す「ダウンタイム」かに分別し、１日ごとに装置がそれぞれの状態にある時間を計時し、故障が起きた回数と装置がダウンした回数とをカウントし、
前記計時された時間と、カウントされた回数に基いて、、 MTBF 、 MTTR 、 MTOL 、装置稼動利用性、装置総合利用性の内少なくとも一つを求めるようにした半導体製造装置の装置性能の計算方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27515196A JP4024888B2 (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 半導体製造装置の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27515196A JP4024888B2 (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 半導体製造装置の制御装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10125568A JPH10125568A (ja) | 1998-05-15 |
| JPH10125568A5 true JPH10125568A5 (ja) | 2004-10-07 |
| JP4024888B2 JP4024888B2 (ja) | 2007-12-19 |
Family
ID=17551391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27515196A Expired - Lifetime JP4024888B2 (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 半導体製造装置の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4024888B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101012703B1 (ko) * | 2004-04-01 | 2011-02-09 | 삼성테크윈 주식회사 | 리드 프레임 스크랩 불량 검사 방법 |
| WO2010032499A1 (ja) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置 |
-
1996
- 1996-10-17 JP JP27515196A patent/JP4024888B2/ja not_active Expired - Lifetime
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