JPH10132402A - Helium compression device - Google Patents

Helium compression device

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Publication number
JPH10132402A
JPH10132402A JP28811096A JP28811096A JPH10132402A JP H10132402 A JPH10132402 A JP H10132402A JP 28811096 A JP28811096 A JP 28811096A JP 28811096 A JP28811096 A JP 28811096A JP H10132402 A JPH10132402 A JP H10132402A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oil
helium
compressor
helium gas
heat exchanger
Prior art date
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Pending
Application number
JP28811096A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Fujiwara
健治 藤原
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Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧縮機11によって圧縮したヘリウムガス
を、熱交換器12を通して冷却した後、ガスと油とを分
離する油分離器13を通して極低温冷凍機の本体90の
往路に送り込み、本体90の復路から出たヘリウムガス
を圧縮機11の吸入側に戻すヘリウム圧縮装置であっ
て、運転停止中に熱交換器12内部のヘリウムガス管路
22に油が溜まるのを防止して、再起動時に円滑に運転
を開始できるものを提供する。 【解決手段】 熱交換器12の下部に設けられたヘリウ
ムガス出口12bよりも油分離器13の上部に設けられ
たヘリウムガス入口13aを下方に配置する。
(57) Abstract: A helium gas compressed by a compressor 11 is cooled through a heat exchanger 12, and then is passed through an oil separator 13 that separates gas and oil from the main body 90 of the cryogenic refrigerator. A helium compression device that feeds in and returns the helium gas that has flowed out of the return path of the main body 90 to the suction side of the compressor 11, which prevents oil from accumulating in the helium gas pipeline 22 inside the heat exchanger 12 during operation stop. And a device that can start operation smoothly upon restart. SOLUTION: A helium gas inlet 13a provided at an upper part of an oil separator 13 is disposed below a helium gas outlet 12b provided at a lower part of the heat exchanger 12.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明はヘリウム圧縮装置
に関する。より詳しくは、極低温冷凍機の本体にヘリウ
ムガスを送り込むためのヘリウム圧縮装置に関する。
The present invention relates to a helium compression device. More specifically, the present invention relates to a helium compression device for sending helium gas into a cryogenic refrigerator.

【0002】[0002]

【従来の技術】極低温冷凍機は、図4に示すように、冷
凍機本体90にヘリウムガスを送り込むために、この冷
凍機本体90に往路配管127,復路配管128を介し
て接続されたヘリウム圧縮装置100を備えることが多
い。なお、118,119は継手を示している。圧縮機
111によって圧縮されたヘリウムガス(油や水分等を
含む)は、熱交換器112によって冷却され、ガスと油
とを分離する油分離器113、水分等を吸着する吸着器
114を順に通り、往路配管127を通して22kgf/cm
2程度で冷凍機本体90に送り込まれる。冷凍機本体9
0の内部で、ヘリウムガスは数段の等温圧縮および断熱
膨張によって降温される。その冷凍機本体90内部の復
路で往路のヘリウムガスと熱交換を行って昇温され、9
kgf/cm2になって復路配管128を通してヘリウム圧縮
装置100に戻される。そして、配管129,アキュム
レータ115,配管130を通して吸入側111bから
圧縮機111に入り、再び圧縮される。圧縮機111の
吐出側配管121は圧縮機111の上部に設けられた吐
出口111aを出た後、途中で下方へ下がって、熱交換
器112の上部に設けられたヘリウムガス入口112a
に接続されている。熱交換器112の下部に設けられた
ヘリウムガス出口112bと油分離器113の上部に設
けられたヘリウムガス入口113aとは配管123で水
平に接続されている。油分離器113のガス出口側配管
125はガス出口113bから一旦上方へ立ち上がり、
途中で屈曲して下方へ延び、吸着器114の下部に設け
られたガス入口114aに接続されている。吸着器11
4の上部に設けられたガス出口114bと継手118と
は配管126で水平に直結されている。このような配置
によって、運転時に圧縮機111から吐出された油は圧
縮機111の吐出側配管121、熱交換器112内部の
コイル状のヘリウムガス管路122、熱交換器112の
ヘリウムガス出口側配管123を通して油分離器113
に溜まり、油分離器113の下部に設けられた油出口1
13cからその下方に設けられたフィルタ116とオリ
フィス117とを介して油戻し用配管124を通して圧
縮機111の油戻り口111cに戻る。なお、圧縮機1
11、油分離器113、油戻し用配管124に存在する
油量の比は例えば6:3:1となるように一定の比率に
設定されている。このように油を使う主な理由は、ヘリ
ウムガスは単原子気体であって比熱比κ(定圧比熱cp
と定容比熱cvとの比(cp/cv))が大きいことか
ら、圧縮時の発熱が大きく、圧縮機111を冷却する必
要が大きいからである。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 4, a cryogenic refrigerator has a helium gas connected to the refrigerator main body 90 via a forward pipe 127 and a return pipe 128 in order to feed helium gas into the refrigerator main body 90. It often has a compression device 100. Note that reference numerals 118 and 119 indicate joints. The helium gas (including oil, moisture, etc.) compressed by the compressor 111 is cooled by the heat exchanger 112, and passes through an oil separator 113, which separates gas and oil, and an adsorber 114, which adsorbs moisture and the like. , 22kgf / cm through outgoing pipe 127
It is sent to the refrigerator main body 90 in about two . Refrigerator body 9
Inside zero, the helium gas is cooled by several stages of isothermal compression and adiabatic expansion. In the return path inside the refrigerator main body 90, the temperature is raised by performing heat exchange with the helium gas on the outward path,
It returns to kgf / cm 2 and returns to the helium compression device 100 through the return line 128. Then, the gas enters the compressor 111 from the suction side 111b through the pipe 129, the accumulator 115, and the pipe 130, and is compressed again. The discharge-side pipe 121 of the compressor 111 exits the discharge port 111a provided at the upper part of the compressor 111, and then falls downward on the way to the helium gas inlet 112a provided at the upper part of the heat exchanger 112.
It is connected to the. The helium gas outlet 112b provided at the lower part of the heat exchanger 112 and the helium gas inlet 113a provided at the upper part of the oil separator 113 are connected horizontally by a pipe 123. The gas outlet side pipe 125 of the oil separator 113 once rises upward from the gas outlet 113b,
It is bent in the middle and extends downward, and is connected to a gas inlet 114 a provided at a lower part of the adsorber 114. Adsorber 11
The gas outlet 114b provided at the upper part of the fourth and the joint 118 are directly connected horizontally by a pipe 126. With such an arrangement, the oil discharged from the compressor 111 during operation is discharged from the compressor 111 on the discharge side pipe 121, the coiled helium gas pipe 122 inside the heat exchanger 112, and the helium gas outlet side of the heat exchanger 112. Oil separator 113 through pipe 123
Oil outlet 1 provided in the lower part of the oil separator 113
From 13c, the oil returns to the oil return port 111c of the compressor 111 through an oil return pipe 124 through a filter 116 and an orifice 117 provided below the filter 13c. In addition, the compressor 1
The ratio of the amount of oil existing in the oil separator 11, the oil separator 113, and the oil return pipe 124 is set to a constant ratio, for example, 6: 3: 1. The main reason for using oil in this way is that helium gas is a monatomic gas and has a specific heat ratio κ (constant pressure specific heat c p
And since the ratio of the constant volume specific heat c v (c p / c v )) is large, the heat generation is large at the time of compression, because the compressor 111 is large must be cooled.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ヘリウム圧縮装置100は、長期にわたって運転を停止
する場合、特に冬場など周囲温度が低いときに、熱交換
器112内部のヘリウムガス管路122に油が溜まると
いう問題がある。このため、再起動時に油量のバランス
がとれず、動作不良を起こす可能性がある。
However, when the conventional helium compression device 100 is shut down for a long period of time, especially when the ambient temperature is low such as in winter, the helium gas line 122 inside the heat exchanger 112 is oiled. There is a problem that accumulates. For this reason, the oil amount may not be balanced at the time of restart, and an operation failure may occur.

【0004】そこで、この発明の目的は、運転停止中に
熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜まるのを防止
して、再起動時に円滑に運転を開始できるヘリウム圧縮
装置を提供することにある。また、この発明の目的は、
運転停止中に熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜
まったとしても、再起動時に円滑に運転を開始できるヘ
リウム圧縮装置を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a helium compression device capable of preventing oil from accumulating in a helium gas pipe inside a heat exchanger during operation stop and smoothly starting operation at restart. It is in. The object of the present invention is to
It is an object of the present invention to provide a helium compression device that can start operation smoothly upon restart even if oil is accumulated in a helium gas pipeline inside a heat exchanger during operation stop.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載のヘリウム圧縮装置は、圧縮機によ
って圧縮したヘリウムガスを、熱交換器を通して冷却し
た後、ガスと油とを分離する油分離器を通して極低温冷
凍機の本体の往路に送り込み、上記本体の復路から出た
ヘリウムガスを上記圧縮機の吸入側に戻すヘリウム圧縮
装置において、上記熱交換器の下部に設けられたヘリウ
ムガス出口よりも上記油分離器の上部に設けられたヘリ
ウムガス入口が下方に配置されていることを特徴とす
る。
In order to achieve the above object, a helium compression apparatus according to claim 1 separates gas and oil after cooling helium gas compressed by a compressor through a heat exchanger. In a helium compression device which feeds the helium gas flowing out of the return path of the main body of the cryogenic refrigerator to the outward path of the main body of the cryogenic refrigerator through the oil separator, The helium gas inlet provided above the oil separator is located below the gas outlet.

【0006】この請求項1のヘリウム圧縮装置では、熱
交換器の下部に設けられたヘリウムガス出口よりも上記
油分離器の上部に設けられたヘリウムガス入口が下方に
配置されているので、運転停止中に、熱交換器内部のヘ
リウムガス管路の油は重力によって熱交換器側から油分
離器へ移動する。したがって、長期にわたって運転を停
止する場合、特にそれが冬場など周囲温度が低いときで
あっても、熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜ま
るのが防止される。この結果、再起動時に円滑に運転を
開始でき、システム全体の信頼性が高まる。
In the helium compression device according to the first aspect, the helium gas inlet provided at the upper part of the oil separator is disposed below the helium gas outlet provided at the lower part of the heat exchanger. During shutdown, the oil in the helium gas line inside the heat exchanger moves from the heat exchanger side to the oil separator by gravity. Therefore, when the operation is stopped for a long period of time, especially when the ambient temperature is low such as in winter, the accumulation of oil in the helium gas pipeline inside the heat exchanger is prevented. As a result, the operation can be started smoothly at the time of restart, and the reliability of the entire system is improved.

【0007】請求項2に記載のヘリウム圧縮装置は、圧
縮機によって圧縮したヘリウムガスを、熱交換器を通し
て冷却した後、ガスと油とを分離する油分離器を通して
極低温冷凍機の本体の往路に送り込み、上記本体の復路
から出たヘリウムガスを上記圧縮機の吸入側に戻すヘリ
ウム圧縮装置において、上記熱交換器の下部に設けられ
たヘリウムガス出口よりも上記圧縮機に設けられた油戻
り口が下方に配置され、上記熱交換器の上記ヘリウムガ
ス出口と上記圧縮機の上記油戻り口との間に、弁が介挿
された油戻し用流路が設けられていることを特徴とす
る。
In the helium compression device according to the second aspect, after the helium gas compressed by the compressor is cooled through the heat exchanger, the helium gas passes through the oil separator that separates the gas and the oil, and the outward passage of the main body of the cryogenic refrigerator. In the helium compression device, which returns the helium gas that has flowed out of the return path of the main body to the suction side of the compressor, an oil return provided in the compressor from a helium gas outlet provided in a lower portion of the heat exchanger. A port is disposed below, and between the helium gas outlet of the heat exchanger and the oil return port of the compressor, an oil return channel in which a valve is inserted is provided. I do.

【0008】この請求項2のヘリウム圧縮装置では、運
転停止中に上記弁を開状態にしておくことによって、熱
交換器内部のヘリウムガス管路の油が重力によって熱交
換器側から油戻し用流路を通して圧縮機の油戻り口へ移
動する。したがって、長期にわたって運転を停止する場
合、特にそれが冬場など周囲温度が低いときであって
も、熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜まるのが
防止される。この結果、再起動時に円滑に運転を開始で
き、システム全体の信頼性が高まる。なお、上記弁は、
この装置の運転中は閉状態にされる。
In the helium compression device according to the second aspect of the invention, the valve in the helium gas line inside the heat exchanger is returned from the heat exchanger side by gravity due to gravity by keeping the valve open during operation stop. It moves to the oil return port of the compressor through the flow path. Therefore, when the operation is stopped for a long period of time, especially when the ambient temperature is low such as in winter, the accumulation of oil in the helium gas pipeline inside the heat exchanger is prevented. As a result, the operation can be started smoothly at the time of restart, and the reliability of the entire system is improved. The above valve is
During operation of the device, it is closed.

【0009】請求項3に記載のヘリウム圧縮装置は、請
求項2に記載のヘリウム圧縮装置において、上記圧縮機
の上記油戻り口は上記圧縮機の油溜めの上部に形成され
ていることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the helium compression apparatus according to the second aspect, the oil return port of the compressor is formed above an oil reservoir of the compressor. And

【0010】この請求項3のヘリウム圧縮装置では、上
記油戻り口は上記油溜めの上部に形成されているので、
運転停止中に上記熱交換器側から油戻し用流路を通して
戻った油が上記油戻り口から上記油溜め内に容易に入
る。したがって、再起動時に上記圧縮機が直ちに円滑に
運転される。
In the helium compression device according to the third aspect, the oil return port is formed above the oil reservoir.
During operation stoppage, the oil returned from the heat exchanger through the oil return passage easily enters the oil reservoir from the oil return port. Therefore, at the time of restart, the compressor operates immediately and smoothly.

【0011】請求項4に記載のヘリウム圧縮装置は、圧
縮機によって圧縮したヘリウムガスを、熱交換器を通し
て冷却した後、ガスと油とを分離する油分離器を通して
極低温冷凍機の本体の往路に送り込み、上記本体の復路
から出たヘリウムガスを上記圧縮機の吸入側に戻すヘリ
ウム圧縮装置において、上記熱交換器のヘリウムガス出
口と上記油分離器のヘリウムガス入口とをつなぐ主流路
に、この主流路を遮断して上記熱交換器のヘリウムガス
出口と上記圧縮機の油戻り口との間にバイパス流路を形
成することができる三方弁が介挿されていることを特徴
とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the helium compression device, the helium gas compressed by the compressor is cooled through a heat exchanger, and then is passed through an oil separator for separating gas and oil. In a helium compression device that returns helium gas that has flowed out of the return path of the main body to the suction side of the compressor, a main flow path that connects the helium gas outlet of the heat exchanger and the helium gas inlet of the oil separator, A three-way valve capable of forming a bypass flow path between the helium gas outlet of the heat exchanger and the oil return port of the compressor by interrupting the main flow path is interposed.

【0012】この請求項4のヘリウム圧縮装置では、運
転停止後再起動時に、一時的に(例えば数秒間だけ)、
上記三方弁が上記主流路を遮断して、上記熱交換器のヘ
リウムガス出口と上記圧縮機の油戻り口とつなぐバイパ
ス流路を形成するように切り替えられる。これにより、
たとえ運転停止中に上記熱交換器内部のヘリウムガス管
路に油が溜まっていたとしても、その油は圧縮機の動作
によってヘリウムガスとともに上記熱交換器側からバイ
パス流路を通して圧縮機側へ強制的に戻される。続い
て、上記三方弁が上記バイパス流路を遮断し、上記主流
路を開くように切り替えられ、本来の運転が開始され
る。このように再起動時に、圧縮機、熱交換器、油分離
器の高低差にかかわらず強制的に油を圧縮機の油溜めに
戻すので、運転停止中に熱交換器内部のヘリウムガス管
路に油が溜まったとしても、再起動時に円滑に運転が開
始される。この結果、システム全体の信頼性が高まる。
In the helium compression device according to the fourth aspect, when the operation is stopped and restarted, the helium compression device temporarily (for example, only for a few seconds)
The three-way valve is switched to shut off the main flow path and form a bypass flow path connecting the helium gas outlet of the heat exchanger and the oil return port of the compressor. This allows
Even if oil is accumulated in the helium gas line inside the heat exchanger during operation stop, the oil is forced by the operation of the compressor together with the helium gas from the heat exchanger side to the compressor side through the bypass flow path. Is returned. Subsequently, the three-way valve is switched to shut off the bypass flow path and open the main flow path, and the original operation is started. In this way, when restarting, the oil is forcibly returned to the oil sump of the compressor regardless of the height difference of the compressor, heat exchanger, and oil separator, so the helium gas pipeline inside the heat exchanger during operation stop Even if oil accumulates, the operation is started smoothly at restart. As a result, the reliability of the entire system increases.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を詳
細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail.

【0014】図1は第1実施形態のヘリウム圧縮装置1
0を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配
置を示している。このヘリウム圧縮装置10は、冷凍機
本体90にヘリウムガスを送り込むために、往路配管2
7,復路配管28を介して冷凍機本体90に接続されて
いる。なお、18,19は継手を示している。
FIG. 1 shows a helium compression device 1 according to a first embodiment.
1 shows a schematic arrangement of a cryogenic refrigerator with zeros when viewed from the side. The helium compression device 10 is provided with an outgoing pipe 2
7, connected to the refrigerator main body 90 via the return pipe 28. Reference numerals 18 and 19 indicate joints.

【0015】このヘリウム圧縮装置10は、図4に示し
た従来のヘリウム圧縮装置100と同様に、圧縮機11
と、熱交換器12と、ガスと油とを分離する油分離器1
3と、水分等を吸着する吸着器14とを備えている。圧
縮機11によって圧縮されたヘリウムガス(油や水分等
を含む)は、熱交換器12によって冷却され、油分離器
13、吸着器14を順に通り、往路配管27を通して2
2kgf/cm2程度で冷凍機本体90に送り込まれる。冷凍
機本体90の内部で、ヘリウムガスは数段の等温圧縮お
よび断熱膨張によって降温される。その冷凍機本体90
内部の復路で往路のヘリウムガスと熱交換を行って昇温
され、9kgf/cm2になって復路配管28を通してヘリウ
ム圧縮装置10に戻される。そして、配管29,アキュ
ムレータ15,配管30を通して吸入側11bから圧縮
機11に入り、再び圧縮される。
The helium compression device 10 is similar to the conventional helium compression device 100 shown in FIG.
, Heat exchanger 12, and oil separator 1 for separating gas and oil
3 and an adsorber 14 for adsorbing moisture and the like. The helium gas (including oil and moisture) compressed by the compressor 11 is cooled by the heat exchanger 12, passes through the oil separator 13 and the adsorber 14 in order, and passes through the outgoing pipe 27.
It is fed into the refrigerator main body 90 at about 2 kgf / cm 2 . Inside the refrigerator main body 90, the temperature of the helium gas is lowered by several stages of isothermal compression and adiabatic expansion. The refrigerator main body 90
The temperature is increased by performing heat exchange with the helium gas on the outward path in the internal return path, and is returned to the helium compression device 10 through the return pipe 28 at 9 kgf / cm 2 . Then, the air enters the compressor 11 from the suction side 11b through the pipe 29, the accumulator 15, and the pipe 30, and is compressed again.

【0016】このヘリウム圧縮装置10では、図4に示
した従来のヘリウム圧縮装置100に比して熱交換器1
2が上方に配置されている。この結果、圧縮機11の上
部に設けられた吐出口11aよりも熱交換器12の上部
に設けられたヘリウムガス入口12aが上方に配置され
ている。また、熱交換器12の下部に設けられたヘリウ
ムガス出口12bよりも油分離器13の上部に設けられ
たヘリウムガス入口13aが下方に配置されている。こ
れに伴って、圧縮機11の吐出側配管21は圧縮機11
の上部に設けられた吐出口11aを出た後、途中で上方
へ上がって、熱交換器12の上部に設けられたヘリウム
ガス入口12aに接続されている。熱交換器12のヘリ
ウムガス出口側配管23はヘリウムガス出口12bを出
た後、途中で下方へ下がって、油分離器13の上部に設
けられたヘリウムガス入口13aに接続されている。油
分離器13のガス出口側配管25はガス出口13bから
一旦上方へ立ち上がり、途中で屈曲して下方へ延び、吸
着器14の下部に設けられたガス入口14aに接続され
ている。吸着器14の上部に設けられたガス出口14b
と継手18とは配管26で水平に直結されている。
The helium compression device 10 has a heat exchanger 1 compared to the conventional helium compression device 100 shown in FIG.
2 are located above. As a result, the helium gas inlet 12a provided above the heat exchanger 12 is disposed above the discharge port 11a provided above the compressor 11. Further, a helium gas inlet 13a provided above the oil separator 13 is disposed below a helium gas outlet 12b provided below the heat exchanger 12. Accordingly, the discharge-side pipe 21 of the compressor 11 is
After leaving the discharge port 11a provided at the upper part of the heat exchanger 12, it rises on the way and is connected to the helium gas inlet 12a provided at the upper part of the heat exchanger 12. The helium gas outlet-side pipe 23 of the heat exchanger 12 exits the helium gas outlet 12b and then goes down on the way to be connected to the helium gas inlet 13a provided at the upper part of the oil separator 13. The gas outlet side pipe 25 of the oil separator 13 rises once from the gas outlet 13b, bends in the middle and extends downward, and is connected to a gas inlet 14a provided at a lower part of the adsorber 14. Gas outlet 14b provided above adsorber 14
And the joint 18 are directly connected horizontally by a pipe 26.

【0017】このような配置によって、運転時に圧縮機
11から吐出された油は圧縮機11の吐出側配管21、
熱交換器12内部のコイル状のヘリウムガス管路22、
熱交換器12のヘリウムガス出口側配管23を通して油
分離器13に溜まり、油分離器13の下部に設けられた
油出口13cからその下方に設けられたフィルタ16と
オリフィス17とを介して油戻し用配管24を通して圧
縮機11の油戻り口11cに戻る。
With such an arrangement, oil discharged from the compressor 11 during operation is discharged from the discharge-side pipe 21 of the compressor 11,
A coiled helium gas line 22 inside the heat exchanger 12,
The oil accumulates in the oil separator 13 through the helium gas outlet pipe 23 of the heat exchanger 12, and is returned from the oil outlet 13c provided at the lower part of the oil separator 13 via the filter 16 and the orifice 17 provided therebelow. To the oil return port 11c of the compressor 11 through the use pipe 24.

【0018】また、熱交換器12の下部に設けられたヘ
リウムガス出口12bよりも油分離器13の上部に設け
られたヘリウムガス入口13aが下方に配置されている
ので、運転停止中に、熱交換器12内部のヘリウムガス
管路22の油は重力によって配管23を通して熱交換器
12側から油分離器13へ移動する。したがって、長期
にわたって運転を停止する場合、特にそれが冬場など周
囲温度が低いときであっても、熱交換器12内部のヘリ
ウムガス管路22に油が溜まるのを防止できる。この結
果、再起動時に円滑に運転を開始でき、システム全体の
信頼性を高めることができる。
The helium gas inlet 13a provided above the oil separator 13 is located below the helium gas outlet 12b provided below the heat exchanger 12. Oil in the helium gas pipeline 22 inside the exchanger 12 moves from the heat exchanger 12 side to the oil separator 13 through the pipe 23 by gravity. Therefore, when the operation is stopped for a long period of time, especially when the ambient temperature is low such as in winter, it is possible to prevent the accumulation of oil in the helium gas pipeline 22 inside the heat exchanger 12. As a result, the operation can be started smoothly at the time of restart, and the reliability of the entire system can be improved.

【0019】図2は第2実施形態のヘリウム圧縮装置4
0を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配
置を示している。このヘリウム圧縮装置40は、冷凍機
本体90にヘリウムガスを送り込むために、往路配管2
7,復路配管28を介して冷凍機本体90に接続されて
いる。なお、図1中のものと同一の構成要素には同一の
符号を付して個々の説明を省略する。
FIG. 2 shows a helium compression device 4 according to a second embodiment.
1 shows a schematic arrangement of a cryogenic refrigerator with zeros when viewed from the side. The helium compression device 40 is provided with an outgoing pipe 2
7, connected to the refrigerator main body 90 via the return pipe 28. The same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

【0020】このヘリウム圧縮装置40では、上述の油
戻り口11cに加えて、圧縮機11の油溜め(圧縮機の
内部に設けられている)の上部に相当する位置に油戻り
口11dが形成されている。この油戻り口11dは、熱
交換器12の下部に設けられたヘリウムガス出口12b
よりも下方に配置され、油分離器13のガス入口13a
と同一高さレベルにある。また、熱交換器12のヘリウ
ムガス出口側配管23のうちヘリウムガス出口12b近
傍から鉛直下方へ延びる配管31が分岐している。この
鉛直配管31は、圧縮機11の油戻り口11dに接続さ
れて水平に延びる配管32と連結されている。これらの
鉛直配管31,水平配管32によって、熱交換器12の
ヘリウムガス出口12bと圧縮機11の油戻り口11d
との間に油戻し用流路が形成されている。水平配管32
にはこの油戻し用流路を開閉可能な電磁弁35が介挿さ
れている。なお、水平配管32の鉛直配管31側端部と
油分離器13のガス入口13aとは、電磁弁36が介挿
された水平配管33によって接続されている。
In the helium compression device 40, in addition to the oil return port 11c described above, an oil return port 11d is formed at a position corresponding to the upper part of the oil reservoir (provided inside the compressor) of the compressor 11. Have been. This oil return port 11d is provided with a helium gas outlet 12b provided at the lower part of the heat exchanger 12.
Lower than the gas inlet 13a of the oil separator 13.
At the same height level as. Further, a pipe 31 extending vertically downward from the vicinity of the helium gas outlet 12b in the helium gas outlet side pipe 23 of the heat exchanger 12 is branched. The vertical pipe 31 is connected to a pipe 32 that is connected to the oil return port 11d of the compressor 11 and extends horizontally. The helium gas outlet 12b of the heat exchanger 12 and the oil return port 11d of the compressor 11 are formed by the vertical pipe 31 and the horizontal pipe 32.
And an oil return flow path is formed between them. Horizontal piping 32
An electromagnetic valve 35 capable of opening and closing the oil return flow path is interposed in the valve. The end of the horizontal pipe 32 on the side of the vertical pipe 31 and the gas inlet 13a of the oil separator 13 are connected by a horizontal pipe 33 in which a solenoid valve 36 is inserted.

【0021】運転時には、電磁弁35,36は閉状態に
される。これにより、このヘリウム圧縮装置40は、図
1に示したヘリウム圧縮装置10と全く同様に動作す
る。すなわち、圧縮機11によって圧縮されたヘリウム
ガス(油や水分等を含む)は、熱交換器12によって冷
却され、油分離器13、吸着器14を順に通り、往路配
管27を通して冷凍機本体90に送り込まれ、復路配管
28を通してヘリウム圧縮装置10に戻される。そし
て、配管29,アキュムレータ15,配管30を通して
吸入側11bから圧縮機11に入り、再び圧縮される。
During operation, the solenoid valves 35 and 36 are closed. Thus, the helium compression device 40 operates in exactly the same manner as the helium compression device 10 shown in FIG. That is, the helium gas (including oil, moisture, and the like) compressed by the compressor 11 is cooled by the heat exchanger 12, passes through the oil separator 13 and the adsorber 14 in order, and passes through the outgoing pipe 27 to the refrigerator main body 90. It is sent and returned to the helium compression device 10 through the return line 28. Then, the air enters the compressor 11 from the suction side 11b through the pipe 29, the accumulator 15, and the pipe 30, and is compressed again.

【0022】運転停止時には、電磁弁35が開状態にさ
れる(電磁弁36については後述するが、通常は閉状態
とされる。)。熱交換器12内部のヘリウムガス管路2
2の油が重力によって熱交換器12側から鉛直配管3
1,水平配管32を通して圧縮機11側へ移動する。油
戻り口11dは圧縮機11の油溜めの上部に形成されて
いるので、戻った油が油戻り口11dから上記油溜め内
に容易に入る。したがって、長期にわたって運転を停止
する場合、特にそれが冬場など周囲温度が低いときであ
っても、熱交換器12内部のヘリウムガス管路22に油
が溜まるのを防止できる。この結果、再起動時に直ちに
円滑に運転を開始でき、システム全体の信頼性を高める
ことができる。
When the operation is stopped, the solenoid valve 35 is opened (the solenoid valve 36 will be described later, but is normally closed). Helium gas line 2 inside heat exchanger 12
The oil of No. 2 is moved from the heat exchanger 12 side by gravity to the vertical pipe 3
1. It moves to the compressor 11 side through the horizontal pipe 32. Since the oil return port 11d is formed above the oil reservoir of the compressor 11, the returned oil easily enters the oil reservoir through the oil return port 11d. Therefore, when the operation is stopped for a long period of time, especially when the ambient temperature is low such as in winter, it is possible to prevent the accumulation of oil in the helium gas pipeline 22 inside the heat exchanger 12. As a result, the operation can be started smoothly immediately upon restart, and the reliability of the entire system can be improved.

【0023】なお、運転停止時に電磁弁35とともに電
磁弁36を開状態に設定することによって、冷凍機本体
90を動作させない状態でヘリウムガスを油分離器13
から圧縮機11へ戻す経路を形成することができる。
By setting the solenoid valve 35 and the solenoid valve 36 to an open state when the operation is stopped, the helium gas is removed from the oil separator 13 while the refrigerator main body 90 is not operated.
A path for returning from the compressor to the compressor 11 can be formed.

【0024】図3は第3実施形態のヘリウム圧縮装置5
0を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配
置を示している。このヘリウム圧縮装置50は、冷凍機
本体90にヘリウムガスを送り込むために、往路配管2
7,復路配管28を介して冷凍機本体90に接続されて
いる。なお、図1中のものと同一の構成要素には同一の
符号を付して個々の説明を省略する。
FIG. 3 shows a helium compression device 5 according to a third embodiment.
1 shows a schematic arrangement of a cryogenic refrigerator with zeros when viewed from the side. The helium compression device 50 is provided with an outgoing pipe 2
7, connected to the refrigerator main body 90 via the return pipe 28. The same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

【0025】このヘリウム圧縮装置50では、熱交換器
12のヘリウムガス出口12bと油分離器13のヘリウ
ムガス入口13aとをつなぐ主流路をなす配管23に、
三方弁37が介挿されている。この三方弁37の3つの
ポートのうちの2つのポートは両側の配管23に接続さ
れている。三方弁37の残りの1つのポートと圧縮機1
1の油戻り口11dとの間に、バイパス流路をなす配管
34が設けられている。なお、油戻り口11dは、圧縮
機11の油溜め(圧縮機の内部に設けられている)の上
部に相当する位置に形成されている。
In the helium compression device 50, a pipe 23 forming a main flow path connecting the helium gas outlet 12 b of the heat exchanger 12 and the helium gas inlet 13 a of the oil separator 13 is
A three-way valve 37 is inserted. Two of the three ports of the three-way valve 37 are connected to the pipes 23 on both sides. The remaining one port of the three-way valve 37 and the compressor 1
A pipe 34 forming a bypass flow path is provided between the first oil return port 11d. Note that the oil return port 11d is formed at a position corresponding to an upper portion of an oil reservoir (provided inside the compressor) of the compressor 11.

【0026】運転時には、三方弁37は配管23を開い
て主流路を流通可能にする一方、配管34側のポートを
閉じる切替位置に設定される。これにより、このヘリウ
ム圧縮装置40は、図1に示したヘリウム圧縮装置10
と全く同様に動作する。すなわち、圧縮機11によって
圧縮されたヘリウムガス(油や水分等を含む)は、熱交
換器12によって冷却され、油分離器13、吸着器14
を順に通り、往路配管27を通して冷凍機本体90に送
り込まれ、復路配管28を通してヘリウム圧縮装置10
に戻される。そして、配管29,アキュムレータ15,
配管30を通して吸入側11bから圧縮機11に入り、
再び圧縮される。
During operation, the three-way valve 37 is set to a switching position in which the pipe 23 is opened to allow the main flow path to flow, and the port on the pipe 34 side is closed. Thereby, the helium compression device 40 is connected to the helium compression device 10 shown in FIG.
Works exactly the same as That is, the helium gas (including oil, moisture, and the like) compressed by the compressor 11 is cooled by the heat exchanger 12, and is cooled by the oil separator 13 and the adsorber 14.
Through the outgoing pipe 27 to the refrigerator main body 90, and the helium compression device 10 through the return pipe 28.
Is returned to. And the pipe 29, the accumulator 15,
It enters the compressor 11 from the suction side 11b through the pipe 30,
It is compressed again.

【0027】運転停止時にも、三方弁37は配管23を
開いて主流路を流通可能にする一方、配管34側のポー
トを閉じる切替位置に設定される。
When the operation is stopped, the three-way valve 37 is set to the switching position in which the pipe 23 is opened to allow the main flow path to flow, and the port on the pipe 34 side is closed.

【0028】そして、運転停止後再起動時に、一時的に
(例えば数秒間だけ)、三方弁37が配管23の下流側
のポートを遮断して、配管23の上流側と配管34とを
流通させる切替位置に設定される。これにより、一時的
に、熱交換器12のヘリウムガス出口12bと圧縮機1
1の油戻り口11dとの間にバイパス流路が形成され
る。このようにした場合、たとえ運転停止中に熱交換器
12内部のヘリウムガス管路22に油が溜まっていたと
しても、その油は圧縮機11の動作によってヘリウムガ
スとともに熱交換器12側からバイパス流路、具体的に
は配管23のうち三方弁37よりも上流側の部分と配管
34とを通して、圧縮機11側へ強制的に戻される。続
いて、三方弁37は配管23を開いて主流路を流通可能
にする一方、配管34側のポートを閉じる切替位置に設
定される。これにより、本来の運転が開始される。
At the time of restart after the operation is stopped, the three-way valve 37 shuts off the port on the downstream side of the pipe 23 temporarily (for example, only for a few seconds) to allow the upstream side of the pipe 23 to flow through the pipe 34. The switching position is set. As a result, the helium gas outlet 12b of the heat exchanger 12 is temporarily connected to the compressor 1
A bypass flow passage is formed between the first oil return port 11d. In this case, even if oil is accumulated in the helium gas pipeline 22 inside the heat exchanger 12 during the stop of operation, the oil is bypassed from the heat exchanger 12 side together with the helium gas by the operation of the compressor 11. The gas is forcibly returned to the compressor 11 through the flow path, specifically, a part of the pipe 23 upstream of the three-way valve 37 and the pipe 34. Subsequently, the three-way valve 37 is set to a switching position where the pipe 23 is opened to allow the main flow path to flow, and the port on the pipe 34 side is closed. Thereby, the original operation is started.

【0029】このように再起動時に、圧縮機11、熱交
換器12、油分離器13の高低差にかかわらず強制的に
油を圧縮機11の油溜めに戻すので、運転停止中に熱交
換器12内部のヘリウムガス管路22に油が溜まったと
しても、再起動時に円滑に運転を開始することができ
る。この結果、システム全体の信頼性を高めることがで
きる。
As described above, when the compressor is restarted, the oil is forcibly returned to the oil sump of the compressor 11 regardless of the height difference between the compressor 11, the heat exchanger 12, and the oil separator 13. Even if oil is accumulated in the helium gas pipeline 22 inside the vessel 12, the operation can be started smoothly at the time of restart. As a result, the reliability of the entire system can be improved.

【0030】なお、このヘリウムガス圧縮装置50で
は、図1に示したヘリウムガス圧縮装置10と同様に、
熱交換器12の下部に設けられたヘリウムガス出口12
bよりも油分離器13の上部に設けられたヘリウムガス
入口13aが下方に配置されているので、運転停止中
に、熱交換器12内部のヘリウムガス管路22の油は重
力によって配管23を通して熱交換器12側から油分離
器13へ移動する。したがって、システム全体の信頼性
をさらに高めることができる。
In the helium gas compression device 50, like the helium gas compression device 10 shown in FIG.
Helium gas outlet 12 provided below heat exchanger 12
Since the helium gas inlet 13a provided above the oil separator 13 is disposed below the b, the oil in the helium gas pipe 22 inside the heat exchanger 12 passes through the pipe 23 by gravity during operation stop. It moves to the oil separator 13 from the heat exchanger 12 side. Therefore, the reliability of the entire system can be further improved.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項1のヘ
リウム圧縮装置では、熱交換器の下部に設けられたヘリ
ウムガス出口よりも上記油分離器の上部に設けられたヘ
リウムガス入口が下方に配置されているので、運転停止
中に、熱交換器内部のヘリウムガス管路の油は重力によ
って熱交換器側から油分離器へ移動する。したがって、
長期にわたって運転を停止する場合、特にそれが冬場な
ど周囲温度が低いときであっても、熱交換器内部のヘリ
ウムガス管路に油が溜まるのを防止できる。この結果、
再起動時に円滑に運転を開始でき、システム全体の信頼
性を高めることができる。
As is clear from the above, in the helium compression device according to the first aspect, the helium gas inlet provided at the upper part of the oil separator is lower than the helium gas outlet provided at the lower part of the heat exchanger. During operation shutdown, oil in the helium gas pipeline inside the heat exchanger moves from the heat exchanger side to the oil separator by gravity. Therefore,
When the operation is stopped for a long period of time, especially when the ambient temperature is low such as in winter, it is possible to prevent the accumulation of oil in the helium gas pipeline inside the heat exchanger. As a result,
The operation can be started smoothly at the time of restart, and the reliability of the entire system can be improved.

【0032】請求項2に記載のヘリウム圧縮装置は、熱
交換器の下部に設けられたヘリウムガス出口よりも圧縮
機に設けられた油戻り口が下方に配置され、上記熱交換
器の上記ヘリウムガス出口と上記圧縮機の上記油戻り口
との間に、弁が介挿された油戻し用流路が設けられてい
るので、運転停止中に上記弁を開状態にしておくことに
よって、熱交換器内部のヘリウムガス管路の油が重力に
よって熱交換器側から油戻し用流路を通して圧縮機の油
戻り口へ移動する。したがって、長期にわたって運転を
停止する場合、特にそれが冬場など周囲温度が低いとき
であっても、熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜
まるのを防止できる。この結果、再起動時に円滑に運転
を開始でき、システム全体の信頼性を高めることができ
る。
[0032] In the helium compression device according to the second aspect, the oil return port provided in the compressor is disposed below the helium gas outlet provided in the lower part of the heat exchanger, and the helium of the heat exchanger is provided. Since an oil return flow path in which a valve is interposed is provided between the gas outlet and the oil return port of the compressor, the valve is kept open during operation stop, so The oil in the helium gas pipeline inside the exchanger moves from the heat exchanger side to the oil return port of the compressor through the oil return channel due to gravity. Therefore, when the operation is stopped for a long period of time, especially when the ambient temperature is low such as in winter, it is possible to prevent the accumulation of oil in the helium gas pipeline inside the heat exchanger. As a result, the operation can be started smoothly at the time of restart, and the reliability of the entire system can be improved.

【0033】請求項3に記載のヘリウム圧縮装置では、
上記圧縮機の上記油戻り口は上記圧縮機の油溜めの上部
に形成されているので、運転停止中に上記熱交換器側か
ら油戻し用流路を通して戻った油が上記油戻り口から上
記油溜め内に容易に入る。したがって、再起動時に上記
圧縮機が直ちに円滑に運転される。
In the helium compression device according to the third aspect,
Since the oil return port of the compressor is formed above the oil sump of the compressor, the oil returned from the heat exchanger side through the oil return flow path during the operation stop is discharged from the oil return port through the oil return port. Easily enters the sump. Therefore, at the time of restart, the compressor operates immediately and smoothly.

【0034】請求項4に記載のヘリウム圧縮装置は、熱
交換器のヘリウムガス出口と油分離器のヘリウムガス入
口とをつなぐ主流路に、この主流路を遮断して上記熱交
換器のヘリウムガス出口と上記圧縮機の油戻り口との間
にバイパス流路を形成することができる三方弁が介挿さ
れているので、運転停止後再起動時に、一時的に(例え
ば数秒間だけ)、上記三方弁を上記主流路を遮断して、
上記熱交換器のヘリウムガス出口と上記圧縮機の油戻り
口とつなぐバイパス流路を形成するように切り替えるこ
とによって、圧縮機、熱交換器、油分離器の高低差にか
かわらず強制的に油を圧縮機の油溜めに戻すことができ
る。したがって、運転停止中に熱交換器内部のヘリウム
ガス管路に油が溜まったとしても、再起動時に円滑に運
転を開始できる。この結果、システム全体の信頼性を高
めることができる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the helium compression device, a helium gas outlet of the heat exchanger is connected to a helium gas inlet of the oil separator, and the helium gas outlet of the heat exchanger is cut off. Since a three-way valve capable of forming a bypass flow path is interposed between the outlet and the oil return port of the compressor, when the operation is stopped and restarted, the three-way valve is temporarily (for example, only several seconds). Shut off the main flow path with a three-way valve,
By switching so as to form a bypass flow path connecting the helium gas outlet of the heat exchanger and the oil return port of the compressor, the oil is forcibly applied regardless of the height difference between the compressor, the heat exchanger, and the oil separator. Can be returned to the compressor sump. Therefore, even if oil accumulates in the helium gas pipeline inside the heat exchanger during operation stop, operation can be started smoothly at restart. As a result, the reliability of the entire system can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の第1実施形態のヘリウム圧縮装置
を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配置
を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic arrangement of a cryogenic refrigerator including a helium compression device according to a first embodiment of the present invention when viewed from a side.

【図2】 この発明の第2実施形態のヘリウム圧縮装置
を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配置
を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a schematic arrangement of a cryogenic refrigerator including a helium compression device according to a second embodiment of the present invention when viewed from the side.

【図3】 この発明の第3実施形態のヘリウム圧縮装置
を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配置
を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a schematic arrangement of a cryogenic refrigerator including a helium compression device according to a third embodiment of the present invention when viewed from the side.

【図4】 従来のヘリウム圧縮装置を備えた極低温冷凍
機を側方から見たときの概略的配置を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a schematic arrangement of a cryogenic refrigerator equipped with a conventional helium compression device when viewed from the side.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 圧縮機 12 熱交換器 13 油分離器 10,40,50 ヘリウム圧縮装置 90 冷凍機本体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Compressor 12 Heat exchanger 13 Oil separator 10, 40, 50 Helium compressor 90 Refrigerator main body

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧縮機(11)によって圧縮したヘリウ
ムガスを、熱交換器(12)を通して冷却した後、ガス
と油とを分離する油分離器(13)を通して極低温冷凍
機の本体(90)の往路に送り込み、上記本体(90)
の復路から出たヘリウムガスを上記圧縮機(11)の吸
入側に戻すヘリウム圧縮装置において、 上記熱交換器(12)の下部に設けられたヘリウムガス
出口(12b)よりも上記油分離器(13)の上部に設
けられたヘリウムガス入口(13a)が下方に配置され
ていることを特徴とするヘリウム圧縮装置。
The helium gas compressed by a compressor (11) is cooled through a heat exchanger (12) and then passed through an oil separator (13) for separating gas and oil. ) And sent to the main body (90)
In the helium compression device for returning the helium gas flowing out of the return path to the suction side of the compressor (11), the helium gas outlet (12b) provided at the lower part of the heat exchanger (12) is connected to the oil separator ( A helium compression device, characterized in that a helium gas inlet (13a) provided at the upper part of (13) is arranged below.
【請求項2】 圧縮機(11)によって圧縮したヘリウ
ムガスを、熱交換器(12)を通して冷却した後、ガス
と油とを分離する油分離器(13)を通して極低温冷凍
機の本体(90)の往路に送り込み、上記本体(90)
の復路から出たヘリウムガスを上記圧縮機(11)の吸
入側に戻すヘリウム圧縮装置において、 上記熱交換器(12)の下部に設けられたヘリウムガス
出口(12b)よりも上記圧縮機(11)に設けられた
油戻り口(11d)が下方に配置され、 上記熱交換器(12)の上記ヘリウムガス出口(12
b)と上記圧縮機(11)の上記油戻り口(11d)と
の間に、弁(35)が介挿された油戻し用流路(31,
32)が設けられていることを特徴とするヘリウム圧縮
装置。
2. The helium gas compressed by the compressor (11) is cooled through a heat exchanger (12) and then passed through an oil separator (13) for separating gas and oil. ) And sent to the main body (90)
In the helium compression device for returning the helium gas flowing out of the return path to the suction side of the compressor (11), the helium gas outlet (12b) provided at the lower part of the heat exchanger (12) is connected to the compressor (11). ) Is provided below, and the helium gas outlet (12) of the heat exchanger (12) is disposed below the oil return port (11d).
b) and the oil return port (11d) of the compressor (11), the oil return flow path (31,
32) A helium compression device characterized by comprising:
【請求項3】 請求項2に記載のヘリウム圧縮装置にお
いて、 上記圧縮機(11)の上記油戻り口(11d)は上記圧
縮機(11)の油溜めの上部に形成されていることを特
徴とするヘリウム圧縮装置。
3. The helium compression device according to claim 2, wherein the oil return port (11d) of the compressor (11) is formed above an oil reservoir of the compressor (11). Helium compression device.
【請求項4】 圧縮機(11)によって圧縮したヘリウ
ムガスを、熱交換器(12)を通して冷却した後、ガス
と油とを分離する油分離器(13)を通して極低温冷凍
機の本体(90)の往路に送り込み、上記本体(90)
の復路から出たヘリウムガスを上記圧縮機(11)の吸
入側に戻すヘリウム圧縮装置において、上記熱交換器
(12)のヘリウムガス出口(12b)と上記油分離器
(13)のヘリウムガス入口(13a)とをつなぐ主流
路(23)に、この主流路(23)を遮断して上記熱交
換器(12)のヘリウムガス出口(12b)と上記圧縮
機(11)の油戻り口(11d)との間にバイパス流路
を形成することができる三方弁(37)が介挿されてい
ることを特徴とするヘリウム圧縮装置。
4. The helium gas compressed by the compressor (11) is cooled through a heat exchanger (12) and then passed through an oil separator (13) for separating gas and oil. ) And sent to the main body (90)
A helium gas outlet (12b) of the heat exchanger (12) and a helium gas inlet of the oil separator (13) in the helium compression device for returning the helium gas discharged from the return path to the suction side of the compressor (11). (13a), the main flow path (23) is cut off and the helium gas outlet (12b) of the heat exchanger (12) and the oil return port (11d) of the compressor (11) are cut off. ), Wherein a three-way valve (37) capable of forming a bypass flow path is interposed therebetween.
JP28811096A 1996-10-30 1996-10-30 Helium compression device Pending JPH10132402A (en)

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