JPH10132402A - ヘリウム圧縮装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧縮機１１によって圧縮したヘリウムガス
を、熱交換器１２を通して冷却した後、ガスと油とを分
離する油分離器１３を通して極低温冷凍機の本体９０の
往路に送り込み、本体９０の復路から出たヘリウムガス
を圧縮機１１の吸入側に戻すヘリウム圧縮装置であっ
て、運転停止中に熱交換器１２内部のヘリウムガス管路
２２に油が溜まるのを防止して、再起動時に円滑に運転
を開始できるものを提供する。 【解決手段】 熱交換器１２の下部に設けられたヘリウ
ムガス出口１２ｂよりも油分離器１３の上部に設けられ
たヘリウムガス入口１３ａを下方に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はヘリウム圧縮装置
に関する。より詳しくは、極低温冷凍機の本体にヘリウ
ムガスを送り込むためのヘリウム圧縮装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】極低温冷凍機は、図４に示すように、冷
凍機本体９０にヘリウムガスを送り込むために、この冷
凍機本体９０に往路配管１２７，復路配管１２８を介し
て接続されたヘリウム圧縮装置１００を備えることが多
い。なお、１１８，１１９は継手を示している。圧縮機
１１１によって圧縮されたヘリウムガス（油や水分等を
含む）は、熱交換器１１２によって冷却され、ガスと油
とを分離する油分離器１１３、水分等を吸着する吸着器
１１４を順に通り、往路配管１２７を通して２２kgf/cm
²程度で冷凍機本体９０に送り込まれる。冷凍機本体９
０の内部で、ヘリウムガスは数段の等温圧縮および断熱
膨張によって降温される。その冷凍機本体９０内部の復
路で往路のヘリウムガスと熱交換を行って昇温され、９
kgf/cm²になって復路配管１２８を通してヘリウム圧縮
装置１００に戻される。そして、配管１２９，アキュム
レータ１１５，配管１３０を通して吸入側１１１ｂから
圧縮機１１１に入り、再び圧縮される。圧縮機１１１の
吐出側配管１２１は圧縮機１１１の上部に設けられた吐
出口１１１ａを出た後、途中で下方へ下がって、熱交換
器１１２の上部に設けられたヘリウムガス入口１１２ａ
に接続されている。熱交換器１１２の下部に設けられた
ヘリウムガス出口１１２ｂと油分離器１１３の上部に設
けられたヘリウムガス入口１１３ａとは配管１２３で水
平に接続されている。油分離器１１３のガス出口側配管
１２５はガス出口１１３ｂから一旦上方へ立ち上がり、
途中で屈曲して下方へ延び、吸着器１１４の下部に設け
られたガス入口１１４ａに接続されている。吸着器１１
４の上部に設けられたガス出口１１４ｂと継手１１８と
は配管１２６で水平に直結されている。このような配置
によって、運転時に圧縮機１１１から吐出された油は圧
縮機１１１の吐出側配管１２１、熱交換器１１２内部の
コイル状のヘリウムガス管路１２２、熱交換器１１２の
ヘリウムガス出口側配管１２３を通して油分離器１１３
に溜まり、油分離器１１３の下部に設けられた油出口１
１３ｃからその下方に設けられたフィルタ１１６とオリ
フィス１１７とを介して油戻し用配管１２４を通して圧
縮機１１１の油戻り口１１１ｃに戻る。なお、圧縮機１
１１、油分離器１１３、油戻し用配管１２４に存在する
油量の比は例えば６：３：１となるように一定の比率に
設定されている。このように油を使う主な理由は、ヘリ
ウムガスは単原子気体であって比熱比κ（定圧比熱ｃ_p
と定容比熱ｃ_vとの比（ｃ_p／ｃ_v））が大きいことか
ら、圧縮時の発熱が大きく、圧縮機１１１を冷却する必
要が大きいからである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ヘリウム圧縮装置１００は、長期にわたって運転を停止
する場合、特に冬場など周囲温度が低いときに、熱交換
器１１２内部のヘリウムガス管路１２２に油が溜まると
いう問題がある。このため、再起動時に油量のバランス
がとれず、動作不良を起こす可能性がある。

【０００４】そこで、この発明の目的は、運転停止中に
熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜まるのを防止
して、再起動時に円滑に運転を開始できるヘリウム圧縮
装置を提供することにある。また、この発明の目的は、
運転停止中に熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜
まったとしても、再起動時に円滑に運転を開始できるヘ
リウム圧縮装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載のヘリウム圧縮装置は、圧縮機によ
って圧縮したヘリウムガスを、熱交換器を通して冷却し
た後、ガスと油とを分離する油分離器を通して極低温冷
凍機の本体の往路に送り込み、上記本体の復路から出た
ヘリウムガスを上記圧縮機の吸入側に戻すヘリウム圧縮
装置において、上記熱交換器の下部に設けられたヘリウ
ムガス出口よりも上記油分離器の上部に設けられたヘリ
ウムガス入口が下方に配置されていることを特徴とす
る。

【０００６】この請求項１のヘリウム圧縮装置では、熱
交換器の下部に設けられたヘリウムガス出口よりも上記
油分離器の上部に設けられたヘリウムガス入口が下方に
配置されているので、運転停止中に、熱交換器内部のヘ
リウムガス管路の油は重力によって熱交換器側から油分
離器へ移動する。したがって、長期にわたって運転を停
止する場合、特にそれが冬場など周囲温度が低いときで
あっても、熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜ま
るのが防止される。この結果、再起動時に円滑に運転を
開始でき、システム全体の信頼性が高まる。

【０００７】請求項２に記載のヘリウム圧縮装置は、圧
縮機によって圧縮したヘリウムガスを、熱交換器を通し
て冷却した後、ガスと油とを分離する油分離器を通して
極低温冷凍機の本体の往路に送り込み、上記本体の復路
から出たヘリウムガスを上記圧縮機の吸入側に戻すヘリ
ウム圧縮装置において、上記熱交換器の下部に設けられ
たヘリウムガス出口よりも上記圧縮機に設けられた油戻
り口が下方に配置され、上記熱交換器の上記ヘリウムガ
ス出口と上記圧縮機の上記油戻り口との間に、弁が介挿
された油戻し用流路が設けられていることを特徴とす
る。

【０００８】この請求項２のヘリウム圧縮装置では、運
転停止中に上記弁を開状態にしておくことによって、熱
交換器内部のヘリウムガス管路の油が重力によって熱交
換器側から油戻し用流路を通して圧縮機の油戻り口へ移
動する。したがって、長期にわたって運転を停止する場
合、特にそれが冬場など周囲温度が低いときであって
も、熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜まるのが
防止される。この結果、再起動時に円滑に運転を開始で
き、システム全体の信頼性が高まる。なお、上記弁は、
この装置の運転中は閉状態にされる。

【０００９】請求項３に記載のヘリウム圧縮装置は、請
求項２に記載のヘリウム圧縮装置において、上記圧縮機
の上記油戻り口は上記圧縮機の油溜めの上部に形成され
ていることを特徴とする。

【００１０】この請求項３のヘリウム圧縮装置では、上
記油戻り口は上記油溜めの上部に形成されているので、
運転停止中に上記熱交換器側から油戻し用流路を通して
戻った油が上記油戻り口から上記油溜め内に容易に入
る。したがって、再起動時に上記圧縮機が直ちに円滑に
運転される。

【００１１】請求項４に記載のヘリウム圧縮装置は、圧
縮機によって圧縮したヘリウムガスを、熱交換器を通し
て冷却した後、ガスと油とを分離する油分離器を通して
極低温冷凍機の本体の往路に送り込み、上記本体の復路
から出たヘリウムガスを上記圧縮機の吸入側に戻すヘリ
ウム圧縮装置において、上記熱交換器のヘリウムガス出
口と上記油分離器のヘリウムガス入口とをつなぐ主流路
に、この主流路を遮断して上記熱交換器のヘリウムガス
出口と上記圧縮機の油戻り口との間にバイパス流路を形
成することができる三方弁が介挿されていることを特徴
とする。

【００１２】この請求項４のヘリウム圧縮装置では、運
転停止後再起動時に、一時的に（例えば数秒間だけ）、
上記三方弁が上記主流路を遮断して、上記熱交換器のヘ
リウムガス出口と上記圧縮機の油戻り口とつなぐバイパ
ス流路を形成するように切り替えられる。これにより、
たとえ運転停止中に上記熱交換器内部のヘリウムガス管
路に油が溜まっていたとしても、その油は圧縮機の動作
によってヘリウムガスとともに上記熱交換器側からバイ
パス流路を通して圧縮機側へ強制的に戻される。続い
て、上記三方弁が上記バイパス流路を遮断し、上記主流
路を開くように切り替えられ、本来の運転が開始され
る。このように再起動時に、圧縮機、熱交換器、油分離
器の高低差にかかわらず強制的に油を圧縮機の油溜めに
戻すので、運転停止中に熱交換器内部のヘリウムガス管
路に油が溜まったとしても、再起動時に円滑に運転が開
始される。この結果、システム全体の信頼性が高まる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を詳
細に説明する。

【００１４】図１は第１実施形態のヘリウム圧縮装置１
０を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配
置を示している。このヘリウム圧縮装置１０は、冷凍機
本体９０にヘリウムガスを送り込むために、往路配管２
７，復路配管２８を介して冷凍機本体９０に接続されて
いる。なお、１８，１９は継手を示している。

【００１５】このヘリウム圧縮装置１０は、図４に示し
た従来のヘリウム圧縮装置１００と同様に、圧縮機１１
と、熱交換器１２と、ガスと油とを分離する油分離器１
３と、水分等を吸着する吸着器１４とを備えている。圧
縮機１１によって圧縮されたヘリウムガス（油や水分等
を含む）は、熱交換器１２によって冷却され、油分離器
１３、吸着器１４を順に通り、往路配管２７を通して２
２kgf/cm²程度で冷凍機本体９０に送り込まれる。冷凍
機本体９０の内部で、ヘリウムガスは数段の等温圧縮お
よび断熱膨張によって降温される。その冷凍機本体９０
内部の復路で往路のヘリウムガスと熱交換を行って昇温
され、９kgf/cm²になって復路配管２８を通してヘリウ
ム圧縮装置１０に戻される。そして、配管２９，アキュ
ムレータ１５，配管３０を通して吸入側１１ｂから圧縮
機１１に入り、再び圧縮される。

【００１６】このヘリウム圧縮装置１０では、図４に示
した従来のヘリウム圧縮装置１００に比して熱交換器１
２が上方に配置されている。この結果、圧縮機１１の上
部に設けられた吐出口１１ａよりも熱交換器１２の上部
に設けられたヘリウムガス入口１２ａが上方に配置され
ている。また、熱交換器１２の下部に設けられたヘリウ
ムガス出口１２ｂよりも油分離器１３の上部に設けられ
たヘリウムガス入口１３ａが下方に配置されている。こ
れに伴って、圧縮機１１の吐出側配管２１は圧縮機１１
の上部に設けられた吐出口１１ａを出た後、途中で上方
へ上がって、熱交換器１２の上部に設けられたヘリウム
ガス入口１２ａに接続されている。熱交換器１２のヘリ
ウムガス出口側配管２３はヘリウムガス出口１２ｂを出
た後、途中で下方へ下がって、油分離器１３の上部に設
けられたヘリウムガス入口１３ａに接続されている。油
分離器１３のガス出口側配管２５はガス出口１３ｂから
一旦上方へ立ち上がり、途中で屈曲して下方へ延び、吸
着器１４の下部に設けられたガス入口１４ａに接続され
ている。吸着器１４の上部に設けられたガス出口１４ｂ
と継手１８とは配管２６で水平に直結されている。

【００１７】このような配置によって、運転時に圧縮機
１１から吐出された油は圧縮機１１の吐出側配管２１、
熱交換器１２内部のコイル状のヘリウムガス管路２２、
熱交換器１２のヘリウムガス出口側配管２３を通して油
分離器１３に溜まり、油分離器１３の下部に設けられた
油出口１３ｃからその下方に設けられたフィルタ１６と
オリフィス１７とを介して油戻し用配管２４を通して圧
縮機１１の油戻り口１１ｃに戻る。

【００１８】また、熱交換器１２の下部に設けられたヘ
リウムガス出口１２ｂよりも油分離器１３の上部に設け
られたヘリウムガス入口１３ａが下方に配置されている
ので、運転停止中に、熱交換器１２内部のヘリウムガス
管路２２の油は重力によって配管２３を通して熱交換器
１２側から油分離器１３へ移動する。したがって、長期
にわたって運転を停止する場合、特にそれが冬場など周
囲温度が低いときであっても、熱交換器１２内部のヘリ
ウムガス管路２２に油が溜まるのを防止できる。この結
果、再起動時に円滑に運転を開始でき、システム全体の
信頼性を高めることができる。

【００１９】図２は第２実施形態のヘリウム圧縮装置４
０を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配
置を示している。このヘリウム圧縮装置４０は、冷凍機
本体９０にヘリウムガスを送り込むために、往路配管２
７，復路配管２８を介して冷凍機本体９０に接続されて
いる。なお、図１中のものと同一の構成要素には同一の
符号を付して個々の説明を省略する。

【００２０】このヘリウム圧縮装置４０では、上述の油
戻り口１１ｃに加えて、圧縮機１１の油溜め（圧縮機の
内部に設けられている）の上部に相当する位置に油戻り
口１１ｄが形成されている。この油戻り口１１ｄは、熱
交換器１２の下部に設けられたヘリウムガス出口１２ｂ
よりも下方に配置され、油分離器１３のガス入口１３ａ
と同一高さレベルにある。また、熱交換器１２のヘリウ
ムガス出口側配管２３のうちヘリウムガス出口１２ｂ近
傍から鉛直下方へ延びる配管３１が分岐している。この
鉛直配管３１は、圧縮機１１の油戻り口１１ｄに接続さ
れて水平に延びる配管３２と連結されている。これらの
鉛直配管３１，水平配管３２によって、熱交換器１２の
ヘリウムガス出口１２ｂと圧縮機１１の油戻り口１１ｄ
との間に油戻し用流路が形成されている。水平配管３２
にはこの油戻し用流路を開閉可能な電磁弁３５が介挿さ
れている。なお、水平配管３２の鉛直配管３１側端部と
油分離器１３のガス入口１３ａとは、電磁弁３６が介挿
された水平配管３３によって接続されている。

【００２１】運転時には、電磁弁３５，３６は閉状態に
される。これにより、このヘリウム圧縮装置４０は、図
１に示したヘリウム圧縮装置１０と全く同様に動作す
る。すなわち、圧縮機１１によって圧縮されたヘリウム
ガス（油や水分等を含む）は、熱交換器１２によって冷
却され、油分離器１３、吸着器１４を順に通り、往路配
管２７を通して冷凍機本体９０に送り込まれ、復路配管
２８を通してヘリウム圧縮装置１０に戻される。そし
て、配管２９，アキュムレータ１５，配管３０を通して
吸入側１１ｂから圧縮機１１に入り、再び圧縮される。

【００２２】運転停止時には、電磁弁３５が開状態にさ
れる（電磁弁３６については後述するが、通常は閉状態
とされる。）。熱交換器１２内部のヘリウムガス管路２
２の油が重力によって熱交換器１２側から鉛直配管３
１，水平配管３２を通して圧縮機１１側へ移動する。油
戻り口１１ｄは圧縮機１１の油溜めの上部に形成されて
いるので、戻った油が油戻り口１１ｄから上記油溜め内
に容易に入る。したがって、長期にわたって運転を停止
する場合、特にそれが冬場など周囲温度が低いときであ
っても、熱交換器１２内部のヘリウムガス管路２２に油
が溜まるのを防止できる。この結果、再起動時に直ちに
円滑に運転を開始でき、システム全体の信頼性を高める
ことができる。

【００２３】なお、運転停止時に電磁弁３５とともに電
磁弁３６を開状態に設定することによって、冷凍機本体
９０を動作させない状態でヘリウムガスを油分離器１３
から圧縮機１１へ戻す経路を形成することができる。

【００２４】図３は第３実施形態のヘリウム圧縮装置５
０を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配
置を示している。このヘリウム圧縮装置５０は、冷凍機
本体９０にヘリウムガスを送り込むために、往路配管２
７，復路配管２８を介して冷凍機本体９０に接続されて
いる。なお、図１中のものと同一の構成要素には同一の
符号を付して個々の説明を省略する。

【００２５】このヘリウム圧縮装置５０では、熱交換器
１２のヘリウムガス出口１２ｂと油分離器１３のヘリウ
ムガス入口１３ａとをつなぐ主流路をなす配管２３に、
三方弁３７が介挿されている。この三方弁３７の３つの
ポートのうちの２つのポートは両側の配管２３に接続さ
れている。三方弁３７の残りの１つのポートと圧縮機１
１の油戻り口１１ｄとの間に、バイパス流路をなす配管
３４が設けられている。なお、油戻り口１１ｄは、圧縮
機１１の油溜め（圧縮機の内部に設けられている）の上
部に相当する位置に形成されている。

【００２６】運転時には、三方弁３７は配管２３を開い
て主流路を流通可能にする一方、配管３４側のポートを
閉じる切替位置に設定される。これにより、このヘリウ
ム圧縮装置４０は、図１に示したヘリウム圧縮装置１０
と全く同様に動作する。すなわち、圧縮機１１によって
圧縮されたヘリウムガス（油や水分等を含む）は、熱交
換器１２によって冷却され、油分離器１３、吸着器１４
を順に通り、往路配管２７を通して冷凍機本体９０に送
り込まれ、復路配管２８を通してヘリウム圧縮装置１０
に戻される。そして、配管２９，アキュムレータ１５，
配管３０を通して吸入側１１ｂから圧縮機１１に入り、
再び圧縮される。

【００２７】運転停止時にも、三方弁３７は配管２３を
開いて主流路を流通可能にする一方、配管３４側のポー
トを閉じる切替位置に設定される。

【００２８】そして、運転停止後再起動時に、一時的に
（例えば数秒間だけ）、三方弁３７が配管２３の下流側
のポートを遮断して、配管２３の上流側と配管３４とを
流通させる切替位置に設定される。これにより、一時的
に、熱交換器１２のヘリウムガス出口１２ｂと圧縮機１
１の油戻り口１１ｄとの間にバイパス流路が形成され
る。このようにした場合、たとえ運転停止中に熱交換器
１２内部のヘリウムガス管路２２に油が溜まっていたと
しても、その油は圧縮機１１の動作によってヘリウムガ
スとともに熱交換器１２側からバイパス流路、具体的に
は配管２３のうち三方弁３７よりも上流側の部分と配管
３４とを通して、圧縮機１１側へ強制的に戻される。続
いて、三方弁３７は配管２３を開いて主流路を流通可能
にする一方、配管３４側のポートを閉じる切替位置に設
定される。これにより、本来の運転が開始される。

【００２９】このように再起動時に、圧縮機１１、熱交
換器１２、油分離器１３の高低差にかかわらず強制的に
油を圧縮機１１の油溜めに戻すので、運転停止中に熱交
換器１２内部のヘリウムガス管路２２に油が溜まったと
しても、再起動時に円滑に運転を開始することができ
る。この結果、システム全体の信頼性を高めることがで
きる。

【００３０】なお、このヘリウムガス圧縮装置５０で
は、図１に示したヘリウムガス圧縮装置１０と同様に、
熱交換器１２の下部に設けられたヘリウムガス出口１２
ｂよりも油分離器１３の上部に設けられたヘリウムガス
入口１３ａが下方に配置されているので、運転停止中
に、熱交換器１２内部のヘリウムガス管路２２の油は重
力によって配管２３を通して熱交換器１２側から油分離
器１３へ移動する。したがって、システム全体の信頼性
をさらに高めることができる。

【００３１】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１のヘ
リウム圧縮装置では、熱交換器の下部に設けられたヘリ
ウムガス出口よりも上記油分離器の上部に設けられたヘ
リウムガス入口が下方に配置されているので、運転停止
中に、熱交換器内部のヘリウムガス管路の油は重力によ
って熱交換器側から油分離器へ移動する。したがって、
長期にわたって運転を停止する場合、特にそれが冬場な
ど周囲温度が低いときであっても、熱交換器内部のヘリ
ウムガス管路に油が溜まるのを防止できる。この結果、
再起動時に円滑に運転を開始でき、システム全体の信頼
性を高めることができる。

【００３２】請求項２に記載のヘリウム圧縮装置は、熱
交換器の下部に設けられたヘリウムガス出口よりも圧縮
機に設けられた油戻り口が下方に配置され、上記熱交換
器の上記ヘリウムガス出口と上記圧縮機の上記油戻り口
との間に、弁が介挿された油戻し用流路が設けられてい
るので、運転停止中に上記弁を開状態にしておくことに
よって、熱交換器内部のヘリウムガス管路の油が重力に
よって熱交換器側から油戻し用流路を通して圧縮機の油
戻り口へ移動する。したがって、長期にわたって運転を
停止する場合、特にそれが冬場など周囲温度が低いとき
であっても、熱交換器内部のヘリウムガス管路に油が溜
まるのを防止できる。この結果、再起動時に円滑に運転
を開始でき、システム全体の信頼性を高めることができ
る。

【００３３】請求項３に記載のヘリウム圧縮装置では、
上記圧縮機の上記油戻り口は上記圧縮機の油溜めの上部
に形成されているので、運転停止中に上記熱交換器側か
ら油戻し用流路を通して戻った油が上記油戻り口から上
記油溜め内に容易に入る。したがって、再起動時に上記
圧縮機が直ちに円滑に運転される。

【００３４】請求項４に記載のヘリウム圧縮装置は、熱
交換器のヘリウムガス出口と油分離器のヘリウムガス入
口とをつなぐ主流路に、この主流路を遮断して上記熱交
換器のヘリウムガス出口と上記圧縮機の油戻り口との間
にバイパス流路を形成することができる三方弁が介挿さ
れているので、運転停止後再起動時に、一時的に（例え
ば数秒間だけ）、上記三方弁を上記主流路を遮断して、
上記熱交換器のヘリウムガス出口と上記圧縮機の油戻り
口とつなぐバイパス流路を形成するように切り替えるこ
とによって、圧縮機、熱交換器、油分離器の高低差にか
かわらず強制的に油を圧縮機の油溜めに戻すことができ
る。したがって、運転停止中に熱交換器内部のヘリウム
ガス管路に油が溜まったとしても、再起動時に円滑に運
転を開始できる。この結果、システム全体の信頼性を高
めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１実施形態のヘリウム圧縮装置
を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配置
を示す図である。

【図２】 この発明の第２実施形態のヘリウム圧縮装置
を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配置
を示す図である。

【図３】 この発明の第３実施形態のヘリウム圧縮装置
を備えた極低温冷凍機を側方から見たときの概略的配置
を示す図である。

【図４】 従来のヘリウム圧縮装置を備えた極低温冷凍
機を側方から見たときの概略的配置を示す図である。

【符号の説明】

１１ 圧縮機 １２ 熱交換器 １３ 油分離器 １０，４０，５０ ヘリウム圧縮装置 ９０ 冷凍機本体

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧縮機（１１）によって圧縮したヘリウ
   ムガスを、熱交換器（１２）を通して冷却した後、ガス
   と油とを分離する油分離器（１３）を通して極低温冷凍
   機の本体（９０）の往路に送り込み、上記本体（９０）
   の復路から出たヘリウムガスを上記圧縮機（１１）の吸
   入側に戻すヘリウム圧縮装置において、 上記熱交換器（１２）の下部に設けられたヘリウムガス
   出口（１２ｂ）よりも上記油分離器（１３）の上部に設
   けられたヘリウムガス入口（１３ａ）が下方に配置され
   ていることを特徴とするヘリウム圧縮装置。
2. 【請求項２】 圧縮機（１１）によって圧縮したヘリウ
   ムガスを、熱交換器（１２）を通して冷却した後、ガス
   と油とを分離する油分離器（１３）を通して極低温冷凍
   機の本体（９０）の往路に送り込み、上記本体（９０）
   の復路から出たヘリウムガスを上記圧縮機（１１）の吸
   入側に戻すヘリウム圧縮装置において、 上記熱交換器（１２）の下部に設けられたヘリウムガス
   出口（１２ｂ）よりも上記圧縮機（１１）に設けられた
   油戻り口（１１ｄ）が下方に配置され、 上記熱交換器（１２）の上記ヘリウムガス出口（１２
   ｂ）と上記圧縮機（１１）の上記油戻り口（１１ｄ）と
   の間に、弁（３５）が介挿された油戻し用流路（３１，
   ３２）が設けられていることを特徴とするヘリウム圧縮
   装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のヘリウム圧縮装置にお
   いて、 上記圧縮機（１１）の上記油戻り口（１１ｄ）は上記圧
   縮機（１１）の油溜めの上部に形成されていることを特
   徴とするヘリウム圧縮装置。
4. 【請求項４】 圧縮機（１１）によって圧縮したヘリウ
   ムガスを、熱交換器（１２）を通して冷却した後、ガス
   と油とを分離する油分離器（１３）を通して極低温冷凍
   機の本体（９０）の往路に送り込み、上記本体（９０）
   の復路から出たヘリウムガスを上記圧縮機（１１）の吸
   入側に戻すヘリウム圧縮装置において、上記熱交換器
   （１２）のヘリウムガス出口（１２ｂ）と上記油分離器
   （１３）のヘリウムガス入口（１３ａ）とをつなぐ主流
   路（２３）に、この主流路（２３）を遮断して上記熱交
   換器（１２）のヘリウムガス出口（１２ｂ）と上記圧縮
   機（１１）の油戻り口（１１ｄ）との間にバイパス流路
   を形成することができる三方弁（３７）が介挿されてい
   ることを特徴とするヘリウム圧縮装置。