JPH10132706A - 液晶表示パネルの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業者の疲労を少なくするとともに、作
業能率を高めることにある。 【解決手段】 検査装置は、液晶表示パネルの検査をす
る検査位置に配置されたプローブユニットと、液晶表示
パネルを傾斜した状態に受けかつ支持するテーブルと、
テーブルを受けかつ支持する検査ステージであって前記
プローブユニットに対する液晶表示パネルの位置を調整
する検査ステージと、検査位置に対して前側でかつ斜め
下方または斜め上方の受渡し位置において検査ステージ
に対してテーブルの受渡しをする搬送手段とを含む。検
査ステージおよび搬送手段を、プローブユニットを間に
して互いに反対の側においてテーブルを検査位置と受渡
し位置とに移動させることにより、検査位置においてテ
ーブルへの液晶表示パネルの着脱と、液晶表示パネルの
点灯試験とを行うようにしたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
良否を目視により検査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの目視検査装置において
は、一般に、点灯試験をする検査ステーションに配置さ
れた液晶表示パネルの状態、特に点灯状態を検査用のプ
ローブユニットに対して液晶表示パネルと反対の側から
目視することにより、良否の確認をしなければならない
ことから、プローブユニットが液晶表示パネルを検査ス
テーションに対して直接着脱することを妨げている。

【０００３】上記のことから、液晶表示パネルを検査装
置に対して受渡す受渡しステーションと、液晶表示パネ
ルの点灯試験をする検査ステーションとを筐体内に設
け、液晶表示パネルを受渡しステーションと検査ステー
ションとの間で移動させ、検査装置に対する液晶表示パ
ネルの受渡しおよび粗アライメントを受渡しステーショ
ンにおいて行い、プローブユニットに対する液晶表示パ
ネルの精密アライメントおよび点灯試験を受渡しステー
ションにおいて行うようにした検査装置がある（特開平
２−２６３４５１号公報、特開平５−１３４２２７号公
報）。

【０００４】しかし、一般に、受渡しステーションと検
査ステーションとの間隔がプローブユニットおよびその
付属部品の大きさに比例した大きさになることから、従
来の検査装置では、たとえば１５インチの液晶表示パネ
ルの検査装置でも、受渡しステーションと検査ステーシ
ョンとの間隔が数十ｃｍとなってしまう。このため、従
来の検査装置では、作業者が受渡しステーションと検査
ステーションとに頻繁に移動しなければならないから、
受渡し作業を含む検査作業が立ち作業となり、作業者の
疲労が大きくなり、また作業能率の低下を招く。さら
に、従来の検査装置では、受渡しステーションと検査ス
テーションとが水平方向へ間隔をおいていたこととあい
まって、液晶表示パネルの点灯検査をするだけの装置で
あるにもかかわらず、装置の専有面積が大きい。

【０００５】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、作業者の疲
労を少なくするとともに、作業能率を高めることにあ
る。

【０００６】

【解決手段、作用、効果】本発明の検査装置は、液晶表
示パネルの検査をする検査位置に配置されたプローブユ
ニットと、液晶表示パネルを傾斜した状態に受けかつ支
持するテーブルと、テーブルを受けかつ支持する検査ス
テージであって前記プローブユニットに対する液晶表示
パネルの位置を調整する検査ステージと、検査位置に対
して前側でかつ斜め下方または斜め上方の受渡し位置に
おいて検査ステージに対してテーブルの受渡しをする搬
送手段とを含み、検査ステージおよび搬送手段は、プロ
ーブユニットに対して互いに反対の側においてテーブル
を検査位置と受渡し位置とに移動させることを特徴とす
る。

【０００７】液晶表示パネルをテーブルに対して着脱す
るとき、テーブルは、搬送手段に受けられており、また
搬送手段によりプローブユニットに対して検査ステージ
の側と反対の側に移動されており、さらに検査位置に維
持されている。

【０００８】液晶表示パネルが検査位置に維持されてい
るテーブルに作業者により配置されると、テーブルは、
液晶表示パネルを支持した状態で、先ず搬送手段により
検査位置から受渡し位置へ搬送され、次いで受渡し位置
において搬送手段から検査ステージに渡され、次いで検
査ステージにより受渡し位置から検査位置へ移動され
る。その後、液晶表示パネルは、検査位置においてテー
ブルに支持された状態で検査される。

【０００９】検査が終了すると、テーブルは、液晶表示
パネルを支持した状態で、先ず検査ステージにより検査
位置から受渡し位置へ移動され、次いで受渡し位置にお
いて検査ステージから搬送手段に渡され、次いで搬送手
段により受渡し位置から検査位置に搬送される。その
後、液晶表示パネルは、検査位置において作業者により
テーブルから取り去られる。

【００１０】搬送手段および検査ステージによる検査位
置と受渡し位置との間におけるテーブルの搬送路は、プ
ローブユニットを間にして互いに反対の側である。液晶
表示パネルは、斜めの状態でテーブルとともに、検査位
置と受渡し位置とに移動される。テーブルへの液晶表示
パネルの着脱と目視検査とは、検査位置において作業者
により行われる。

【００１１】本発明によれば、テーブルを、該テーブル
に液晶表示パネルを支持させた状態で、搬送手段と検査
ステージとのそれぞれにより検査位置と受渡し位置との
間で移動させて、受渡し位置において搬送手段と検査ス
テージとの間で受け渡すようにしたから、作業者は、テ
ーブルへの液晶表示パネルの着脱と目視検査とを検査位
置において行うことができ、その結果作業者の疲労が少
なくなり、作業能率が高くなる。

【００１２】検査位置と受渡し位置とを前下がりの方向
へ離間させ、液晶表示パネルを前下がりに傾斜した状態
にテーブルに配置し、その状態でテーブルを移動させる
とともに受渡しをすることができる。これにより、受渡
し位置と検査位置とを水平方向に離間させた従来の検査
装置に比べ、受渡し位置を検査位置から斜め前下方また
は斜め後上方に離間させた分だけ、専有面積が小さくな
る。

【００１３】搬送手段は、テーブルを解除可能に把持す
る把持手段と、該把持手段を検査位置と受渡し位置とに
移動させる駆動手段とを備えることができ、また、把持
手段は、駆動手段により移動される搬送フレームと、テ
ーブルを解除可能に把持すべく搬送フレームに変位可能
に支持された把持体と、テーブルの把持およびその解除
をさせるべく把持体を変位させる移動機構とを備えるこ
とができる。

【００１４】検査位置に配置された液晶表パネルをその
背後から照明する照明手段は、テーブルまたは検査ステ
ージに配置することができる。

【００１５】好ましい実施例においては、検査ステージ
は、検査位置に配置された液晶表示パネルと交差する方
向へ伸びるθ軸線の周りにおける液晶表示パネルの角度
的位置を調整するθステージと、θ軸線の方向における
液晶表示パネルの位置を調整するＺステージと、θ軸線
に対して交差するとともに互いに交差するＸ軸線および
Ｙ軸線の方向における液晶表示パネルの位置を調整する
ＸステージおよびＹステージとを備える。

【００１６】好ましい実施例においては、さらに、検査
ステージを支持する基台と、プローブユニットを支持す
るベースプレートとを含み、ベースプレートは、プロー
ブユニットの少なくとも一部を受け入れる開口を検査位
置に有するとともに、検査ステージと搬送手段との間で
テーブルの受渡しをする開口を受渡し位置に有すること
ができる。

【００１７】好ましい実施例においては、さらに、プロ
ーブユニット、テーブル、検査ステージおよび搬送手段
が収容された筐体を含み、該筐体は、検査ステージに配
置された液晶表示パネルを目視する開口を有することが
できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１〜図４を参照するに、検査装
置１０は、四角形の液晶表示体すなわち液晶表示パネル
１２の点灯検査に用いられる。液晶表示パネル１２は、
四角形の隣り合う複数の辺に対応する各端縁部に複数の
電極を有するパネルである。

【００１９】以下、検査装置１０および液晶表示パネル
１２のいずれにおいても、液晶表示パネル１２の短い端
縁の方向（左右方向）をＸ方向といい、液晶表示パネル
１２の長い端縁の方向をＹ方向といい、液晶表示パネル
１２の表示面と直角の方向をＺ方向という。また、Ｘ方
向およびＹ方向へ伸びる軸線をそれぞれＸ軸線およびＹ
軸線といい、Ｚ方向へ伸びる軸線をＺ軸線またはθ軸線
という。

【００２０】検査装置１０は、フレームすなわち筐体１
４と、該筐体内に配置されたプローブユニット１６、液
晶表示パネル１２を支持するテーブル１８と、プローブ
ユニット１６に対する液晶表示パネル１２の位置を調整
する検査ステージ２０と、テーブル１８を移動させると
ともに検査ステージ２０に対するテーブル１８の受渡し
をする搬送手段すなわち搬送機構２２とを含む。

【００２１】筐体１４は、アングル材のような複数の鋼
材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられた複
数の板材により箱の形に形成されている。筐体１４の前
面上部は、傾斜した平板により傾斜部２４とされてい
る。傾斜部２４は、液晶表示パネル１２の着脱および液
晶表示パネル１２の目視検査に用いる長方形の開口２６
を中央部に有する。

【００２２】筐体１４内のうち、開口２６に対向する部
位は、液晶表示パネル１２の検査位置２８として作用す
る。これに対し、検査位置２８から斜め前下方に離間し
た部位は、検査ステージ２０と搬送機構２２との間にお
けるテーブル１８の受渡しをする受渡し位置３０として
作用する。しかし、受渡し位置３０は、検査位置２８か
ら斜め後上方に離間した部位であってもよい。

【００２３】プローブユニット１６は、長方形の板の形
をしたプローブベース３２と、１以上のねじ部材により
プローブベース３２に組み付けられたＬ字状の複数のプ
ローブブロック３４と、テレビカメラのような一対のア
ライメントカメラ３６とを備える。

【００２４】プローブベース３２は、検査すべき液晶表
示パネル１２と相似の長方形の開口３８を中央に有して
おり、また長方形のベースプレート４０の上向き前面す
なわち前上面に取り外し可能に組み付けられている。ベ
ースプレート４０は、前側が下方となるいわゆる前下が
りに傾斜した状態に筐体１４に組み付けられている。こ
のため、プローブベース３２も、前下がりに傾斜してい
る。

【００２５】各プローブブロック３４は、一端部がプロ
ーブベース３２の開口３８を介してプローブベース３２
の裏側に達するようにプローブベース３２の表側に組み
付けられている。各プローブブロック３４は、複数のプ
ローブを一端部に有する。各プローブは、図示しないケ
ーブルにより適宜な電気回路に接続されている。

【００２６】各アライメントカメラ３６は、テーブル１
８が検査ステージ２０により検査位置２８に移動された
とき、検査位置２８に配置された液晶表示パネル１２の
位置合せマークをプローブベース３２の開口３８を通し
て撮影するように、プローブベース３２に組み付けられ
ている。アライメントカメラ３６の出力信号は、プロー
ブユニット１６に対する液晶表示パネル１２の精密な位
置合せのために用いられる。

【００２７】ベースプレート４０は、その長手方向に間
隔をおいた２つの長方形の開口４２，４４を有してお
り、また一方の開口４２が検査位置２８となり、他方の
開口４４が受渡し位置３０となるように、筐体１４に組
み付けられている。プローブユニット１６は、プローブ
ベース３２の開口３８が開口４２と対向し、プローブブ
ロック３４の一端がベースプレート４０の開口４２内に
突出するように、ベースプレート４０の前上面に取り付
けられている。

【００２８】テーブル１８は、液晶表示パネル１２を前
下がりに傾斜した状態に受けかつ支持するように、傾斜
部２４の側に開口する直方体状の箱の形をしており、ま
たその開口を形成する４つの端縁に吸着溝４６（図３参
照）を有する。各吸着溝４６は、テーブル１８が液晶表
示パネル１２の対応する端縁部の裏面を真空吸着する真
空チャックとして作用するように、バキュームポンプの
ような図示しない真空源に連通される。

【００２９】テーブル１８には、液晶表示パネル１２の
粗い位置決めをするための一対の細長い板状のストッパ
４８が配置されている。ストッパ４８は、吸着溝４６が
形成された隣り合う２つの端縁の外側面に、一部が傾斜
部２４の側に僅かに突出した状態に複数のねじ部材によ
り取り付けられている。

【００３０】ストッパ４８は、テーブル１８ひいてはプ
ローブユニット１６に対する液晶表示パネル１２の粗い
位置合せのために用いられる。図示の例では、ストッパ
４８は、液晶表示パネル１２がテーブル１８に対し滑落
により移動することを防止するように、テーブル１８の
前下側の端縁の外側面と、１つの側方の端縁の外側面と
に設けられている。

【００３１】検査ステージ２０は、テーブル１８を、液
晶表示パネル１２と直交するＺ軸線の周りに角度的に回
転させるとともに、Ｚ方向と、液晶表示パネル１２の面
内の直交する２方向（Ｙ，Ｘ方向）とへ３次元的に移動
させるテーブル移動機構すなわちアライメントステージ
を形成する４つのステージ５０，５２，５４，５６を含
む。

【００３２】ステージ５０，５２，５４および５６は、
それぞれ、Ｚ軸線（θ軸線）の周りに角度的に回転させ
るθステージ、テーブル１８をＺ軸線の方向へ移動させ
るＺステージ、テーブル１８をＹ軸線の方向へ移動され
るＹステージ、および、テーブル１８をＸ軸の方向へ移
動させるＸステージである。テーブル１８、θステージ
５０、Ｚステージ５２およびＹステージ５４は、それぞ
れ、ステージ５０，５２，５４および５６に支持されて
いる。

【００３３】検査ステージ２０は、長方形をした板状の
基台５８の一方の面にＸステージ５６において組み付け
られている。基台５８は、筐体１４内をＸ方向へ伸びか
つテーブル１８が傾斜部２４の側となるように、前下が
りに傾斜した状態に筐体１４に組み付けられている。Ｘ
ステージ５６は、テーブル１８およびステージ５０，５
２，５４を検査位置２８と受渡し位置３０とに移動させ
るように、Ｘ方向へ伸びる。しかし、テーブル１８と検
査ステージ２０とを、スクリュージャッキ、エアーシリ
ンダ機構、油圧シリンダ機構等、他の機構により、検査
位置２８と受渡し位置３０とに移動させてもよい。

【００３４】θステージ５０は、図３参照に示すよう
に、テーブル１８を解除可能に吸着する吸着溝６０と、
テーブル１８の底面に形成されたガイド穴（図示せず）
に嵌合される一対のガイドピン６２とを前上面に有す
る。吸着溝６０は、θステージ５０がテーブル１８の底
面を真空吸着する真空チャックとしても作用するように
バキュームポンプのような図示しない真空源に連通され
る。ガイドピン６２は、吸着溝６０を介して対向する位
置に形成されている。

【００３５】搬送機構２２は、ベースプレート４０の上
面にＸ方向へ平行に伸びる状態に取り付けられた一対の
レール６４と、Ｘ方向へ移動可能にレール６４に受けら
れた搬送フレーム６６と、Ｙ方向へ移動可能に搬送フレ
ーム６６に支持された一対の把持部材６８と、フレーム
６６を検査位置２８と受渡し位置３０とに移動させる第
１の駆動機構７０と、把持部材６８を相寄り相離れる方
向へ移動させる一対の第２の駆動機構７２とを備える。

【００３６】フレーム６６は、Ｙ方向へ伸びる細長い長
方形の形をしており、またＺ方向におけるプローブユニ
ット１６の位置より前側上方となる位置を第１の駆動機
構７０によりＹ方向へ移動される。フレーム６６は、Ｙ
方向へ伸びる細長い長方形の開口７４を有する。開口７
４には、長尺の一対の支持部材７６が開口７４の端部近
傍に配置されている。

【００３７】支持部材７６は、Ｘ方向へ平行に伸びる状
態にフレーム６６に取り付けられている。各把持部材６
８は、支持部材７６からフレームの中央に向けて突出す
る一対のガイドシャフト７８に移動可能に支持されてい
る。ガイドシャフト７８は把持部材６８を貫通して伸び
る。

【００３８】各把持部材６８は、ガイドピン８０を有す
る。ガイドピン８０は、把持部材がテーブル１８を把持
したときに、テーブル１８のガイド穴に受け入れられ
て、搬送機構２２に対するテーブル１８の位置決めをす
る。

【００３９】第１の駆動機構７０は、タイミングベルト
とその駆動装置のような適宜な機構で構成されており、
またローディングホルダ８２によりフレーム６６に接続
されている。各第２の駆動機構７２は、エアーシリンダ
機構で構成されており、また支持部材７６に支持されて
いる。しかし、第１および第２の駆動機構７０，７２と
して、シリンダ機構、スクリュージャッキ、リニアモー
タ、回転源とピニオンとラックとを用いた機構等、他の
機構を用いてもよい。

【００４０】図３に示すように、照明手段としてのバッ
クライト８４は、テーブル１８に支持された液晶表示パ
ネル１２をその背面から照明するように、テーブル１８
内に収容されている。このため、テーブル１８は、ワー
クテーブルとして作用する。

【００４１】液晶表示パネル１２をテーブル１８に対し
て着脱するとき、テーブル１８は、液晶表示パネル１２
を前下がりの傾斜した状態に受けるように、搬送機構２
２の一対の把持部材６８により把持されて、Ｚ方向にお
けるプローブユニット１６の位置よりフレーム６６の側
（すなわち、前上側）に維持されている。また、フレー
ム６６は、検査位置２８に移動されている。このため、
テーブル１８は、検査位置２８においてプローブユニッ
ト１６およびベースプレート４０の前上側に移動され
て、その位置に待機している。

【００４２】一方、検査ステージ２０は、前回の受渡し
時に既に受渡し位置３０に移動されており、またθステ
ージ５０をＺステージ５２によりわずかに後退させた状
態で、受渡し位置３０に待機している。このため、θス
テージ５０はベースプレート４０の開口４４に受け入れ
られている。

【００４３】テーブル１８、フレーム６６および検査ス
テージ２０が上記位置に維持されている状態で、検査す
べき液晶表示パネル１２が作業者によりテーブル１８に
配置される。その状態を図３および図５に示す。液晶表
示パネル１２をテーブル１８に配置するとき、液晶表示
パネル１２はその隣り合う２つの縁部がストッパ４８に
当接するように配置され、それにより液晶表示パネル１
２がテーブル１８に対して位置決められ、液晶表示パネ
ル１２の粗アライメントが行われる。

【００４４】図３および図５に示す状態において、図示
しない検査開始スイッチが作業者により操作されると、
先ずテーブル１８が液晶表示パネル１２を吸着し、次い
でフレーム６６が第１の駆動機構７０により検査位置２
８から受渡し位置３０へ搬送される。これにより、液晶
表示パネル１２を支持しているテーブル１８は、フレー
ム６６とともに、プローブユニット１６およびベースプ
レート４０の前上側を受渡し位置３０へ移動される。テ
ーブル１８がベースプレート４０の開口４４の前上側へ
移動された状態を図６に示す。

【００４５】次いで、受渡し位置３０に移動されている
検査ステージ２０のＺステージ５２が作動して、θステ
ージ５０がフレーム６６の側へ移動される。これによ
り、θステージ５０のピン６２がテーブル１８の底面に
形成されたガイド穴に嵌合される。これにより、テーブ
ル１８が検査ステージ２０に対して位置決められる。θ
ステージ５０をテーブル１８の底面に当接させた状態を
図７に示す。

【００４６】次いで、把持部材６８が第２の駆動機構７
２により相離れる方向へ移動されるとともに、テーブル
１８がθステージ５０に吸着され、θステージ５０がＺ
ステージ５２により後下側へ後退される。これにより、
テーブル１８が把持部材６８から解放されて、搬送機構
２２から検査ステージ２０へのテーブル１８の受渡しが
完了する。

【００４７】搬送機構２２から検査ステージ２０へのテ
ーブル１８の受渡しが完了した状態において、液晶表示
パネル１２およびテーブル１８は、Ｚ方向におけるベー
スプレート４０の位置より基台５８の側（すなわち、後
下側）へ移動されている。この状態において、液晶表示
パネル１２およびテーブル１８は、図８に示すように、
ベースプレート４０より後下側へ後退されている。

【００４８】次いで、ステージ５０，５２，５４がＸス
テージ５６により受渡し位置３０から検査位置２８へ移
動される。これにより、液晶表示パネル１２およびテー
ブル１８は、ベースプレート４０の後下側を検査位置２
８へ移動され、検査位置２８においてプローブユニット
１６の後下側に維持される。

【００４９】次いで、プローブユニット１６に対する液
晶表示パネル１２の精密アライメントが検査位置２８に
おいてカメラ３６および検査ステージ２０により行われ
る。精密アライメントは、液晶表示パネル１２に形成さ
れている位置合せマークがカメラ３６により撮像した画
像の所定の位置と一致するように、ステージ５０，５
４，５６でテーブル１８を移動させることにより、行わ
れる。

【００５０】次いで、θステージ５０がＺステージ５２
により前進されて、液晶表示パネル１２の端子すなわち
電極がプローブユニット１６のプローブに押圧される。
その状態を図９に示す。

【００５１】その後、液晶表示パネル１２は、検査位置
２８においてテーブル１８に支持された状態で点灯試験
をされる。点灯試験は、液晶表示パネル１２の所定の領
域を所定の状態に点灯させ、それを作業者が目視して良
否を判定する、いわゆる目視検査により行われる。目視
検査の際、液晶表示パネル１２が検査位置２８において
前下がりに傾斜した状態に支持されているから、作業者
は液晶表示パネル１２の点灯状態を目視しやすい。

【００５２】検査が終了した時点においては、前回の受
渡し時に、搬送フレーム６６は受渡し位置３０に移動さ
れてその位置に待機しており、また把持部材６８は互い
に大きく離されている。

【００５３】検査が終了すると、検査ステージ２０およ
び搬送機構２２は、前記と逆に作動して、液晶表示パネ
ル１２およびテーブル１８を前記と逆に移動させる。そ
れにより、液晶表示パネル１２およびテーブル１８は、
最終的に、検査位置２８のプローブユニット１６の前上
側へ移動され、その後液晶表示パネル１２は検査位置２
８において作業者によりテーブル１８から取り去られ
る。

【００５４】点灯試験が終了した後の検査装置１０の動
作を以下に詳細に説明する。

【００５５】先ず、液晶表示パネル１２およびテーブル
１８がプローブユニット１６より後下側に達する位置ま
で、θステージ５０がＺステージ５２により後退され、
ステージ５０，５２，５４がＸステージ５６により検査
位置２８から受渡し位置３０へ移動される。これによ
り、液晶表示パネル１２およびテーブル１８は、プロー
ブユニット１６およびベースプレート３０の後下側を受
渡し位置３０へ移動される。

【００５６】次いで、θステージ５０がＺステージ５２
により前進される。これにより、テーブル１８は、把持
部材６８の間に移動される。

【００５７】次いで、把持部材６８が第２の駆動機構７
２により相寄る方向へ移動され、θステージ５０がＺス
テージ５２により後退される。これにより、テーブル１
８は把持部材６８に把持され、ガイドピン６２によるテ
ーブル１８とθステージ５０との係合が解除される。そ
の結果、検査ステージ２０から搬送機構２２へのテーブ
ル１８の受渡しが完了する。

【００５８】次いで、搬送フレーム６６が第１の駆動機
構７０により受渡し位置３０から検査位置２８へ移動さ
れる。これにより、テーブル１８は、プローブユニット
１６の前上側へ移動される。

【００５９】次いで、検査終了スイッチが作業者により
操作されることにより、液晶表示パネル１２がテーブル
１８による吸着から解放される。これにより、作業者
は、検査済の液晶表示パネル１２をテーブル１８から取
り去り、新たな液晶表示パネル１２をテーブル１８に配
置することができる。

【００６０】検査ステージ２０および搬送機構２２によ
るテーブル１８の搬送路は、プローブユニット１６に関
して互いに反対の側である。また、プローブユニット１
６に対する液晶表示パネル１２およびテーブル１８の位
置は、テーブル１８への液晶表示パネル１２の着脱時
と、液晶表示パネル１２の点灯試験時とで逆である。こ
のため、プローブユニット１６は、検査ステージ２０に
対する液晶表示パネル１２の着脱を妨げない。

【００６１】検査ステージ２０および搬送機構２２は、
テーブル１８が常に液晶表示パネル１２を前下がりの傾
斜した状態に保つように、テーブル１８を維持し、この
ため、液晶表示パネル１２は、検査位置２８において
も、前下がりに傾斜した状態に維持される。これによ
り、液晶表示パネル１２の目視検査およびテーブル１８
に対する液晶表示パネル１２の着脱作業が容易である。

【００６２】検査装置１０によれば、テーブル１８への
液晶表示パネル１２の着脱作業と、液晶表示パネル１２
の点灯試験のための目視検査とを、同じ位置で行うこと
ができるから、作業者の疲労が少なくなり、作業能率が
高くなる。また、受渡し位置と検査位置とを水平方向に
離間させた従来の検査装置に比べ、受渡し位置３０を検
査位置２８から斜め前下方または斜め後上方に離間させ
た分だけ、装置１０の専有面積が小さくなる。

【００６３】上記実施例では、照明手段としてのバック
ライト８４をテーブル１８内に配置しているが、図１０
および図１１に示す検査装置９０のように、バックライ
ト９２をθステージ５０の前上面に取り外し可能に取り
付けてもよい。

【００６４】検査装置９０で用いるバックライト９２
は、そのＹ方向の両端部にテーブル受け９４を有してお
り、またテーブル９８を吸着する吸着溝９６を各テーブ
ル受け９４に有する。吸着溝９６は、バキュームポンプ
のような真空源に接続される。テーブル９８とバックラ
イト９２との位置決めは、各テーブル受け９４に設けら
れたガイドピン１００がテーブル９８の底面に形成され
たガイド穴１０２に嵌合されることにより行われる。

【００６５】検査装置９０で用いるテーブル９８は、枠
状の筐体であり、またＹ方向の各端部に板状の翼部１０
４を有する。各翼部１０４は、ガイドピン１００を受け
入れるガイド穴１０２を有する。バックライト９２の光
を拡散させる拡散板１０６はテーブル９８の枠部の開口
部分に取り付けられており、液晶表示パネル１２を吸着
する吸着溝４６はテーブル１８の各外周縁部に形成され
ている。テーブル９８の筐体部のＹ方向の各側面には、
把持部材６８に設けられたガイドピン８０を受け入れる
ガイド穴（図示せず）を有する。

【００６６】また、上記実施例では、いずれも、受渡し
位置３０を検査位置２８から前側でかつ斜め下方に離間
させているが、受渡し位置３０を検査位置２８から後側
でかつ斜め上方に離間させてもよいし、左右方向のいず
れかの方向へ離間していてもよい。さらに、液晶表示パ
ネル１２を、前下がりの状態に傾斜させる代わりに、水
平に受けかつ支持し、その状態で運搬するようにしても
よい。この場合、受渡し位置３０を、検査位置２８に関
して前後左右のいずれの方向に離間させてもよい。

【００６７】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、長方形の隅角部を弧状または直線状
に切除した液晶表示パネルの検査装置にも適用すること
ができるし、四角形の液晶表示パネルのみならず、六角
形、八角形等の他の多角形の液晶表示パネルの検査装置
にも適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例を示す縦断面概略
図であって液晶表示パネルを検査可能の状態を示す図で
あり、また図２において１−１線に沿って得た縦断面概
略図である。

【図２】図１の２−２線に沿って得た図である。

【図３】テーブルに対する液晶表示パネルの着脱をする
位置へ搬送フレームを移動させた状態を示す図２と同様
の図である。

【図４】テーブルを検査ステージと搬送機構との間で受
け渡す状態を示す図２と同様の図である。

【図５】図３の５−５線に沿って得た断面図であって液
晶表示パネルをテーブルに配置する状態を示す断面図で
ある。

【図６】液晶表示パネルとテーブルとを搬送機構により
受渡し位置へ移動させた状態を示す断面図であって図３
と同様の断面図である。

【図７】液晶表示パネルとテーブルとを搬送機構から検
査ステージへ移す状態を示す断面図であって図３と同様
の断面図である。

【図８】液晶表示パネルとテーブルとを搬送機構から検
査ステージへ移した状態を示す断面図であって図３と同
様の断面図である。

【図９】液晶表示パネルをプローブユニットに押圧した
状態を示す断面図であって図３と同様の断面図である。

【図１０】本発明の検査装置の他の実施例を示す縦断面
図であって図５と同様の断面図である。

【図１１】図１０の１１−１１線に沿って得た図であ
る。

【符号の説明】

１０，９０ 検査装置 １２ 液晶表示パネル １４ 検査装置の筐体 １６ プローブユニット １８，９８ テーブル ２０ 検査ステージ ２２ 搬送機構 ２８ 検査位置 ３０ 受渡し位置 ４０ ベースプレート ４２，４４ ベースプレートの開口 ４６ テーブルの吸着溝 ４８ ストッパ ５０，５２，５４，５６ θ，Ｚ，Ｙ，Ｘステージ ６０ θステージの吸着溝 ６２ θステージのガイドピン ６４ レール ６６ 搬送フレーム ６８ 把持部材 ７０，７２ 第１、第２の移動機構

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶表示パネルの検査をする検査位置に
   配置されたプローブユニットと、前記液晶表示パネルを
   受けかつ支持するテーブルと、前記テーブルを受けかつ
   支持する検査ステージであって前記プローブユニットに
   対する液晶表示パネルの位置を調整する検査ステージ
   と、前記検査位置から離れた受渡し位置において前記検
   査ステージに対して前記テーブルの受渡しをする搬送手
   段とを含み、前記検査ステージおよび前記搬送手段は、
   前記プローブユニットに対して互いに反対の側において
   前記テーブルを前記検査位置と前記受渡し位置とに移動
   させる、液晶表示パネルの検査装置。
2. 【請求項２】 前記受渡し位置と前記検査位置とは前下
   がりの方向へ離間されており、前記テーブルは、前記液
   晶表示パネルを前下がりに傾斜した状態に受け、その状
   態で移動されるとともに受渡しをされる、請求項１に記
   載の検査装置。
3. 【請求項３】 前記搬送手段は、前記テーブルを解除可
   能に把持する把持手段と、該把持手段を前記検査位置と
   前記受渡し位置とに移動させる駆動手段とを備える、請
   求項１または２に記載の検査装置。
4. 【請求項４】 前記把持手段は、前記駆動手段により移
   動される搬送フレームと、前記テーブルを解除可能に把
   持すべく前記搬送フレームに変位可能に支持された把持
   体と、前記テーブルの把持およびその解除をさせるべく
   前記把持体を変位させる移動機構とを備える、請求項３
   に記載の検査装置。
5. 【請求項５】 さらに、前記検査位置に配置された液晶
   表パネルをその背後から照明する照明手段を含む、請求
   項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置。
6. 【請求項６】 前記照明手段は、前記テーブルまたは前
   記検査ステージに配置されている、請求項５に記載の検
   査装置。