【発明の名称】ロボット搬送方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】ホストコンピュータの下位に位置付けられた搬送コンピュータによってロボットを管理し、前記ロボットにより被搬送品を製造装置等の装置へ搬入・搬出するロボット搬送方法において、
前記ロボットが前記被搬送品を前記装置へ搬入後、前記被搬送品に対して前記装置による処理が完了する前に完了予告を前記装置から前記ホストコンピュータへ送信し、
前記完了予告を受信後、前記装置が搬入口と搬出口が同一のポートであるか否かを前記ホストコンピュータで判定すると共に、該装置に、次に仕掛ける被搬送品のロットを選別し、
前記判定の結果、前記装置の搬入口と搬出口が同一ポートのときには第１のパターンに基づいて前記被搬送品の搬送処理を前記搬送コンピュータを介して実行し、前記搬入口と搬出口のポートが異なるときには第２のパターンによる前記被搬送品の搬送処理を前記搬送コンピュータを介して実行する、
ことを特徴とするロボット搬送方法。
【請求項２】前記第１のパターンによる搬送処理は１台のロボットで前記被搬送品の搬入及び搬出を行い、前記第２のパターンによる搬送処理は複数台のロボットを用いて前記被搬送品の搬入及び搬出を行うことを特徴とする請求項１記載のロボット搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロボット搬送方法に関し、特に、複数台の製造装置を最小の待ち時間で稼働させるためのロボット搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、製造工場においては、複数の製造装置の各々に部品や製品を搬入・搬出し、或いは製造装置間で部品や製品を授受するためにロボットが用いられ、このロボットの制御に搬送コンピュータを用いている。また、製造装置と搬送コンピュータの全体を管理するためにホストコンピュータが用いられている。
【０００３】
図９は従来のロボット搬送方法における処理パターンを示す説明図である。
【０００４】
まず、製造装置からホストコンピュータにオンライン要求電文９０１が出されると、ホストコンピュータはオンライン応答電文９０２を送信する。ついで、複数の製造装置の各々からのロット要求電文９０３をホストコンピュータが受信すると、応答信号電文９０４を製造装置へ返信する。ホストコンピュータはロット要求電文９０３を基に搬入可能の可否を知ることができる。
【０００５】
次に、ホストコンピュータは搬送コンピュータに対し、ロボットの搬送と搬入指示電文９０５を出力する。その後、搬送コンピュータからの作業報告として、搬送コンピュータからｆｒｏｍ完了信号電文９０７とｔｏ完了信号電文９０９がホストコンピュータに出され、各々に対してホストコンピュータから搬送コンピュータへ応答信号電文９０８，９１０が出力される。その後、製造装置からのロット搬入完了信号電文９１１をホストコンピュータが受信すると、ホストコンピュータは応答電文９１２を製造装置へ返答する。この搬入完了を受けて、ホストコンピュータは製造装置へロットが搬入されたことを確認する。
【０００６】
次に、ホストコンピュータから製造装置へ処理開始要求電文９１３が送信される。これに対する応答電文９１４が製造装置からホストコンピュータへ送出される。次に、製造装置側で処理の開始準備が整うと、製造装置からホストコンピュータに対して処理開始電文９１５が行われる。この報告を受けたホストコンピュータは製造装置に対して応答電文９１６を行う。この応答電文９１６を行ったことにより、ホストコンピュータは該当ロットを処理中とみなす。
【０００７】
ついで、製造装置は処理中のロットの処理が終了すると、処理完了電文９１７をホストコンピュータへ送出する。製造装置側では、引き続き搬出の準備ができると、ホストコンピュータへロット搬出要求電文９１９を送出する。これに対し、ホストコンピュータから応答電文９２０が製造装置へ返信される。この後、搬送コンピュータは作業の完了としてＦｒｏｍ完了電文９２３をホストコンピュータに出し、これに対してホストコンピュータは応答電文９２４を搬送コンピュータに送信する。ついで、ホストコンピュータは製造装置からのロット搬出完了電文９２５を受信し、これに対する応答電文９２６を製造装置へ送信する。この後、ホストコンピュータは搬送コンピュータからＴｏ完了電文９２７を受信２し、これに対する応答電文９２８を搬送コンピュータへ送信する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来では、ホストコンピュータは製造装置から搬出要求電文を受信してから搬送コンピュータに回収の搬送指示電文を送信しており、製造装置はロボットが走行してロットを回収するまで回収待ちの状態になる。このため、製造装置の稼働率が低くなるという問題があった。
【０００９】
また、２回目以降のロットの搬入においても、前のロットが回収されてから次のロットが搬入されるまで、ロボットによる搬送がロット待ちになるため、製造装置の稼働率及び生産数を或るレベルから高めることができなかった。
【００１０】
本発明は上述の問題点に鑑み、ロボットによるロットの回収待ち時間の短縮、及び次のロットを搬送する待ち時間短縮できるようにしたロボット搬送方法を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本出願に係る発明の目的を実現する方法は、請求項１に記載のように、ホストコンピュータの下位に位置付けられた搬送コンピュータによってロボットを管理し、前記ロボットにより被搬送品を製造装置等の装置へ搬入・搬出するロボット搬送方法において、
前記ロボットが前記被搬送品を前記装置へ搬入後、前記被搬送品に対して前記装置による処理が完了する前に完了予告を前記装置から前記ホストコンピュータへ送信し、
前記完了予告を受信後、前記装置が搬入口と搬出口が同一のポートであるか否かを前記ホストコンピュータで判定すると共に、該装置に、次に仕掛ける被搬送品のロットを選別し、
前記判定の結果、前記装置の搬入口と搬出口が同一ポートのときには第１のパターンに基づいて前記被搬送品の搬送処理を前記搬送コンピュータを介して実行し、前記搬入口と搬出口のポートが異なるときには第２のパターンによる前記被搬送品の搬送処理を前記搬送コンピュータを介して実行する、
ロボット搬送方法にある。
【００１２】
この方法によれば、搬入したロットに対する処理が完了する前に、装置からホストコンピュータへ何時間後に処理が完了するか否かの完了予告の報告がなされる。これにより、装置に次に仕掛けるロットを選別し、その該当ロットの搬送指示を搬送コンピュータに行えるようになる。したがって、処理の完了前に回収、搬入の準備がロボットに対して行えるようになり、装置はロボットによる回収待ちの時間を最小にすることができる。また、製造装置のアラーム等によって処理時間に遅れが生じた場合でも、搬送スケジュールの誤差を少なくすることができる。
【００１３】
また、装置のポートが搬入口と搬出口を共通にしている場合と、搬入口と搬出口を別々のポートにしている場合とにより、ロボットの運用パターンを異ならせている。これにより、被搬送品の搬送を装置の構造（タイプ）に応じて最適なロボット運用ができ、装置はロボットによる回収待ちの時間を最小にすることができる。
【００１４】
本出願に係る発明の目的を実現する具体的な方法は、請求項２に記載のように、前記第１のパターンによる搬送処理は１台のロボットで前記被搬送品の搬入及び搬出を行い、前記第２のパターンによる搬送処理は複数台のロボットを用いて前記被搬送品の搬入及び搬出を行うロボット搬送方法にある。
【００１５】
この方法によれば、装置が搬入口と搬出口を同一のポートにしている場合には１台のロボットで前記被搬送品の搬送が行われ、搬入口と搬出口を別々のポートにしている装置では搬入口と搬出口の夫々にロボットが割り当てられて搬送処理が実行される。この結果、装置のタイプに応じて最適なロボットの運用が可能になり、装置はロボットによる回収待ちの時間を最小にすることが可能になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１７】
図１は本発明によるロボット搬送方法の主な処理を示すフローチャートである。更に、図２は図１におけるパターン判別処理の詳細を示すフローチャートであり、図３は図１におけるパターンＩ（第１のパターン）の処理の詳細を示すフローチャート、図４は図１におけるパターンＩＩ（第２のパターン）の処理の詳細を示すフローチャートである。
【００１８】
ここで、図５を参照して搬送ラインの概略を説明する。搬送ロボット１は搬送路２に沿って往復移動することができる。搬送路２の片側には、製造装置３，４，５，６及び製品棚７が搬送路２に沿って連続的に設置されている。また、搬送路２の反対側には、製造装置８，９，１０，１１が設置されている。つまり、ここでは８台の製造装置が稼働しており、製造装置３，４，５と製造装置９，１０，１１は、同一のポートで搬入と搬出の作業が行われる。また、製造装置６，８は搬入と搬出の作業が同時に行えるように、ポートが離れた場所に設置されている。更に、製品棚７は、被加工品等（ここでは、ウエハ）が入れられたキャリア（ロット）を格納しておくための棚である。製造装置３〜６，８〜１１にはホストコンピュータ１２が接続されている。このホストコンピュータ１２には、搬送ロボット１を管理する搬送コンピュータ１３が接続されている。
【００１９】
このような構成のラインにおいて、搬送ロボット１はホストコンピュータ１２の指示に応じて製品棚７からロットを取り出し、指定された製造装置へ搬入し、処理後のロットを他の製造装置または製品棚７へ搬出（回収）する。
【００２０】
図１に示すように、本発明によるロボット搬送方法は、大別して（１）パターン判別処理１００、（２）パターンＩによる処理、（３）パターンＩＩによる処理の３ブロックからなる。パターンＩによる処理２００が図５に示した製造装置３〜５，９〜１１を対象にした処理であり、パターンＩＩによる処理３００が製造装置６，８を対象にした処理である。この処理２００と処理３００のどちらに相当するかを判定するのが、パターン判別処理１００である。
【００２１】
次に、図２のフローチャート、及び図６のタイミングチャートを参照してパターン判別処理１００について説明する。なお、図２〜図４において、“Ｓ”はステップを意味している。
【００２２】
まず、図６に示すように、ホストコンピュータ１２が製造装置からオンライン要求電文６０１を受けとると、これに対してオンライン応答電文６０２が製造装置へ送信される。ついで、製造装置からロット搬入要求電文６０３が出されると、ホストコンピュータ１２は当該製造装置へロットの搬入が可能であるか否かを判定する（Ｓ１０１）。搬入不可能のときには待機し、搬入可能であれば製造装置へ要求応答電文６０４が発せられる。
【００２３】
ついで、ホストコンピュータ１２はロットを指定し、Ｆｒｏｍ／ｔｏの指示電文６０５（搬送指示電文）を搬送コンピュータ１３へ送信する。搬送コンピュータ１３はホストコンピュータ１２へ指示応答電文６０６を送信する。この後、搬送コンピュータ１３は作業報告としてのＦｒｏｍ完了電文６０７をホストコンピュータ１２へ送信し、これに対する応答電文６０８がホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ送信される。また、製造装置への搬入を知らせるため、Ｔｏ完了電文６０９が搬送コンピュータ１３からホストコンピュータ１２へ送信される（Ｓ１０２）。その応答電文６１０がホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ送られる。
【００２４】
この後、製造装置からホストコンピュータ１２に向けてロット搬入完了電文６１１が送信される。ホストコンピュータ１２はロット搬入完了電文６１１を受信した時点で製造装置へのロット搬入を認識する。そして、ホストコンピュータ１２は応答電文６１２を製造装置へ送信する。
【００２５】
次に、製造装置における処理が開始される（Ｓ１０３）。この処理は、製造装置からロット搬入完了電文６１１を受けたホストコンピュータ１２が処理開始要求電文６１３を送信し、これに対して製造装置から応答電文６１４が出されることにより開始される。製造装置側では、開始準備が完了するとロットの処理開始報告電文６１５をホストコンピュータ１２へ送信する。これによってホストコンピュータ１２は該当ロットが処理中であると見なし、更にホストコンピュータ１２から製造装置へ応答電文６１６を送信し、以後、製造装置は処理中の状態になる（Ｓ１０４）。この後、製造装置は処理が完了段階になると、処理完了予告電文６１７をホストコンピュータ１２へ送信する（Ｓ１０５）。そして、これに対する応答電文６１８がホストコンピュータ１２から製造装置へ送信される。この後、製造装置の搬入・搬出口が同一か否かの判定が行われる（Ｓ１０６）。このＳ１０６がパターン判別に相当し、搬入口と搬出口が同一であれば図３のパターンＩによる処理２００を実行し、搬入・搬出口が不同一、つまり搬入口と搬出口が別々であれば図４のパターンＩＩによる処理３００を実行する。
【００２６】
処理完了予告電文６１７は、現在処理しているロットがｎ時間後に完了することを予測して行われるため、ホストコンピュータ１２では該当する製造装置に次に仕掛けるロットを選別し、その該当ロットの搬送指示を搬送コンピュータ１３に行うことができる。したがって、完了予測のｎ時間の設定を搬送ロボットの搬送時間等を考慮して設定しておけば、実際に搬送した時の製造装置の待ち時間を最小にすることができる。また、製造装置のアラーム等によって処理時間に遅れが生じた場合でも、搬送スケジュールの誤差を少なくすることができる。更に、処理完了予告を製造装置側で行うことにより、ホストコンピュータ１２における時間監視の負担が軽減される。
【００２７】
次に、図３のフローチャート、及び図７のタイミングチャートを参照してパターンＩによる処理２００について説明する。
【００２８】
このパターンＩの処理は、ホストコンピュータ１２が処理完了予告を受けて搬送コンピュータ１３に指示を行う場合は単一の搬送ロボットで次に処理するロットを指定の製造装置へ搬送し、処理後のロットを当該製造装置から回収し、次に処理すべきロットを当該製造装置へ搬入するように指示するものである。
【００２９】
まず、搬送ロボットに対し、次に処理すべきロットの搬送指示が出される（Ｓ２０１）。この指示は、ホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ次ロット搬送指示電文７０１を送出することにより行われ、搬送コンピュータ１３からは応答電文７０２がホストコンピュータ１２へ返信される。この後、搬送コンピュータ１３からホストコンピュータ１２へＦｒｏｍ完了電文７０２が送信され、これに対して応答７０３が返信される。製造装置にロットが搬入され、当該製造装置における処理が完了すると、処理完了報告７０５がホストコンピュータ１２へ送信される。
【００３０】
ついで、搬送ロボットが次に処理すべきロットを搬送し、目的の製造装置の前に到達すると、Ｔｏ着指示待ち電文７０７が搬送コンピュータ１３からホストコンピュータ１２へ送信され、これに対してホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ応答電文７０８が発せられると、待機状態に入る（Ｓ２０２）。更に、Ｓ７０５を基にロット搬出が可能か否かの判定が行われ（Ｓ２０３）、不可能の場合にはＳ２０２以降の処理を再実行し、搬出可能であれば回収指示を実行する（Ｓ２０４）。この回収指示は、製造装置からホストコンピュータ１２へ搬出要求７０９（その応答電文が７１０）が出され、ホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ回収指示電文７１１（その応答電文が７１２）が出されることにより開始される。
【００３１】
その後、次のロットが製造装置へ搬入可能か否かを判定する（Ｓ２０５）。この処理は、ホストコンピュータ１２が搬送コンピュータ１３から回収完了電文７１３（その応答電文が７１４）を受信したこと、製造装置から搬出完了報告電文７１５（その応答電文が７１６）を受信したこと、更に、製造装置から搬入要求電文７１７（その応答電文が７１８）があったことをもって実行される。
【００３２】
更に、Ｓ２０５で搬入可能の判断があった場合、搬入指示が出される（Ｓ２０６）。この処理は、製造装置から搬入要求電文７１７が有り、ホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ搬入指示電文７１９が送信され、搬送コンピュータ１３から応答電文７２０が有ったことをもって実行され、次のロットが製造装置に搬入される。ロット搬入が完了すると、ホストコンピュータ１２に対し、搬送コンピュータ１３から搬入完了電文７２１（その応答電文が７２２）が送信され、更に、製造装置から搬入完了電文７２３（その応答電文が７２４）が送信される。搬入後の処理は、図６のロット搬入完了電文６１１以後の処理と同じになる。
【００３３】
ついで、搬送指示が出される（Ｓ２０７）。この搬送は回収完了電文７１３に基づいて回収したロットを次の場所へ搬送するものであり、ホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ搬送指示電文７２５（その応答電文が７２６）が出されたことをもって開始される。そして、搬送コンピュータ１３からホストコンピュータ１２へＴｏ完了電文７２８（その応答電文が７２９）が出された時点で搬送が完了する。
【００３４】
次に、図４のフローチャート、及び図８のタイミングチャートを参照してパターンＩＩによる処理３００について説明する。
【００３５】
パターンＩＩの処理は複数台の搬送ロボットで運用され、次に処理すべきロットの搬送指示を搬送ロボット＃１へ送出する。そして、回収作業と回収後の搬送作業は搬送ロボット＃２で実行するように指示がなされる。
【００３６】
この処理３００は、ホストコンピュータ１２から搬送コンピュータ１３へ次ロット搬送指示電文８０１（その応答電文が８０２）を送信することにより開始される（Ｓ３０１）。ここで従事するのは搬送ロボット＃１であり、次に処理すべきロットを搬送する。また、ホストコンピュータ１２から搬送コンピュータに対する回収指示電文８０３（その応答電文が８０４）を搬送コンピュータ１３へ送信する。更に、搬送コンピュータ１３からホストコンピュータ１２に対し、搬送ロボット＃２のＴｏ着指示待ち電文８０５（その応答電文が８０６）を送信する。ついで、搬送ロボット＃１Ｆｒｏｍ完了電文８０７（その応答電文が８０８）を搬送コンピュータ１３からホストコンピュータ１２へ送信する。この電文８０７から、ホストコンピュータ１２は指定の装置へロットが搬送されていることを確認できる。
【００３７】
この後、製造装置前待機処理が実行される（Ｓ３０２）。この処理は、搬送ロボット＃１が次に処理すべきロットを搬送し、目的の製造装置の前に到着し、搬入口の前で待機するものである。まず、製造装置からホストコンピュータ１２へ処理完了報告電文８０９（その応答電文が８１０）が送信され、搬送コンピュータ１３からホストコンピュータ１２へ搬送ロボット＃１Ｔｏ着指示待ち電文８１１（その応答電文が８１２）が送信されたことをもって実行される。
【００３８】
ついで、ロットの搬入が可能か否かの判定が行われる（Ｓ３０３）。この処理は、次ロット搬送指示電文８０１で指定されたロットを製造装置へ搬入するために行うもので、製造装置からの搬入要求８２３（その応答電文が８２４）を受け取ったことに基づいて行われる。
【００３９】
この後、搬入指示の処理が実行される（Ｓ３０４）。この処理は、製造装置からの搬入要求８２３を受信し、搬入可能と判断された場合、ホストコンピュータ１２は搬送コンピュータ１３へ次ロット搬送指示電文８０１で指示されたロットを搬入するように搬入指示電文８２５（その応答電文が８２６）を送信する。なお、搬入後の処理開始は、図６のロット搬入完了電文６１１以後の処理と同じになる。
【００４０】
次に、搬送ロボット＃２における処理３００について説明する。製造装置からの処理完了予告電文６１７（図６）を受信したホストコンピュータ１２は、搬送コンピュータ１３に対して回収指示電文８０３を送信する。これを受信した搬送コンピュータ１３は搬送ロボット＃２に回収場所まで移動して待機するように指示する。搬送ロボット＃２の移動が完了すると、搬送コンピュータ１３は到着完了電文８０５をホストコンピュータ１２へ送信する。
【００４１】
この後、ロットの搬出が可能か否かを判定する（Ｓ３０６）。この判定は、ホストコンピュータ１２が製造装置から処理完了電文８０９及び搬出要求電文８１３を受信したことをもって実行される。ついで、回収指示の処理が行われる（Ｓ３０７）。この処理は、製造装置がロットの搬出要求８１３をホストコンピュータ１２へ送信し、搬送ロボット＃２が製造装置前で待機しているときに搬送コンピュータ１３に回収指示を送信するものである。搬送コンピュータ１３からホストコンピュータ１２へ搬送ロボット＃２回収完了電文８１７（その応答電文が８１８）が送信される。その後、製造装置からホストコンピュータ１２へ搬出完了電文８１９（その応答電文が８２０）が送信される。
【００４２】
更に、搬送指示の処理が行われる（Ｓ３０８）。搬送ロボット＃２回収完了電文８１７に基づいて回収したロットを次の場所へ搬送するため、搬送コンピュータ１３に対して搬送指示電文８２１（その応答電文が８２２）が送信され、その後、製造装置は作業完了電文８２７（その応答電文が８２８）をホストコンピュータ１２へ送信する。ついで、搬送コンピュータ１３からホストコンピュータ１２へ搬送ロボット＃１搬入完了電文８２９（その応答電文が８３０）が送信され、以後、電文８０１以降の処理（８３１）が繰り返し実行される。
【００４３】
なお、上記の説明においては、搬送ロボットによって製造装置へロットを搬入・搬出するものとしたが、本発明は製造装置に限定されるものではなく、搬送ロボットによる搬送を必要とする装置の全てに適用することができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に示した本発明は、ロボットが被搬送品を装置へ搬入後、前記被搬送品に対して前記装置による処理が完了する前に完了予告を前記装置から前記ホストコンピュータへ送信するようにしたので、次に装置に仕掛けるロットを選別し、その該当ロットの搬送指示を搬送コンピュータに行えるようになり、装置はロボットによる回収待ちの時間を最小にすることができ、装置の稼働率を向上させることができる。また、製造装置のアラーム等によって処理時間に遅れが生じた場合でも、搬送スケジュールの誤差を少なくすることができる。
【００４５】
また、装置からの完了予告をホストコンピュータで受信後、前記装置の搬入口と搬出口が同一であるか否かにより、第１のパターンによる搬送処理と第２のパターンによる搬送処理とを使い分けるようにしたので、被搬送品の搬送を装置の構造（タイプ）に応じて最適なロボット運用ができ、装置はロボットによる回収待ちの時間を最小にすることができる。
【００４６】
請求項２に示した本発明は、前記第１のパターンによる搬送処理は１台のロボットで前記被搬送品の搬入及び搬出を行い、前記第２のパターンによる搬送処理は複数台のロボットを用いて前記被搬送品の搬入及び搬出を行うようにしたので、装置のタイプに応じて最適なロボットの運用が可能になり、装置はロボットによる回収待ちの時間を最小にすることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるロボット搬送方法の主な処理を示すフローチャートである。
【図２】図１におけるパターン判別処理の詳細を示すフローチャートである。
【図３】図１におけるパターンＩの処理の詳細を示すフローチャートである。
【図４】図１におけるパターンＩＩの処理の詳細を示すフローチャートである。
【図５】本発明が適用される搬送ラインの概略を示す構成図である。
【図６】図１のパターン判別処理におけるタイミングチャートである。
【図７】図１のパターンＩの処理におけるタイミングチャートである。
【図８】図１のパターンＩＩの処理におけるタイミングチャートである。
【図９】従来のロボット搬送方法における処理パターンを示す説明図である。
【符号の説明】
１ 搬送ロボット
３，４，５，６，８，９，１０，１１ 製造装置
７ 製品棚
１２ ホストコンピュータ
１３ 搬送コンピュータ[Title of invention] Robot transport method [Claims]
1. A robot transport method in which a robot is managed by a transport computer positioned below a host computer, and the robot transports an item to and from a manufacturing device or other device, comprising:
After the robot carries the transported object into the device, a completion notice is sent from the device to the host computer before the processing of the transported object by the device is completed;
After receiving the completion notice, the host computer determines whether the device has a port with an entrance and an exit that are the same port, and selects the next lot of transported goods to be loaded into the device.
When the result of the determination is that the inlet and outlet of the device are the same port, the transport process of the transported item is executed via the transport computer based on a first pattern, and when the inlet and outlet are different ports, the transport process of the transported item is executed via the transport computer based on a second pattern.
A robot transport method comprising:
[Claim 2] A robot transport method as described in claim 1, characterized in that the transport process using the first pattern involves using one robot to load and unload the transported item, and the transport process using the second pattern involves using multiple robots to load and unload the transported item.
Detailed Description of the Invention
[0001]
[Technical Field to which the Invention Belongs]
The present invention relates to a robot transport method, and more particularly to a robot transport method for operating a plurality of manufacturing devices with minimal waiting time.
[0002]
2. Description of the Related Art
For example, in a manufacturing factory, robots are used to transport parts and products to and from each of a number of manufacturing devices, or to transfer parts and products between the devices, and a transport computer is used to control these robots. A host computer is also used to manage the entire system of manufacturing devices and transport computers.
[0003]
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a processing pattern in a conventional robot transport method.
[0004]
First, when an online request message 901 is sent from the manufacturing equipment to the host computer, the host computer sends an online response message 902. Next, when the host computer receives a lot request message 903 from each of the manufacturing equipment, it returns a response signal message 904 to the manufacturing equipment. Based on the lot request message 903, the host computer can know whether or not delivery is possible.
[0005]
Next, the host computer outputs a robot transport and delivery instruction telegram 905 to the transport computer. Thereafter, as work reports from the transport computer, the transport computer issues a from completion signal telegram 907 and a to completion signal telegram 909 to the host computer, and in response, the host computer outputs response signal telegrams 908 and 910 to the transport computer. Thereafter, when the host computer receives a lot delivery completion signal telegram 911 from the manufacturing equipment, the host computer replies with a response telegram 912 to the manufacturing equipment. Upon receiving this delivery completion, the host computer confirms that the lot has been delivered to the manufacturing equipment.
[0006]
Next, a processing start request telegram 913 is sent from the host computer to the manufacturing equipment. In response, a response telegram 914 is sent from the manufacturing equipment to the host computer. Next, when the manufacturing equipment is ready to start processing, the manufacturing equipment sends a processing start telegram 915 to the host computer. Upon receiving this report, the host computer sends a response telegram 916 to the manufacturing equipment. By sending this response telegram 916, the host computer considers the lot in question to be in processing.
[0007]
Next, when the manufacturing equipment finishes processing the lot in progress, it sends a processing completion telegram 917 to the host computer. When the manufacturing equipment is ready to continue with the unloading, it sends a lot unloading request telegram 919 to the host computer. In response, the host computer sends a response telegram 920 back to the manufacturing equipment. After this, the transport computer sends a From completion telegram 923 to the host computer to indicate the completion of the work, and in response, the host computer sends a response telegram 924 to the transport computer. Next, the host computer receives a Lot Unloading Completion telegram 925 from the manufacturing equipment, and in response, sends a response telegram 926 to the manufacturing equipment. After this, the host computer receives a To completion telegram 927 from the transport computer, and in response, sends a response telegram 928 to the transport computer.
[0008]
[Problem to be solved by the invention]
However, in the conventional method, the host computer receives a carry-out request message from the manufacturing equipment and then sends a collection transport instruction message to the transport computer, and the manufacturing equipment remains in a collection waiting state until the robot runs and collects the lot, which causes a problem of low operation rate of the manufacturing equipment.
[0009]
Furthermore, even when transporting lots from the second time onwards, the robot had to wait for the lot to be transported after the previous lot was collected and before the next lot could be transported, so it was not possible to increase the operating rate of the manufacturing equipment and the number of production units beyond a certain level.
[0010]
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a robot transport method that can shorten the waiting time for a robot to collect a lot and the waiting time for the next lot to be transported.
[0011]
[Means for solving the problem]
A method for realizing the object of the present invention, as described in claim 1, is a robot transport method in which a robot is managed by a transport computer positioned below a host computer, and the robot transports an object to and from a device such as a manufacturing device, comprising:
After the robot carries the transported object into the device, a completion notice is sent from the device to the host computer before the processing of the transported object by the device is completed;
After receiving the completion notice, the host computer determines whether the device has a port with an entrance and an exit that are the same port, and selects the next lot of transported goods to be loaded into the device.
When the result of the determination is that the inlet and outlet of the device are the same port, the transport process of the transported item is executed via the transport computer based on a first pattern, and when the inlet and outlet are different ports, the transport process of the transported item is executed via the transport computer based on a second pattern.
The robot transport method.
[0012]
According to this method, before the processing of a loaded lot is completed, the equipment reports to the host computer a completion notice indicating how many hours it will take to complete the processing. This allows the next lot to be selected for the equipment and a transport instruction for that lot to be sent to the transport computer. Therefore, the robot can be prepared for collection and loading before processing is completed, minimizing the time the equipment has to wait for the robot to collect the lot. Furthermore, even if a processing delay occurs due to an alarm or other reason in the manufacturing equipment, errors in the transport schedule can be reduced.
[0013]
In addition, the robot operation pattern differs depending on whether the equipment port has a common inlet and outlet or whether the inlet and outlet are separate ports. This allows the robot to be used optimally to transport the items according to the equipment structure (type), minimizing the time the equipment has to wait for collection by the robot.
[0014]
A specific method for realizing the object of the invention of this application is a robot transport method, as described in claim 2 , in which the transport process according to the first pattern uses one robot to load and unload the transported item, and the transport process according to the second pattern uses multiple robots to load and unload the transported item.
[0015]
According to this method, if the equipment has a carry-in and a carry-out port in the same port, one robot will transport the transported item, but if the equipment has a carry-in and a carry-out port in separate ports, a robot will be assigned to each of the carry-in and the carry-out ports to carry out the transport process. As a result, it is possible to operate the robot optimally according to the type of equipment, and it is possible to minimize the time the equipment has to wait for the robot to collect the item.
[0016]
[Embodiments of the Invention]
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0017]
Fig. 1 is a flowchart showing the main processing of the robot transfer method according to the present invention. Furthermore, Fig. 2 is a flowchart showing details of the pattern discrimination processing in Fig. 1, Fig. 3 is a flowchart showing details of the processing of pattern I (first pattern) in Fig. 1, and Fig. 4 is a flowchart showing details of the processing of pattern II (second pattern) in Fig. 1.
[0018]
Here, an overview of the transfer line will be described with reference to FIG. 5 . Transfer robot 1 can reciprocate along transfer path 2. On one side of transfer path 2, manufacturing devices 3, 4, 5, and 6 and product shelf 7 are installed consecutively along transfer path 2. On the other side of transfer path 2, manufacturing devices 8, 9, 10, and 11 are installed. In other words, eight manufacturing devices are in operation here, and manufacturing devices 3, 4, and 5 and manufacturing devices 9, 10, and 11 use the same port for loading and unloading. Furthermore, manufacturing devices 6 and 8 have ports installed in separate locations so that loading and unloading can be performed simultaneously. Furthermore, product shelf 7 is a shelf for storing carriers (lots) containing workpieces (wafers in this case). A host computer 12 is connected to manufacturing devices 3 to 6 and 8 to 11. A transfer computer 13 that manages transfer robot 1 is connected to this host computer 12.
[0019]
In a line configured in this manner, the transport robot 1 retrieves a lot from the product shelf 7 in accordance with instructions from the host computer 12, transports it to the designated manufacturing device, and transports (collects) the processed lot to another manufacturing device or the product shelf 7.
[0020]
As shown in Fig. 1, the robot transport method according to the present invention is roughly divided into three blocks: (1) pattern discrimination process 100, (2) process by pattern I, and (3) process by pattern II. Process 200 by pattern I is a process targeted at manufacturing equipments 3 to 5 and 9 to 11 shown in Fig. 5, and process 300 by pattern II is a process targeted at manufacturing equipments 6 and 8. Pattern discrimination process 100 determines whether process 200 or process 300 applies.
[0021]
Next, the pattern discrimination process 100 will be described with reference to the flowchart of Fig. 2 and the timing chart of Fig. 6. In Figs. 2 to 4, "S" denotes a step.
[0022]
6, when the host computer 12 receives an online request message 601 from a manufacturing device, it transmits an online response message 602 to the manufacturing device. Next, when the manufacturing device issues a lot delivery request message 603, the host computer 12 determines whether or not the lot can be delivered to the manufacturing device (S101). If delivery is not possible, the host computer 12 waits, and if delivery is possible, it issues a request response message 604 to the manufacturing device.
[0023]
Next, the host computer 12 specifies a lot and transmits a From/To instruction telegram 605 (transport instruction telegram) to the transport computer 13. The transport computer 13 transmits an instruction response telegram 606 to the host computer 12. After this, the transport computer 13 transmits a From completion telegram 607 as a work report to the host computer 12, and a response telegram 608 in response thereto is transmitted from the host computer 12 to the transport computer 13. Furthermore, a To completion telegram 609 is transmitted from the transport computer 13 to the host computer 12 to notify that the product has been carried into the manufacturing equipment (S102). This response telegram 610 is then transmitted from the host computer 12 to the transport computer 13.
[0024]
Thereafter, a lot delivery completion message 611 is sent from the manufacturing equipment to the host computer 12. The host computer 12 recognizes that the lot has been delivered to the manufacturing equipment upon receiving the lot delivery completion message 611. The host computer 12 then sends a response message 612 to the manufacturing equipment.
[0025]
Next, processing in the manufacturing equipment is initiated (S103). This processing begins when the host computer 12, upon receiving a lot delivery completion telegram 611 from the manufacturing equipment, sends a processing start request telegram 613, to which the manufacturing equipment responds with a response telegram 614. Once the manufacturing equipment is ready to start, it sends a lot processing start report telegram 615 to the host computer 12. This causes the host computer 12 to consider the lot as being in processing, and the host computer 12 then sends a response telegram 616 to the manufacturing equipment, after which the manufacturing equipment enters a processing in progress state (S104). After this, when the processing of the manufacturing equipment reaches the completion stage, it sends a processing completion notice telegram 617 to the host computer 12 (S105). Then, a response telegram 618 is sent from the host computer 12 to the manufacturing equipment. It is then determined whether the loading and unloading ports of the manufacturing equipment are the same (S106). This step S106 corresponds to pattern discrimination, and if the loading entrance and unloading exit are the same, processing 200 according to pattern I in Figure 3 is executed, and if the loading entrance and unloading exit are not the same, that is, if the loading entrance and unloading exit are separate, processing 300 according to pattern II in Figure 4 is executed.
[0026]
Since the processing completion notice telegram 617 is sent by predicting that the currently processed lot will be completed in n hours, the host computer 12 can select the next lot to be loaded into the corresponding manufacturing equipment and issue a transport instruction for that lot to the transport computer 13. Therefore, if the predicted completion time n hours is set taking into account the transport time of the transport robot, etc., it is possible to minimize the waiting time of the manufacturing equipment when the lot is actually transported. Furthermore, even if a delay in processing time occurs due to an alarm or the like of the manufacturing equipment, it is possible to reduce errors in the transport schedule. Furthermore, by having the manufacturing equipment issue the processing completion notice, the burden of time monitoring on the host computer 12 is reduced.
[0027]
Next, the process 200 according to pattern I will be described with reference to the flowchart of FIG. 3 and the timing chart of FIG.
[0028]
In the processing of Pattern I, when the host computer 12 receives a notice of processing completion and instructs the transport computer 13, it instructs the single transport robot to transport the next lot to be processed to a designated manufacturing device, retrieve the processed lot from the manufacturing device, and load the next lot to be processed into the manufacturing device.
[0029]
First, an instruction to transport the next lot to be processed is issued to the transport robot (S201). This instruction is given by sending a next lot transport instruction message 701 from the host computer 12 to the transport computer 13, and the transport computer 13 returns a response message 702 to the host computer 12. Thereafter, the transport computer 13 sends a From completion message 702 to the host computer 12, and a response 703 is returned in response to this. When the lot is carried into the manufacturing equipment and processing in that manufacturing equipment is completed, a processing completion report 705 is sent to the host computer 12.
[0030]
Next, when the transport robot transports the next lot to be processed and arrives in front of the target manufacturing equipment, a To Arrival instruction waiting telegram 707 is sent from the transport computer 13 to the host computer 12, and when the host computer 12 responds by issuing a response telegram 708 to the transport computer 13, the system enters a standby state (S202). Furthermore, a determination is made based on S705 as to whether or not the lot can be transported (S203). If not, the process from S202 onward is re-executed, and if transport is possible, a recovery instruction is issued (S204). This recovery instruction is initiated when the manufacturing equipment issues a carry-out request 709 (response telegram 710) to the host computer 12, and the host computer 12 issues a recovery instruction telegram 711 (response telegram 712) to the transport computer 13.
[0031]
Thereafter, it is determined whether the next lot can be carried into the manufacturing equipment (S205). This process is executed when the host computer 12 receives a collection completion message 713 (response message 714) from the transport computer 13, a carry-out completion report message 715 (response message 716) from the manufacturing equipment, and a carry-in request message 717 (response message 718) from the manufacturing equipment.
[0032]
Furthermore, if it is determined in S205 that loading is possible, a load instruction is issued (S206). This process is executed when a load request telegram 717 is received from the manufacturing equipment, a load instruction telegram 719 is sent from the host computer 12 to the transport computer 13, and a response telegram 720 is received from the transport computer 13, and the next lot is loaded into the manufacturing equipment. When the lot loading is complete, a load completion telegram 721 (with a response telegram 722) is sent from the transport computer 13 to the host computer 12, and then a load completion telegram 723 (with a response telegram 724) is sent from the manufacturing equipment. The processing after loading is the same as the processing after the lot loading completion telegram 611 in FIG. 6.
[0033]
Next, a transport instruction is issued (S207). This transport is to transport the lot that has been collected based on the collection completion telegram 713 to the next location, and is initiated when a transport instruction telegram 725 (with a corresponding response telegram 726) is sent from the host computer 12 to the transport computer 13. The transport is then completed when a To completion telegram 728 (with a corresponding response telegram 729) is sent from the transport computer 13 to the host computer 12.
[0034]
Next, the process 300 according to Pattern II will be described with reference to the flowchart of FIG. 4 and the timing chart of FIG.
[0035]
Pattern II processing is performed using multiple transfer robots, and a transfer instruction for the next lot to be processed is sent to transfer robot #1. Then, an instruction is given to transfer robot #2 to perform the retrieval work and the post-retrieval transport work.
[0036]
This process 300 begins by sending a next lot transport instruction message 801 (with a response message 802) from the host computer 12 to the transport computer 13 (S301). The transport robot #1 is engaged here, transporting the next lot to be processed. The host computer 12 also sends a recovery instruction message 803 (with a response message 804) to the transport computer 13. The transport computer 13 then sends a To Arrival instruction waiting message 805 for transport robot #2 (with a response message 806) to the host computer 12. Next, the transport computer 13 sends a completion message 807 (with a response message 808) for transport robot #1 to the host computer 12. From this message 807, the host computer 12 can confirm that the lot has been transported to the designated device.
[0037]
After this, a standby process in front of the manufacturing equipment is executed (S302). In this process, the transport robot #1 transports the next lot to be processed, arrives in front of the target manufacturing equipment, and waits in front of the entrance. First, a processing completion report message 809 (a response message 810) is sent from the manufacturing equipment to the host computer 12, and then a wait command message 811 for the transport robot #1 to arrive (a response message 812) is sent from the transport computer 13 to the host computer 12. This process is executed when this message is sent.
[0038]
Next, it is determined whether or not the lot can be carried in (S303). This process is performed to carry in the lot designated in the next lot transport instruction message 801 to the manufacturing equipment, and is performed based on receipt of a carry-in request 823 (the response message to which is 824) from the manufacturing equipment.
[0039]
Thereafter, the process of the carry-in instruction is executed (S304). In this process, the host computer 12 receives a carry-in request 823 from the manufacturing equipment, and if it is determined that the carry-in is possible, the host computer 12 sends a carry-in instruction telegram 825 (the response telegram is 826) to the transport computer 13 to request the transport of the lot specified in the next lot transport instruction telegram 801. The start of the process after the carry-in is the same as the process after the lot carry-in completion telegram 611 in FIG. 6.
[0040]
Next, the process 300 in the transfer robot #2 will be described. Upon receiving the process completion notice telegram 617 (FIG. 6) from the manufacturing equipment, the host computer 12 sends a recovery instruction telegram 803 to the transfer computer 13. Upon receiving this, the transfer computer 13 instructs the transfer robot #2 to move to the recovery location and wait there. When the movement of the transfer robot #2 is completed, the transfer computer 13 sends an arrival completion telegram 805 to the host computer 12.
[0041]
Thereafter, it is determined whether or not the lot can be unloaded (S306). This determination is made when the host computer 12 receives a processing completion telegram 809 and a carry-out request telegram 813 from the manufacturing equipment. Next, a recovery instruction is processed (S307). In this process, the manufacturing equipment transmits a lot unloading request 813 to the host computer 12, and then transmits a recovery instruction to the transfer computer 13 when the transport robot #2 is waiting in front of the manufacturing equipment. A transfer robot #2 recovery completion telegram 817 (with a response telegram 818) is transmitted from the transfer computer 13 to the host computer 12. Then, a carry-out completion telegram 819 (with a response telegram 820) is transmitted from the manufacturing equipment to the host computer 12.
[0042]
Furthermore, a transfer instruction process is performed (S308). In order to transfer the lot recovered based on the transfer robot #2 recovery completion telegram 817 to the next location, a transfer instruction telegram 821 (with a response telegram 822) is sent to the transfer computer 13, and then the manufacturing equipment transmits a work completion telegram 827 (with a response telegram 828) to the host computer 12. Next, a transfer robot #1 loading completion telegram 829 (with a response telegram 830) is sent from the transfer computer 13 to the host computer 12, and thereafter, the processes (831) from telegram 801 onwards are repeatedly executed.
[0043]
In the above explanation, lots are transported into and out of the manufacturing equipment by a transport robot, but the present invention is not limited to manufacturing equipment and can be applied to all equipment that requires transportation by a transport robot.
[0044]
[Effects of the Invention]
As described above, in the present invention, after a robot carries an item into a device, a completion notice is sent from the device to the host computer before the device completes processing of the item. This allows the device to select the next lot to be loaded into the device and issue a transport instruction for that lot to the transport computer, minimizing the time the device waits for collection by the robot and improving the device's operating rate. Furthermore, even if a delay in processing occurs due to an alarm or the like in the manufacturing device, errors in the transport schedule can be reduced.
[0045]
Furthermore, after the host computer receives a completion notice from the device , it selectively uses the first pattern of transport processing or the second pattern of transport processing depending on whether the inlet and outlet of the device are the same or not. This allows the robot to be optimally operated to transport the transported items depending on the structure (type) of the device, and minimizes the time the device has to wait for collection by the robot.
[0046]
In the present invention as set forth in claim 2 , the transport process according to the first pattern uses one robot to carry in and out the transported items, and the transport process according to the second pattern uses multiple robots to carry in and out the transported items, thereby making it possible to operate the robots optimally according to the type of equipment, and minimizing the time that equipment has to wait for collection by the robots.
[Brief explanation of the drawings]
FIG. 1 is a flowchart showing the main steps of a robot transport method according to the present invention.
2 is a flowchart showing details of the pattern discrimination process in FIG. 1;
3 is a flowchart showing details of the processing of pattern I in FIG. 1;
4 is a flowchart showing details of the processing of pattern II in FIG. 1;
FIG. 5 is a schematic diagram showing a conveying line to which the present invention is applied.
6 is a timing chart of the pattern discrimination process of FIG. 1;
7 is a timing chart of the process of pattern I in FIG. 1;
8 is a timing chart of the process of pattern II in FIG. 1;
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a processing pattern in a conventional robot transport method.
[Explanation of symbols]
1 Transport robot 3, 4, 5, 6, 8, 9, 10, 11 Manufacturing equipment 7 Product shelf 12 Host computer 13 Transport computer