JPH10135101A - スピンコータ - Google Patents
スピンコータInfo
- Publication number
- JPH10135101A JPH10135101A JP8283681A JP28368196A JPH10135101A JP H10135101 A JPH10135101 A JP H10135101A JP 8283681 A JP8283681 A JP 8283681A JP 28368196 A JP28368196 A JP 28368196A JP H10135101 A JPH10135101 A JP H10135101A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spin
- wafer
- cup
- heat transfer
- wall plate
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- Pending
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 レジスト膜の膜厚がウエハ面内や各ウエハ間
でばらつかないようにしたスピンコータを提供する。 【解決手段】 スピンコータ２０は、スピンチャック１
４と、スピンカップ２２と、スピンカップ２０とを備え
ている。スピンカップ２２には、内壁板２４及び外壁板
２６と、両壁板の間に互いに等間隔で蛇管状に配設され
た伝熱管２８とが備えられている。ウエハ１２にレジス
ト膜を形成する際、温調水を伝熱管２８に通水し、次い
で、従来と同様にして、レジスト膜を塗布し、洗浄液を
吹き付けてウエハの周辺や裏側に形成されたレジスト膜
部分を溶解、除去する。これにより、洗浄液がスピンカ
ップ２２内に飛散して気化熱を奪っても、スピンカップ
２２内の雰囲気温度は所定温度範囲内に維持される。従
って、順次ウエハにコーティングをする過程でウエハ温
度が下がらないので、レジスト膜を均一に形成すること
ができる。
でばらつかないようにしたスピンコータを提供する。 【解決手段】 スピンコータ２０は、スピンチャック１
４と、スピンカップ２２と、スピンカップ２０とを備え
ている。スピンカップ２２には、内壁板２４及び外壁板
２６と、両壁板の間に互いに等間隔で蛇管状に配設され
た伝熱管２８とが備えられている。ウエハ１２にレジス
ト膜を形成する際、温調水を伝熱管２８に通水し、次い
で、従来と同様にして、レジスト膜を塗布し、洗浄液を
吹き付けてウエハの周辺や裏側に形成されたレジスト膜
部分を溶解、除去する。これにより、洗浄液がスピンカ
ップ２２内に飛散して気化熱を奪っても、スピンカップ
２２内の雰囲気温度は所定温度範囲内に維持される。従
って、順次ウエハにコーティングをする過程でウエハ温
度が下がらないので、レジスト膜を均一に形成すること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スピンコータに関
し、更に詳しくは、レジスト膜の膜厚がウエハ面内や各
ウエハ間で均一になるようにしてレジスト膜を塗布する
ように改良したスピンコータに関するものである。
し、更に詳しくは、レジスト膜の膜厚がウエハ面内や各
ウエハ間で均一になるようにしてレジスト膜を塗布する
ように改良したスピンコータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造では、ウエハ上にレジ
スト膜を塗布する際、一般に、スピンコータを用いてコ
ーティングしている。図２は、従来のスピンコータの側
面断面図である。従来のスピンコータ１０は、水平な保
持面上にウエハ１２を保持し、垂直な回転軸の周りにウ
エハ１２を回転させるスピンチャック１４と、レジスト
溶液をウエハ上に滴下するノズル１５と、洗浄液をウエ
ハ１２の下面に吹き付ける洗浄用ノズル１７と、ウエハ
１２の周りを包囲するように設けられたスピンカップ１
６と、スピンカップ１６内に連通して接続されたドレイ
ン配管１８とを備えている。スピンカップ１６は、付着
したレジスト溶液を洗浄し易くするために、通常、ステ
ンレス鋼製である。
スト膜を塗布する際、一般に、スピンコータを用いてコ
ーティングしている。図２は、従来のスピンコータの側
面断面図である。従来のスピンコータ１０は、水平な保
持面上にウエハ１２を保持し、垂直な回転軸の周りにウ
エハ１２を回転させるスピンチャック１４と、レジスト
溶液をウエハ上に滴下するノズル１５と、洗浄液をウエ
ハ１２の下面に吹き付ける洗浄用ノズル１７と、ウエハ
１２の周りを包囲するように設けられたスピンカップ１
６と、スピンカップ１６内に連通して接続されたドレイ
ン配管１８とを備えている。スピンカップ１６は、付着
したレジスト溶液を洗浄し易くするために、通常、ステ
ンレス鋼製である。
【０００３】ウエハ１２にレジスト膜を形成するには、
スピンチャック１４上に保持されたウエハ１２の上面に
ノズル１５からレジスト溶液を滴下し、次いで、ウエハ
１２を回転させ、レジスト溶液を遠心力により広げてレ
ジスト膜を塗布する。更に、レジスト溶液がウエハの周
辺や裏側に回り込んで形成されたレジスト膜部分に、シ
ンナーなどの揮発性の洗浄液を洗浄用ノズル１７から吹
き付け、不要なレジスト膜の部分を溶解、除去してい
る。
スピンチャック１４上に保持されたウエハ１２の上面に
ノズル１５からレジスト溶液を滴下し、次いで、ウエハ
１２を回転させ、レジスト溶液を遠心力により広げてレ
ジスト膜を塗布する。更に、レジスト溶液がウエハの周
辺や裏側に回り込んで形成されたレジスト膜部分に、シ
ンナーなどの揮発性の洗浄液を洗浄用ノズル１７から吹
き付け、不要なレジスト膜の部分を溶解、除去してい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、塗布された
揮発性の洗浄液は、ウエハの回転による遠心力により飛
散してスピンカップ内に付着し、気化してスピンカップ
から気化熱を奪う。このため、スピンカップの温度及び
スピンカップ内の雰囲気温度が徐々に低下するので、ウ
エハの表面温度が下がる。このため、滴下したレジスト
溶液の温度が下がって流動性が低下し、遠心力による広
がり方が変化するので、レジスト膜の膜厚がウエハ面内
や各ウエハ間でばらつくという問題があった。以上のよ
うな事情に照らして、本発明の目的は、レジスト膜の膜
厚がウエハ面内や各ウエハ間で均一になるようにしてレ
ジスト膜を塗布するスピンコータを提供する。
揮発性の洗浄液は、ウエハの回転による遠心力により飛
散してスピンカップ内に付着し、気化してスピンカップ
から気化熱を奪う。このため、スピンカップの温度及び
スピンカップ内の雰囲気温度が徐々に低下するので、ウ
エハの表面温度が下がる。このため、滴下したレジスト
溶液の温度が下がって流動性が低下し、遠心力による広
がり方が変化するので、レジスト膜の膜厚がウエハ面内
や各ウエハ間でばらつくという問題があった。以上のよ
うな事情に照らして、本発明の目的は、レジスト膜の膜
厚がウエハ面内や各ウエハ間で均一になるようにしてレ
ジスト膜を塗布するスピンコータを提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者は、加熱エアー
をスピンカップ外側に吹き付けてスピンカップ内の雰囲
気温度の低下の防止を試みたがが、あまり有効でなかっ
た。そこで、本発明者は、鋭意検討の結果、スピンカッ
プを温水を用いて加温することに着目し、本発明を完成
するに至った。上記目的を達成するために、本発明に係
るスピンコータは、水平な保持面上にウエハを保持し、
垂直な回転軸の周りに回転させるスピンチャックと、ス
ピンカップとを備えたスピンコータであって、スピンカ
ップは、熱伝導性の良好な金属板で形成され、ウエハチ
ャックの周囲を包囲するように設けられたカップ体と、
カップ体の外壁に密着して配設された伝熱管とを備え、
外部の温調水供給源から伝熱管に温調水を通水してカッ
プ体を加温するようにしたことを特徴としている。
をスピンカップ外側に吹き付けてスピンカップ内の雰囲
気温度の低下の防止を試みたがが、あまり有効でなかっ
た。そこで、本発明者は、鋭意検討の結果、スピンカッ
プを温水を用いて加温することに着目し、本発明を完成
するに至った。上記目的を達成するために、本発明に係
るスピンコータは、水平な保持面上にウエハを保持し、
垂直な回転軸の周りに回転させるスピンチャックと、ス
ピンカップとを備えたスピンコータであって、スピンカ
ップは、熱伝導性の良好な金属板で形成され、ウエハチ
ャックの周囲を包囲するように設けられたカップ体と、
カップ体の外壁に密着して配設された伝熱管とを備え、
外部の温調水供給源から伝熱管に温調水を通水してカッ
プ体を加温するようにしたことを特徴としている。
【０００６】本発明により、カップ内の雰囲気温度が所
定の温度範囲内に維持され、レジスト溶液の流動性が低
下しないので、レジスト膜の膜厚がウエハ面内や各ウエ
ハ間で均一になる。カップ体が内壁板と外壁板からなる
２重壁板で構成され、伝熱管は内壁板と外壁板との間に
備えられていると、伝熱性がよくなる。この場合、隣り
合う伝熱管と伝熱管との間に保温材が備えられている
と、カップ内の雰囲気温度をより容易に所定の温度範囲
内に維持できる。本発明の好適な実施態様として、伝熱
管は、入口から出口まで一本の管を連続して蛇管状又は
コイル状に配設してなる管体、若しくは入口ヘッダと出
口ヘッダとの間に設けられた複数本の管体で形成されて
いる。
定の温度範囲内に維持され、レジスト溶液の流動性が低
下しないので、レジスト膜の膜厚がウエハ面内や各ウエ
ハ間で均一になる。カップ体が内壁板と外壁板からなる
２重壁板で構成され、伝熱管は内壁板と外壁板との間に
備えられていると、伝熱性がよくなる。この場合、隣り
合う伝熱管と伝熱管との間に保温材が備えられている
と、カップ内の雰囲気温度をより容易に所定の温度範囲
内に維持できる。本発明の好適な実施態様として、伝熱
管は、入口から出口まで一本の管を連続して蛇管状又は
コイル状に配設してなる管体、若しくは入口ヘッダと出
口ヘッダとの間に設けられた複数本の管体で形成されて
いる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に、実施例を挙げ、添付図面
を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつより詳細
に説明する。実施例 本実施例は、スピンカップが、内壁板と外壁板とからな
る２重壁板から構成されているスピンコータの実施例で
ある。図１は、本実施例のスピンコータの側面断面図で
ある。本実施例のスピンコータ２０は、従来のスピンコ
ータ１０とは異なる構成のスピンカップ２２を備え、他
は同じである。よって、図１では、図２と同じ部品には
同じ符号を付してその説明を省略する。
を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつより詳細
に説明する。実施例 本実施例は、スピンカップが、内壁板と外壁板とからな
る２重壁板から構成されているスピンコータの実施例で
ある。図１は、本実施例のスピンコータの側面断面図で
ある。本実施例のスピンコータ２０は、従来のスピンコ
ータ１０とは異なる構成のスピンカップ２２を備え、他
は同じである。よって、図１では、図２と同じ部品には
同じ符号を付してその説明を省略する。
【０００８】スピンカップ２２は、ウエハチャック１４
の周囲を包囲するようにステンレス鋼製の内壁板２４及
び外壁板２６とからなる２重壁構造のカップ体２７と、
内壁板２４と外壁板２６との間に配設された伝熱管２８
とを備えている。内壁板２４と外壁板２６との間は全て
の部位にわたり等間隔である。レジスト膜形成時に飛散
してスピンカップ２２内に付着して底面に垂れたレジス
ト溶液が、ドレイン配管１８から排出されるように、ス
ピンカップ２２の底面は、やや傾斜している。伝熱管２
８は、入口から出口まで一本の管で連続し、互いにほぼ
等間隔なコイル状に配設され、内壁板２４に密着してい
る。また、隣り合う伝熱管と伝熱管との間には保温材が
充填されている。更に、伝熱管２８の端部は、温調水を
給排水する供給源（図示せず）及び排出口（図示せず）
とに接続され、それぞれの端部には着脱を容易にするク
イックカップラ３４Ａ、Ｂが取り付けられている。
の周囲を包囲するようにステンレス鋼製の内壁板２４及
び外壁板２６とからなる２重壁構造のカップ体２７と、
内壁板２４と外壁板２６との間に配設された伝熱管２８
とを備えている。内壁板２４と外壁板２６との間は全て
の部位にわたり等間隔である。レジスト膜形成時に飛散
してスピンカップ２２内に付着して底面に垂れたレジス
ト溶液が、ドレイン配管１８から排出されるように、ス
ピンカップ２２の底面は、やや傾斜している。伝熱管２
８は、入口から出口まで一本の管で連続し、互いにほぼ
等間隔なコイル状に配設され、内壁板２４に密着してい
る。また、隣り合う伝熱管と伝熱管との間には保温材が
充填されている。更に、伝熱管２８の端部は、温調水を
給排水する供給源（図示せず）及び排出口（図示せず）
とに接続され、それぞれの端部には着脱を容易にするク
イックカップラ３４Ａ、Ｂが取り付けられている。
【０００９】スピンコータ２０を用いてウエハ１２にレ
ジスト膜を形成する際、伝熱管２８に温調水を通水して
スピンカップ２２を加温することにより、内壁板２４内
の雰囲気温度を所定温度範囲内に維持する。次いで、従
来と同様にして、レジスト膜を塗布し、ウエハの周辺や
裏側に形成されたレジスト膜部分に洗浄用ノズル１７か
ら洗浄液を吹き付けて溶解、除去する。
ジスト膜を形成する際、伝熱管２８に温調水を通水して
スピンカップ２２を加温することにより、内壁板２４内
の雰囲気温度を所定温度範囲内に維持する。次いで、従
来と同様にして、レジスト膜を塗布し、ウエハの周辺や
裏側に形成されたレジスト膜部分に洗浄用ノズル１７か
ら洗浄液を吹き付けて溶解、除去する。
【００１０】本実施例では、レジスト膜を形成する際、
スピンカップ２２は加温されるので、洗浄液が飛散し、
気化してスピンカップから気化熱を奪っても、スピンカ
ップ２２の温度は所定温度範囲内に維持され、スピンカ
ップ２２内の雰囲気温度も所定温度範囲内に維持され
る。従って、順次ウエハにレジスト膜をコーティングす
る過程でウエハ温度は低下しないので、レジスト膜を面
内で均一に形成することができ、膜厚は各ウエハ間で均
一になる。また、伝熱管２８は、露出していないので、
回転しているウエハ１２が割れてスピンカップ２４内に
飛散しても伝熱管２８に直接衝突せず、損傷を受けな
い。また、内壁板２４がステンレス鋼製なので、飛散し
て内壁板２４に付着したレジスト溶液を洗浄して除去す
ることは、従来と同様に容易である。
スピンカップ２２は加温されるので、洗浄液が飛散し、
気化してスピンカップから気化熱を奪っても、スピンカ
ップ２２の温度は所定温度範囲内に維持され、スピンカ
ップ２２内の雰囲気温度も所定温度範囲内に維持され
る。従って、順次ウエハにレジスト膜をコーティングす
る過程でウエハ温度は低下しないので、レジスト膜を面
内で均一に形成することができ、膜厚は各ウエハ間で均
一になる。また、伝熱管２８は、露出していないので、
回転しているウエハ１２が割れてスピンカップ２４内に
飛散しても伝熱管２８に直接衝突せず、損傷を受けな
い。また、内壁板２４がステンレス鋼製なので、飛散し
て内壁板２４に付着したレジスト溶液を洗浄して除去す
ることは、従来と同様に容易である。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、スピンコータのスピン
カップは、熱伝導性の良好なカップ体の外壁に密着した
伝熱管を備えているので、洗浄液でウエハを洗浄する
際、洗浄液が飛散してカップ体内に付着し、気化してカ
ップ体から気化熱を奪っても、外部から伝熱管に温調水
を通水してカップ体を加温することによりカップ体及び
カップ体内の雰囲気温度は所定温度範囲内に維持され
る。よって、順次ウエハにコーティングする過程で、ウ
エハの表面温度は所定の温度範囲内に維持され、滴下す
るレジスト溶液の流動性が変化しないので、ウエハ面内
や各ウエハ間でのレジスト膜の膜厚を均一にすることが
できる。また、ステンレス鋼製のスピンカップを利用で
き、スピンカップの洗浄が容易である。
カップは、熱伝導性の良好なカップ体の外壁に密着した
伝熱管を備えているので、洗浄液でウエハを洗浄する
際、洗浄液が飛散してカップ体内に付着し、気化してカ
ップ体から気化熱を奪っても、外部から伝熱管に温調水
を通水してカップ体を加温することによりカップ体及び
カップ体内の雰囲気温度は所定温度範囲内に維持され
る。よって、順次ウエハにコーティングする過程で、ウ
エハの表面温度は所定の温度範囲内に維持され、滴下す
るレジスト溶液の流動性が変化しないので、ウエハ面内
や各ウエハ間でのレジスト膜の膜厚を均一にすることが
できる。また、ステンレス鋼製のスピンカップを利用で
き、スピンカップの洗浄が容易である。
【図１】本実施例のスピンコータの側面断面図である。
【図２】従来のスピンコータの側面断面図である。
１０……スピンコータ、１２……ウエハ、１４……スピ
ンチャック、１５……ノズル、１６……スピンカップ、
１７……洗浄用ノズル、１８……ドレイン配管、２０…
…スピンコータ、２２……スピンカップ、２４……内壁
板、２６……外壁板、２７……カップ体、２８……伝熱
管、３０……端面部、３２Ａ、Ｂ……機器配管、３４
Ａ、Ｂ……クイックカップラ。
ンチャック、１５……ノズル、１６……スピンカップ、
１７……洗浄用ノズル、１８……ドレイン配管、２０…
…スピンコータ、２２……スピンカップ、２４……内壁
板、２６……外壁板、２７……カップ体、２８……伝熱
管、３０……端面部、３２Ａ、Ｂ……機器配管、３４
Ａ、Ｂ……クイックカップラ。
Claims (3)
- 【請求項１】 水平な保持面上にウエハを保持し、垂直
な回転軸の周りに回転させるスピンチャックと、スピン
カップとを備えたスピンコータであって、 スピンカップは、熱伝導性の良好な金属板で形成され、
ウエハチャックの周囲を包囲するように設けられたカッ
プ体と、カップ体の外壁に密着して配設された伝熱管と
を備え、外部の温調水供給源から伝熱管に温調水を通水
してカップ体を加温するようにしたことを特徴とするス
ピンコータ。 - 【請求項２】 カップ体が内壁板と外壁板からなる２重
壁板で構成され、伝熱管は内壁板と外壁板との間に備え
られたことを特徴とする請求項１に記載のスピンコー
タ。 - 【請求項３】 伝熱管が、入口から出口まで一本の管を
連続して蛇管状又はコイル状に配設してなる管体、若し
くは入口ヘッダと出口ヘッダとの間に設けられた複数本
の管体で形成されていることを特徴とする請求項１又は
２に記載のスピンコータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8283681A JPH10135101A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | スピンコータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8283681A JPH10135101A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | スピンコータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10135101A true JPH10135101A (ja) | 1998-05-22 |
Family
ID=17668702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8283681A Pending JPH10135101A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | スピンコータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10135101A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100641540B1 (ko) | 2004-12-22 | 2006-11-01 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 레지스트 코팅 장비 및 이를 세정하는 방법 |
| WO2007052815A1 (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-10 | Tokuyama Corporation | コーティング装置 |
| JP2007175697A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-07-12 | Tokuyama Corp | コーティング装置 |
| EP2132738A4 (en) * | 2007-04-11 | 2011-03-16 | Ricoh Co Ltd | ROTATIONAL HISTORY, TEMPERATURE CONTROL METHOD, DEVICE FOR PRODUCING OPTICAL PLATES AND METHOD FOR PRODUCING OPTICAL PLATES |
| CN103977981A (zh) * | 2013-02-08 | 2014-08-13 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 改进内部晶圆温度分布的装置 |
| CN121017041A (zh) * | 2025-10-11 | 2025-11-28 | 大连理工大学 | 一种基于夹套与螺旋导流结构的可控温气氛旋涂腔室 |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP8283681A patent/JPH10135101A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100641540B1 (ko) | 2004-12-22 | 2006-11-01 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 레지스트 코팅 장비 및 이를 세정하는 방법 |
| WO2007052815A1 (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-10 | Tokuyama Corporation | コーティング装置 |
| US8087377B2 (en) | 2005-11-04 | 2012-01-03 | Tokuyama Corporation | Coating apparatus |
| JP2007175697A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-07-12 | Tokuyama Corp | コーティング装置 |
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| US8578877B2 (en) | 2007-04-11 | 2013-11-12 | Ricoh Company, Ltd. | Spin coater, temperature controlling method of the same, optical disc production apparatus, and optical disc production method |
| CN103977981A (zh) * | 2013-02-08 | 2014-08-13 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 改进内部晶圆温度分布的装置 |
| CN121017041A (zh) * | 2025-10-11 | 2025-11-28 | 大连理工大学 | 一种基于夹套与螺旋导流结构的可控温气氛旋涂腔室 |
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