JPH10137966A - レーザ出力可変装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パルスレーザ光の出力を容易かつ簡単に変化
させることができるレーザ出力可変装置を提供する。 【解決手段】 レーザ出力可変装置は、パルスレーザ光
１の光路に配設された遮蔽板３を有している。遮蔽板３
はパルスレーザ光１の断面と略同一形状の開口４を有し
ている。遮蔽板３はパルスレーザ光１と直交する回転軸
３ａを介してガルバノメータ２に保持されている。ガル
バノメータ２は駆動機構５により駆動され、遮蔽板３を
回転軸３ａ回りに回転させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はパルスレーザ発振器
で発生したパルスレーザ光の出力を変化させるレーザ出
力可変装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来からパルスレーザ光を発生させるパ
ルスレーザ発振器として、励起チャンバと、この励起チ
ャンバ内に収納されたロッドとランプとを有するものが
知られている。このようなパルスレーザ発振器におい
て、ランプからロッドに対して励起光が照射され、ラン
プからの励起光によりロッドが励起されてパルスレーザ
光が発生する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
パルスレーザ発振器において、ランプからの励起光によ
りロッドが励起されてパルスレーザ光が発生する。

【０００４】ところでパルスレーザ光の１パルスあたり
の出力波形を変化させる場合は、ランプからの励起光の
出力（発光）波形を変える必要があり、この場合はラン
プの電源を操作してランプからの励起光の出力波形を変
化させることになる。この場合は、電源の操作を伴うた
め制御システムが複雑となり高価になってしまう。

【０００５】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、簡便にパルスレーザ光の出力を変化させる
ことができるレーザ出力可変装置を提供することを目的
とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、パルスレーザ
発振器から発生するパルスレーザ光の光路に設けられた
レーザ出力可変装置において、パルスレーザ光の光路に
回転軸を中心として回転自在に配置され、パルスレーザ
光の断面と略同じ大きさの開口が形成された遮蔽板と、
遮蔽板の回転軸を保持するガルバノメータと、ガルバノ
メータの駆動機構とを備え、駆動機構は遮蔽板を回転さ
せるよう、ガルバノメータを駆動させることを特徴とす
るレーザ出力可変装置である。

【０００７】本発明によれば、駆動機構によりガルバノ
メータを駆動させ、遮蔽板を回転させてパルスレーザ光
の光路中で傾斜させる。この傾斜する遮蔽板によりパル
スレーザ光の一部が遮蔽板により遮断され、残りの部分
が開口を通過する。このようにしてパルスレーザ光の出
力を遮蔽板によって変化させることができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１および図２は本発明に
よるレーザ出力可変装置の一実施の形態を示す図であ
る。

【０００９】図１（ａ）（ｂ）および図２（ａ）（ｂ）
（ｃ）（ｄ）に示すように、パルスレーザ光１を発生さ
せるパルスレーザ発振器１０が設けられ、パルスレーザ
光１の光路に遮蔽板３が回転自在に配置されている。パ
ルスレーザ光１は円形状断面を有しており、また遮蔽板
３はパルスレーザ光１の断面直径と略同一長さの一辺を
有する矩形状開口４を有している。

【００１０】遮蔽板３はパルスレーザ光１と直交する回
転軸３ａを介して、ガルバノメータ２に保持されてお
り、ガルバノメータ２には駆動機構５および制御装置８
が順次接続されている。そしてこれら遮蔽板３、ガルバ
ノメータ２、および駆動機構５により本発明によるレー
ザ出力可変装置が構成されている。

【００１１】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。

【００１２】まずパルスレーザ発振器１０によりパルス
レーザ光１が発生する。パルスレーザ光１の出力を変化
させない場合、パルスレーザ光１の光路に設けられた遮
蔽板３は、パルスレーザ光１に対して直交して配置され
る。このためパルスレーザ光１は遮蔽板３により遮断さ
れることなく開口４を通過する（図１（ａ）参照）。こ
の場合、パルスレーザ光１の波形６は、遮蔽板３の前後
において同一の形状を有する（図１（ｂ））。

【００１３】他方、パルスレーザ光１の出力を変化させ
る場合、制御装置８により駆動機構５が駆動制御されて
ガルバノメータ２を駆動させ、遮蔽板３がパルスレーザ
光１に対して傾斜する（図２（ａ））。この場合、パル
スレーザ光１は一部が遮蔽板３により遮断され、残りの
部分が開口４を通過する。このことにより遮蔽板３より
上流側のパルスレーザ光１の波形６（図２（ｂ））は、
遮蔽板３より下流側において波形７ａ（図２（ｃ））に
変化する。

【００１４】パルスレーザ光１は遮蔽板１の前後におい
て、その大きな波形６が小さな波形７ａに変化するの
で、パルスレーザ光１の出力が減少する。パルスレーザ
光１の出力の減少割合は、遮蔽板３の傾斜角に応じて定
めることが可能である。

【００１５】さらにまた、制御装置８により駆動機構５
を制御してガルバノメータ２を駆動させることにより、
遮蔽板３をパルスレーザ光１の発振パルス（波形）に同
期させながら回転させることができる。この場合は、パ
ルスレーザ光１の波形７ｂ自体を、その頂部が傾斜する
よう変化させることができる（図２（ｄ）参照）。波形
７ｂの頂部の形状については、遮蔽板３の回転角度、回
転速度および回転方向を適宜定めることにより種々変化
させることができる。

【００１６】このように本実施の形態によれば、容易か
つ簡単にパルスレーザ光の出力波形を変化させることが
でき、同様に出力も変えることができる。

【００１７】なお、上述した本実施の形態において、遮
蔽板３に形成する開口を矩形状としたが、回転度合いに
応じてパルスレーザ光の遮断度合いが変化する形状であ
れば良く、さらに板状の遮蔽板としたが、湾曲状、球
状、筒状などでも構わない。

【００１８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、パルスレ
ーザ光の光路中において遮蔽板を回転させて傾斜させる
ことにより、容易かつ簡単にパルスレーザ光の出力を変
化させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレーザ出力可変装置の一実施の形
態を示す、出力を変化させない場合を示す図。

【図２】図１に示すレーザ出力可変装置において出力を
変化させる場合を示す図。

【符号の説明】

１ パルスレーザ光 ２ ガルバノメータ ３ 遮蔽板 ４ 開口 ５ 駆動機構 ６ パルスレーザ光の波形 ７ａ，７ｂ パルスレーザ光の波形 ８ 制御装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】パルスレーザ発振器から発生するパルスレ
   ーザ光の光路に設けられたレーザ出力可変装置におい
   て、 パルスレーザ光の光路に回転軸を中心として回転自在に
   配置され、パルスレーザ光の断面と略同じ大きさの開口
   が形成された遮蔽板と、 遮蔽板の回転軸を保持するガルバノメータと、 ガルバノメータの駆動機構とを備え、 駆動機構は遮蔽板を回転させるよう、ガルバノメータを
   駆動させることを特徴とするレーザ出力可変装置。
2. 【請求項２】駆動機構はパルスレーザ光の発振パルスに
   同期して遮蔽板を回転させるよう、ガルバノメータを駆
   動させることを特徴とする請求項１記載のレーザ出力可
   変装置。