JPH10141225A - クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ装置 - Google Patents
クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ装置Info
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- JPH10141225A JPH10141225A JP9182177A JP18217797A JPH10141225A JP H10141225 A JPH10141225 A JP H10141225A JP 9182177 A JP9182177 A JP 9182177A JP 18217797 A JP18217797 A JP 18217797A JP H10141225 A JPH10141225 A JP H10141225A
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- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
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- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポンプボディに固定されていた物質を短時間
で容易かつ完全に排気させることができる、クライオポ
ンプの再生方法とその再生方法を実現するクライオポン
プ装置を提供する。 【解決手段】 クライオポンプを再生するステップにお
いて、コンプレッサー部から供給された高圧の冷媒ガス
を膨張させる膨張機５３と、膨張機５３に接触している
クライオアレーを囲んで空間を形成しているポンプボデ
ィー５６とを、内部ヒーター６１によって直接加熱する
ことにより、クライオポンプの再生を行う。
で容易かつ完全に排気させることができる、クライオポ
ンプの再生方法とその再生方法を実現するクライオポン
プ装置を提供する。 【解決手段】 クライオポンプを再生するステップにお
いて、コンプレッサー部から供給された高圧の冷媒ガス
を膨張させる膨張機５３と、膨張機５３に接触している
クライオアレーを囲んで空間を形成しているポンプボデ
ィー５６とを、内部ヒーター６１によって直接加熱する
ことにより、クライオポンプの再生を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クライオポンプの
再生方法及びその再生方法を実現するクライオポンプ装
置に関する。より詳細には、クライオポンプを一定期間
毎に再生する時、再生効率を高めることができる方法、
及びその方法の実施に適合した構造を有するクライオポ
ンプ装置に関する。
再生方法及びその再生方法を実現するクライオポンプ装
置に関する。より詳細には、クライオポンプを一定期間
毎に再生する時、再生効率を高めることができる方法、
及びその方法の実施に適合した構造を有するクライオポ
ンプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造過程で、低圧化学気相
蒸着やスパッタリング等の工程は、真空の環境を必要と
する。真空の環境は大概の場合、工程チャンバーと連結
されたポンプによってチャンバー内部の気体を排気する
方法によって達成される。真空ポンプは、真空環境の真
空度によって、低真空ポンプと高真空ポンプとに分けら
れる。高真空ポンプに使用されるものとしては、オイル
を利用したディフュージョンポンプ、ターボ分子ポン
プ、クライオポンプ等を列挙することができる。
蒸着やスパッタリング等の工程は、真空の環境を必要と
する。真空の環境は大概の場合、工程チャンバーと連結
されたポンプによってチャンバー内部の気体を排気する
方法によって達成される。真空ポンプは、真空環境の真
空度によって、低真空ポンプと高真空ポンプとに分けら
れる。高真空ポンプに使用されるものとしては、オイル
を利用したディフュージョンポンプ、ターボ分子ポン
プ、クライオポンプ等を列挙することができる。
【０００３】高真空ポンプに利用されるクライオポンプ
は、工程空間に存在する気体を即時に排気する形態でな
く、ポンプに形成された冷却面に気体を固定して、工程
が終わった後一括して排気する方法を採用する、独特な
形態の真空ポンプである。冷却面にガス粒子を捕集して
一括排気する方式によって清浄な真空を作り出すクライ
オポンプは、一般にコンプレッサー部とポンプ作用部と
から構成される。
は、工程空間に存在する気体を即時に排気する形態でな
く、ポンプに形成された冷却面に気体を固定して、工程
が終わった後一括して排気する方法を採用する、独特な
形態の真空ポンプである。冷却面にガス粒子を捕集して
一括排気する方式によって清浄な真空を作り出すクライ
オポンプは、一般にコンプレッサー部とポンプ作用部と
から構成される。
【０００４】以下、図２乃至図４を参照しながら、クラ
イオポンプの構成について説明する。
イオポンプの構成について説明する。
【０００５】コンプレッサー部１１は、冷蔵庫のモータ
と類似な役割をする部分であって、冷媒に使用されるヘ
リウムを高い圧力で圧縮させて、高圧力、高純度の室温
ヘリウムガスを、ポンプ作用部１２の膨張機１３に供給
する役割をする。圧縮過程では多量の熱が発生するの
で、冷却水がコンプレッサー部の内部に流動されながら
熱を除去する。
と類似な役割をする部分であって、冷媒に使用されるヘ
リウムを高い圧力で圧縮させて、高圧力、高純度の室温
ヘリウムガスを、ポンプ作用部１２の膨張機１３に供給
する役割をする。圧縮過程では多量の熱が発生するの
で、冷却水がコンプレッサー部の内部に流動されながら
熱を除去する。
【０００６】ポンプ作用部１２は、コンプレッサー部１
１から供給された高圧のヘリウムガスを膨張させる膨張
機１３、膨張機１３によって冷却されるバッフル１４と
コールドヘッド１５とから構成されたクライオアレー、
これらを囲む空間を保持するポンプボディー１６とを備
えてなる。そして、温度モニター１７、圧力交替バルブ
１８等が付加されている。
１から供給された高圧のヘリウムガスを膨張させる膨張
機１３、膨張機１３によって冷却されるバッフル１４と
コールドヘッド１５とから構成されたクライオアレー、
これらを囲む空間を保持するポンプボディー１６とを備
えてなる。そして、温度モニター１７、圧力交替バルブ
１８等が付加されている。
【０００７】クライオポンプの構成を見てその作用を考
えると、概ね冷蔵庫の冷却板に水蒸気が凝縮する現象と
の類似点が多いことが分かる。まず、クライオポンプが
作用するために、クライオポンプを接続した工程空間で
あるチャンバー２１を低真空状態にするために、低真空
状態を作る荒引きポンプ２２が作用する。予め低真空状
態を形成しておくのはクライオポンプの効率を高めるた
めである。一応の低真空状態がチャンバー２１に形成さ
れると、荒引きポンプ２２と連結された荒引きバルブ２
３が締まって空間を閉鎖させ、クライオポンプを作動さ
せる。
えると、概ね冷蔵庫の冷却板に水蒸気が凝縮する現象と
の類似点が多いことが分かる。まず、クライオポンプが
作用するために、クライオポンプを接続した工程空間で
あるチャンバー２１を低真空状態にするために、低真空
状態を作る荒引きポンプ２２が作用する。予め低真空状
態を形成しておくのはクライオポンプの効率を高めるた
めである。一応の低真空状態がチャンバー２１に形成さ
れると、荒引きポンプ２２と連結された荒引きバルブ２
３が締まって空間を閉鎖させ、クライオポンプを作動さ
せる。
【０００８】クライオポンプはまずコンプレッサー部１
１で冷媒のヘリウムを高圧で圧縮する。この時発生する
熱はコンプレッサー部１１の内部を経て流動する冷却水
によって排出される。高圧のヘリウムは連結ホース１９
を通じてポンプ作用部１２の膨張機１３へ送られ、膨張
機１３で膨張しながら、断熱膨張による温度低下を生じ
る。このような温度の低下は、膨張機と接触したバッフ
ル１４すなわち１段ステージを７０Ｋレベルに、コール
ドヘッド１５すなわち２段ステージを１０Ｋレベルに冷
却させて、空間内部に存在する気体分子を捕集し固定す
る。
１で冷媒のヘリウムを高圧で圧縮する。この時発生する
熱はコンプレッサー部１１の内部を経て流動する冷却水
によって排出される。高圧のヘリウムは連結ホース１９
を通じてポンプ作用部１２の膨張機１３へ送られ、膨張
機１３で膨張しながら、断熱膨張による温度低下を生じ
る。このような温度の低下は、膨張機と接触したバッフ
ル１４すなわち１段ステージを７０Ｋレベルに、コール
ドヘッド１５すなわち２段ステージを１０Ｋレベルに冷
却させて、空間内部に存在する気体分子を捕集し固定す
る。
【０００９】気体を固定させる作用は、原理的には凝固
点が高い気体を固体に凝縮させるクライオ凝縮と、凝固
点が低い気体を表面積が大きい多孔性物質の内部空間に
閉じ込めるクライオソープションとに分けられる。いず
れも、低温のアレー表面に空間内の気体を固定して除去
するものである。
点が高い気体を固体に凝縮させるクライオ凝縮と、凝固
点が低い気体を表面積が大きい多孔性物質の内部空間に
閉じ込めるクライオソープションとに分けられる。いず
れも、低温のアレー表面に空間内の気体を固定して除去
するものである。
【００１０】クライオポンプが本格的に作動すると、工
程チャンバー内で工程が行われる。このとき、外部から
工程チャンバー内へプロセスガス等が流入することもあ
る。この場合、クライオポンプへのガス流入やプロセス
反応に起因して生じるガスを固定する比率が、工程空間
へのガス流入や反応に起因するガス発生率よりも大きけ
れば、安定した高真空状態を保持することができる。
程チャンバー内で工程が行われる。このとき、外部から
工程チャンバー内へプロセスガス等が流入することもあ
る。この場合、クライオポンプへのガス流入やプロセス
反応に起因して生じるガスを固定する比率が、工程空間
へのガス流入や反応に起因するガス発生率よりも大きけ
れば、安定した高真空状態を保持することができる。
【００１１】クライオポンプは、原理的に、空間内部の
気体を外部に直接排気させるものでなく、空間に位置す
るクライオアレー表面に一時的に固定させるものであ
る。従って、工程を継続するに従い表面に固定された気
体が蓄積し、霜が発生された冷蔵庫の冷却板の冷却効率
が低下するのと同様に、工程空間内の気体を除去するポ
ンプの効率が低下する。従って、クライオポンプは、所
定の使用期間ごとに使用を中断して、アレーに固定され
た気体を除去、放出して、再びポンプアレーの気体固定
能力を高める措置が必要である。このような措置として
クライオポンプの再生がある。
気体を外部に直接排気させるものでなく、空間に位置す
るクライオアレー表面に一時的に固定させるものであ
る。従って、工程を継続するに従い表面に固定された気
体が蓄積し、霜が発生された冷蔵庫の冷却板の冷却効率
が低下するのと同様に、工程空間内の気体を除去するポ
ンプの効率が低下する。従って、クライオポンプは、所
定の使用期間ごとに使用を中断して、アレーに固定され
た気体を除去、放出して、再びポンプアレーの気体固定
能力を高める措置が必要である。このような措置として
クライオポンプの再生がある。
【００１２】クライオポンプの再生は、アレーの温度を
高めてアレー表面に固定された凝縮物質と、クライオソ
ープションによって固定された気体等をポンプ外部に排
気させる操作である。クライオポンプの再生の為にはま
ず工程を中止させる。そして、工程空間とポンプ作用部
１２とを連結している高真空バルブ２４を遮断した状態
で、クライオポンプのコンプレッサー部１１の作動を中
止させる。そして、加熱した乾燥窒素をポンプボディー
１６の内部に吹き入れて、クライオアレーとポンプボデ
ィーとを暖める。そうすると、固定された気体等は活発
に運動するようになり、アレー面から外れて、圧力交替
バルブ１８を通じてポンプから排気される。
高めてアレー表面に固定された凝縮物質と、クライオソ
ープションによって固定された気体等をポンプ外部に排
気させる操作である。クライオポンプの再生の為にはま
ず工程を中止させる。そして、工程空間とポンプ作用部
１２とを連結している高真空バルブ２４を遮断した状態
で、クライオポンプのコンプレッサー部１１の作動を中
止させる。そして、加熱した乾燥窒素をポンプボディー
１６の内部に吹き入れて、クライオアレーとポンプボデ
ィーとを暖める。そうすると、固定された気体等は活発
に運動するようになり、アレー面から外れて、圧力交替
バルブ１８を通じてポンプから排気される。
【００１３】図５を参照すると、ポンプ作用部１２の再
生用のパージチューブ２０を通じて窒素ガスがポンプの
内部空間に流入されている。窒素ガスは、窒素ガス供給
源２５から出てポンプに流入される前に、別途のヒータ
ー２６を経て加熱される。従って、流入される窒素の温
度は常温より高い１２０℃程度となって、再生に要する
時間を短縮することができる。再生段階では一般に、ア
レーの温度が常温と同じくなるまでポンプの温度を上げ
ることになる。従って、ヒーターを通じた窒素の流入
は、アレーの温度が常温と同じくなるまで続ける。
生用のパージチューブ２０を通じて窒素ガスがポンプの
内部空間に流入されている。窒素ガスは、窒素ガス供給
源２５から出てポンプに流入される前に、別途のヒータ
ー２６を経て加熱される。従って、流入される窒素の温
度は常温より高い１２０℃程度となって、再生に要する
時間を短縮することができる。再生段階では一般に、ア
レーの温度が常温と同じくなるまでポンプの温度を上げ
ることになる。従って、ヒーターを通じた窒素の流入
は、アレーの温度が常温と同じくなるまで続ける。
【００１４】しかし、従来の再生過程は、ポンプのアレ
ーやその他のポンプボディーの温度上昇を、加熱されて
流入される窒素ガスのみに依存する間接加熱方式である
ため、温度上昇に長時間を要する。このために、真空ポ
ンプを使用して行われる工程の稼動時間を短縮させなけ
ればならなかった。また、クライオポンプのポンプボデ
ィー部の残留ガスを充分に排気させることも難しかっ
た。
ーやその他のポンプボディーの温度上昇を、加熱されて
流入される窒素ガスのみに依存する間接加熱方式である
ため、温度上昇に長時間を要する。このために、真空ポ
ンプを使用して行われる工程の稼動時間を短縮させなけ
ればならなかった。また、クライオポンプのポンプボデ
ィー部の残留ガスを充分に排気させることも難しかっ
た。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
の間接加熱方式のクライオポンプの再生に比較して、再
生に要する時間を短縮させることができる直接加熱方式
のクライオポンプの再生方法を提供することにある。
の間接加熱方式のクライオポンプの再生に比較して、再
生に要する時間を短縮させることができる直接加熱方式
のクライオポンプの再生方法を提供することにある。
【００１６】本発明の他の目的は、前記の再生方法を実
施するのに適した構成を有するクライオポンプ装置を提
供することにある。
施するのに適した構成を有するクライオポンプ装置を提
供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明によるクライオポンプの再生方法は、クライオ
ポンプを再生するステップにおいて、コンプレッサー部
から供給された高圧の冷媒ガスを膨張させる膨張機と、
前記膨張機に接触したクライオアレーを囲んで空間を形
成しているポンプボディーとを、内部ヒーターによって
直接加熱することにより行うものである。
の本発明によるクライオポンプの再生方法は、クライオ
ポンプを再生するステップにおいて、コンプレッサー部
から供給された高圧の冷媒ガスを膨張させる膨張機と、
前記膨張機に接触したクライオアレーを囲んで空間を形
成しているポンプボディーとを、内部ヒーターによって
直接加熱することにより行うものである。
【００１８】ポンプボディの加熱は、ポンプボディに抵
抗線を均一に設置して、これに通電してジュール熱を発
生させることにより行うことが望ましい。また、前記内
部ヒーターによる前記加熱は、ポンプボディの温度が常
温となるまで行うことが好ましいが、その以上の温度に
なるまで加熱することもできる。本発明による前記の直
接加熱が行われている間、高温の窒素ガスを導入した間
接加熱が行われることが、再生に要する時間を短縮する
ために好ましいが、直接加熱だけでも再生を行うことが
できる。
抗線を均一に設置して、これに通電してジュール熱を発
生させることにより行うことが望ましい。また、前記内
部ヒーターによる前記加熱は、ポンプボディの温度が常
温となるまで行うことが好ましいが、その以上の温度に
なるまで加熱することもできる。本発明による前記の直
接加熱が行われている間、高温の窒素ガスを導入した間
接加熱が行われることが、再生に要する時間を短縮する
ために好ましいが、直接加熱だけでも再生を行うことが
できる。
【００１９】また、本発明によるクライオポンプ装置
は、コンプレッサー部とポンプ作用部とを備え、かつ、
前記ポンプ作用部が、前記コンプレッサー部から供給さ
れた高圧の冷媒ガスを膨張させる膨張機と、前記膨張機
に接触して冷却されるクライオアレーと、前記膨張機及
びクライオアレーを囲んで空間を形成しているポンプボ
ディとを備えたものであって、さらに、前記ポンプボデ
ィに接触した内部ヒーターを備えたものである。
は、コンプレッサー部とポンプ作用部とを備え、かつ、
前記ポンプ作用部が、前記コンプレッサー部から供給さ
れた高圧の冷媒ガスを膨張させる膨張機と、前記膨張機
に接触して冷却されるクライオアレーと、前記膨張機及
びクライオアレーを囲んで空間を形成しているポンプボ
ディとを備えたものであって、さらに、前記ポンプボデ
ィに接触した内部ヒーターを備えたものである。
【００２０】本発明のクライオポンプ装置には、ポンプ
作用部の温度を感知する温度モニターを設置することが
望ましい。また、内部圧力が高まった時などに内部の気
体を外部に放出させることができる圧力交替バルブを備
えることが望ましい。さらに、従来の間接加熱方式に用
いる再生用のパージチューブをも備えて、再生時に間接
加熱と直接加熱とを同時に行える装置であることが好ま
しい。また、本発明の内部ヒーターは、電源に接続した
電気抵抗線をポンプボディに設置して成るものであるこ
とができる。
作用部の温度を感知する温度モニターを設置することが
望ましい。また、内部圧力が高まった時などに内部の気
体を外部に放出させることができる圧力交替バルブを備
えることが望ましい。さらに、従来の間接加熱方式に用
いる再生用のパージチューブをも備えて、再生時に間接
加熱と直接加熱とを同時に行える装置であることが好ま
しい。また、本発明の内部ヒーターは、電源に接続した
電気抵抗線をポンプボディに設置して成るものであるこ
とができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例の
構成と作用とを、添付図面を参照して詳細に説明する。
構成と作用とを、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】図１を参照すると、ポンプ作用部５２は、
従来のように高圧のヘリウムを膨張させる膨張機５３、
膨張機５３に連結されて冷却される１次及び２次のクラ
イオアレー、及びこれ等を外部環境から遮断して囲んで
いるポンプボディ５６を備えている。そして、圧力交替
バルブ５８、再生用パージチューブ６０、及び温度モニ
ター５７も設置されている。ポンプボディ５６には、本
発明の特徴をなす内部ヒーター６１がボディ外面に接触
して設けられている。内部ヒーター６１は外部電源に接
続され、クライオポンプの再生時には通電によってジュ
ール熱が発生するようになされている。
従来のように高圧のヘリウムを膨張させる膨張機５３、
膨張機５３に連結されて冷却される１次及び２次のクラ
イオアレー、及びこれ等を外部環境から遮断して囲んで
いるポンプボディ５６を備えている。そして、圧力交替
バルブ５８、再生用パージチューブ６０、及び温度モニ
ター５７も設置されている。ポンプボディ５６には、本
発明の特徴をなす内部ヒーター６１がボディ外面に接触
して設けられている。内部ヒーター６１は外部電源に接
続され、クライオポンプの再生時には通電によってジュ
ール熱が発生するようになされている。
【００２３】ポンプの作動によって１次及び２次アレー
の空間に存在する気体が凝縮等によって固定され蓄積さ
れると、空間から気体を除去するポンプ効率も低下す
る。このとき再生を始める。再生のためにまず、工程チ
ャンバーとポンプとを連結している高真空バルブを閉
め、クライオポンプのコンプレッサー部も作動を中止さ
せる。そして、ポンプ作用部の再生用のパージチューブ
６０に窒素ガス供給源２５を連結させる。
の空間に存在する気体が凝縮等によって固定され蓄積さ
れると、空間から気体を除去するポンプ効率も低下す
る。このとき再生を始める。再生のためにまず、工程チ
ャンバーとポンプとを連結している高真空バルブを閉
め、クライオポンプのコンプレッサー部も作動を中止さ
せる。そして、ポンプ作用部の再生用のパージチューブ
６０に窒素ガス供給源２５を連結させる。
【００２４】供給される窒素ガスは、供給される途中で
ヒーター２６を経て１２０℃程度に加熱される。窒素ガ
スの供給は、クライオアレーが常温に至るまで続く。そ
して同時に、内部ヒーター６１に連結された電源スイッ
チを閉じてポンプボディ５６を直接加熱する。従って、
窒素ガスと内部ヒーター６１とによって間接的及び直接
的にクライオポンプが加熱されて、短時間にポンプ作用
部５２の温度は常温に上昇して再生が行われる。特に、
ポンプボディ５６に凝縮された物質等も容易に気化され
て排気される。再生過程において、アレーやポンプボデ
ィ５６に固定されていたガスは、供給される窒素ガスで
パージされて、圧力交替バルブ５８を通じて排気され
る。
ヒーター２６を経て１２０℃程度に加熱される。窒素ガ
スの供給は、クライオアレーが常温に至るまで続く。そ
して同時に、内部ヒーター６１に連結された電源スイッ
チを閉じてポンプボディ５６を直接加熱する。従って、
窒素ガスと内部ヒーター６１とによって間接的及び直接
的にクライオポンプが加熱されて、短時間にポンプ作用
部５２の温度は常温に上昇して再生が行われる。特に、
ポンプボディ５６に凝縮された物質等も容易に気化され
て排気される。再生過程において、アレーやポンプボデ
ィ５６に固定されていたガスは、供給される窒素ガスで
パージされて、圧力交替バルブ５８を通じて排気され
る。
【００２５】
【発明の効果】従って、本発明によると、ポンプボディ
を直接加熱して再生時間を短縮させ、ポンプボディーに
固定されていた物質をより容易に完全に排気させること
ができる効果がある。
を直接加熱して再生時間を短縮させ、ポンプボディーに
固定されていた物質をより容易に完全に排気させること
ができる効果がある。
【図１】本発明の一実施例によるクライオポンプ装置に
おいて再生が行われる様子を示す図である。
おいて再生が行われる様子を示す図である。
【図２】一般的なクライオポンプを備えた真空システム
を示した概略図である。
を示した概略図である。
【図３】従来のクライオポンプのポンプ作用部の構成を
概略的に示した断面図である。
概略的に示した断面図である。
【図４】従来のクライオポンプのポンプ作用部の内、膨
張機とクライオアレーの構成を詳細に示した断面図であ
る。
張機とクライオアレーの構成を詳細に示した断面図であ
る。
【図５】従来のクライオポンプにおいて再生が行われる
様子を示した図である。
様子を示した図である。
１１ コンプレッサー部 １９ 連結ホース ２１ チャンバー ２２ 荒引きポンプ ２３ 荒引きバルブ ２４ 高真空バルブ ２５ 窒素ガス供給源 ２６ ヒーター ５２ ポンプ作用部 ５３ 膨張機 ５６ ポンプボディ ５７ 温度モニター ５８ 圧力交替バルブ ６０ パージチューブ ６１ 内部ヒーター
Claims (8)
- 【請求項１】 クライオポンプを再生するステップにお
いて、コンプレッサー部から供給された高圧の冷媒ガス
を膨張させる膨張機と、前記膨張機に接触したクライオ
アレーを囲んで空間を形成しているポンプボディーと
を、内部ヒーターによって直接加熱する、クライオポン
プの再生方法。 - 【請求項２】 前記のポンプボディの加熱が、前記ポン
プボディに抵抗線を均一に配置して形成した前記内部ヒ
ータに通電して行われる、請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 前記加熱が前記ポンプボディの温度が常
温になるまで行われる、請求項１又は２に記載の方法。 - 【請求項４】 前記加熱が行われると同時に、高温の窒
素ガスを再生用のパージチューブでポンプボディの内部
に流入させることにより間接加熱を行う、請求項１に記
載の方法。 - 【請求項５】 コンプレッサー部とポンプ作用部とを備
え、かつ、前記ポンプ作用部が、前記コンプレッサー部
から供給された高圧の冷媒ガスを膨張させる膨張機と、
前記膨張機に接触して冷却されるクライオアレーと、前
記膨張機及びクライオアレーを囲んで空間を形成してい
るポンプボディとを備える、クライオポンプ装置におい
て、 前記ポンプボディに接触した内部ヒーターを更に備えて
いるクライオポンプ装置。 - 【請求項６】 前記ポンプ作用部が更に、前記ポンプ作
用部の温度を感知する温度モニターと、前記ポンプ作用
部の内部圧力が高まったときに内部物質を外部に放出さ
せる圧力交替バルブとを備えている、請求項５に記載の
クライオポンプ装置。 - 【請求項７】 前記ポンプ作用部が更に、ポンプ再生時
に高温の窒素ガスをポンプボディの内部に流入させる再
生用のパージチューブを備えている、請求項５又は６に
記載のクライオポンプ装置。 - 【請求項８】 前記内部ヒーターが、電源に接続された
電気抵抗線をポンプボディーに設置して成るものであ
る、請求項５に記載のクライオポンプ装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960053315A KR19980035084A (ko) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 크라이오펌프 재생방법 및 그 실시에 적합한 크라이오펌프 시스템 |
| KR1996-53315 | 1996-11-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10141225A true JPH10141225A (ja) | 1998-05-26 |
Family
ID=19481469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9182177A Pending JPH10141225A (ja) | 1996-11-11 | 1997-07-08 | クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10141225A (ja) |
| KR (1) | KR19980035084A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014147876A1 (ja) * | 2013-03-22 | 2014-09-25 | 株式会社テクノス | ドライ真空ポンプの内部で副生成物が凝固堆積することを防止する方法及び窒素ガス昇温装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100501476B1 (ko) * | 2003-02-04 | 2005-07-18 | 동부아남반도체 주식회사 | 크라이오 펌프 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0861232A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Ebara Corp | クライオポンプの再生方法及び再生装置 |
-
1996
- 1996-11-11 KR KR1019960053315A patent/KR19980035084A/ko not_active Abandoned
-
1997
- 1997-07-08 JP JP9182177A patent/JPH10141225A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0861232A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Ebara Corp | クライオポンプの再生方法及び再生装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014147876A1 (ja) * | 2013-03-22 | 2014-09-25 | 株式会社テクノス | ドライ真空ポンプの内部で副生成物が凝固堆積することを防止する方法及び窒素ガス昇温装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980035084A (ko) | 1998-08-05 |
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