JPH10142019A - 超音波流量計 - Google Patents
超音波流量計Info
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Abstract
圧力変化があっても自動的に最適な動作を行う。小口径
の流量計のノイズの影響をなくす。信頼性を上げる。コ
ストを下げる。低消費電流にする。 【解決手段】 上流と下流に離して送受波器を設ける。
順方向でn回、逆方向でn回の超音波の送受による到達
時間に基づいて流速・流量を求める。1階の送受毎に受
信波を検知する基準電圧レベルVTHを順次変化させる。
到達時間の変化が大きいときの基準電圧レベルVTHを最
適値として用いる。
Description
に関する。
C、流体の流れの速さをVとすると、音波の伝搬方向が
流れに沿った方向(以下順方向と言う)と一致すればそ
の伝搬速度はC+Vとなり、流れに逆らった方向(以下
逆方向と言う)の場合にはC−Vとなる。
管3の上流と下流に離して配設し、一方の送受波器1か
ら順方向に超音波を発信したとき、他方の送受波器2に
超音波が到達するに要する到達時間をt、送受波器2か
ら逆方向に超音波を発信したときに、送受波器1に超音
波が到達するに要する到達時間をt′とすれば、 t=L/(C+V) ・・・(1) t′=L/(C−V) ・・・(2) となる。
t′を測定し、これから流速Vを演算し、さらに流速、
流量や積算流量(流体の体積)を演算していた。流速V
は上記(1)(2)式から、例えば、 V=L{(1/t)−(1/t′)}/2 ・・・(3) として求めていた。
2に示すように、送信側の送受波器を励振する発信駆動
信号Pから受信側の送受波器に受信波が到達するまでの
時間tを直接測定すれば良いのであるが、現実にはこれ
ができない。
先ず増幅される。図12では増幅後の受信波形を示して
いる。「イ」が到達時点で、その後徐々に振幅が増大し
て最大振幅となり、その後徐々に小さくなる。ところ
が、受信波の到達時点である増幅後の受信波の先頭
「イ」はノイズに隠れているので、それを検知すること
は不可能だからである。
て、先ず受信の基準電圧レベルとしてノイズより十分大
きなしきい値VTHを定め、このレベルに最初に達した増
幅後の波がゼロレベルを通るゼロクロスポイントを検知
し、受信波を検知するようにしている。
波のゼロクロスポイントを検知するように定めておき、
実際の到達時間t,t′は、例えば順方向測定における
到達時間tについて説明すると、図12における発信波
駆動信号Pからゼロクロスポイント「ハ」までの測定時
間t+τから、予め実験的に求めて記憶しておいた時間
τを引くことで求めていた。
しきい値VTHに達しており、この第3波がゼロレベルを
通るゼロクロスポイント「ハ」を検知し、受信波を検知
している。
t′の測定精度は、これらの到達時間を測定するときに
使う基準クロックの分解能で決まるため、到達時間t,
t′に基づいて演算する流速、流量や積算流量等の精度
も前記基準クロックの分解能で決まる。
て、流速、流量や積算流量等の精度を向上する方法とし
て、到達時間tやt′を測定するのに、単純に発信(送
信)から受信までの1回の到達時間を測るのではなく、
受信と同時に次の送信を同じ方向に向かって行うことを
一定の複数(n)回繰り返すことにより、到達時間tや
t′をそれぞれ複数(n)個連続させ、最初(第1回
目)の送信から最後(第n回目)の受信までの時間nt
+nτやnt′+nτをまとめて測定し、予め別に実験
等で求めて記憶しておいたnτを差し引いてntやn
t′を求めるようにした超音波流量計が周知である。
でも、到達時間の測定精度がn倍に向上するから、流
速、流量や積算流量等の精度もn倍に向上する。従っ
て、例えばnを100とすれば、精度は100倍に向上
する。
圧力の違いや、あるいは送受波器1,2を構成する超音
波振動子の個々の特性によって異なる値となる。その結
果、狙った特定の波(例えば図12のような第3波)で
はなく、その前の第1波あるいは後の第5波のゼロクロ
スポイントを間違って検出してしまうことがある。
時間まちがった値となるため、この間違った測定値をそ
のまま使用すると、当然誤った流速や流量を導くことに
なり、大きな誤差の要因となる。
一方向の送受を複数(n)回連続して繰り返し、到達時
間tやt′の複数(n)倍の時間ntやnt′をまとめ
て求めるようにした方式の超音波流量計では、複数
(n)回の受信波検知が全て、狙った特定の波を捕らえ
たものでなければならない。
一定にするように増幅器の利得を制御するいわゆるAG
C(Automatic Gain Control)を採用している超音波流
量計がある。
従来技術では、ピーク値ホールド回路等が必要となり、
アナログ電子回路の規模が大きくなるので、流量計のコ
ストが上昇するとか、消費電流が高くなるという問題点
がある。しかも、小口径の流路としたときには、管路か
らの反射波の影響で受信波のピーク付近の波形が乱れる
現象が起き易いことから、ピークの大きさを一定値に揃
えても、狙った波の大きさが同じにならないため、小形
の超音波流量計には不向きで、その実現が困難であると
いう問題点があった。
計を設置する現地の条件、特に流体の圧力によって受信
波のレベルが異なると、ノイズの影響を受け易くなり、
前述のように、狙った特定の波が検知できずに安定した
測定ができない。
条件に合わせて、しきい値VTHや増幅器の利得を最適値
に調整することが必要で、設置コストが上がるという問
題点があった。
るようにしきい値VTHや増幅器の利得を調整する必要が
ある。実際の作業では、どの波(第何波)を捕らえてい
るかがわかるように、オシロスコープで受信波としきい
値VTHを比較しながら調整せざるを得ず、調整作業が面
倒である。
るばかりでなく、オシロスコープを接続しても、その悪
影響を受けないように流量計の電子回路に工夫を凝らす
という考慮も必要で、流量計自体のコストアップを招く
という問題点も生じる。
利得を自動的に最適化することで前記のいろいろな問題
点を解消できる超音波流量計を提供することを目的とす
る。
成するために、請求項1の発明は、送信側にも受信側に
もはたらく少なくとも1対の超音波送受波器(1)
(2)を設け、流体の流れの中を上流から下流及び下流
から上流に超音波の送受を行い、その各向きの到達時間
より流速さらに流量を求める超音波流量計であって、ま
ず送信側の送受波器(1)を発信させ、受信側送受波器
(2)の信号を入力する受信波検知部(4)が受信波を
検知すると、それと同時に再び送信側の送受波器(1)
を発信させるようにし、これを一定回数(n回)繰り返
すよう構成し、最初の送信から一定回数目(n回目)の
受信までの時間つまり到達時間のn倍をまとめて測定
し、その結果から流速さらに流量を求めるようにしたも
ので、前記受信波検知部(4)は、増幅部と比較部より
構成され、送信側送受波器(1又は2)からの信号は、
まず増幅されその後、基準電圧レベルと比較されるよう
になっていて、最初に基準電圧レベルを越えた波が次に
ゼロレベルを通る点を受信波を検知した点とするように
なっていて、前記基準電圧レベルは何段かに変化させる
ことができるようになっていて、流速を求めるための通
常の測定とは別に、定期的にあるいは非定期に順方向、
逆方向それぞれの方向で、前記基準電圧レベルを段階的
に、1回の送受毎にあるいは、数回の送受毎に変化させ
ながら、通常の測定と同様に複数回連続して繰り返す超
音波の送受を行うようにし、各送受の到達時間の変化を
監視できるようにし、あるいくつかの基準電圧レベルに
ついて、その1段の変化に対し、前記到達時間の変化が
大きいと判断できる時、それらの基準電圧レベルより、
最適な基準電圧レベルを順方向用、逆方向用それぞれに
決め、通常の測定でそのレベルを使うようにしたことを
特徴とする超音波流量計である。
スから受信波のゼロクロスポイントの検知までの時間
を、例えば連続するn回の送受に対して、順にt1,t
2,…とすると、連続するn回の送受にかかる全時間は
ほぼnt+nτで、この間における流速の変化はほとん
ど零と見做せる。従って前記しきい値としての基準電圧
レベルが狙った特定の波を確実に捕らえている限りt
1,t2,…は殆ど同じ値となり、隣接する二つの値同
士の差はほとんど零である。
圧レベルVTHを段階的に変化させるので、捕らえる波が
変わり、それにつれて発信タイミングから受信波のゼロ
クロスレベル検知までの時間、換言すれば到達時間が大
きく変化するところができる。
基準電圧レベルVTHを最小値から1回の送受ごとに段階
的に大きくする例である。t1は第1波をとらえてい
る。t2も第1波をとらえている。よって、t2はt1
とほとんど同じ値となり両者の差は小さい。ところが次
の3回目の受信での基準電圧レベルVTHは第1波のピー
クより上にあり、とらえる波は第3波に変わる。したが
って、t3はt2より約1波長分大きくなり大きく変化
する。t4は同じく第3波をとらえた受信であるのでt
3との差はほとんどない。
その受信の基準電圧レベルとその直前の受信の基準電圧
レベルのあいだに受信波のピークがあると認識できる。
図2でこれを説明する。同図のような受信波形(増幅
後)とし、基準電圧レベルVTHは1から順に1回の受信
ごとに大きくなるとする。この場合t3,t11,t2
3で大きく変化する。これより、それらの時点の基準電
圧レベル付近にピークがあることがわかる。
ークを持つ波)を検知する場合t3測定時のVTH3 とt
11測定時のVTH11のほぼ平均値を最適な基準電圧レベ
ルとして決めてその後の送受で正しいゼロクロスポイン
トを検知する。
大きさが変化しても最適な基準電圧レベルを設定でき、
難しい調整は必要なくなる。請求項2の発明は、請求項
1の超音波流量計において、前記各送受の到達時間の変
化が大きかった時の基準電圧レベルを小さいほうから並
べたとき、ひとつ小さい基準電圧レベルの一定倍数以上
となる基準電圧レベルを検知し、その基準電圧レベルと
前記ひとつ小さい基準電圧レベルのほぼ平均値を最適基
準電圧レベルとして決めるようにしたことを特徴とする
ものである。
第2波、第3波、第4波、第5波、第6波、第7波と次
第にピークが大きくなる。このピークの電圧の大きくな
る度合いは最初ほど大きくだんだん小さくなることが知
られている。
ラスの第1波側なら、第3波/第1波が最大で、第5波
/第3波、第7波/第3波と段々小さくなる。マイナス
の第2波側なら第4波/第2波が最大で第6波/第4
波、第8波/第6波と小さくなる。
てもほとんど変化しないことが実験等で確認されてい
る。したがって、各ピークの大きささえわかれば直前の
ピークとの比よりそのピークの波が第何波であるか検知
可能である。
他の比率に比べ十分大きいため区別が容易である。よっ
て、第3波あるいは第4波のゼロクロス点を受信点とし
て検知する場合、請求項2の発明によれば確実に第3波
あるいは第4波をとらえることが可能である。
とし以下VTH2 を300mVというように100mVず
つ大きくなるとする。この場合、t3,t11,t23
で到達時間が大きく変化しているが、そのときの基準電
圧レベルはそれぞれ400mV,1200mV,240
0mVである。
=3、第5波/第3波=2となる。切りわけの倍率(比
率)を2.5に設定してあれば、t11で検知したピー
クをもつ波が第3波であると判断できる。その場合、当
然第1波のピークはt3付近にあり、したがって、第3
波をとらえる最適な基準電圧レベルを(VTH3 +
V TH1 )/2あたりに決めることが可能である。
かつ第3波のピークが用意された最大の基準電圧レベ
ル、つまり図2のVTH24より小さくないと第3波/第1
波の比率の検知はできない。
計において、前記受信波検知部の増幅部の増幅度を数段
階変化できるように構成し、前記ひとつ小さい基準電圧
レベルの一定倍数以上となる基準電圧レベルが無い場合
は、前記増幅度を順に変化させ基準電圧レベルを決める
ための送受を各増幅度毎に行うようにし、前記条件を満
たす基準電圧レベルがあれば、その増幅度を最適増幅度
として決め、通常の測定に使用するようにしたことを特
徴とするものである。
小値と最大値の間に第1波のピークと第3波のピークが
入るように前段の増幅部の増幅度を最適にするためのも
ので、増幅度を例えば最小から、上記送受を1組ずつ行
いながら上げることにより、用意した基準電圧レベル範
囲に最適な増幅度を決めることができる。
波流量計において、前記基準電圧レベルを電圧の指数関
数的に複数段用意したことを特徴とするものである。
が一定値以上あるかどうかは、まず演算で比率を求めて
そして一定値と比較している。ところがマイコン等によ
る割り算はわずらわしい。そこで請求項4の発明は割り
算というわずらわしい演算をしないで上記の条件が成り
立つか判断できるようにするものである。
に、下から200mV,251mV,316mV,39
8mV,500mV,629mV,791mV,994
mV,1250mVのように約1.26倍ずつ大きくな
るよう決めると、4つ上のレベルがそのレベルの2.5
倍の電圧となる。
ベルV′THを使ったのが図3である。t3,t8で到達
時間が大きく変化している。この2点の基準電圧レベル
はV′TH3 とV′TH8 である。V′TH8 はV′TH3 の5
段上である。4段で2.5倍あるので、2.5倍以上あ
ることがわずらわしい割り算をしなくても判定できる。
を図面の実施例に基づいて説明する。 〔実施例1〕図4の実施例1では2秒間隔でいわゆる通
常の測定を行っていて、その合間を使い1分に1回増幅
度と基準電圧レベルの最適化のための送受信を行ってい
る。構成は以下のようになっている。
いは超音波の送受をする1対の超音波送受波器1,2
と、 2).受信側の送受波器2が接続され受信波を検知する
と受信波検知信号を出力する受信波検知部4と、 3).測定ON・OFF信号がOFF側からON側にな
る毎に送信側の送受波器1又は2を駆動しその後は受信
波検知信号が入力されるごとに駆動し、第n受信波検知
信号が入力されるか測定ON・OFF信号がOFF側に
なると駆動を停止する送波器駆動部5と、 4).受信波検知部4よりの受信波検知信号が入力され
ていて、測定ON・OFF信号がON側になる毎にゼロ
からカウントを開始しn番目の受信波検知信号を検知し
て第n受信波検知信号を出力する第1のカウンタ6と、 5).測定ON・OFF信号がON側になってから第n
受信波検知信号までの時間を測定する第2のカウンタ7
と、 6).一定のタイミングで送受の切り替えを行い、その
都度測定ON・OFF信号をOFF側からON側にし、
第n受信波検知信号を受けると第2のカウンタ7の測定
値(カウント値)を読み取り、流速、流量等の演算を行
うコントロール部8を有する超音波流量計であって、 7).測定ON・OFF信号がON側になってから最初
の受信波検知信号までの時間、その後は受信波検知信号
から次の受信波検知信号までの時間をその都度測定して
出力する第3カウンタ9を有し、 8).前記受信波検知部4は、増幅部と比較部より構成
され、送信側送受波器1又は2からの信号は、まず増幅
部で増幅されその後、基準電圧レベルと比較部で比較さ
れるようになっていて、最初に基準電圧レベルを越えた
波が次にゼロレベルを通る点を、受信波を検知した点と
するようになっていて、前記増幅部の増幅度は8段階用
意されていて、コントロール部8よりの増幅度選択信号
により1つが選択される。また基準電圧レベルもコント
ロール部8よりの基準電圧レベル選択信号により用意さ
れた8つから1つを選択して使用するようになってい
る。基準電圧レベルの8つは、正(プラス)側に設定さ
れていて下から200mV,251mV,316mV,
398mV,500mV,629mV,791mV,9
94mVであり約1.26倍ずつ大きくなるように決め
られたものである。
ピュータで構成されていて、2秒間隔で前述のいわゆる
通常の測定のための動きを行っているが、この通常の測
定の合間を使い1分間隔で増幅度と基準電圧レベルの最
適化のための動作を行うようになっている。つまり、 10).送受切り替え信号を順方向とし、 11).増幅度選択信号を最小増幅度の選択とし、 12).基準電圧レベル選択信号を最小レベルの選択と
し、 13).そして、測定ON・OFF信号をON側にす
る。このあたりの動きを最適化スタートとして図5に示
す。
して入力されている。この割り込み処理を図6に示し
た。 15).受信波検知信号が割り込みとして入力される
と、第3のカウンタ9が測定した到達時間の読み取りを
行う。そして、前回読み値と比較し、差が大きい時(一
定値以上のとき)は、その前に大きく変化したときから
基準電圧レベルが何段アップしているかチェックしてそ
れが4段より大きい場合、第3波を検知できたと判断す
る。そして前回の基準電圧レベルとの中間のレベルナン
バーの基準レベルを最適基準レベルとし、そのときの増
幅度を最適増幅度とするようになっている。
に、基準電圧レベルを1段ずつ上げるように構成されて
いて、最大基準電圧レベルでの受信である8回目の受信
波検知信号入力でも条件に合致しないときは増幅度が適
していないとして、増幅度を1段アップして再び最適化
の動作をスタートする。
るとその時点で測定ON・OFF信号をOFFとし、次
に送受切り替え信号を逆方向とし増幅度を最小として再
び最適化をスタートする。
いれば電圧で2.5倍を越えていることになり、最適と
して決めたレベルは確実に第3波をとらえることにな
る。 19).こうして順方向、逆方向それぞれに対し最適な
基準電圧レベルと増幅度を自動的に決め、それを使い通
常の測定を行うため、圧力の変化があっても作業者が手
間をかけて調整する必要なく精度よい測定が可能であ
る。
ベルは正側に設定したが負(マイナス)側に設定も可能
で第4波をとらえるよう構成することも同様に可能であ
る。 21).また、本実施例は1回の送受毎に基準レベルを
小さいほうから順に大きくしたが、当然、大きいほうか
ら小さくしていくこともできる。
信号が入力される毎に到達時間の変化をチェックした
が、到達時間の記憶のみとし全基準電圧レベルでの測定
終了後にまとめてチェックすることもできる。
受を行うようにする。つまり、ある一定回数の送受毎に
レベルを1段変化させるようにすることも可能である。
この方法によれば、受信波にノイズがのっている場合で
も、同じ基準電圧レベルの複数回の送受の到達時間の
内、多い集まりのものをその基準電圧レベルでの到達時
間とする等、ノイズの影響を受けない最適化が実現可能
である。
例で、ORゲート10と、リセット可能なカウンタ11
と、カウンタ11のクロック入力CKに基準クロックを
入力する基準クロック発生器12と、カウンタ11の時
間計数値を一時的に記憶してコントロール部7へ出力す
るラッチ回路13が図示のように接続されている。受信
波検知信号がラッチ回路13のラッチ入力に入力されて
カウンタ13の時間計数値を先ずラッチ記憶してからO
Rゲート10を介して受信波検知信号がカウンタ11の
時間計数値を零にリセットするようにタイミングが定め
てある。
特別に設けているが、図1の第2カウンタ7に内蔵され
た基準クロック発生器を利用し、その基準クロックを図
7のカウンタ11のクロック入力CKに入力するように
しても良い。
F信号と受信波検知信号のタイミング図で、1組n回の
順方向測定時におけるn個の受信波検知信号に順に1,
2,3,…,m−1,m,m+1,…,n−1,nの数
字を付けてある。Tは第2のカウンタ7で測定した時間
値(カウント値)である。
4の増幅部の電気回路の具体例で、オペアンプ14にア
ナログスイッチ15を介して8個の帰還抵抗R20〜R
27が接続され、前記コントロール部8からの増幅度選
択信号S10,S11,S12でアナログスイッチ15
のうち何れかのスイッチを選択してオンとすることで、
増幅部の増幅度を選択する。Vinは受信側の送受波器2
又は1からの受信信号で抵抗R1 を介してオペアンプ1
4の反転入力に入力される。
R1) の関係となる。
4の比較部の電気回路の具体例で、コンパレータ16の
非反転入力には前記図9の比較部からの出力V0ut が入
力される。そして反転入力には、前記基準電圧レベルV
THが入力される。
8からの基準電圧レベル選択信号で、アナログスイッチ
17のうち何れか一つのスイッチを選択してオンとする
ことで、8個の抵抗R40〜R47の何れか一つと抵抗
R3とで一定の基準電圧18を分圧してコンパレータ1
6の反転入力を入力する基準電圧レベルVTHを作る。
の関係は、 R40<R41<R42<…<R47 となっていて、コントロール部からの基準電圧レベルを
選択信号でアナログスイッチ17を選択して、基準電圧
レベルを選択することができる。
うにしたが、通常の測定に異常を検知するなどした時、
即最適化を行うようにすることもできる。また、送受を
連続して行い、短時間のため、その間に流速がほとんど
変化せず特に連続する送受については、ほとんど差がな
い。よって、気体が流れている時、さらにその流速が変
化しているときでも最適化の送受が可能である。
で流体の圧力変化等があって受信波の大きさが変化して
も、自動的に基準電圧レベル(VTH)や増幅度の最適値
を求めて決めるため、煩わしい調整作業が不要となる。
た、ピーク値ホールド等の回路を用いないので、低コス
トで、かつ低消費電力の超音波流量計が実現できる。
を受けないで、安定した測定精度を維持できる。更にま
た、エージングによる送受波器の劣化で、受信波の大き
さが経年的に低下しても、それに合わせて基準電圧レベ
ルや増幅度が自動的に最適化されるため、長期に亘り安
定した性能が得られ、流量計の信頼性が向上する。
る作用を説明するタイミング図である。
検知するための基準電圧レベルの変更による検知作用を
説明する図である。
する図である。
電気回路の図である。
ング図である。
る増幅部の電気回路の具体例を示す図である。
する比較部の電気回路の具体例を示す図である。
るための電気信号波形を示す線図である。
基準電圧レベル
Claims (4)
- 【請求項1】 送信側にも受信側にもはたらく少なくと
も1対の超音波送受波器を設け、流体の流れの中を上流
から下流及び下流から上流に超音波の送受を行い、その
各向きの到達時間より流速さらに流量を求める超音波流
量計であって、 まず送信側の送受波器を発信させ、受信側送受波器の信
号を入力する受信波検知部が受信波を検知すると、それ
と同時に再び送信側の送受波器を発信させるようにし、
これを一定回数(n回)繰り返すよう構成し、最初の送
信から一定回数目(n回目)の受信までの時間つまり到
達時間のn倍をまとめて測定し、その結果から流速さら
に流量を求めるようにしたもので、 前記受信波検知部は、増幅部と比較部より構成され、送
信側送受波器からの信号は、まず増幅されその後、基準
電圧レベルと比較されるようになっていて、最初に基準
電圧レベルを越えた波が次にゼロレベルを通る点を受信
波を検知した点とするようになっていて、 前記基準電圧レベルは何段かに変化させることができる
ようになっていて、流速を求めるための通常の測定とは
別に、定期的にあるいは非定期に順方向、逆方向それぞ
れの方向で、前記基準電圧レベルを段階的に、1回の送
受毎にあるいは、数回の送受毎に変化させながら、通常
の測定と同様に複数回連続して繰り返す超音波の送受を
行うようにし、 各送受の到達時間の変化を監視できるようにし、あるい
くつかの基準電圧レベルについて、その1段の変化に対
し、前記到達時間の変化が大きいと判断できる時、それ
らの基準電圧レベルより、最適な基準電圧レベルを順方
向用、逆方向用それぞれに決め、通常の測定でそのレベ
ルを使うようにしたことを特徴とする超音波流量計。 - 【請求項2】 前記各送受の到達時間の変化が大きかっ
た時の基準電圧レベルを小さいほうから並べたとき、ひ
とつ小さい基準電圧レベルの一定倍数以上となる基準電
圧レベルを検知し、その基準電圧レベルと前記ひとつ小
さい基準電圧レベルのほぼ平均値を最適基準電圧レベル
として決めるようにしたことを特徴とする請求項1記載
の超音波流量計。 - 【請求項3】 前記受信波検知部の増幅部の増幅度を数
段階変化できるように構成し、前記ひとつ小さい基準電
圧レベルの一定倍数以上となる基準電圧レベルが無い場
合は、前記増幅度を順に変化させ基準電圧レベルを決め
るための送受を各増幅度毎に行うようにし、前記条件を
満たす基準電圧レベルがあれば、その増幅度を最適増幅
度として決め、通常の測定に使用するようにしたことを
特徴とする請求項2記載の超音波流量計。 - 【請求項4】 前記基準電圧レベルを電圧の指数関数的
に複数段用意したことを特徴とする請求項3記載の超音
波流量計。
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|---|---|---|---|---|
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1996
- 1996-11-13 JP JP30180196A patent/JP3766728B2/ja not_active Expired - Fee Related
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