JPH10143901A - 光ピックアップ - Google Patents

光ピックアップ

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JPH10143901A
JPH10143901A JP8301544A JP30154496A JPH10143901A JP H10143901 A JPH10143901 A JP H10143901A JP 8301544 A JP8301544 A JP 8301544A JP 30154496 A JP30154496 A JP 30154496A JP H10143901 A JPH10143901 A JP H10143901A
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beam splitter
slope
optical pickup
glass material
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Hiroyasu Tsuji
弘恭 辻
Toshio Fukazawa
利雄 深澤
Shogo Nasu
昌吾 那須
Kidai Nochi
紀台 能智
Shinji Uchida
真司 内田
Tsuguhiro Korenaga
継博 是永
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 透過率、反射率、P−S位相差等の光学特性
の光の入射角度依存性の少ない光ピックアップを提供す
ること。 【解決手段】 断面が略平行四辺形である硝材2の斜面
3上にメタルSiと酸化物SiO2ーx(但し,x<0.
5)の混合からなる複合膜並びに複数の誘電体膜を積層
した多層膜を偏光ビームスプリッタ膜4とし、同一の硝
材内であって前記偏光ビームスプリッタ膜4を配した斜
面3と略平行の関係にある斜面5上に高屈折率膜として
メタルSiと酸化物SiO2ーx(但し,x<0.5)の
混合からなる複合膜並びに相対的に低屈折率膜として複
数の誘電体膜を積層した多層膜を反射膜6とした平行プ
リズムを含むことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、拡散光を用いて集
積化を図った光ピックアップに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来レーザー光の照射により情報の記録
・再生を行う光ディスクとしては、光磁気ディスク、追
記型光ディスク、コンパクトディスク(略してCD)、
レーザーディスクが既に実用化されている。そして今日
次世代記録メディアとしてディジタルビデオディスク
(略してDVD)に期待が集まっている。
【0003】光ピックアップは、これら光ディスクで記
録・再生の役を担っている。時代の趨勢として、光ピッ
クアップの集積化に伴う小型化に向けた技術開発が重要
な位置を占めている。
【0004】このような光ピックアップの一例として、
特願平7ー136462号公報で、図8及び図9に示さ
れるような光磁気ディスクを対象とした小型の光ピック
アップが提案されている。図8は上記従来の光学系の概
略断面図であり、図9は受光素子、発光素子及び検光子
部分の上面図である。図8、9において、81は光学モ
ジュールであり、その内部には基板82が設けられてい
る。基板82上には発光素子としてのレーザーダイオー
ド83と受光素子としての光検出素子84、85、86
が設けられている。レーザーダイオード83は例えば基
板82の一部に略45°の斜面を有する凹部を設け、そ
の中に発光チップを搭載して、発光チップからの放射光
が45°の斜面にあたり、反射して上方に放射させるよ
うにしたものである。光検出素子84、85は、それぞ
れ6個ずつの分割された部分84a〜84fおよび85
a〜85fから成っており、光検出素子86は光検出素
子84、85の配列方向に対して略45°傾いた方向に
分割された2個の部分86a、86bから成り立ってい
る。
【0005】87はガラス又は樹脂で構成された透明基
板であり、レーザーダイオード83に対向する面には略
5°〜20°で回折される±1次回折光の焦点位置が異
なるようなレンズ効果を有するホログラム回折格子88
が形成されており、透明基板87は光学モジュール81
上に内部を密封する形で設けられている。89は断面が
略直角三角形の三角形プリズムと断面が略45°である
略平行四辺形のプリズムを接合し断面が略台形となった
偏光プリズムであり、その接合部89aには例えばレー
ザーダイオード83から放射される光がP偏光の時にP
偏光の透過率が略70%、P偏光の反射率が略30%、
S偏光の反射率が略100%になるように(表1)で示
すような各種の誘電体薄膜を多層化して構成した偏光ス
プリッタ膜を設けている。
【0006】
【表1】
【0007】偏光プリズム89は透明基板87上に一体
に構成されており、斜面89bは光学モジュール81の
内部に向かって傾斜した面であって、該面89b上には
(表2)で示すような各種の誘電体薄膜を多層化して構
成した反射膜を設けている。
【0008】
【表2】
【0009】90は断面が三角形のプリズムと断面が平
行四辺形のプリズムを接合した断面が台形となるプリズ
ム型検光子であり、その接合面は、P偏光の透過率が略
100%、S偏光の反射率が略100%に設定された偏
光分離面90aである。プリズム型検光子90は、基板
82上で光検出素子86の上部に設けられており、偏光
分離面90aが光検出素子86の部分86aの上部に配
置され、斜面90bが光検出素子86の部分86bの上
方に配置される。91は、偏光プリズム89の上方に設
けられた集光素子としての対物レンズである。
【0010】上記のように構成された光磁気ピックアッ
プでは、レーザーダイオード83から放射されたP偏光
の光は、ホログラム回折素子88が形成された透明基板
87を透過して偏光プリズム89の偏光スプリッタ面8
9aに入射する。偏光スプリッタ面89aではP偏光の
透過率が略70%、P偏光の反射率が略30%、S偏光
の反射率が略100%に設定されているので光の略70
%が透過し、対物レンズ91によって光磁気記録媒体9
2上に集光される。光磁気記録媒体92上では、記録さ
れている磁気信号によって光の偏光面が略0.5°程度
回転され、光磁気信号成分として若干のS偏光成分を得
て光りは反射し、再び対物レンズ91を通過して偏光プ
リズム89の偏光分離面89aに戻る。
【0011】偏光分離面89aでは、P偏光の透過率が
略70%、P偏光の反射率が略30%、S偏光の反射率
が略100%に設定されているので、P偏光成分の略7
0%は透過し、P偏光成分の略30%と光磁気信号成分
であるS偏光成分の略100%は反射する。このうち、
偏光分離面89aを反射した光は斜面89bで反射され
て透明基板87を透過して光学モジュール81内に入
り、プリズム型検光子90の偏光分離面90aに入射す
る。偏光分離面90aでは、P偏光の透過率が略100
%、S偏光の反射率が略100%に設定されているの
で、P偏光成分は透過して光検出素子86の部分86a
に入射し、S偏光成分は反射して斜面90bで反射され
た後に光検出素子86の部分86bに入射する。
【0012】上記のような構成による光磁気ピックアッ
プでは光学モジュール81と一体にP偏光とS偏光とで
反射率及び透過率の異なる偏光プリズム89を設けたこ
と、及び光学モジュール81の内部にレーザーダイオー
ド83と光検出素子84〜86を設け、この基板上に一
体にプリズム型検光子を設けたことにより、小型で低コ
ストの集積化された光磁気ディスク用光ピックアップを
可能とした。
【0013】また、特願平7ー188898号公報で図
10(a)、(b)に示すようなDVDを対象とした小
型の光ピックアップが提案されている。図10(a)は
従来の光学系の概略断面図であり、(b)は受光素子部
分の拡大上面図である。
【0014】図10において、103は光学モジュール
であり、その内部には基板104が設けられている。基
板104には、レーザーダイオード105と光検出素子
106、107、108が設けられている。レーザーダ
イオード105は、例えば基板104の一部に45°の
斜面を有する凹部を設け、その中に発光チップを搭載し
て、発光チップからの放射光が45°の斜面にあたり、
反射して上方に放射させるようにしたものであり、P偏
光の直線偏光の光を放射する。光検出素子106、10
8はそれぞれ4個ずつの分割された106a、106
b、106c、106d及び108a、108b、10
8c、108dから成っており、領域106bと領域1
06dを分割する分割線及び領域108bと領域108
dを分割する分割線の方向が情報記録媒体124の情報
トラック列の方向と略平行になるように構成されてい
る。109はガラスまたは樹脂で構成された透明基板で
あり、基板104に対向する面のうち光検出素子10
6、107、108に対向する領域には、略5°〜20
°の回折角で回折される±1次回折光の焦点位置が光検
出素子106、107、108の面を中心に、それぞれ
透明基板109に近い側と遠い側に来るようなレンズ効
果を有するホログラム回折格子120が設けられてお
り、透明基板109は、光学モジュール103の内部を
密閉する形で設けられている。
【0015】121は、断面が略直角三角形のプリズム
と断面が略45°である略平行四辺形のプリズムを接合
した偏光ビームスプリッタであり、その接合面では、P
偏光の光は透過しS偏光の光は反射する光学膜121a
である。光学膜121aは(表3)に示すように、誘電
体膜を多層化して構成されている。
【0016】
【表3】
【0017】偏光ビームスプリッタ121は透明基板1
09上に一体に構成されており、斜面121bは、光学
モジュール103の内部に向かって傾斜している。12
2は偏光ビームスプリッタ121の上面に一体に設けら
れた1/4波長板であり、直線偏光の光を円偏光に変え
る。
【0018】上記のように構成された光ピックアップで
は、レーザーダイオード105より放射されたP偏光の
光は、透明基板109を通過して偏光ビームスプリッタ
121に入射し、光学膜121aを透過して、1/4波
長板122に入射する。ここでP偏光の光は円偏光に変
わって出射され、対物レンズ123により情報記録媒体
124上に集光される。情報記録媒体124上で情報信
号を得て反射した円偏光の光は、再び対物レンズ123
を透過して1/4波長板122に入射する。ここで、再
び1/4波長板122を透過することにより、円偏光の
光はレーザーダイオードより放射されたP偏光と直交す
る直線偏光、すなわちS偏光に変わって出射され、偏光
ビームスプリッタ121に入射し、光学膜121aで反
射され、斜面121bで反射された後に透明基板109
のホログラム回折格子120に入射する。
【0019】ここで、光は略5°〜20°の回折角で回
折され、例えば+1次回折光は光検出素子106に入射
し、0次光は光検出素子107に入射し−1次回折光は
光検出素子108に入射する。
【0020】上記のような構成によるDVDを対象とし
た光ピックアップでは光学モジュール103と偏光ビー
ムスプリッタ121を一体に設け、偏光ビームスプリッ
タ121と1/4波長板122を一体に設けたことによ
り、光ピックアップの大幅な小型化が可能となった。ま
た、光学モジュール内103に一体にレーザーダイオー
ド105と光検出素子106、107、108が構成さ
れているので、部品点数が少なく、また光検出素子10
6、107、108の高精度な位置決めが不用となって
光ピックアップの低コスト化が可能となった。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】光ピックアップにおけ
る構成要素の集積化は、本質的に光源としてある広がり
を持った拡散光である半導体レーザーを用いて行われる
ために、光ピックアップの構成要素のもつ光学特性は、
入射角に強く影響をうける。
【0022】図8、9で示した光磁気ディスク用光ピッ
クアップでは、多くの場合、断面が略平行四辺形である
硝材の89a面及び該89aと略平行である面89bに
それぞれ配した偏光ビームスプリッタ膜及び反射膜を複
数の誘電体膜のみで構成しているために、幅広い入射角
に伴ってP偏光とS偏光間の位相差が発生する。
【0023】偏光ビームスプリッタ膜での反射光のP偏
光とS偏光間の位相差(以下P−S位相差と略す)、反
射膜での反射光のP−S位相差、及び、偏光ビームスプ
リッタ膜/反射膜の反射光のP−S位相差の合計、即
ち、ディスクで反射した光が光検出素子に入射する際の
P−S位相差の光の入射角度依存性を図11に示すが、
この図が示すように、光の入射角度が45゜±10゜の
場合、偏光ビームスプリッタ膜のP−S位相差は−50
゜〜+40゜、反射膜のP−S位相差は−50゜〜+5
0゜以上であり、光検出素子に入射する際の光のP−S
位相差(同図では総合のP−S位相差として表してい
る)も−50゜〜+50゜以上である。
【0024】しかしながら、良好な光磁気ディスクの再
生を行うためには光検出素子に入射する際の光のP−S
位相差は少なくとも−20゜〜+20゜程度に抑える必
要があり、上記従来の偏光ビームスプリッタ膜、反射膜
では拡散光に対応した光ピックアップを構成することが
困難であった。
【0025】また図10で示したDVDを対象とした光
ピックアップでは、幅広い入射角を伴った際に、例えば
図12に示すようにP偏光に対する偏光ビームスプリッ
タ膜の透過率の入射角度依存性が大きい(入射角度45
゜±10゜で透過率50%〜100%)ため、受光部に
導かれる光量が減少し、良好な再生ができなくなる。
【0026】さらに、ホログラム格子120を光学モジ
ュール13の内部を密閉する形で設けられた透明基板1
09上に配しているために、ホログラム格子と光検出素
子106、107、108の間隔を小さくした場合、回
折光の回折角度θを大きくする、即ち回折格子のピッチ
を小さくすることが必要となるため、回折格子の製造が
困難となり良好な光ピックアップを構成できないという
問題があった。
【0027】本発明は、前記従来の問題、即ち位相差を
低減した光磁気ピックを提供することを目的とする。
【0028】さらに本発明は、再生時の光量の効率を改
善並びに回折格子のピッチを大きくできることを図った
DVDを対象とした光ピックアップを提供するものであ
る。
【0029】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の光磁気ディスク用光ピックアップは、断面
が略平行四辺形である硝材の斜面上に、メタルSiと酸
化物SiO2ーx(但しx<0.5)の混合からなる複合
膜並びに複数の誘電体膜を積層した多層膜を偏光ビーム
スプリッタとし、さらに同一の硝材内であって前記偏光
ビームスプリッタを配した斜面と略平行の関係にある斜
面上に高屈折率膜としてメタルSiと酸化物SiO2ーx
(但しX<0.5)の混合からなる複合膜並びに相対的
に低屈折率膜として複数の誘電体膜を積層した多層膜を
反射膜とした略平行プリズムを備えたものである。
【0030】前記本発明の光磁気ピックアップにおける
略平行プリズムでは、前記偏光ビームスプリッタを構成
している複合膜の屈折率n及び吸収係数kは、n≧2.
8、k≦0.3であることが好ましい。
【0031】また、前記本発明の光ピックアップにおけ
る略平行プリズムでは、前記反射膜を構成している複合
膜の屈折率n及び吸収係数kがn≧2.8、k≦0.3
であることが好ましい。
【0032】また先に記載したDVDにおいて、前記目
的を達成するために、本発明の光ピックアップは、断面
が略平行四辺形である硝材の斜面上にメタルSiと酸化
物SiO2-x(x<0.5)の混合からなる複合膜並び
に複数の誘電体膜を積層した多層膜を偏光ビームスプリ
ッタとし、さらに同一の硝材内であって前記偏光ビーム
スプリッタ膜を配した斜面と略平行の関係にある斜面上
にホログラム回折格子と該ホログラム回折格子の上に金
属膜単層または金属膜と誘電体膜の積層膜からなる反射
膜を配した略平行プリズムを備えたものである。
【0033】また、前記本発明の光ピックアップにおけ
る略平行プリズムでは、前記偏光ビームスプリッタを構
成している複合膜の屈折率n及び吸収係数kは、n≧
2.8、k≦0.3であることが好ましい。
【0034】なお、前記反射膜は、Ag膜であることが
好ましい。さらに該反射膜は、微細加工等によるパター
ン化された形状を有することが好ましい。
【0035】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、断面が略平行四辺形である硝材の斜面上にメタルS
iと酸化物SiO2ーx(但し,x<0.5)の混合から
なる複合膜並びに複数の誘電体膜を積層した多層膜を偏
光ビームスプリッタ膜とし、同一の硝材内であって前記
偏光ビームスプリッタを配した斜面と略平行の関係にあ
る斜面上に高屈折率膜としてメタルSiと酸化物SiO
2ーx(但し,x<0.5)の混合からなる複合膜並びに
相対的に低屈折率膜として複数の誘電体膜を積層した多
層膜を反射膜とした平行プリズムを含むことを特徴とし
たものであり、偏向ビームスプリッタ膜、反射膜にメタ
ルSiと酸化物SiO2ーx(但し,x<0.5)の混合
からなる複合膜を用いることにより、光の入射角が変化
しても、光学特性は変化しない、即ち、本発明を構成す
る複合膜は屈折率nが高く、吸収係数を小さくできるた
め、これにより、角度依存性を良好にできるという作用
を有する。
【0036】本発明の請求項2に記載の発明は、偏光ビ
ームスプリッタ内の複合膜の屈折率n及び吸収係数kが
n≧2.8、k≦0.3であり、反射膜内の複合膜の屈
折率n及び吸収係数kがn≧2.8、k≦0.3である
ことを特徴とした請求項1記載の光ピックアップであ
り、n、kを上記のように限定することにより、角度依
存性の改善、高効率化ができるという作用を有する。
【0037】本発明の請求項3に記載の発明は、断面が
略平行四辺形である硝材の斜面にメタルSiと酸化物S
iO2ーx(但し,x<0.5)の混合からなる複合膜並
びに複数の誘電体膜を積層した多層膜を偏光ビームスプ
リッタとし、同一の硝材内であって前記偏光ビームスプ
リッタを配した斜面と略平行である斜面にホログラム回
折格子を配し該ホログラム回折格子の上に金属膜単層ま
たは金属膜と誘電体膜の積層膜からなる反射膜を配した
平行プリズムを含むことを特徴としたものであり、偏向
ビームスプリッタ膜にメタルSiと酸化物SiO
2ーx(x<0.5)の混合からなる複合膜を用いること
により、光の入射角が変化しても、光学特性は変化しな
い、即ち、この複合膜は屈折率nが高く、吸収係数を小
さくできるため、これにより、角度依存性を良好にでき
るという作用を有し、平行プリズム内にホログラム格子
を構成するので、光検出素子までの光路長を長くするこ
とができ、ホログラム回折格子の回折角度を小さくする
ことが可能となり、このため、ホログラムパターンのピ
ッチが大きくでき、製造が容易なホログラム格子を形成
できるという作用を有する。
【0038】本発明の請求項4に記載の発明は、偏光ビ
ームスプリッタ内の金属膜の屈折率n及び吸収係数kが
n≧2.8、k≦0.3であることを特徴とした請求項
3記載の光ピックアップで、n、kを上記のように限定
することにより、角度依存性の改善、高効率化ができる
という作用を有する。
【0039】本発明の請求項5に記載の発明は、反射膜
を構成する金属膜がAg膜であることを特徴とした請求
項3記載の光ピックアップで、反射膜を構成する金属膜
にAgを用いることで、反射率の入射角度依存性が小さ
く、かつ、高効率な反射率を実現できるという作用を有
する。
【0040】本発明の請求項6に記載の発明は、反射膜
を少なくともホログラム回折格子上に配置するようパタ
ーン化したことを特徴とした請求項3、4、5記載の光
ピックアップで、反射膜と硝材との密着性が悪い場合に
おいても、反射膜をホログラム上にのみ形成することに
より反射膜の剥離を抑え、良好な光ピックアップを構成
できる作用を有する。
【0041】本発明の請求項7に記載の発明は、断面が
略45゜の平行四辺形である硝材の斜面にメタルSiと
酸化物SiO2ーx(但し,x<0.5)の混合からなる
複合膜並びに複数の誘電体膜を積層した多層膜を偏光ビ
ームスプリッタとし、同一の硝材内であって前記偏光ビ
ームスプリッタを配した斜面と略平行である斜面上にホ
ログラム回折格子を配し、前記硝材の屈折率nをn≧
1.6とした平行プリズムを用いたことを特徴とするも
ので、ホログラム部での反射率を、反射膜を用いること
なく、高効率で、入射角度依存性の小さな光ピックアッ
プを構成できる作用を有する。
【0042】本発明の請求項8に記載の発明は、偏光ビ
ームスプリッタ内の金属膜の屈折率n及び吸収係数k及
びトータル厚みdがn≧3.0、k≦0.3であること
を特徴とした請求項7記載の光ピックアップで、n、k
を上記のように限定することにより、角度依存性の改
善、高効率化ができるという作用を有する。
【0043】以下、本発明の実施の形態について、図1
〜図7を用いて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の第1の実施の形態にお
ける本発明の光磁気ディスク用の光ピックアップを構成
するプリズムの断面図を示し、図2〜4はプリズムのP
−S位相差の入射角度依存性を示す。
【0044】図1に示すように、プリズム1は断面が略
45°の略平行四辺形である硝材2を有し、硝材2の屈
折率nが1.635であって、硝材2の斜面3上には、
(表4)または(表5)に示すようなメタルSiと酸化
物SiO2ーx(但し,x=0.2)の混合からなる複合
膜とAl23、SiO2、Y23及びTiO2膜のような
複数の誘電体膜を積層した偏光ビームスプリッタ膜4を
設けている。
【0045】
【表4】
【0046】
【表5】
【0047】なお偏光ビームスプリッタ膜4は(表
4)、(表5)に示されるように10層の積層膜であ
る。
【0048】同一の硝材2内であって斜面3と略平行の
関係にある斜面5上には、(表6)または(表7)に示
すような高屈折率膜としてメタルSiと酸化物SiO
2ーx(但し,x=0.2)の混合からなる複合膜並びに
相対的に低屈折率であるAl23及びTiO2膜のよう
な複数の誘電体膜を積層した反射膜6を設けている。
【0049】
【表6】
【0050】
【表7】
【0051】なお反射膜6は(表6)、(表7)に示さ
れるように23層の積層膜である。硝材2の両側には三
角プリズム7、8がそれぞれ偏光ビームスプリッタ膜
4、反射膜6を介して接合されている。
【0052】この多層膜で構成した偏光ビームスプリッ
タ膜4での反射光のP−S位相差の入射角依存性をを図
2に,反射膜6単独での反射光のP−S位相差の入射角
依存性を図3に,偏光ビームスプリッタ膜/反射膜の反
射光のP−S位相差の合計即ちディスクで反射した光が
光検出素子に入射する際のP−S位相差の入射角依存性
を図4に示す.なお,図2において横軸は光の入射角度
を示すものであって偏光ビームスプリッタ4を配してい
る面3の法線と入射光とのなす角度を示す.図3におい
て横軸は反射膜6を設けた面5の法線と入射角とのなす
角度を示す。
【0053】図2、3、4で明らかなように、従来の偏
光ビームスプリッタ膜及び反射膜、即ち誘電体膜のみで
構成した多層膜(図10)と比べ、偏光ビームスプリッ
タ膜のP−S位相差は−10゜〜+40゜(従来例:−
50゜〜+40゜)であり、反射膜のP−S位相差は−
25゜〜+25゜(従来例:−50゜〜+50゜)、光
検出素子に入射する際の光のP−S位相差も−10゜〜
50゜(従来例:−50゜〜+50゜以上)となり、P
−S位相差を低減できた。
【0054】なお,偏光ビームスプリッタ膜及び反射膜
を構成しているメタルSiと酸化物SiO2ーxの混合か
らなる複合膜は,x=0.2を例にして説明を行った
が,xが0<x<0.5の範囲では同様な特性を得るこ
とができる。
【0055】なお、図示していないが、透過、反射率の
入射角度依存性が小さく、高効率であることはいうまで
もない。
【0056】このように良好な位相特性が得られるの
は、誘電体膜及び金属膜のもつ特徴を基本的には補完し
あった多層膜であることによる。つまり、誘電体膜は膜
の吸収損失がなく、複数の材料を適当に組み合わせるこ
とで透過率や反射率を任意に設定できる反面、光の入射
角度によって位相差などの光学特性が大きく変化するの
に対し、金属膜は屈折率が大きいため、光の入射角が変
化しても、前記光学特性は比較的変化しない反面、吸収
が大きいため、高効率な透過率を実現することが困難で
あるが、誘電体膜及び金属膜を積層することにより透過
率や反射率を任意に設定でき、かつ、光の入射角度依存
性を小さくできるという利点がある。さらに本発明では
単なる金属膜ではなくメタルSiとその酸化物であるS
iO2ーxの混合からなる複合膜を配しているために、高
屈折率nと低吸収係数kが実現できるため、高効率な偏
光ビームスプリッタ膜及び反射膜を実現できるという効
果を有する。
【0057】また、前記偏光ビームスプリッタ膜を構成
している多層膜中のメタルSiと酸化物SiO2ーxの混
合からなる複合膜の屈折率n及び吸収係数kは、図2〜
4で示すように、反射光のP−S位相差の入射角度依存
性に影響を与える。前述したように該複合膜の屈折率n
は大きいこと、吸収係数kは小さいことが好ましいが、
さらに望むならば、n≧2.8、k≦0.3であること
が好ましい。
【0058】本実施の形態において、硝材2の角度を略
45°としたが、角度が35°〜55°の範囲において
も、斜面3及び斜面3に略平行な斜面5に上記の多層膜
を配すると、従来の多層膜に比べ、入射角に伴う反射光
のP−S位相差特性を改善できる。
【0059】なお、本実施の形態のプリズムを図8,9
で示した光磁気ディスク用光ピックアップ内に装填し、
PーS位相差の低減により良好な再生を行うことができ
た。
【0060】(実施の形態2)図5は本発明の第2の実
施の形態における本発明のDVD用の光ピックアップを
構成するプリズムを示し、図6は本第2の実施の形態に
おけるのプリズムの基本性能、即ちP偏光に対する偏光
ビームスプリッタ膜の透過率を示す。
【0061】図5において、プリズム50は断面が略4
5゜の略平行四辺形である硝材51を有し、硝材51の
屈折率nは1.51であって、硝材51の斜面52上に
は、(表8)または(表9)に示すようなメタルSiと
酸化物SiO2ーx(但しx=0.2)の混合からなる複
合膜とTiO2及びSiO2膜のような複数の誘電体膜を
積層した偏光ビームスプリッタ膜53を設けている。
【0062】
【表8】
【0063】
【表9】
【0064】なお、偏光ビームスプリッタ膜53の層数
は(表8)、(表9)に示すように20層である。
【0065】同一の硝材50内であって斜面52と略平
行の関係にある斜面54上には、ホログラム格子55を
設ける。そして、ホログラム格子55上にはAgで構成
した反射膜56を設ける。
【0066】硝材51の両側には三角プリズム57、5
8がそれぞれ偏光ビームスプリッタ膜53、反射膜56
を介して接合されている。
【0067】本第2の実施の形態における多層膜で構成
した偏光ビームスプリッタ膜53の光入射角度に伴うP
偏光の透過率の挙動を示した図6で明らかなように、偏
光ビームスプリッタ膜53の透過率は70%〜90%
(入射角度45゜±10゜)と変化量は,図12で示し
た従来の50%〜100%と比較して,小さく安定して
いる。
【0068】なお、図6中における横軸は光の入射角度
を示すものであって、偏光ビームスプリッタ膜53を配
している斜面52の法線と入射光とのなす角度を示す。
【0069】なお,偏光ビームスプリッタ膜及び反射膜
を構成しているメタルSiと酸化物SiO2ーxの混合か
らなる複合膜は,x=0.2を例にして説明を行った
が,xが0<x<0.5の範囲では同様な特性を得るこ
とができる。
【0070】このように入射角度に伴うP偏光透過率が
安定して得られるのは、第1の実施の形態でも記載した
ように、誘電体膜及び金属膜のもつ特徴を基本的に補完
しあった多層膜であるとともに、単なる金属膜ではなく
メタルSiとその酸化物であるSiO2ーxの混合からな
る複合膜とすることで、高屈折率nと低吸収係数kが実
現できるためで、高効率な偏光ビームスプリッタ膜を実
現できるという効果を有する。
【0071】偏光ビームスプリッタ膜53を構成してい
る多層膜中のメタルSiと酸化物SiO2ーxの混合から
なる複合膜の屈折率n及び吸収係数kは、図6で示すよ
うにP偏光透過率の入射角度依存性に影響を与える。複
合膜の屈折率nは大きいこと、吸収係数kは小さいこと
が好ましい。さらに望むならば、n≧2.8、k≦0.
3であることが好ましい。
【0072】また、硝材51の斜面52と略平行の関係
にある斜面54上にホログラム格子を構成するので、従
来例を示した図10と比べ,ホログラム素子と光検出素
子までの光路長を長くすることができ、ホログラム回折
格子の回折角度θを小さくすることが可能となり、この
ため、ホログラムパターンのピッチが大きくでき、製造
が容易なホログラム格子を形成できるという作用を有す
る。
【0073】さらに、反射膜を構成する金属膜にAgを
用いることで、反射率の入射角度依存性が小さく、か
つ、高効率な反射率を実現できるという作用を有する。
【0074】そして、反射膜を少なくともホログラム回
折格子上に配置するようパターン化することにより、反
射膜と硝材との密着性が悪い場合においても、反射膜を
ホログラム上にのみ形成することにより反射膜の剥離を
抑え、良好な光ピックアップを構成できる作用を有す
る。
【0075】本実施の形態では角度が略45°である平
行四辺形の硝材51を用いたが、角度が35°〜55°
の範囲の場合においても、斜面52上に上記の多層膜5
3を配し、斜面52と略平行である関係にある斜面54
上にホログラム格子55を設け、さらにホログラム回折
格子55の上に反射膜56を構成することにより、従来
の多層膜を用いた略平行プリズムと比べ、入射角に伴う
P偏光透過率の安定化を図ることができる。
【0076】また、本実施の形態のプリズムを図10で
示した光ピックアップ内に装填して、DVDの再生特性
を測定し、従来のプリズムと比較して、入射角にともな
うP偏光透過率の安定化に伴う光量効率が増加したため
良好な再生を行うことができた。
【0077】(実施の形態3)図7は、本発明のDVD
用光ピックアップを構成するプリズムの断面図であっ
て、断面が略45°であり略平行四辺形をした平行プリ
ズムを示している。
【0078】図7において、プリズム70は断面が略平
行四辺形である硝材71と断面が略三角形である硝材7
6で構成される。該略平行四辺形である硝材71の屈折
率nは1.6であって、硝材71の斜面72上には、
(表8)または(表9)に示すようなメタルSiと酸化
物SiO2ーx(但し,x=0.2)の混合からなる複合
膜とTiO2及びSiO2膜のような複数の誘電体膜を積
層した偏光ビームスプリッタ膜73を設けている。な
お、偏光ビームスプリッタ膜73の層数は(表8)、
(表9)に示すように20層である。
【0079】同一の硝材71内であって斜面72と略平
行の関係にある斜面74上には、ホログラム格子75を
設ける。
【0080】硝材71の偏光ビームスプリッタ膜73を
構成した側には三角プリズム76が偏光ビームスプリッ
タ膜73を介して接合されている。
【0081】本実施の形態において多層膜で偏光ビーム
スプリッタ膜73を構成したことによる効果については
第2の実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【0082】なお,偏光ビームスプリッタ膜及び反射膜
を構成しているメタルSiと酸化物SiO2ーxの混合か
らなる複合膜は,x=0.2を例にして説明を行った
が,xが0<x<0.5の範囲では同様な特性を得るこ
とができる。
【0083】また、偏光ビームスプリッタ膜73を構成
している多層膜中のメタルSiと酸化物SiO2ーxの混
合からなる複合膜の屈折率n及び吸収係数kは、図6で
示すようにP偏光透過率の入射角度依存性に影響を与え
る。複合膜の屈折率nは大きいこと、吸収係数kは小さ
いことが好ましく、さらに望むならば、n≧2.8、k
≦0.3であることが好ましいことも第2の実施の形態
と同様である。
【0084】また、硝材71の斜面72と略平行の関係
にある斜面74上にホログラム格子を構成するので、従
来例を示した図10と比べ,ホログラム格子と光検出素
子までの光路長を長くすることができ、ホログラム回折
格子の回折角度θを小さくすることが可能となり、この
ため、ホログラムパターンのピッチが大きくでき、製造
が容易なホログラム格子を形成できるという作用を有す
ることも第2の実施の形態と同様である。
【0085】さらに、本第3の実施の形態では、硝材7
1の角度を略45゜、屈折率を1.6とすることによ
り、第2の実施例で示したような反射膜56、三角プリ
ズム58を必要とせず、硝材71/空気の反射で良好な
反射率特性を得られるという特有の効果を有する。な
お、硝材71の屈折率nが≧1.6であれば良好な反射
率特性を得られる。
【0086】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ピック
アップによれば、反射率、透過率の入射角度依存性を劣
化させず、P−S位相差を大幅に低減し良好な再生を行
うことができるという効果を有する。
【0087】また、本発明の光ピックアップによれば、
平行プリズム中にホログラム格子を構成するので、光検
出素子までの光路長を長くすることができ、ホログラム
回折格子の回折角度を小さくすることが可能となり、こ
のため、ホログラムパターンのピッチが大きくでき、製
造が容易なホログラム格子を形成できるという効果を有
する。さらに、反射膜を構成する金属膜にAgを用いる
ことで、反射率の入射角度依存性が小さく、かつ、高効
率な反射率を実現できるという効果作用を有する。そし
て、反射膜を少なくともホログラム回折格子上に配置す
るようパターン化することにより、反射膜と硝材との密
着性が悪い場合においても、反射膜をホログラム上にの
み形成することにより反射膜の剥離を抑え、良好な光ピ
ックアップを構成できる効果を有する。
【0088】さらに、平行プリズムの角度を略45゜、
屈折率を1.6以上とすることにより、硝材・空気の反
射で良好な反射率特性を得られるという特有の効果を有
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における光ピックアップ
を構成するプリズムの断面図
【図2】本発明の実施の形態1の偏向ビームスプリッタ
膜のP−S位相差の入射角度依存性を示す図
【図3】本発明の実施の形態1の反射膜のP−S位相差
の入射角度依存性を示す図
【図4】本発明の実施の形態1の偏向ビームスプリッタ
膜/反射膜を経由した光のP−S位相差の入射角度依存
性を示す図
【図5】本発明の実施の形態2における光ピックアップ
を構成するプリズムの断面図
【図6】本発明の実施の形態2におけるプリズムの透過
率の入射角依存性を示す図
【図7】本発明の実施の形態3における光ピックアップ
を構成するプリズムの断面図
【図8】従来の光学系の概略断面図
【図9】従来の受光素子、発光素子及び検光子部分の上
面図
【図10】従来の光学系の概略断面図
【図11】従来のプリズムのP−S位相差の入射角度依
存性を示す図
【図12】従来の偏向ビームスプリッタ膜の透過率の入
射角度依存性を示す図
【符号の説明】
1,50,70 プリズム 2,51,71 硝材 3,5,52,54,72,74 斜面 4,53,73 偏光ビームスプリッタ膜 6,56 反射膜 7,8,57,58,76 三角プリズム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 能智 紀台 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 内田 真司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 是永 継博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 断面が略平行四辺形である硝材の斜面上
    にメタルSiと酸化物SiO2ーx(但し,x<0.5)
    の混合からなる複合膜並びに複数の誘電体膜を積層した
    多層膜を偏光ビームスプリッタとし、同一の硝材内であ
    って前記偏光ビームスプリッタを配した斜面と略平行の
    関係にある斜面上に高屈折率膜としてメタルSiと酸化
    物SiO2ーx(但し,x<0.5)の混合からなる複合
    膜並びに相対的に低屈折率膜として複数の誘電体膜を積
    層した多層膜を反射膜とした平行プリズムを含むことを
    特徴とした光ピックアップ。
  2. 【請求項2】 偏光ビームスプリッタ内の複合膜の屈折
    率n及び吸収係数kが n≧2.8、k≦0.3 であり、反射膜内の複合膜の屈折率n及び吸収係数kが n≧2.8、k≦0.3 であることを特徴とした請求項1記載の光ピックアッ
    プ。
  3. 【請求項3】 断面が略平行四辺形である硝材の斜面に
    メタルSiと酸化物SiO2ーx(但し,x<0.5)の
    混合からなる複合膜並びに複数の誘電体膜を積層した多
    層膜を偏光ビームスプリッタとし、同一の硝材内であっ
    て前記偏光ビームスプリッタを配した斜面と略平行であ
    る斜面にホログラム回折格子を配し該ホログラム回折格
    子の上に金属膜単層または金属膜と誘電体膜の積層膜か
    らなる反射膜を配した平行プリズムを含むことを特徴と
    した光ピックアップ。
  4. 【請求項4】 偏光ビームスプリッタ内の金属膜の屈折
    率n及び吸収係数kが n≧2.8、k≦0.3 であることを特徴とした請求項3記載の光ピックアッ
    プ。
  5. 【請求項5】 反射膜を構成する金属膜がAg膜である
    ことを特徴とした請求項3記載の光ピックアップ。
  6. 【請求項6】 反射膜を少なくともホログラム回折格子
    上に配置するようパターン化したことを特徴とした請求
    項3〜5のいずれかに記載の光ピックアップ。
  7. 【請求項7】 断面が略45゜の平行四辺形である硝材
    の斜面にメタルSiと酸化物SiO2ーx(但し,x<
    0.5)の混合からなる複合膜並びに複数の誘電体膜を
    積層した多層膜を偏光ビームスプリッタとし、同一の硝
    材内であって前記偏光ビームスプリッタを配した斜面と
    略平行である斜面上にホログラム回折格子を配し、前記
    硝材の屈折率nをn≧1.6とした平行プリズムを用い
    たことを特徴とした光ピックアップ。
  8. 【請求項8】 偏光ビームスプリッタ内の金属膜の屈折
    率n及び吸収係数kが n≧3.0、k≦0.3 であることを特徴とした請求項7記載の光ピックアッ
    プ。
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