JPH10146557A - 基板保持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板やスピンベースの破損を招かずに基板を
保持して高速回転させる。 【解決手段】 鉛直軸Ｊ１回りに回転可能なスピンベー
ス４に基板保持部１０が設けられている。可動保持部１
０は鉛直軸Ｊ２回りに回動可能にスピンベース４に設け
られた回動部材１１、回動部材１１を挟んで対向する側
方に延出され、回動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点
として揺動可能に回動部材１１に設けられた揺動部材１
２と保持アーム１３、保持アーム１３に設けられた保持
部１４を備えている。揺動部材１２の揺動作用点がスピ
ンベース４の回転中心Ｊ１から離れる方向に揺動部材１
２が揺動付勢されると保持部１４により基板Ｗが保持さ
れ、揺動作用点が回転中心Ｊ１側に引き戻されるように
揺動部材１２が揺動されると基板Ｗの保持が解除され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、液
晶表示器用のガラス基板、フォトマスク用のガラス基
板、光ディスク用の基板などの基板を鉛直軸回りに回転
して、レジスト塗布処理、現像処理、洗浄処理などの適
宜の処理を施す回転式基板処理装置に備えられた基板保
持機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の回転式基板処理装置の基
板保持機構として、例えば、図１３、図１４に示すよう
なものがある。図１３は、回転式基板処理装置に備えら
れた従来の基板保持機構の構成を示す平面図であり、図
１４（ａ）は、基板を保持した状態を示す要部平面図、
図１４（ｂ）は、基板の保持が解除された状態を示す要
部平面図である。

【０００３】鉛直軸Ｊ１回りに回転可能に立設された図
示しない回転軸の上端部にスピンベース１００が設けら
れ、スピンベース１００が軸Ｊ１回りに回転可能に構成
されている。スピンベース１００は、３本以上のアーム
部１０１が放射状に設けられて構成され、各アーム部１
０１の先端部に基板保持部２００が設けられている。図
では、全ての基板保持部２００を可動保持部として構成
している。

【０００４】基板保持部２００は、保持部材２０１と揺
動部材２０２とを備えている。保持部材２０１は、アー
ム部１０１に鉛直軸Ｊ２回りに回動可能に設けられた円
柱状の基板載置部２０３と、基板載置部２０３の上面を
段付きにして切り欠き状に設けられた保持部２０４とが
一体に形成されている。揺動部材２０２は、保持部材２
０１の側方に延出され、基板載置部２０３の軸Ｊ２を支
点として揺動可能に基板載置部２０３に設けられてい
る。揺動部材２０２の先端部側には、リンク部材２０５
の先端部側が回動可能に連結されていて、この揺動部材
２０２とリンク部材２０５との連結部分が揺動部材２０
２の揺動作用点となっている。各リンク部材２０５の基
端部側は、駆動軸２１０の上端部に回動可能に連結され
ている。

【０００５】スピンベース１００を軸Ｊ１回りに回転さ
せる回転軸は円筒状に構成され、この回転軸の中空部に
駆動軸２１０が、軸Ｊ１回りに回転軸と相対回転可能に
貫通されている。そして、図示しない付勢手段は、回転
軸に対して駆動軸２１０を、軸Ｊ１を回転中心軸として
時計回り（図１３の実線の矢印回り）に回転付勢するよ
うに設けられている。この付勢手段の付勢により、リン
ク部材２０５を介して揺動部材２０２の揺動作用点がス
ピンベース１００の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に
揺動部材２０２が揺動付勢され、これに伴って保持部材
２０１が軸Ｊ２を回転中心軸として反時計回りに回転付
勢され、図１３、図１４（ａ）に示すように、保持部２
０４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢して基板Ｗが保持さ
れる。

【０００６】一方、図示しない解除手段は、付勢手段に
抗して、回転軸に対して駆動軸２１０を、軸Ｊ１を回転
中心軸として反時計回り（図１３の二点鎖線の矢印回
り）に回転させるように設けられている。この解除手段
による駆動軸２１０の回転により、リンク部材２０５を
介して揺動部材２０２の揺動作用点がスピンベース１０
０の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材
２０２が揺動され、これに伴って保持部材２０１が軸Ｊ
２を回転中心軸として時計回りに回転され、図１４
（ｂ）に示すように、保持部２０４が基板Ｗの外周端縁
から離れて基板Ｗの保持が解除される。

【０００７】上述したように基板Ｗが保持された状態
で、スピンベース１００を軸Ｊ１回りに回転させること
で、保持された基板Ｗが軸Ｊ１回りに回転され、この基
板Ｗに対して適宜の処理が施される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。従来例の基板保持機構によって基板Ｗを保持して
基板Ｗを軸Ｊ１回りに回転させると、遠心力によって揺
動部材２０２の揺動作用点（揺動部材２０２とリンク部
材２０５との連結部分）に、図１３の矢印Ｆ方向に作用
する力が働き、回転停止時よりも揺動部材２０２が、ス
ピンベース１００の回転中心（Ｊ１）からさらに離れる
方向に揺動され、回転停止時に比べて保持部２０４が基
板Ｗの外周端部をさらに強く押圧することになる。

【０００９】保持部２０４の押圧力が強くなり過ぎる
と、基板Ｗ自身の座屈荷重を越えて保持した基板Ｗを破
損することになる。また、スピンベース１００や保持部
材２００などを炭化珪素（ＳｉＣ）などの耐薬材料で制
作した場合には、炭化珪素の曲げ強度が低いので、基板
Ｗの代わりにスピンベース１００（特に、アーム部１０
１）が破損したり、保持部材２００が根元から折れるこ
とになる。

【００１０】保持部２０４の押圧力は、基板Ｗ、スピン
ベース１００の回転数を上げるに従って強くなるので、
基板Ｗやスピンベース１００、保持部材２００の破損を
招かないようにするために、従来例の構成では、基板Ｗ
の回転数を一定以上に上げることができず、基板Ｗの回
転数に制限があり、その制限の回転数以上に基板Ｗを高
速回転させて処理することができなかった。

【００１１】また、基板Ｗのサイズが大型になるに従っ
て、遠心力によって揺動部材２０２の揺動作用点、すな
わち、揺動部材２０２とリンク部材２０５との連結部分
に働く力が強くなるので、基板Ｗやスピンベース１０
０、保持部材２００の破損を招かないようにするための
制限となる基板Ｗの回転数がより低くなり、基板Ｗが大
型になるに従って基板Ｗを高速回転させて処理すること
が行い難くなっていた。

【００１２】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、基板のサイズにかかわらず、基板やス
ピンベースなどの破損を招かずに基板を高速回転させる
ことができる基板保持機構を提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、基板を保持する基板保持
機構において、鉛直軸回りに回転可能なスピンベース
と、基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ
以上有しており、その３つ以上のうち少なくとも１つが
可動保持部である基板保持部と、基板を保持する側に前
記可動保持部を変位させるための第１変位手段と、基板
の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させるため
の第２変位手段と、前記可動保持部と前記第１変位手段
および前記第２変位手段とを連結させる連結手段と、を
備え、前記可動保持部は、前記スピンベースに設けら
れ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、前記回動部材
の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯を支点とし
て揺動可能に前記回動部材に設けられて、前記連結手段
に連結された揺動部材と、前記回動部材を挟んで前記揺
動部材とは反対側の側方に延出され、前記回動部材の回
動軸芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けら
れ、かつ基板の外周端部に当接する保持面を有する保持
部材と、を備えることを特徴とするものである。

【００１４】また、請求項２に記載の発明は、基板を保
持する基板保持機構において、鉛直軸回りに回転可能な
スピンベースと、基板の外周端部を３箇所以上で保持す
るために３つ以上有しており、その３つ以上のうち少な
くとも１つが可動保持部である基板保持部と、基板を保
持する側に前記可動保持部を変位させるための第１変位
手段と、基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変
位させるための第２変位手段と、前記可動保持部と前記
第１変位手段および前記第２変位手段とを連結させる連
結手段と、を備え、前記可動保持部は、前記スピンベー
スに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、前
記回動部材の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯
を揺動支点として揺動可能に前記回動部材に設けられ
て、前記連結手段に連結された揺動部材と、前記回動部
材の回動軸芯を回転支点として回転可能に前記回動部材
に設けられ、前記回動部材の正逆回転に応じて基板の保
持および解除が可能である保持部材と、を備え、前記保
持部材が基板を保持したとき、前記揺動部材の揺動作用
点と前記揺動支点とが、前記スピンベースの回転中心を
中心とした仮想円の半径方向に沿って一直線上に並ぶよ
うに構成したことを特徴とするものである。

【００１５】また、請求項３に記載の発明は、基板を保
持する基板保持機構において、鉛直軸回りに回転可能な
スピンベースと、基板の外周端部を３箇所以上で保持す
るために３つ以上有しており、その３つ以上のうち少な
くとも１つが可動保持部である基板保持部と、基板を保
持する側に前記可動保持部を変位させるための第１変位
手段と、基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変
位させるための第２変位手段と、前記可動保持部と前記
第１変位手段および前記第２変位手段とを連結させる連
結手段と、を備え、前記可動保持部は、前記スピンベー
スに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、前
記回動部材を挟んで両側に延出され、一方側が揺動作用
点であるとともに他方側にカウンタウエイトを有し、前
記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回動
部材に設けられて、前記連結手段に連結された揺動部材
と、前記回動部材の回動軸芯を支点として回転可能に前
記回動部材に設けられ、前記回動部材の正逆回転に応じ
て基板の保持および解除が可能である保持部材と、を備
えることを特徴とするものである。

【００１６】また、請求項４に記載の発明は、請求項１
ないし請求項３のいずれかに記載の基板保持機構におい
て、前記連結手段は、前記スピンベースに沿って配置さ
れ、揺動部材に連結されているリンク部材と、前記リン
ク部材に設けられ、前記スピンベースの回転軸に挿通さ
れている駆動軸と、前記駆動軸に設けられた回転部材
と、を備え、前記第１変位手段は、前記保持部材により
基板を保持させるように、回転部材を一方向に回転さ
せ、前記第２変位手段は、前記保持部材による基板の保
持を解除させるように、回転部材を他方向に回転させる
ことを特徴とするものである。

【００１７】また、請求項５に記載の発明は、請求項４
に記載の基板保持機構において、前記第１変位手段は、
バネ機構を備え、前記第２変位手段は、エアシリンダを
備えることを特徴とするものである。

【００１８】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。第１変位手段によって連結手段を介して可動保持部
の揺動部材が一方向に揺動されると、回動部材を挟んで
揺動部材とは反対側の側方に延出された保持部材が回動
部材の回動軸芯を支点として揺動し、保持部材の保持面
が基板の外周端部に当接して基板が保持される。基板が
基板保持部に保持された状態で、スピンベースを鉛直軸
周りに回転させると、遠心力により揺動部材がスピンベ
ースの回転中心から離れる方向に変位する力が働き、そ
れとともに保持部材にもスピンベースの回転中心から離
れる方向に変位する力が働く。従って、揺動部材に働く
力と保持部材に働く力とが互いに相殺され、回動部材は
ほとんど回転しない。これにより、保持部材の保持面が
基板の外周端縁に当接する力は、スピンベース停止時と
略同じであり、第１変位手段の変位力に応じた力で、基
板を保持することになる。そして、スピンベースの回転
が停止され、第２変位手段によって揺動部材が他方向に
揺動されると、保持部材が回動部材の回動軸芯を支点と
して揺動し、保持部材の保持面が基板の外周端部から離
れて基板の保持が解除される。

【００１９】請求項２に記載の発明の作用は次のとおり
である。第１変位手段によって連結手段を介して可動保
持部の揺動部材が一方向に揺動されると、回動部材の回
動軸芯を回転支点として回転可能に回動部材に設けられ
た保持部材が、回動部材の正回転に応じて基板を保持す
る。このとき、スピンベースの回転中心を中心した仮想
円の半径方向に沿って揺動部材の揺動作用点と揺動支点
とが一直線上に並ぶ。基板が基板保持部に保持された状
態で、スピンベースを鉛直軸周りに回転させると、揺動
部材の揺動作用点と揺動支点が一直線上に並んでいるの
で、遠心力によって、揺動部材の揺動作用点に働く力
は、揺動支点方向に働き、揺動部材は揺動されず、回動
部材および保持部材は回転しない。これにより、保持部
材の基板を保持する力は、スピンベース停止時と略同じ
であり、第１変位手段の変位力に応じた力で、基板を保
持することになる。そして、スピンベースの回転が停止
すると、第２変位手段によって揺動部材が他方向に揺動
され、回動部材の逆回転に応じて保持部材が回動部材の
回動軸芯を回転支点として回転し、保持部材による基板
の保持が解除される。

【００２０】請求項３に記載の発明の作用は次のとおり
である。第１変位手段によって連結手段を介して可動保
持部の揺動部材が一方向に揺動されると、回動部材の回
動軸芯を支点として回転可能に回動部材に設けられた保
持部材が、回動部材の正回転に応じて基板を保持する。
基板が基板保持部に保持された状態で、スピンベースを
鉛直軸周りに回転させると、遠心力により、揺動部材の
揺動作用点がスピンベースの回転中心から離れる方向に
変位する力が働くが、揺動部材は揺動作用点とは反対側
にカウンタウエイトを有するので、揺動部材は揺動しな
い。これにより、保持部材の基板を保持する力は、スピ
ンベース停止時と略同じであり、第１変位手段の変位力
に応じた力で、基板を保持することになる。そして、ス
ピンベースの回転が停止すると、第２変位手段によって
揺動部材が他方向に揺動され、回動部材の逆回転に応じ
て保持部材が回動部材の回動軸芯を支点として回転し、
保持部材による基板の保持が解除される。

【００２１】請求項４に記載の発明の作用は次のとおり
である。第１変位手段と第２変位手段とによる変位力は
回転部材を一方向または他方向に回転させ、スピンベー
スの回転軸に挿通されている駆動軸およびリンク部材を
介して揺動部材に伝えられる。

【００２２】請求項５に記載の発明の作用は次のとおり
である。基板を保持する側への可動保持部の変位はバネ
機構で行い、基板の保持を解除する側への可動保持部の
変位はエアシリンダで行っている。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は、本発明の第１実施例に係
る回転式基板処理装置の基板保持機構の構成を示す平面
図であり、図１（ａ）は、基板が保持された状態を示
し、図１（ｂ）は、基板の保持が解除された状態を示し
ている。図２は、可動保持部の構成を示す斜視図であ
り、図３は、第１変位手段、第２変位手段の一例の構成
を示す図である。

【００２４】円筒状の回転軸１は、ベルト伝動機構２な
どによってモーター３に伝動連結され、鉛直軸Ｊ１回り
に回転可能に立設されている。この回転軸１の上端部に
スピンベース４が設けられ、スピンベース４が軸Ｊ１回
りに回転可能に構成されている。スピンベース４は、３
本以上のアーム部５が放射状に設けられて構成され、各
アーム部５の先端部に基板保持部１０が設けられてい
る。図では、全ての基板保持部１０を可動保持部として
構成している。

【００２５】基板保持部１０は、回動部材１１、揺動部
材１２、保持部材としての保持アーム１３、保持部１４
を備えている。

【００２６】回動部材１１は、鉛直軸Ｊ２回りに回動可
能にスピンベース４のアーム部５に設けられている。こ
の実施例では、回動部材１１を基板載置部としても用い
ており、保持する基板Ｗの外周端部の下面を回動部材１
１の上面に載置するようにしている。

【００２７】揺動部材１２は、回動部材１１の側方に延
出され、回動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として
揺動可能に回動部材１１に設けられている。この揺動部
材の先端部側に、リンク部材１６の先端部側が回動可能
に連結されていて、この揺動部材１２とリンク部材１６
との連結部分が揺動部材１２の揺動作用点となってい
る。

【００２８】保持アーム１３は、回動部材１１を挟んで
揺動部材１２の揺動作用点（揺動部材１２とリンク部材
１６との連結部分）と反対側の側方に延出され、回動部
材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として揺動可能に回動
部材１１に設けられている。なお、揺動部材１２とこの
保持アーム１３とは、図２（ａ）に示すように別個の部
材で構成してもよいし、図２（ｂ）に示すように一体の
部材１５で構成してもよい。

【００２９】保持部１４は、保持アーム１３の先端部側
上面に設けられ、基板Ｗの外周端縁に当接する保持面１
４ａを備えている。

【００３０】第１変位手段と第２変位手段は例えば図３
のように構成されている。回転軸１の中空部には、軸Ｊ
１回りに回転軸１と相対回転可能に駆動軸２０が挿通さ
れている。回転軸１にはフランジ部２１が設けられ、こ
のフランジ部２１に対向するように駆動軸２０にも回転
部材としてのフランジ部２２が設けられている。フラン
ジ部２１にはピン２３がフランジ部２２に向けて設けら
れ、フランジ部２２にはフランジ部２１に向けてピン２
４が設けられている。これらピン２３、２４の間に第１
変位手段としてのコイルバネ２５が架けられていて、回
転軸１に対して駆動軸２０が、軸Ｊ１を回転中心軸とし
て図の時計回りに回転付勢されるようになっている。

【００３１】なお、コイルバネ２５による回転軸１に対
する駆動軸２０の時計回りの回転を適宜の位置で停止さ
せるためにストッパー２６が設けられている。このスト
ッパー２６による駆動軸２０の回転停止位置は、後述す
るように、コイルバネ２５によって保持部１４が基板Ｗ
の外周端縁を押圧付勢する際の保持部１４の位置より
も、保持部１４が若干スピンベース４の回転中心（Ｊ
１）側に引き戻された位置に設定されている。これによ
り、後述するように、コイルバネ２５によって保持部１
４がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻され
ると、基板Ｗが有る状態では保持部１４は基板Ｗの外周
端縁を押圧付勢し、基板Ｗが無い状態ではストッパー２
６によって保持部１４は適宜の位置で停止されることに
なる。

【００３２】また、フランジ部２２の近傍には第２変位
手段としてのエアシリンダ２７が設けられ、エアシリン
ダ２７のロッド２７ａを伸長させてフランジ部２２に設
けられた部材２８を、図３（ｂ）の二点鎖線に示すよう
に変位させることで、コイルバネ２５に抗して回転軸１
に対して駆動軸２０を、軸Ｊ１を回転中心軸として図の
反時計回りに回転させるように構成している。

【００３３】駆動軸２０の上端部にはリンク部材１６の
基端部側が回動可能に連結されていて、リンク部材１６
を介してコイルバネ２５による揺動部材１２の揺動付勢
や、エアシリンダ２７によるその解除を行うように構成
している。

【００３４】エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長す
ると、駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中
心軸として反時計回りに回転され、これに連動して、図
１（ａ）の二点鎖線、図１（ｂ）に示すように、リンク
部材１６を介して揺動部材１２の揺動作用点（揺動部材
１２とリンク部材１６との連結部分）がスピンベース４
の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材１
２が揺動される。これにより、回動部材１１を挟んで揺
動部材１２の揺動作用点と反対側の側方に延出され、回
動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として揺動可能に
回動部材１１に設けられた保持アーム１３がスピンベー
ス４の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動され、保
持アーム１３に設けられた保持部１４の保持面１４ａが
基板Ｗの外周端縁から離れて基板Ｗの保持が解除され
る。

【００３５】また、上述したように、エアシリンダ２７
のロッド２７ａを伸長させて基板Ｗの保持が解除され、
回動部材１１の上面に基板Ｗの外周端部の下面が載置さ
れた状態で、エアシリンダ２７のロッド２７ａを収縮す
ると、コイルバネ２５の復元力によって駆動軸２０が回
転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中心軸として時計回りに
回転され、これに連動して、図１（ａ）の実線に示すよ
うに、リンク部材１６を介して揺動部材１２の揺動作用
点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れる方向
に揺動部材１２が揺動付勢される。これにより、回動部
材１１を挟んで揺動部材１２の揺動作用点と反対側の側
方に延出され、回動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点
として揺動可能に回動部材１１に設けられた保持アーム
１３がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻さ
れる方向に揺動付勢され、保持部１４の保持面１４ａが
基板Ｗの外周端縁を押圧付勢して基板Ｗが保持される。

【００３６】そして、基板Ｗが保持された状態で、モー
ター３が回転軸１を軸Ｊ１回りに回転させることで、保
持された基板Ｗが軸Ｊ１回りに回転され、この基板Ｗに
対して所定の処理が施される。

【００３７】基板Ｗを保持して軸Ｊ１回りに回転させる
と、遠心力によって揺動部材１２の揺動作用点（揺動部
材１２とリンク部材１６との連結部分）に図１（ａ）の
矢印Ｆ１方向に作用する力が働くが、同時に、回動部材
１１を挟んで揺動部材１２の揺動作用点と反対側の側方
に延出され、回動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点と
して揺動可能に回動部材１１に設けられた保持アーム１
３にも、遠心力によって図１（ａ）の矢印Ｆ２方向に作
用する力が働くので、揺動部材１２の揺動作用点に働く
力は、保持アーム１３に働く力によって相殺され、揺動
部材１２、保持アーム１３は回転停止時の状態から揺動
変位せず、回動部材１１は回転しない。従って、基板Ｗ
を軸Ｊ１回りに回転させても保持アーム１３に設けられ
た保持部１４の保持面１４ａが基板Ｗの外周端縁を押圧
する力は回転停止時と同じであり、基板Ｗのサイズ、回
転数にかかわらず、保持面１４ａは常にコイルバネ２５
による付勢力に応じた力で基板Ｗの外周端縁を押圧付勢
し、それ以上の力で押圧することはない。よって、基板
Ｗのサイズにかかわらず、基板Ｗやスピンベース４（特
に、アーム部５）などの破損を招かず、また、回動部材
１１が根元から折れるようなこともなく、基板Ｗを高速
回転させることができる。

【００３８】以下の変形例は後述する第２〜第４実施例
装置にも同様に適用できる。上記実施例では、全ての基
板保持部１０を可動保持部として構成したが、少なくと
も１個の基板保持部１０を可動保持部とし、残りを固定
保持部としてもよい。基板保持部１０は、例えば、図４
（ａ）、（ｂ）に示すように、スピンベース４のアーム
部５の先端部に固定立設された基板載置部１７と、基板
載置部１７の上面を段付きにして設けられた保持部１８
とで構成される。基板Ｗは基板保持部１０の回動部材１
１の上面、および、基板保持部１０の基板載置部１７の
上面の段付き部分に載置され、基板保持部１０の保持部
１４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢すると、基板Ｗの外
周端縁の他の部分が保持部１８に押圧され、基板Ｗが保
持される。

【００３９】また、図４（ｃ）、（ｄ）に示すように、
基板保持部１０を、基板載置ピン１９と保持部１８とで
構成してもよい。

【００４０】上記実施例では、基板保持部１０を３個設
けているが、基板保持部１０を３個以上にし、そのうち
の１個以上の基板保持部１０を可動保持部としてもよ
い。

【００４１】また、上記実施例では、回動部材１１を基
板載置部として構成したが、図４（ｃ）、（ｄ）と同様
に、基板Ｗの下面を載置する基板載置ピン１９を別途設
けて、回動部材１１に基板Ｗを載置せずに、この基板載
置ピン１９に基板Ｗの下面を載置するように構成しても
よい。

【００４２】上記実施例のスピンベース４は、アーム部
５を放射状に設けて構成しているが、図５に示すよう
に、スピンベース４を円板状に構成してもよい。

【００４３】次に、本発明の第２実施例装置の構成を図
６ないし図８を参照して説明する。図６は、本発明の第
２実施例に係る回転式基板処理装置の基板保持機構の構
成を示す平面図であり、図７は、基板保持部の構成を示
す図、図８（ａ）は、基板が保持された状態を示す要部
平面図、図８（ｂ）は、基板の保持が解除された状態を
示す要部平面図である。

【００４４】スピンベース４の構成およびスピンベース
４を軸Ｊ１回りに回転させる構成は上記第１実施例装置
と同様であるのでその詳述は省略する。また、第１変位
手段、第２変位手段などの構成、すなわち、駆動軸２
０、フランジ部２１、２２、ピン２３、２４、コイルバ
ネ２５、ストッパー２６、エアシリンダ２７、部材２８
などの構成も、上記第１実施例と同様の構成（図３参
照）であるのでその詳述は省略する。

【００４５】スピンベース４の各アーム部５の先端部に
基板保持部４０が設けられている。図では、全ての基板
保持部４０を可動保持部として構成している。

【００４６】基板保持部４０は、回動部材４１、揺動部
材４２、保持部４３を備えている。

【００４７】回動部材４１は、鉛直軸Ｊ２回りに回動可
能にスピンベース４のアーム部５に設けられている。保
持部４３は回動部材４１の上面に段付き部４１ａを形成
するように、回動部材４１の上面に設けられている。回
動部材４１と保持部４３とは別個の部材を接合してもよ
いが、一体の部材で構成、例えば、円柱状の部材の上部
を切り欠いて保持部４３と段付き部４１ａとを形成して
もよい。この実施例では、回動部材４１の段付き部４１
ａを基板載置部として用いるようしている。

【００４８】揺動部材４２は、回動部材４１の側方に延
出され、回動部材４１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として
揺動可能に回動部材４１に設けられている。

【００４９】揺動部材４２の先端部側にはピン４２ａが
設けられ、このピン４２ａがリンク部材５０の先端部側
の切り欠き部５１に係止されて連結されている。この実
施例では、ピン４２ａが揺動部材４２の揺動作用点とな
る。

【００５０】各リンク部材５０は、スピンベースの回転
中心（Ｊ１）を中心とした仮想円の半径方向に配置され
ている。また、各リンク部材５０の基端部側は駆動軸２
０の上端部に固定されて連結されていて、スピンベース
４の回転中心軸Ｊ１と同軸回りに回動されるようになっ
ている。

【００５１】なお、各リンク部材５０は、図６（ａ）に
示すように別体の部材で構成してもよいし、図６（ｂ）
に示すように一体の部材で構成してもよい。

【００５２】そして、後述するように、基板Ｗが保持さ
れた状態で、スピンベース４の回転中心（Ｊ１）を中心
とした仮想円の半径方向に沿って、揺動部材４２の揺動
支点（Ｊ２）と揺動作用点（ピン４２ａ）が一直線上に
並ぶように構成されている（図６、図８（ａ）参照）。

【００５３】エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長す
ると、駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中
心軸として反時計回りに回転され、これに連動して、リ
ンク部材５０はスピンベース４の回転中心（Ｊ１）を回
転中心軸として反時計回りに回転される。これに伴っ
て、揺動部材４２が揺動支点（Ｊ２）回りに逆方向（時
計回り）に揺動され、回動部材４１が軸Ｊ２回りに逆方
向（時計回り）に回転される。この回動部材４１の逆方
向への回転によって、図８（ｂ）に示すように、保持部
４３が基板Ｗの外周端縁から離れて基板Ｗの保持が解除
される。

【００５４】また、エアシリンダ２７のロッド２７ａを
伸長させて基板Ｗの保持が解除され、回動部材４１の上
面の段付き部４１ａに基板Ｗの外周端部の下面が載置さ
れた状態で、エアシリンダ２７のロッド２７ａを収縮す
ると、コイルバネ２５の復元力によって駆動軸２０が回
転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中心軸として時計回りに
回転付勢され、これに連動して、リンク部材５０がスピ
ンベース４の回転中心（Ｊ１）を回転中心軸として時計
回りに回転付勢される。これに伴って、揺動部材４２が
揺動支点（Ｊ２）回りに正方向（反時計回り）に揺動付
勢され、回動部材４１が軸Ｊ２回りに正方向（反時計回
り）に回転付勢される。この回動部材４１の正方向への
回転付勢によって、図６、図８（ａ）に示すように、保
持部４３が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢して基板Ｗが保
持される。このとき、図６、図８（ａ）に示すように、
スピンベース４の回転中心（Ｊ１）を中心とした仮想円
の半径方向に沿って、揺動部材４２の揺動支点（Ｊ２）
と揺動作用点（ピン４２ａ）が一直線上に並ぶ。

【００５５】そして、基板Ｗが保持された状態で、モー
ター３が回転軸１を軸Ｊ１回りに回転させることで、保
持された基板Ｗが軸Ｊ１回りに回転され、この基板Ｗに
対して所定の処理が施される。

【００５６】基板Ｗを保持して軸Ｊ１回りに回転させる
と、揺動部材４２の揺動作用点（ピン４２ａ）に遠心力
が働くが、揺動部材４２の揺動支点と揺動作用点は、ス
ピンベース４の回転中心（Ｊ１）を中心とした仮想円の
半径方向に沿って一直線上に並んでいるので、遠心力に
よって揺動部材４２の揺動作用点に働く力は、揺動支点
（Ｊ２）方向に働き、揺動部材４２は揺動せず、回動部
材４１は回転しない。従って、基板Ｗを軸Ｊ１回りに回
転させても保持部４３が基板Ｗの外周端縁を押圧する力
は回転停止時と同じであり、基板Ｗのサイズ、回転数に
かかわらず、保持部４３は常にコイルバネ２５よる付勢
力に応じた力で基板Ｗの外周端縁を押圧付勢し、それ以
上の力で押圧することはない。よって、基板Ｗのサイズ
にかかわらず、基板Ｗやスピンベース４（特に、アーム
部５）などの破損を招かず、また、回動部材４１が根元
から折れるようなこともなく、基板Ｗを高速回転させる
ことができる。

【００５７】次に、本発明の第３実施例装置の構成を図
９、図１０を参照して説明する。図９は、本発明の第３
実施例に係る回転式基板処理装置の基板保持機構の構成
を示す平面図であり、図１０（ａ）は、基板が保持され
た状態を示す要部平面図、図１０（ｂ）は、基板の保持
が解除された状態を示す要部平面図である。

【００５８】スピンベース４の構成およびスピンベース
４を軸Ｊ１回りに回転させる構成は上記第１実施例装置
と同様であるのでその詳述は省略する。また、第１変位
手段、第２変位手段などの構成、すなわち、駆動軸２
０、フランジ部２１、２２、ピン２３、２４、コイルバ
ネ２５、ストッパー２６、エアシリンダ２７、部材２８
などの構成も、上記第１実施例と同様の構成（図３参
照）であるのでその詳述は省略する。

【００５９】スピンベース４の各アーム部５の先端部に
基板保持部６０が設けられている。図では、全ての基板
保持部６０を可動保持部として構成している。

【００６０】基板保持部６０は、回動部材６１、揺動部
材６２、カウンタウエイト６３、保持部６４を備えてい
る。

【００６１】回動部材６１、保持部６４は、上述した第
２実施例の回動部材４１、保持部４３と同様の構成であ
るのでその詳述は省略する。

【００６２】揺動部材６２は、回動部材６１を挟んで左
右の側方に延出され、回動部材６１の回動軸芯Ｊ２を揺
動支点として揺動可能に回動部材６１に設けられてい
る。この揺動部材６２の一方の側方には、リンク部材７
０の先端部側が回動可能に連結されていて、この揺動部
材６２とリンク部材７０との連結部分が揺動作用点にな
っている。また、揺動部材６２の他方の側面（回動部材
６１を挟んで揺動部材６２の揺動作用点と反対側の側
面）には、回動部材６１と連結されてカウンタウエイト
６３が設けられている。

【００６３】なお、図面では、揺動部材６２にカウンタ
ウエイト６３を設けるように構成しているが、揺動部材
６２を第１実施例のように構成し、第１実施例の保持ア
ーム１３と同様の部材を回動部材６１に設け、この部材
にカウンタウエイト６３を設けるように構成してもよ
い。

【００６４】各リンク部材７０の基端部側は、駆動軸２
０の上端部に回動可能に連結されていて、第１実施例と
同様に、このリンク部材７０を介して、コイルバネ２５
の付勢やエアシリンダ２７の付勢の解除を揺動部材６２
の揺動作用点に作用させるように構成している。

【００６５】エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長す
ると、駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中
心軸として反時計回りに回転され、これに連動して、リ
ンク部材７０を介して揺動部材６２の揺動作用点（揺動
部材６２とリンク部材７０との連結部分）がスピンベー
ス４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部
材６２が揺動され、回動部材６１が軸Ｊ２回りに逆方向
（時計回り）に回転される。この回動部材６１の逆方向
への回転によって、図１０（ｂ）に示すように、保持部
６４が基板Ｗの外周端縁から離れて基板Ｗの保持が解除
される。

【００６６】また、上述したように、エアシリンダ２７
のロッド２７ａを伸長させて基板Ｗの保持が解除され、
回動部材６１の上面の段付き部分に基板Ｗの外周端部の
下面が載置された状態で、エアシリンダ２７のロッド２
７ａを収縮すると、コイルバネ２５の復元力によって駆
動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中心軸とし
て時計回りに回転され、これに連動して、リンク部材７
０を介して揺動部材６２の揺動作用点がスピンベース４
の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動部材６２が揺
動付勢され、回動部材６１が軸Ｊ２回りに正方向（反時
計回り）に回転される。この回動部材６１の正方向への
回転によって、図９、図１０（ａ）に示すように、保持
部６４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢して基板Ｗが保持
される。

【００６７】そして、基板Ｗが保持された状態で、モー
ター３が回転軸１を軸Ｊ１回りに回転させることで、保
持された基板Ｗが軸Ｊ１回りに回転され、この基板Ｗに
対して所定の処理が施される。

【００６８】基板Ｗを保持して軸Ｊ１回りに回転させる
と、遠心力によって揺動部材６２の揺動作用点（揺動部
材６２とリンク部材７０との連結部分）に図９の矢印Ｆ
方向に作用する力が働くが、回動部材６１を挟んで揺動
部材６２の揺動作用点と反対側の側方に回動部材６１に
連結されてカウンタウエイト６３を設けているので、揺
動部材６２の揺動作用点（揺動部材６２とリンク部材７
０との連結部分）に働く力Ｆは、カウントウエイト６３
によって相殺され、揺動部材６２は回転停止時の状態か
ら揺動変位せず、回動部材６１は回転しない。従って、
基板Ｗを回転させても回動部材６１に設けられた保持部
６４が基板Ｗの外周端縁を押圧する力は回転停止時と同
じであり、基板Ｗのサイズ、回転数にかかわらず、保持
部６４は常にコイルバネ２５による付勢力に応じた力で
基板Ｗの外周端縁を押圧付勢し、それ以上の力で押圧す
ることはない。よって、基板Ｗのサイズにかかわらず、
基板Ｗやスピンベース４（特に、アーム部５）などの破
損を招かず、また、回動部材６１が根元から折れるよう
なこともなく、基板Ｗを高速回転させることができる。

【００６９】次に、本発明の第４実施例装置の構成を図
１１、図１２を参照して説明する。図１１は、本発明の
第４実施例装置の第１変位手段と第２変位手段の構成を
示す図であり、図１２（ａ）は、基板が保持された状態
を示す要部平面図、図１２（ｂ）は、基板の保持が解除
された状態を示す要部平面図である。

【００７０】上記第３実施例装置では、揺動部材６２の
揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離
れる方向に揺動部材６２が揺動されるようにコイルバネ
２５が付勢することで、保持部６４が基板Ｗの外周端縁
を押圧付勢し、エアシリンダ２７によって、コイルバネ
２５の付勢に抗して揺動部材６２の揺動作用点がスピン
ベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺
動部材６２が揺動されることで、基板Ｗの保持を解除す
るように構成したが、この第４実施例装置では、揺動部
材６２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ
１）側に引き戻される方向に揺動部材６２が揺動される
ようにコイルバネ２５が付勢することで、保持部６４が
基板Ｗの外周端縁を押圧付勢し、エアシリンダ２７によ
って、コイルバネ２５の付勢に抗して揺動部材６２の揺
動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れ
る方向に揺動部材６２が揺動されることで、基板Ｗの保
持を解除するように構成している。

【００７１】具体的には、例えば、図１１に示すよう
に、フランジ部２１、２２に設けるピン２３、２４の取
り付け位置を、図３の構成と逆にすることで、コイルバ
ネ２５によって、駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ
１を回転中心軸として反時計回りに回転付勢され、これ
に伴って、揺動部材６２の揺動作用点（揺動部材６２と
リンク部材７０との連結部分）がスピンベース４の回転
中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材６２が揺
動されるように付勢される。

【００７２】そして、回動部材６１に設ける保持部６４
の位置を、第３実施例装置に比べて、軸Ｊ２を中心とし
て時計回りにずらせれば、図１２（ａ）に示すように、
コイルバネ２５の復元力によって、揺動部材６２の揺動
作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻
される方向に揺動部材６２が揺動付勢されることで、保
持部６４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢することができ
る。

【００７３】また、エアシリンダ２７、部材２８の取り
付け位置を図３の構成と逆にすることで、エアシリンダ
２７のロッド２７ａを伸長すれば、コイルバネ２５の付
勢に抗して駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回
転中心軸として時計回りに回転され、これに伴って、揺
動部材６２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心
（Ｊ１）から離れる方向に揺動部材６２が揺動され、基
板Ｗの保持を解除することができる（図１２（ｂ）参
照）。

【００７４】なお、この第４実施例装置における回動部
材６１の回転の正方向（逆方向）は、第３実施例装置と
逆に、軸Ｊ２を中心に時計回り（反時計回り）に回転さ
れる方向に設定されている。その他の構成は第３実施例
と同様であるのでその詳述は省略する。

【００７５】この第４実施例装置で基板Ｗを保持して軸
Ｊ１回りに回転させると、遠心力によって揺動部材６２
の揺動作用点（揺動部材６２とリンク部材７０との連結
部分）がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れる
方向に揺動部材６２が揺動するような力が働くが、これ
は揺動部材６２がコイルバネ２５によって付勢されてい
る方向と逆の方向であるので、保持部６４が基板Ｗを保
持する押圧力が遠心力によって増すことはなく、基板Ｗ
のサイズ、回転数にかかわらず、基板Ｗやスピンベース
４（特に、アーム部５）などを破損せず、回動部材６１
が根元から折れることなどもない。

【００７６】しかしながら、遠心力によって揺動部材６
２が付勢されている方向と逆の方向に揺動されることに
より、回動部材６１は基板を解除する側の逆方向に回転
されることになり、基板Ｗを軸Ｊ１回りに回転すること
に伴って保持部６４による基板Ｗの保持が弱められ、高
速回転させると基板Ｗの保持が解除されることにもな
る。しかしながら、この第４実施例装置では、回動部材
６１を挟んで揺動部材６２の揺動作用点と反対側の側方
に回動部材６１に連結されてカウンタウエイト６３を設
けているので、遠心力によって揺動部材６２の揺動作用
点に働く力は、カウンタウエイト６３によって相殺さ
れ、揺動部材６２は回転停止時の状態から揺動変位せ
ず、回動部材６１は回転しない。従って、基板Ｗを軸Ｊ
１回りに回転させても保持部６４が基板Ｗの外周端縁を
押圧する力は回転停止時と同じであり、保持部６４によ
る基板Ｗの保持が弱められることはない。

【００７７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、基板の外周端部に当接する保
持面を、回動部材を挟んで揺動部材とは反対側の側方に
延出され、回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に
回動部材に設けられた保持部材に設けているので、基板
を保持して鉛直軸回りに回転させたときに、遠心力によ
って揺動部材の揺動作用点に働く力は、遠心力によって
保持部材に働く力によって相殺され、基板のサイズ、回
転数にかかわらず保持面が基板の外周端部に当接する力
を常に一定にできる。従って、基板のサイズにかかわら
ず、基板やスピンベースなどの破損を招かずに基板を高
速回転させることができる。

【００７８】請求項２に記載の発明によれば、基板が保
持された状態で、スピンベースの回転中心を中心とした
仮想円の半径方向に沿って、揺動部材の揺動支点と揺動
作用点が一直線上に並ぶように構成したので、基板を保
持して鉛直軸回りに回転させたときに、揺動部材の揺動
作用点に働く遠心力は揺動支点方向に働き、揺動部材は
揺動せず、揺動部材の揺動で回動される回動部材は回転
しない。従って、基板のサイズ、回転数にかかわらず回
動部材に設けられた保持部材が基板を保持する力を常に
一定にでき、基板のサイズにかかわらず、基板やスピン
ベースなどの破損を招かずに基板を高速回転させること
ができる。

【００７９】請求項３に記載の発明によれば、回動部材
を挟んで揺動部材の揺動作用点と反対側の側方に回動部
材に連結されてカウンタウエイトと設けているので、基
板を保持して鉛直軸回りに回転させたときに、遠心力に
よって揺動部材の揺動作用点に働く力は、カウンタウエ
イトによって相殺され、基板のサイズ、回転数にかかわ
らず保持部材が基板を保持する力を常に一定にできる。
従って、基板のサイズにかかわらず、基板やスピンベー
スなどの破損を招かずに、または、基板の保持を弱める
ことなく、基板を高速回転させることができる。

【００８０】請求項４に記載の発明によれば、第１変位
手段と第２変位手段とによる変位力は回転部材を回転さ
せ、スピンベースの回転軸に挿通されている駆動軸およ
びリンク部材を介して揺動部材に伝えているので、第１
変位手段と第２変位手段とによる変位力が基板を保持す
る保持部材に確実に伝えることができる。

【００８１】請求項５に記載の発明によれば、基板を保
持する側への可動保持部の変位はバネ機構で行い、基板
の保持を解除する側への可動保持部の変位はエアシリン
ダで行っているので、保持部材による基板の保持および
解除を簡単な駆動系で行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る回転式基板処理装置
の基板保持機構の構成を示す平面図であり、基板が保持
された状態と基板の保持が解除された状態とを示す図で
ある。

【図２】第１実施例装置の可動保持部の構成を示す斜視
図である。

【図３】第１変位手段、第２変位手段の一例の構成を示
す図である。

【図４】固定保持部の一例の構成を示す図である。

【図５】スピンベースを円板状に構成した変形例の構成
を示す図である。

【図６】本発明の第２実施例に係る回転式基板処理装置
の基板保持機構の構成を示す平面図である。

【図７】第２実施例装置の基板保持部の構成を示す図で
ある。

【図８】第２実施例装置によって基板が保持された状態
と基板の保持が解除された状態を示す要部平面図であ
る。

【図９】本発明の第３実施例に係る回転式基板処理装置
の基板保持機構の構成を示す平面図である。

【図１０】第３実施例装置によって基板が保持された状
態と基板の保持が解除された状態を示す要部平面図であ
る。

【図１１】本発明の第４実施例装置の第１変位手段と第
２変位手段の構成を示す図である。

【図１２】第４実施例装置によって基板が保持された状
態と基板の保持が解除された状態を示す要部平面図であ
る。

【図１３】従来例に係る回転式基板処理装置の基板保持
機構の構成を示す平面図である。

【図１４】従来装置によって基板を保持した状態と基板
の保持が解除された状態を示す要部平面図である。

【符号の説明】

４：スピンベース １０、４０、６０：基板保持部 １１、４１、６１：回動部材 １２、４２、６２：揺動部材 １３：保持アーム １４、４３、６４：保持部 １４ａ：保持部の保持面 １６、５０、７０：リンク部材 ２０：駆動軸 ２５：コイルバネ ２７：エアシリンダ ６３：カウンタウエイト Ｗ：基板 Ｊ１：基板の回転中心軸 Ｊ２：回動部材の回動中心軸（揺動部材の揺動支点）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６９Ｃ (72)発明者 山田 邦夫 京都府京都市伏見区羽束師古川町322 大 日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者 小山 芳弘 京都府京都市伏見区羽束師古川町322 大 日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者 渡辺 純 京都府京都市伏見区羽束師古川町322 大 日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を保持する基板保持機構において、 鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、 基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ以上
   有しており、その３つ以上のうち少なくとも１つが可動
   保持部である基板保持部と、 基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるための
   第１変位手段と、 基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させる
   ための第２変位手段と、 前記可動保持部と前記第１変位手段および前記第２変位
   手段とを連結させる連結手段と、を備え、 前記可動保持部は、 前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な
   回動部材と、 前記回動部材の側方に延出され、前記回動部材の回動軸
   芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けられて、
   前記連結手段に連結された揺動部材と、 前記回動部材を挟んで前記揺動部材とは反対側の側方に
   延出され、前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可
   能に前記回動部材に設けられ、かつ基板の外周端部に当
   接する保持面を有する保持部材と、を備えることを特徴
   とする基板保持機構。
2. 【請求項２】 基板を保持する基板保持機構において、 鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、 基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ以上
   有しており、その３つ以上のうち少なくとも１つが可動
   保持部である基板保持部と、 基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるための
   第１変位手段と、 基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させる
   ための第２変位手段と、 前記可動保持部と前記第１変位手段および前記第２変位
   手段とを連結させる連結手段と、を備え、 前記可動保持部は、 前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な
   回動部材と、 前記回動部材の側方に延出され、前記回動部材の回動軸
   芯を揺動支点として揺動可能に前記回動部材に設けられ
   て、前記連結手段に連結された揺動部材と、 前記回動部材の回動軸芯を回転支点として回転可能に前
   記回動部材に設けられ、前記回動部材の正逆回転に応じ
   て基板の保持および解除が可能である保持部材と、を備
   え、 前記保持部材が基板を保持したとき、前記揺動部材の揺
   動作用点と前記揺動支点とが、前記スピンベースの回転
   中心を中心とした仮想円の半径方向に沿って一直線上に
   並ぶように構成したことを特徴とする基板保持機構。
3. 【請求項３】 基板を保持する基板保持機構において、 鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、 基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ以上
   有しており、その３つ以上のうち少なくとも１つが可動
   保持部である基板保持部と、 基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるための
   第１変位手段と、 基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させる
   ための第２変位手段と、 前記可動保持部と前記第１変位手段および前記第２変位
   手段とを連結させる連結手段と、を備え、 前記可動保持部は、 前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な
   回動部材と、 前記回動部材を挟んで両側に延出され、一方側が揺動作
   用点であるとともに他方側にカウンタウエイトを有し、
   前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回
   動部材に設けられて、前記連結手段に連結された揺動部
   材と、 前記回動部材の回動軸芯を支点として回転可能に前記回
   動部材に設けられ、前記回動部材の正逆回転に応じて基
   板の保持および解除が可能である保持部材と、を備える
   ことを特徴とする基板保持機構。
4. 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
   載の基板保持機構において、 前記連結手段は、 前記スピンベースに沿って配置され、揺動部材に連結さ
   れているリンク部材と、 前記リンク部材に設けられ、前記スピンベースの回転軸
   に挿通されている駆動軸と、 前記駆動軸に設けられた回転部材と、を備え、 前記第１変位手段は、前記保持部材により基板を保持さ
   せるように、回転部材を一方向に回転させ、 前記第２変位手段は、前記保持部材による基板の保持を
   解除させるように、回転部材を他方向に回転させること
   を特徴とする基板保持機構。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の基板保持機構におい
   て、 前記第１変位手段は、バネ機構を備え、 前記第２変位手段は、エアシリンダを備えることを特徴
   とする基板保持機構。