JPH10151516A - 研磨皿への溝加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、研磨皿の皿本体の底面の外周に固
着されるパットに所定形状の溝を形成するための研磨皿
への溝加工方法に関し、皿本体に固着されるパットに、
溝を高い精度で容易に形成することを目的とする。 【解決手段】 皿本体の底面の外周に固着されるパット
の凸面または凹面に所定形状の溝を形成するための研磨
皿への溝加工方法において、皿本体の底面に対向して、
パットの凸面または凹面に対応する形状の凹面または凸
面が形成される案内部材を配置するとともに、パットと
案内部材との間に、案内部材側に案内棒が配置されパッ
ト側に刃物が配置される溝加工手段を配置し、溝加工手
段の刃物をパットに押圧した状態で、案内棒を案内部材
の凹面または凸面に形成される案内溝に沿って移動し、
パットの凸面または凹面に溝を形成することを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨皿の皿本体の
底面の外周に固着されるパットに所定形状の溝を形成す
るための研磨皿への溝加工方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、レンズ成形用の金型で
は、金型に形成される球面状の凹面をポリシングするた
めに研磨皿が用いられている。図６および図７は、この
ような研磨皿を示すもので、この研磨皿では、金属から
なる皿本体１の底面１ａの外周に、樹脂からなるパット
２が固着されている。

【０００３】皿本体１の底面１ａは、球面状の凸面とさ
れ、この凸面に沿って球面状の凸面２ａを有するパット
２が固着されている。そして、パット２の凸面２ａに
は、ポリシングで使用される研磨剤を逃がすための直線
状の溝２ｂが格子状に形成されている。従来、このよう
な研磨皿では、パット２の凸面２ａへの溝２ｂの形成
は、例えば、図８に示すように、研磨皿３をペンチ等の
工具４により固定した状態で、カッタ等の刃物５を用い
て人手により溝加工することにより行われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の研磨皿への溝加工方法では、パット２への溝
２ｂの形成を、カッタ等の刃物５を用いて人手により行
っているため、溝２ｂの形成に多大な工数が必要にな
り、また、溝２ｂの深さおよび幅を均一に形成すること
が困難であるという問題があった。

【０００５】すなわち、このような研磨皿では、溝２ｂ
の深さあるいは幅が不均一であると、ポリシングによる
被加工物の面精度が低下し、また、研磨皿の寿命が低下
するという問題が発生する。本発明は、かかる従来の問
題を解決するためになされたもので、皿本体に固着され
るパットに、溝を高い精度で容易に形成することができ
る研磨皿への溝加工方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の研磨皿への溝
加工方法は、皿本体の底面の外周に固着されるパットの
凸面または凹面に所定形状の溝を形成するための研磨皿
への溝加工方法において、前記皿本体の底面に対向し
て、前記パットの凸面または凹面に対応する形状の凹面
または凸面が形成される案内部材を配置するとともに、
前記パットと案内部材との間に、前記案内部材側に案内
棒が配置され前記パット側に刃物が配置される溝加工手
段を配置し、前記溝加工手段の刃物を前記パットに押圧
した状態で、前記案内棒を前記案内部材の凹面または凸
面に形成される案内溝に沿って移動し、前記パットの凸
面または凹面に前記溝を形成することを特徴とする。

【０００７】（作用）請求項１の研磨皿への溝加工方法
では、皿本体の底面の外周に固着されるパットの凸面ま
たは凹面への溝の形成が、溝加工手段の刃物をパットに
押圧した状態で、案内棒を案内部材の凹面または凸面に
形成される案内溝に沿って移動することにより行われ
る。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を用いて詳細
に説明する。図１は、本発明の研磨皿への溝加工方法の
一実施形態に用いられる研磨皿への溝加工装置を示すも
ので、符号１１は、研磨皿を示している。この研磨皿１
１は、図２および図３に示すように、例えば、鋳鉄，ス
テンレス鋼等の金属からなる皿本体１３の底面１３ａの
外周に、例えば、エポキシ系樹脂等の樹脂からなるパッ
ト１５が固着されて構成されている。

【０００９】皿本体１３の底面１３ａは、球面状の凸面
とされ、この凸面に沿って球面状の凸面１５ａを有する
パット１５が固着されている。そして、パット１５の凸
面１５ａには、この実施形態の溝加工方法により、ポリ
シングで使用される研磨剤を逃がすための直線状の溝１
５ｂが格子状に形成される。

【００１０】この研磨皿１１は、支持手段１７により支
持されている。この支持手段１７は、ステージ１９を有
しており、ステージ１９には回転盤２１が回転可能に配
置されている。回転盤２１には、コレット２３が固定さ
れており、コレット２３の先端の凹部２３ａに研磨皿１
１が底面１３ａを上にして挿入されている。

【００１１】そして、コレット２３に被嵌されるチャッ
ク２５を締め付けることにより研磨皿１１がコレット２
３に固定されている。支持手段１７の上方には、案内部
材２７が、研磨皿１１に対向する位置に配置されてい
る。この案内部材２７は、水平支柱２９の先端に螺子部
材３１により固定されている。

【００１２】図４および図５は、案内部材２７の詳細を
示すもので、案内部材２７の下面には、研磨皿１１のパ
ット１５の凸面１５ａに対応する形状の球面状の凹面２
７ａが形成されている。そして、凹面２７ａには、所定
間隔を置いて平行に、直線状の案内溝２７ｂが形成され
ている。

【００１３】支持手段１７と案内部材２７との間には、
図１に示すように、溝加工手段３３が配置されている。
溝加工手段３３は、本体部３５とスピンドル部３７とを
有している。本体部３５の案内部材２７側には、案内部
材２７の案内溝２７ｂに案内される案内棒３９が配置さ
れている。

【００１４】スピンドル部３７の研磨皿１１側には、研
磨皿１１のパット１５に溝１５ｂを加工するための刃物
４１が配置されている。このスピンドル部３７は、ベル
ト４３により回転可能とされている。また、本体部３５
は、支柱４５を介して回動軸４７に支持されている。そ
して、図１の実線の状態から、回動軸４７を右に回動す
ると、本体部３５が上方に移動し、図１に二点鎖線で示
すように、案内棒３９の上端が案内部材２７の案内溝２
７ｂに挿入され、同時に、スピンドル部３７が下方に移
動し、図１に二点鎖線で示すように、刃物４１の下端が
研磨皿１１のパット１５に押圧される。

【００１５】上述した研磨皿への溝加工装置を用いて本
発明の研磨皿への溝加工方法の一実施形態が以下述べる
ようにして行われる。この実施形態では、先ず、コレッ
ト２３の先端の凹部２３ａに研磨皿１１が底面１３ａを
上にして挿入され、コレット２３に被嵌されるチャック
２５を締め付けることにより研磨皿１１がコレット２３
に固定される。

【００１６】次に、ベルト４３が駆動され溝加工手段３
３のスピンドル部３７が回転される。この後、図１の実
線の状態から、回動軸４７が右に回動される。この回動
により、本体部３５が上方に移動し、図１に二点鎖線で
示したように、案内棒３９の上端が案内部材２７の案内
溝２７ｂに挿入され、同時に、スピンドル部３７が下方
に移動し、図１に二点鎖線で示したように、刃物４１の
下端が研磨皿１１のパット１５に押圧される。

【００１７】なお、パット１５に形成する溝１５ｂの深
さの調整は、ステージ１９を上下に移動することにより
行われる。そして、この状態から、案内部材２７の案内
溝２７ｂに沿って案内棒３９を移動し、これを繰り返す
ことにより、図２および図３に示した紙面の上下方向の
溝１５ｂが研磨皿１１のパット１５に形成される。

【００１８】次に、支持手段１７の回転盤２１を９０度
回転し、上述した動作を繰り返すことにより、図２およ
び図３に示した紙面の左右方向の溝１５ｂが研磨皿１１
のパット１５に形成される。上述した研磨皿への溝加工
方法では、溝加工手段３３の刃物４１をパット１５に押
圧した状態で、案内棒３９を案内部材２７の凹面２７ａ
に形成される案内溝２７ｂに沿って移動し、パット１５
の凸面１５ａに溝１５ｂを形成するようにしたので、皿
本体１３に固着されるパット１５に、溝１５ｂを高い精
度で容易に形成することができる。

【００１９】すなわち、この研磨皿への溝加工方法で
は、パット１５への溝１５ｂの形成を、案内部材２７の
凹面２７ａに形成される案内溝２７ｂに沿って案内棒３
９を移動して行うようにしたので、溝１５ｂの形成に必
要な工数を従来より大幅に低減することができ、また、
溝１５ｂの深さおよび幅を均一に形成することができ
る。そして、溝１５ｂの深さあるいは幅が均一になるた
め、ポリシングによる被加工物の面精度を向上し、ま
た、研磨皿１１の寿命を向上することができる。

【００２０】また、上述した研磨皿への溝加工方法で
は、スピンドル部３７により刃物４１を回転しながら溝
１５ｂを加工するようにしたので、Ｖ字状の溝１５ｂを
容易，確実に形成することができる。

【００２１】なお、上述した実施形態では、案内部材２
７に凹面２７ａを形成し、パット１５の凸面１５ａに溝
１５ｂを形成した例について説明したが、本発明はかか
る実施形態に限定されるものではなく、案内部材に凸面
を形成し、パットの凹面に溝を形成するようにしても良
い。また、上述した実施形態では、パット１５の凸面１
５ａに直線状の溝１５ｂを形成した例について説明した
が、本発明はかかる実施形態に限定されるものではな
く、曲線状の溝を形成するようにしても良い。

【００２２】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１の研磨皿へ
の溝加工方法では、溝加工手段の刃物をパットに押圧し
た状態で、案内棒を案内部材の凹面または凸面に形成さ
れる案内溝に沿って移動し、パットの凸面または凹面に
溝を形成するようにしたので、皿本体に固着されるパッ
トに、溝を高い精度で容易に形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の研磨皿への溝加工方法の一実施形態に
用いられる研磨皿への溝加工装置を示す断面図である。

【図２】図１の装置により溝加工される研磨皿を示す断
面図である。

【図３】図２の研磨皿を示す上面図である。

【図４】図１の案内部材を示す断面図である。

【図５】図４の案内部材を示す底面図である。

【図６】研磨皿を示す断面図である。

【図７】図６の研磨皿を示す上面図である。

【図８】従来の研磨皿への溝加工方法を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１１ 研磨皿 １３ 皿本体 １３ａ 底面 １５ パット １５ａ 凸面 １５ｂ 溝 ２７ 案内部材 ２７ａ 凹面 ２７ｂ 案内溝 ３９ 案内棒 ４１ 刃物

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 皿本体の底面の外周に固着されるパット
   の凸面または凹面に所定形状の溝を形成するための研磨
   皿への溝加工方法において、 前記皿本体の底面に対向して、前記パットの凸面または
   凹面に対応する形状の凹面または凸面が形成される案内
   部材を配置するとともに、前記パットと案内部材との間
   に、前記案内部材側に案内棒が配置され前記パット側に
   刃物が配置される溝加工手段を配置し、前記溝加工手段
   の刃物を前記パットに押圧した状態で、前記案内棒を前
   記案内部材の凹面または凸面に形成される案内溝に沿っ
   て移動し、前記パットの凸面または凹面に前記溝を形成
   することを特徴とする研磨皿への溝加工方法。