JPH1015984A - 樹脂封止装置および方法 - Google Patents

樹脂封止装置および方法

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JPH1015984A
JPH1015984A JP19157896A JP19157896A JPH1015984A JP H1015984 A JPH1015984 A JP H1015984A JP 19157896 A JP19157896 A JP 19157896A JP 19157896 A JP19157896 A JP 19157896A JP H1015984 A JPH1015984 A JP H1015984A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
speed
flow rate
resin
injection
control means
Prior art date
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Pending
Application number
JP19157896A
Other languages
English (en)
Inventor
Masanobu Yusa
正信 遊佐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH1015984A publication Critical patent/JPH1015984A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 油圧式射出シリンダを有する樹脂封止装置に
おいて作動油温度の変化等の外乱に対し射出速度のばら
つきを最小におさえる。 【解決手段】 本発明の樹脂封止装置は、油圧式射出シ
リンダ8の速度を検出する速度検出器9と、射出油圧シ
リンダ8へ作動油を供給する比例電磁流量調整弁11
と、射出速度の実測地と設定速度とを比較し次の成形サ
イクル時に射出油圧シリンダの速度が設定速度となるよ
うに比例電磁流量調整弁11の開度を指示する射出速度
制御部10とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品のモール
ド樹脂封止装置に関し、特に樹脂射出に油圧シリンダを
用いる樹脂封止装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の樹脂射出に油圧シリンダを用いた
樹脂封止装置を図3に示す。図3において、1は上部固
定板、2は下部固定板、3は両固定板1,2間に設けら
れたタイバー、4はタイバーを案内に型締めシリンダ5
により上下駆動されるスライド板、6は上部固定板1に
取り付けられた上金型、7はスライド板4に取り付けら
れた下金型である。また、8は下金型7に供給された樹
脂を金型内に注入する射出シリンダを示す。射出シリン
ダ8は、樹脂Rを金型内へ注入するピストン8aを備え
ている。
【0003】以上の樹脂封止装置を用いて、下金型7に
リードフレーム及び樹脂Rを供給し、型締めシリンダ5
により上金型6,下金型7を型締め後、射出シリンダ8
のピストン8aによって下型7に供給された樹脂Rを金
型内に注入し、半導体部品を樹脂封止する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来この樹脂封止装置
では樹脂射出に油圧シリンダを用いているため、作動油
の温度変化により作動油の粘度が変化し、これにより射
出シリンダの速度を設定する流量調整弁の流量が変化す
ることで、射出シリンダの速度にばらつきが生じる。
【0005】流量調整弁については温度補償付き流量調
整弁も考案されてはいるが、このような調整弁を使用し
ても作動油の温度変化量が20℃以上もあり、温度補償
限界をこえるため、やはり射出シリンダ速度のばらつき
が生じるという問題は解消できなかった。
【0006】射出シリンダの速度にばらつきが生じる
と、樹脂の注入速度に変化が生じ、半導体装置内のワイ
ヤが切れたり、樹脂が十分に充填されなかったり、とい
う問題が発生するおそれがある。
【0007】本発明は上記の点にかんがみて成されたも
ので、油圧式射出シリンダを有する樹脂封止装置におい
て作動油の温度変化等の外乱に対し射出速度のばらつき
を最小におさえることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、樹脂封止装置において、油圧シ
リンダの作動油の流量を制御する流量制御手段と、油圧
シリンダの射出速度を検出する検出手段と、検出手段に
よって検出した実測速度と設定速度とを比較して設定速
度になるように流量制御手段を制御する出射速度制御手
段とを設けた。
【0009】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態ついて図
面を参照して説明する。図1は本発明による樹脂封止装
置の一実施形態を示し、8は射出用油圧シリンダ、9は
射出用油圧シリンダ8の速度検出器、10は射出速度制
御部、11は比例電磁流量調整弁、12は油圧ポンプで
ある。出射用油圧シリンダ8は、図3に示す封止装置と
同様に、図3に示す下金型7に供給された樹脂Rを金型
6,7内に注入するピストン8aを備えている。
【0010】速度検出器9は、シリンダ8の出射速度
(ピストン8aの射出速度)を検出するもので、例えば
ポテンショメータやロータリーエンコーダ等を用いてピ
ストン8aの移動量を検出し、それを単位時間当りに換
算して速度を求める。あるいは、ピストン8aの移動量
は決まっているので、その始点から終点までの移動時間
を測定してその移動時間をピストン8aの速度に対応す
るものとして用いてもよい。
【0011】射出速度制御部10は、例えば、シーケン
サやマイクロコンピュータ等によって構成される。制御
部10は、速度検出器9によって検出された射出速度に
基づいて次回の流量を決定し、その決定した流量になる
ように調整弁11を制御する。
【0012】比例電磁流量調整弁11は、入力信号に比
例した流量制御を行う比例制御弁であって、電磁コイル
とプランジャを備え、電磁コイルに供給する電流により
プランジャを移動させて弁開度を調整する。制御部10
からの指令に応じ、シリンダ8のピストン8aの速度に
応じて調整弁11の開度を調整する。すなわち、ピスト
ン8aの速度が設定値より速ければ、流量を小さくする
ように調整弁11を制御し、ピストン8の速度が設定値
より遅ければ、流量を増加させる。調整弁11の流量と
シリンダ8の出射速度との関係は、予め実験して求めて
おき、その関係を制御部10に記憶しておく。
【0013】次に図2のフローチャートを用いて上記装
置の動作を説明する。油圧ポンプ12を駆動して調整弁
11を介してシリンダ8へ油圧を送りピストン8aを始
動させて樹脂を注入する(ステップ201)。次いでピ
ストン8aの出射速度を検出する(ステップ202)。
出射速度は前述したようにピストン8aの始点から終点
までの移動時間により検出してもよい。出射速度制御部
10においては、実測速度と設定値とが比較され(ステ
ップ203)、次回の成形サイクル時に油圧シリンダ8
の速度が設定速度になるように比例電磁流量調整弁11
の流量を決定する(ステップ204)。制御部10は決
定された流量になるように調整弁11の弁開度を制御す
る(ステップ205)。こうして設定された流量に基づ
いて次回の樹脂注入が行われ(ステップ201)、以下
同様の動作を繰り返す。
【0014】以上のように、上記装置によれば、設定速
度になるように調整弁11を制御するので、作動油の温
度変化による出射速度のばらつきを最小に抑えることが
できる。また、上記樹脂封止装置においては、1回の成
形サイクル終了ごとに次回の成形サイクル時のために流
量制御手段を制御するので、複雑な制御を必要とせず、
出射速度を一定にするための安価で効果的な制御が可能
となる。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の樹脂封止
装置では、射出用油圧シリンダの速度を検出し、射出速
度制御部で射出速度の設定値と実測速度とを比較し、設
定速度になるように調整弁を制御するので、油圧サーボ
方式の樹脂封止装置において、安価で作動油の温度変化
等の外乱に対し射出速度のばらつきを最小にできるとい
う効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示す図。
【図2】図1の装置の動作を説明するフローチャート。
【図3】従来の樹脂封止装置を示す図。
【符号の説明】
1 上部固定板 2 下部固定板 3 タイバー 4 スライド板 5 型締シリンダ 6 上金型 7 下金型 8 射出シリンダ 8a ピストン 9 速度検出器 10 射出速度制御部 11 比例電磁流量調整弁 12 油圧ポンプ R 樹脂

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子部品を封止する樹脂の射出駆動源と
    して油圧シリンダを用いる樹脂封止装置において、前記
    油圧シリンダの作動油の流量を制御する流量制御手段
    と、前記油圧シリンダの射出速度を検出する検出手段
    と、前記検出手段によって検出した実測速度と設定速度
    とを比較して設定速度になるように前記流量制御手段を
    制御する射出速度制御手段とを設けたことを特徴とする
    樹脂封止装置。
  2. 【請求項2】 前記流量制御手段が、比例電磁流量調整
    弁である請求項1に記載の樹脂封止装置。
  3. 【請求項3】 前記射出速度制御手段は、1回の成形サ
    イクル終了ごとに流量制御手段を制御する請求項1また
    は2に記載の樹脂封止装置。
  4. 【請求項4】 油圧シリンダを用いて電子部品を樹脂封
    止する樹脂封止方法において、前記樹脂の出射速度を設
    定し、前記油圧シリンダの実際の射出速度を検出し、そ
    の実測速度と設定速度とを比較して設定速度になるよう
    に作動油の流量を制御することを特徴とする樹脂封止方
    法。
JP19157896A 1996-07-02 1996-07-02 樹脂封止装置および方法 Pending JPH1015984A (ja)

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JP19157896A JPH1015984A (ja) 1996-07-02 1996-07-02 樹脂封止装置および方法

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JPH1015984A true JPH1015984A (ja) 1998-01-20

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JP (1) JPH1015984A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004344988A (ja) * 2003-05-20 2004-12-09 Star Micronics Co Ltd 切断装置およびその制御方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004344988A (ja) * 2003-05-20 2004-12-09 Star Micronics Co Ltd 切断装置およびその制御方法

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