JPH10162952A - 薄膜elパネル及びその製造方法 - Google Patents
薄膜elパネル及びその製造方法Info
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- JPH10162952A JPH10162952A JP8315771A JP31577196A JPH10162952A JP H10162952 A JPH10162952 A JP H10162952A JP 8315771 A JP8315771 A JP 8315771A JP 31577196 A JP31577196 A JP 31577196A JP H10162952 A JPH10162952 A JP H10162952A
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- film
- thin
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional [2D] radiating surfaces
- H05B33/22—Light sources with substantially two-dimensional [2D] radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 視角依存性が抑制でき、かつカラーフィルタ
との接触に起因する欠陥の発生を抑えることができる薄
膜ELパネルを提供する。 【解決手段】 EL素子基板15とカラーフィルタ基板
16とを、粒径が15μm以上120μm以下のスペー
サ7を介して貼合せることによって、カラーフィルタ9
とEL素子14の上部電極6との接触を防ぐ。また、前
記スペーサ7を上部電極6の隙間に配置させることによ
って、上部電極6における微小破壊の発生を完全に無く
す。
との接触に起因する欠陥の発生を抑えることができる薄
膜ELパネルを提供する。 【解決手段】 EL素子基板15とカラーフィルタ基板
16とを、粒径が15μm以上120μm以下のスペー
サ7を介して貼合せることによって、カラーフィルタ9
とEL素子14の上部電極6との接触を防ぐ。また、前
記スペーサ7を上部電極6の隙間に配置させることによ
って、上部電極6における微小破壊の発生を完全に無く
す。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は薄膜ELパネルに関
し、より詳しくは、薄膜ELパネルとカラーフィルタと
を組み合わせて構成されるフィルタ方式の薄膜ELパネ
ルに関する。
し、より詳しくは、薄膜ELパネルとカラーフィルタと
を組み合わせて構成されるフィルタ方式の薄膜ELパネ
ルに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、薄膜ELパネルを多色化するため
に、薄膜EL素子とカラーフィルタとを対向させたフィ
ルタ方式のものが開発されている。フィルタ方式とは、
薄膜EL素子から出る単一色の光を複数色の有機物から
なるカラーフィルタにより分光して、複数の発光色を得
る方式をいう。フィルタ方式の薄膜ELパネルは、EL
素子に単一色の発光層を設ければ良いので製造プロセス
を簡略化できる利点があるが、EL素子とカラーフィル
タとの間のギャップにより視角依存性(いわゆる色ず
れ)を生ずるという問題点があった。このため、従来
は、前記EL素子とカラーフィルタとの間には何も設け
ず、両者をできるだけ接近させて構成していた。
に、薄膜EL素子とカラーフィルタとを対向させたフィ
ルタ方式のものが開発されている。フィルタ方式とは、
薄膜EL素子から出る単一色の光を複数色の有機物から
なるカラーフィルタにより分光して、複数の発光色を得
る方式をいう。フィルタ方式の薄膜ELパネルは、EL
素子に単一色の発光層を設ければ良いので製造プロセス
を簡略化できる利点があるが、EL素子とカラーフィル
タとの間のギャップにより視角依存性(いわゆる色ず
れ)を生ずるという問題点があった。このため、従来
は、前記EL素子とカラーフィルタとの間には何も設け
ず、両者をできるだけ接近させて構成していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の薄膜ELパネルは、EL素子とカラーフィルタとを
接近させて構成するため、製造段階で画素とカラーフィ
ルタとの位置合わせを行うときに、EL素子とカラーフ
ィルタとが接触して傷を生ずることがあるという問題点
があった。
来の薄膜ELパネルは、EL素子とカラーフィルタとを
接近させて構成するため、製造段階で画素とカラーフィ
ルタとの位置合わせを行うときに、EL素子とカラーフ
ィルタとが接触して傷を生ずることがあるという問題点
があった。
【0004】また、EL素子は動作時(交流駆動時)に
厚さ方向に伸縮を繰り返す性質を有することから、製品
段階で前記EL素子とカラーフィルタとが部分的に接触
して、絶縁破壊による画素欠けや電極の断線破壊による
線状欠陥を生ずるという問題点があった。
厚さ方向に伸縮を繰り返す性質を有することから、製品
段階で前記EL素子とカラーフィルタとが部分的に接触
して、絶縁破壊による画素欠けや電極の断線破壊による
線状欠陥を生ずるという問題点があった。
【0005】このため、本願出願人は、特開平5−94
879号公報において、前記EL素子の画素の隙間に、
遮光性を有し、前記基板面に対して略垂直に突出するス
ペーサを設ける方法を提案した。
879号公報において、前記EL素子の画素の隙間に、
遮光性を有し、前記基板面に対して略垂直に突出するス
ペーサを設ける方法を提案した。
【0006】しかしながら、前記公報による技術では、
前記スペーサは、樹脂を回転塗布法によって一旦EL素
子全面に形成した後、フォトリソグラフィ等の手法によ
り前記EL素子の画素の隙間に形成された樹脂のみを残
して得られるものであったので、工程数が増加し、製造
プロセスがより複雑となってしまい、最適な方法である
とは言えなかった。
前記スペーサは、樹脂を回転塗布法によって一旦EL素
子全面に形成した後、フォトリソグラフィ等の手法によ
り前記EL素子の画素の隙間に形成された樹脂のみを残
して得られるものであったので、工程数が増加し、製造
プロセスがより複雑となってしまい、最適な方法である
とは言えなかった。
【0007】本発明は、上記問題点を鑑みてなされたも
のであり、視角依存性を改善できる上、EL素子とカラ
ーフィルタとの接触を防止することができ、絶縁破壊に
よる画素欠けや電極の断線破壊による線状欠陥の発生を
容易に抑制する薄膜ELパネル及びその製造方法を提供
するものである。
のであり、視角依存性を改善できる上、EL素子とカラ
ーフィルタとの接触を防止することができ、絶縁破壊に
よる画素欠けや電極の断線破壊による線状欠陥の発生を
容易に抑制する薄膜ELパネル及びその製造方法を提供
するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1記載の
薄膜ELパネルは、複数の画素を有する薄膜EL素子が
形成されたEL素子基板と、カラーフィルタが形成され
たカラーフィルタ基板とを対向配置させ、これらをシー
ル樹脂を介して貼合わせて構成される薄膜ELパネルに
おいて、前記EL素子と前記カラーフィルタ基板との間
隙に、粒径が15〜120μmのスペーサが介在されて
いることを特徴とするものである。
薄膜ELパネルは、複数の画素を有する薄膜EL素子が
形成されたEL素子基板と、カラーフィルタが形成され
たカラーフィルタ基板とを対向配置させ、これらをシー
ル樹脂を介して貼合わせて構成される薄膜ELパネルに
おいて、前記EL素子と前記カラーフィルタ基板との間
隙に、粒径が15〜120μmのスペーサが介在されて
いることを特徴とするものである。
【0009】本発明の請求項2記載の薄膜ELパネル
は、請求項1記載の薄膜ELパネルにおいて、前記スペ
ーサの散布密度が0.01〜10個/mm2 であること
を特徴とするものである。
は、請求項1記載の薄膜ELパネルにおいて、前記スペ
ーサの散布密度が0.01〜10個/mm2 であること
を特徴とするものである。
【0010】本発明の請求項3記載の薄膜ELパネル
は、請求項1記載の薄膜ELパネルにおいて、前記スペ
ーサの熱分解温度が、前記シール樹脂の硬化温度より高
いことを特徴とするものである。
は、請求項1記載の薄膜ELパネルにおいて、前記スペ
ーサの熱分解温度が、前記シール樹脂の硬化温度より高
いことを特徴とするものである。
【0011】本発明の請求項4記載の薄膜ELパネル
は、請求項1乃至3記載の薄膜ELパネルにおいて、前
記スペーサが前記EL素子上に固定配置されていること
を特徴とするものである。
は、請求項1乃至3記載の薄膜ELパネルにおいて、前
記スペーサが前記EL素子上に固定配置されていること
を特徴とするものである。
【0012】本発明の請求項5記載の薄膜ELパネル
は、請求項4記載の薄膜ELパネルにおいて、前記スペ
ーサが前記EL素子の上部電極の隙間に固定配置されて
いることを特徴とするものである。
は、請求項4記載の薄膜ELパネルにおいて、前記スペ
ーサが前記EL素子の上部電極の隙間に固定配置されて
いることを特徴とするものである。
【0013】本発明の請求項6記載の薄膜ELパネルの
製造方法は、基板上に下部電極、下部絶縁膜、EL発光
層、上部絶縁膜、上部電極を順次積層しEL素子を形成
する工程と、前記EL素子上の上部電極の隙間に粘着剤
を形成する工程と、前記EL素子上にスペーサを散布す
る工程と、前記EL素子の画素上に散布されたスペーサ
を除去する工程と、を有することを特徴とするものであ
る。
製造方法は、基板上に下部電極、下部絶縁膜、EL発光
層、上部絶縁膜、上部電極を順次積層しEL素子を形成
する工程と、前記EL素子上の上部電極の隙間に粘着剤
を形成する工程と、前記EL素子上にスペーサを散布す
る工程と、前記EL素子の画素上に散布されたスペーサ
を除去する工程と、を有することを特徴とするものであ
る。
【0014】本発明の請求項7記載の薄膜ELパネルの
製造方法は、基板上に下部電極、下部絶縁膜、EL発光
層、上部絶縁膜、上部電極を順次積層しEL素子を形成
する工程と、前記EL素子の上部電極に一定の電荷を供
給する工程と、前記EL素上に散布するスペーサに、前
記EL素子の上部電極に与えた電荷と同極性の電荷を与
える工程と、前記スペーサを前記EL素子上に散布する
工程と、を有することを特徴とするものである。
製造方法は、基板上に下部電極、下部絶縁膜、EL発光
層、上部絶縁膜、上部電極を順次積層しEL素子を形成
する工程と、前記EL素子の上部電極に一定の電荷を供
給する工程と、前記EL素上に散布するスペーサに、前
記EL素子の上部電極に与えた電荷と同極性の電荷を与
える工程と、前記スペーサを前記EL素子上に散布する
工程と、を有することを特徴とするものである。
【0015】以下、上記構成による作用について説明す
る。
る。
【0016】本発明の薄膜ELパネルは、EL素子と前
記カラーフィルタ基板との間隙に粒径が15μm以上の
スペーサを介在させることによって、製造段階及び製品
段階におけるEL素子とカラーフィルタとの間隙が確保
され、両者が接触しなくなる。したがって、傷や絶縁破
壊による画素欠け、線状欠陥等の発生を防止することが
可能となる。また、前記スペーサの粒径を120μm以
下とすることによって、色ずれを生じることが無く、視
角依存性を改善することが可能となる。
記カラーフィルタ基板との間隙に粒径が15μm以上の
スペーサを介在させることによって、製造段階及び製品
段階におけるEL素子とカラーフィルタとの間隙が確保
され、両者が接触しなくなる。したがって、傷や絶縁破
壊による画素欠け、線状欠陥等の発生を防止することが
可能となる。また、前記スペーサの粒径を120μm以
下とすることによって、色ずれを生じることが無く、視
角依存性を改善することが可能となる。
【0017】また、前記スペーサの散布密度を0.01
個/mm2 以上とすることによって、カラーフィルタ基
板の部分的なたわみによってEL素子とカラーフィルタ
とが接触することを防ぐことが可能となる。また、前記
スペーサの散布密度を10個/mm2 以下とすることに
よって、その部分での上部電極の断線破壊を防ぐことが
可能となる。
個/mm2 以上とすることによって、カラーフィルタ基
板の部分的なたわみによってEL素子とカラーフィルタ
とが接触することを防ぐことが可能となる。また、前記
スペーサの散布密度を10個/mm2 以下とすることに
よって、その部分での上部電極の断線破壊を防ぐことが
可能となる。
【0018】また、前記スペーサとして、熱分解温度が
前記シール樹脂の硬化温度より高いものを用いることに
よって、前記スペーサの成分が絶縁性液体の中に溶け出
すことを防ぐことが可能となる。
前記シール樹脂の硬化温度より高いものを用いることに
よって、前記スペーサの成分が絶縁性液体の中に溶け出
すことを防ぐことが可能となる。
【0019】また、前記スペーサは、前記EL素子上で
固定配置させることによって、前EL素子基板とカラー
フィルタ基板との間隙に絶縁性オイルを注入する際にス
ペーサが移動してしまい一部に偏在することを防ぐこと
が可能となる。
固定配置させることによって、前EL素子基板とカラー
フィルタ基板との間隙に絶縁性オイルを注入する際にス
ペーサが移動してしまい一部に偏在することを防ぐこと
が可能となる。
【0020】前記EL素子は、画素上で微小欠陥を生じ
やすいため、前記スペーサはEL素子の上部電極の隙間
に固定配置させることが望ましい。
やすいため、前記スペーサはEL素子の上部電極の隙間
に固定配置させることが望ましい。
【0021】本発明の薄膜ELパネルの製造方法では、
容易に前記スペーサをEL素子の上部電極の隙間に分散
配置させることが可能となる。
容易に前記スペーサをEL素子の上部電極の隙間に分散
配置させることが可能となる。
【0022】
(実施の形態1)本発明の第1の実施の形態について、
図1乃至図4を用いて説明する。図1は本実施の形態に
おける薄膜ELパネルの断面図であり、1は絶縁基板、
2は下部電極、3は下部絶縁膜、4はEL発光層、5は
上部絶縁膜、6は上部電極である。前記下部電極2乃至
上部電極6によってEL素子14が形成されており、前
記EL素子14と絶縁基板1とによってEL素子基板1
5が形成されている。また、8は透光性基板、9はカラ
ーフィルタであり、これらによってカラーフィルタ基板
16が形成されている。なお、前記下部電極2と上部電
極6とは互いに直交するストライプ形状であり、下部電
極2と上部電極6との交差部により画素が形成されてい
る。また、前記カラーフィルタ基板16のカラーフィル
タ9の隙間にはブラックマスク18が形成されている。
図1乃至図4を用いて説明する。図1は本実施の形態に
おける薄膜ELパネルの断面図であり、1は絶縁基板、
2は下部電極、3は下部絶縁膜、4はEL発光層、5は
上部絶縁膜、6は上部電極である。前記下部電極2乃至
上部電極6によってEL素子14が形成されており、前
記EL素子14と絶縁基板1とによってEL素子基板1
5が形成されている。また、8は透光性基板、9はカラ
ーフィルタであり、これらによってカラーフィルタ基板
16が形成されている。なお、前記下部電極2と上部電
極6とは互いに直交するストライプ形状であり、下部電
極2と上部電極6との交差部により画素が形成されてい
る。また、前記カラーフィルタ基板16のカラーフィル
タ9の隙間にはブラックマスク18が形成されている。
【0023】前記EL素子基板15と前記カラーフィル
タ基板16とは、表示部周辺に設けられたシール樹脂1
0によって貼合わされる。また、前記EL素子基板15
とカラーフィルタ基板16との間隙には絶縁性液体11
が注入されており、湿気に弱いEL素子14を保護して
いる。前記絶縁性液体11は、前記カラーフィルタ基板
16に設けられた注入口12から基板間に注入され、封
止板13によって封止されている。
タ基板16とは、表示部周辺に設けられたシール樹脂1
0によって貼合わされる。また、前記EL素子基板15
とカラーフィルタ基板16との間隙には絶縁性液体11
が注入されており、湿気に弱いEL素子14を保護して
いる。前記絶縁性液体11は、前記カラーフィルタ基板
16に設けられた注入口12から基板間に注入され、封
止板13によって封止されている。
【0024】また、前記EL素子基板15の表示領域上
にはスペーサ7が設けられており、前記EL素子14と
カラーフィルタ9との間隙を一定に保っている。これに
よって、EL素子14とカラーフィルタ9との接触を防
ぎ、製造工程や製品段階において不良を招くことがなく
なる。
にはスペーサ7が設けられており、前記EL素子14と
カラーフィルタ9との間隙を一定に保っている。これに
よって、EL素子14とカラーフィルタ9との接触を防
ぎ、製造工程や製品段階において不良を招くことがなく
なる。
【0025】本実施の形態では、前記スペーサ7として
粒形のものを用いた。これは、前記EL素子基板15と
カラーフィルタ基板16とを貼合わせた後に、前記カラ
ーフィルタ9を正確に位置合わせさせるために前記EL
素子基板15とカラーフィルタ基板16とを若干移動さ
せる必要があるため、前記スペーサの形状がいびつであ
ると、EL素子14やカラーフィルタ9を傷つけてしま
う可能性があるためである。
粒形のものを用いた。これは、前記EL素子基板15と
カラーフィルタ基板16とを貼合わせた後に、前記カラ
ーフィルタ9を正確に位置合わせさせるために前記EL
素子基板15とカラーフィルタ基板16とを若干移動さ
せる必要があるため、前記スペーサの形状がいびつであ
ると、EL素子14やカラーフィルタ9を傷つけてしま
う可能性があるためである。
【0026】前記スペーサ7の粒径は、その大きさによ
って不良の発生率や視角特性が変化するため、最適な範
囲に選ぶ必要がある。図2は前記スペーサ7の粒径と電
極の断線破壊本数との関係を示したグラフである。図2
から、前記スペーサ7の粒径が15μm以上であれば破
壊本数が少ないことが明らかであるため、前記スペーサ
7の粒径は15μm以上必要であることが分かる。ま
た、図3は標準ピッチの薄膜ELパネルにおける前記ス
ペーサ7の粒径と視角特性との関係を示したグラフであ
る。前記標準ピッチの薄膜ELパネルは、下部、上部電
極の幅を夫々460μm、電極間の間隔を140μm、
カラーフィルタのストライプ幅を560μm、カラーフ
ィルタ間の間隔を40μmとしたものである。図3か
ら、前記スペーサ7の粒径が120μm以下であれば1
40°以上の視角が得られ、実用上問題なく使用するこ
とができるので、前記スペーサ7の粒径は120μm以
下であることが必要である。したがって、前記スペーサ
7の粒径は15μm以上120μm以下であることが望
ましい。
って不良の発生率や視角特性が変化するため、最適な範
囲に選ぶ必要がある。図2は前記スペーサ7の粒径と電
極の断線破壊本数との関係を示したグラフである。図2
から、前記スペーサ7の粒径が15μm以上であれば破
壊本数が少ないことが明らかであるため、前記スペーサ
7の粒径は15μm以上必要であることが分かる。ま
た、図3は標準ピッチの薄膜ELパネルにおける前記ス
ペーサ7の粒径と視角特性との関係を示したグラフであ
る。前記標準ピッチの薄膜ELパネルは、下部、上部電
極の幅を夫々460μm、電極間の間隔を140μm、
カラーフィルタのストライプ幅を560μm、カラーフ
ィルタ間の間隔を40μmとしたものである。図3か
ら、前記スペーサ7の粒径が120μm以下であれば1
40°以上の視角が得られ、実用上問題なく使用するこ
とができるので、前記スペーサ7の粒径は120μm以
下であることが必要である。したがって、前記スペーサ
7の粒径は15μm以上120μm以下であることが望
ましい。
【0027】また、前記スペーサ7の散布密度について
も、この大小によって不良の発生率が変化するため、最
適な範囲に選ぶ必要がある。つまり、散布密度が小さす
ぎると、スペーサ7の存在しない領域が発生し、該領域
においてEL素子基板15やカラーフィルタ基板16が
たわんでEL素子14とカラーフィルタ9とが接触して
しまい、電極の断線破壊が発生することが考えられる。
また、散布密度が大きすぎると、スペーサ7が部分的に
数個から数十個固まってしまうことが考えられる。一般
に、EL素子14には微小破壊を起こしやすい場所が局
所的に存在し、これらは製造プロセス等を工夫すること
によって破壊の拡大を防いでいるが、前記微小破壊部分
にスペーサ7の固まりが存在した場合は前記微小破壊が
拡大しやすく、ときには電極の断線破壊を生じてしまう
ので、前記スペーサ7の固まりは無くす必要がある。
も、この大小によって不良の発生率が変化するため、最
適な範囲に選ぶ必要がある。つまり、散布密度が小さす
ぎると、スペーサ7の存在しない領域が発生し、該領域
においてEL素子基板15やカラーフィルタ基板16が
たわんでEL素子14とカラーフィルタ9とが接触して
しまい、電極の断線破壊が発生することが考えられる。
また、散布密度が大きすぎると、スペーサ7が部分的に
数個から数十個固まってしまうことが考えられる。一般
に、EL素子14には微小破壊を起こしやすい場所が局
所的に存在し、これらは製造プロセス等を工夫すること
によって破壊の拡大を防いでいるが、前記微小破壊部分
にスペーサ7の固まりが存在した場合は前記微小破壊が
拡大しやすく、ときには電極の断線破壊を生じてしまう
ので、前記スペーサ7の固まりは無くす必要がある。
【0028】図4は前記スペーサ7の散布密度と電極の
断線破壊本数との関係を示したグラフであり、曲線Aは
20時間のエージングを行ったもの、曲線Bは100時
間のエージングを行ったもの、曲線Cは200時間のエ
ージングを行ったものである。図4から、前記スペーサ
7の散布密度が0.01個/mm2 以上、好ましくは
0.1個/mm2 以上であれば電極の断線破壊本数を小
さく抑えることができることが分かる。また、前記スペ
ーサ7の散布密度は、短期間の使用に対しては100個
/mm2 以下で効果が得られるが、長期間の使用を考慮
した場合は10個/mm2 以下、好ましくは1個/mm
2 以下であれば電極の断線破壊本数を小さく抑えること
ができることが分かる。
断線破壊本数との関係を示したグラフであり、曲線Aは
20時間のエージングを行ったもの、曲線Bは100時
間のエージングを行ったもの、曲線Cは200時間のエ
ージングを行ったものである。図4から、前記スペーサ
7の散布密度が0.01個/mm2 以上、好ましくは
0.1個/mm2 以上であれば電極の断線破壊本数を小
さく抑えることができることが分かる。また、前記スペ
ーサ7の散布密度は、短期間の使用に対しては100個
/mm2 以下で効果が得られるが、長期間の使用を考慮
した場合は10個/mm2 以下、好ましくは1個/mm
2 以下であれば電極の断線破壊本数を小さく抑えること
ができることが分かる。
【0029】また、前記シール樹脂10として熱硬化性
の樹脂を用いた場合、前記スペーサ7は、薄膜ELパネ
ルの製造過程において、スペーサ7を配置させた後、シ
ール樹脂10を硬化させるために基板を高温にさせるの
で、前記スペーサ7の熱分解温度は、シール樹脂10の
熱硬化温度より高いものを用いる必要がある。これは、
前記スペーサ7の熱分解温度がシール樹脂10の硬化温
度より低い場合は、前記スペーサ7の成分が絶縁性液体
11中に溶出してしまい、EL素子14に悪影響を与え
てしまうことを防ぐためである。
の樹脂を用いた場合、前記スペーサ7は、薄膜ELパネ
ルの製造過程において、スペーサ7を配置させた後、シ
ール樹脂10を硬化させるために基板を高温にさせるの
で、前記スペーサ7の熱分解温度は、シール樹脂10の
熱硬化温度より高いものを用いる必要がある。これは、
前記スペーサ7の熱分解温度がシール樹脂10の硬化温
度より低い場合は、前記スペーサ7の成分が絶縁性液体
11中に溶出してしまい、EL素子14に悪影響を与え
てしまうことを防ぐためである。
【0030】次に、本実施形態における薄膜ELパネル
の製造方法について説明する。
の製造方法について説明する。
【0031】まず、ガラス等の絶縁性基板1上にIT
O、Ta、Mo、W等の単体または組合わせにより構成
される下部電極2をストライプ状に形成し、その上にS
iO2、Si3 N4 からなる下部絶縁膜3と、ZnS:
MnからなるEL発光層4と、Si3 N4 とSiO2 か
らなる上部絶縁膜5とを順次積層し、最後にITO等の
透明導電体からなるストライプ状の上部電極6を前記下
部電極2とは直交するように形成する。なお、前記上部
絶縁膜5はAl2 O3 を含んでいてもよい。
O、Ta、Mo、W等の単体または組合わせにより構成
される下部電極2をストライプ状に形成し、その上にS
iO2、Si3 N4 からなる下部絶縁膜3と、ZnS:
MnからなるEL発光層4と、Si3 N4 とSiO2 か
らなる上部絶縁膜5とを順次積層し、最後にITO等の
透明導電体からなるストライプ状の上部電極6を前記下
部電極2とは直交するように形成する。なお、前記上部
絶縁膜5はAl2 O3 を含んでいてもよい。
【0032】このように形成されたEL素子基板上に、
スペーサ7として粒径が20μmであるプラスチックビ
ーズを用いて、該スペーサ7を乾式散布装置により散布
した。本実施形態においては、前記スペーサ7としてミ
クロパールSP(積水ファインケミカル社製)を用い
た。
スペーサ7として粒径が20μmであるプラスチックビ
ーズを用いて、該スペーサ7を乾式散布装置により散布
した。本実施形態においては、前記スペーサ7としてミ
クロパールSP(積水ファインケミカル社製)を用い
た。
【0033】これとは別に、透光性基板8上に、感光性
樹脂に赤色顔料、緑色顔料を分散した材料を用いて、フ
ォトリソグラフイ法により赤(R)と緑(G)のカラー
フィルタ9を順次ストライプ状に形成する。このとき、
先に形成した赤色のカラーフィルタと後に形成する緑色
のカラーフィルタとを画素領域外で僅かに重ね合わせる
ことによって該領域をブラックマスク18とする。本実
施形態においては、前記透光性基板8として平板ガラス
基板を用いたが、彫り込みガラス基板を用いてもよい。
樹脂に赤色顔料、緑色顔料を分散した材料を用いて、フ
ォトリソグラフイ法により赤(R)と緑(G)のカラー
フィルタ9を順次ストライプ状に形成する。このとき、
先に形成した赤色のカラーフィルタと後に形成する緑色
のカラーフィルタとを画素領域外で僅かに重ね合わせる
ことによって該領域をブラックマスク18とする。本実
施形態においては、前記透光性基板8として平板ガラス
基板を用いたが、彫り込みガラス基板を用いてもよい。
【0034】このように形成されたカラーフィルタ基板
16と、前記スペーサ7が散布された前記EL素子基板
15とをエポキシ樹脂等からなるシール樹脂10を介し
て貼合わせ、カラーフィルタ基板16の注入口12から
絶縁性液体11を両基板間に注入し、注入口12をエポ
キシ樹脂等からなる封止板13により封止することによ
って、薄膜ELパネルが完成する。
16と、前記スペーサ7が散布された前記EL素子基板
15とをエポキシ樹脂等からなるシール樹脂10を介し
て貼合わせ、カラーフィルタ基板16の注入口12から
絶縁性液体11を両基板間に注入し、注入口12をエポ
キシ樹脂等からなる封止板13により封止することによ
って、薄膜ELパネルが完成する。
【0035】このようにして作製された薄膜ELパネル
に交流電圧を印加すると、EL発光層4から発光する黄
橙色の光がカラーフィルタ9を通過することにより赤と
緑とに分離され多色発光を呈する。更に、薄膜EL素子
14とカラーフィルタ9との間隙を一定に確保している
ので、製造段階や製品段階において両者が接触すること
がなくなり、絶縁破壊による画素欠けや電極の断線破壊
による線状欠陥を防止することが可能となる。また、前
記スペーサ7を乾式散布装置によってEL素子基板15
上に散布しているので、スペーサ7を設けるためにフォ
ト工程、フォトマスク等を必要とせず、非常に簡便な方
法で設けることが可能となる。
に交流電圧を印加すると、EL発光層4から発光する黄
橙色の光がカラーフィルタ9を通過することにより赤と
緑とに分離され多色発光を呈する。更に、薄膜EL素子
14とカラーフィルタ9との間隙を一定に確保している
ので、製造段階や製品段階において両者が接触すること
がなくなり、絶縁破壊による画素欠けや電極の断線破壊
による線状欠陥を防止することが可能となる。また、前
記スペーサ7を乾式散布装置によってEL素子基板15
上に散布しているので、スペーサ7を設けるためにフォ
ト工程、フォトマスク等を必要とせず、非常に簡便な方
法で設けることが可能となる。
【0036】なお、前記スペーサ7をEL素子基板15
上に散布する手段は、乾式散布装置に限らず湿式散布装
置や静電方式散布装置を用いてもよい。
上に散布する手段は、乾式散布装置に限らず湿式散布装
置や静電方式散布装置を用いてもよい。
【0037】(実施の形態2)前記スペーサ7は、前記
EL素子基板15及びカラーフィルタ基板16間におい
て散布密度を均一とすることが必要であるが、場合によ
っては前記絶縁性液体11を注入する際に前記スペーサ
7が移動してしまい、散布密度にムラが生じる場合があ
る。これを防ぐために、前記スペーサ7を両基板間に固
定配置させることも考えられる。
EL素子基板15及びカラーフィルタ基板16間におい
て散布密度を均一とすることが必要であるが、場合によ
っては前記絶縁性液体11を注入する際に前記スペーサ
7が移動してしまい、散布密度にムラが生じる場合があ
る。これを防ぐために、前記スペーサ7を両基板間に固
定配置させることも考えられる。
【0038】本実施の形態における薄膜ELパネルの構
造は、図1に示す実施の形態1のものと同じであるが、
スペーサ7を両基板間において固定配置させている点が
異なっている。本実施の形態における薄膜ELパネルの
製造方法について、以下に説明する。
造は、図1に示す実施の形態1のものと同じであるが、
スペーサ7を両基板間において固定配置させている点が
異なっている。本実施の形態における薄膜ELパネルの
製造方法について、以下に説明する。
【0039】まず、実施の形態1と同様に、絶縁基板1
上にEL素子14を形成してEL素子基板15とする。
一方、透光性基板8にカラーフィルタ9及びブラックマ
スク18を形成してカラーフィルタ基板16とする。
上にEL素子14を形成してEL素子基板15とする。
一方、透光性基板8にカラーフィルタ9及びブラックマ
スク18を形成してカラーフィルタ基板16とする。
【0040】次に、スペーサ7として表面に熱可塑性の
樹脂が設けられたプラスチックビーズを用いて、これを
乾式散布装置によりカラーフィルタ基板16上に散布
し、該カラーフィルタ基板16を140℃で30分加熱
した後、自然冷却した。このようなスペーサ7を用いる
ことによって、散布時にはスペーサ7が固まることなく
均一に散布することができ、熱を加えることによって固
定配置させることが可能となる。このカラーフィルタ基
板16のスペーサ7散布面に窒素ガスを吹付けたとこ
ろ、前記スペーサ7は吹飛ばされることなく基板上に固
定配置されていることが確認できた。なお、本実施の形
態においては、前記スペーサ7としてミクロパールCB
(積水ファインケミカル社製)を用いた。
樹脂が設けられたプラスチックビーズを用いて、これを
乾式散布装置によりカラーフィルタ基板16上に散布
し、該カラーフィルタ基板16を140℃で30分加熱
した後、自然冷却した。このようなスペーサ7を用いる
ことによって、散布時にはスペーサ7が固まることなく
均一に散布することができ、熱を加えることによって固
定配置させることが可能となる。このカラーフィルタ基
板16のスペーサ7散布面に窒素ガスを吹付けたとこ
ろ、前記スペーサ7は吹飛ばされることなく基板上に固
定配置されていることが確認できた。なお、本実施の形
態においては、前記スペーサ7としてミクロパールCB
(積水ファインケミカル社製)を用いた。
【0041】このカラーフィルタ基板8と前記EL素子
基板15とをシール樹脂10を介して貼合わせ、カラー
フィルタ基板8に設けられた注入口12から絶縁性液体
11を注入し、封止板13によって前記注入口12を封
止することにより、薄膜ELパネルが完成する。
基板15とをシール樹脂10を介して貼合わせ、カラー
フィルタ基板8に設けられた注入口12から絶縁性液体
11を注入し、封止板13によって前記注入口12を封
止することにより、薄膜ELパネルが完成する。
【0042】本実施の形態における薄膜ELパネルにお
いては、スペーサ7をEL素子基板15及びカラーフィ
ルタ基板16間に固定配置させることができたので、絶
縁性液体11を注入する際にスペーサ7が移動してしま
い、散布密度にムラが生じることを防ぐことが可能とな
る。
いては、スペーサ7をEL素子基板15及びカラーフィ
ルタ基板16間に固定配置させることができたので、絶
縁性液体11を注入する際にスペーサ7が移動してしま
い、散布密度にムラが生じることを防ぐことが可能とな
る。
【0043】本実施形態のように、スペーサ7として熱
可塑性の樹脂が表面に設けられたプラスチックビーズを
用いた場合、これを加熱して基板上に固定配置させると
きに樹脂がだれて基板と広面積で接触してしまうので、
異物による破壊を生じやすいEL素子上に散布するのは
好ましくない。したがって、本実施形態においては、前
記スペーサ7をカラーフィルタ基板16上に散布した。
可塑性の樹脂が表面に設けられたプラスチックビーズを
用いた場合、これを加熱して基板上に固定配置させると
きに樹脂がだれて基板と広面積で接触してしまうので、
異物による破壊を生じやすいEL素子上に散布するのは
好ましくない。したがって、本実施形態においては、前
記スペーサ7をカラーフィルタ基板16上に散布した。
【0044】(実施の形態3)本発明の別の実施の形態
について図5を用いて説明する。本実施の形態における
薄膜ELパネルは、スペーサ7が上部電極6の隙間に固
定配置されている点が上記実施の形態1及び2と異なっ
ている。
について図5を用いて説明する。本実施の形態における
薄膜ELパネルは、スペーサ7が上部電極6の隙間に固
定配置されている点が上記実施の形態1及び2と異なっ
ている。
【0045】本実施の形態における薄膜ELパネルの製
造方法について以下に説明する。
造方法について以下に説明する。
【0046】まず、実施の形態1と同様に、絶縁基板1
上にEL素子14を形成してEL素子基板15とする。
一方、透光性基板8上にカラーフィルタ9及びブラック
マスク18を形成してカラーフィルタ16とする。
上にEL素子14を形成してEL素子基板15とする。
一方、透光性基板8上にカラーフィルタ9及びブラック
マスク18を形成してカラーフィルタ16とする。
【0047】次に、前記EL素子基板15上の上部電極
6の隙間の一部または全部にスクリーン印刷等によって
エポキシ樹脂等からなる粘着剤17を形成した後、プラ
スチックビーズからなるスペーサ7を乾式散布装置によ
って前記EL素子基板15上に散布する。その後、前記
EL素子基板15を170℃で90分加熱する。更に、
画素上に散布されたスペーサ7を窒素ガス等を吹付ける
ことによって吹飛ばすことによって、前記スペーサ7を
EL素子基板15の上部電極6の隙間に固定配置させ
た。本実施の形態においては、前記粘着剤17としてス
トラクトボンドXN−21−S(三井東圧化学社製)を
用い、前記スペーサ7としてミクロパールSP(積水フ
ァインケミカル社製)を用いた。
6の隙間の一部または全部にスクリーン印刷等によって
エポキシ樹脂等からなる粘着剤17を形成した後、プラ
スチックビーズからなるスペーサ7を乾式散布装置によ
って前記EL素子基板15上に散布する。その後、前記
EL素子基板15を170℃で90分加熱する。更に、
画素上に散布されたスペーサ7を窒素ガス等を吹付ける
ことによって吹飛ばすことによって、前記スペーサ7を
EL素子基板15の上部電極6の隙間に固定配置させ
た。本実施の形態においては、前記粘着剤17としてス
トラクトボンドXN−21−S(三井東圧化学社製)を
用い、前記スペーサ7としてミクロパールSP(積水フ
ァインケミカル社製)を用いた。
【0048】その後、実施の形態1と同様に前記EL素
子基板15とカラーフィルタ基板16とをシール樹脂1
0を介して貼合わせ、カラーフィルタ基板16に設けら
れた注入口12から絶縁性液体11を注入し、封止板1
3により前記注入口12を封止することによって薄膜E
Lパネルが完成する。
子基板15とカラーフィルタ基板16とをシール樹脂1
0を介して貼合わせ、カラーフィルタ基板16に設けら
れた注入口12から絶縁性液体11を注入し、封止板1
3により前記注入口12を封止することによって薄膜E
Lパネルが完成する。
【0049】なお、前記カラーフィルタ基板16に形成
されているストライプ状のカラーフィルタ9を重ね合わ
せずに形成しておき、前記粘着剤17を、前記カラーフ
ィルタ9の隙間に形成し、前記スペーサ7をカラーフィ
ルタ基板16上に散布するようにしてもよい。
されているストライプ状のカラーフィルタ9を重ね合わ
せずに形成しておき、前記粘着剤17を、前記カラーフ
ィルタ9の隙間に形成し、前記スペーサ7をカラーフィ
ルタ基板16上に散布するようにしてもよい。
【0050】本実施の形態における薄膜ELパネルは、
スペーサ7を上部電極6の隙間に固定配置させているの
で、長時間使用した場合でも画素上で微小破壊が生じる
ことがなくなり、信頼性が向上する。
スペーサ7を上部電極6の隙間に固定配置させているの
で、長時間使用した場合でも画素上で微小破壊が生じる
ことがなくなり、信頼性が向上する。
【0051】なお、前記スペーサ7を上部電極6の隙間
に固定配置させる方法としては、EL素子基板15の上
部電極6の隙間、またはカラーフィルタ基板16のカラ
ーフィルタ9の隙間に粘着剤を形成する以外にも、例え
ばEL素子基板15の上部電極6とスペーサ7とに同極
性の電荷を与えておき、前記スペーサ7を前記EL素子
基板15上に散布するようにしてもよい。このような散
布装置としては、例えばハイテックスインターナショナ
ル社製のSD−10がある。この場合は、EL素子基板
15の上部電極6の隙間に散布されたスペーサ7を固定
させる必要があるため、前記スペーサ7は表面に粘着性
を有するものを用いる必要がある。例えばスペーサ7と
して表面に熱可塑性の樹脂が形成されたプラスチックビ
ーズを用い、EL素子基板15上に散布した後、該基板
を加熱し、自然冷却すれば良い。このように、表面に粘
着性を有するスペーサを用いた場合であっても、該スペ
ーサをEL素子基板15上の画素外のみに散布させるこ
とが可能であれば、EL素子基板15上に散布しても構
わない。
に固定配置させる方法としては、EL素子基板15の上
部電極6の隙間、またはカラーフィルタ基板16のカラ
ーフィルタ9の隙間に粘着剤を形成する以外にも、例え
ばEL素子基板15の上部電極6とスペーサ7とに同極
性の電荷を与えておき、前記スペーサ7を前記EL素子
基板15上に散布するようにしてもよい。このような散
布装置としては、例えばハイテックスインターナショナ
ル社製のSD−10がある。この場合は、EL素子基板
15の上部電極6の隙間に散布されたスペーサ7を固定
させる必要があるため、前記スペーサ7は表面に粘着性
を有するものを用いる必要がある。例えばスペーサ7と
して表面に熱可塑性の樹脂が形成されたプラスチックビ
ーズを用い、EL素子基板15上に散布した後、該基板
を加熱し、自然冷却すれば良い。このように、表面に粘
着性を有するスペーサを用いた場合であっても、該スペ
ーサをEL素子基板15上の画素外のみに散布させるこ
とが可能であれば、EL素子基板15上に散布しても構
わない。
【0052】このように、EL素子基板15の上部電極
6とスペーサ7とに同極性の電荷を与えて散布する場
合、工程を増加する事なくスペーサ7を上部電極6の隙
間に散布することが可能となる。
6とスペーサ7とに同極性の電荷を与えて散布する場
合、工程を増加する事なくスペーサ7を上部電極6の隙
間に散布することが可能となる。
【0053】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の薄膜EL
パネルは、EL素子と前記カラーフィルタ基板との間隙
に、粒径が15μm以上のスペーサを介在させることに
よって、製造段階及び製品段階におけるEL素子とカラ
ーフィルタとの間隙が確保され、両者が接触しなくな
る。したがって、傷や絶縁破壊による画素欠けや電極の
断線破壊よる線状欠陥等の発生を防止することができる
という効果を奏する。また、前記スペーサの粒径を12
0μm以下とすることによって、色ずれを生じることが
無く、視野角を140°以上確保することができ、視角
特性の良好な薄膜ELパネルとすることができるという
効果を奏する。
パネルは、EL素子と前記カラーフィルタ基板との間隙
に、粒径が15μm以上のスペーサを介在させることに
よって、製造段階及び製品段階におけるEL素子とカラ
ーフィルタとの間隙が確保され、両者が接触しなくな
る。したがって、傷や絶縁破壊による画素欠けや電極の
断線破壊よる線状欠陥等の発生を防止することができる
という効果を奏する。また、前記スペーサの粒径を12
0μm以下とすることによって、色ずれを生じることが
無く、視野角を140°以上確保することができ、視角
特性の良好な薄膜ELパネルとすることができるという
効果を奏する。
【0054】また、前記スペーサの散布密度を0.01
個/mm2 以上とすることによって、カラーフィルタ基
板の部分的なたわみによるEL素子とカラーフィルタと
の接触を防ぐことができるという効果を奏する。また、
前記スペーサの散布密度を10個/mm2 以下とするこ
とによって、その部分での上部電極の断線破壊を防ぐこ
とができるという効果を奏する。
個/mm2 以上とすることによって、カラーフィルタ基
板の部分的なたわみによるEL素子とカラーフィルタと
の接触を防ぐことができるという効果を奏する。また、
前記スペーサの散布密度を10個/mm2 以下とするこ
とによって、その部分での上部電極の断線破壊を防ぐこ
とができるという効果を奏する。
【0055】また、前記スペーサとして、熱分解温度が
前記シール樹脂の硬化温度より高いものを用いることに
よって、前記スペーサの成分が絶縁性液体の中に溶出す
ることを防ぐことができ、EL素子の信頼性を向上させ
ることができるという効果を奏する。
前記シール樹脂の硬化温度より高いものを用いることに
よって、前記スペーサの成分が絶縁性液体の中に溶出す
ることを防ぐことができ、EL素子の信頼性を向上させ
ることができるという効果を奏する。
【0056】また、前記スペーサを前記EL素子上で固
定配置させることによって、前記EL素子基板とカラー
フィルタ基板との間隙に絶縁性オイルを注入する際にス
ペーサが移動してしまい一部に偏在することを防ぐこと
ができるという効果を奏する。
定配置させることによって、前記EL素子基板とカラー
フィルタ基板との間隙に絶縁性オイルを注入する際にス
ペーサが移動してしまい一部に偏在することを防ぐこと
ができるという効果を奏する。
【0057】また、前記スペーサを前記EL素子の上部
電極の隙間に固定配置させることによって、前記EL素
子が画素上で微小破壊を生することを防ぐことができる
という効果を奏する。
電極の隙間に固定配置させることによって、前記EL素
子が画素上で微小破壊を生することを防ぐことができる
という効果を奏する。
【0058】本発明の薄膜ELパネルの製造方法では、
前記EL素子基板の上部電極の隙間、またはカラーフィ
ルタ基板のカラーフィルタの隙間に粘着剤を設けた後に
スペーサを散布することによって、容易に前記スペーサ
をEL素子の上部電極の隙間に固定配置させることがで
きるという効果を奏する。また、前記EL素子基板の上
部電極とスペーサとに同極性の電荷を与えた後に、該E
L素子基板上にスペーサを散布することによって、工程
を増加する事なく容易に前記スペーサをEL素子の上部
電極の隙間に固定配置させることができるという効果を
奏する。
前記EL素子基板の上部電極の隙間、またはカラーフィ
ルタ基板のカラーフィルタの隙間に粘着剤を設けた後に
スペーサを散布することによって、容易に前記スペーサ
をEL素子の上部電極の隙間に固定配置させることがで
きるという効果を奏する。また、前記EL素子基板の上
部電極とスペーサとに同極性の電荷を与えた後に、該E
L素子基板上にスペーサを散布することによって、工程
を増加する事なく容易に前記スペーサをEL素子の上部
電極の隙間に固定配置させることができるという効果を
奏する。
【図1】本発明の薄膜ELパネルを示す断面図である。
【図2】スペーサの粒径と電極断線本数との関係を示す
図である。
図である。
【図3】スペーサの粒径と視野角との関係を示す図であ
る。
る。
【図4】スペーサの散布密度と電極断線本数との関係を
示す図である。
示す図である。
【図5】本発明の別の薄膜ELパネルを示す断面図であ
る。
る。
1 絶縁基板 2 下部電極 3 下部絶縁膜 4 EL発光層 5 上部電極 6 上部絶縁膜 7 スペーサ 8 透光性基板 9 カラーフィルタ 10 シール樹脂 11 絶縁性液体 12 注入口 13 シール板 14 EL素子 15 EL素子基板 16 カラーフィルタ基板 17 粘着剤 18 ブラックマスク
Claims (7)
- 【請求項1】 複数の画素を有する薄膜EL素子が形成
されたEL素子基板と、カラーフィルタが形成されたカ
ラーフィルタ基板とを対向配置させ、これらをシール樹
脂を介して貼合わせて構成される薄膜ELパネルにおい
て、 前記EL素子と前記カラーフィルタ基板との間隙に、粒
径が15〜120μmのスペーサが介在されていること
を特徴とする薄膜ELパネル。 - 【請求項2】 前記スペーサの散布密度が0.01〜1
0個/mm2 であることを特徴とする請求項1記載の薄
膜ELパネル。 - 【請求項3】 前記スペーサの熱分解温度が、前記シー
ル樹脂の硬化温度より高いことを特徴とする請求項1記
載の薄膜ELパネル。 - 【請求項4】 前記スペーサが前記EL素子上に固定配
置されていることを特徴とする請求項1乃至3記載の薄
膜ELパネル。 - 【請求項5】 前記スペーサが前記EL素子の上部電極
の隙間に固定配置されていることを特徴とする請求項4
記載の薄膜ELパネル。 - 【請求項6】 基板上に下部電極、下部絶縁膜、EL発
光層、上部絶縁膜、上部電極を順次積層しEL素子を形
成する工程と、 前記EL素子上の上部電極の隙間に粘着剤を形成する工
程と、 前記EL素子上にスペーサを散布する工程と、 前記EL素子の画素上に散布されたスペーサを除去する
工程と、を有することを特徴とする薄膜ELパネルの製
造方法。 - 【請求項7】 基板上に下部電極、下部絶縁膜、EL発
光層、上部絶縁膜、上部電極を順次積層しEL素子を形
成する工程と、 前記EL素子の上部電極に一定の電荷を供給する工程
と、 前記EL素子上に散布するスペーサに、前記EL素子の
上部電極に与えた電荷と同極性の電荷を与える工程と、 前記スペーサを前記EL素子上に散布する工程と、を有
することを特徴とする薄膜ELパネルの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8315771A JPH10162952A (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 薄膜elパネル及びその製造方法 |
| US08/966,031 US6111355A (en) | 1996-11-27 | 1997-11-07 | Thin film EL panels and a method for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8315771A JPH10162952A (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 薄膜elパネル及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10162952A true JPH10162952A (ja) | 1998-06-19 |
Family
ID=18069358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8315771A Pending JPH10162952A (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 薄膜elパネル及びその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6111355A (ja) |
| JP (1) | JPH10162952A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001196164A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-07-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 自発光装置 |
| JP2004235058A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機el素子用封止缶及び有機el素子 |
| KR100796618B1 (ko) | 2007-01-04 | 2008-01-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기전계발광표시장치 및 그의 제조방법 |
| KR100812026B1 (ko) | 2006-07-19 | 2008-03-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
| US7518146B2 (en) | 1999-09-17 | 2009-04-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | EL display device including color filter and light shielding film |
| JP2009265492A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 無機el表示装置用カラーフィルタおよびその製造方法 |
| JP2011222529A (ja) * | 1999-10-29 | 2011-11-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 自発光装置 |
| US8957584B2 (en) | 1999-10-29 | 2015-02-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Self light-emitting device |
| CN107251648A (zh) * | 2015-02-24 | 2017-10-13 | 索尼公司 | 显示装置、用于制造显示装置的方法和电子设备 |
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