JPH10165764A - 三弗化窒素ガスの除害剤及び除害方法 - Google Patents
三弗化窒素ガスの除害剤及び除害方法Info
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- JPH10165764A JPH10165764A JP8329982A JP32998296A JPH10165764A JP H10165764 A JPH10165764 A JP H10165764A JP 8329982 A JP8329982 A JP 8329982A JP 32998296 A JP32998296 A JP 32998296A JP H10165764 A JPH10165764 A JP H10165764A
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Landscapes
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- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＮＦ３を安全、かつ効率的に処理す
る。 【解決手段】 Ｓｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくと
も一種以上の金属１重量部に対し、金属フッ化物或いは
金属酸化物を０．３〜１００重量部混合せしめる除害剤
と、通気ガスの上流側にＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少
なくとも一種以上の金属、下流側に金属フッ化物或いは
金属酸化物をカラムに充填し、１５０〜５００℃で加熱
し、三弗化窒素ガスの有するガスを通気すること、また
はＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくとも一種以上の金
属１重量部に対し、金属フッ化物或いは金属酸化物を
０．３〜１００重量部混合し、該混合物をカラムに充填
し、１５０〜５００℃で加熱する除害方法。
る。 【解決手段】 Ｓｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくと
も一種以上の金属１重量部に対し、金属フッ化物或いは
金属酸化物を０．３〜１００重量部混合せしめる除害剤
と、通気ガスの上流側にＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少
なくとも一種以上の金属、下流側に金属フッ化物或いは
金属酸化物をカラムに充填し、１５０〜５００℃で加熱
し、三弗化窒素ガスの有するガスを通気すること、また
はＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくとも一種以上の金
属１重量部に対し、金属フッ化物或いは金属酸化物を
０．３〜１００重量部混合し、該混合物をカラムに充填
し、１５０〜５００℃で加熱する除害方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、三弗化窒素ガスの
除害剤及び除害方法に関する。
除害剤及び除害方法に関する。
【０００２】
【従来技術】三弗化窒素ガス（以下、ＮＦ３と称す）
は、近年、半導体製造に於いてクリーニングガスとし
て、多量に使用されている。しかし、毒性があることか
ら、排ガス中に残存するＮＦ３を除去する必要がある。
は、近年、半導体製造に於いてクリーニングガスとし
て、多量に使用されている。しかし、毒性があることか
ら、排ガス中に残存するＮＦ３を除去する必要がある。
【０００３】上記問題を解決する方法に、高温下で活性
炭を充填したカラムにＮＦ３を含む排ガスを通気する方
法が知られている。しかしながら、この方法では、地球
温暖下の原因の一つとも言われるＣＦ４を放出する結果
となる。
炭を充填したカラムにＮＦ３を含む排ガスを通気する方
法が知られている。しかしながら、この方法では、地球
温暖下の原因の一つとも言われるＣＦ４を放出する結果
となる。
【０００４】また、高温下で金属を充填したカラムにＮ
Ｆ３を通気する方法も知られているが、これによって生
成されるガス状のフッ化物を洗浄塔等で処理する必要が
あり、装置が大型化する欠点がある。更に、金属酸化物
を利用する方法も知られているが、これも約５００℃の
高温下で行うことに加え、ＮＯｘを生成するという問題
がある。
Ｆ３を通気する方法も知られているが、これによって生
成されるガス状のフッ化物を洗浄塔等で処理する必要が
あり、装置が大型化する欠点がある。更に、金属酸化物
を利用する方法も知られているが、これも約５００℃の
高温下で行うことに加え、ＮＯｘを生成するという問題
がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】現在、地球環境に悪影
響をもたらすフロンやＣＯ２などに対して規制が行われ
ていることは周知であり、ＮＦ３も自然界ではなかなか
分解しない物質である。従って本発明は、ＮＦ３を安
全、かつ効率的に処理することを目的としたものであ
る。
響をもたらすフロンやＣＯ２などに対して規制が行われ
ていることは周知であり、ＮＦ３も自然界ではなかなか
分解しない物質である。従って本発明は、ＮＦ３を安
全、かつ効率的に処理することを目的としたものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、従来技術
の欠点を改良し工業的実施の可能な方法について鋭意検
討した結果、特定する金属を特定する条件で用いること
により、ＮＦ３の除害方法を見いだし、本発明を達成す
ることに至った。
の欠点を改良し工業的実施の可能な方法について鋭意検
討した結果、特定する金属を特定する条件で用いること
により、ＮＦ３の除害方法を見いだし、本発明を達成す
ることに至った。
【０００７】即ち、本発明はＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのう
ち少なくとも一種以上の金属１重量部に対し、金属フッ
化物或いは金属酸化物を０．３〜１００重量部混合せし
めることを特徴とする三弗化窒素ガスの除害剤と、通気
ガスの上流側にＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくとも
一種以上の金属、下流側に金属フッ化物或いは金属酸化
物をカラムに充填し、１５０〜５００℃で加熱し、三弗
化窒素ガスの有するガスを通気すること、またはＳｉ、
Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくとも一種以上の金属１重量
部に対し、金属フッ化物或いは金属酸化物を０．３〜１
００重量部混合し、該混合物をカラムに充填し、１５０
〜５００℃で加熱することを特徴とする三弗化窒素ガス
の除害方法に関する。
ち少なくとも一種以上の金属１重量部に対し、金属フッ
化物或いは金属酸化物を０．３〜１００重量部混合せし
めることを特徴とする三弗化窒素ガスの除害剤と、通気
ガスの上流側にＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくとも
一種以上の金属、下流側に金属フッ化物或いは金属酸化
物をカラムに充填し、１５０〜５００℃で加熱し、三弗
化窒素ガスの有するガスを通気すること、またはＳｉ、
Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくとも一種以上の金属１重量
部に対し、金属フッ化物或いは金属酸化物を０．３〜１
００重量部混合し、該混合物をカラムに充填し、１５０
〜５００℃で加熱することを特徴とする三弗化窒素ガス
の除害方法に関する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を更に詳細に説明す
る。本発明で使用する金属は、比較的安価で、取り扱い
が容易で、かつＮＦ３との反応によりガス状のフッ化物
を生成しうる金属であって、更にこの生成するガス状の
フッ化物が金属フッ化物或いは金属酸化物に反応、吸着
しうることが必要不可欠である。従って上記の条件を満
たす金属としてＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏが挙げられ、これ
らのうち少なくとも一種以上の金属が使用される。中で
もＳｉは、安価であり、９８重量％以上の純度であれば
十分使用できるので最も好ましい。
る。本発明で使用する金属は、比較的安価で、取り扱い
が容易で、かつＮＦ３との反応によりガス状のフッ化物
を生成しうる金属であって、更にこの生成するガス状の
フッ化物が金属フッ化物或いは金属酸化物に反応、吸着
しうることが必要不可欠である。従って上記の条件を満
たす金属としてＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏが挙げられ、これ
らのうち少なくとも一種以上の金属が使用される。中で
もＳｉは、安価であり、９８重量％以上の純度であれば
十分使用できるので最も好ましい。
【０００９】これらの金属は、ＮＦ３と１５０℃以上の
温度で反応し、ガス状のフッ化物を生成する。このガス
状のフッ化物は、同一カラム内の金属フッ化物或いは金
属酸化物と反応または吸着する。よってＮＦ３はもとよ
り、ガス状のフッ化物をも除去するので効率的に処理が
できる。
温度で反応し、ガス状のフッ化物を生成する。このガス
状のフッ化物は、同一カラム内の金属フッ化物或いは金
属酸化物と反応または吸着する。よってＮＦ３はもとよ
り、ガス状のフッ化物をも除去するので効率的に処理が
できる。
【００１０】従って、これらの金属と金属フッ化物或い
は金属酸化物をそれぞれ充填する場合において、通気す
るガスに対して、金属をカラム充填層の上流側に、また
金属フッ化物或いは金属酸化物を下流側に充填する必要
がある。また、この場合ガスの通気抵抗が大きくならな
いように金属は、粉状のものより魂状のものを使用する
ことが好ましく、金属フッ化物或いは金属酸化物も成型
し用いることが好ましい。更に好ましくは、粉状の金属
と、金属フッ化物或いは金属酸化物の混合物を、造粒ま
たは圧縮によって成型せしめた除害剤を用いる方法であ
る。
は金属酸化物をそれぞれ充填する場合において、通気す
るガスに対して、金属をカラム充填層の上流側に、また
金属フッ化物或いは金属酸化物を下流側に充填する必要
がある。また、この場合ガスの通気抵抗が大きくならな
いように金属は、粉状のものより魂状のものを使用する
ことが好ましく、金属フッ化物或いは金属酸化物も成型
し用いることが好ましい。更に好ましくは、粉状の金属
と、金属フッ化物或いは金属酸化物の混合物を、造粒ま
たは圧縮によって成型せしめた除害剤を用いる方法であ
る。
【００１１】成型時にバインダーを用いること、または
種類については、本発明では何ら特定するものではない
が、一般的に使用されるメチルセルロース、メチルエチ
ルセルロース、ポリビニルアルコール等が使用される。
粉状の金属と、金属フッ化物或いは金属酸化物の混合物
を、造粒または圧縮によって成型せしめた除害剤を用い
ることにより、充填作業が簡単で、かつ前述する方法、
即ち、金属と、金属フッ化物或いは金属酸化物を充填す
る方法において、誤って逆に充填してしまうというよう
なトラブルはなく、安全面からも適したものといえる。
種類については、本発明では何ら特定するものではない
が、一般的に使用されるメチルセルロース、メチルエチ
ルセルロース、ポリビニルアルコール等が使用される。
粉状の金属と、金属フッ化物或いは金属酸化物の混合物
を、造粒または圧縮によって成型せしめた除害剤を用い
ることにより、充填作業が簡単で、かつ前述する方法、
即ち、金属と、金属フッ化物或いは金属酸化物を充填す
る方法において、誤って逆に充填してしまうというよう
なトラブルはなく、安全面からも適したものといえる。
【００１２】本発明で使用する金属フッ化物には、数多
く使用できるが、中でもアルカリ属、及びアルカリ土類
属より選ばれる金属フッ化物が好ましい。これらは、金
属とＮＦ３の反応で生成する該ガス状のフッ化物を珪フ
ッ化物とし固定化するもので、これらを例示すると、Ｌ
ｉＦ、ＮａＦ、ＫＦ、ＢａＦ２、ＭｇＦ２等が挙げられ
る。
く使用できるが、中でもアルカリ属、及びアルカリ土類
属より選ばれる金属フッ化物が好ましい。これらは、金
属とＮＦ３の反応で生成する該ガス状のフッ化物を珪フ
ッ化物とし固定化するもので、これらを例示すると、Ｌ
ｉＦ、ＮａＦ、ＫＦ、ＢａＦ２、ＭｇＦ２等が挙げられ
る。
【００１３】また金属酸化物もほとんど使用できるもの
の、金属とＮＦ３ の反応で生成するガス状のフッ化物
とよく反応、吸着するものとして、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ、
Ｍｎ、Ｓｂ、Ｆｅの酸化物が好適に使用できる。また、
反応、吸着効率をよくするには比表面積は１０ｍ２／ｇ
以上のものが好ましい。比表面積が１０ｍ２／ｇ未満で
は、反応吸着効率が低くなり、したがって充填量を増す
必要性から充填カラムの容量が大きくなり好ましくな
い。また、反応により固体金属弗化物となり得る金属酸
化物にあっては、ＣａＯが最も反応性がよく好ましい。
の、金属とＮＦ３ の反応で生成するガス状のフッ化物
とよく反応、吸着するものとして、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ、
Ｍｎ、Ｓｂ、Ｆｅの酸化物が好適に使用できる。また、
反応、吸着効率をよくするには比表面積は１０ｍ２／ｇ
以上のものが好ましい。比表面積が１０ｍ２／ｇ未満で
は、反応吸着効率が低くなり、したがって充填量を増す
必要性から充填カラムの容量が大きくなり好ましくな
い。また、反応により固体金属弗化物となり得る金属酸
化物にあっては、ＣａＯが最も反応性がよく好ましい。
【００１４】金属と、金属フッ化物或いは金属酸化物の
混合割合は、金属１重量部に対し、金属フッ化物或いは
金属酸化物を０．３〜１００重量部であり、好ましくは
１〜５０重量部、更に好ましくは３〜２０重量部が好ま
しい。カラムには、高温で使用可能な汎用の材質で鉄、
銅、ステンレス、ニッケルといった金属製、あるいは、
ガラス、アルミナといった酸化物系で、一般的に円筒状
のものを使用する。また、サイズについては、除害量や
除害能力に応じたものを使用する。
混合割合は、金属１重量部に対し、金属フッ化物或いは
金属酸化物を０．３〜１００重量部であり、好ましくは
１〜５０重量部、更に好ましくは３〜２０重量部が好ま
しい。カラムには、高温で使用可能な汎用の材質で鉄、
銅、ステンレス、ニッケルといった金属製、あるいは、
ガラス、アルミナといった酸化物系で、一般的に円筒状
のものを使用する。また、サイズについては、除害量や
除害能力に応じたものを使用する。
【００１５】本発明では、カラムを外部より加熱し温度
を加える。カラム温度は１５０〜５００℃、好ましくは
２００〜４００℃、更に好ましくは２５０〜３５０℃で
ＮＦ ３ガスの有するガスを通気して除害する。また、５
００℃を超えると逆にガス状フッ化物が放出されるため
に好ましくない。
を加える。カラム温度は１５０〜５００℃、好ましくは
２００〜４００℃、更に好ましくは２５０〜３５０℃で
ＮＦ ３ガスの有するガスを通気して除害する。また、５
００℃を超えると逆にガス状フッ化物が放出されるため
に好ましくない。
【００１６】以上の如く、カラム内で一旦ＮＦ３と金属
が反応し、更にガス状のフッ化物は、金属フッ化物との
反応では珪フッ化物として固定させ、金属酸化物とは吸
着、反応することで、カラムの出口よりフッ素を含むガ
スを排出しないという除害効果を持たせることができる
のである。
が反応し、更にガス状のフッ化物は、金属フッ化物との
反応では珪フッ化物として固定させ、金属酸化物とは吸
着、反応することで、カラムの出口よりフッ素を含むガ
スを排出しないという除害効果を持たせることができる
のである。
【００１７】
【実施例】以下、実施例及び比較例により本発明を更に
詳細に説明する。なお、ガス濃度の％は容量％を表す。 実施例１〜１６ 長さ３００ｍｍ、内径１２ｍｍφのＳＵＳ製のカラム
と、カラムを加熱するためのヒーターを備えた装置を使
用した。このカラムの通気ガスの上流側に、Ｓｉ、Ｇ
ｅ、Ｗ、Ｍｏの金属粉または金属片を５ｇ充填し、下流
側には各金属フッ化物及び金属酸化物を充填した。この
充填したカラムを１５０〜５００℃に加熱し、Ｎ２ガス
で希釈されたＮＦ ３濃度１％のガスを５０ｃｃ／ｍｉｎ
の流量で通気した。通気開始から５分後、出口のガスを
ガスクロマトグラフィーで分析した結果、表１に示すよ
うに、ＮＦ３濃度は減少しており除害効果が認めらた。
また出口ガスを水に吸収し、該金属との反応によって得
られるガス状のフッ化物を分析した結果、これも減少し
ていることが明らかとなった。
詳細に説明する。なお、ガス濃度の％は容量％を表す。 実施例１〜１６ 長さ３００ｍｍ、内径１２ｍｍφのＳＵＳ製のカラム
と、カラムを加熱するためのヒーターを備えた装置を使
用した。このカラムの通気ガスの上流側に、Ｓｉ、Ｇ
ｅ、Ｗ、Ｍｏの金属粉または金属片を５ｇ充填し、下流
側には各金属フッ化物及び金属酸化物を充填した。この
充填したカラムを１５０〜５００℃に加熱し、Ｎ２ガス
で希釈されたＮＦ ３濃度１％のガスを５０ｃｃ／ｍｉｎ
の流量で通気した。通気開始から５分後、出口のガスを
ガスクロマトグラフィーで分析した結果、表１に示すよ
うに、ＮＦ３濃度は減少しており除害効果が認めらた。
また出口ガスを水に吸収し、該金属との反応によって得
られるガス状のフッ化物を分析した結果、これも減少し
ていることが明らかとなった。
【００１８】実施例１７〜３０ Ｓｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち粒径１００μ以下の金属粉
と、各金属フッ化物及び金属酸化物を混合し、タブレッ
トマシーンで３ｍｍφ×３ｍｍの円柱状の成型品を得
た。これを長さ３００ｍｍ、内径１２ｍｍφのＳＵＳ製
のカラムに充填し、カラム温度を１５０〜５００℃の温
度条件下でＮ２ガスで希釈されたＮＦ３濃度１％のガス
を５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で通気した。通気開始から５
分後、出口のガスをガスクロマトグラフィーで分析した
結果、表２に示すように、ＮＦ３濃度は減少しており除
害効果が認めらた。また出口ガスを水に吸収し、該金属
との反応によって得られるガス状のフッ化物を分析した
結果、これも減少していることが明らかとなった。
と、各金属フッ化物及び金属酸化物を混合し、タブレッ
トマシーンで３ｍｍφ×３ｍｍの円柱状の成型品を得
た。これを長さ３００ｍｍ、内径１２ｍｍφのＳＵＳ製
のカラムに充填し、カラム温度を１５０〜５００℃の温
度条件下でＮ２ガスで希釈されたＮＦ３濃度１％のガス
を５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で通気した。通気開始から５
分後、出口のガスをガスクロマトグラフィーで分析した
結果、表２に示すように、ＮＦ３濃度は減少しており除
害効果が認めらた。また出口ガスを水に吸収し、該金属
との反応によって得られるガス状のフッ化物を分析した
結果、これも減少していることが明らかとなった。
【００１９】実施例３１〜３２ ６０ｍｅｓｈのＳｉ金属粉に、ＫＦ、ＭｎＯをそれぞれ
加え混合し、これに少量の水と極少量のバインダー（メ
チルセルロース）を加えペースト状にし、１００℃で乾
燥した。これを砕いて８〜１２メッシュの造粒品を得
た。これを長さ３００ｍｍ、内径１２ｍｍφのＳＵＳ製
のカラムに充填し、カラム温度を３００℃の温度条件下
でＮ２ガスで希釈されたＮＦ３濃度１％のガスを５０ｃ
ｃ／ｍｉｎの流量で通気した。通気開始から５分後、出
口のガスをガスクロマトグラフィーで分析した結果、表
２に示すように、ＮＦ３濃度は減少しており除害効果が
認めらた。また出口ガスを水に吸収し、該金属との反応
によって得られるガス状のフッ化物を分析した結果、こ
れも減少していることが明らかとなった。
加え混合し、これに少量の水と極少量のバインダー（メ
チルセルロース）を加えペースト状にし、１００℃で乾
燥した。これを砕いて８〜１２メッシュの造粒品を得
た。これを長さ３００ｍｍ、内径１２ｍｍφのＳＵＳ製
のカラムに充填し、カラム温度を３００℃の温度条件下
でＮ２ガスで希釈されたＮＦ３濃度１％のガスを５０ｃ
ｃ／ｍｉｎの流量で通気した。通気開始から５分後、出
口のガスをガスクロマトグラフィーで分析した結果、表
２に示すように、ＮＦ３濃度は減少しており除害効果が
認めらた。また出口ガスを水に吸収し、該金属との反応
によって得られるガス状のフッ化物を分析した結果、こ
れも減少していることが明らかとなった。
【００２０】比較例１〜２ カラムの加熱温度を１００℃及び６００℃に変更した以
外は、実施例１９と同様に行った。通気開始から５分
後、出口のガスをガスクロマトグラフィーで分析した結
果、表３に示すように、１００℃ではＮＦ３濃度の減少
は認められなかった。また、６００℃では、該金属との
反応によって得られるガス状のフッ化物が増加している
ことが明らかとなった。
外は、実施例１９と同様に行った。通気開始から５分
後、出口のガスをガスクロマトグラフィーで分析した結
果、表３に示すように、１００℃ではＮＦ３濃度の減少
は認められなかった。また、６００℃では、該金属との
反応によって得られるガス状のフッ化物が増加している
ことが明らかとなった。
【００２１】比較例３〜６ ６０ｍｅｓｈの、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏの金属粉を長さ
３００ｍｍ、内径１２ｍｍφのＳＵＳ製のカラムに充填
し、カラム温度を３００℃の温度条件下でＮ２ガスで希
釈されたＮＦ３濃度１％のガスを５０ｃｃ／ｍｉｎの流
量で通気した。通気開始から５分後、出口のガスをガス
クロマトグラフィーで分析した結果、表３に示すよう
に、ＮＦ３濃度の減少は認めらたものの、金属との反応
によって生成する該ガス状のフッ化物が多量に発生する
結果となった。
３００ｍｍ、内径１２ｍｍφのＳＵＳ製のカラムに充填
し、カラム温度を３００℃の温度条件下でＮ２ガスで希
釈されたＮＦ３濃度１％のガスを５０ｃｃ／ｍｉｎの流
量で通気した。通気開始から５分後、出口のガスをガス
クロマトグラフィーで分析した結果、表３に示すよう
に、ＮＦ３濃度の減少は認めらたものの、金属との反応
によって生成する該ガス状のフッ化物が多量に発生する
結果となった。
【００２２】比較例７〜８ １００ｍｅｓｈ以上のＬｉＦ、ＢａＦをタブレット（３
ｍｍφ×３ｍｍの円柱状）を長さ３００ｍｍ、内径１２
ｍｍφのＳＵＳ製のカラムに充填し、カラム温度を３０
０℃の温度条件下でＮ２ガスで希釈されたＮＦ３濃度１
％のガスを５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で通気した。通気開
始から５分後、出口のガスをガスクロマトグラフィーで
分析した結果、表３に示すように、ＮＦ３濃度の減少は
認められない。
ｍｍφ×３ｍｍの円柱状）を長さ３００ｍｍ、内径１２
ｍｍφのＳＵＳ製のカラムに充填し、カラム温度を３０
０℃の温度条件下でＮ２ガスで希釈されたＮＦ３濃度１
％のガスを５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で通気した。通気開
始から５分後、出口のガスをガスクロマトグラフィーで
分析した結果、表３に示すように、ＮＦ３濃度の減少は
認められない。
【００２３】比較例９〜１０ １００ｍｅｓｈ以上のＣａＯ、ＭｎＯをタブレット（３
ｍｍφ×３ｍｍの円柱状）を長さ３００ｍｍ、内径１２
ｍｍφのＳＵＳ製のカラムに充填し、カラム温度を４５
０℃の温度条件下でＮ２ガスで希釈されたＮＦ３濃度１
％のガスを５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で通気した。通気開
始から５分後、出口のガスをガスクロマトグラフィーで
分析した結果、表３に示すように、ＮＦ３濃度の減少は
わずかながら認められたものの、ＮＯｘが発生した。
ｍｍφ×３ｍｍの円柱状）を長さ３００ｍｍ、内径１２
ｍｍφのＳＵＳ製のカラムに充填し、カラム温度を４５
０℃の温度条件下でＮ２ガスで希釈されたＮＦ３濃度１
％のガスを５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で通気した。通気開
始から５分後、出口のガスをガスクロマトグラフィーで
分析した結果、表３に示すように、ＮＦ３濃度の減少は
わずかながら認められたものの、ＮＯｘが発生した。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【表２】
【００２６】
【表３】
【００２７】
【発明の効果】本発明はＮＦ３を、特定する金属と金属
フッ化物或いは金属酸化物とを併用し使用する除害方
法、また特定する金属を、金属フッ化物或いは金属酸化
物と混合し使用する除害方法及び除害剤を提供すること
により、ＮＦ３の除害を効率よく行うことが可能となっ
た。更には除害装置の小型化が可能であることからコス
ト面で大きな効果がある。また、本発明の方法はＣＦ４
や窒素酸化物を発生しないので地球環境上、有意義であ
る。
フッ化物或いは金属酸化物とを併用し使用する除害方
法、また特定する金属を、金属フッ化物或いは金属酸化
物と混合し使用する除害方法及び除害剤を提供すること
により、ＮＦ３の除害を効率よく行うことが可能となっ
た。更には除害装置の小型化が可能であることからコス
ト面で大きな効果がある。また、本発明の方法はＣＦ４
や窒素酸化物を発生しないので地球環境上、有意義であ
る。
Claims (7)
- 【請求項１】 Ｓｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくと
も一種以上の金属１重量部に対し、金属フッ化物或いは
金属酸化物を０．３〜１００重量部混合せしめることを
特徴とする三弗化窒素ガスの除害剤。 - 【請求項２】 金属と、金属フッ化物或いは金属酸化
物との混合物を、造粒または圧縮によって成型せしめる
請求項１記載の三弗化窒素ガスの除害剤。 - 【請求項３】 金属フッ化物が、アルカリ金属或いは
アルカリ土類金属の群より選ばれる請求項１または２記
載の三弗化窒素ガスの除害剤。 - 【請求項４】 金属酸化物が、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ、Ｍ
ｎ、Ｓｂ、Ｆｅより成る請求項１または２記載の三弗化
窒素ガスの除害剤。 - 【請求項５】 金属酸化物の比表面積が、１０ｍ２／
ｇ以上である請求項１〜４項いずれか１項に記載の三弗
化窒素ガスの除害剤。 - 【請求項６】 通気ガスの上流側にＳｉ、Ｇｅ、Ｗ、
Ｍｏのうち少なくとも一種以上の金属、下流側に金属フ
ッ化物或いは金属酸化物をカラムに充填し、１５０〜５
００℃で加熱し、三弗化窒素ガスの有するガスを通気す
ることを特徴とする三弗化窒素ガスの除害方法。 - 【請求項７】 Ｓｉ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏのうち少なくと
も一種以上の金属１重量部に対し、金属フッ化物或いは
金属酸化物を０．３〜１００重量部混合し、該混合物を
カラムに充填し、１５０〜５００℃で加熱することを特
徴とする三弗化窒素ガスの除害方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32998296A JP3330500B2 (ja) | 1996-12-10 | 1996-12-10 | 三弗化窒素ガスの除害剤及び除害方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32998296A JP3330500B2 (ja) | 1996-12-10 | 1996-12-10 | 三弗化窒素ガスの除害剤及び除害方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10165764A true JPH10165764A (ja) | 1998-06-23 |
| JP3330500B2 JP3330500B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=18227454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32998296A Expired - Lifetime JP3330500B2 (ja) | 1996-12-10 | 1996-12-10 | 三弗化窒素ガスの除害剤及び除害方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3330500B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1043058A1 (en) * | 1999-04-09 | 2000-10-11 | Central Glass Company, Limited | NF3 treating process |
-
1996
- 1996-12-10 JP JP32998296A patent/JP3330500B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1043058A1 (en) * | 1999-04-09 | 2000-10-11 | Central Glass Company, Limited | NF3 treating process |
| US6342194B1 (en) | 1999-04-09 | 2002-01-29 | Central Glass Company, Limited | NF3 treating process |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3330500B2 (ja) | 2002-09-30 |
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