JPH10169793A - エアロックバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エアの流通口を確実に気密に閉塞可能なエア
ロックバルブの提供。 【構成】 エア流通口１３に隣接して係止部４６が設け
られた仕切り壁１２に沿って前後に移動するバルブ支持
部材２７と、この先端部に前後にスライド可能に支持さ
れたスライド部材４０と、これを常時は前方に付勢する
弾性部材３６と、前記スライド部材４０に回動可能に支
持された板バネ４１と、この基端部４２，４２に移動可
能に連結された開閉弁４３と、これを前記エア流通口１
３から離れる方向に付勢し且つ常時は離れた位置に保持
する引張バネ５４と、バルブ支持部材２７が前進したと
きにスライド部材４０の前進を停止させる被係止部材３
１b，３１bと、スライド部材４０が停止した状態で前記
バルブ支持部材２７が前進したときに板バネ４１を介し
て開閉弁４３をエア流通口１３に当接させてエア流通口
１３を閉塞する板バネ押圧部材４５とから構成されるエ
アロックバルブ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料に対する精密
作業を行う装置（電子顕微鏡装置、電子、Ｘ線等を用い
た分析装置、等）において、装置内の各空間を連通させ
たり、あるいは気密に遮断したりする際に用いられるエ
アロックバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】前記エアロックバルブとして、従来、下
記（Ｊ01）の技術が知られている。（Ｊ01）図８〜９に
示す技術。

【０００３】図８は、従来のエアロックバルブの説明図
で、図８Ａはエアロックバルブが開放状態にある図で、
図８Ｂはエアロックバルブが閉塞状態にある図である。
図９は、前記図８ＢのIＸ−IＸ線断面図である。なお以
後の説明の理解を容易にするために、図面において互い
に直交する座標軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義し、矢印Ｘ方
向を前方、矢印Ｙ方向を左方、 矢印Ｚ方向を上方とす
る。この場合、Ｘ方向と逆向き（−Ｘ方向）は後方、Ｙ
方向と逆向き（−Ｙ方向）は右方、Ｚ方向と逆向き（−
Ｚ方向）は下方となる。また、Ｘ方向及び−Ｘ方向を含
めて前後方向又はＸ軸方向といい、Ｙ方向及び−Ｙ方向
を含めて左右方向又はＹ軸方向といい、Ｚ方向及び−Ｚ
方向を含めて上下方向又はＺ軸方向ということにする。
さらに図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙
面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に
「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印
を意味するものとする。

【０００４】図８において、エアロックバルブ０１のシ
ャフト０２は、試料に対する精密作業を行う装置の壁部
材を構成する仕切り壁０３に固定されたフランジ０４に
より、前記仕切り壁０３に設けられたエア流通口０６に
対して前後方向（Ｘ軸方向）にスライド可能に支持され
ている。前記シャフト０２内端部（先端部）には、バル
ブ支持部材０７が支持されている。バルブ支持部材０７
は、開閉弁０８を支持する開閉弁支持面０９および開閉
弁０８を前方（Ｘ方向）に押圧する開閉弁押圧面０１１
を有している。また、バルブ支持部材０７は、開閉弁押
圧面０１１の前方に凸部支持面０９aを有している。図
８，９において、開閉弁０８下面の左右両端部（Ｙ軸方
向端部）には、凸部０１２，０１２が形成されている。
これらの凸部０１２，０１２は図８に示すように、前側
（Ｘ方向側）が垂直で後側（−Ｘ方向側）が傾斜した断
面台形の形状で構成されている。また、前記バルブ支持
部材０７の開閉弁支持面０９には前記凸部０１２，０１
２が嵌合する凹部０１３，０１３が形成されている。開
閉弁０８上面にはＯリング孔０１４が形成され、Ｏリン
グ孔０１４にはＯリング０１６が配置されている。ま
た、前記仕切り壁０３には、エア流通口０６に隣接して
係止部材０１７（図８参照）が設けられている。

【０００５】次に、エアロックバルブ０１の開閉動作に
ついて説明する。図８Ａにおいて、前記シャフト０２を
前方（Ｘ方向）に移動させる。このとき、シャフト０２
の移動に伴いバルブ支持部材０７も前方に移動する。バ
ルブ支持部材０７が前方に移動すると、開閉弁０８先端
が前記係止部材０１７に当接する。このとき、開閉弁０
８は係止部材０１７により前方への移動を停止され、バ
ルブ支持部材０７だけが前方へ移動しようとする。この
際、図８Ｂに示すように開閉弁０８は、凸部０１２，０
１２が凹部０１３，０１３の傾斜面に沿って上方へ移動
し凸部支持面９aに乗り上げる。乗り上げた開閉弁０８
は、その上面が仕切り壁０３下面に圧接されエア流通口
０６を閉塞し、エア流通口０６は閉塞状態になる。前記
開閉弁０８が閉塞位置にバルブ支持部材０７を後退させ
ると、前記凸部０１２，０１２が凹部０１３，０１３に
嵌合し開閉弁０８が下方に移動して開放状態になる（図
８Ａ参照）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前記（Ｊ01）の技術に
おいて、エア流通口０６に圧接させ、確実に気密に閉塞
するには、図８Ｂに示す状態において下記（ａ）、
（ｂ）の要件が必要である。 （ａ）開閉弁０８の上面と仕切り壁０３下面とが平行を
保つように開閉弁０８の位置決めを正確に行うこと。 （ｂ）開閉弁０８上面により仕切り壁０３下面に対し所
定の圧力を加えるには開閉弁０８の上面と前記凸部０１
２，０１２の下面との厚さおよび仕切り壁０３下面と凸
部支持面９aとの距離を適切な値に保持すること。 しかし、これらを実現することは困難な場合が多い。そ
の原因は次のとおりである。（ａ）の場合、開閉弁０８
の凸部０１２，０１２下面およびバルブ支持部材０７の
凸部支持面０９aが製作上の誤差により傾斜していた
り、前記バルブ支持部材０７を支持するシャフト０２が
必ずしも前記仕切り壁０３下面と平行になるように保持
されていないため。（ｂ）の場合、前記仕切り壁０３の
下面と前記凸部０１２，０１２下面との厚さおよび前記
仕切り壁０３の下面と前記凸部支持面０９aとの距離が
製作上の誤差により適切な値に保持されるとは限らな
い。また、前述のように前記シャフト０２が前記仕切り
壁０３下面と平行に保持されなければ凸部０１２，０１
２下面および凸部支持面０９aが傾斜して、前記仕切り
壁０３の下面と前記凸部０１２，０１２下面との厚さお
よび前記仕切り壁０３の下面と前記凸部支持面０９aと
の距離が位置によっては異なるため。

【０００７】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。（Ｏ01）エアの流通口を確実に気密
に閉塞することが可能なエアロックバルブを提供するこ
と。

【０００８】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【０００９】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明のエアロックバルブ（Ａ）は、下記の要件を備えた
ことを特徴とする、（Ａ01）エア流通口（１３）が形成
され且つ前記エア流通口（１３）に隣接して係止部（４
６）が設けられた仕切り壁（１２）に沿って前後に進退
移動するバルブ支持部材（２７）、（Ａ02）前記バルブ
支持部材（２７）の先端部に前後にスライド可能に支持
されたスライド部材（４０）、（Ａ03）前記スライド部
材（４０）を常時は前方に付勢する弾性部材（３６）、
（Ａ04）基端部（４２，４２）が前記スライド部材（４
０）に回動可能に支持された板バネ（４１）、（Ａ05）
前記板バネ（４１）の基端部（４２，４２）に、前記エ
ア流通口（１３）を閉塞する閉塞位置と開放する開放位
置との間で移動可能に連結された開閉弁（４３）、（Ａ
06）前記板バネ（４１）の先端部を前記エア流通口（１
３）から離れる方向に付勢して常時は前記開閉弁（４
３）を前記エア流通口（１３）から離れた位置に保持す
る引張バネ（５４）、（Ａ07）前記バルブ支持部材（２
７）が前記エア流通口（１３）に向かって前進したとき
に前記係止部（４６）に当接して前記スライド部材（４
０）の前進を停止させる被係止部材（３１b，３１b）、
（Ａ08）前記スライド部材（４０）が停止した状態で前
記バルブ支持部材（２７）が前進したときに前記板バネ
（４１）を介して前記開閉弁（４３）を前記エア流通口
（１３）に当接させて前記エア流通口（１３）を閉塞す
る板バネ押圧部材（４５）。

【００１０】次に、前述の特徴を備えた本発明の作用を
説明する。 （本発明の作用）前述の特徴を備えた本発明のエアロッ
クバルブ（Ａ）では、仕切り壁（１２）には、エア流通
口（１３）が形成され且つ前期エア流通口（１３）に隣
接して係止部（４６）が設けられる。バルブ支持部材
（２７）は、前記仕切り壁（１２）に沿って前後に進退
移動する。前記バルブ支持部材（２７）の先端部は、ス
ライド部材（４０）を前後にスライド可能に支持する。
弾性部材（３６）は、前記スライド部材（４０）を常時
は前方に付勢する。前記スライド部材（４０）は、板バ
ネ（４１）の基端部（４２，４２）を回動可能に支持す
る。前記板バネ（４１）の基端部（４２，４２）には、
開閉弁（４３）が前記エア流通口（１３）を閉塞する閉
塞位置と開放する開放位置との間で移動可能に連結され
る。

【００１１】引張バネ（５４）は、前記板バネ（４１）
の先端部を前記エア流通口（１３）から離れる方向に付
勢して常時は前記開閉弁（４３）を前記エア流通口（１
３）から離れた位置に保持する。被係止部材（３１b，
３１b）は、前記バルブ支持部材（２７）が前記エア流
通口（１３）に向かって前進したときに前記係止部（４
６）に当接して前記スライド部材（４０）の前進を停止
させる。板バネ押圧部材（４５）は、前記スライド部材
（４０）が停止した状態で前記バルブ支持部材（２７）
が前進したときに前記板バネ（４１）を介して前記開閉
弁（４３）を前記エア流通口（１３）に当接させて前記
エア流通口（１３）を閉塞する。前記開閉弁（４３）が
閉塞状態のときに前記バルブ支持部材（２７）が後退す
ると、前記スライド部材（４０）は前記弾性部材（３
６）により前方に付勢されているので、スライド部材
（４０）はバルブ支持部材（２７）に対して相対的に前
進することになる。このとき、板バネ押圧部は板バネ
（４１）の押圧を解除する。このとき、スライド部材
（４０）に回動可能に支持された板バネ（４１）は、そ
の先端部が前記引張バネ（５４）により前記エア流通口
（１３）から離れる方向に移動する。このとき、前記開
閉弁（４３）はエア流通口（１３）から離れた開放位置
に移動する。

【００１２】

【発明の実施の形態】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施の形
態の例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例
に限定されるものではない。 （実施例）図１は、本発明の一実施例のエアロックバル
ブが透過型電子顕微鏡（荷電粒子線装置）に装着された
状態を示す図である。図２は、本発明の一実施例のエア
ロックバルブの断面説明図である。図３は、前記図２の
要部拡大図である。図４は、前記図３のIＶ−IＶ線断面
図である。図５は、前記図３の主要部の拡大説明図で、
開閉弁が閉塞位置に移動された状態を示す図である。図
６は、開閉弁が開放位置に移動された状態を示す図であ
る。図７は、前記図５のＶII−ＶII線断面図である。

【００１３】図１において、荷電粒子線装置としての透
過型電子顕微鏡１は、内部を真空に保持された鏡筒２を
有し、鏡筒２上端に電子銃３が設けられている。鏡筒２
下端部には観察用の蛍光板４、および観察窓６が設けら
れている。前記電子銃３の下方には集束レンズ７が配置
され、前記蛍光板４の上方には対物レンズ８が配置され
ている。そして、前記集束レンズ７および対物レンズ８
の間にはステージ支持部材９が配置されている。ステー
ジ支持部材９にはゴニオステージ１１が設けられてい
る。ゴニオステージ１１には、従来公知の試料ホルダ
（図示せず）が設置される。前記蛍光板４と対物レンズ
８の間には、仕切り壁１２が設けられている。仕切り壁
１２には、エア流通口１３が形成されている。前記仕切
り壁１２下方にはバブル支持孔１４が形成されており、
このバブル支持孔１４に本発明の一実施例のエアロック
バルブＡが配置されている。

【００１４】図２，３において、前記仕切り壁１２のバ
ブル支持孔１４の外端部にはエアロックバルブＡのシャ
フト支持部材２２が嵌合されている。シャフト支持部材
２２は、複数個のボルト２３により仕切壁１２に固定さ
れている。シャフト支持部材２２には、前後に延びるシ
ャフト支持孔２２aが形成され、前記シャフト支持孔２
２aの外端側（後端側）および内端側（前端側）にはそ
れぞれシリンダ接続孔２２bおよびナット当接孔２２cが
形成されている。シャフト支持孔２２aにはシャフト２
４がスライド可能に支持されている。シリンダ接続孔２
２bの内周面には雌ネジが形成されている。前記シャフ
ト支持部材２２外端に形成されたシリンダ接続孔２２b
の雌ネジとエアシリンダ２５先端部の雄ネジが螺合し
て、シャフト接続孔２２bにエアシリンダ２５が連結さ
れている。エアシリンダ２５内には前記シャフト２４の
後端部に連結されたピストン（図示せず）が前後にスラ
イド可能に配置されている。エアシリンダ２５の前端部
および後端部にはエア供給管２５a，２５bが接続されて
いる。エア供給管２５a，２５bは、エアシリンダ２５の
軸方向（Ｘ軸方向）に対して回転自在に接続されてお
り、エアシリンダ２５が前記シリンダ接続孔２２bに連
結された際、常に下向きにさせることができる。前記各
供給管２５a，２５bは、図示しないエアポンプによりそ
れぞれ前記図示しないシリンダの前側および後側にエア
を供給するようになっている。

【００１５】前記図示しないエアポンプによりエア供給
管２５aにエアを供給した場合、前記エアシリンダ２５
内の図示しないピストンは前方（Ｘ方向）に移動し、こ
のときエア供給管２５bからエアが排気される。また、
前記図示しないエアポンプによりエア供給管２５bにエ
アを供給した場合、前記エアシリンダ２５内の図示しな
いピストンは後方（−Ｘ方向）に移動し、このときエア
供給管２５aからエアが排気される。外端部がエアシリ
ンダ２５のピストン（図示せず）に接続された前記シャ
フト２４は、エアシリンダ２５により前記エア流通口１
３に対して前後方向に進退移動するようになっている。
前記エアシリンダ２５は従来公知のものを採用すること
が可能である。前記シャフト２４内端部には雄ネジ２４
aが形成されており、バルブ支持部材２７の後端部に形
成された連結用ネジ孔２７aが螺合して連結されてい
る。前記連結用ネジ孔２７aと雄ネジ２４aとの緩み止め
のため、雄ネジ２４aに螺合するナット２８によりワッ
シャを介してバルブ支持部材２７の後端部が押圧されて
いる。前記ナット２８は、シャフト２４が後退移動した
ときに前記ナット当接孔２２cに当接して、シャフト２
４の後退を停止させるようになっている。

【００１６】図３，５〜７において、前記バルブ支持部
材２７内端部（先端部）には、ガイド部材２９が支持さ
れている。ガイド部材２９上部には、ブラケット３１が
固着されている。図７に示すようにブラケット３１は水
平部３１aおよび水平部３１a両端部から垂直に上方へ延
びる被係止部材としての垂直部３１b，３１bを有してい
る。図５において、ガイド部材２９の左右（Ｙ軸方向）
両側には、前後（Ｘ軸方向）に延びるガイド孔３３が形
成されており、前記ガイド孔３３内には、ガイド部材２
９の左右両側に挟まれたバルブ支持部材２７を貫通して
固定されたビス３４が設けられている。前記ビス３４は
バルブ支持部材２７の移動とともに前記ガイド孔３３内
を前後方向に移動可能である。ガイド部材２９後端部
（−Ｘ方向端部）およびビス３４は本発明の弾性部材と
しての引張バネ３６により連結されている。ガイド部材
２９は、引張バネ３６により常時前方に引張られ付勢さ
れている。

【００１７】図２，３において、前記ブラケット３１の
垂直部３１b，３１bに形成された軸支持孔３７，３７に
はバルブ回動軸３８が支持されている。バルブ回動軸３
８両端部には抜け止めのための止め輪３９，３９（図
４，７参照）がはめ込まれている。前記符号２９〜３８
により示される要素から本発明のスライド部材４０が構
成されている。前記バルブ回動軸３８には板バネ４１の
基端部４２，４２が回動可能に支持されている。図３に
示すように板バネ４１上には開閉弁４３がピン４４，４
４により固定されている。板バネ４１は、図５に示すよ
うにバルブ支持部材２７が前方（Ｘ方向）へ移動したと
きにバルブ支持部材２７先端部の板バネ押圧部（板バネ
押圧部材）４５により上方に押圧されるようになってい
る。このとき、前記開閉弁４３は板バネ４１により上方
に押圧されエア流通口１３を閉塞する閉塞位置に移動す
る。前記仕切り壁１２下面には、係止部材４６がネジ４
７，４７により固定されている。係止部材４６は図５に
おいてエア流通口１３の右側に係止部４８を有してい
る。係止部４８は開閉弁４３が前記閉塞位置に移動する
際に前記ブラケット３１の垂直部３１b，３１bが当接す
るようになっている。

【００１８】図２，３において、前記エア流通口１３下
部にはＯリング４９が配置されている。Ｏリング４９
は、開閉弁４３が閉塞位置に移動されたときに開閉弁４
３上面に当接するようになっている。図４，７におい
て、前記バルブ回動軸３８には、板バネ４１の基端部４
２，４２と垂直部３１b，３１bとの間にベアリング５
１，５１が設けられている。ベアリング５１，５１は前
記仕切り壁１２下面に当接しており、仕切り壁１２下面
とバルブ回動軸３８の距離を一定に保つために使用され
る。ベアリング５１，５１は、位置決め部材５２，５
２，５２，５２により軸方向の位置決めが行われてい
る。板バネ４１先端部のばね支持孔５３には引張バネ５
４が支持されている。また、前記バルブ支持部材２７先
端部には、バネ支持部５６が設けられており、バネ支持
部５６に配置されたネジ５７には前記引張バネ５４他端
が支持されている。このため、板バネ４１先端部は前記
基端部４２，４２を支点として常時エア流通口１３から
離れる方向に付勢されている。したがって、図６に示す
ようにバルブ支持部材２７が後方（−Ｘ方向）へ移動す
ると、前記板バネ押圧部４５による板バネ４１への押圧
が解除され、板バネ４１がその先端部を前記引張バネ５
４により引張られ基端部４２，４２を中心に下方へ回動
する。板バネ４１の下方への回動に伴い、開閉弁４３も
下方へ回動し、エア流通口１３から離れた開放位置に移
動される。

【００１９】（実施例の作用）次に、前述の構成を備え
た前記実施例の作用を説明する。 （閉塞動作の作用）図６において、シャフト２４が図３
の位置よりも後方（−Ｘ方向）に移動した状態を示して
いる。この図６の状態では、前記スライド部材４０は引
張バネ３６により前方に付勢されてバルブ支持部材２７
に対し相対的に前方（Ｘ方向）に移動してガイド孔３３
の後端がビス３４に当接している。このとき、開閉弁４
３は板バネ４１が引張バネ５４により下方に引張られ開
放位置に保持されている。この状態から開閉弁４３を閉
塞位置に移動させる場合、シャフト２４をエア流通口１
３に向かって前進させる。このとき、シャフト２４の前
進に伴いバルブ支持部材２７、スライド部材４０もエア
流通口１３に向かって前進移動する。この際、開閉弁４
３は前記開放位置に保持されたままで前方に移動する。
そして、シャフト２４が前進移動し、前記ブラケット３
１の垂直部３１b，３１bが係止部材４６に当接すると、
スライド部材４０の前進が停止する。このとき、スライ
ド部材４０の前進は停止するが、バルブ支持部材２７は
前進移動しようとする。この際、板バネ押圧部材４５
が、板バネ４１を押圧する。押圧された板バネ４１は基
端部４２，４２を中心として上方へ回動する。このと
き、板バネ４１の回動に伴い開閉弁４３も上方へ回動す
る。図５に示すように上方へ回動された開閉弁４３は上
面がエア流通口１３のＯリング４９に圧接され、閉塞位
置に保持される。この際、前記ベアリング５１，５１が
仕切り壁１２下面に当接しており、バルブ回動軸３８と
仕切り壁１２の距離を正確に位置決めすることができ
る。

【００２０】（開放動作の作用）図５に示すように開閉
弁４３が閉塞位置に移動し保持されているときに、前記
シャフト２４をエア流通口１３に対して前記ナット２８
がナット当接孔２２cに当接するまで後退移動させる。
このとき、エア流通口１３の後退に伴いバルブ支持部材
２７が後退する。バルブ支持部材２７が後退すると、前
記ガイド部材２９が引張バネ３６により前方に付勢され
ているためスライド部材４０は被係止部３１b，３１bが
係止部材４６に当接したままバルブ支持部材２７に対し
て相対的に前進する。このとき、板バネ押圧部材４５は
板バネ４１への押圧を解除する。この際、板バネ４１は
その先端部が前記引張バネ５４に引張られ基端部４２，
４２を中心に下方へ回動する。図６に示すように、板バ
ネ４１の下方への回動に伴い、開閉弁４３も下方へ回動
し、エア流通口１３から離れた開放位置に移動する。

【００２１】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。

【００２２】（Ｈ01）本実施例では透過型電子顕微鏡を
例示したが他の試料に対する精密作業を行う装置に採用
することが可能である。

【００２３】

【発明の効果】前述の本発明のエアロックバルブは、下
記の効果を奏することができる。（Ｅ01）エアの流通口
を確実に気密に閉塞することが可能なエアロックバルブ
を提供すること。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は、本発明の一実施例のエアロックバル
ブが透過型電子顕微鏡（荷電粒子線装置）に装着された
状態を示す図である。

【図２】 図２は、本発明の一実施例のエアロックバル
ブの断面説明図である。

【図３】 図３は、前記図２の要部拡大図である。

【図４】 図４は、前記図３のIＶ−IＶ線断面図であ
る。

【図５】 図５は、前記図３の主要部の拡大説明図で、
開閉弁が閉塞位置に移動された状態を示す図である。

【図６】 図６は、開閉弁が開放位置に移動した状態を
示す図である。

【図７】 図７は、前記図５のＶII−ＶII線断面図であ
る。

【図８】 図８は、従来のエアロックバルブの説明図
で、図８Ａはエアロックバルブが開放状態にある図で、
図８Ｂはエアロックバルブが閉塞状態にある図である。

【図９】 図９は、前記図８ＢのIＸ−IＸ線断面図であ
る。

【符号の説明】

Ａ…エアロックバルブ。 １２…仕切り壁、１３…エア流通口、２７…バルブ支持
部材、（３１b，３１b）…被係止部材、３６…弾性部
材、４０…スライド部材、４１…板バネ、（４２，４
２）…基端部、４３…開閉弁、４５…板バネ押圧部材、
４６…係止部、５４…引張バネ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件を備えたエアロックバルブ
   （Ａ01）エア流通口が形成され且つ前記エア流通口に隣
   接して係止部が設けられた仕切り壁に沿って前後に進退
   移動するバルブ支持部材、（Ａ02）前記バルブ支持部材
   の先端部に前後にスライド可能に支持されたスライド部
   材、（Ａ03）前記スライド部材を常時は前方に付勢する
   弾性部材、（Ａ04）基端部が前記スライド部材に回動可
   能に支持された板バネ、（Ａ05）前記板バネの基端部
   に、前記エア流通口を閉塞する閉塞位置と開放する開放
   位置との間で移動可能に連結された開閉弁、（Ａ06）前
   記板バネの先端部を前記エア流通口から離れる方向に付
   勢して常時は前記開閉弁を前記エア流通口から離れた位
   置に保持する引張バネ、（Ａ07）前記バルブ支持部材が
   前記エア流通口に向かって前進したときに前記係止部に
   当接して前記スライド部材の前進を停止させる被係止部
   材、（Ａ08）前記スライド部材が停止した状態で前記バ
   ルブ支持部材が前進したときに前記板バネを介して前記
   開閉弁を前記エア流通口に当接させて前記エア流通口を
   閉塞する板バネ押圧部材。