JPH10169802A - 流体圧制御用ダイヤフラム - Google Patents
流体圧制御用ダイヤフラムInfo
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- JPH10169802A JPH10169802A JP33412196A JP33412196A JPH10169802A JP H10169802 A JPH10169802 A JP H10169802A JP 33412196 A JP33412196 A JP 33412196A JP 33412196 A JP33412196 A JP 33412196A JP H10169802 A JPH10169802 A JP H10169802A
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- fluid
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Abstract
(57)【要約】
【課題】薬液等による流体圧を受圧してもクリープを発
生させることがなく、しかも、応答感度を劣化させるこ
となく高い耐圧性を得ることにある。 【解決手段】流体圧制御用ダイヤフラム４８は、別個独
立に形成され、基布入りのゴム製ダイヤフラムからなる
上部側の第１薄膜体５８と、フッ素樹脂の樹脂製ダイヤ
フラムからなる下部側の第２薄膜体６０とが重ね合わさ
れて構成される。
生させることがなく、しかも、応答感度を劣化させるこ
となく高い耐圧性を得ることにある。 【解決手段】流体圧制御用ダイヤフラム４８は、別個独
立に形成され、基布入りのゴム製ダイヤフラムからなる
上部側の第１薄膜体５８と、フッ素樹脂の樹脂製ダイヤ
フラムからなる下部側の第２薄膜体６０とが重ね合わさ
れて構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、減圧弁等
の流体圧機器に設けられて調圧機能を営む流体圧制御用
ダイヤフラムに関する。
の流体圧機器に設けられて調圧機能を営む流体圧制御用
ダイヤフラムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、減圧弁等には、一次
側圧力を減圧して二次側圧力を所定の設定値に調圧する
機能を営むダイヤフラムが組み込まれている。前記ダイ
ヤフラムは、例えば、フッ素樹脂等の樹脂製材料によっ
て薄膜状に形成され、減圧弁を構成する減圧弁本体とボ
ンネットとの間に介装されてダイヤフラム室を形成して
いる。
側圧力を減圧して二次側圧力を所定の設定値に調圧する
機能を営むダイヤフラムが組み込まれている。前記ダイ
ヤフラムは、例えば、フッ素樹脂等の樹脂製材料によっ
て薄膜状に形成され、減圧弁を構成する減圧弁本体とボ
ンネットとの間に介装されてダイヤフラム室を形成して
いる。
【０００３】この場合、一次側ポートから供給された圧
力流体を前記ダイヤフラム室に導入し、前記圧力流体の
作用下にダイヤフラムを上方側に押圧する力と、前記ダ
イヤフラムを下方側に押圧する調圧ばねの弾発力とが対
抗することにより、流体圧機器に導入される二次側圧力
が調圧される。
力流体を前記ダイヤフラム室に導入し、前記圧力流体の
作用下にダイヤフラムを上方側に押圧する力と、前記ダ
イヤフラムを下方側に押圧する調圧ばねの弾発力とが対
抗することにより、流体圧機器に導入される二次側圧力
が調圧される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、クリーンル
ーム内に配設された半導体製造装置を構成するウエハ洗
浄ライン等に前記減圧弁を付設した場合、前記減圧弁内
を流通する薬液の受圧作用によってダイヤフラムの薄膜
部にクリープ（ｃｒｅｅｐ）が発生し、前記クリープに
よって前記薄膜部が伸張して調圧作用を劣化させ、ある
いは該薄膜部が破断するおそれがある。
ーム内に配設された半導体製造装置を構成するウエハ洗
浄ライン等に前記減圧弁を付設した場合、前記減圧弁内
を流通する薬液の受圧作用によってダイヤフラムの薄膜
部にクリープ（ｃｒｅｅｐ）が発生し、前記クリープに
よって前記薄膜部が伸張して調圧作用を劣化させ、ある
いは該薄膜部が破断するおそれがある。
【０００５】また、一般的に、ダイヤフラムの応答感度
を上昇させるために薄膜化を図ろうとすると、前記薄膜
部の耐圧性が劣化してしまうという不都合がある。
を上昇させるために薄膜化を図ろうとすると、前記薄膜
部の耐圧性が劣化してしまうという不都合がある。
【０００６】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであり、薬液等による流体圧を受圧しても
クリープを発生させることがなく、しかも、応答感度を
劣化させることなく高い耐圧性を得ることが可能な流体
圧制御用ダイヤフラムを提供することを目的とする。
なされたものであり、薬液等による流体圧を受圧しても
クリープを発生させることがなく、しかも、応答感度を
劣化させることなく高い耐圧性を得ることが可能な流体
圧制御用ダイヤフラムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、圧力流体の受圧作用下に可撓性を有す
る流体圧制御用ダイヤフラムであって、第１薄膜体と、
前記第１薄膜体と別体且つ異質の材料によって形成さ
れ、該第１薄膜体と重ね合わされる第２薄膜体とからな
ることを特徴とする。
めに、本発明は、圧力流体の受圧作用下に可撓性を有す
る流体圧制御用ダイヤフラムであって、第１薄膜体と、
前記第１薄膜体と別体且つ異質の材料によって形成さ
れ、該第１薄膜体と重ね合わされる第２薄膜体とからな
ることを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、別体且つ異質の材料から
なる第１薄膜体と第２薄膜体とを重ね合わせて二層構造
とすることにより、クリープを発生させることがなく高
い耐圧性を得ることができる。
なる第１薄膜体と第２薄膜体とを重ね合わせて二層構造
とすることにより、クリープを発生させることがなく高
い耐圧性を得ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明に係る流体圧制御用ダイヤ
フラムについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を
参照しながら以下詳細に説明する。
フラムについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を
参照しながら以下詳細に説明する。
【００１０】図１において、参照符号１０は、本発明の
実施の形態に係る流体圧制御用ダイヤフラムが組み込ま
れた減圧弁を示す。
実施の形態に係る流体圧制御用ダイヤフラムが組み込ま
れた減圧弁を示す。
【００１１】この減圧弁１０は、一次側ポート１２およ
び二次側ポート１４が同軸状に形成されたボデイ１６
と、前記ボデイ１６の上部に嵌合されるボンネット１８
と、外周面の所定範囲にねじ部が刻設されたシャフト２
０を回転中心として前記ボンネット１８の上部に回動自
在に軸支されるハンドル２２と、前記ボデイ１６の底面
部に形成された開口部を閉塞するとともに、図示しない
複数のリブが設けられた閉塞部材２４とから構成され
る。
び二次側ポート１４が同軸状に形成されたボデイ１６
と、前記ボデイ１６の上部に嵌合されるボンネット１８
と、外周面の所定範囲にねじ部が刻設されたシャフト２
０を回転中心として前記ボンネット１８の上部に回動自
在に軸支されるハンドル２２と、前記ボデイ１６の底面
部に形成された開口部を閉塞するとともに、図示しない
複数のリブが設けられた閉塞部材２４とから構成され
る。
【００１２】ボデイ１６の一次側ポート１２と二次側ポ
ート１４との間には、矢印ＡまたはＢ方向に沿って変位
するステム２６が設けられ、前記ステム２６は、ボデイ
１６内の孔部に固着された保持部材２８に対して摺動自
在に配設される。前記ステム２６の下端部には、ボデイ
１６と閉塞部材２４との間に介装されたダイヤフラムシ
ート３０が当接し、さらに、前記ダイヤフラムシート３
０は弁体３２の一端部を被覆するように形成される。前
記弁体３２のフランジ部には、閉塞部材２４の孔部に挿
入された弁ばね３４が係着される。この場合、前記弁ば
ね３４は、その弾発力によって弁体３２を常時矢印Ａ方
向に押圧するように作用している。
ート１４との間には、矢印ＡまたはＢ方向に沿って変位
するステム２６が設けられ、前記ステム２６は、ボデイ
１６内の孔部に固着された保持部材２８に対して摺動自
在に配設される。前記ステム２６の下端部には、ボデイ
１６と閉塞部材２４との間に介装されたダイヤフラムシ
ート３０が当接し、さらに、前記ダイヤフラムシート３
０は弁体３２の一端部を被覆するように形成される。前
記弁体３２のフランジ部には、閉塞部材２４の孔部に挿
入された弁ばね３４が係着される。この場合、前記弁ば
ね３４は、その弾発力によって弁体３２を常時矢印Ａ方
向に押圧するように作用している。
【００１３】前記一次側ポート１２と二次側ポート１４
との間には、該一次側ポート１２と二次側ポート１４と
を連通させる連通路３６が形成され、前記連通路３６
は、一次側ポート１２に近接する第１室３８と、前記第
１室３８の下方に形成されダイヤフラムシート３０によ
って閉塞される第２室４０と、前記第２室４０の上方に
形成され弁体３２が着座部４２に着座することにより前
記第２室４０との連通状態が遮断される第３室４４とか
ら構成される。前記第３室４４と二次側ポート１４との
間には、所定の傾斜角度からなる壁面を有し、二次側ポ
ート１４に向かって徐々に拡径する孔部４６が形成され
る。
との間には、該一次側ポート１２と二次側ポート１４と
を連通させる連通路３６が形成され、前記連通路３６
は、一次側ポート１２に近接する第１室３８と、前記第
１室３８の下方に形成されダイヤフラムシート３０によ
って閉塞される第２室４０と、前記第２室４０の上方に
形成され弁体３２が着座部４２に着座することにより前
記第２室４０との連通状態が遮断される第３室４４とか
ら構成される。前記第３室４４と二次側ポート１４との
間には、所定の傾斜角度からなる壁面を有し、二次側ポ
ート１４に向かって徐々に拡径する孔部４６が形成され
る。
【００１４】前記ボデイ１６とボンネット１８との間に
は、流体圧制御用ダイヤフラム４８が張設され、前記流
体圧制御用ダイヤフラム４８とボデイ１６の側壁とによ
ってダイヤフラム室５０が形成される。前記ダイヤフラ
ム室５０には、連通路３６の第３室４４に連通する第１
通路５２と、孔部４６を介して二次側ポート１４に連通
する第２通路５４とが形成され、前記第１通路５２およ
び第２通路５４は、それぞれ所定の直径で形成される。
前記流体圧制御用ダイヤフラム４８は一組の弁シート５
６ａ、５６ｂによって挟持され、前記弁シート５６ｂの
底面部にはステム２６の一端部が当接する。
は、流体圧制御用ダイヤフラム４８が張設され、前記流
体圧制御用ダイヤフラム４８とボデイ１６の側壁とによ
ってダイヤフラム室５０が形成される。前記ダイヤフラ
ム室５０には、連通路３６の第３室４４に連通する第１
通路５２と、孔部４６を介して二次側ポート１４に連通
する第２通路５４とが形成され、前記第１通路５２およ
び第２通路５４は、それぞれ所定の直径で形成される。
前記流体圧制御用ダイヤフラム４８は一組の弁シート５
６ａ、５６ｂによって挟持され、前記弁シート５６ｂの
底面部にはステム２６の一端部が当接する。
【００１５】流体圧制御用ダイヤフラム４８は、別個独
立の薄膜ダイヤフラムからなる上部側の第１薄膜体５８
と下部側の第２薄膜体６０とが重ね合わされて形成さ
れ、前記第１薄膜体５８は、例えば、基布入りのゴム製
ダイヤフラムからなり、前記第２薄膜体６０は、例え
ば、フッ素樹脂からなる樹脂製ダイヤフラムによって構
成される。この場合、流体圧制御用ダイヤフラム４８
は、異なる材質からなる第１薄膜体５８と第２薄膜体６
０とが接着されることなく重ね合わされて構成されてい
るため、後述するように、前記第１薄膜体５８と第２薄
膜体６０との可撓性による作動抵抗を小さくし、応答感
度を劣化させることなく高い耐圧性を得ることができ
る。
立の薄膜ダイヤフラムからなる上部側の第１薄膜体５８
と下部側の第２薄膜体６０とが重ね合わされて形成さ
れ、前記第１薄膜体５８は、例えば、基布入りのゴム製
ダイヤフラムからなり、前記第２薄膜体６０は、例え
ば、フッ素樹脂からなる樹脂製ダイヤフラムによって構
成される。この場合、流体圧制御用ダイヤフラム４８
は、異なる材質からなる第１薄膜体５８と第２薄膜体６
０とが接着されることなく重ね合わされて構成されてい
るため、後述するように、前記第１薄膜体５８と第２薄
膜体６０との可撓性による作動抵抗を小さくし、応答感
度を劣化させることなく高い耐圧性を得ることができ
る。
【００１６】なお、ダイヤフラムシート３０は、流体圧
制御用ダイヤフラム４８と同様に、基布入りのゴム製ダ
イヤフラムからなる第１薄膜体６２と、フッ素樹脂の樹
脂製ダイヤフラムからなる第２薄膜体６４とが重ね合わ
されて構成される。
制御用ダイヤフラム４８と同様に、基布入りのゴム製ダ
イヤフラムからなる第１薄膜体６２と、フッ素樹脂の樹
脂製ダイヤフラムからなる第２薄膜体６４とが重ね合わ
されて構成される。
【００１７】ダイヤフラム室５０と第３室４４との間に
は保持部材２８およびステム２６が設けられ、前記ダイ
ヤフラム室５０と連通路３６とが保持部材２８およびス
テム２６によって遮断されている。従って、連通路３６
を介して一次側ポート１２から供給された圧力流体の一
部は、所定の直径を有する第１通路５２を介してダイヤ
フラム室５０に導入される。
は保持部材２８およびステム２６が設けられ、前記ダイ
ヤフラム室５０と連通路３６とが保持部材２８およびス
テム２６によって遮断されている。従って、連通路３６
を介して一次側ポート１２から供給された圧力流体の一
部は、所定の直径を有する第１通路５２を介してダイヤ
フラム室５０に導入される。
【００１８】前記ハンドル２２に固定されたシャフト２
０のねじ部には、ばね受け部材６６が螺設され、前記ば
ね受け部材６６と弁シート５６ａとの間に装着された調
圧ばね６８の弾発力によって流体圧制御用ダイヤフラム
４８を矢印Ｂ方向に押圧する力が作用する。この場合、
前記調圧ばね６８は流体圧制御用ダイヤフラム４８の調
圧作用を営むものであり、ハンドル２２の回動作用下に
ばね受け部材６６がシャフト２０のねじ部に沿って矢印
ＡまたはＢ方向に変位する。なお、前記ボンネット１８
の内部には、ばね受け部材６６に係合して該ばね受け部
材６６の回り止めの機能を営む係止部材７０が設けられ
る。
０のねじ部には、ばね受け部材６６が螺設され、前記ば
ね受け部材６６と弁シート５６ａとの間に装着された調
圧ばね６８の弾発力によって流体圧制御用ダイヤフラム
４８を矢印Ｂ方向に押圧する力が作用する。この場合、
前記調圧ばね６８は流体圧制御用ダイヤフラム４８の調
圧作用を営むものであり、ハンドル２２の回動作用下に
ばね受け部材６６がシャフト２０のねじ部に沿って矢印
ＡまたはＢ方向に変位する。なお、前記ボンネット１８
の内部には、ばね受け部材６６に係合して該ばね受け部
材６６の回り止めの機能を営む係止部材７０が設けられ
る。
【００１９】本発明の実施の形態に係る流体圧制御用ダ
イヤフラム４８が組み込まれた減圧弁１０は、基本的に
は以上のように構成されるものであり、次にその動作並
びに作用効果について説明する。
イヤフラム４８が組み込まれた減圧弁１０は、基本的に
は以上のように構成されるものであり、次にその動作並
びに作用効果について説明する。
【００２０】まず、一次側ポート１２に図示しない圧力
流体供給源を接続し、二次側ポート１４に所望の流体圧
機器（図示せず）を予め接続しておく。また、ハンドル
２２を所定方向に螺回して流体圧機器に供給する二次側
の設定圧力を設定しておく。
流体供給源を接続し、二次側ポート１４に所望の流体圧
機器（図示せず）を予め接続しておく。また、ハンドル
２２を所定方向に螺回して流体圧機器に供給する二次側
の設定圧力を設定しておく。
【００２１】すなわち、ハンドル２２の回動作用下にシ
ャフト２０の軸線方向に沿ってばね受け部材６６を変位
させ、前記ばね受け部材６６によって圧縮された調圧ば
ね６８を介して流体圧制御用ダイヤフラム４８を矢印Ｂ
方向に向かって押圧することにより、ステム２６および
弁体３２が一体的に下降する。
ャフト２０の軸線方向に沿ってばね受け部材６６を変位
させ、前記ばね受け部材６６によって圧縮された調圧ば
ね６８を介して流体圧制御用ダイヤフラム４８を矢印Ｂ
方向に向かって押圧することにより、ステム２６および
弁体３２が一体的に下降する。
【００２２】従って、弁体３２が矢印Ｂ方向に変位して
着座部４２から所定間隔だけ離間するに至り、一次側ポ
ート１２と二次側ポート１４との連通路３６を構成する
第１室３８、第２室４０および第３室４４がそれぞれ連
通した状態となる（図２参照）。
着座部４２から所定間隔だけ離間するに至り、一次側ポ
ート１２と二次側ポート１４との連通路３６を構成する
第１室３８、第２室４０および第３室４４がそれぞれ連
通した状態となる（図２参照）。
【００２３】一次側圧力に対して二次側圧力が低い時、
圧力流体供給源の付勢作用下に一次側ポート１２から導
入された圧力流体（例えば、ウエハ洗浄用薬液）は、第
１室３８、第２室４０および第３室４４を順次流通し、
孔部４６および二次側ポート１４を介して流体圧機器に
供給される。この場合、一次側ポート１２から供給され
た圧力流体の一部は、第１通路５２を介して第３室４４
からダイヤフラム室５０に導入され、流体圧制御用ダイ
ヤフラム４８を上方に向かって押圧する力を発生させ
る。従って、一次側ポート１２から供給された圧力流体
によって発生する流体圧制御用ダイヤフラム４８を上方
に押圧する力と、調圧ばね６８の弾発力とが対抗するこ
とにより、流体圧機器に導入される二次側圧力が調圧さ
れる。
圧力流体供給源の付勢作用下に一次側ポート１２から導
入された圧力流体（例えば、ウエハ洗浄用薬液）は、第
１室３８、第２室４０および第３室４４を順次流通し、
孔部４６および二次側ポート１４を介して流体圧機器に
供給される。この場合、一次側ポート１２から供給され
た圧力流体の一部は、第１通路５２を介して第３室４４
からダイヤフラム室５０に導入され、流体圧制御用ダイ
ヤフラム４８を上方に向かって押圧する力を発生させ
る。従って、一次側ポート１２から供給された圧力流体
によって発生する流体圧制御用ダイヤフラム４８を上方
に押圧する力と、調圧ばね６８の弾発力とが対抗するこ
とにより、流体圧機器に導入される二次側圧力が調圧さ
れる。
【００２４】このように、二次側圧力が設定値より低い
間は、流体圧機器に対して圧力流体の流入が継続され、
一次側圧力と二次側圧力との差が小さくなるにつれて、
調圧ばね６８の弾発力に抗して徐々に流体圧制御用ダイ
ヤフラム４８が上昇し、前記流体圧制御用ダイヤフラム
４８と一体的にステム２６および弁体３２が上昇するこ
とにより、前記弁体３２が着座部４２に着座して設定圧
力に至る。このようにして、所望の設定圧力に調圧され
た圧力流体が図示しない流体圧機器に供給される。
間は、流体圧機器に対して圧力流体の流入が継続され、
一次側圧力と二次側圧力との差が小さくなるにつれて、
調圧ばね６８の弾発力に抗して徐々に流体圧制御用ダイ
ヤフラム４８が上昇し、前記流体圧制御用ダイヤフラム
４８と一体的にステム２６および弁体３２が上昇するこ
とにより、前記弁体３２が着座部４２に着座して設定圧
力に至る。このようにして、所望の設定圧力に調圧され
た圧力流体が図示しない流体圧機器に供給される。
【００２５】本実施の形態では、一層の樹脂製ダイヤフ
ラムによって構成された従来技術と比較して、材質が異
なる第１薄膜体５８と第２薄膜体６０とを重ね合わせた
二層構造とすることにより、圧力流体の受圧面にクリー
プを発生させることがなく、高い耐圧性を得ることがで
きる。
ラムによって構成された従来技術と比較して、材質が異
なる第１薄膜体５８と第２薄膜体６０とを重ね合わせた
二層構造とすることにより、圧力流体の受圧面にクリー
プを発生させることがなく、高い耐圧性を得ることがで
きる。
【００２６】また、樹脂製ダイヤフラムとゴム製ダイヤ
フラムとを接着剤等によって一体的に貼り付けた場合、
樹脂製ダイヤフラムとゴム製ダイヤフラムとの間に形成
される接着面によって該樹脂製ダイヤフラムとゴム製ダ
イヤフラムとの相対的変位が規制され、受圧面の円滑な
可撓性を阻害するという問題がある。
フラムとを接着剤等によって一体的に貼り付けた場合、
樹脂製ダイヤフラムとゴム製ダイヤフラムとの間に形成
される接着面によって該樹脂製ダイヤフラムとゴム製ダ
イヤフラムとの相対的変位が規制され、受圧面の円滑な
可撓性を阻害するという問題がある。
【００２７】これに対して、本実施の形態では、ゴム製
ダイヤフラムからなる第１薄膜体５８と樹脂製ダイヤフ
ラムからなる第２薄膜体６０とを重ね合わせた構造を採
用することにより、該第１薄膜体５８と第２薄膜体６０
とがそれぞれ別個独立に変位し、円滑な可撓性を有する
ことから応答速度の向上を図ることができる。従って、
流体圧制御用ダイヤフラム４８を小さく形成しても、大
きな可撓性を得ることができる。
ダイヤフラムからなる第１薄膜体５８と樹脂製ダイヤフ
ラムからなる第２薄膜体６０とを重ね合わせた構造を採
用することにより、該第１薄膜体５８と第２薄膜体６０
とがそれぞれ別個独立に変位し、円滑な可撓性を有する
ことから応答速度の向上を図ることができる。従って、
流体圧制御用ダイヤフラム４８を小さく形成しても、大
きな可撓性を得ることができる。
【００２８】さらに、一次側ポート１２と二次側ポート
１４との間に設けられた弁体３２を、流体圧制御用ダイ
ヤフラム４８と同様に二層構造によって構成されたダイ
ヤフラムシート３０によって被覆し、該ダイヤフラムシ
ート３０と弁体３２とを一体的に変位させることによ
り、流体通路中に圧力流体が残存することを防止すると
いう利点がある。
１４との間に設けられた弁体３２を、流体圧制御用ダイ
ヤフラム４８と同様に二層構造によって構成されたダイ
ヤフラムシート３０によって被覆し、該ダイヤフラムシ
ート３０と弁体３２とを一体的に変位させることによ
り、流体通路中に圧力流体が残存することを防止すると
いう利点がある。
【００２９】なお、本実施の形態では、減圧弁１０に組
み込まれた流体圧制御用ダイヤフラム４８を用いて説明
しているが、これに限定されるものではなく、前記流体
圧制御用ダイヤフラム４８を種々の流体圧機器に適用す
ることができることは勿論である。
み込まれた流体圧制御用ダイヤフラム４８を用いて説明
しているが、これに限定されるものではなく、前記流体
圧制御用ダイヤフラム４８を種々の流体圧機器に適用す
ることができることは勿論である。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
る。
【００３１】すなわち、一層の樹脂製ダイヤフラムによ
って構成された従来技術と比較して、材質が異なる第１
薄膜体と第２薄膜体とが重ね合わされた二層構造とする
ことにより、圧力流体の受圧面にクリープを発生させる
ことがなく、高い耐圧性を得ることができる。
って構成された従来技術と比較して、材質が異なる第１
薄膜体と第２薄膜体とが重ね合わされた二層構造とする
ことにより、圧力流体の受圧面にクリープを発生させる
ことがなく、高い耐圧性を得ることができる。
【００３２】また、接着剤等によって樹脂製ダイヤフラ
ムとゴム製ダイヤフラムとを一体的に貼り付けた場合と
比較して、第１薄膜体と第２薄膜体とを重ね合わせた構
造を採用することにより、該第１薄膜体と第２薄膜体と
がそれぞれ別個独立に変位し、円滑な可撓性を有するこ
とから、応答速度の向上を図ることができる。
ムとゴム製ダイヤフラムとを一体的に貼り付けた場合と
比較して、第１薄膜体と第２薄膜体とを重ね合わせた構
造を採用することにより、該第１薄膜体と第２薄膜体と
がそれぞれ別個独立に変位し、円滑な可撓性を有するこ
とから、応答速度の向上を図ることができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る流体圧制御用ダイヤ
フラムが組み込まれた減圧弁の縦断面図である。
フラムが組み込まれた減圧弁の縦断面図である。
【図２】図１に示す減圧弁において、弁体が着座部から
離間した状態を示す縦断面図である。
離間した状態を示す縦断面図である。
１０…減圧弁 １２…一次側ポ
ート １４…二次側ポート １６…ボデイ １８…ボンネット ２０…シャフト ２２…ハンドル ２４…閉塞部材 ２６…ステム ２８…保持部材 ３０…ダイヤフラムシート ３２…弁体 ３４…弁ばね ３６…連通路 ３８、４０、４４…室 ４６…孔部 ４８…流体圧制御用ダイヤフラム ５０…ダイヤフ
ラム室 ５２、５４…通路 ５６ａ、５６ｂ
…弁シート ５８、６０、６２、６４…薄膜体 ６８…調圧ばね
ート １４…二次側ポート １６…ボデイ １８…ボンネット ２０…シャフト ２２…ハンドル ２４…閉塞部材 ２６…ステム ２８…保持部材 ３０…ダイヤフラムシート ３２…弁体 ３４…弁ばね ３６…連通路 ３８、４０、４４…室 ４６…孔部 ４８…流体圧制御用ダイヤフラム ５０…ダイヤフ
ラム室 ５２、５４…通路 ５６ａ、５６ｂ
…弁シート ５８、６０、６２、６４…薄膜体 ６８…調圧ばね
Claims (3)
- 【請求項１】圧力流体の受圧作用下に可撓性を有する流
体圧制御用ダイヤフラムであって、 第１薄膜体と、 前記第１薄膜体と別体且つ異質の材料によって形成さ
れ、該第１薄膜体と重ね合わされる第２薄膜体と、 からなることを特徴とする流体圧制御用ダイヤフラム。 - 【請求項２】請求項１記載のダイヤフラムにおいて、第
１薄膜体は、ゴム製材料によって形成され、第２薄膜体
は、樹脂製材料によって形成されることを特徴とする流
体圧制御用ダイヤフラム。 - 【請求項３】請求項１または２記載のダイヤフラムにお
いて、流体圧制御用ダイヤフラムは、少なくとも減圧弁
を含む流体圧機器に組み込まれることを特徴とする流体
圧制御用ダイヤフラム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33412196A JPH10169802A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 流体圧制御用ダイヤフラム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33412196A JPH10169802A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 流体圧制御用ダイヤフラム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10169802A true JPH10169802A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18273767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33412196A Pending JPH10169802A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 流体圧制御用ダイヤフラム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10169802A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1138989A3 (en) * | 2000-03-31 | 2003-05-14 | Toyo Stainless Steel Industries Co., Ltd. | Diaphragm valve |
| KR100675747B1 (ko) * | 2004-01-06 | 2007-01-29 | 도플로 코포레이션 가부시키가이샤 | 유량 제어 밸브 및 유량 제어 장치 |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP33412196A patent/JPH10169802A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1138989A3 (en) * | 2000-03-31 | 2003-05-14 | Toyo Stainless Steel Industries Co., Ltd. | Diaphragm valve |
| EP1462693A1 (en) * | 2000-03-31 | 2004-09-29 | Toyo Stainless Steel Industries Co., Ltd. | Diaphragm valve |
| KR100675747B1 (ko) * | 2004-01-06 | 2007-01-29 | 도플로 코포레이션 가부시키가이샤 | 유량 제어 밸브 및 유량 제어 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060421 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060912 |