JPH10170220A - 耐熱型計測器 - Google Patents
耐熱型計測器Info
- Publication number
- JPH10170220A JPH10170220A JP8332314A JP33231496A JPH10170220A JP H10170220 A JPH10170220 A JP H10170220A JP 8332314 A JP8332314 A JP 8332314A JP 33231496 A JP33231496 A JP 33231496A JP H10170220 A JPH10170220 A JP H10170220A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- heat
- temperature
- measuring instrument
- displacement sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度変化に敏感な変位センサを、被計測物か
らの輻射熱や設置環境の温度差の影響を受けないように
した耐熱型計測器を提供する。 【解決手段】 第１，第２の筐体２，３の内部にそれぞ
れ反射式変位センサ（１０２ａ，１０２ｂ、１０３ａ，
１０３ｂ）を収容し、冷却器１３，２３、熱交換器１
１，２１等により所定温度の風を供給し、反射式変位セ
ンサを最適温度範囲で計測可能になるようにする。
らの輻射熱や設置環境の温度差の影響を受けないように
した耐熱型計測器を提供する。 【解決手段】 第１，第２の筐体２，３の内部にそれぞ
れ反射式変位センサ（１０２ａ，１０２ｂ、１０３ａ，
１０３ｂ）を収容し、冷却器１３，２３、熱交換器１
１，２１等により所定温度の風を供給し、反射式変位セ
ンサを最適温度範囲で計測可能になるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐熱型計測器に係
り、特に鉄鋼，非鉄金属箔，シート，紙等の製造ライン
で使用する耐熱型計測器に関する。
り、特に鉄鋼，非鉄金属箔，シート，紙等の製造ライン
で使用する耐熱型計測器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の圧延物体（例えば、製鉄
所で圧延され蓄熱した鋼板）１０１の厚さを測定する圧
延計測器の一例である。図６に示すように、圧延物体１
０１の上下方向の両側に該圧延物体１０１との間隔を検
出する変位センサ１０２，１０３を配置する。そして、
双方の変位センサ１０２（１０２ａ，１０２ｂ），１０
３（１０３ａ，１０３ｂ）の検出信号に基づいてコント
ローラ１０４により圧延物体１０１の厚さを演算し、厚
さ測定を行っている。
所で圧延され蓄熱した鋼板）１０１の厚さを測定する圧
延計測器の一例である。図６に示すように、圧延物体１
０１の上下方向の両側に該圧延物体１０１との間隔を検
出する変位センサ１０２，１０３を配置する。そして、
双方の変位センサ１０２（１０２ａ，１０２ｂ），１０
３（１０３ａ，１０３ｂ）の検出信号に基づいてコント
ローラ１０４により圧延物体１０１の厚さを演算し、厚
さ測定を行っている。
【０００３】ここに、前記変位センサ１０２，１０３
は、それぞれ三角測量を応用した発光素子（１０２ａ，
１０３ａ）と光位置検出素子（１０２ｂ，１０３ｂ）
（ＰＳＤ）を具備した反射式の変位センサである。
は、それぞれ三角測量を応用した発光素子（１０２ａ，
１０３ａ）と光位置検出素子（１０２ｂ，１０３ｂ）
（ＰＳＤ）を具備した反射式の変位センサである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、変位センサ
１０２，１０３は半導体素子等により構成され、温度変
化に敏感である。従って、高温の圧延物体１０１の輻射
熱の影響を防止するために、該圧延物体１０１との間隔
を大きくとる必要があり、圧延計測器が大型化してい
た。
１０２，１０３は半導体素子等により構成され、温度変
化に敏感である。従って、高温の圧延物体１０１の輻射
熱の影響を防止するために、該圧延物体１０１との間隔
を大きくとる必要があり、圧延計測器が大型化してい
た。
【０００５】また、圧延計測器の設置環境の温度差が大
きい。従って、変位センサ１０２，１０３を支持する断
面形状コの字状の変位センサを取り付けた変位センサ構
造体１０５が温度差により立体的に変形し、予め定めら
れている所定の位置Ｐ1 ，Ｐ2 で測定不可能となり、測
定精度の低下の主因となっていた。この欠点を極力少な
くするためには、変位センサ構造体１０５を線膨脹率の
少ない高価な材料（例えば、アンバー）で構成しなけれ
ばならないため、圧延計測器のコストアップの要因とな
っていた。即ち、従来の圧延計測器は、圧延物体１０１
の温度が低温であり、且つ設置環境温度が安定している
場所では、正確な厚さ測定が可能であるものの、圧延物
体１０１が蓄熱している場合や設置環境の温度変化が大
きい場合は、正確な厚さ測定が不可能となる欠点があっ
た。
きい。従って、変位センサ１０２，１０３を支持する断
面形状コの字状の変位センサを取り付けた変位センサ構
造体１０５が温度差により立体的に変形し、予め定めら
れている所定の位置Ｐ1 ，Ｐ2 で測定不可能となり、測
定精度の低下の主因となっていた。この欠点を極力少な
くするためには、変位センサ構造体１０５を線膨脹率の
少ない高価な材料（例えば、アンバー）で構成しなけれ
ばならないため、圧延計測器のコストアップの要因とな
っていた。即ち、従来の圧延計測器は、圧延物体１０１
の温度が低温であり、且つ設置環境温度が安定している
場所では、正確な厚さ測定が可能であるものの、圧延物
体１０１が蓄熱している場合や設置環境の温度変化が大
きい場合は、正確な厚さ測定が不可能となる欠点があっ
た。
【０００６】そこで、本発明の目的は、温度変化に敏感
な変位センサを被計測物からの輻射熱や設置環境の温度
差の影響を受けないようにした耐熱型計測器を提供する
ことである。
な変位センサを被計測物からの輻射熱や設置環境の温度
差の影響を受けないようにした耐熱型計測器を提供する
ことである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に請求項１記載の発明は、被計測物に光を照射し該被計
測物との間隔を計測する反射式変位センサと、該反射式
変位センサを、該反射式変位センサが有する固有の最適
計測温度にせしめる温度供給手段とを備えたことを特徴
とする。請求項１記載の発明によれば、温度供給手段は
反射式変位センサを、その反射式変位センサが有する固
有の最適計測温度にする。最適計測温度にされた反射式
変位センサは、被計測物に光を照射し該被計測物との間
隔を計測する。
に請求項１記載の発明は、被計測物に光を照射し該被計
測物との間隔を計測する反射式変位センサと、該反射式
変位センサを、該反射式変位センサが有する固有の最適
計測温度にせしめる温度供給手段とを備えたことを特徴
とする。請求項１記載の発明によれば、温度供給手段は
反射式変位センサを、その反射式変位センサが有する固
有の最適計測温度にする。最適計測温度にされた反射式
変位センサは、被計測物に光を照射し該被計測物との間
隔を計測する。
【０００８】また、請求項２記載の発明は、前記温度供
給手段は、前記反射式変位センサを収納する筐体と、該
筐体内に冷却された流体を供給する冷却流体供給手段を
備えたことを特徴とする。請求項２記載の発明によれ
ば、例えば、図１に示すように、反射式変位センサ１０
２，１０３をそれぞれ第１，第２の筐体２，３に収納
し、該筐体２，３にそれぞれ冷却流体供給手段（冷却器
１３，２３、配管１２，２２、熱交換器１１，２１等）
から冷却された流体（この場合は冷風）を供給する。
給手段は、前記反射式変位センサを収納する筐体と、該
筐体内に冷却された流体を供給する冷却流体供給手段を
備えたことを特徴とする。請求項２記載の発明によれ
ば、例えば、図１に示すように、反射式変位センサ１０
２，１０３をそれぞれ第１，第２の筐体２，３に収納
し、該筐体２，３にそれぞれ冷却流体供給手段（冷却器
１３，２３、配管１２，２２、熱交換器１１，２１等）
から冷却された流体（この場合は冷風）を供給する。
【０００９】また、請求項３記載の発明は、前記筐体
は、一体構成された断面形状略コの字状の支持体の両先
端部に対向配置された第１，第２の筐体であることを特
徴とする。請求項３記載の発明によれば、例えば、図１
に示すように、断面形状コの字状の支持体（フレーム）
１の上下の先端部に第１，第２の筐体２，３を取り付け
る。
は、一体構成された断面形状略コの字状の支持体の両先
端部に対向配置された第１，第２の筐体であることを特
徴とする。請求項３記載の発明によれば、例えば、図１
に示すように、断面形状コの字状の支持体（フレーム）
１の上下の先端部に第１，第２の筐体２，３を取り付け
る。
【００１０】また、請求項４記載の発明は、前記筐体
は、相互に独立して支持された第１，第２の筐体を備え
てなり、該第１，第２の筐体のいずれか一方の筐体の他
方の筐体に対する変位を検出する筐体変位検出手段と、
該筐体変位検出手段が検出した筐体の変位の検出結果に
応じて、他方の筐体の位置を調節する筐体位置調節手段
とを備えたことを特徴とする。請求項４記載の発明によ
れば、例えば、図４に示すように、第１，第２の筐体
２，３は相互に独立して支持される。筐体変位検出手段
４３は第１の筐体２の変位を検出する。筐体位置調節手
段（位置制御装置）４４は、該第１の筐体２の変位結果
に応じて駆動装置４２を駆動して第１の筐体２を移動さ
せ、第１，第２の筐体２，３相互間の最適位置調整を行
う。
は、相互に独立して支持された第１，第２の筐体を備え
てなり、該第１，第２の筐体のいずれか一方の筐体の他
方の筐体に対する変位を検出する筐体変位検出手段と、
該筐体変位検出手段が検出した筐体の変位の検出結果に
応じて、他方の筐体の位置を調節する筐体位置調節手段
とを備えたことを特徴とする。請求項４記載の発明によ
れば、例えば、図４に示すように、第１，第２の筐体
２，３は相互に独立して支持される。筐体変位検出手段
４３は第１の筐体２の変位を検出する。筐体位置調節手
段（位置制御装置）４４は、該第１の筐体２の変位結果
に応じて駆動装置４２を駆動して第１の筐体２を移動さ
せ、第１，第２の筐体２，３相互間の最適位置調整を行
う。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施形態例
に基づいて説明する。なお、既に説明した部分には同一
符号を付し、重複記載を省略する。
に基づいて説明する。なお、既に説明した部分には同一
符号を付し、重複記載を省略する。
【００１２】（１）第１実施形態例 図１は本実施形態例の耐熱型計測器のブロック図であ
る。図１に示すように、断面形状がコの字状をしたフレ
ーム１の下辺側には回転自在な車輪１０７ａ，１０７ｂ
が取り付けられている。該フレーム１の下辺と上辺のそ
れぞれの先端部側には第１の筐体２と第２の筐体３が固
定されている。
る。図１に示すように、断面形状がコの字状をしたフレ
ーム１の下辺側には回転自在な車輪１０７ａ，１０７ｂ
が取り付けられている。該フレーム１の下辺と上辺のそ
れぞれの先端部側には第１の筐体２と第２の筐体３が固
定されている。
【００１３】該第１の筐体２と第２の筐体３の圧延物体
１０１に対向した側には、それぞれ光を透過する窓２
ａ，３ａが形成され、また、第１，第２の筐体２，３は
それぞれ断熱材２ｂ，３ｂにより周囲温度の影響を受け
ないように熱の遮断がされている。前記第１の筐体２の
内部には、センサ取付板４に第１の変位センサ１０２を
構成する発光素子１０２ａと光位置検出素子１０２ｂと
が固定されている。同様に第２の筐体３の内部には、セ
ンサ取付板５に第１の変位センサ１０３を構成する発光
素子１０３ａと光位置検出素子１０３ｂとが固定されて
いる。
１０１に対向した側には、それぞれ光を透過する窓２
ａ，３ａが形成され、また、第１，第２の筐体２，３は
それぞれ断熱材２ｂ，３ｂにより周囲温度の影響を受け
ないように熱の遮断がされている。前記第１の筐体２の
内部には、センサ取付板４に第１の変位センサ１０２を
構成する発光素子１０２ａと光位置検出素子１０２ｂと
が固定されている。同様に第２の筐体３の内部には、セ
ンサ取付板５に第１の変位センサ１０３を構成する発光
素子１０３ａと光位置検出素子１０３ｂとが固定されて
いる。
【００１４】前記第１の筐体２の内部には、筐体内空気
を循環させるためのファンを備えた熱交換器１１が配置
され、該熱交換器１１は配管１２を介して冷却器１３に
接続されている。配管１２には流量制御器１４と第１，
第２のバルブ１５ａ，１５ｂが配設されている。同様に
前記第２の筐体３の内部には、筐体内空気を循環させる
ためのファンを備えた熱交換器２１が配置され、該熱交
換器２１は配管２２を介して冷却器２３に接続されてい
る。配管２２には流量制御器２４と第３，第４のバルブ
２５ａ，２５ｂが配設されている。
を循環させるためのファンを備えた熱交換器１１が配置
され、該熱交換器１１は配管１２を介して冷却器１３に
接続されている。配管１２には流量制御器１４と第１，
第２のバルブ１５ａ，１５ｂが配設されている。同様に
前記第２の筐体３の内部には、筐体内空気を循環させる
ためのファンを備えた熱交換器２１が配置され、該熱交
換器２１は配管２２を介して冷却器２３に接続されてい
る。配管２２には流量制御器２４と第３，第４のバルブ
２５ａ，２５ｂが配設されている。
【００１５】次に動作を説明する。前述の如く変位セン
サ１０２，１０３は温度に敏感であり、所定の精度で測
定するためには、該変位センサの設置箇所の温度を精密
に制御する必要がある。
サ１０２，１０３は温度に敏感であり、所定の精度で測
定するためには、該変位センサの設置箇所の温度を精密
に制御する必要がある。
【００１６】そのために、図１に示す構成により、冷却
器１３，２３，流量制御器１４，２４等により制御され
た一定圧力，一定流量の最適温度の流体（主に水）を熱
交換器１１，２１に送り、第１，第２の筐体２，３内の
空気と熱交換をして筐体内空気を冷却する。その空気
は、熱交換器１１，２１に付属するファンによって筐体
内に拡散され、筐体内温度を安定化させる。
器１３，２３，流量制御器１４，２４等により制御され
た一定圧力，一定流量の最適温度の流体（主に水）を熱
交換器１１，２１に送り、第１，第２の筐体２，３内の
空気と熱交換をして筐体内空気を冷却する。その空気
は、熱交換器１１，２１に付属するファンによって筐体
内に拡散され、筐体内温度を安定化させる。
【００１７】これにより変位センサ１０２，１０３は、
フレーム１上で常に同じ位置に存在することになるの
で、圧延物体１０１の所定位置Ｐ1 ，Ｐ2 を測定するこ
とが可能となる。なお、図示しないが、温度安定性を精
密に制御するために筐体内に温度センサを備えてコント
ローラに接続し、冷却器１３，２３から供給する流体の
温度を制御してもよい。
フレーム１上で常に同じ位置に存在することになるの
で、圧延物体１０１の所定位置Ｐ1 ，Ｐ2 を測定するこ
とが可能となる。なお、図示しないが、温度安定性を精
密に制御するために筐体内に温度センサを備えてコント
ローラに接続し、冷却器１３，２３から供給する流体の
温度を制御してもよい。
【００１８】本実施形態例のよれば、次の効果がある。 筐体内の温度が安定化し、高価な特殊材料を使用し
なくても変位センサの測定位置が安定する。 熱交換器のファンにより、変位センサの投光側と受
光側の温度が同一温度となるので、常に圧延物体の所定
箇所を、安定した前記受発光素子の状態で測定できる。 広い温度範囲で反射式変位センサを使用することが
可能となる（次に具体的に説明する）。なお、従来は、
或る一定温度と狭い許容範囲で反射式変位センサの精密
測定が可能であった。
なくても変位センサの測定位置が安定する。 熱交換器のファンにより、変位センサの投光側と受
光側の温度が同一温度となるので、常に圧延物体の所定
箇所を、安定した前記受発光素子の状態で測定できる。 広い温度範囲で反射式変位センサを使用することが
可能となる（次に具体的に説明する）。なお、従来は、
或る一定温度と狭い許容範囲で反射式変位センサの精密
測定が可能であった。
【００１９】図２にその一例を示す。例えば、反射式変
位センサの精密測定可能範囲が±１℃の場合には、図２
に示すように、冷却器１３，２３からの供給流量が６ｌ
／ｍｉｎ時には、周囲温度が３．５℃以下〜４２℃以上
の範囲で、反射式変位センサの使用が可能となる。
位センサの精密測定可能範囲が±１℃の場合には、図２
に示すように、冷却器１３，２３からの供給流量が６ｌ
／ｍｉｎ時には、周囲温度が３．５℃以下〜４２℃以上
の範囲で、反射式変位センサの使用が可能となる。
【００２０】また、同様に±１℃の制御範囲の場合に
は、冷却器１３，２３からの供給流量が３ｌ／ｍｉｎ時
には、周囲温度が１２℃以下〜４２℃以上の範囲で、使
用が可能となる。
は、冷却器１３，２３からの供給流量が３ｌ／ｍｉｎ時
には、周囲温度が１２℃以下〜４２℃以上の範囲で、使
用が可能となる。
【００２１】（２）第２実施形態例 図３は本実施形態例のブロック図である。本実施形態例
と第１実施形態例との大きな相違点は、冷却器，加熱器
等を筐体内に配置した点である。
と第１実施形態例との大きな相違点は、冷却器，加熱器
等を筐体内に配置した点である。
【００２２】図３に示すように、第１，第２の筐体２，
３内に、安定した温度にするための冷却器３１，３４，
加熱器３２，３５および筐体内空気を循環させるための
ファン３３，３６を備え、更に筐体内の温度を安定させ
るための温度計３７ａ，３７ｂおよび筐体内温度を制御
するコントローラ３８を備えた。
３内に、安定した温度にするための冷却器３１，３４，
加熱器３２，３５および筐体内空気を循環させるための
ファン３３，３６を備え、更に筐体内の温度を安定させ
るための温度計３７ａ，３７ｂおよび筐体内温度を制御
するコントローラ３８を備えた。
【００２３】そして、温度計３７ａ，３７ｂで検出した
温度に基づきコントローラ３８の制御により第１，第２
の筐体２，３内の温度を、冷却器３１，３４、加熱器３
２，３５をオン・オフ制御し、筐体内の温度が所定温度
範囲内になるように制御する。本実施形態例の効果は、
前記第１実施形態例の効果と同じである。
温度に基づきコントローラ３８の制御により第１，第２
の筐体２，３内の温度を、冷却器３１，３４、加熱器３
２，３５をオン・オフ制御し、筐体内の温度が所定温度
範囲内になるように制御する。本実施形態例の効果は、
前記第１実施形態例の効果と同じである。
【００２４】（３）第３実施形態例 図４は本実施形態例のブロック図である。本実施形態例
と前記第１実施形態例との相違点は、第１，第２の筐体
を上下に独立支持して分離した点と、上部の第１の筐体
を移動可能とした点である。
と前記第１実施形態例との相違点は、第１，第２の筐体
を上下に独立支持して分離した点と、上部の第１の筐体
を移動可能とした点である。
【００２５】図４に示すように、第１の筐体２と第２の
筐体３とを分離し、第１の筐体２の上面には車輪４１
ａ，４１ｂを配設する。該車輪４１ａ，４１ｂは支持フ
レーム４５に懸架し、左右に移動可能である。第２の筐
体３は地上に固定設置する。
筐体３とを分離し、第１の筐体２の上面には車輪４１
ａ，４１ｂを配設する。該車輪４１ａ，４１ｂは支持フ
レーム４５に懸架し、左右に移動可能である。第２の筐
体３は地上に固定設置する。
【００２６】第１の筐体２の右方には該筐体２を左右に
駆動する駆動装置４２を配置し、該筐体２の左方には筐
体の変位を検出する筐体変位測定機構４３を配置する。
４４は筐体の変位結果に応じて駆動装置４２を駆動する
位置制御装置である。
駆動する駆動装置４２を配置し、該筐体２の左方には筐
体の変位を検出する筐体変位測定機構４３を配置する。
４４は筐体の変位結果に応じて駆動装置４２を駆動する
位置制御装置である。
【００２７】ところで、第１，第２の実施形態例の筐体
２，３は同一フレーム１に取り付けられている。従っ
て、圧延装置等の輻射熱によりフレーム１が複雑な熱変
形を起すおそれがある。即ち、上下の変化センサ１０
２，１０３は同一フレーム１（図１，図３参照）に固定
されている関係上、上の筐体は反り上り、下の筐体は反
り下りを起すおそれがあり、その場合には、上下の測定
位置を安定化させるのが困難となる。
２，３は同一フレーム１に取り付けられている。従っ
て、圧延装置等の輻射熱によりフレーム１が複雑な熱変
形を起すおそれがある。即ち、上下の変化センサ１０
２，１０３は同一フレーム１（図１，図３参照）に固定
されている関係上、上の筐体は反り上り、下の筐体は反
り下りを起すおそれがあり、その場合には、上下の測定
位置を安定化させるのが困難となる。
【００２８】そこで、本実施形態例のように構成するこ
とにより、筐体変位測定機構４３により基準位置（例え
ば、第２の筐体３の設置位置）に対して第１の筐体２が
どれだけ変位しているかを検出する。この検出データを
位置制御装置４４にフィードバックして駆動装置４２を
駆動して第１の筐体２の位置を微調整し、第１，第２の
筐体２，３のズレ（変位）を無くす。従って、輻射熱等
によりフレーム１の複雑な熱変形の影響を無くすことが
可能となり、圧延物体１０１の測定位置（ポイント）Ｐ
1 ，Ｐ2 が精微になる。
とにより、筐体変位測定機構４３により基準位置（例え
ば、第２の筐体３の設置位置）に対して第１の筐体２が
どれだけ変位しているかを検出する。この検出データを
位置制御装置４４にフィードバックして駆動装置４２を
駆動して第１の筐体２の位置を微調整し、第１，第２の
筐体２，３のズレ（変位）を無くす。従って、輻射熱等
によりフレーム１の複雑な熱変形の影響を無くすことが
可能となり、圧延物体１０１の測定位置（ポイント）Ｐ
1 ，Ｐ2 が精微になる。
【００２９】（４）第４実施形態例 図５は本実施形態例のブロック図である。本実施形態例
と前記第２実施形態例との相違点は、第１，第２の筐体
を上下に分離独立した点と、上部の第１の筐体を移動可
能とした点である。
と前記第２実施形態例との相違点は、第１，第２の筐体
を上下に分離独立した点と、上部の第１の筐体を移動可
能とした点である。
【００３０】図５に示すように、第１の筐体２と第２の
筐体３とは分離され、第１の筐体２の上面には車輪４１
ａ，４１ｂが配設されている。第２の筐体３は地上に設
置される。第１の筐体２の右方には該筐体２を左右に駆
動する駆動装置５２が配置され、該筐体２の右上方には
筐体の変位を検出する筐体変位測定機構５３が配置され
ている。５４は位置制御装置である。このように構成す
ることにより第３実施形態例と同様に、輻射熱等により
フレーム１の複雑な熱変形が少なくなり、圧延物体１０
１の測定位置（ポイント）Ｐ1 ，Ｐ 2が精微になる。
筐体３とは分離され、第１の筐体２の上面には車輪４１
ａ，４１ｂが配設されている。第２の筐体３は地上に設
置される。第１の筐体２の右方には該筐体２を左右に駆
動する駆動装置５２が配置され、該筐体２の右上方には
筐体の変位を検出する筐体変位測定機構５３が配置され
ている。５４は位置制御装置である。このように構成す
ることにより第３実施形態例と同様に、輻射熱等により
フレーム１の複雑な熱変形が少なくなり、圧延物体１０
１の測定位置（ポイント）Ｐ1 ，Ｐ 2が精微になる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように各請求項記載の発明
によれば、反射式変位センサを温度供給手段により該反
射式変位センサが有する固有の最適計測温度にしている
ので、被計測物を精度良く計測することが可能となる。
によれば、反射式変位センサを温度供給手段により該反
射式変位センサが有する固有の最適計測温度にしている
ので、被計測物を精度良く計測することが可能となる。
【図１】本発明の第１実施形態例のブロック図である。
【図２】同第１実施形態例における温度制御の具体例を
示す特性図である。
示す特性図である。
【図３】同第２実施形態例のブロック図である。
【図４】同第３実施形態例のブロック図である。
【図５】同第４実施形態例のブロック図である。
【図６】従来の圧延計測器のブロック図である。
１ フレーム（断面形状略コの字状の支持体） ２，３ 第１，第２の筐体 ２ａ，３ａ ガラス窓 ２ｂ，３ｂ 断熱材 １１，２１ 熱交換器 １３，２３ 冷却器 １０１ 圧延物体 １０２，１０３ 反射式変位センサ
Claims (4)
- 【請求項１】 被計測物に光を照射し該被計測物との間
隔を計測する反射式変位センサと、 該反射式変位センサを、該反射式変位センサが有する固
有の最適計測温度にせしめる温度供給手段とを備えたこ
とを特徴とする耐熱型計測器。 - 【請求項２】 前記温度供給手段は、前記反射式変位セ
ンサを収納する筐体と、該筐体内に冷却された流体を供
給する冷却流体供給手段を備えたことを特徴とする請求
項１記載の耐熱型計測器。 - 【請求項３】 前記筐体は、一体構成された断面形状略
コの字状の支持体の両先端部に対向配置された第１，第
２の筐体であることを特徴とする請求項２記載の耐熱型
計測器。 - 【請求項４】 前記筐体は、相互に独立して支持された
第１，第２の筐体を備えてなり、 該第１，第２の筐体のいずれか一方の筐体の他方の筐体
に対する変位を検出する筐体変位検出手段と、 該筐体変位検出手段が検出した筐体の変位の検出結果に
応じて、他方の筐体の位置を調節する筐体位置調節手段
とを備えたことを特徴とする請求項２記載の耐熱型計測
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33231496A JP3335857B2 (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | 耐熱型計測器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33231496A JP3335857B2 (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | 耐熱型計測器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10170220A true JPH10170220A (ja) | 1998-06-26 |
| JP3335857B2 JP3335857B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=18253582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33231496A Expired - Lifetime JP3335857B2 (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | 耐熱型計測器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3335857B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009128322A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置 |
| WO2010013720A1 (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-04 | 株式会社山文電気 | 温度測定方法、温度測定装置、温度制御方法、温度制御装置、補正方法、及び補正装置 |
| JP2010236954A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Kobe Steel Ltd | 放射線板厚測定装置 |
| JP2011107147A (ja) * | 2010-12-20 | 2011-06-02 | Yamabun Denki:Kk | 温度測定装置及び温度測定方法 |
| JP2012137498A (ja) * | 2004-12-16 | 2012-07-19 | Werth Messtechnik Gmbh | 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて加工物の幾何形状を測定する方法 |
| WO2013136760A1 (en) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Measuring apparatus |
| JP2014174010A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置 |
| CN105983903A (zh) * | 2015-03-23 | 2016-10-05 | 住友重机械工业株式会社 | 形状测量装置及加工装置 |
| US10429409B2 (en) | 2015-04-20 | 2019-10-01 | SZ DJI Technology Co., Ltd. | Systems and methods for thermally regulating sensor operation |
| KR20240101008A (ko) * | 2022-12-23 | 2024-07-02 | 한국전력기술 주식회사 | 도압배관의 스팀트레이싱 자동제어 장치 |
-
1996
- 1996-12-12 JP JP33231496A patent/JP3335857B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012137498A (ja) * | 2004-12-16 | 2012-07-19 | Werth Messtechnik Gmbh | 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて加工物の幾何形状を測定する方法 |
| JP2009128322A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置 |
| WO2010013720A1 (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-04 | 株式会社山文電気 | 温度測定方法、温度測定装置、温度制御方法、温度制御装置、補正方法、及び補正装置 |
| KR101394185B1 (ko) * | 2008-07-29 | 2014-05-14 | 가부시키가이샤 야마분 덴키 | 온도 측정 방법, 온도 측정 장치, 온도 제어 방법, 온도 제어 장치, 보정 방법, 및 보정 장치 |
| US8918226B2 (en) | 2008-07-29 | 2014-12-23 | Yamabun Electronics Co., Ltd. | Temperature measuring method, temperature measuring apparatus, temperature control method, temperature control apparatus, correction method, and correction apparatus |
| JP2010236954A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Kobe Steel Ltd | 放射線板厚測定装置 |
| JP2011107147A (ja) * | 2010-12-20 | 2011-06-02 | Yamabun Denki:Kk | 温度測定装置及び温度測定方法 |
| US9341468B2 (en) | 2012-02-15 | 2016-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Measuring apparatus |
| WO2013136760A1 (en) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Measuring apparatus |
| JP2013217907A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-10-24 | Canon Inc | 計測装置 |
| JP2014174010A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置 |
| CN105983903A (zh) * | 2015-03-23 | 2016-10-05 | 住友重机械工业株式会社 | 形状测量装置及加工装置 |
| US10429409B2 (en) | 2015-04-20 | 2019-10-01 | SZ DJI Technology Co., Ltd. | Systems and methods for thermally regulating sensor operation |
| US11703522B2 (en) | 2015-04-20 | 2023-07-18 | SZ DJI Technology Co., Ltd. | Systems and methods for thermally regulating sensor operation |
| US12078653B2 (en) | 2015-04-20 | 2024-09-03 | SZ DJI Technology Co., Ltd. | Systems and methods for thermally regulating sensor operation |
| KR20240101008A (ko) * | 2022-12-23 | 2024-07-02 | 한국전력기술 주식회사 | 도압배관의 스팀트레이싱 자동제어 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3335857B2 (ja) | 2002-10-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3335857B2 (ja) | 耐熱型計測器 | |
| US7092855B2 (en) | Thermo-stable coating die design method and apparatus | |
| JP6630268B2 (ja) | アイソパイプの温度プロファイル制御のための装置及び方法 | |
| JP4515509B2 (ja) | 基板表面温度計測方法、及び、これを用いた基板処理装置 | |
| JP2848704B2 (ja) | 処理装置チャンバ内におけるウェーハ膨張の光学的測定による半導体ウェーハ温度決定 | |
| JP2004039696A5 (ja) | ||
| JP4945412B2 (ja) | 厚さ測定装置 | |
| CN101479578B (zh) | 钢板的温度测定方法及温度测定装置以及钢板的温度控制方法 | |
| JP2001141679A (ja) | 線膨張係数測定装置 | |
| JP3148512B2 (ja) | 駆動装置 | |
| JP5173225B2 (ja) | 加熱システム | |
| JP2001054839A (ja) | 機械の熱変位低減装置 | |
| US20230390962A1 (en) | Systems and methods for controlling surface profiles of wafers sliced in a wire saw | |
| JP2005083920A (ja) | 線膨張係数測定装置 | |
| JP3970510B2 (ja) | 線膨張係数測定装置 | |
| JPH07302124A (ja) | 駆動装置 | |
| JP4938552B2 (ja) | 加熱装置および加熱装置の制御方法 | |
| JP2002187190A (ja) | シートの製造方法および口金スリット間隙プロファイルの測定装置 | |
| JPS6250627A (ja) | 基板の表面温度の制御方法 | |
| JP2000081918A (ja) | 加熱装置 | |
| RU2009102544A (ru) | Установка для измерения температуры ленты в печи для отжига плоского стекла и способ работы печи для отжига | |
| JPH11176730A (ja) | 露光装置 | |
| KR200240059Y1 (ko) | 반도체장치의열처리장치에서의온도조절장치 | |
| JPH06213841A (ja) | 示差熱分析装置 | |
| JPH0427496B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070802 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080802 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090802 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090802 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100802 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100802 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110802 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110802 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120802 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120802 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130802 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |