JPH10172283A - 半導体記憶装置及びシステム - Google Patents

半導体記憶装置及びシステム

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JPH10172283A
JPH10172283A JP8346672A JP34667296A JPH10172283A JP H10172283 A JPH10172283 A JP H10172283A JP 8346672 A JP8346672 A JP 8346672A JP 34667296 A JP34667296 A JP 34667296A JP H10172283 A JPH10172283 A JP H10172283A
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JP
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bank
address
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data
banks
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JP8346672A
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Atsuko Monma
敦子 門馬
Tsuratoki Ooishi
貫時 大石
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 その利便性を低下させることなく、シンクロ
ナスDRAM等のシリアル入出力動作のサイクルタイム
を高速化する。これにより、これを含むコンピュータ等
のマシンサイクルを高速化し、そのシステム柔軟性を高
める。 【解決手段】 例えば4個のバンクBNK0〜BNK3
を備えるシンクロナスDRAM等において、ロウアドレ
スレジスタRA又はカラムアドレスカウンタCCを介し
て入力されるロウアドレス及びカラムアドレスをすべて
のバンクに一斉に与え、これらのバンクを一斉にかつ同
一アドレスで活性状態とする全バンクアクセスモードを
用意するとともに、そのデータ入出力回路IOに、活性
状態にある4個のバンクBNK0〜BNK3の読み出し
データをバンクアドレス信号A12〜A13に従って択
一的に選択してシリアル出力し、あるいはアクセス装置
からシリアル入力される書き込みデータをバンクアドレ
ス信号A12〜A13に従って択一的にバンクBNK0
〜BNK3に伝達する機能を持たせる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体記憶装置及
びシステムに関し、例えば、シンクロナスDRAM(ラ
ンダムアクセスメモリ)及びこれを含むコンピュータな
らびにそのサイクルタイムの高速化に利用して特に有効
な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】複数のバンクを具備し、所定のクロック
信号に従って同期動作するいわゆるシンクロナスDRA
Mがある。シンクロナスDRAMは、バンクならびにバ
ンク内のロウアドレスを指定してワード線選択を行うた
めのアクティブコマンドと、バンク内のカラムアドレス
を指定してビット線選択を行うためのリードコマンド又
はライトコマンドとを備える。バンク内のロウアドレス
及びカラムアドレスは、バンクごとに独立に指定するこ
とができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本願発明者等がこの発
明に先立って開発したシンクロナスDRAMにおいて、
カラムアドレスを切り換えながら行われるシリアル読み
出し動作のサイクルタイムtckは、図9に例示される
ように、アドレス入力端子A0〜A13を介して入力さ
れるカラムアドレス信号がクロック信号CLKの立ち上
がりエッジに同期して取り込まれてから読み出しデータ
RDTが出力されるまで、つまりカラムアドレスデコー
ダの動作時間を含む読み出し所要時間trにより律則さ
れる。この時間は、約10ns(ナノ秒)から20ns
程度に達し、このことがシンクロナスDRAMのシリア
ル入出力動作を遅くする一因となっている。
【0004】一方、複数のバンクを備えるダイナミック
型RAM等では、ニブルモードのように、カラムアドレ
スの切り換えを伴わない高速の連続アクセスモードが用
意される。しかし、これらのモードは、バンクの選択順
序が内部カウンタの歩進モードによって固定化されるた
め、ユーザからみたダイナミック型RAM等の利便性が
低下し、これを含むコンピュータ等のシステム柔軟性が
低下する。
【0005】この発明の目的は、その利便性を低下させ
これを含むコンピュータ等のシステム柔軟性を低下させ
ることなく、シンクロナスDRAM等のシリアル入出力
動作のサイクルタイムを高速化することにある。
【0006】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、複数のバンクを備えるシンク
ロナスDRAM等において、ロウアドレス及びカラムア
ドレスをすべてのバンクに一斉に与え、これらのバンク
を一斉にかつ同一アドレスで活性状態とする全バンクア
クセスモードを用意するとともに、そのデータ入出力回
路に、活性状態にある複数のバンクの読み出しデータを
バンクアドレス信号に従って択一的に選択してシリアル
出力し、あるいはアクセス装置からシリアル入力される
書き込みデータをバンクアドレス信号に従って択一的に
複数のバンクに伝達する機能を持たせる。
【0008】上記した手段によれば、比較的ビット数の
多いカラムアドレス信号のデコード時間による制約を受
けることなく、しかも複数のバンクを任意の順序で指定
しながら、記憶データのシリアル入出力動作を高速に実
現できるため、その利便性を低下させることなく、シン
クロナスDRAM等のサイクルタイムを高速化すること
ができる。この結果、シンクロナスDRAM等を含むコ
ンピュータ等のマシンサイクルを高速化し、そのシステ
ム柔軟性を高めることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】図1には、この発明が適用された
シンクロナスDRAM(半導体記憶装置)の一実施例の
ブロック図が示されている。同図をもとに、まずこの実
施例のシンクロナスDRAMの構成及び動作の概要につ
いて説明する。なお、図1の各ブロックを構成する回路
素子は、特に制限されないが、公知のMOSFET(金
属酸化物半導体型電界効果トランジスタ。この明細書で
は、MOSFETをして絶縁ゲート型電界効果トランジ
スタの総称とする)集積回路の製造技術により、単結晶
シリコンのような1個の半導体基板上に形成される。
【0010】図1において、この実施例のシンクロナス
DRAMは、n個つまり4個のバンクBNK0〜BNK
3を備え、これらのバンクのそれぞれは、そのレイアウ
ト面積の大半を占めて配置されるメモリアレイMARY
と、直接周辺回路となるロウアドレスデコーダRD,セ
ンスアンプSA,カラムアドレスデコーダCDならびに
ライトアンプWA及びメインアンプMAとを備える。
【0011】バンクBNK0〜BNK3を構成するメモ
リアレイMARYは、図の垂直方向に平行して配置され
る所定数のワード線と、水平方向に平行して配置される
所定組の相補ビット線とをそれぞれ含む。これらのワー
ド線及び相補ビット線の交点には、情報蓄積キャパシタ
及びアドレス選択MOSFETからなる多数のダイナミ
ック型メモリセルがそれぞれ格子状に配置される。
【0012】バンクBNK0〜BNK3のメモリアレイ
MARYを構成するワード線は、対応するロウアドレス
デコーダRDに結合され、それぞれ択一的に選択状態と
される。これらのロウアドレスデコーダRDには、特に
制限されないが、ロウアドレスレジスタRAから12ビ
ットの内部アドレス信号X0〜X11が共通に供給さ
れ、タイミング発生回路TGから内部制御信号RGが共
通に供給される。また、ロウアドレスレジスタRAに
は、アドレスバッファABを介してXアドレス信号AX
0〜AX11(ロウアドレス信号)が供給され、タイミ
ング発生回路TGから内部制御信号RLが供給される。
さらに、アドレスバッファABには、外部のアクセス装
置からアドレス入力端子A0〜A11(第2の外部端
子)を介してXアドレス信号AX0〜AX11ならびに
Yアドレス信号AY0〜AY9が時分割的に供給され、
アドレス入力端子A12及びA13(第1の外部端子)
を介して2ビットのバンクアドレス信号BA0及びBA
1が供給される。
【0013】アドレスバッファABは、アドレス入力端
子A0〜A11を介して時分割的に入力されるXアドレ
ス信号AX0〜AX11ならびにYアドレス信号AY0
〜AY9と、アドレス入力端子A12及びA13を介し
て入力されるバンクアドレス信号BA0及びBA1を取
り込み、ロウアドレスレジスタRA,カラムアドレスカ
ウンタCC,バンクアドレスレジスタBA,データ入出
力選択回路DSならびにモードレジスタMRに伝達す
る。バンクアドレスレジスタBAには、さらに、タイミ
ング発生回路TGから内部制御信号BLが供給される。
また、データ入出力選択回路DSには、内部制御信号B
Cが供給され、モードレジスタMRには、図示されない
内部制御信号MSが供給される。
【0014】ここで、バンクアドレスレジスタBAは、
アドレスバッファABから伝達されるバンクアドレス信
号BA0及びBA1を内部制御信号BLに従って取り込
み、保持するとともに、内部バンクアドレス信号B0及
びB1としてバンク選択回路BSに伝達する。バンク選
択回路BSには、モードレジスタMRからモード制御信
号ABMが供給される。なお、モード制御信号ABM
は、シンクロナスDRAMが全バンクアクセスモード
(第1の動作モード)とされるとき、選択的にハイレベ
ルとされる。この全バンクアクセスモードにおいて、ロ
ウアドレスレジスタRA及びカラムアドレスカウンタC
Cを介して入力されるXアドレス信号AX0〜AX11
ならびにYアドレス信号AY0〜AY9は、すべてのバ
ンクBNK0〜BNK3に一斉に入力され、これらのバ
ンクBNK0〜BNK3は、一斉にしかも同一アドレス
で活性状態とされる。また、シンクロナスDRAMは、
モードレジスタセットコマンドにより対応する所定のモ
ードデータがモードレジスタMRに書き込まれること
で、選択的に全バンクアクセスモードとされる。
【0015】バンク選択回路BSは、バンクアドレスレ
ジスタBAから供給される2ビットの内部バンクアドレ
ス信号B0及びB1をデコードして、バンク選択信号B
S0〜BS3を所定のタイミングで択一的にハイレベル
とする。これらのバンク選択信号BS0〜BS3は、バ
ンクBNK0〜BNK3にそれぞれ供給され、その周辺
回路たるロウアドレスデコーダRD,カラムアドレスデ
コーダCD,センスアンプSAならびにライトアンプW
A及びメインアンプMA等を選択的に動作させるために
供される。なお、シンクロナスDRAMが全バンクアク
セスモードとされモード制御信号ABMがハイレベルと
されるとき、バンク選択回路BSはバンク選択信号BS
0〜BS3を一斉にハイレベルとする。
【0016】ロウアドレスレジスタRAは、アドレスバ
ッファABから伝達されるXアドレス信号AX0〜AX
11を内部制御信号RLに従って取り込み、保持すると
ともに、これらのXアドレス信号をもとに内部アドレス
信号X0〜X11を形成し、バンクBNK0〜BNK3
のロウアドレスデコーダRDに供給する。
【0017】バンクBNK0〜BNK3のロウアドレス
デコーダRDは、内部制御信号RGがハイレベルとされ
かつ対応するバンク選択信号BS0〜BS3がハイレベ
ルとされることでそれぞれ選択的に動作状態とされ、ロ
ウアドレスレジスタRAから供給される内部アドレス信
号X0〜X11をデコードして、対応するメモリアレイ
MARYの指定されたワード線を択一的に選択状態とす
る。なお、バンクBNK0〜BNK3のメモリアレイM
ARYにおいて一旦選択状態となったワード線は、プリ
チャージコマンドあるいはプリチャージをともなうリー
ド又はライトコマンド等が実行されるまで非選択状態と
されない。また、シンクロナスDRAMが全バンクアク
セスモードとされるとき、バンク選択信号BS0〜BS
3は、前述のように、一斉にハイレベルとされるため、
バンクBNK0〜BNK3のメモリアレイMARYで
は、内部アドレス信号X0〜X11によって指定される
同一ロウアドレスのワード線が一斉に選択状態とされ
る。
【0018】次に、バンクBNK0〜BNK3のメモリ
アレイMARYを構成する相補ビット線は、対応するセ
ンスアンプSAに結合される。各バンクのセンスアンプ
SAには、対応するカラムアドレスデコーダCDから図
示されない所定ビットのビット線選択信号がそれぞれ供
給され、タイミング発生回路TGから図示されない内部
制御信号PAが共通に供給される。また、各バンクのカ
ラムアドレスデコーダCDには、カラムアドレスカウン
タCCから10ビットの内部アドレス信号Y0〜Y9が
共通に供給され、タイミング発生回路TGから図示され
ない内部制御信号CGが共通に供給される。カラムアド
レスカウンタCCには、アドレスバッファABを介して
Yアドレス信号AY0〜AY9(カラムアドレス信号)
が供給され、タイミング発生回路TGから内部制御信号
CLが供給される。
【0019】カラムアドレスカウンタCCは、図示され
ない内部制御信号に従って歩進動作を行うバイナリーカ
ウンタを含む。このカウンタは、アドレスバッファAB
を介して供給されるYアドレス信号AY0〜AY9を内
部制御信号CLに従って取り込み、保持する。また、こ
れらのYアドレス信号AY0〜AY9を初期値として歩
進動作を行い、内部アドレス信号Y0〜Y9を順次形成
して、バンクBNK0〜BNK3のカラムアドレスデコ
ーダCDに供給する。
【0020】このとき、各バンクのカラムアドレスデコ
ーダCDは、内部制御信号CGがハイレベルとされかつ
対応するバンク選択信号BS0〜BS3がハイレベルと
されることでそれぞれ選択的に動作状態とされ、内部ア
ドレス信号Y0〜Y9をデコードして、ビット線選択信
号の対応するビットを択一的にハイレベルとする。な
お、シンクロナスDRAMが全バンクアクセスモードと
されるとき、バンク選択信号BS0〜BS3は一斉にハ
イレベルとされるため、各バンクのカラムアドレスデコ
ーダCDでは、内部アドレス信号Y0〜Y9によって指
定される同一カラムアドレスのビット線選択信号が一斉
にハイレベルとされる。
【0021】データ入出力選択回路DSは、アドレスバ
ッファABから供給されるアドレス信号A12及びA1
3つまりバンクアドレス信号BA0及びBA1を内部制
御信号BCに従って取り込み、保持するとともに、これ
らのバンクアドレス信号をデコードして、データ選択信
号DS0〜DS3の対応するビットを所定のタイミング
で択一的にハイレベルとする。なお、データ選択信号D
S0〜DS3がハイレベルとされるタイミングは、シン
クロナスDRAMの動作モードによって異なるが、その
具体的時間関係については後の説明から明らかとなろ
う。
【0022】モードレジスタMRは、モードレジスタセ
ットコマンドが実行されるとき、アドレス入力端子A0
〜A13の所定ビットを介して入力されるモードデータ
を内部制御信号MSに従って取り込み、保持する。ま
た、これらのモードデータをデコードしてシンクロナス
DRAMの動作モードを決定し、前記モード制御信号A
BMを含む各種モード制御信号を選択的に形成して、各
部に供給する。
【0023】バンクBNK0〜BNK3のセンスアンプ
SAは、対応するメモリアレイMARYの各相補ビット
線に対応して設けられる所定数の単位回路を含み、これ
らの単位回路のそれぞれは、一対のCMOSインバータ
が交差結合されてなる単位増幅回路と、Nチャンネル型
の一対のスイッチMOSFETとを含む。このうち、各
単位増幅回路は、図示されない内部制御信号PAがハイ
レベルとされかつ対応するバンク選択信号BS0〜BS
3がハイレベルとされることで選択的にかつ一斉に動作
状態とされ、各メモリアレイMARYの選択ワード線に
結合される所定数のメモリセルから対応する相補ビット
線を介して出力される微小読み出し信号を増幅して、ハ
イレベル又はロウレベルの2値読み出し信号とする。
【0024】一方、各単位回路のスイッチMOSFET
対は、対応するビット線選択信号のハイレベルを受けて
4組ずつ選択的にオン状態となり、対応するメモリアレ
イMARYの対応する4組の相補ビット線と相補共通デ
ータ線CD0*〜CD3*(ここで、例えば非反転共通
データ線CD0T及び反転共通データ線CD0Bを、合
わせて相補共通データ線CD0*のように*を付して表
す。また、それが有効とされるとき選択的にハイレベル
とされるいわゆる非反転信号等については、その名称の
末尾にTを付して表し、それが有効とされるとき選択的
にロウレベルとされるいわゆる反転信号等については、
その名称の末尾にBを付して表す。以下同様)との間を
選択的に接続状態とする。
【0025】相補共通データ線CD0*〜CD3*は、
対応するライトアンプWAの各単位回路の出力端子にそ
れぞれ結合されるとともに、対応するメインアンプMA
の各単位回路の入力端子にそれぞれ結合される。
【0026】ライトアンプWA及びメインアンプMA
は、相補共通データ線CD0*〜CD3*に対応して設
けられる4個の単位回路をそれぞれ備える。このうち、
ライトアンプWAの各単位回路の入力端子は、書き込み
データバスWDB00〜WDB03ないしWDB30〜
WDB33を介してデータ入出力回路IOの対応する単
位データ入出力回路UIO0〜UIO3の出力端子にそ
れぞれ結合され、メインアンプMAの各単位回路の出力
端子は、読み出しデータバスRDB00〜RDB03な
いしRDB30〜RDB33を介してデータ入出力回路
IOの対応する単位データ入出力回路UIO0〜UIO
3の入力端子にそれぞれ結合される。データ入出力回路
IOの各単位データ入出力回路の入力端子及び出力端子
は、対応するデータ入出力端子D0〜D3にそれぞれ共
通結合される。また、これらの単位データ入出力回路U
IO0〜UIO3には、タイミング発生回路TGから出
力制御信号つまり内部制御信号OCが共通に供給され
る。
【0027】データ入出力回路IOの各単位データ入出
力回路は、シンクロナスDRAMが書き込みモードで選
択状態とされるとき、前段のアクセス装置からデータ入
出力端子D0〜D3を介して入力される4ビットの書き
込みデータを取り込み、保持するとともに、バンクアド
レス信号BA0〜BA1つまりはデータ選択信号DS0
〜DS3に従って選択的に書き込みデータバスWDB0
0〜WDB03ないしWDB30〜WDB33に出力
し、指定されたバンクBNK0〜BNK3のライトアン
プWAに伝達する。このとき、ライトアンプWAの各単
位回路は、内部制御信号WPがハイレベルとされかつ対
応するバンク選択信号BS0〜BS3がハイレベルとさ
れることで選択的に動作状態とされ、データ入力バッフ
ァIBの各単位回路から書き込みデータバスWDB00
〜WDB03ないしWDB30〜WDB33を介して伝
達される書き込みデータを所定の相補書き込み信号に変
換した後、相補共通データ線CD0*〜CD3*を介し
て対応するメモリアレイMARYの選択状態にある4個
のメモリセルに書き込む。
【0028】一方、バンクBNK0〜BNK3のメイン
アンプMAの各単位回路は、図示されない内部制御信号
RPがハイレベルとされかつ対応するバンク選択信号B
S0〜BS3がハイレベルとされることで選択的に動作
状態とされ、対応するメモリアレイMARYの選択され
た4個のメモリセルから相補共通データ線CD0*〜C
D3*を介して出力される読み出し信号をそれぞれ増幅
し、読み出しデータバスRDB00〜RDB03ないし
RDB30〜RDB33を介してデータ入出力回路IO
の対応する単位データ入出力回路に伝達する。このと
き、データ出力バッファOBの各単位データ入出力回路
の出力バッファは、内部制御信号OCのハイレベルを受
けて選択的に動作状態とされ、バンクアドレス信号BA
0〜BA1つまりはデータ選択信号DS0〜DS3によ
り指定されるバンクのメインアンプMAの対応する単位
回路から読み出しデータバスRDB00〜RDB03な
いしRDB30〜RDB33を介して伝達される読み出
しデータを、データ入出力端子D0〜D3を介して外部
のアクセス装置に出力する。
【0029】なお、シンクロナスDRAMが全バンクア
クセスモードとされるとき、アドレス信号A12〜A1
3つまりバンクアドレス信号BA0〜BA1は、カラム
アドレス信号つまりYアドレス信号Y0〜Y9が一回変
化されるごとに4回変化される。言い換えるならば、こ
の実施例のシンクロナスDRAMのCASアクセスタイ
ムは、依然カラムアドレスデコーダCDによる内部アド
レス信号Y0〜Y9のデコード時間による制約を受ける
が、データ入出力回路IOによるバンクの選択動作は、
n分の1つまり4分の1の時間で行われ、このデータ入
出力回路IOによるバンクの選択所要時間に応じてクロ
ック信号CLKの周波数が決定される。この結果、一斉
にかつ同一アドレスで活性状態とされている4個のバン
クBNK0〜BNK3をバンクアドレス信号BA0〜B
A1に従って順次選択し、記憶データを高速裏にシリア
ル入出力することができる。なお、シンクロナスDRA
Mのシリアル入出力動作については、後で詳細に説明す
る。
【0030】タイミング発生回路TGは、前段のアクセ
ス装置から起動制御信号として供給されるチップ選択信
号CSB,ロウアドレスストローブ信号RASB,カラ
ムアドレスストローブ信号CASB,ライトイネーブル
信号WEBならびに入出力マスク信号DQMと、クロッ
ク信号CLK及びクロックイネーブル信号CKEとをも
とに上記各種内部制御信号を選択的に形成し、各部に供
給する。
【0031】図2には、図1のシンクロナスDRAMに
含まれるデータ入出力回路IOの一実施例のブロック図
が示されている。同図をもとに、この実施例のシンクロ
ナスDRAMのデータ入出力回路IOの具体的構成及び
動作ならびにその特徴について説明する。なお、図2な
らびに以下の記述では、単位データ入出力回路UIO0
をもって単位データ入出力回路UIO0〜UIO3を説
明する。
【0032】図2において、データ入出力回路IOは、
データ入出力端子D0〜D3に対応して設けられる4個
の単位データ入出力回路UIO0〜UIO3を備え、こ
れらの単位データ入出力回路のそれぞれは、単位データ
入出力回路UIO0に代表されるように、ともに4個の
単位回路からなる読み出しデータラッチRDLT0及び
書き込みデータラッチWDLT0と、一対のインバータ
V1及びV2が交差結合されてなる出力ラッチOL0
と、出力バッファOB及び入力バッファIBとを含む。
このうち、読み出しデータラッチRDLT0の各単位回
路の入力端子は、読み出しデータバスRDB00〜RD
B03ないしRDB30〜RDB33の対応するビッ
ト、つまり読み出しデータバスRDB00,RDB1
0,RDB20ならびにRDB30にそれぞれ結合さ
れ、書き込みデータラッチWDLT0の各単位回路の出
力端子は、書き込みデータバスWDB00〜WDB03
ないしWDB30〜WDB33の対応するビット、つま
り書き込みデータバスWDB00,WDB10,WDB
20ならびにWDB30にそれぞれ結合される。
【0033】読み出しデータラッチRDLT0の各単位
回路の出力端子は、NチャンネルMOSFETN1〜N
4を介して出力ラッチOL0の入力端子つまり、インバ
ータV1の入力端子及びインバータV2の出力端子に結
合される。この出力ラッチOL0の出力端子つまりイン
バータV1の出力端子及びインバータV2の入力端子
は、出力バッファOBの入力端子に結合され、出力バッ
ファOBの出力端子は、データ入出力端子D0に結合さ
れる。読み出しデータラッチRDLT0の各単位回路に
は、タイミング発生回路TGから内部制御信号DLが共
通に供給される。また、MOSFETN1〜N4のゲー
トには、データ入出力選択回路DSから対応するデータ
選択信号DS0〜DS3がそれぞれ供給され、出力バッ
ファOBには、タイミング発生回路TGから内部制御信
号OCが供給される。
【0034】読み出しデータラッチRDLT0の各単位
回路は、シンクロナスDRAMが読み出しモードとされ
るとき、バンクBNK0〜BNK3の選択されたメモリ
セルから対応する読み出しデータバスRDB00〜RD
B30を介して出力される読み出しデータを内部制御信
号DLに従って取り込み、保持する。このとき、MOS
FETN1〜N4は、対応するデータ選択信号DS0〜
DS3のハイレベルを受けて択一的にオン状態となり、
読み出しデータラッチRDLT0の対応する単位回路に
保持される読み出しデータを出力ラッチOL0に伝達す
る。出力バッファOBは、内部制御信号OCのハイレベ
ルを受けて選択的に動作状態となり、出力ラッチOL0
に保持される読み出しデータをデータ入出力端子D0か
ら外部のアクセス装置に出力する。なお、内部制御信号
OCがロウレベルとされるとき、出力バッファOBの出
力端子はハイインピーダンス状態とされる。
【0035】次に、書き込みデータラッチWDLT0の
各単位回路の入力端子は、対応するNチャンネルMOS
FETN5〜N8を介して入力バッファIBの出力端子
に結合される。入力バッファIBの入力端子は、データ
入出力端子D0に共通結合される。MOSFETN5〜
N8のゲートには、データ入出力選択回路DSから対応
するデータ選択信号DS0〜DS3がそれぞれ供給され
る。
【0036】入力バッファIBは、シンクロナスDRA
Mが書き込みモードとされるとき、外部のアクセス装置
からデータ入出力端子D0を介して供給される書き込み
データを取り込む。このとき、MOSFETN5〜N8
は、対応するデータ選択信号DS0〜DS3のハイレベ
ルを受けて択一的にオン状態となり、入力バッファIB
から伝達される書き込みデータを書き込みデータラッチ
WDLT0の対応する単位回路に入力する。書き込みデ
ータラッチWDLT0の各単位回路は、これらの書き込
みデータを保持し、書き込みデータバスWDB00〜W
DB30を介してバンクBNK0〜BNK3のライトア
ンプWAに伝達する。
【0037】ところで、データ入出力選択回路DSから
出力されるデータ選択信号DS0〜DS3は、シンクロ
ナスDRAMが通常の読み出し又は書き込みモードとさ
れるとき、バンクアドレス信号BA0〜BA1に従って
排他的にかつ択一的にハイレベルとされる。このとき、
バンクBNK0〜BNK3は、やはりバンクアドレス信
号BA0〜BA1に従って排他的にかつ択一的に活性状
態とされる。したがって、データ入出力端子D0には、
活性状態にある1個のバンクの読み出しデータのみが出
力されるとともに、データ入出力端子D0を介して入力
される書き込みデータは、活性状態にある1個のバンク
にのみ伝達される。
【0038】一方、シンクロナスDRAMが全バンクア
クセスモードによる読み出し又は書き込みモードとされ
るとき、データ選択信号DS0〜DS3は、クロック信
号CLKに同期して変化されるバンクアドレス信号BA
0〜BA1に応じて順次交互にかつ択一的にハイレベル
とされる。このとき、バンクBNK0〜BNK3は、前
述のように、一斉にかつ同一アドレスで活性状態とされ
る。したがって、データ入出力端子D0には、活性状態
にある4個のバンクの4ビットの読み出しデータが、順
次交互につまりシリアルに出力され、データ入出力端子
D0からクロック信号CLKに同期してシリアルに入力
される書き込みデータは、活性状態にある4個のバンク
に順次振り分けて伝達され、書き込まれる。
【0039】図3には、図1のシンクロナスDRAMの
バンク個別アクセスモード(第2の動作モード)による
読み出し動作つまりバンク個別読み出し動作の一実施例
の信号波形図が示されている。また、図4には、図1の
シンクロナスDRAMの全バンクアクセスモードによる
バンクシリアル読み出し動作の一実施例の信号波形図が
示され、図5には、その全バンクアクセスモードによる
バンクシリアル書き込み動作の一実施例の信号波形図が
示されている。これらの図をもとに、この実施例のシン
クロナスDRAMの各動作モードにおける各部の信号波
形と具体的動作ならびにその特徴について説明する。な
お、図3ないし図5の信号波形は、シンクロナスDRA
Mをバンク個別アクセスモード又は全バンクアクセスモ
ードとするためのモードレジスタセットコマンドと、指
定された1個又は4個のバンクを活性状態とするための
バンクアクティブコマンドとがすでに実行された後の状
態で示されている。また、図4及び図5では、バンク選
択信号BS0〜BS3つまりデータ選択信号DS0〜D
S3が番号順に順次ハイレベルとされるものとしている
が、この順序が、バンクアドレス信号BA0〜BA1の
入力方法に応じて任意に指定できるものであることは言
うまでもない。
【0040】まず、図3において、シンクロナスDRA
Mは、バンク個別アクセスモードとされ、モードレジス
タMRから出力されるモード制御信号ABMは、回路の
接地電位のようなロウレベルに固定される。カラムアド
レスストローブ信号CASBは、クロック信号CLKの
立ち下がりを受けてロウレベルとされ、次の立ち下がり
でハイレベルに戻される。アドレス入力端子A0〜A9
には、カラムアドレスストローブ信号CASBのロウレ
ベルに同期して、Yアドレス信号AY0〜AY9がビッ
ト線選択信号YS0を指定する組み合わせで供給され、
アドレス入力端子A12及びA13には、バンクアドレ
ス信号BA0及びBA1がバンク選択信号BS0つまり
バンクBNK0を指定する組み合わせで供給される。
【0041】バンクアドレス信号BA0及びBA1は、
前記のように、内部制御信号BLに従ってバンク選択回
路BSに取り込まれ、ただちに対応するバンク選択信号
BS0が択一的にハイレベルとされる。また、Yアドレ
ス信号AY0〜AY9は、内部制御信号CLに従ってカ
ラムアドレスカウンタCCに取り込まれ、ビット線選択
信号YS0を択一的にハイレベルとするためのデコード
動作が開始される。しかし、カラムアドレスカウンタC
CによるYアドレス信号のデコード動作は、そのビット
数が多いために比較的長い時間が必要となり、指定され
たバンクBNK0に対応する読み出しデータバスRDB
00〜RDB03には、CASアクセスタイムに相当す
る所定時間trが経過した時点で指定されたビット線選
択信号YS0に対応する4ビットの読み出しデータ(Y
S0)が出力される。
【0042】読み出しデータバスRDB00〜RDB0
3に出力された4ビットの読み出しデータ(YS0)
は、内部制御信号DLのハイレベルを受けてデータ入出
力回路IOの読み出しデータラッチRDLT0〜RDL
T3に取り込まれる。また、これらの読み出しデータが
読み出しデータラッチRDLT0〜RDLT3に取り込
まれた時点で、バンクアドレス信号BA0及びBA1に
対応するデータ選択信号DS0がハイレベルとされ、こ
れによって読み出しデータラッチRDLT0〜RDLT
3に取り込まれた読み出しデータが出力ラッチOL0〜
OL3に伝達される。このとき、出力バッファOBは、
内部制御信号OCのハイレベルを受けてすでに動作状態
にあるため、出力ラッチOL0〜OL3に伝達された読
み出しデータはただちにデータ入出力端子D0〜D3を
介して出力される。
【0043】以下、カラムアドレスストローブ信号CA
SBがロウレベルとされるごとに、指定された1個のバ
ンクに対する4ビット単位の読み出し動作が繰り返さ
れ、データ入出力端子D0〜D3には、クロック信号C
LKの4サイクルを周期として4ビットの読み出しデー
タが順次出力される。前述のように、カラムアドレスカ
ウンタCCによるYアドレス信号AY0〜AY9のデコ
ード動作には比較的長い時間が必要となり、Yアドレス
信号AY0〜AY9を変化させながら行われる読み出し
動作の繰り返し周期は、クロック信号CLKの4サイク
ル分に相当する比較的長い周期となる。ただ、この実施
例の場合、クロック信号CLKの周期は、前記図9に掲
げた従来のシンクロナスDRAMの4分の1に短縮され
るため、バンク個別アクセスモードのサイクルタイムは
ほぼ従来通りである。
【0044】次に、図4において、シンクロナスDRA
Mは、モード制御信号ABMがハイレベルとされること
で全バンクアクセスモードとされ、さらに図示されない
ライトイネーブル信号WEBがハイレベルとされること
でバンクシリアル読み出し動作とされる。このとき、カ
ラムアドレスストローブ信号CASBは、クロック信号
CLKの4サイクルごとにロウレベルとされ、アドレス
入力端子A0〜A9には、Yアドレス信号AY0〜AY
9がまずビット線選択信号YS0を指定する組み合わせ
で供給される。また、アドレス入力端子A12及びA1
3には、クロック信号CLKのサイクルごとに、バンク
アドレス信号BA0及びBA1がバンク選択信号BS0
〜BS3を順次指定する組み合わせで供給される。
【0045】このバンクシリアル読み出し動作におい
て、シンクロナスDRAMは、前述のように、すでに全
バンクアクセスモードに設定され、図示されないバンク
選択信号BS0〜BS3は一斉にハイレベルとされた状
態にある。このため、バンクBNK0〜BNK3は、同
一アドレスつまりビット線選択信号YS0を指定すべく
一斉に活性状態とされ、読み出しデータバスRDB00
〜RDB03ないしRDB30〜RDB33には、CA
Sアクセスタイムに相当する時間trが経過した時点
で、バンクBNK0〜BNK3のビット線選択信号YS
0に対応した合計16ビットの読み出しデータが出力さ
れる。また、クロック信号CLKに同期して入力される
バンクアドレス信号BA0及びBA1は、順次データ入
出力選択回路DSに取り込まれ、デコードされるが、デ
ータ選択信号DS0〜DS3は、バンクBNK0〜BN
K3のビット線選択信号YS0に対応する合計16ビッ
トの読み出しデータがデータ入出力回路IOの読み出し
データラッチRDLT0〜RDLT3に取り込まれた時
点から、順次択一的にハイレベルとされる。
【0046】これにより、データ入出力端子D0〜D3
には、まずバンクBNK0のビット線選択信号YS0に
対応した読み出しデータD00が出力された後、クロッ
ク信号CLKに同期してバンクBNK1〜BNK3のビ
ット線選択信号YS0に対応した読み出しデータD10
〜D30が順次シリアル出力される。以下、Yアドレス
信号AY0〜AY9の変化に応じてビット線選択信号が
変化され、同様なクロック信号CLKに同期したシリア
ル読み出し動作が継続される。
【0047】ところで、バンクBNK0〜BNK3から
読み出しデータバスRDB00〜RDB03ないしRD
B30〜RDB33を介して出力される読み出しデータ
は、内部制御信号DLに従ってデータ入出力回路IOの
読み出しデータラッチRDLT0〜RDLT3に取り込
まれ、保持される。このため、バンクBNK0〜BNK
3は、カラムアドレスストローブ信号CASBが次にロ
ウレベルとされた時点でこれらの読み出しデータを放棄
し、次なるYアドレス信号AY0〜AY9のデコード動
作に移ることができる。読み出しデータラッチRDLT
0〜RDLT3に取り込まれた読み出しデータは、デー
タ選択信号DS0〜DS3のハイレベルを受けてデータ
入出力回路IOの出力バッファOBに伝達され、クロッ
ク信号CLKに同期してデータ入出力端子D0〜D3か
らシリアル出力される。
【0048】前述のように、データ入出力選択回路DS
によるバンクアドレス信号BA0及びBA1のデコード
動作ならびにデータ選択信号DS0〜DS3による読み
出しデータの選択動作は、その論理構成が単純なために
短時間で終了し、例えば4ns程度の極めて短い周期と
されるクロック信号CLKに同期することができる。こ
の結果、バンクシリアル読み出し動作におけるシンクロ
ナスDRAMのサイクルタイムは、従来のシンクロナス
DRAMに比較して4分の1となり、これによって例え
ばシンクロナスDRAMをフレームメモリFLMとして
含むコンピュータ等のマシンサイクルが高速化される。
また、上記説明から明らかなように、シンクロナスDR
AMは、従来と同様、任意のバンクを指定して実行可能
なバンク個別アクセスモードを有するとともに、全バン
クアクセスモードによるバンクシリアル読み出し動作に
おけるバンクBNK0〜BNK3の指定は、バンクアド
レス信号の入力専用として設けられたアドレス入力端子
A12及びA13を介して任意に指定できる。この結
果、シンクロナスDRAMの利便性を高め、これを含む
コンピュータ等のシステム柔軟性を高めることができ
る。
【0049】一方、全バンクアクセスモードによるバン
クシリアル書き込み動作では、図5に示されるように、
バンク選択信号BS0〜BS3に対応したバンクアドレ
ス信号BA0及びBA1の入力に同期して、データ入出
力端子D0〜D3から各バンクに対する書き込みデータ
D00〜D30等が4ビット単位でシリアル入力され
る。これらの書き込みデータは、データ選択信号DS0
〜DS3に従ってデータ入出力回路IOの書き込みデー
タラッチWDLT0〜WDLT3に順次取り込まれた
後、書き込みデータバスWDB00〜WDB03ないし
WDB30〜WDB33を介してバンクBNK0〜BN
K3のライトアンプWAに伝達される。そして、これら
の書き込みデータが書き込みデータラッチWDLT0〜
WDLT3に保持されている間に、内部制御信号WPが
ハイレベルとされ、バンクBNK0〜BNK3の選択さ
れた合計16個のメモリセルに書き込まれる。
【0050】このように、バンクシリアル書き込み動作
では、データ選択信号DS0〜DS3の生成タイミング
がバンクシリアル読み出し動作の場合と異なるが、デー
タ入出力端子D0〜D3には、クロック信号CLKの周
期に応じた早いサイクルタイムで書き込みデータをシリ
アル入力することができ、上記バンクシリアル読み出し
動作と同様な効果を得ることができるものとなる。
【0051】図6には、この発明が適用されたシンクロ
ナスDRAMを含むコンピュータの一実施例のシステム
構成図が示されている。同図をもとに、この実施例のシ
ンクロナスDRAMの応用システムの概要とその特徴に
ついて説明する。
【0052】図6において、この実施例のコンピュータ
は、いわゆるストアドプログラム方式の中央処理装置C
PUをその基本構成要素とする。中央処理装置CPUに
は、システムバスSBUSを介して例えば通常のスタテ
ィック型RAMからなるランダムアクセスメモリRAM
と、マスクROM等からなるリードオンリーメモリRO
Mと、ディスプレイ制御装置DPYCならびに周辺装置
コントローラPERCとが結合される。ディスプレイ制
御装置DPYCには、図1のシンクロナスDRAMを応
用したフレームメモリFLMが結合されるとともに、所
定のディスプレイ装置DPYが結合される。また、周辺
装置コントローラPERCには、キーボードKBD及び
外部記憶装置EXMが結合される。
【0053】中央処理装置CPUは、予めリードオンリ
ーメモリROMに格納されたプログラムに従ってステッ
プ動作し、コンピュータの各部を制御・統轄する。ま
た、ランダムアクセスメモリRAMは、キャッシュメモ
リ等として使用され、例えばリードオンリーメモリRO
Mから中央処理装置CPUに伝達されるプログラム及び
演算データ等を一時的に格納し、中継するために供され
る。さらに、ディスプレイ制御装置DPYCは、フレー
ムメモリFLMに格納された画像データをもとにディス
プレイ装置DPYの表示制御を行い、周辺装置コントロ
ーラPERCは、キーボードKBD及び外部記憶装置E
XM等の周辺装置を制御する。コンピュータは、さら
に、交流入力電源をもとに安定した所定の直流電源電圧
を形成し、各部に動作電源として供給する電源装置PO
WSを備える。
【0054】この実施例において、フレームメモリFL
MとなるシンクロナスDRAMは、前述のように、4個
のバンクBNK0〜BNK3を具備するとともに、クロ
ック信号CLKに同期してシリアル入力される書き込み
データをこれらのバンクに分配し、またこれらのバンク
から出力される読み出しデータをクロック信号CLKに
同期してシリアル出力するデータ入出力回路IOを具備
する。したがって、その全バンクアクセスモードにおけ
るサイクルタイムが、従来に比較して4分の1に高速化
されるとともに、任意のバンクを指定したバンク個別ア
クセス及びシリアル入出力動作が可能とされる。この結
果、フレームメモリFLMを含むコンピュータのマシン
サイクルを高速化できるとともに、フレームメモリFL
Mの利便性が高め、コンピュータのシステム柔軟性を高
めることができる。
【0055】以上の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。すなわち、 (1)複数のバンクを備えるシンクロナスDRAM等に
おいて、ロウアドレス及びカラムアドレスをすべてのバ
ンクに一斉に与え、これらのバンクを一斉にかつ同一ア
ドレスで活性状態とする全バンクアクセスモードを用意
するとともに、そのデータ入出力回路に、同時に活性状
態にある複数のバンクの読み出しデータをバンクアドレ
ス信号に従って択一的に選択してシリアル出力し、ある
いはアクセス装置からシリアル入力される書き込みデー
タをバンクアドレス信号に従って択一的に活性状態にあ
る複数のバンクに伝達する機能を持たせることで、比較
的ビット数の多いカラムアドレス信号のデコード時間に
よる制約を受けることなく、しかも複数のバンクを任意
の順序で指定しながら、記憶データのシリアル入出力動
作を高速に実現することができるという効果が得られ
る。
【0056】(2)上記(1)項により、その利便性を
低下させることなく、シンクロナスDRAM等のサイク
ルタイムを高速化できるという効果が得られる。 (3)上記(1)項及び(2)項により、シンクロナス
DRAM等を例えばフレームメモリとして含むコンピュ
ータ等のマシンサイクルを高速化し、そのシステム柔軟
性を高めることができるという効果が得られる。
【0057】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、シンクロナスDRAMは、×8ビッ
ト,×16ビットあるいは×32ビット等、任意のビッ
ト構成を採ることができるし、任意数のバンクを備える
ことができる。また、バンクBNK0〜BNK3のメモ
リアレイMARYは、任意数の冗長素子を含むことがで
きるし、その直接周辺回路を含めて複数のマットに分割
することができる。さらに、シンクロナスDRAMのブ
ロック構成は、種々の実施形態を採りうるし、起動制御
信号及び内部制御信号等の名称及び組み合わせならびに
その有効レベル等も、この実施例による制約を受けな
い。
【0058】図2において、単位データ入出力回路UI
O0〜UIO3は、例えば書き込みデータラッチWDL
T0〜WDLT3の前段に設けられ書き込みデータを一
時的に保持するための入力ラッチを含むことができる。
また、データ選択信号DS0〜DS3を受けるMOSF
ETN1〜N8は、例えばPチャンネル及びNチャンネ
ルMOSFETからなるいわゆるトランスファゲートに
置き換えることができる。単位データ入出力回路UIO
0〜UIO3のブロック構成や読み出しデータ及び書き
込みデータの信号経路等は、種々の実施形態を採りう
る。
【0059】図3ないし図5において、クロック信号C
LK及び各起動制御信号ならびに内部制御信号の名称及
び有効レベルならびにその具体的時間関係等は、これら
の実施例による制約を受けない。図6において、コンピ
ュータは、他の各種機能ブロックを含むことができる
し、そのブロック構成やバス構成は任意である。
【0060】図1ないし図5の実施例では、バンクアド
レス信号BA0及びBA1を入力するための専用のアド
レス入力端子A12及びA13を設けているが、バンク
アドレス信号のビット数が増えしかも外部端子数に余裕
がない場合、例えば図7に示されるように、アドレス入
力端子A0〜A11を介してXアドレス信号,Yアドレ
ス信号ならびにバンクアドレス信号を時分割的に入力す
るようにしてもよい。この場合、バンクアドレスストロ
ーブ信号BASBをロウレベルとすることによりバンク
アドレス信号を入力できるが、Yアドレス信号及びバン
クアドレス信号を同一サイクルで入力できないため、デ
ータ入出力端子D0〜D3を介する記憶データのシリア
ル入出力動作に空きサイクルが生ずる。
【0061】一方、本発明をクロック信号を有さない通
常のダイナミック型RAM等に応用する場合、図8に示
されるように、カラムアドレスストローブ信号CASB
を繰り返しロウレベルとすることによってYアドレス信
号及びバンクアドレス信号を繰り返し入力することがで
きる。この場合、ロウアドレスストローブ信号RASB
は、シンクロナスDRAMが選択状態とされる間ロウレ
ベルのままとし、カラムアドレスストローブ信号CAS
Bは、前記図1ないし図5のクロック信号CLKと同一
の高速サイクルで繰り返しロウレベルとすればよい。
【0062】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野であるシン
クロナスDRAMならびにこれを含むコンピュータに適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、例えば、上記のようなダイナミック型RAM
又はスタティック型RAM等の各種メモリ集積回路やこ
れらのメモリ集積回路を含む各種デジタル装置にも適用
できる。この発明は、少なくとも複数のバンクを備える
半導体記憶装置ならびにこのような半導体記憶装置を含
む装置又はシステムに広く適用できる。
【0063】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、複数のバンクを備えるシン
クロナスDRAM等において、ロウアドレス及びカラム
アドレスをすべてのバンクに一斉に与え、これらのバン
クを一斉にかつ同一アドレスで活性状態とする全バンク
アクセスモードを用意するとともに、そのデータ入出力
回路に、活性状態にある複数のバンクの読み出しデータ
をバンクアドレス信号に従って択一的に選択してシリア
ル出力し、あるいはアクセス装置からシリアル入力され
る書き込みデータをバンクアドレス信号に従って択一的
に複数のバンクに伝達する機能を持たせることで、比較
的ビット数の多いカラムアドレス信号のデコード時間に
よる制約を受けることなくしかも複数のバンクを任意の
順序で指定しながら、記憶データのシリアル入出力動作
を高速に実現することができるため、その利便性を低下
させることなく、シンクロナスDRAM等のサイクルタ
イムを高速化することができる。この結果、シンクロナ
スDRAMを含むコンピュータ等のマシンサイクルを高
速化し、そのシステム柔軟性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたシンクロナスDRAMの
一実施例を示すブロック図である。
【図2】図1のシンクロナスDRAMに含まれるデータ
入出力回路の一実施例を示すブロック図である。
【図3】図1のシンクロナスDRAMのバンク個別読み
出し動作の一実施例を示す信号波形図である。
【図4】図1のシンクロナスDRAMのバンクシリアル
読み出し動作の一実施例を示す信号波形図である。
【図5】図1のシンクロナスDRAMのバンクシリアル
書き込み動作の一実施例を示す信号波形図である。
【図6】図1のシンクロナスDRAMを含むコンピュー
タの一実施例を示すシステム構成図である。
【図7】この発明が適用された他のシンクロナスDRA
Mのバンクシリアル読み出し動作の一実施例を示す信号
波形図である。
【図8】この発明が適用されたダイナミック型RAMの
バンクシリアル読み出し動作の一実施例を示す信号波形
図である。
【図9】この発明に先立って本願発明者等が開発したシ
ンクロナスDRAMのシリアル読み出し動作の一実施例
を示す信号波形図である。
【符号の説明】
BNK0〜BNK3……バンク、MARY……メモリア
レイ、RD……ロウアドレスデコーダ、SA……センス
アンプ、CD……カラムアドレスデコーダ、WA……ラ
イトアンプ、MA……メインアンプ、AB……アドレス
バッファ、RA……ロウアドレスレジスタ、BA……バ
ンクアドレスレジスタ、BS……バンク選択回路、CC
……カラムアドレスカウンタ、MR……モードレジス
タ、IO……データ入出力回路、DS……データ入出力
選択回路、TG……タイミング発生回路、D0〜D3…
…データ入出力端子、CLK……クロック入力端子、C
KE……クロックイネーブル信号入力端子、CSB……
チップ選択信号入力端子、RASB……ロウアドレスス
トローブ信号入力端子、CASB……カラムアドレスス
トローブ信号入力端子、WEB……ライトイネーブル信
号入力端子、DQM……データマスク信号入力端子、A
0〜A13……アドレス入力端子。UIO0〜UIO3
……単位データ入出力回路、IB……入力バッファ、W
DLT0〜WDLT3……書き込みデータラッチ、RD
LT0〜RDLT3……読み出しデータラッチ、OL0
〜OL3……出力ラッチ、OB……出力バッファ。CP
U……中央処理装置、SBUS……システムバス、RA
M……ランダムアクセスメモリ、ROM……リードオン
リーメモリ、DPYC……ディスプレイ制御装置、FL
M……フレームメモリ、SDRAM……シンクロナスD
RAM、DPY……ディスプレイ装置、PERC……周
辺装置コントローラ、KBD……キーボード、EXM…
…外部記憶装置、POWS……電源装置。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同一半導体基板上に形成される複数のバ
    ンクと、 上記複数のバンクを選択的に指定するためのバンクアド
    レス信号の入力に供される第1の外部端子と、 同時に活性状態にある上記複数のバンクに対して記憶デ
    ータを上記バンクアドレス信号に従って選択的に入力し
    又は出力するデータ入出力回路とを具備することを特徴
    とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 上記半導体記憶装置は、 バンク内アドレスを指定するためのロウアドレス信号及
    びカラムアドレス信号が上記複数のバンクに一斉に供給
    される第1の動作モードと、 上記バンクアドレス信号に従って選択的に供給される第
    2の動作モードとを備えるものであって、 上記複数のバンクは、上記第1の動作モードにおいて一
    斉に活性状態とされるものであることを特徴とする半導
    体記憶装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において、 上記半導体記憶装置は、上記第1の外部端子の他に、上
    記ロウアドレス信号及びカラムアドレス信号の入力に供
    される第2の外部端子を具備するものであることを特徴
    とする半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 請求項2又は請求項3において、 上記半導体記憶装置は、n個のバンクを具備するもので
    あって、 上記第1の動作モードによるシリアル入出力動作のサイ
    クルタイムは、カラムアドレス信号を変化させながら行
    われるシリアル入出力動作のサイクルタイムに比較して
    n分の1されるものであることを特徴とする半導体記憶
    装置。
  5. 【請求項5】 上記請求項1,請求項2,請求項3又は
    請求項4の半導体記憶装置を含んでなることを特徴とす
    るシステム。
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