JPH10176701A - Direct acting servo valve - Google Patents

Direct acting servo valve

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Publication number
JPH10176701A
JPH10176701A JP29996397A JP29996397A JPH10176701A JP H10176701 A JPH10176701 A JP H10176701A JP 29996397 A JP29996397 A JP 29996397A JP 29996397 A JP29996397 A JP 29996397A JP H10176701 A JPH10176701 A JP H10176701A
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JP
Japan
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coil
servo valve
spool
slit
winding
Prior art date
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Pending
Application number
JP29996397A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshimichi Akasaka
吉道 赤坂
Shinichi Yasunari
晋一 安成
Shunji Ohara
俊次 尾原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 フォースモータ駆動方式の直動形サーボ弁で
要求される相反する課題、すなわち減衰付与と応答性向
上とを簡単でかつ安価な手段で実現可能とする。 【解決手段】 スリーブ6内を軸方向に摺動するスプー
ル4の一端に固設されかつコイル20を巻回されたコイ
ルボビン18と、コイル20を横切り磁路を形成するマ
グネット12、ヨーク14およびポールとを備え、コイ
ルボビン18は、コイル20の巻線部と、この巻線部に
隣接しこの巻線部の外周面より突出した突出部とを有
し、巻線部に開口した軸方向のスリット30を形成し
た。
(57) [Problem] To make it possible to realize contradictory problems required for a direct-acting servo valve of a force motor drive system, that is, to provide damping and improve response by simple and inexpensive means. A coil bobbin (18) fixed to one end of a spool (4) sliding in a sleeve (6) in the axial direction and wound with a coil (20), a magnet (12), a yoke (14) and a pole (10) traversing the coil (20) to form a magnetic path. The coil bobbin 18 has a winding portion of the coil 20 and a protrusion adjacent to the winding portion and protruding from the outer peripheral surface of the winding portion, and has an axial slit opened in the winding portion. No. 30 was formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、サーボ弁に係り、
特にフォースモータでスプールを直接駆動するタイプの
直動形サーボ弁に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a servo valve,
In particular, the present invention relates to a direct-acting servo valve of a type in which a spool is directly driven by a force motor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の直動形サーボ弁おいては、スリー
ブ内を軸方向に摺動するスプールの一端に固設されかつ
コイルを巻回されたコイルボビンと、コイルボビンを他
端側に付勢する筒状弾性体と、コイルを横切り磁路を形
成するマグネット、ヨーク及びポールとを備えてなり、
コイルに電流を流して発生させた電磁力によりスプール
を筒状弾性体の付勢力に抗して軸方向に摺動させる構成
になっている。従来より各種油圧制御システムには、特
に制御対象のアクチュエータを高速、高精度に制御する
ため制御弁に直動形サーボ弁が用いられている。直動形
サーボ弁は、磁気回路とコイルが巻回しされたコイルボ
ビンとで形成されるフォースモータでスプール弁を直接
駆動することにより、入力電流に比例してスプール弁か
ら出力される作動流体の方向、圧力及び流量を制御する
電気ー油圧変換素子である。
2. Description of the Related Art In a conventional direct acting servo valve, a coil bobbin fixedly mounted at one end of a spool which slides in a sleeve in an axial direction and wound with a coil, and biasing the coil bobbin toward the other end. A cylindrical elastic body, and a magnet that forms a magnetic path across the coil, a yoke and a pole,
The spool is slid in the axial direction against the urging force of the cylindrical elastic body by the electromagnetic force generated by applying a current to the coil. 2. Description of the Related Art Conventionally, in various hydraulic control systems, a direct-acting servo valve has been used as a control valve in order to control an actuator to be controlled at high speed and with high accuracy. Direct-acting servo valves use a force motor formed of a magnetic circuit and a coil bobbin wound with a coil to directly drive the spool valve, so that the direction of the working fluid output from the spool valve is proportional to the input current. , Pressure and flow rate.

【0003】コイルボビンに付勢力を付与する手段とし
ては、機械的及び電気的の2方式に大別される。例え
ば、機械的な方式としてはスプールの片側端面に粘弾性
部材(弾性ゴム)を用いたものがある(特開昭55−1
0198号公報参照)。またスプールの位置決めはスプ
ールの両端に円形断面のコイルばねを配設することによ
り行う方式(特開昭49−133780号公報参照)な
どがある。
[0003] Means for applying a biasing force to the coil bobbin are roughly classified into two types: mechanical and electrical. For example, as a mechanical system, there is a system using a viscoelastic member (elastic rubber) on one end face of a spool (Japanese Patent Laid-Open No. 555-1).
0198). Further, there is a method of positioning the spool by disposing coil springs having a circular cross section at both ends of the spool (see JP-A-49-133780).

【0004】さらにボビンに溝を形成した構成、例えば
割溝を形成し、この割溝に非導電性材料を埋設したもの
がある(特開昭62−23356号公報参照)。
Further, there is a configuration in which a groove is formed in a bobbin, for example, in which a split groove is formed and a non-conductive material is buried in the split groove (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-23356).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の直動形サーボ弁
にあっては、コイルボビンに付勢力を付与する手段とし
て弾性ゴムを用いたものでは,ゴム自身の内部ヒステリ
シスによる減衰効果を利用したものであるが、弾性ゴム
が非常に劣化しやすく寿命が短い。かつ作動油の浸入に
より弾性ゴムが膨潤する。このため常に均一な性質を確
保し難く製品の歩留まりが非常に悪い等の問題があっ
た。一方、コイルばねを用いたものでは、コイルばねを
圧縮すると、合成荷重の作用線が一般にコイルばねの中
心軸から微小量だけ外れたところにくる。この荷重の偏
心によってスプールの両端には不均一な軸方向の力が発
生する。その不均一な力の合力がスプールの軸線に対し
て斜め方向に作用するため、スプールがコイルばねによ
って半径方向に押されスリーブ内面に押しつけられる。
この結果、スプールとスリーブ間の摩擦力が増大され、
スプールの操作信号に対する応答性が悪化するという問
題点があった。
A conventional direct acting servo valve using an elastic rubber as a means for applying a biasing force to a coil bobbin utilizes a damping effect by internal hysteresis of the rubber itself. However, the elastic rubber is extremely deteriorated and has a short life. In addition, the elastic rubber swells due to the intrusion of the hydraulic oil. For this reason, there has been a problem that it is difficult to always maintain uniform properties and the product yield is extremely poor. On the other hand, in the case of using a coil spring, when the coil spring is compressed, the line of action of the combined load generally comes to a place slightly deviated from the center axis of the coil spring. Due to the eccentricity of the load, uneven axial forces are generated at both ends of the spool. Since the resultant force of the non-uniform force acts obliquely to the axis of the spool, the spool is pressed radially by the coil spring and pressed against the inner surface of the sleeve.
As a result, the frictional force between the spool and the sleeve is increased,
There has been a problem that the responsiveness of the spool to operation signals deteriorates.

【0006】また電導材のコイルボビンにスリットを形
成し、スプールの変位に対する抗力を変化させようとし
ても、スリットの形状によっては、渦電流に基づく抗力
を利用できない問題点があった。
Further, even if a slit is formed in the coil bobbin of the conductive material to change the drag against the displacement of the spool, there is a problem that the drag based on the eddy current cannot be used depending on the shape of the slit.

【0007】本発明の課題は、スプールの変位に対する
抗力を変化させ高応答で高精度、高信頼性を有する直動
形サーボ弁を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a direct-acting servo valve having high response, high accuracy, and high reliability by changing the resistance to displacement of a spool.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記の課題を達成するた
め、本発明に係る直動形サーボ弁は、スリーブ内を軸方
向に摺動するスプールの一端に固設されかつコイルを巻
回されたコイルボビンと、コイルを横切り磁路を形成す
るマグネット、ヨーク及びポールとを備えてなり、コイ
ルに電流を流して発生させた電磁力によりスプールを軸
方向に摺動させる直動形サーボ弁において、コイルボビ
ンは、コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接し
巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、巻線部に
開口した軸方向のスリットを形成する構成とする。
In order to achieve the above object, a direct acting servo valve according to the present invention is fixedly mounted on one end of a spool which slides in a sleeve in an axial direction and is wound with a coil. A direct acting servo valve comprising a coil bobbin, a magnet that forms a magnetic path across the coil, a yoke, and a pole, and slides a spool in an axial direction by an electromagnetic force generated by flowing a current through the coil. The coil bobbin has a winding portion for winding a coil, and a protruding portion adjacent to the winding portion and protruding from the outer peripheral surface of the winding portion, and forming an axial slit opened in the winding portion. And

【0009】そして巻線部に開口した軸方向のスリット
を形成するとともに、スリットを突出部の中間部まで延
長した構成でもよい。
An axial slit opened in the winding portion may be formed, and the slit may be extended to an intermediate portion of the protruding portion.

【0010】また巻線部に開口した軸方向のスリットを
形成するとともに、隣接する一方のスリットが巻線部の
他端と巻線部の中間部との間に形成され、かつ他方のス
リットが巻線部の一端と巻線部の中間部との間に形成さ
れ、それぞれのスリットの終端が巻線部の中間部で互い
オーバーラップしている構成でもよい。
An axial slit opened in the winding portion is formed, one adjacent slit is formed between the other end of the winding portion and an intermediate portion of the winding portion, and the other slit is formed. A configuration may be formed between one end of the winding part and the middle part of the winding part, and the ends of the slits overlap each other at the middle part of the winding part.

【0011】さらに圧延機においては、圧下ジャッキ
と、圧下ジャッキに作動油を供給する油圧ポンプと、圧
下ジャッキに供給された作動油を戻すタンクと、作動油
の圧下ジャッキへの供給と排出とを制御するサーボ弁体
とを備え、圧延材の板厚を加工する圧延機において、サ
ーボ弁体は、スリーブ内を軸方向に摺動するスプールの
一端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビン
と、コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨーク
及びポールとを備えてなり、コイルに電流を流して発生
させた電磁力によりスプールを軸方向に摺動させる直動
形サーボ弁により形成され、コイルボビンは、コイルを
巻回する巻線部と、この巻線部に隣接し巻線部の外周面
より突出した突出部とを有し、巻線部に開口した軸方向
のスリットを形成した構成とする。
Further, in the rolling mill, a reduction jack, a hydraulic pump for supplying hydraulic oil to the reduction jack, a tank for returning hydraulic oil supplied to the reduction jack, and supply and discharge of hydraulic oil to and from the reduction jack are provided. A controllable servo valve body, and a coil bobbin in which the servo valve body is fixed to one end of a spool that slides in a sleeve in an axial direction and is wound with a coil. And a magnet that forms a magnetic path across the coil, a yoke, and a pole, and is formed by a direct-acting servo valve that slides the spool in the axial direction by an electromagnetic force generated by applying a current to the coil, The coil bobbin has a winding portion for winding a coil, and a protruding portion adjacent to the winding portion and protruding from the outer peripheral surface of the winding portion, and has an axial slit opened in the winding portion. And it formed.

【0012】そして巻線部に開口した軸方向のスリット
を形成するとともに、スリットを突出部の中間部まで延
長した構成でもよい。
An axial slit opened in the winding portion may be formed, and the slit may be extended to an intermediate portion of the protruding portion.

【0013】本発明によれば、フレミングの左手の法則
によって軸方向に発生する電磁力がコイルボビンを動か
すと、この動きを妨げる方向に渦電流が発生する。しか
し、コイルボビンの巻線部に開口した部分的なスリット
を設けることにより、コイルボビンを流れる渦電流の流
路長さが変化する。これによりコイルボビンのインダク
タンス(L)および抵抗(R)が変化し、渦電流による
抗力(減衰力)も変化する。この結果、コイルボビンの
LとRとから決定される時定数が変化する。すなわち、
コイルボビンの巻線部に部分的なスリットを設けること
により、渦電流に基づく抗力を変化させ、弁(スプー
ル)の周波数特性を変化させる。言い替えれば、部分ス
リットの形状及び寸法を適正に設定することで弁の応答
性の向上が図れる。
According to the present invention, when an electromagnetic force generated in the axial direction by the Fleming's left-hand rule moves the coil bobbin, an eddy current is generated in a direction that impedes the movement. However, by providing a partial slit opened in the winding portion of the coil bobbin, the flow path length of the eddy current flowing through the coil bobbin changes. As a result, the inductance (L) and resistance (R) of the coil bobbin change, and the drag (damping force) due to the eddy current also changes. As a result, the time constant determined from L and R of the coil bobbin changes. That is,
By providing a partial slit in the winding part of the coil bobbin, the drag based on the eddy current is changed, and the frequency characteristic of the valve (spool) is changed. In other words, the responsiveness of the valve can be improved by appropriately setting the shape and size of the partial slit.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図1およ
び図2を参照しながら説明する。図1に3方弁タイプの
直動形サーボ弁の構造を示す断面図、図2に直動形サー
ボ弁のコイルボビンの付近の拡大部分断面図が示されて
いる。図1及び図2に示すように、スリーブ6内を軸方
向に摺動するスプール4の一端に固設されかつコイル2
0を巻回されたコイルボビン18と、コイル20を横切
り磁路を形成するマグネット12、ヨーク14及びポー
ル16とを備えてなり、コイル20に電流を流して発生
させた電磁力によりスプール6を軸方向に摺動させる直
動形サーボ弁であって、コイルボビン18は、コイル2
0の巻線部26と、この巻線部26に隣接しこの巻線部
26の外周面より突出したリブ25及び厚肉部27など
の突出部とを有し、巻線部26にその厚さ方向に貫通し
て開口した軸方向の複数のスリット30を形成した構成
とする。なおコイルボビン18を他端側に付勢する筒状
弾性体24の軸方向中間部に、円周方向の複数のスリッ
ト状の開口部24aが設けられている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a three-way valve type direct acting servo valve, and FIG. 2 is an enlarged partial sectional view showing the vicinity of a coil bobbin of the direct acting servo valve. As shown in FIGS. 1 and 2, the coil 2 is fixed to one end of a spool 4 that slides in the sleeve 6 in the axial direction.
The coil 6 includes a coil bobbin 18 wound around the coil 20, a magnet 12, a yoke 14, and a pole 16 that traverse the coil 20 to form a magnetic path. The electromagnetic force generated by applying a current to the coil 20 causes the spool 6 to rotate. A direct-acting servo valve that slides in the direction of
0 and a protruding portion such as a rib 25 and a thick portion 27 that are adjacent to the winding portion 26 and protrude from the outer peripheral surface of the winding portion 26. In this configuration, a plurality of axial slits 30 are formed to pass through and open in the vertical direction. A plurality of slit-shaped openings 24a in the circumferential direction are provided at the axially intermediate portion of the cylindrical elastic body 24 that urges the coil bobbin 18 toward the other end.

【0015】すなわち、駆動力発生部としてのフォース
モータ1と、フォースモータ1によって駆動され流体の
流れる方向、流量及び圧力等を制御する弁部2とで構成
される。弁部2はスプール4、スリーブ6及び弁ボディ
8を主要構成要素とし、スリーブ6に対するスプール4
の相対位置を高精度に制御することによって流路10a
〜10cに流れる流体の方向、流量あるいは圧力などを
制御する。
That is, it is composed of a force motor 1 as a driving force generating section, and a valve section 2 driven by the force motor 1 to control a flowing direction, a flow rate, a pressure and the like of a fluid. The valve portion 2 includes a spool 4, a sleeve 6 and a valve body 8 as main components.
The flow path 10a is controlled by controlling the relative position of
To control the direction, flow rate or pressure of the fluid flowing through to 10c.

【0016】一方、フォースモータ1は、マグネット1
2、ヨーク14及びポール16と、スプール4の端部に
固着されたコイルボビン18およびコイルボビン18の
周囲に取り付けられたドライブコイル(コイル)20を
主要構成要素とし、このドライブコイル20に通電する
電流の方向及び大きさを制御してスプール4の軸方向に
生ずる力の方向と大きさを制御する。すなわち、マグネ
ット12、ヨーク14及びポール16で磁路を形成し、
この磁路中に置かれたドライブコイル20へ電流を流す
とフレミングの左手の法則に基づき、スプール4及びコ
イルボビン18を駆動させる電磁力F(F=Bli こ
こに、B:磁束密度,l:コイルの有効長さ,i:電流
の大きさ )を発生する。このようにして、ドライブコ
イル20に発生した電磁力Fはコイルボビン18を介し
て弁部2のスプール4に伝達され、このスプール4を直
接駆動する。またヨーク14を貫通し、かつコイルボビ
ン18の反弁部側端面22と接するように配設された筒
状弾性体24は、スプール4およびドライブコイル20
の中立位置を保持するとともに、ドライブコイル20に
発生した電磁力Fに比例してスプール4に変位を与え
る。ここで、筒状弾性体24は接着すべき座巻のコイル
部分が皆無であるとともに、軸方向中間部に螺旋状また
は多数の円周方向のスリット状の開口部を形成した金属
体で形成しているため、良好な線形ばね特性が得られ
る。この結果、筒状弾性体24は圧縮および引っ張り状
態で使用してもスプールに半径方向の力を与えず、スプ
ールとスリーブ間の摩擦力を増大させることはない。一
方、この筒状弾性体24の働きによってドライブコイル
20に電磁力Fが生じていないときは、スプール4は中
立位置に保持される。また、ドライブコイル20に発生
した電磁力Fに比例してスプール4が変位することによ
り、流体の流量あるいは圧力が制御されることになる。
On the other hand, the force motor 1 comprises a magnet 1
2, a yoke 14 and a pole 16, a coil bobbin 18 fixed to an end of the spool 4, and a drive coil (coil) 20 attached around the coil bobbin 18 as main components. By controlling the direction and the magnitude, the direction and magnitude of the force generated in the axial direction of the spool 4 are controlled. That is, a magnetic path is formed by the magnet 12, the yoke 14, and the pole 16,
When a current is applied to the drive coil 20 placed in this magnetic path, an electromagnetic force F (F = Bli where B: magnetic flux density, l: coil) drives the spool 4 and the coil bobbin 18 based on Fleming's left-hand rule. Effective length, i: magnitude of current). In this way, the electromagnetic force F generated in the drive coil 20 is transmitted to the spool 4 of the valve section 2 via the coil bobbin 18, and directly drives the spool 4. The cylindrical elastic body 24, which penetrates the yoke 14 and is in contact with the non-valve side end face 22 of the coil bobbin 18,
And the spool 4 is displaced in proportion to the electromagnetic force F generated in the drive coil 20. Here, the tubular elastic body 24 is formed of a metal body having no coil portion of the end winding to be bonded and having a spiral or a large number of circumferential slit-shaped openings formed in an axial middle portion. Therefore, good linear spring characteristics can be obtained. As a result, even when the cylindrical elastic body 24 is used in the compressed and stretched state, it does not apply a radial force to the spool, and does not increase the frictional force between the spool and the sleeve. On the other hand, when the electromagnetic force F is not generated in the drive coil 20 by the action of the cylindrical elastic body 24, the spool 4 is held at the neutral position. Further, the displacement or displacement of the spool 4 in proportion to the electromagnetic force F generated in the drive coil 20 controls the flow rate or pressure of the fluid.

【0017】さらにコイルボビン18が電導材、例えば
アルミニウム合金等で形成されているときには、コイル
ボビン18が磁路における磁束を横切ると、電磁誘導作
用によってコイルボビン18に電圧が誘起され、渦電流
Ieがコイルに流れる電流iと逆向きに流れる(フレミ
ングの右手の法則)。さらに渦電流Ieと磁束との間で
抗力fがコイルに発生する電磁力(駆動力)Fと逆方向に
生じる。この結果、フォースモータの駆動力はFーfと
なる。ここで注目すべき点は、渦電流によって生じる抗
力fはコイルボビン18が磁束を横切る速度に比例す
る。したがって、入力電流iの周波数が高くなると渦電
流Ieによる抗力fも大きくなり、これがサーボ弁のス
プール4の動きに大きな減衰力を付与することになる。
Further, when the coil bobbin 18 is formed of a conductive material, for example, an aluminum alloy or the like, when the coil bobbin 18 crosses the magnetic flux in the magnetic path, a voltage is induced in the coil bobbin 18 by electromagnetic induction, and an eddy current Ie is applied to the coil. It flows in the opposite direction to the flowing current i (Fleming's right-hand rule). Further, a drag f is generated between the eddy current Ie and the magnetic flux in a direction opposite to the electromagnetic force (driving force) F generated in the coil. As a result, the driving force of the force motor becomes Ff. It should be noted that the drag f generated by the eddy current is proportional to the speed at which the coil bobbin 18 crosses the magnetic flux. Therefore, when the frequency of the input current i increases, the drag f due to the eddy current Ie also increases, which gives a large damping force to the movement of the spool 4 of the servo valve.

【0018】本発明ではこの点に注目し、図2に示すよ
うに、コイルボビン18のドライブコイルの巻線部26
の軸方向には微小幅を有しかつ開口したスリット30を
リブ25と厚肉部27との間に複数本設けてある。この
ようにコイルボビン18のコイル20の巻線部に開口し
たスリット30を設けると、電導材のコイルボビン18
に発生する渦電流Ieの流路長さがスリット30がない
場合に比べて変わるため、流路抵抗を変化させることが
できる。この結果、コイルボビン18のインダクタンス
Lと抵抗Rの比L/Rで決まる時定数を変化させる。こ
れにより、渦電流に基づく抗力、すなわち減衰力を変化
させ、スプールに適正なダンピングを付与することがで
きる。
In the present invention, attention is paid to this point, and as shown in FIG.
A plurality of slits 30 each having a minute width and having an opening in the axial direction are provided between the rib 25 and the thick portion 27. When the slit 30 opened in the winding portion of the coil 20 of the coil bobbin 18 is provided, the coil bobbin 18
Since the length of the flow path of the eddy current Ie generated in this case is changed as compared with the case where the slit 30 is not provided, the flow path resistance can be changed. As a result, the time constant determined by the ratio L / R of the inductance L and the resistance R of the coil bobbin 18 is changed. Thereby, the drag, that is, the damping force based on the eddy current is changed, and appropriate damping can be applied to the spool.

【0019】ここで、本実施の形態によるダンピング性
能を実験により確認し、その結果を図3に示す。図3で
はフルスリット型及びスリットレス型並びに本実施の形
態の部分スリット型コイルボビンを用いたときの周波数
応答のゲイン特性を対比して示している。図3からも分
かるようにコイルボビンに部分スリットを形成すること
でゲイン特性のピーク値の増加分は、スリットレス型コ
イルボビンの場合に比べ1〜2dB程度に抑制できる。
またスリットレス型コイルボビンの場合には、渦電流に
よるダンピング作用を最大限に発揮させることができ
る。この結果、図3からもわかるように応答周波数の値
は、部分スリット型コイルボビンの場合に比べ若干低下
する。反面、ゲイン特性のピーク値は、コイルボビンに
発生する渦巻流を100%減衰力として利用できるた
め、+3dB程度に抑制でき制御安定性の向上が図れ
る。
Here, the damping performance according to the present embodiment was confirmed by experiments, and the results are shown in FIG. FIG. 3 shows gain characteristics of frequency response when using the full slit type, the slitless type, and the partial slit type coil bobbin of the present embodiment in comparison. As can be seen from FIG. 3, by forming a partial slit in the coil bobbin, the increase in the peak value of the gain characteristic can be suppressed to about 1 to 2 dB as compared with the case of the slitless coil bobbin.
In the case of a slitless coil bobbin, the damping action by the eddy current can be maximized. As a result, as can be seen from FIG. 3, the value of the response frequency is slightly lower than in the case of the partial slit type coil bobbin. On the other hand, the peak value of the gain characteristic can be suppressed to about +3 dB because the spiral flow generated in the coil bobbin can be used as a 100% damping force, and control stability can be improved.

【0020】これにより本発明の実施の形態によれば、
図2に示すように、コイルボビン18のコイル巻線部2
6に開口したスリット30を設けることにより、直動形
サーボ弁で要求される相反する課題の応答性と制御安定
性の両方を解決することができる。
Thus, according to the embodiment of the present invention,
As shown in FIG. 2, the coil winding portion 2 of the coil bobbin 18
By providing the slit 30 opened in 6, both the responsiveness and the control stability of the contradictory problems required for the direct acting servo valve can be solved.

【0021】図4は本発明に係る第2の実施の形態を示
している。本実施の形態ではコイルボビン18に対する
開口した部分スリット32が図2の場合と異なってい
る。すなわち、コイルボビン18の軸方向に設ける開口
した複数本の部分スリット32は、巻線部26からコイ
ルボビン18の厚肉部27の中間部まで延長されている
点が異なっている。これにより、渦電流Ieの流路抵抗
を変化させることができる。さらに磁束密度の大きい巻
線部26と厚肉部27との境界部分に開口した部分スリ
ット32を設けることにより渦電流Ieによる抗力を低
下させることができる。この結果、渦電流によるダンピ
ング効果を緩和させ、直動形サーボ弁の周波数特性を図
3の場合に比べ向上させることができる。
FIG. 4 shows a second embodiment according to the present invention. In the present embodiment, the partial slit 32 opened for the coil bobbin 18 is different from that of FIG. That is, the difference is that the plurality of partial slits 32 provided in the axial direction of the coil bobbin 18 extend from the winding portion 26 to the middle portion of the thick portion 27 of the coil bobbin 18. Thereby, the flow path resistance of the eddy current Ie can be changed. Further, by providing a partial slit 32 opened at the boundary between the winding portion 26 having a large magnetic flux density and the thick portion 27, the drag due to the eddy current Ie can be reduced. As a result, the damping effect due to the eddy current can be reduced, and the frequency characteristics of the direct acting servo valve can be improved as compared with the case of FIG.

【0022】図5は本発明に係る第3の実施の形態を示
している。本実施の形態ではコイルボビン18に対する
開口した部分スリット34が図2の場合と異なってい
る。すなわち、コイルボビン18の巻線部26の軸方向
に設ける開口した複数本の部分スリット34は、巻線部
26の全幅に対して設けるのではなく途中(中間部)ま
でとしている。しかもコイルボビン18の厚肉部27側
からリブ25側に向かって巻線部26に設ける開口した
部分スリット34aと、リブ25側から厚肉部27側に
向かって巻線部26に設ける開口した部分スリット34
bとは、巻線部26の幅内の中間部で両者部分スリット
34a,34bの終端の長さがオーバーラップするよう
にしてある。このように開口した部分スリット34a,
34bをオーバーラップさせることにより、コイルボビ
ン18に発生する渦電流の流路抵抗を増大させることが
できる。この結果、渦電流による抗力を図2の場合に比
べ低減させ、直動形サーボ弁の応答性向上が図れる。
FIG. 5 shows a third embodiment according to the present invention. In the present embodiment, a partial slit 34 opened for the coil bobbin 18 is different from that in FIG. That is, the plurality of partial slits 34 opened in the axial direction of the winding portion 26 of the coil bobbin 18 are not provided for the entire width of the winding portion 26 but extend to the middle (intermediate portion). Moreover, an open portion slit 34a provided in the winding portion 26 from the thick portion 27 side of the coil bobbin 18 toward the rib 25, and an open portion provided in the winding portion 26 from the rib 25 side to the thick portion 27 side. Slit 34
b is such that the end lengths of both partial slits 34a and 34b overlap at an intermediate portion within the width of the winding portion 26. The partial slits 34a thus opened,
By overlapping 34b, the flow path resistance of the eddy current generated in the coil bobbin 18 can be increased. As a result, the drag due to the eddy current is reduced as compared with the case of FIG. 2, and the response of the direct acting servo valve can be improved.

【0023】さらに図6は前述の第2及び第3の実施の
形態を併用することによる相乗効果を狙ったものであ
る。すなわち、コイルボビン18の巻線部26と厚肉部
27に設ける開口した部分スリット36a,36bは、
互いに周方向に位相をずらし、しかも隣接するスリット
の長さはオーバーラップするようにコイルボビン18の
軸方向に開口した複数本のスリットを設けたことであ
る。この結果、前述の実施例の場合に比べて渦電流によ
る減衰力を低減させることができ、さらに弁の応答性の
向上が図れる。
FIG. 6 further aims at a synergistic effect by using the second and third embodiments in combination. That is, the opened partial slits 36a and 36b provided in the winding portion 26 and the thick portion 27 of the coil bobbin 18
That is, a plurality of slits that are opened in the axial direction of the coil bobbin 18 are provided so that the phases thereof are shifted from each other in the circumferential direction, and the lengths of the adjacent slits overlap each other. As a result, the damping force due to the eddy current can be reduced as compared with the above-described embodiment, and the responsiveness of the valve can be further improved.

【0024】図7及び図8は本発明に係る第5及び第6
の実施の形態を示している。本実施の形態は前述の第1
および第2の実施の形態の変形例である。ここではコイ
ルボビン18の巻線部26に設ける開口した部分スリッ
ト38,40の途中を切断し非接続部38a,40aを
設けてある。これによりコイルボビン18の巻線部26
に発生する渦電流の流路を開口した部分スリット38,
40によって絞り形状としたことである。この結果、こ
の絞り部を通過する渦電流が発生することにより直動形
サーボ弁に対する抗力が第1および第2の実施の形態に
比べ増大する。この結果、直動形サーボ弁の制御安定性
の向上が期待できる。
FIGS. 7 and 8 show the fifth and sixth embodiments according to the present invention.
Is shown. In the present embodiment, the first
And a modification of the second embodiment. Here, the middle of the opened partial slits 38 and 40 provided in the winding portion 26 of the coil bobbin 18 is cut to provide non-connection portions 38a and 40a. Thereby, the winding portion 26 of the coil bobbin 18
Partial slit 38 that opens the flow path of the eddy current generated in
40 indicates that the aperture shape was set. As a result, an eddy current passing through the throttle portion is generated, so that the drag on the direct acting servo valve is increased as compared with the first and second embodiments. As a result, an improvement in control stability of the direct acting servo valve can be expected.

【0025】図9は本発明に係る第7の実施の形態を示
している。本実施の形態ではコイルボビン18の軽量化
のために設けられた隣接する空孔部44aと44bの間
に巻線部26及び厚肉部27を通して部分スリット42
をコイルボビン18の軸方向に開口して複数本設けてあ
る。これより、巻線部26および厚肉部27と巻線部2
6との境界部分、並びに厚肉部27の3個所で渦電流に
よる抗力を低減できる。
FIG. 9 shows a seventh embodiment according to the present invention. In this embodiment, the partial slit 42 is passed through the winding portion 26 and the thick portion 27 between adjacent holes 44a and 44b provided for reducing the weight of the coil bobbin 18.
Are opened in the axial direction of the coil bobbin 18. Thus, the winding portion 26, the thick portion 27, and the winding portion 2
6 and the thick portion 27 can reduce the drag due to the eddy current.

【0026】本実施の形態によれば、コイルボビンが軽
量になり、かつ渦電流によるダンピング効果を最大限に
軽減できるため、直動形サーボ弁の応答性の向上が実現
可能となる。
According to the present embodiment, the coil bobbin is reduced in weight and the damping effect due to the eddy current can be reduced to the maximum, so that the response of the direct acting servo valve can be improved.

【0027】図10は本発明に係る開口した部分スリッ
トを有するコイルボビンで2段形サーボ弁のパイロット
弁を構成した第8の実施の形態である。本実施の形態で
は図1で示した直動形サーボ弁と同一の部材もしくは類
似の部材には同一の符号を記し,ここではその詳しい説
明は省略する。
FIG. 10 shows an eighth embodiment in which a coil bobbin having an open partial slit according to the present invention constitutes a pilot valve of a two-stage servo valve. In this embodiment, the same or similar members as those of the direct acting servo valve shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the detailed description thereof will be omitted.

【0028】2段形サーボ弁の応答性向上とダンピング
付与の相反する課題に対して、本発明に係るコイルボビ
ンに部分スリットを設ける手法は、直動形サーボ弁の場
合と同様有効な手段である。
The method of providing a partial slit in a coil bobbin according to the present invention is an effective means as in the case of a direct-acting servo valve for the contradictory problem of improving the response of a two-stage servo valve and providing damping. .

【0029】図11は本発明に係る開口した部分スリッ
ト構造を電気フィードバック方式の直動形サーボ弁に適
用した第9の実施の形態を示す。すなわち、コイルボビ
ンの反弁体側端面に比較的弱いばね定数の筒状弾性体5
2を配設し、かつスプール4の端面には変位検出器50
を設け、スプール4の位置を電気的に検出し、この検出
値をフィードバックゲインKxで増幅するとともに、入
力指令値Xcと突き合わせることにより生ずる偏差信号
で直動形サーボ弁のスプール4の動きを制御機構75で
制御するようにしたことである。この場合、サーボ弁の
応答性は電気的にフィードバック補償しているため、高
応答が期待できるのは自明である。また、図11に示し
た本発明による実施の形態は、以下に示すように変形す
ることも可能である。すなわち、スプールの位置を変位
検出器により電気的に検出し、かつ直動形サーボ弁のア
ンプにフィードバックすることにより閉ループ位置サー
ボ系を構成させ、しかも出力を直動形サーボ弁駆動用ア
ンプ内で速度信号に変換し、電力増幅器の入力側に負帰
還することにより電気的にダンピングを付加する方式の
直動形サーボ弁において、コイルボビンの反弁体側端面
には軸方向中間部に螺旋状または多数の円周方向のスリ
ット状の開口部を形成した金属性の筒状弾性体を配設す
るとともに、コイルボビンはスリットレス型または開口
した部分スリット型のうち、いずれか一方のコイルボビ
ンで構成したことを特徴とする。このような構成とする
ことにより、直動形サーボ弁の高応答性と高制御性を実
現できるとともに、電気フィードバックループがOFF
となった場合でも、筒状弾性体のばね定数とスプールな
どの可動部質量とで決定される応答性は確保できる。こ
の結果、本直動形サーボ弁による制御対象が暴走するな
どの致命的なトラブルを未然に防止できる。
FIG. 11 shows a ninth embodiment in which the open partial slit structure according to the present invention is applied to an electric feedback type direct acting servo valve. That is, the cylindrical elastic body 5 having a relatively weak spring constant is provided on the end face of the coil bobbin opposite to the valve body.
2 and a displacement detector 50 is provided on the end face of the spool 4.
The position of the spool 4 is electrically detected, the detected value is amplified by a feedback gain Kx, and the movement of the spool 4 of the direct acting servo valve is determined by a deviation signal generated by matching the detected value with the input command value Xc. That is, the control is performed by the control mechanism 75. In this case, it is obvious that a high response can be expected because the response of the servo valve is electrically compensated by feedback. Further, the embodiment according to the present invention shown in FIG. 11 can be modified as described below. That is, the position of the spool is electrically detected by a displacement detector, and is fed back to the amplifier of the direct acting servo valve to form a closed loop position servo system. In a direct-acting servo valve of the type that converts to a speed signal and negatively feeds back to the input side of the power amplifier to electrically add damping, the coil bobbin has a spiral or multiple spiral at the axially intermediate portion on the end face opposite the valve body. In addition to disposing a metallic cylindrical elastic body having a slit-shaped opening in the circumferential direction of the coil bobbin, the coil bobbin is configured by one of a coil bobbin of a slitless type or an open partial slit type. Features. With such a configuration, high response and high controllability of the direct acting servo valve can be realized, and the electric feedback loop is turned off.
In this case, the responsiveness determined by the spring constant of the cylindrical elastic body and the mass of the movable portion such as the spool can be ensured. As a result, it is possible to prevent a fatal trouble such as a runaway of the control target by the direct acting servo valve.

【0030】一方、制御安定性の付与については、これ
までスプール変位を一回微分して速度信号をつくり、こ
れをフィードバックして安定化させる手法や、変位検出
器とは別に速度検出器を設けてその信号を直接用いて安
定化させる方法、さらにはオブザーバを用いて安定化さ
せる方法、また弁にオイルダンパを配設し安定化させる
等の手法が考えられている。しかし、これら従来のダン
ピング付与手法を適用する場合にはコスト的にアップす
ること、または適正な制御ゲインの設定が困難となるこ
と、また油温度や作動流体中の混入空気等の影響を直接
受けることなどの問題点を有している。
On the other hand, in order to provide control stability, a method of generating a speed signal by differentiating the spool displacement once and feeding it back to stabilize, or providing a speed detector separately from the displacement detector has been provided. A method of directly using the signal to stabilize the signal, a method of stabilizing the signal by using an observer, and a method of disposing an oil damper in a valve to stabilize the signal have been considered. However, when these conventional damping methods are applied, the cost is increased, or it is difficult to set an appropriate control gain, and the temperature is directly affected by oil temperature, air mixed in the working fluid, and the like. It has problems such as that.

【0031】これに対し本実施の形態では前述のように
特別な減衰付与手法および制御装置を新たに設ける必要
がなく、コイルボビンに設ける開口した部分スリットの
位置および形状のみを適正化することで前記課題に対処
できる。この結果、安価でしかも高応答、高安定な直動
形サーボ弁を提供することができる。なお、本実施例で
は3方弁の場合についての実施例について述べたが、本
発明はこれに限定されることはなく4方弁の場合につい
ても同様に適用でき、しかも3方弁の場合と同様な効果
が期待できる。
On the other hand, in the present embodiment, it is not necessary to newly provide a special damping method and a control device as described above, and only the position and shape of the opened partial slit provided on the coil bobbin are optimized. Can handle challenges. As a result, it is possible to provide an inexpensive, highly responsive, and stable direct acting servo valve. In the present embodiment, the embodiment in the case of the three-way valve has been described. However, the present invention is not limited to this, and can be similarly applied to the case of the four-way valve. Similar effects can be expected.

【0032】図12は本発明の直動形サーボ弁を圧延機
用油圧圧下装置に使用した例である。図12に示すよう
に、油圧ポンプ64より吐出される作動油は、本発明の
直動形サーボ弁69により圧下ジャッキ61に供給され
たり、または圧下ジャッキ61からタンク63に戻され
たりするように方向、流量及び圧力が制御される。この
とき、圧下ジャッキ61には圧下ラムの高さを検出する
センサ62が内蔵され、このセンサ62の出力信号を制
御装置70に取り込むことにより、直動形サーボ弁69
への入力電流を制御し圧下ジャッキ61のストロークを
制御するようになっている。本発明の前記いずれか一つ
の直動形サーボ弁を使用した油圧圧下装置を圧縮機に備
えることにより、直接圧下ジャッキの位置を高応答でし
かも高精度に制御することが可能となり、圧延材80の
板厚をμm単位の高精度に制御できる。
FIG. 12 shows an example in which the direct acting servo valve of the present invention is used in a hydraulic pressure reducing device for a rolling mill. As shown in FIG. 12, the hydraulic oil discharged from the hydraulic pump 64 is supplied to the screw-down jack 61 by the direct-acting servo valve 69 of the present invention, or is returned from the screw-down jack 61 to the tank 63. Direction, flow and pressure are controlled. At this time, a sensor 62 for detecting the height of the pressing down ram is built in the pressing down jack 61, and the output signal of this sensor 62 is taken into the control device 70 so that the direct acting servo valve 69 is provided.
And the stroke of the pressure reduction jack 61 is controlled. By providing the compressor with a hydraulic pressure reduction device using any one of the direct acting servo valves of the present invention, the position of the direct pressure reduction jack can be controlled with high response and high accuracy, and the rolled material 80 Can be controlled with high precision in the order of μm.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明によれば、コイルボビンのコイル
の巻線部に開口した軸方向の部分スリットを設け、コイ
ルボビンに生ずる渦電流の流路長さを変化させ、かつス
プールの変位に対する抗力を変化させることにより、弁
に適正なダンピング力が付与されるとともにコイルボビ
ンが軽量になり応答性の向上が図れる。また、弁の制御
安定性と応答性向上とを簡単な手段で安価に実現でき
る。
According to the present invention, an axial partial slit is formed in the winding portion of the coil of the coil bobbin so as to change the length of the flow path of the eddy current generated in the coil bobbin and to reduce the drag against the displacement of the spool. By changing the value, an appropriate damping force is applied to the valve, and at the same time, the coil bobbin is reduced in weight and responsiveness can be improved. Also, control stability and responsiveness of the valve can be improved at low cost by simple means.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のー実施例を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1のコイルボビンを示す拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view showing the coil bobbin of FIG.

【図3】コイルボビンのスリット形状の相違による周波
数特性を比較した図である。
FIG. 3 is a diagram comparing frequency characteristics due to differences in slit shapes of coil bobbins.

【図4】本発明の他の実施の形態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図5】本発明の他の実施の形態を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の他の実施の形態を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図7】本発明の他の実施の形態を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の他の実施の形態を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図9】本発明の他の実施の形態を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図10】本発明の他の実施の形態として2段形サーボ
弁を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a two-stage servo valve as another embodiment of the present invention.

【図11】本発明の他の実施の形態として電気フィード
バック式の直動形サーボ弁を示す図である。
FIG. 11 is a view showing an electric feedback type direct acting servo valve as another embodiment of the present invention.

【図12】本発明の他の実施の形態として圧延機油圧圧
下装置を示す図である。
FIG. 12 is a view showing a rolling mill hydraulic pressure reduction device as another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4 スプール 6 スリーブ 8 ボディ 12 マグネット 18 コイルボビン 20 ドライブコイル 26 コイルボビンの巻線部 27 コイルボビンの厚肉部 24,52 筒状弾性体 30,32,34a,34b,36a,36b,38,
40,42 スリット 50 変位検出器 69 直動形サーボ弁
Reference Signs List 4 spool 6 sleeve 8 body 12 magnet 18 coil bobbin 20 drive coil 26 winding part of coil bobbin 27 thick part of coil bobbin 24, 52 cylindrical elastic body 30, 32, 34a, 34b, 36a, 36b, 38,
40, 42 Slit 50 Displacement detector 69 Direct acting servo valve

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 スリーブ内を軸方向に摺動するスプール
の一端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビン
と、該コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨー
ク及びポールとを備えてなり、前記コイルに電流を流し
て発生させた電磁力により前記スプールを軸方向に摺動
させる直動形サーボ弁において、前記コイルボビンは、
前記コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接し該
巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、前記巻線
部に開口した軸方向のスリットを形成することを特徴と
する直動形サーボ弁。
A coil bobbin fixed to one end of a spool that slides in a sleeve in an axial direction and wound with a coil, a magnet, a yoke, and a pole traversing the coil to form a magnetic path. In a direct-acting servo valve that slides the spool in the axial direction by an electromagnetic force generated by applying a current to the coil, the coil bobbin includes:
A winding portion for winding the coil, and a protruding portion adjacent to the winding portion and protruding from an outer peripheral surface of the winding portion, and forming an axial slit opened in the winding portion. A direct acting servo valve.
【請求項2】 スリーブ内を軸方向に摺動するスプール
の一端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビン
と、該コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨー
ク及びポールとを備えてなり、前記コイルに電流を流し
て発生させた電磁力により前記スプールを軸方向に摺動
させる直動形サーボ弁において、前記コイルボビンは、
前記コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接し該
巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、前記巻線
部に開口した軸方向のスリットを形成するとともに、該
スリットを前記突出部の中間部まで延長したことを特徴
とする直動形サーボ弁。
A coil bobbin fixedly mounted at one end of a spool that slides in a sleeve in an axial direction and having a coil wound thereon; a magnet, a yoke, and a pole traversing the coil to form a magnetic path. In a direct-acting servo valve that slides the spool in the axial direction by an electromagnetic force generated by applying a current to the coil, the coil bobbin includes:
A winding part for winding the coil, and a protrusion adjacent to the winding part and protruding from the outer peripheral surface of the winding part, and forming an axial slit opened in the winding part. A direct acting servo valve, wherein the slit is extended to an intermediate portion of the projecting portion.
【請求項3】 請求項1記載の直動形サーボ弁におい
て、巻線部に開口した軸方向のスリットを形成するとと
もに、隣接する一方のスリットが前記巻線部の他端と該
巻線部の中間部との間に形成され、かつ他方のスリット
が前記巻線部の一端と該巻線部の中間部との間に形成さ
れ、それぞれのスリットの終端が前記巻線部の中間部で
互いオーバーラップしていることを特徴とする直動形サ
ーボ弁。
3. The direct acting servo valve according to claim 1, wherein an axial slit opened in the winding portion is formed, and one adjacent slit is connected to the other end of the winding portion and the winding portion. And the other slit is formed between one end of the winding part and the middle part of the winding part, and the end of each slit is the middle part of the winding part. A direct acting servo valve characterized by overlapping each other.
【請求項4】 圧下ジャッキと、該圧下ジャッキに作動
油を供給する油圧ポンプと、前記圧下ジャッキに供給さ
れた前記作動油を戻すタンクと、該作動油の前記圧下ジ
ャッキへの供給と排出とを制御するサーボ弁体とを備
え、圧延材の板厚を加工する圧延機において、前記サー
ボ弁体は、スリーブ内を軸方向に摺動するスプールの一
端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビンと、
該コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨーク及
びポールとを備えてなり、前記コイルに電流を流して発
生させた電磁力により前記スプールを軸方向に摺動させ
る直動形サーボ弁により形成され、前記コイルボビン
は、前記コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接
し該巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、前記
巻線部に開口した軸方向のスリットを形成したことを特
徴とする圧延機。
4. A screw-down jack, a hydraulic pump that supplies hydraulic oil to the screw-down jack, a tank that returns the hydraulic oil supplied to the screw-down jack, and a supply and discharge of the hydraulic oil to and from the screw-down jack. And a servo valve body for controlling the thickness of the rolled material, wherein the servo valve body is fixed to one end of a spool that slides in the sleeve in the axial direction and is wound with a coil. Coil bobbin and
It is provided with a magnet, a yoke, and a pole that forms a magnetic path across the coil, and is formed by a direct-acting servo valve that slides the spool in the axial direction by an electromagnetic force generated by applying a current to the coil. The coil bobbin has a winding part that winds the coil, and a protruding part that is adjacent to the winding part and protrudes from the outer peripheral surface of the winding part. A rolling mill characterized by forming a slit.
【請求項5】 圧下ジャッキと、該圧下ジャッキに作動
油を供給する油圧ポンプと、前記圧下ジャッキに供給さ
れた前記作動油を戻すタンクと、該作動油の前記圧下ジ
ャッキへの供給と排出とを制御するサーボ弁体とを備
え、圧延材の板厚を加工する圧延機において、前記サー
ボ弁体は、スリーブ内を軸方向に摺動するスプールの一
端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビンと、
該コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨーク及
びポールとを備えてなり、前記コイルに電流を流して発
生させた電磁力により前記スプールを軸方向に摺動させ
る直動形サーボ弁により形成され、前記コイルボビン
は、前記コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接
し該巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、前記
巻線部に開口した軸方向のスリットを形成するととも
に、前記スリットを前記突出部の中間部まで延長したこ
とを特徴とする圧延機。
5. A screw-down jack, a hydraulic pump for supplying hydraulic oil to the screw-down jack, a tank for returning the hydraulic oil supplied to the screw-down jack, and a supply and discharge of the hydraulic oil to and from the screw-down jack. And a servo valve body for controlling the thickness of the rolled material, wherein the servo valve body is fixed to one end of a spool that slides in the sleeve in the axial direction and is wound with a coil. Coil bobbin and
It is provided with a magnet, a yoke, and a pole that forms a magnetic path across the coil, and is formed by a direct-acting servo valve that slides the spool in the axial direction by an electromagnetic force generated by applying a current to the coil. The coil bobbin has a winding part that winds the coil, and a protruding part that is adjacent to the winding part and protrudes from the outer peripheral surface of the winding part. A rolling mill, wherein a slit is formed and the slit is extended to an intermediate portion of the protrusion.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000283112A (en) * 1999-03-31 2000-10-13 Kawasaki Steel Corp Hydraulic servo valve
JP2018048920A (en) * 2016-09-21 2018-03-29 宇部興産機械株式会社 Degradation judgment method for rotational drive system of flow control valve
CN117681844A (en) * 2023-12-28 2024-03-12 襄阳航宇机电液压应用技术有限公司 Passive direct-drive electrohydraulic brake servo valve and unmanned aerial vehicle

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000283112A (en) * 1999-03-31 2000-10-13 Kawasaki Steel Corp Hydraulic servo valve
JP2018048920A (en) * 2016-09-21 2018-03-29 宇部興産機械株式会社 Degradation judgment method for rotational drive system of flow control valve
CN117681844A (en) * 2023-12-28 2024-03-12 襄阳航宇机电液压应用技术有限公司 Passive direct-drive electrohydraulic brake servo valve and unmanned aerial vehicle

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