JPH10176701A

JPH10176701A - 直動形サーボ弁

Info

Publication number: JPH10176701A
Application number: JP29996397A
Authority: JP
Inventors: Yoshimichi Akasaka; 吉道赤坂; Shinichi Yasunari; 晋一安成; Shunji Ohara; 俊次尾原
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1997-10-31
Filing date: 1997-10-31
Publication date: 1998-06-30

Abstract

(57)【要約】【課題】フォースモータ駆動方式の直動形サーボ弁で
要求される相反する課題、すなわち減衰付与と応答性向
上とを簡単でかつ安価な手段で実現可能とする。【解決手段】スリーブ６内を軸方向に摺動するスプー
ル４の一端に固設されかつコイル２０を巻回されたコイ
ルボビン１８と、コイル２０を横切り磁路を形成するマ
グネット１２、ヨーク１４およびポールとを備え、コイ
ルボビン１８は、コイル２０の巻線部と、この巻線部に
隣接しこの巻線部の外周面より突出した突出部とを有
し、巻線部に開口した軸方向のスリット３０を形成し
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、サーボ弁に係り、
特にフォースモータでスプールを直接駆動するタイプの
直動形サーボ弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の直動形サーボ弁おいては、スリー
ブ内を軸方向に摺動するスプールの一端に固設されかつ
コイルを巻回されたコイルボビンと、コイルボビンを他
端側に付勢する筒状弾性体と、コイルを横切り磁路を形
成するマグネット、ヨーク及びポールとを備えてなり、
コイルに電流を流して発生させた電磁力によりスプール
を筒状弾性体の付勢力に抗して軸方向に摺動させる構成
になっている。従来より各種油圧制御システムには、特
に制御対象のアクチュエータを高速、高精度に制御する
ため制御弁に直動形サーボ弁が用いられている。直動形
サーボ弁は、磁気回路とコイルが巻回しされたコイルボ
ビンとで形成されるフォースモータでスプール弁を直接
駆動することにより、入力電流に比例してスプール弁か
ら出力される作動流体の方向、圧力及び流量を制御する
電気ー油圧変換素子である。

【０００３】コイルボビンに付勢力を付与する手段とし
ては、機械的及び電気的の２方式に大別される。例え
ば、機械的な方式としてはスプールの片側端面に粘弾性
部材（弾性ゴム）を用いたものがある（特開昭５５−１
０１９８号公報参照）。またスプールの位置決めはスプ
ールの両端に円形断面のコイルばねを配設することによ
り行う方式（特開昭４９−１３３７８０号公報参照）な
どがある。

【０００４】さらにボビンに溝を形成した構成、例えば
割溝を形成し、この割溝に非導電性材料を埋設したもの
がある（特開昭６２−２３３５６号公報参照）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の直動形サーボ弁
にあっては、コイルボビンに付勢力を付与する手段とし
て弾性ゴムを用いたものでは，ゴム自身の内部ヒステリ
シスによる減衰効果を利用したものであるが、弾性ゴム
が非常に劣化しやすく寿命が短い。かつ作動油の浸入に
より弾性ゴムが膨潤する。このため常に均一な性質を確
保し難く製品の歩留まりが非常に悪い等の問題があっ
た。一方、コイルばねを用いたものでは、コイルばねを
圧縮すると、合成荷重の作用線が一般にコイルばねの中
心軸から微小量だけ外れたところにくる。この荷重の偏
心によってスプールの両端には不均一な軸方向の力が発
生する。その不均一な力の合力がスプールの軸線に対し
て斜め方向に作用するため、スプールがコイルばねによ
って半径方向に押されスリーブ内面に押しつけられる。
この結果、スプールとスリーブ間の摩擦力が増大され、
スプールの操作信号に対する応答性が悪化するという問
題点があった。

【０００６】また電導材のコイルボビンにスリットを形
成し、スプールの変位に対する抗力を変化させようとし
ても、スリットの形状によっては、渦電流に基づく抗力
を利用できない問題点があった。

【０００７】本発明の課題は、スプールの変位に対する
抗力を変化させ高応答で高精度、高信頼性を有する直動
形サーボ弁を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記の課題を達成するた
め、本発明に係る直動形サーボ弁は、スリーブ内を軸方
向に摺動するスプールの一端に固設されかつコイルを巻
回されたコイルボビンと、コイルを横切り磁路を形成す
るマグネット、ヨーク及びポールとを備えてなり、コイ
ルに電流を流して発生させた電磁力によりスプールを軸
方向に摺動させる直動形サーボ弁において、コイルボビ
ンは、コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接し
巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、巻線部に
開口した軸方向のスリットを形成する構成とする。

【０００９】そして巻線部に開口した軸方向のスリット
を形成するとともに、スリットを突出部の中間部まで延
長した構成でもよい。

【００１０】また巻線部に開口した軸方向のスリットを
形成するとともに、隣接する一方のスリットが巻線部の
他端と巻線部の中間部との間に形成され、かつ他方のス
リットが巻線部の一端と巻線部の中間部との間に形成さ
れ、それぞれのスリットの終端が巻線部の中間部で互い
オーバーラップしている構成でもよい。

【００１１】さらに圧延機においては、圧下ジャッキ
と、圧下ジャッキに作動油を供給する油圧ポンプと、圧
下ジャッキに供給された作動油を戻すタンクと、作動油
の圧下ジャッキへの供給と排出とを制御するサーボ弁体
とを備え、圧延材の板厚を加工する圧延機において、サ
ーボ弁体は、スリーブ内を軸方向に摺動するスプールの
一端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビン
と、コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨーク
及びポールとを備えてなり、コイルに電流を流して発生
させた電磁力によりスプールを軸方向に摺動させる直動
形サーボ弁により形成され、コイルボビンは、コイルを
巻回する巻線部と、この巻線部に隣接し巻線部の外周面
より突出した突出部とを有し、巻線部に開口した軸方向
のスリットを形成した構成とする。

【００１２】そして巻線部に開口した軸方向のスリット
を形成するとともに、スリットを突出部の中間部まで延
長した構成でもよい。

【００１３】本発明によれば、フレミングの左手の法則
によって軸方向に発生する電磁力がコイルボビンを動か
すと、この動きを妨げる方向に渦電流が発生する。しか
し、コイルボビンの巻線部に開口した部分的なスリット
を設けることにより、コイルボビンを流れる渦電流の流
路長さが変化する。これによりコイルボビンのインダク
タンス（Ｌ）および抵抗（Ｒ）が変化し、渦電流による
抗力（減衰力）も変化する。この結果、コイルボビンの
ＬとＲとから決定される時定数が変化する。すなわち、
コイルボビンの巻線部に部分的なスリットを設けること
により、渦電流に基づく抗力を変化させ、弁（スプー
ル）の周波数特性を変化させる。言い替えれば、部分ス
リットの形状及び寸法を適正に設定することで弁の応答
性の向上が図れる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１およ
び図２を参照しながら説明する。図１に３方弁タイプの
直動形サーボ弁の構造を示す断面図、図２に直動形サー
ボ弁のコイルボビンの付近の拡大部分断面図が示されて
いる。図１及び図２に示すように、スリーブ６内を軸方
向に摺動するスプール４の一端に固設されかつコイル２
０を巻回されたコイルボビン１８と、コイル２０を横切
り磁路を形成するマグネット１２、ヨーク１４及びポー
ル１６とを備えてなり、コイル２０に電流を流して発生
させた電磁力によりスプール６を軸方向に摺動させる直
動形サーボ弁であって、コイルボビン１８は、コイル２
０の巻線部２６と、この巻線部２６に隣接しこの巻線部
２６の外周面より突出したリブ２５及び厚肉部２７など
の突出部とを有し、巻線部２６にその厚さ方向に貫通し
て開口した軸方向の複数のスリット３０を形成した構成
とする。なおコイルボビン１８を他端側に付勢する筒状
弾性体２４の軸方向中間部に、円周方向の複数のスリッ
ト状の開口部２４ａが設けられている。

【００１５】すなわち、駆動力発生部としてのフォース
モータ１と、フォースモータ１によって駆動され流体の
流れる方向、流量及び圧力等を制御する弁部２とで構成
される。弁部２はスプール４、スリーブ６及び弁ボディ
８を主要構成要素とし、スリーブ６に対するスプール４
の相対位置を高精度に制御することによって流路１０ａ
〜１０ｃに流れる流体の方向、流量あるいは圧力などを
制御する。

【００１６】一方、フォースモータ１は、マグネット１
２、ヨーク１４及びポール１６と、スプール４の端部に
固着されたコイルボビン１８およびコイルボビン１８の
周囲に取り付けられたドライブコイル（コイル）２０を
主要構成要素とし、このドライブコイル２０に通電する
電流の方向及び大きさを制御してスプール４の軸方向に
生ずる力の方向と大きさを制御する。すなわち、マグネ
ット１２、ヨーク１４及びポール１６で磁路を形成し、
この磁路中に置かれたドライブコイル２０へ電流を流す
とフレミングの左手の法則に基づき、スプール４及びコ
イルボビン１８を駆動させる電磁力Ｆ（Ｆ＝Ｂｌｉこ
こに、Ｂ：磁束密度，ｌ：コイルの有効長さ，ｉ：電流
の大きさ）を発生する。このようにして、ドライブコ
イル２０に発生した電磁力Ｆはコイルボビン１８を介し
て弁部２のスプール４に伝達され、このスプール４を直
接駆動する。またヨーク１４を貫通し、かつコイルボビ
ン１８の反弁部側端面２２と接するように配設された筒
状弾性体２４は、スプール４およびドライブコイル２０
の中立位置を保持するとともに、ドライブコイル２０に
発生した電磁力Ｆに比例してスプール４に変位を与え
る。ここで、筒状弾性体２４は接着すべき座巻のコイル
部分が皆無であるとともに、軸方向中間部に螺旋状また
は多数の円周方向のスリット状の開口部を形成した金属
体で形成しているため、良好な線形ばね特性が得られ
る。この結果、筒状弾性体２４は圧縮および引っ張り状
態で使用してもスプールに半径方向の力を与えず、スプ
ールとスリーブ間の摩擦力を増大させることはない。一
方、この筒状弾性体２４の働きによってドライブコイル
２０に電磁力Ｆが生じていないときは、スプール４は中
立位置に保持される。また、ドライブコイル２０に発生
した電磁力Ｆに比例してスプール４が変位することによ
り、流体の流量あるいは圧力が制御されることになる。

【００１７】さらにコイルボビン１８が電導材、例えば
アルミニウム合金等で形成されているときには、コイル
ボビン１８が磁路における磁束を横切ると、電磁誘導作
用によってコイルボビン１８に電圧が誘起され、渦電流
Ｉeがコイルに流れる電流ｉと逆向きに流れる（フレミ
ングの右手の法則）。さらに渦電流Ｉeと磁束との間で
抗力ｆがコイルに発生する電磁力(駆動力)Ｆと逆方向に
生じる。この結果、フォースモータの駆動力はＦーｆと
なる。ここで注目すべき点は、渦電流によって生じる抗
力ｆはコイルボビン１８が磁束を横切る速度に比例す
る。したがって、入力電流ｉの周波数が高くなると渦電
流Ｉeによる抗力ｆも大きくなり、これがサーボ弁のス
プール４の動きに大きな減衰力を付与することになる。

【００１８】本発明ではこの点に注目し、図２に示すよ
うに、コイルボビン１８のドライブコイルの巻線部２６
の軸方向には微小幅を有しかつ開口したスリット３０を
リブ２５と厚肉部２７との間に複数本設けてある。この
ようにコイルボビン１８のコイル２０の巻線部に開口し
たスリット３０を設けると、電導材のコイルボビン１８
に発生する渦電流Ｉeの流路長さがスリット３０がない
場合に比べて変わるため、流路抵抗を変化させることが
できる。この結果、コイルボビン１８のインダクタンス
Ｌと抵抗Ｒの比Ｌ／Ｒで決まる時定数を変化させる。こ
れにより、渦電流に基づく抗力、すなわち減衰力を変化
させ、スプールに適正なダンピングを付与することがで
きる。

【００１９】ここで、本実施の形態によるダンピング性
能を実験により確認し、その結果を図３に示す。図３で
はフルスリット型及びスリットレス型並びに本実施の形
態の部分スリット型コイルボビンを用いたときの周波数
応答のゲイン特性を対比して示している。図３からも分
かるようにコイルボビンに部分スリットを形成すること
でゲイン特性のピーク値の増加分は、スリットレス型コ
イルボビンの場合に比べ１〜２ｄＢ程度に抑制できる。
またスリットレス型コイルボビンの場合には、渦電流に
よるダンピング作用を最大限に発揮させることができ
る。この結果、図３からもわかるように応答周波数の値
は、部分スリット型コイルボビンの場合に比べ若干低下
する。反面、ゲイン特性のピーク値は、コイルボビンに
発生する渦巻流を１００％減衰力として利用できるた
め、＋３ｄＢ程度に抑制でき制御安定性の向上が図れ
る。

【００２０】これにより本発明の実施の形態によれば、
図２に示すように、コイルボビン１８のコイル巻線部２
６に開口したスリット３０を設けることにより、直動形
サーボ弁で要求される相反する課題の応答性と制御安定
性の両方を解決することができる。

【００２１】図４は本発明に係る第２の実施の形態を示
している。本実施の形態ではコイルボビン１８に対する
開口した部分スリット３２が図２の場合と異なってい
る。すなわち、コイルボビン１８の軸方向に設ける開口
した複数本の部分スリット３２は、巻線部２６からコイ
ルボビン１８の厚肉部２７の中間部まで延長されている
点が異なっている。これにより、渦電流Ｉeの流路抵抗
を変化させることができる。さらに磁束密度の大きい巻
線部２６と厚肉部２７との境界部分に開口した部分スリ
ット３２を設けることにより渦電流Ｉeによる抗力を低
下させることができる。この結果、渦電流によるダンピ
ング効果を緩和させ、直動形サーボ弁の周波数特性を図
３の場合に比べ向上させることができる。

【００２２】図５は本発明に係る第３の実施の形態を示
している。本実施の形態ではコイルボビン１８に対する
開口した部分スリット３４が図２の場合と異なってい
る。すなわち、コイルボビン１８の巻線部２６の軸方向
に設ける開口した複数本の部分スリット３４は、巻線部
２６の全幅に対して設けるのではなく途中（中間部）ま
でとしている。しかもコイルボビン１８の厚肉部２７側
からリブ２５側に向かって巻線部２６に設ける開口した
部分スリット３４ａと、リブ２５側から厚肉部２７側に
向かって巻線部２６に設ける開口した部分スリット３４
ｂとは、巻線部２６の幅内の中間部で両者部分スリット
３４ａ，３４ｂの終端の長さがオーバーラップするよう
にしてある。このように開口した部分スリット３４ａ，
３４ｂをオーバーラップさせることにより、コイルボビ
ン１８に発生する渦電流の流路抵抗を増大させることが
できる。この結果、渦電流による抗力を図２の場合に比
べ低減させ、直動形サーボ弁の応答性向上が図れる。

【００２３】さらに図６は前述の第２及び第３の実施の
形態を併用することによる相乗効果を狙ったものであ
る。すなわち、コイルボビン１８の巻線部２６と厚肉部
２７に設ける開口した部分スリット３６ａ，３６ｂは、
互いに周方向に位相をずらし、しかも隣接するスリット
の長さはオーバーラップするようにコイルボビン１８の
軸方向に開口した複数本のスリットを設けたことであ
る。この結果、前述の実施例の場合に比べて渦電流によ
る減衰力を低減させることができ、さらに弁の応答性の
向上が図れる。

【００２４】図７及び図８は本発明に係る第５及び第６
の実施の形態を示している。本実施の形態は前述の第１
および第２の実施の形態の変形例である。ここではコイ
ルボビン１８の巻線部２６に設ける開口した部分スリッ
ト３８，４０の途中を切断し非接続部３８ａ，４０ａを
設けてある。これによりコイルボビン１８の巻線部２６
に発生する渦電流の流路を開口した部分スリット３８，
４０によって絞り形状としたことである。この結果、こ
の絞り部を通過する渦電流が発生することにより直動形
サーボ弁に対する抗力が第１および第２の実施の形態に
比べ増大する。この結果、直動形サーボ弁の制御安定性
の向上が期待できる。

【００２５】図９は本発明に係る第７の実施の形態を示
している。本実施の形態ではコイルボビン１８の軽量化
のために設けられた隣接する空孔部４４ａと４４ｂの間
に巻線部２６及び厚肉部２７を通して部分スリット４２
をコイルボビン１８の軸方向に開口して複数本設けてあ
る。これより、巻線部２６および厚肉部２７と巻線部２
６との境界部分、並びに厚肉部２７の３個所で渦電流に
よる抗力を低減できる。

【００２６】本実施の形態によれば、コイルボビンが軽
量になり、かつ渦電流によるダンピング効果を最大限に
軽減できるため、直動形サーボ弁の応答性の向上が実現
可能となる。

【００２７】図１０は本発明に係る開口した部分スリッ
トを有するコイルボビンで２段形サーボ弁のパイロット
弁を構成した第８の実施の形態である。本実施の形態で
は図１で示した直動形サーボ弁と同一の部材もしくは類
似の部材には同一の符号を記し，ここではその詳しい説
明は省略する。

【００２８】２段形サーボ弁の応答性向上とダンピング
付与の相反する課題に対して、本発明に係るコイルボビ
ンに部分スリットを設ける手法は、直動形サーボ弁の場
合と同様有効な手段である。

【００２９】図１１は本発明に係る開口した部分スリッ
ト構造を電気フィードバック方式の直動形サーボ弁に適
用した第９の実施の形態を示す。すなわち、コイルボビ
ンの反弁体側端面に比較的弱いばね定数の筒状弾性体５
２を配設し、かつスプール４の端面には変位検出器５０
を設け、スプール４の位置を電気的に検出し、この検出
値をフィードバックゲインＫｘで増幅するとともに、入
力指令値Ｘｃと突き合わせることにより生ずる偏差信号
で直動形サーボ弁のスプール４の動きを制御機構７５で
制御するようにしたことである。この場合、サーボ弁の
応答性は電気的にフィードバック補償しているため、高
応答が期待できるのは自明である。また、図１１に示し
た本発明による実施の形態は、以下に示すように変形す
ることも可能である。すなわち、スプールの位置を変位
検出器により電気的に検出し、かつ直動形サーボ弁のア
ンプにフィードバックすることにより閉ループ位置サー
ボ系を構成させ、しかも出力を直動形サーボ弁駆動用ア
ンプ内で速度信号に変換し、電力増幅器の入力側に負帰
還することにより電気的にダンピングを付加する方式の
直動形サーボ弁において、コイルボビンの反弁体側端面
には軸方向中間部に螺旋状または多数の円周方向のスリ
ット状の開口部を形成した金属性の筒状弾性体を配設す
るとともに、コイルボビンはスリットレス型または開口
した部分スリット型のうち、いずれか一方のコイルボビ
ンで構成したことを特徴とする。このような構成とする
ことにより、直動形サーボ弁の高応答性と高制御性を実
現できるとともに、電気フィードバックループがＯＦＦ
となった場合でも、筒状弾性体のばね定数とスプールな
どの可動部質量とで決定される応答性は確保できる。こ
の結果、本直動形サーボ弁による制御対象が暴走するな
どの致命的なトラブルを未然に防止できる。

【００３０】一方、制御安定性の付与については、これ
までスプール変位を一回微分して速度信号をつくり、こ
れをフィードバックして安定化させる手法や、変位検出
器とは別に速度検出器を設けてその信号を直接用いて安
定化させる方法、さらにはオブザーバを用いて安定化さ
せる方法、また弁にオイルダンパを配設し安定化させる
等の手法が考えられている。しかし、これら従来のダン
ピング付与手法を適用する場合にはコスト的にアップす
ること、または適正な制御ゲインの設定が困難となるこ
と、また油温度や作動流体中の混入空気等の影響を直接
受けることなどの問題点を有している。

【００３１】これに対し本実施の形態では前述のように
特別な減衰付与手法および制御装置を新たに設ける必要
がなく、コイルボビンに設ける開口した部分スリットの
位置および形状のみを適正化することで前記課題に対処
できる。この結果、安価でしかも高応答、高安定な直動
形サーボ弁を提供することができる。なお、本実施例で
は３方弁の場合についての実施例について述べたが、本
発明はこれに限定されることはなく４方弁の場合につい
ても同様に適用でき、しかも３方弁の場合と同様な効果
が期待できる。

【００３２】図１２は本発明の直動形サーボ弁を圧延機
用油圧圧下装置に使用した例である。図１２に示すよう
に、油圧ポンプ６４より吐出される作動油は、本発明の
直動形サーボ弁６９により圧下ジャッキ６１に供給され
たり、または圧下ジャッキ６１からタンク６３に戻され
たりするように方向、流量及び圧力が制御される。この
とき、圧下ジャッキ６１には圧下ラムの高さを検出する
センサ６２が内蔵され、このセンサ６２の出力信号を制
御装置７０に取り込むことにより、直動形サーボ弁６９
への入力電流を制御し圧下ジャッキ６１のストロークを
制御するようになっている。本発明の前記いずれか一つ
の直動形サーボ弁を使用した油圧圧下装置を圧縮機に備
えることにより、直接圧下ジャッキの位置を高応答でし
かも高精度に制御することが可能となり、圧延材８０の
板厚をμｍ単位の高精度に制御できる。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、コイルボビンのコイル
の巻線部に開口した軸方向の部分スリットを設け、コイ
ルボビンに生ずる渦電流の流路長さを変化させ、かつス
プールの変位に対する抗力を変化させることにより、弁
に適正なダンピング力が付与されるとともにコイルボビ
ンが軽量になり応答性の向上が図れる。また、弁の制御
安定性と応答性向上とを簡単な手段で安価に実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のー実施例を示す断面図である。

【図２】図１のコイルボビンを示す拡大図である。

【図３】コイルボビンのスリット形状の相違による周波
数特性を比較した図である。

【図４】本発明の他の実施の形態を示す図である。

【図５】本発明の他の実施の形態を示す図である。

【図６】本発明の他の実施の形態を示す図である。

【図７】本発明の他の実施の形態を示す図である。

【図８】本発明の他の実施の形態を示す図である。

【図９】本発明の他の実施の形態を示す図である。

【図１０】本発明の他の実施の形態として２段形サーボ
弁を示す図である。

【図１１】本発明の他の実施の形態として電気フィード
バック式の直動形サーボ弁を示す図である。

【図１２】本発明の他の実施の形態として圧延機油圧圧
下装置を示す図である。

【符号の説明】

４スプール６スリーブ８ボディ１２マグネット１８コイルボビン２０ドライブコイル２６コイルボビンの巻線部２７コイルボビンの厚肉部２４，５２筒状弾性体３０，３２，３４ａ，３４ｂ，３６ａ，３６ｂ，３８，
４０，４２スリット５０変位検出器６９直動形サーボ弁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スリーブ内を軸方向に摺動するスプール
の一端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビン
と、該コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨー
ク及びポールとを備えてなり、前記コイルに電流を流し
て発生させた電磁力により前記スプールを軸方向に摺動
させる直動形サーボ弁において、前記コイルボビンは、
前記コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接し該
巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、前記巻線
部に開口した軸方向のスリットを形成することを特徴と
する直動形サーボ弁。
【請求項２】スリーブ内を軸方向に摺動するスプール
の一端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビン
と、該コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨー
ク及びポールとを備えてなり、前記コイルに電流を流し
て発生させた電磁力により前記スプールを軸方向に摺動
させる直動形サーボ弁において、前記コイルボビンは、
前記コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接し該
巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、前記巻線
部に開口した軸方向のスリットを形成するとともに、該
スリットを前記突出部の中間部まで延長したことを特徴
とする直動形サーボ弁。
【請求項３】請求項１記載の直動形サーボ弁におい
て、巻線部に開口した軸方向のスリットを形成するとと
もに、隣接する一方のスリットが前記巻線部の他端と該
巻線部の中間部との間に形成され、かつ他方のスリット
が前記巻線部の一端と該巻線部の中間部との間に形成さ
れ、それぞれのスリットの終端が前記巻線部の中間部で
互いオーバーラップしていることを特徴とする直動形サ
ーボ弁。
【請求項４】圧下ジャッキと、該圧下ジャッキに作動
油を供給する油圧ポンプと、前記圧下ジャッキに供給さ
れた前記作動油を戻すタンクと、該作動油の前記圧下ジ
ャッキへの供給と排出とを制御するサーボ弁体とを備
え、圧延材の板厚を加工する圧延機において、前記サー
ボ弁体は、スリーブ内を軸方向に摺動するスプールの一
端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビンと、
該コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨーク及
びポールとを備えてなり、前記コイルに電流を流して発
生させた電磁力により前記スプールを軸方向に摺動させ
る直動形サーボ弁により形成され、前記コイルボビン
は、前記コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接
し該巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、前記
巻線部に開口した軸方向のスリットを形成したことを特
徴とする圧延機。
【請求項５】圧下ジャッキと、該圧下ジャッキに作動
油を供給する油圧ポンプと、前記圧下ジャッキに供給さ
れた前記作動油を戻すタンクと、該作動油の前記圧下ジ
ャッキへの供給と排出とを制御するサーボ弁体とを備
え、圧延材の板厚を加工する圧延機において、前記サー
ボ弁体は、スリーブ内を軸方向に摺動するスプールの一
端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビンと、
該コイルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨーク及
びポールとを備えてなり、前記コイルに電流を流して発
生させた電磁力により前記スプールを軸方向に摺動させ
る直動形サーボ弁により形成され、前記コイルボビン
は、前記コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接
し該巻線部の外周面より突出した突出部とを有し、前記
巻線部に開口した軸方向のスリットを形成するととも
に、前記スリットを前記突出部の中間部まで延長したこ
とを特徴とする圧延機。