JPH10177056A - 評価検証装置 - Google Patents
評価検証装置Info
- Publication number
- JPH10177056A JPH10177056A JP8339215A JP33921596A JPH10177056A JP H10177056 A JPH10177056 A JP H10177056A JP 8339215 A JP8339215 A JP 8339215A JP 33921596 A JP33921596 A JP 33921596A JP H10177056 A JPH10177056 A JP H10177056A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- evaluation
- verification
- board
- rack
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 238000012795 verification Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 claims abstract 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000035882 stress Effects 0.000 claims 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 チャンバ内にボードを容易に搬入できる評価
検証装置を提供する。 【解決手段】 試料デバイスを搭載したボード３１を多
数段並べてチャンバ１１内に収容し、試料デバイスに熱
ストレスを与えて、評価・検証を行なう評価検証装置で
あって、ボード３１が配置されるラック３０が取り付け
られたラック搬送カート２０と、チャンバ１１の底面及
びその底面に接する１つの側面に形成され、ラック搬送
カート２０が出入する底面及び側面開口部１１ａ，１１
ｂと、底面開口部１１ａに設けられ、搬送台車が載置さ
れる床板部１２ａを備え、乗り込み位置と収容位置間を
昇降する昇降部１２とを備え、ラック搬送カート２０
は、床部２１に断熱層２１ｃを有し、チャンバ１１内に
収容されて、収容位置に上昇したときに、チャンバ１１
の一部として、密封構造を保つ。
検証装置を提供する。 【解決手段】 試料デバイスを搭載したボード３１を多
数段並べてチャンバ１１内に収容し、試料デバイスに熱
ストレスを与えて、評価・検証を行なう評価検証装置で
あって、ボード３１が配置されるラック３０が取り付け
られたラック搬送カート２０と、チャンバ１１の底面及
びその底面に接する１つの側面に形成され、ラック搬送
カート２０が出入する底面及び側面開口部１１ａ，１１
ｂと、底面開口部１１ａに設けられ、搬送台車が載置さ
れる床板部１２ａを備え、乗り込み位置と収容位置間を
昇降する昇降部１２とを備え、ラック搬送カート２０
は、床部２１に断熱層２１ｃを有し、チャンバ１１内に
収容されて、収容位置に上昇したときに、チャンバ１１
の一部として、密封構造を保つ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気・電子部品な
どのデバイスを試料として、熱や電圧などのストレスを
与えて、そのデバイスの初期不良の加速試験などを行な
う評価検証装置に関するものである。
どのデバイスを試料として、熱や電圧などのストレスを
与えて、そのデバイスの初期不良の加速試験などを行な
う評価検証装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置は、試料デバイスを
搭載したバーインボードを多数段並べてに収容されるチ
ャンバと、このチャンバ内に配置され、そのバーインボ
ードが着脱自在に接続されるコネクタ部と、コネクタ部
にバーインボードを挿入する挿入機構と、コネクタ部か
らバーインボードを抜き去る抜去機構などとを備えてい
た（特公平６−８２１４５）。
搭載したバーインボードを多数段並べてに収容されるチ
ャンバと、このチャンバ内に配置され、そのバーインボ
ードが着脱自在に接続されるコネクタ部と、コネクタ部
にバーインボードを挿入する挿入機構と、コネクタ部か
らバーインボードを抜き去る抜去機構などとを備えてい
た（特公平６−８２１４５）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の装置は、コネクタ部にバーインボードを挿入したり、
抜去したりするのは、自動で行われていたが、バーイン
ボードを多数段並べる作業は、チャンバ内に設けられた
棚に手作業で行われていたので、作業時間がかかるとい
う問題があった。また、作業時間を短縮するために、バ
ーインボードをラックに挿入して、そのラックをチャン
バ内に搬入す場合には、ラックの重量が重いので、重労
働であった。このために、女子社員の多い半導体工場で
は、この作業のために特別に作業員が必要であった。
の装置は、コネクタ部にバーインボードを挿入したり、
抜去したりするのは、自動で行われていたが、バーイン
ボードを多数段並べる作業は、チャンバ内に設けられた
棚に手作業で行われていたので、作業時間がかかるとい
う問題があった。また、作業時間を短縮するために、バ
ーインボードをラックに挿入して、そのラックをチャン
バ内に搬入す場合には、ラックの重量が重いので、重労
働であった。このために、女子社員の多い半導体工場で
は、この作業のために特別に作業員が必要であった。
【０００４】特開平７−１９８２６２は、チャンバ内に
バーインボードを自動的に搬入する構造を提案している
が、装置が大がかりになるという問題があった。
バーインボードを自動的に搬入する構造を提案している
が、装置が大がかりになるという問題があった。
【０００５】一方、抜去機構は、バーインボードのコー
ナー部に設けられた切り欠き部をレバー等で押すことに
より、コネクタ部から抜き去るようにしていたが（特公
平６−８２１４５の第２図参照）、この切り欠き部が小
さいボードの場合には、その部分が欠損する、という問
題があった。
ナー部に設けられた切り欠き部をレバー等で押すことに
より、コネクタ部から抜き去るようにしていたが（特公
平６−８２１４５の第２図参照）、この切り欠き部が小
さいボードの場合には、その部分が欠損する、という問
題があった。
【０００６】本発明の課題は、チャンバ内にボードを容
易に搬入できる評価検証装置を提供することである。ま
た、本発明の他の課題は、切り欠き部の小さいボードで
あっても、コネクタ部から容易に抜き去ることができる
評価検証装置を提供することである。
易に搬入できる評価検証装置を提供することである。ま
た、本発明の他の課題は、切り欠き部の小さいボードで
あっても、コネクタ部から容易に抜き去ることができる
評価検証装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、試料デバイスを搭載したボード
を多数段並べてチャンバ内に収容し、前記試料デバイス
に熱ストレスを含むストレスを与えて、評価・検証を行
なう評価検証装置であって、前記ボードが配置されるラ
ックが取り付けられた搬送台車と、前記チャンバの底面
及びその底面に接する１つの側面に形成され、前記搬送
台車が出入する底面及び側面開口部と、前記底面開口部
に設けられ、前記搬送台車が載置される床板部を備え、
乗り込み位置と収容位置間を昇降する昇降手段とを備
え、前記搬送台車は、床部が断熱構造となっており、前
記チャンバ内に収容されて、前記収容位置に上昇したと
きに、前記チャンバの一部として、密封構造を保つこと
を特徴とする。
に、請求項１の発明は、試料デバイスを搭載したボード
を多数段並べてチャンバ内に収容し、前記試料デバイス
に熱ストレスを含むストレスを与えて、評価・検証を行
なう評価検証装置であって、前記ボードが配置されるラ
ックが取り付けられた搬送台車と、前記チャンバの底面
及びその底面に接する１つの側面に形成され、前記搬送
台車が出入する底面及び側面開口部と、前記底面開口部
に設けられ、前記搬送台車が載置される床板部を備え、
乗り込み位置と収容位置間を昇降する昇降手段とを備
え、前記搬送台車は、床部が断熱構造となっており、前
記チャンバ内に収容されて、前記収容位置に上昇したと
きに、前記チャンバの一部として、密封構造を保つこと
を特徴とする。
【０００８】請求項２の発明は、請求項１に記載の評価
検証装置において、前記搬送台車が収容位置にあるとき
に、前記チャンバとの位置決めを行なう位置決め手段を
備えたことを特徴とする。
検証装置において、前記搬送台車が収容位置にあるとき
に、前記チャンバとの位置決めを行なう位置決め手段を
備えたことを特徴とする。
【０００９】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載の評価検証装置において、前記搬送台車が前記チ
ャンバ内に収容されたときに、前記チャンバの前記側面
開口部を閉じる扉の下面が、前記搬送台車の床部と密着
することを特徴とする評価検証装置。
に記載の評価検証装置において、前記搬送台車が前記チ
ャンバ内に収容されたときに、前記チャンバの前記側面
開口部を閉じる扉の下面が、前記搬送台車の床部と密着
することを特徴とする評価検証装置。
【００１０】請求項４の発明は、試料デバイスを搭載し
たボードを多数段並べてチャンバ内に収容し、前記試料
デバイスにストレスを与えて、評価・検証を行なう評価
検証装置であって、前記ボードと結合して、信号の授受
を行なうコネクタ部を備え、前記ボードの片面に設けら
れた補強部材を押すことにより、前記コネクタから前記
ボードを抜き去る抜去手段を備えたことを特徴とする。
たボードを多数段並べてチャンバ内に収容し、前記試料
デバイスにストレスを与えて、評価・検証を行なう評価
検証装置であって、前記ボードと結合して、信号の授受
を行なうコネクタ部を備え、前記ボードの片面に設けら
れた補強部材を押すことにより、前記コネクタから前記
ボードを抜き去る抜去手段を備えたことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
の実施の形態について、さらに詳しくに説明する。図
１，図２は、本発明による評価検証装置の実施形態を示
す図であって、図１は斜視図、図２は正面図及び側面図
である。この実施形態の評価検証装置１０は、そのチャ
ンバ１１内に、ラック搬送カート２０がそのまま収容さ
れて、ラック搬送カート２０の床板２１がチャンバ１１
の一部となる構造である。
の実施の形態について、さらに詳しくに説明する。図
１，図２は、本発明による評価検証装置の実施形態を示
す図であって、図１は斜視図、図２は正面図及び側面図
である。この実施形態の評価検証装置１０は、そのチャ
ンバ１１内に、ラック搬送カート２０がそのまま収容さ
れて、ラック搬送カート２０の床板２１がチャンバ１１
の一部となる構造である。
【００１２】チャンバ１１は、床面と前側側面の一部に
開口部１１ａ，１１ｂが形成されており、全体として断
熱構造の容器である。
開口部１１ａ，１１ｂが形成されており、全体として断
熱構造の容器である。
【００１３】昇降部１２は、ラック搬送カート２０を乗
せて、昇降させる部分であり、床面の開口１１ａに取り
付けられている。この昇降部１２は、ラック搬送カート
２０の鉄板などによって作製された底面板１２ａを備え
ている。この底面板１２ａは、その先端にスロープが設
けられており、ラック搬送カート２０のキャスタ２３が
容易に乗り込めるようにしてある。
せて、昇降させる部分であり、床面の開口１１ａに取り
付けられている。この昇降部１２は、ラック搬送カート
２０の鉄板などによって作製された底面板１２ａを備え
ている。この底面板１２ａは、その先端にスロープが設
けられており、ラック搬送カート２０のキャスタ２３が
容易に乗り込めるようにしてある。
【００１４】カートガイドレール１３は、ラック搬送カ
ート２０のキャスタ２３を案内するレールであって、昇
降部１２の底面板１２ａ上面に、２本設けられている。
ート２０のキャスタ２３を案内するレールであって、昇
降部１２の底面板１２ａ上面に、２本設けられている。
【００１５】昇降駆動部１４は、ラック搬送カート２０
の乗り込み位置と収容位置との間で、昇降部１２を上昇
又は下降させる部分であり、昇降部１２の両側に設けら
れている。この昇降駆動部１４は、ラック搬送カート２
０と、４個のバーインボード（ＢＩＢ）ラック３０の重
量を昇降させるために、昇降部１２の両側に配置し、重
量分散が図られている。なお、左右の昇降駆動部１４
は、天井部同期機構（不図示）によって同期が取られて
いる。
の乗り込み位置と収容位置との間で、昇降部１２を上昇
又は下降させる部分であり、昇降部１２の両側に設けら
れている。この昇降駆動部１４は、ラック搬送カート２
０と、４個のバーインボード（ＢＩＢ）ラック３０の重
量を昇降させるために、昇降部１２の両側に配置し、重
量分散が図られている。なお、左右の昇降駆動部１４
は、天井部同期機構（不図示）によって同期が取られて
いる。
【００１６】カート位置決めピン１５は、チャンバ１１
の内壁板の下面に３本設けられており、後述するラック
搬送カート２０の３つの位置決めホール２１ａにそれぞ
れ係合するピンである。
の内壁板の下面に３本設けられており、後述するラック
搬送カート２０の３つの位置決めホール２１ａにそれぞ
れ係合するピンである。
【００１７】フィードスルーポート１６は、ＢＩＢ３１
を装着して、電気的な導通を行なうことによって、評価
・検証のための信号の授受を行なうものであり、チャン
バ１１の正面内壁に設けられている。評価検証装置１０
は、この他にも、チャンバ１１内に、吸気口１７ａ，排
気口１７ｂ，ヒータ１８，ファン１９等が備えられてい
る。
を装着して、電気的な導通を行なうことによって、評価
・検証のための信号の授受を行なうものであり、チャン
バ１１の正面内壁に設けられている。評価検証装置１０
は、この他にも、チャンバ１１内に、吸気口１７ａ，排
気口１７ｂ，ヒータ１８，ファン１９等が備えられてい
る。
【００１８】ラック搬送カート２０は、左右の前側と後
ろ側中央の端部に位置決めホール２１ａが形成され、前
側端部に扉レール２１ｂが設けられ、厚み部分に断熱層
２１ｃを有する床板２１と、床板２１の上面に取り付け
られた棚２２と、床板２１の下面に設けられた４個のキ
ャスタ２３とを備えている。ラック搬送カート２０は、
床板２１と棚２２とに、それぞれ２列にバーインボート
（ＢＩＢ）ラック３０が取り付られている。このため
に、４個のＢＩＢラック３０を同時に搬送して、同時に
評価・検証することができる。
ろ側中央の端部に位置決めホール２１ａが形成され、前
側端部に扉レール２１ｂが設けられ、厚み部分に断熱層
２１ｃを有する床板２１と、床板２１の上面に取り付け
られた棚２２と、床板２１の下面に設けられた４個のキ
ャスタ２３とを備えている。ラック搬送カート２０は、
床板２１と棚２２とに、それぞれ２列にバーインボート
（ＢＩＢ）ラック３０が取り付られている。このため
に、４個のＢＩＢラック３０を同時に搬送して、同時に
評価・検証することができる。
【００１９】ラック搬送カート２０は、床板２１に断熱
層２１ｃを持たせてあるので、チャンバ１０内に収容し
たときに、チャンバ１１の床の一部となって全体として
断熱・密封構造となる。キャスタ２３は、４個とも自在
キャスタであって、搬送時には、長手方向に進行し、チ
ャンバ１１内への搬入時には、短手方向に進行すること
ができる。
層２１ｃを持たせてあるので、チャンバ１０内に収容し
たときに、チャンバ１１の床の一部となって全体として
断熱・密封構造となる。キャスタ２３は、４個とも自在
キャスタであって、搬送時には、長手方向に進行し、チ
ャンバ１１内への搬入時には、短手方向に進行すること
ができる。
【００２０】ＢＩＢラック３０は、ラック搬送カート２
０の床板２１と棚２２に設けられたガイドレール（不図
示）に係合して、チャンバ１１内に収容されたときに、
所定の位置に配置されるようにしてある。このガイドレ
ールには、その下部にローラが配置されており、ＢＩＢ
３１の着脱時に、ＢＩＢラック３０が容易に移動できる
ようにしてある。また、このガイドレールには、搬送時
に、ＢＩＢラック３０が固定されるように、ストッパ
（不図示）が設けられている。
０の床板２１と棚２２に設けられたガイドレール（不図
示）に係合して、チャンバ１１内に収容されたときに、
所定の位置に配置されるようにしてある。このガイドレ
ールには、その下部にローラが配置されており、ＢＩＢ
３１の着脱時に、ＢＩＢラック３０が容易に移動できる
ようにしてある。また、このガイドレールには、搬送時
に、ＢＩＢラック３０が固定されるように、ストッパ
（不図示）が設けられている。
【００２１】次に、本実施形態による評価検証装置１０
の動作と共に、細部の構造について説明する。まず、４
個のＢＩＢラック３０に、ＢＩＢ３１が挿入されたラッ
ク搬送カート２０を、矢印Ａ方向から、チャンバ１１内
に収容する。このときに、キャスタ２３がカートガイド
レール１３に沿って挿入されるので、チャンバ１１内の
ラック搬送カート２０の概略位置決めがなされる。
の動作と共に、細部の構造について説明する。まず、４
個のＢＩＢラック３０に、ＢＩＢ３１が挿入されたラッ
ク搬送カート２０を、矢印Ａ方向から、チャンバ１１内
に収容する。このときに、キャスタ２３がカートガイド
レール１３に沿って挿入されるので、チャンバ１１内の
ラック搬送カート２０の概略位置決めがなされる。
【００２２】次に、昇降駆動部１４によって、昇降部１
２が矢印Ｂ方向に上昇すると、ラック搬送カート２０の
３つの位置決めホール２１ａが、それぞれカート位置決
めピン１５に挿入され、詳細位置決めが行なわれる。こ
のときに、位置決めホール２１ａと、カート位置決めピ
ン１５とが連結するので、チャンバ１１の開口部１１
ａ，１１ｂの部分及びラック搬送カート２０の床板の機
械強度を上げることができる。
２が矢印Ｂ方向に上昇すると、ラック搬送カート２０の
３つの位置決めホール２１ａが、それぞれカート位置決
めピン１５に挿入され、詳細位置決めが行なわれる。こ
のときに、位置決めホール２１ａと、カート位置決めピ
ン１５とが連結するので、チャンバ１１の開口部１１
ａ，１１ｂの部分及びラック搬送カート２０の床板の機
械強度を上げることができる。
【００２３】また、チャンバ１１の開口部１１ａと、ラ
ック搬送カート２０の床板２１の当接面は、テーパ状に
なっており、そこには、パッキンが設けられているの
で、昇降部１２が上昇したときに、チャンバ１１内の高
温空気が漏れることはない。
ック搬送カート２０の床板２１の当接面は、テーパ状に
なっており、そこには、パッキンが設けられているの
で、昇降部１２が上昇したときに、チャンバ１１内の高
温空気が漏れることはない。
【００２４】ラック搬送カート２０がチャンバ１１内に
収容されると、チャンバ扉がラック搬送カート２０の扉
レール２１ｂに沿って、自動的に閉じられる。このよう
に、チャンバ扉の下側の扉レールを、ラック搬送カート
２０側に設けたので、ラック搬送カート２０の乗り込み
が容易で、しかも、収容後の密封性がよい、という利点
がある。
収容されると、チャンバ扉がラック搬送カート２０の扉
レール２１ｂに沿って、自動的に閉じられる。このよう
に、チャンバ扉の下側の扉レールを、ラック搬送カート
２０側に設けたので、ラック搬送カート２０の乗り込み
が容易で、しかも、収容後の密封性がよい、という利点
がある。
【００２５】次いで、ＢＩＢ３１は、チャンバ１１の背
面に設けられた自動挿入装置（不図示）によって、フィ
ードスルーポート１５に挿入される。この状態におい
て、チャンバ１１内を所定の温度（１２５〜１５０°Ｃ
程度）に保ちながら、評価・検証を行なう。
面に設けられた自動挿入装置（不図示）によって、フィ
ードスルーポート１５に挿入される。この状態におい
て、チャンバ１１内を所定の温度（１２５〜１５０°Ｃ
程度）に保ちながら、評価・検証を行なう。
【００２６】評価・検証が終わった後に、フィードスル
ーポート１５からＢＩＢ３１を、抜去する。ここで、図
３に示すように、ＢＩＢ３１の中には、コーナーに設け
られた切り欠き部３１ａが小さい（ボード幅１００ｍｍ
に対して、切り欠き幅約１０ｍｍ）場合には、従来のよ
うに、切り欠き部３１ａをレバー等で押すことによる抜
去ができない。そこで、本実施形態では、ＢＩＢ３１の
下面に設けられている枠状の補強板３２を、抜去装置４
０の押し板４１によって、全幅で押すようにして、抜去
するようにしてある。このようにすれば、エッジ部３１
ａに削れ等の損傷を与えることがないと共に、補強板３
２を全幅で押せるので、平行に抜き去ることができる。
ーポート１５からＢＩＢ３１を、抜去する。ここで、図
３に示すように、ＢＩＢ３１の中には、コーナーに設け
られた切り欠き部３１ａが小さい（ボード幅１００ｍｍ
に対して、切り欠き幅約１０ｍｍ）場合には、従来のよ
うに、切り欠き部３１ａをレバー等で押すことによる抜
去ができない。そこで、本実施形態では、ＢＩＢ３１の
下面に設けられている枠状の補強板３２を、抜去装置４
０の押し板４１によって、全幅で押すようにして、抜去
するようにしてある。このようにすれば、エッジ部３１
ａに削れ等の損傷を与えることがないと共に、補強板３
２を全幅で押せるので、平行に抜き去ることができる。
【００２７】以上説明した実施形態に限定されず、種々
の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の
範囲内である。カート位置決めピン１５と位置決めホー
ル２１ａは、それぞれ３個設けた例で説明したが、２個
であってもよい。また、チャンバ１１の扉は、開き扉で
あってもよい
の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の
範囲内である。カート位置決めピン１５と位置決めホー
ル２１ａは、それぞれ３個設けた例で説明したが、２個
であってもよい。また、チャンバ１１の扉は、開き扉で
あってもよい
【００２８】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、チャンバ内にボードを容易に搬入すくことができ
る。また、切り欠き部の小さいボードであっても、コネ
クタ部から容易に抜き去ることができる、という効果が
ある。
れば、チャンバ内にボードを容易に搬入すくことができ
る。また、切り欠き部の小さいボードであっても、コネ
クタ部から容易に抜き去ることができる、という効果が
ある。
【図１】本発明による評価検証装置の実施形態を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】本発明による評価検証装置の実施形態を示す正
面図及び側面図である。
面図及び側面図である。
【図３】本実施形態による評価検証装置によって評価検
証されるボードの一部を示した図である。
証されるボードの一部を示した図である。
【図４】本実施形態による評価検証装置に使用される抜
去装置を示した図である。
去装置を示した図である。
１０ 評価検証装置 １１ チャンバ １２ 昇降部 １３ カートガイドレール １４ 昇降駆動部 １５ カート位置決めピン １６ フィードスルーポート １７ａ 吸気口 １７ｂ 排気口 １８ ヒータ １９ ファン ２０ ラック搬送カート ２１ 床板 ２２ 棚 ２３ キャスタ ３０ バーインボードラック ３１ バーインボード（ＢＩＢ） ３２ 補強板 ４０ 抜去装置 ４１ 押し板
Claims (4)
- 【請求項１】 試料デバイスを搭載したボードを多数段
並べてチャンバ内に収容し、前記試料デバイスに熱スト
レスを含むストレスを与えて、評価・検証を行なう評価
検証装置であって、 前記ボードが配置されるラックが取り付けられた搬送台
車と、 前記チャンバの底面及びその底面に接する１つの側面に
形成され、前記搬送台車が出入する底面及び側面開口部
と、 前記底面開口部に設けられ、前記搬送台車が載置される
床板部を備え、乗り込み位置と収容位置間を昇降する昇
降手段とを備え、 前記搬送台車は、床部が断熱構造となっており、前記チ
ャンバ内に収容されて、前記収容位置に上昇したとき
に、前記チャンバの一部として、密封構造を保つことを
特徴とする評価検証装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の評価検証装置におい
て、 前記搬送台車が収容位置にあるときに、前記チャンバと
の位置決めを行なう位置決め手段を備えたことを特徴と
する評価検証装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の評価検証
装置において、 前記搬送台車が前記チャンバ内に収容されたときに、前
記チャンバの前記側面開口部を閉じる扉の下面が、前記
搬送台車の床部と密着することを特徴とする評価検証装
置。 - 【請求項４】 試料デバイスを搭載したボードを多数段
並べてチャンバ内に収容し、前記試料デバイスにストレ
スを与えて、評価・検証を行なう評価検証装置であっ
て、 前記ボードと結合して、信号の授受を行なうコネクタ部
を備え、 前記ボードの片面に設けられた補強部材を押すことによ
り、前記コネクタから前記ボードを抜き去る抜去手段を
備えたことを特徴とする評価検証装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8339215A JPH10177056A (ja) | 1996-12-19 | 1996-12-19 | 評価検証装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8339215A JPH10177056A (ja) | 1996-12-19 | 1996-12-19 | 評価検証装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10177056A true JPH10177056A (ja) | 1998-06-30 |
Family
ID=18325345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8339215A Pending JPH10177056A (ja) | 1996-12-19 | 1996-12-19 | 評価検証装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10177056A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001286461A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-16 | Toshiba Corp | Ｘ線ｃｔ装置搭載車 |
| JP2018197677A (ja) * | 2017-05-23 | 2018-12-13 | Ｊｆｅテクノリサーチ株式会社 | 環境試験装置 |
| WO2022146225A1 (en) | 2020-12-30 | 2022-07-07 | Msv Systems & Services Pte Ltd | Apparatus, transfer method, chamber and frame for semiconductor burn-in process |
| JP2022138609A (ja) * | 2021-03-10 | 2022-09-26 | エスペック株式会社 | バーンイン装置 |
| EP4641227A1 (en) * | 2024-04-25 | 2025-10-29 | Proventia Oy | Transportable test arrangement |
-
1996
- 1996-12-19 JP JP8339215A patent/JPH10177056A/ja active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001286461A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-16 | Toshiba Corp | Ｘ線ｃｔ装置搭載車 |
| JP2018197677A (ja) * | 2017-05-23 | 2018-12-13 | Ｊｆｅテクノリサーチ株式会社 | 環境試験装置 |
| JP2023536767A (ja) * | 2020-12-30 | 2023-08-30 | エムエスブイ システムズ アンド サービシズ プライベート リミテッド | 半導体バーンイン工程用装置、移送方法、チャンバ、及びフレーム |
| KR20230142450A (ko) * | 2020-12-30 | 2023-10-11 | 엠에스브이 시스템즈 앤 서비시즈 피티이 리미티드 | 반도체 번인 프로세스를 위한 챔버와 프레임 사이의 실링 및 번인 보드 정렬을 위한 장치 및 방법 |
| CN115066743A (zh) * | 2020-12-30 | 2022-09-16 | Msv系统与服务有限公司 | 半导体老化过程装置、转移方法、腔室以及框架 |
| US12352809B2 (en) | 2020-12-30 | 2025-07-08 | Msv Systems & Services Pte Ltd | Apparatus and method for burn-in board alignment and sealing between chamber and frame for semiconductor burn-in process |
| EP4042472A4 (en) * | 2020-12-30 | 2022-12-21 | Msv Systems & Services Pte Ltd | DEVICE, TRANSFER METHOD, CHAMBER AND FRAME FOR SEMICONDUCTOR BURN-IN PROCESSES |
| US20230251305A1 (en) * | 2020-12-30 | 2023-08-10 | Msv Systems & Services Pte Ltd | Apparatus, transfer method, chamber and frame for semiconductor burn-in process |
| WO2022146225A1 (en) | 2020-12-30 | 2022-07-07 | Msv Systems & Services Pte Ltd | Apparatus, transfer method, chamber and frame for semiconductor burn-in process |
| KR20220098318A (ko) * | 2020-12-30 | 2022-07-12 | 엠에스브이 시스템즈 앤 서비시즈 피티이 리미티드 | 반도체 번인 공정을 위한 장치, 이송 방법, 챔버 및 프레임 |
| JP2023553177A (ja) * | 2020-12-30 | 2023-12-20 | エムエスブイ システムズ アンド サービシズ プライベート リミテッド | 半導体バーンインプロセスのためのバーンインボード位置合わせおよびチャンバとフレームとの間の封止のための装置および方法 |
| US11982706B2 (en) * | 2020-12-30 | 2024-05-14 | Msv Systems & Services Pte Ltd | Apparatus, transfer method, chamber and frame for semiconductor burn-in process |
| JP2024144470A (ja) * | 2020-12-30 | 2024-10-11 | エムエスブイ システムズ アンド サービシズ プライベート リミテッド | 半導体バーンイン工程用装置、移送方法、チャンバ、及びフレーム |
| CN115066743B (zh) * | 2020-12-30 | 2025-03-14 | Msv系统与服务有限公司 | 半导体老化过程装置、转移方法、腔室以及框架 |
| JP2022138609A (ja) * | 2021-03-10 | 2022-09-26 | エスペック株式会社 | バーンイン装置 |
| EP4641227A1 (en) * | 2024-04-25 | 2025-10-29 | Proventia Oy | Transportable test arrangement |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4683424A (en) | Apparatus for use in testing circuit boards | |
| US4729246A (en) | Product testing system | |
| US8299935B2 (en) | Test apparatus and test method | |
| JP3136613B2 (ja) | 半導体デバイス試験装置及びこの試験装置に使用されるテストトレイ | |
| US8105098B2 (en) | Automated loading/unloading of devices for burn-in testing | |
| JPWO1999001776A1 (ja) | 半導体デバイス試験装置及びこの試験装置に使用されるテストトレイ | |
| CN101149415A (zh) | 处理机 | |
| JPH10177056A (ja) | 評価検証装置 | |
| EP4356418B1 (en) | Apparatus and method for burn-in board alignment and sealing between chamber and frame for semiconductor burn-in process | |
| US6711948B2 (en) | Method and apparatus for testing of sheet material | |
| JPH11220001A (ja) | 半導体基板処理装置におけるロードポート及びロードポート搬送台車 | |
| CN216956254U (zh) | 芯片测试系统 | |
| KR100395369B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 인입장치 | |
| TWM346024U (en) | Carrier and aging test apparatus having same | |
| JP3099183B2 (ja) | ウェーハプロービングマシン | |
| JP2850598B2 (ja) | 部品の供給装置及び試験装置 | |
| CN223450064U (zh) | 老化测试机 | |
| JPH0943310A (ja) | Ｉｃ試験装置 | |
| CN222352841U (zh) | 具有多层独立可抽取夹具的电池干燥小车 | |
| JPS6297394A (ja) | プリント基板エイジング用オ−ブン | |
| TWI398637B (zh) | Multi-plate base and body, electronic parts processing device, multi-plate body and the test unit of the exchange of governance and exchange method | |
| JP2004286499A (ja) | バーンイン装置 | |
| JP2550820Y2 (ja) | 電子装置運搬用パレット | |
| JPH0446389B2 (ja) | ||
| KR19990058140A (ko) | 인라인형 번-인 테스트/쏘터링 장치 및 그 시스템구조 |