JPH11220001A

JPH11220001A - 半導体基板処理装置におけるロードポート及びロードポート搬送台車

Info

Publication number: JPH11220001A
Application number: JP10019603A
Authority: JP
Inventors: Akira Yoshikawa; 明吉川; Takeshi Yoshioka; 健吉岡; Motoya Taniguchi; 素也谷口; Norihiko Wada; 紀彦和田; Hide Kobayashi; 秀小林; Kazuhiro Shino; 和弘示野
Original assignee: Hitachi Ltd; Kokusai Electric Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Kokusai Denki Electric Inc
Priority date: 1998-01-30
Filing date: 1998-01-30
Publication date: 1999-08-10
Also published as: TW426875B; WO1999039386A1

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体基板処理装置のロードポートの移動を
容易に行うためのロードポート搬送台車及び該台車によ
り搬送するために好適な構造を備えたロードポートを提
供する。【解決手段】半導体基板処理装置におけるウェハを収
納可能なウェハキャリアを載置し、ウェハキャリアの蓋
を開閉するロードポートにおいて、該ロードポートを搬
送するロードポート搬送台車のアーム２３に係合する係
合処理が設けられる。ロードポート搬送台車は、ロード
ポート１１を搬入するために正面側の面が開いた本体部
３０と、本体部の上部に設けられ、本体部の前方側にス
ライド可能に、かつ、ロードポートの係合処理に係合す
る一対のアーム２３を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板処理装
置におけるロードポート及びロードポート搬送台車に係
り、特に、今後採用が多くなる１２インチ（３０cm）半
導体ウェハを取り扱う半導体基板処理装置に使用して好
適なロードポート及びロードポート搬送台車に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体基板処理装置は、エッチ
ング装置、アッシング装置等を主たる構成装置として備
え、さらに、これらの装置に半導体ウェハ（以下、単に
ウェハという）を運び込み、また、処理済みのウェハ取
り出す移載機と、この移載機に、ウェハが格納されてい
るウェハキャリアを開いてウェハキャリア内のウェハ渡
し、移載機からの処理済みのウェハウェハキャリア内に
受け取るためのロードポートとを備えて構成されてい
る。そして、ロードポートは、ウェハが格納されたウェ
ハキャリアが保持されたとき、ウェハキャリアを開いて
内部に格納されているウェハ、移載機を介してエッチン
グ装置、アッシング装置等の処理装置に順次大量に渡
し、処理済みのウェハ受け取らなければなければならな
いため、１台の移載機に対して複数台が設けられている
のが一般的である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前述した半導体基板処
理装置のロードポートは、故障時、保守点検時等には、
移送機から取り外して保守のための場所に移動させる必
要があるが、従来、このロードポートの移動は、複数の
作業者により持ち運ぶことにより行われるのが一般的で
あった。また、この移動は、ロードポートの下部に車輪
を設けておき、床上をこの車輪により移動させることに
よって行ってもよいが、半導体基板処理装置は、クリー
ンルームに設置されており、そのクリーンルームの床
は、空気の循環清浄化のために多数の吸気穴が設けられ
ているため、また、ウェハが格納されたウェハキャリア
を搬送する自動台車が走行するレール等が設けられてい
るため、車輪により移動させることも、かなりの労力を
必要とするものであった。

【０００４】しかし、ウェハとして１２インチ（従来、
８インチ）もの大きさのものを取り扱うようになると、
ロードポート自体が大型で重量の大きなものとなり、人
手による前述したようなロードポートの移動が困難とな
ることが予想される。

【０００５】本発明の目的は、前述した半導体基板処理
装置のロードポートの移動を容易に行うためのロードポ
ート搬送台車及び該台車により搬送するために好適な構
造を備えたロードポートを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明によれば前記目的
は、半導体基板処理装置におけるウェハを収納可能なウ
ェハキャリアを載置し、ウェハキャリアの蓋を開閉する
ロードポートにおいて、ロードポートを搬送するロード
ポート搬送台車に設けた一対のアームに係合する係合手
段を設けることにより達成される。

【０００７】また、前記目的は、前記ウェハキャリアを
載置する載置台の上面に、ウェハキャリア載置用プレー
トを設け、該プレートの下部に、プレートの上面部を水
平に調整する調整機構を備え、載置台と本体部との間の
側面に前記ロードポート搬送台車のアームに係合する係
合溝としての切欠部を設けることにより達成される。

【０００８】また、前記目的は、ロードポートを移載機
に取り付けるための固定具が、ロードポート正面側から
操作可能に設けられ、また、ロードポートが、その背面
に前記移載機に取り付ける結合板を有し、該結合板の上
部に設けられるフックと前記固定具とにより移載機に取
り付けられ、かつ、前記結合板の下部を移載機下部に突
出するベース板上に乗せることにより、また、その前面
側底部に高さ調整可能な固定用足部を有し、この固定用
足部により、ロードポート底部を前記ベース板上面の移
載機が設置された設置面からの高さと同一になるように
支持するようにすることにより達成される。

【０００９】さらに、前記目的は、半導体基板処理装置
におけるウェハを収納可能なウェハキャリアの蓋を開閉
するロードポートを搬送するロードポート搬送台車にお
いて、前記搬送台車を、ロードポートを搬入するために
正面側の面が開いた本体部と、本体部の上部に設けら
れ、本体部の前方側にスライド可能に、かつ、ロードポ
ートの係合溝に係合する一対のアームを備えて構成した
ことにより達成される。

【００１０】また、前記目的は、前記一対のアームを、
該アームを支持する部材と共に、上下方向に移動可能と
し、また、前記アームのスライドを人手により行うハン
ドルと、前記アームを人手により上下方向に移動させる
ための機構とを備えることにより、あるいは、前記アー
ムの上下方向への移動を、電動または移載機からのエア
ーにより行う機構を備えることにより達成される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明による半導体基板処
理装置におけるロードポート及びロードポート搬送台車
の一実施形態を図面により詳細に説明する。

【００１２】図１は本発明が適用される半導体基板処理
装置のロードポートと移載機との構成を示す図、図２は
本発明の一実施形態によるロードポート搬送台車がロー
ドポートを取り出す様子を説明する図、図３は本発明の
一実施形態によるロードポート搬送台車がロードポート
を搬送していく状態を説明する図である。図１〜図３に
おいて、１１はロードポート、１２はウェハキャリア蓋
開閉板、１３はウェハキャリア、１４は移載機、１５は
制御ユニット、１６はディスプレイ、１７は操作卓、１
８は監視ランプ、１９は監視用窓、２０は嵌合穴、２１
はロードポート搬送台車、２２はレール、２３はアー
ム、２４はアームスライド用ハンドル、２５はアーム上
下駆動用クランク、２６はスライド機構、２７はロック
・アンロックボタン、２８は台車移動用ハンドルであ
る。

【００１３】本発明が適用される半導体基板処理装置
は、図１に示すように、ロードポート１１と、移載機１
４と、制御ユニット１５と、図示しない半導体基板の処
理装置であるエッチング装置、アッシング装置等の処理
装置等により構成される。ロードポート１１は、１台の
移載機１４に対して複数台取り付けることが可能であ
り、図示例では４台のロードポート１１が移載機１４に
取り付けられている。そして、ロードポート１１は、床
面に設けたレール上を走行する公知の自走式台車等によ
り搬送されてくる内部に複数枚（通常１３枚または２５
枚）のウェハ収納可能なウェハキャリア１３が載置され
たとき、ウェハキャリア蓋開閉板１２がウェハキャリア
１３の蓋を移載機１４側に開いて、移載機１４の内部に
収納されるロボットが、ウェハキャリア１３内に格納さ
れているウェハ取り出し、あるいは、処理済みのウェハ
ウェハキャリア１３に格納することを可能にするもので
ある。

【００１４】そして、図示しないエッチング装置、アッ
シング装置等の処理装置は、移載機１４のロードポート
１１が配置される側とは反対側に設けられており、移載
機１４の内部に収納されるロボットは、ウェハキャリア
１３内のウェハ取り出して、そのウェハエッチング装
置、アッシング装置等の処理装置内に運び入れ、処理済
みのウェハウェハキャリア１３に格納する動作を行う。
また、移載機１４には、監視用窓１９が設けられ、作業
者が内部の動作状況を監視することが可能とされてい
る。

【００１５】ロードポート１１と並べて配置されている
制御ユニット１５は、ディスプレイ１６と操作卓１７と
を備えており、図示移載機１４の動作の監視制御のため
に、また、図示移載機１４に対応して設けられている半
導体基板の処理装置の監視制御のために使用される。移
載機１４の全面上部には複数の監視ランプ１８が複数の
ロードポート１１のそれぞれに対して設けられている。
この、監視ランプ１８は、移載機１４に複数設けられる
ロードポート１１の状態を表示する。すなわち、監視ラ
ンプ１８は、ロードポート１１が正常に動作していると
き、例えば、緑色、黄色等の表示を行い、ロードポート
１１に何等かの異常が生じたとき、赤色の表示、あるい
は、赤色の点滅表示を行うように制御されている。この
とき、同時に警報音等を発して異常を知らせるようにす
ることもできる。また、同様な監視ランプを保守室等に
備えておくこともできる。

【００１６】図１に示すような半導体基板処理装置は、
複数台が長手方向に多数並べられて配置され、また、複
数台が多数並べられて配置された半導体基板処理装置が
多数並列に並べて配置されるのが一般的である。従っ
て、図１に示す半導体基板処理装置のロードポート１１
の前面側は、比較的狭い通路が形成されている。そし
て、この通路の床面には、空気の循環清浄化のために多
数の吸気穴が設けられ、かつ、ウェハ収納したウェハキ
ャリア１３を搬送するための自走式台車を走行させるた
めのレールが設けられている。

【００１７】なお、半導体基板処理装置、移載機等は、
クリーンルーム内の床面に水平になるように設置されて
いる。また、クリーンルーム内の床面は、必ずしも全て
の面が水平に設定されているとは限らない。

【００１８】ロードポート１１に障害等が発生すると、
すでに説明したように、移載機１４あるいは保守室に設
けられる監視ランプ１８により、その障害の発生が保守
者、作業者等（以下、作業者等という）に知らされる。
作業者等は、これにより、本発明によるロードポート搬
送台車２１を障害が発生しているロードポート１１の場
所に搬送し、ロードポート１１をロードポート搬送台車
２１に載置して、保守領域まで運び出すことになるが、
以下、このロードポート運び出しの動作の概要を図２、
図３を参照して説明する。

【００１９】すでに説明したように、ロードポート１３
の前側の床には、ウェハ収納したウェハキャリア１３を
搬送するための自走式台車を走行させるためのレール２
２が設けられており、作業者等は、構造の詳細を後述す
るロードポート搬送台車２１をレール２２上に載せて搬
送してくる。このロードポート搬送台車２１の搬送は、
作業者等が台車移動用ハンドル２８により手で押してき
てもよく、また、前述の自走式台車のために設けられて
いる動力用の電源からの電力により、作業者等と共に自
走させるようにしてもよい。

【００２０】作業者等は、障害が発生しているロードポ
ート１１の場所に到着すると、まず、ロードポート１１
と移載機１４とを結合している複数のロードポート固定
具としてのボルト（詳細については後述）を人手により
外す。ここで、作業者等は、ロードポート搬送台車２１
を、ウェハキャリア１３を搬送するための自走式台車よ
うの位置決めマークを利用してロードポート１１の正面
に位置させ、ロードポート搬送台車２１のアーム２３
を、アームスライド用ハンドル２４を操作して、ロード
ポート１１の後述する係合溝に係合させてチャックす
る。その後、作業者等は、アーム上下駆動クランク２５
を操作して、アーム２３をアームスライド機構２６と共
に上方に１０mm程度リフトアップすることにより、ロー
ドポート１１をアーム２３に保持させた状態でリフトア
ップし、ロックボタン２７を操作してアーム２３のリフ
ト状態をロックする。これにより、後述するように、ロ
ードポート１１の移載機１４への結合板のフックが移載
機１４から外れるようになる。

【００２１】この状態で、作業者等は、アームスライド
用ハンドル２４を操作して、アーム２３と共にロードポ
ート１１を１００mm程度手前に引き出し、さらに、アー
ム上下駆動クランク２５を操作して、アーム２３をアー
ムスライド機構２６と共に上方にリフトアップする。こ
の場合のリフトアップ量は、ロードポート搬送台車２１
の車輪径によって決まる台車の床面高さによって決まる
が、およそ１５０mmである。なお、この状態が図２に示
す状態である。

【００２２】作業者等は、その後、アームスライド用ハ
ンドル２４を操作して、アーム２３をロードポート搬送
台車２１の本体側に引き込むことにより、ロードポート
１１をロードポート搬送台車２１上に位置させ、ロック
・アンロックボタン２７によりロックを解除し、アーム
上下駆動クランク２５を操作して、アーム２４をアーム
スライド機構２６と共に降下させて、ロードポート１１
をロードポート搬送台車２１の載置面２９に載置する。
その後、作業者等は、ロードポート搬送台車２１を、ロ
ードポート１１を乗せた状態で、レール２２上を前述の
場合と同様に保守領域まで搬送し、そこでロードポート
１１の保守、修理等の作業を行う。なお、図３は、ロー
ドポート搬送台車２１が、ロードポート１１を乗せた状
態でレール２２上を搬送される状態を示している。

【００２３】前述したように、ロードポート搬送台車２
１を使用することにより、他のロードポートを取り外し
たりすることなく、異常が発生したロードポートのみを
早急に移載機から取り外すことができるので、装置全体
を停止させる必要がなく、半導体基板処理装置の稼働率
を悪化させることを防止することができる。

【００２４】図４はロードポート搬送台車の構造を説明
する図、図５は上下移動機構の構造を説明する図であ
り、次に、前述したロードポート搬送台車１１の詳細な
構造を図４、図５を参照して説明する。図４、図５にお
いて、３０は本体部、３１は重り部、３２はコ字状枠、
３３はアーム案内レール、３４は引掛部、３５は車輪、
３６はエレベーター軸、３７、３８は歯車、３９はチェ
ーン、４０は歯状部であり、他の符号は図１〜図３の場
合と同一である。

【００２５】ロードポート搬送台車２１は、図４に示す
ように、ロードポート１１を搬入するために正面側の１
つの面が開いた６面体の形状を持つ本体部３０と、本体
部３０の背面側に取り付けられた重り部３１と、上面に
設けられ、上下に移動可能に設けられたアーム２３に対
するスライド機構２６と、車輪３５とを備えて構成され
ている。そして、重り部３１は、アーム２４が本体部３
０から前方に突出して重量のあるロードポート１１をリ
フトアップしたときに、ロードポート搬送台車２１が転
倒しないようにバランスを取るために設けられる。そし
て、アーム２３をロードポート１１に構成された係合溝
に結合させる作業は人手により行うため、ロードポート
１１や移載機１４に必要以上の衝撃を与えることがな
い。

【００２６】アーム２３に対するスライド機構２６は、
コ字状枠３２と、このコ字状枠３２の腕の部分に設けら
れたアーム案内レール３３と、アーム案内レール３３に
係合してコ字状の腕の部分に引掛部３４を設けたアーム
２３を有する部材により構成される。そして、２本のア
ームを結合する部分にアームスライド用ハンドル２４が
設けられており、このハンドル２４を人手により操作す
ることにより、アーム２３をスライドさせることができ
る。

【００２７】そして、スライド機構２６は、本体部３０
内に上下方向に移動可能に設けられるリフト機構を構成
する４本のエレベーター軸３６に支持されている。図５
に示すように、リフト機構は、エレベーター軸３６と、
このエレベーター軸３６に設けられ、歯車３８と噛み合
う歯状部４０と、２本のエレベーター軸３６に係合する
歯車３８と、この歯車と前述で説明したアーム上下駆動
クランク２５と結合された歯車３７と、これらの歯車３
７、３８を相互に連結するチェーン３９により構成され
ている。また、図示していないが、歯車３８の軸は、図
５に示す歯車３８が噛み合っているエレベーター軸３６
の紙面の奥にある２本のエレベーター軸に噛み合ってい
る歯車と本体部３０内で結合されている。このような、
リフト機構を備えることにより、アーム上下駆動クラン
ク２５を手動で操作することにより、アーム２３をスラ
イド機構２６と共に上下に駆動することができる。

【００２８】なお、ロードポート搬送台車２１が、ウェ
ハキャリア搬送用の自走式台車のために設けられている
動力用の電源からの電力により、あるいは、バッテリー
を備えて自走するように構成されている場合、重り部３
１にバッテリー、モータ等を備えて重りとすることがで
きる。また、前述では、リフト機構は、人力により操作
されるとして説明したが、これも、電動により駆動する
ようにしてもよく、あるいは、移載機１４で使用してい
るエアーにより駆動するようにしてもよい。

【００２９】図６は本発明の一実施形態によるロードポ
ートの構造を説明する図、図７はロードポートの内部機
器の収納状態を説明する図、図８はロードポートと移載
機との連結部の構造を説明する図、図９はロードポート
搬送台車がロードポートをリフトアップした状態をロー
ドポートの背面側から見た斜視図であり、以下、これら
について説明する。図６〜図９において、６１は本体
部、６２はウェハキャリア載置台、６３は結合板、６５
はウェハキャリア蓋開閉フック、６６はウェハキャリア
載置プレート、６７は前扉、６８は側部切欠部、６９は
前部切欠部、７０は固定用足部、７１は車輪、７２は高
さ調整機構、７３はウェハキャリア止め具、７４はウェ
ハキャリア押し付け具、７５は操作ボタン、７６は緊急
停止ボタン、７７はロードポート固定具、７８は操作
部、７９はコントロール基板、８０は接続ケーブル、８
１はケーブルトレー、８２は接続具、８３はロードポー
ト受け用プレート、８４は移載機側フレーム、８５は蓋
開閉機構、８６はフックである。

【００３０】ロードポート１１は、図６（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）の斜視図、側部断面図、正面断面図に示
すように、側部切欠部６８、前部切欠部６５を有して、
ウェハキャリア載置台６２と結合されている本体部６１
と、背面に設けられて移載機１４との結合を行い、か
つ、ウェハキャリア１３の蓋の開閉機構を有する結合板
６３とを備えて構成される。結合板６３は、その周辺が
鍔状に形成され、それ以外の部分が１０cm程度の厚みを
持って形成されており、この中に後述するように、ウェ
ハキャリア１３の蓋を開閉する機構が設けられる。

【００３１】ウェハキャリア載置台６２の上面には、ロ
ードポート１１の電源のオン／オフ及びウェハキャリア
１３の脱着のための操作ボタン７５と、緊急停止ボタン
７６が設けられると共に、ウェハキャリア１３を固定す
るウェハキャリア固定具７３と、ウェハキャリア１３を
結合板６３の方向に移動させるためのウェハキャリア押
し付け具７４とが設けられたウェハキャリア載置プレー
ト６６が設けられている。このウェハキャリア載置プレ
ート６６は、図６（ｃ）に示すように、その下部に高さ
調整機構が設けられており、ウェハキャリア載置プレー
ト６６の上面が水平になるように調整される。

【００３２】ウェハキャリア載置台６２と本体部６１と
の間に形成されている側部切欠部６８は、前述で説明し
たロードポート搬送台車２１のアーム２３の引掛部３４
に係合可能な形状に構成されている係合溝である。ま
た、前部切欠部６９は、ロードポート１１を移載機１４
から人手により動かそうとするような場合に作業員等が
手を掛けることができる形状とされており、図６（ｂ）
に示すように、ウェハキャリア載置台６２の内側に鍵型
に形成されている。すでに説明したように、ロードポー
ト１１は、側部切欠部６２にロードポート搬送台車２１
のアーム２３の引掛部３４が係合されてリフトされるこ
とになるので、ウェハキャリア載置台６２と本体部６１
とが強固に結合されていることが必要であり、側部切欠
部６８は、実際には本体部６１を構成するフレーム部に
形成されるのがよい。

【００３３】ロードポート１１の本体部６１の下部に
は、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、車輪７１が設け
られると共に、ロードポート１１が移載機１４に取り付
けられたときに、ロードポート１１を安定に保持し、か
つ、ウェハキャリア載置台６２の上面ができるだけ水平
になるように高さ調整する伸縮可能に構成された固定用
足部７０が前面側に設けられている。

【００３４】ロードポート１１の内部には、図７に示す
ように、前扉６７を開いて操作可能な操作部７８と、移
載機側との接続のための接続ケーブル８０が接続された
コントロール基板７９とが収納されている。操作部７８
は、ロードポート１１の保守時に、ロードポート１１の
動作状態を確認するために使用される。また、接続ケー
ブル８０は、接続具８２を介して、ケーブルトレー８１
上を案内されて移載機１４側に接続されている。従っ
て、ロードポート１１を移載機１４に着脱する場合に
は、前扉６７を開いて、接続具８２を着脱する作業だけ
で、容易にロードポート１１を移載機１４に着脱するこ
とができる。

【００３５】ウェハキャリア蓋開閉板１２には、ウェハ
キャリア１３の蓋に係合する蓋開閉フック６５が設けら
れ、また、移載機１４との結合板６３の内部には、蓋開
閉用モータを含む蓋開閉機構８５が設けられる。そし
て、この蓋開閉機構８５、ウェハキャリア１３の蓋に係
合する蓋開閉フック６５により、ウェハキャリア１３の
蓋の開閉が制御される。

【００３６】移載機１４下部の移載機側フレーム８４に
は、ロードポート受け用プレート８３が設けられてお
り、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、ロードポート１
１を移載機１４に取り付ける場合、ロードポート１１の
移載機との結合板６３の下部がロードポート受け用プレ
ート８３に乗せられ、図９に示すように結合板６３の上
部に設けられる鍵型のフック８６が移載機１４に設けた
図３に示す嵌合穴２０に係合されて取り付けられる構成
とになる。さらに、結合板６３の上下方向のほぼ中央部
及び下部には、ロードポート固定具７７が設けられて、
ロードポート１１と移載機１４とが強固に取り付けられ
る。ロードポート固定具７７は、長軸のボルトにより形
成され、ロードポート１１の前面側からロードポート１
１を移載機１４に固定することができる。

【００３７】ロードポート受け用プレート８３は、移載
機１４の背面板の底部から突き出して設けられ、ロード
ポート１１の結合板６３の下部がこのロードポート受け
用プレート８３上に乗せられ、かつ、移載機１４の背面
板に設けられたロードポート結合用窓のエッジに結合板
６３の厚みのある部分の下部が乗せられて、ロードポー
ト１１が移載機１４と結合される。この結合状態におい
て、ロードポート１１１の底面は、およそ３８mmだけ、
移載機１４が設置されている床面から浮いている。

【００３８】前述のように、ロードポート１１が移載機
１４に取り付けられている状態において、固定用足部７
０は、床面に密着するように高さ調整されてロードポー
ト１１の重量を支持する。なお、ロードポートの床面か
らの浮いている高さは任意である。

【００３９】前述したように、ロードポート１１は、移
載機１４に設けたロードポート受け用プレート８３と固
定用足部７０とにより支持されるようにされており、こ
れにより、ロードポート１１の交換時の細かい位置調整
を不要とすることができる。

【００４０】ロードポート搬送台車２１の走行、リフト
の駆動をウェハキャリア搬送用の自走式台車のために設
けられている動力用の電源からの電力を利用する場合、
ロードポート搬送台車には、電源を取り込むための機構
が必要であり、以下、このための給電機構について説明
する。

【００４１】図１０はロードポート搬送台車に給電を行
う場合の構成を説明する図、図１１は給電ボックス内の
電極構造を説明する図である。図１０、図１１におい
て、９１はベース板、９２は給電ボックス、９３は床ベ
ース側電極、９４は台車側電極、９５は電極支持バーで
ある。

【００４２】すでに説明したように、半導体基板処理装
置は、クリーンルームに設置されており、そのクリーン
ルームの床には、図１０に示すように、半導体ウェハが
格納されたウェハキャリアを搬送する自動台車が走行す
る一対のレール２２が、ベース板９１上に設けられてお
り、また、一対のレール２２の間には台車への給電のた
めの電極が設けられている。給電ボックス９２は、床面
を作業者等が歩行したときに危険がないように、台車側
電極９４を支持する電極支持バー９５が貫通するだけの
幅を持った隙間が上面に設けられて、その内部に、供給
側となる２本の床ベース側電極９３が、ベース板９１上
にお互いに絶縁されて敷設されている。そして、ロード
ポート搬送台車２１の底面に取り付けられている電極支
持バー９５を介して設けられる２つの台車側電極９４が
給電ボックス９２内で床ベース電極９３に摺動接触して
いる。

【００４３】ロードポート搬送台車２１を前述したよう
に、外部電源の利用を可能にし、内部に走行用の駆動装
置、リフト用の駆動装置を設けて構成することにより、
ロードポート搬送台車２１は、自走可能となり、また、
ロードポートのリフトを電動により行うことが可能とな
る。

【００４４】前述した本発明の実施形態によれば、半導
体基板処理装置のロードポートの移動を容易に行うため
のロードポート搬送台車及び該台車により搬送するため
に好適な構造を備えたロードポートを提供することがで
きた。

【００４５】そして、本発明の実施形態によるロードポ
ートとロードポート搬送台車とを組み合わせて使用する
ことにより、ロードポートの着脱を、周辺の他のロード
ポートと干渉することなく迅速に行うことができる。

【００４６】図１２はロードポートとロードポート搬送
台車のアームとの係合に関する他の実施形態を説明する
図、図１３は図１２が適用される本発明の他の実施形態
によるロードポートの構造を説明する図であり、以下、
これについて説明する。図１２、図１３において、９６
は係合部、９７はネジ穴、９８はボルト、９９は係合面
である。

【００４７】図１２に示す例は、ロードポート搬送台車
２１のアーム２３の先端に設けた係合部９６とロードポ
ート１１の結合板６３に設けたネジ穴とをボルト９８に
より係合して、ロードポート搬送台車２１がロードポー
ト１１を取り出すために持ち上げるようにしたものであ
る。従って、ロードポート１１は、図１３に示すよう
に、結合板６３にネジ穴９７が設けられて構成されてい
る。

【００４８】図１２、図１３に示す例において、ロード
ポート搬送台車２１は、そのアーム２３がアーム上下駆
動クランク２５を操作してアーム２３を最も下降させた
高さにおいても、アーム２３が、移載機１４に取り付け
られているロードポート１１のウエハキャリア載置台６
２の上面よりも高い位置となるように構成される。係合
部９６は、上下に伸びる係合面９９を持ち、ネジ穴９７
によりロードポート１１を持ち上げたとき、ロードポー
ト１１の重心がネジ穴９７の真下にない場合であって
も、ロードポート１１が傾かないようにする機能を持
つ。また、係合部９６は、ボルト９８の入る図示しない
穴を持っている。

【００４９】図１２、図１３に示す実施形態では、図４
に示したアーム２３の引掛部３４は不要となり、また、
２本のアーム２３の間隔は、図２〜図４に示したよりも
狭く設定される。アーム２３のネジ穴９７は結合板６３
のウエハキャリア載置台６２の上面よりも高い位置に設
けられる。また、この実施形態では、図６に示したロー
ドポート１１の側部切欠き部６８は不要となる。

【００５０】前述した他の実施形態において、ロードポ
ート１１に障害等が発生すると、作業者等は、ロードポ
ート搬送台車２１をロードポート１１の正面に位置さ
せ、ロードポート搬送台車２１のアーム２３をアームス
ライド用ハンドル２４を操作して、アーム２３の先端に
設けた係合部９６をロードポート１１の係合板６３に設
けたネジ穴９７に接近させ、ボルト９８を穴１００を通
してネジ穴９７に係合させる。その後、図２〜図３にに
より説明したと同様な操作によりロードポート１１の保
守、修理等の作業を行う。

【００５１】前述した本発明の他の実施形態によれば、
既製品のロードポートで、ウエハキャリア載置台６２の
左右両側に側部切欠き部６８を設けるのが困難な場合、
あるいは、側部切欠き部６８にロードポートの全荷重を
加えるとウエハキャリア載置台６２の精度が狂う恐れの
ある場合に、も容易にロードポート１１とロードポート
搬送台車２１のアーム２３との係合を行うことができ
る。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、移
載機に複数台取り付けられたロードポートの中で異常を
生じたロードポートを取り除く際に、ロードポートに構
成された保持部にロードポート搬送台車を係合させるこ
とだけで、稼動中の他のロードポートに影響を与えこと
なく、異常を生じたロードポートを取り外してそのまま
保守領域にロードポートを搬送することができるので、
装置全体を停止させることがなく、半導体基板処理装置
の稼働率を向上させることができる。

【００５３】また、本発明によれば、大きく重量物であ
るロードポートをロードポート搬送台車により移載機か
ら取り除き搬送することがてきるため、作業者等の作業
労力の軽減を図ることができる。

【００５４】また、本発明によれば、移載機から短時間
に異常を生じたロードポートを運び出すことが可能なた
め、半導体基板処理装置へ搬送するウエハを収納したウ
エハキャリアを保持したロードポートの搬送や、処理が
終了したウエハを収納したウエハキャリアを保持したロ
ードポートの搬送の障害となることがないので、半導体
基板処理装置の稼動率を下げることがない。

【００５５】さらに、本発明によれば、ロードポートが
移載機と直角を保つように取り付けられるため、交換の
際の位置合わせが簡単であり交換時間の短縮を図ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が適用される半導体基板処理装置のロー
ドポートと移載機との構成を示す図である。

【図２】本発明の一実施形態によるロードポート搬送台
車がロードポートを取り出す様子を説明する図である。

【図３】本発明の一実施形態によるロードポート搬送台
車がロードポートを搬送していく状態を説明する図であ
る。

【図４】ロードポート搬送台車の構造を説明する図であ
る。

【図５】上下移動機構の構造を説明する図である。

【図６】本発明の一実施形態によるロードポートの構造
を説明する図である。

【図７】ロードポートの内部機器の収納状態を説明する
図である。

【図８】ロードポートと移載機との連結部の構造を説明
する図である。

【図９】ロードポート搬送台車がロードポートをリフト
アップした状態をロードポートの背面側から見た斜視図
である。

【図１０】ロードポート搬送台車に給電を行う場合の構
成を制御する図である。

【図１１】給電ボックス内の電極構造を説明する図であ
る。

【図１２】ロードポートとロードポート搬送台車のアー
ムとの係合に関する他の実施形態を説明する図であ。

【図１３】本発明の他の実施形態によるロードポートの
構造を説明する図である。

【符号の説明】

１１ロードポート１２ウェハキャリア蓋開閉板１３ウェハキャリア１４移載機１５制御ユニット１６ディスプレイ１７操作卓１８監視ランプ１９監視用窓２０嵌合穴２１ロードポート搬送台車２２レール２３アーム２４アームスライド用ハンドル２５アーム上下駆動用クランク２６スライド機構２７ロックボタン２８台車移動用ハンドル２９載置面３０本体部３１重り部３２コ字状枠３３アーム案内レール３４引掛部３５車輪３６エレベーター軸３７、３８歯車３９チェーン４０歯状部６１本体部６２ウェハキャリア載置台６３結合板６５ウェハキャリア蓋開閉フック６６ウェハキャリア載置プレート６７前扉６８側部切欠部６９前部切欠部７０固定用足部７１車輪７２高さ調整機構７３ウェハキャリア止め具７４ウェハキャリア押し付け具７５操作ボタン７６緊急停止ボタン７７ロードポート固定具７８操作部７９コントロール基板８０接続ケーブル８１ケーブルトレー８２接続具８３ロードポート受け用プレート８４移載機側フレーム８５蓋開閉機構８６フック９１ベース板９２給電ボックス９３床ベース側電極９４台車側電極９５電極支持バー９６係合部９７ネジ穴９８ボルト９９係合面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者谷口素也東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地株式会社日立製作所電子デバイス製造システム推進本部内 (72)発明者和田紀彦東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地株式会社日立製作所デザイン研究所内 (72)発明者小林秀東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者示野和弘東京都中野区東中野三丁目14番20号国際電気株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】移載機に搬送され、該移載機から半導体基
板処理装置に搬送されるウェハを収納するウェハキャリ
アを保持し、前記移載機に取り付けられるロードポート
において、前記ロードポートに該ロードポートを搬送す
るロードポート搬送台車と係合する保持部を構成したこ
とを特徴とするロードポート。
【請求項２】移載機に搬送され、該移載機から半導体
基板処理装置に搬送されるウェハを収納するウェハキャ
リアを保持し、前記移載機に取り付けられるロードポー
トにおいて、前記ロードポートを搬送するロードポート
搬送台車に設けた一対のアームとの係合手段を設けたこ
とを特徴とするロードポート。
【請求項３】移載機に搬送され、該移載機から半導体
基板処理装置に搬送されるウェハを収納するウェハキャ
リアを保持し、前記移載機に取り付けられるロードポー
トにおいて、ロードポートをウェハキャリアを載置する
載置台と本体部とにより構成し、前記載置台と本体部と
の間の側面に、ロードポート搬送台車のアームに係合す
る係合溝としての切欠部が設けられることを特徴とする
ロードポート。
【請求項４】前記ウェハキャリアを載置する載置台の
上面には、ウェハキャリア載置用プレートが設けられ、
該プレートの下部には、プレートの上面部を水平に調整
する調整機構を備えていることを特徴とする請求項３記
載のロードポート。
【請求項５】ロードポートを移載機に取り付けるため
の固定具が、ロードポート正面側から操作可能に設けら
れていることを特徴とする請求項２または４記載のロー
ドポート。
【請求項６】前記ロードポートは、その背面に前記移
載機に取り付ける結合板を有し、該結合板の上部に設け
られるフックと前記固定具とにより移載機に取り付けら
れ、かつ、前記結合板の下部が移載機下部に突出するベ
ース板上に乗せられることを特徴とする請求項５記載の
ロードポート。
【請求項７】前記ロードポートは、その前面側底部に
高さ調整可能な固定用足部を有し、この固定用足部によ
り、ロードポート底部が前記ベース板上面の移載機が設
置された設置面からの高さと同一になるように支持され
ることを特徴とする請求項６記載のロードポート。
【請求項８】半導体基板処理装置におけるウェハを収
納可能なウェハキャリアの蓋を開閉するロードポートを
搬送するロードポート搬送台車において、ロードポート
を搬入するために正面側の面が開いた本体部と、本体部
の上部に設けられ、本体部の前方側にスライド可能に、
かつ、ロードポートに設けた係合手段に係合する一対の
アームを備えたことを特徴とするロードポート搬送台
車。
【請求項９】前記一対のアームは、該アームを支持す
る部材と共に、上下方向に移動可能であることを特徴と
する請求項８記載のロードポート搬送台車。
【請求項１０】前記アームのスライドを人手により行
うハンドルと、前記アームを人手により上下方向に移動
させるための機構とが備えられることを特徴とする請求
項９記載のロードポート搬送台車。
【請求項１１】前記アームの上下方向への移動を、電
動または移載機からのエアーにより行う機構を備えたこ
とを特徴とする請求項９記載のロードポート搬送台車。