JPH1017838A - 接着剤・フィラーのフィルム状複合材料及びその製造方法 - Google Patents
接着剤・フィラーのフィルム状複合材料及びその製造方法Info
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- Y10T442/291—Coated or impregnated polyolefin fiber fabric
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Abstract
バイスに有用な各種の望ましい特性を有する、フィラ
ー、接着剤、多孔質基材の複合材料を提供する。 【解決手段】 ある空隙体積と平均流動気孔サイズを有
する不織基材、及びフィラー粒子と接着剤の集合物を含
む混合物を含んでなり、その混合物はその基材のその空
隙体積の全体にわたって均等に分配され、その集合物は
最大粒子サイズ、最小粒子サイズ、及び平均粒子サイズ
を画定し、その平均流動気孔サイズと最大粒子サイズの
比は少なくとも0.7を超え、又は平均流動気孔サイズ
と平均粒子サイズの比は少なくとも1.4を超え、又は
最小気孔サイズと平均粒子サイズの比は少なくとも0.
8を超え、又は最小気孔サイズと最大粒子サイズの比は
少なくとも0.4を超えることを特徴とする複合接着材
料である。好ましくは、その基材はポリテトラフルオロ
エチレンなどのフルオロポリマーからなる。
Description
ラーと接着剤の混合物を吸収し又は含浸され、電子部品
として使用されることができる、不織基材から作成され
た複合材料に関する。この吸収されたフィラーは、複合
材料に熱的及び/又は機械的及び/又は電気的特性を与
える。また、本発明は、フィラーと接着剤の混合物を吸
収させた複合材料の製造方法に関する。具体的には、本
発明は、フィラーと接着剤の混合物がフルオロポリマー
の空隙の中に均一に分配された薄いフルオロポリマーフ
ィルムの複合材料を提供する。
ーを含むシート又はフィルムの形態のポリマー材料は、
電子工業において、電子基板、チップパッケージ、回路
ボードその他の電子デバイスの製造に、あるいは、フィ
ルター、セパレーター又は膜が必要とされる分離技術に
使用するのに適切である。フィルムの最終用途と、フィ
ルムが示す個々の特性が、特定のフィラーの選択を決め
る。例えば、フィルター又はセパレーターを提供するた
めに、活性炭がフィルム中に組込まれることができる。
電気伝導性を付与するため、微細金属粒子を混和するこ
とによって、電気的特性がポリマーフィルムに与えられ
ることができる。フィルムがポリマー系接着剤であって
金属粒子がフィルムに必要な電気的特性を与える場合が
多い。セラミック及び/又は金属及び/又はダイヤモン
ドを接着剤の中に加えることによって熱伝導性が得られ
ることもできる。
ー」のフィルムを形成することができる溶液又はペース
ト、又は(2) ポリマー基材に付加された接着剤を含むポ
リマー基材、から作成されることができる。いずれの場
合も、所望の電気的/熱的特性を与えるためのフィラー
の量が増すと、接着剤の物理的特性は、ある限られた有
用性まで低下する。例えば、一般的な伝導性接着剤は、
40〜60体積%もの多くのフィラーを含むことがあ
る。しかしながら、これらの接着剤は非常に弱くて脆
く、ペースト/液体として施されたときにのみ有用であ
る。フィルムがこれらの組成物から作成され得る場合、
それらは「B」段階の形態で取り扱うことが難しく、そ
れらのサイズと厚さを制限する。
のアプローチは、添加されるフィラーの量を制限するこ
とである。別なアプローチは、織物としたガラスファイ
バーのような強化材料を添加することである。しかしな
がら、双方の場合において、このようなことが行われる
と、フィラー入り接着剤の性能は大きく損なわれる。そ
の結果、所望の量よりも少ないフィラー材料が使用され
る。得られたシート接着剤は加工されることができるも
のの、所望又は最適の特性や性能は得ることができな
い。このように、既存のフィラー入り接着剤は、有用性
のための性能を犠牲にしているのである。
「粒子沈降」又は沈殿として知られる現象が問題であ
る。重い粒子(樹脂の密度の10倍にも及ぶ)は、フィ
ルムの底に沈み、樹脂リッチ表面を後に残すことにな
る。この現象は、不都合な不均一性と乏しい信頼性をも
たらす。過剰な表面の樹脂がフィルムの中に押し戻され
ることを保証するため、高い接着圧力が必要とされる場
合が多い。そのような場合でも、表面の不規則性が、依
然として、粒子によって与えられる特性の不足した樹脂
リッチ領域をもたらすことがある。
討がなされているが、重大な欠点が存在し、したがって
それらの調製は限られている。添加され得るフィラーの
量は、(1) ポリマーフィルム又は基材、(2) フィラー・
接着剤の添加剤、の物理的制約によって調節される。所
望とされるフィラー量は、接着剤・フィラーの添加剤を
取扱い不能にする場合が多い。
するため、熱硬化性樹脂を基材の中に吸収させた。例え
ば、織物ガラス基材に熱硬化性又は熱可塑性接着剤を吸
収させることができる。しかしながら、このアプローチ
は、フィラーもまた添加される場合には重大な欠点を有
する。例えば、中空のガラスマイクロスフェアーを熱硬
化性接着剤の中に分散させ、次いで織物基材の中に吸収
させた。しかしながら、得られる接着剤フィルムの可撓
性と取扱適性が劣るため、また、接着剤フィルムを所望
の用途に適合することが難しいため、基材に供給される
ことができるフィラーの量が制限される。
織物構造で可能な限られた均一性である。織物の各隙間
に、隙間の間に画成される体積とは異なる組成物が存在
する。このことは、物理的特性や電気的特性の不均一性
と、不適合性に結びつく。広範囲なフィラーレベルにお
いて、均一で可撓性のあるフィラー入り接着剤シートを
有することは望ましいであろう。
加され、次いでポリウレタンフォームの中に吸収させた
が、足場の性質が多くの制約を負わせる。その結果、薄
い複合材料、又は可撓性で熱的に安定な複合材料を作成
することが非常に難しい。また、難燃性で可撓性の回路
基板として使用するため、難燃性粒子を接着剤の中に分
散させ、次いで不織ポリイミドエステル基材の中に吸収
させた。一般に、これらの従来技術の系において、性能
目的のために添加剤を最適のレベルで接着剤の中に分散
させ、同時にその接着剤を薄いシートとして提供するこ
とは、実施可能ではない。
フルオロポリマーに直接添加することによって、多孔質
延伸膨張ポリテトラフルオロエチレン(ePTFE)の
ようなフルオロポリマーの中にフィラーを組込ませた。
また、プリント配線回路ボード(PWB)用の薄い容量
性のポリテトラフルオロエチレン層のような、無機フィ
ラーを充填され、厚さ0.1〜5.0ミルのピンホール
が実質的にない薄い多孔質ポリテトラフルオロエチレン
フィルムも公知である。使用される多孔質延伸膨張ポリ
テトラフルオロエチレンは、Goreの米国特許第39
53566号明細書の教示にしたがって調製されること
ができる。各々の場合において、フィラーは、押出と延
伸膨張の前にポリマーに混合される。
ポリテトラフルオロエチレンのフィブリルとノードの微
細構造を含まないポリテトラフルオロエチレンも、フィ
ラーを含むことができる。セラミックフィラーと誘電性
を有するポリテトラフルオロエチレンの押出複合テープ
が、押出前にポリテトラフルオロエチレンにフィラーを
添加することによって調製された。また、水系のポリテ
トラフルオロエチレン・フィラーの分散系が調製される
とき、均一性と改良された分散性を与えるため、シラン
化合物が望ましいことがある。Leverettの米国
特許第3929721号明細書と、Ogdenらの同4
038244号明細書を参照されたい。また、シランに
加え、より良好な分散性のために親水性フィラーを疎水
性にする他の有機化合物も公知である。カワチらの米国
特許第4440879号明細書と、モロズミの同414
3110号明細書を参照されたい。また、ペーストを押
出しする前に、例えばシランやチタネートなどのカップ
リング剤でフィラーをプレコートすることも公知であ
る。
「焼成」温度、即ち、非常に高い温度、又は高い温度と
圧力で結合させることを必要とする。その結果、これら
の複合材料は、特にこれらの複合材料がさらに加工され
るときに遭遇する難しさのため、期待される範囲にまで
は使用されていない。このことは、これらの複合材料に
結合される他の材料がこれらの高い温度と圧力に耐えら
れないときに特にあてはまる。
討もなされているが、結果は満足できるものではない。
多孔質のフィブリル化されたポリテトラフルオロエチレ
ンがLandiの米国特許第3407096号明細書、
同3407249号明細書に教示の技術にしたがって調
製された。Landiの特許において、無機又は有機の
フィラーが、未焼成のポリテトラフルオロエチレンファ
イバーの網状構造の中に組込まれる。Landiのプロ
セスは、押出されるポリテトラフルオロエチレンと有機
ポリマーの配合物を調製することを必要とする。有機ポ
リマーは、その後で適当な溶媒中で溶解させることによ
って除去される。得られた構造体は、非常に微細なフィ
ブリルの網状構造のため、付加的な粒子状フィラーの導
入を不可能にする。
書において、ポリテトラフルオロエチレンを含む絶縁性
の多孔質複合材料を作成するため、ガス含有マイクロバ
ルーン又はマイクロスフェアーが使用される。このサト
ウの特許において、ポリテトラフルオロエチレン基材
は、約75%の気孔率を有し、マイクロバルーンを含む
超音波攪拌された液体の中に浸漬され、そのマイクロス
フェアーをその気孔の中に流入させる。吸収させた基材
は、束縛されずに加熱され、このため多孔質ポリテトラ
フルオロエチレンが収縮してマイクロスフェアーを気孔
の中に固定する。サトウの特許によって得られた生産品
は、多孔質で耐圧縮性の低誘電体として有用である。マ
イクロスフェアーは、気孔を満たし、このため気孔が潰
されるのを防止する。同じアプローチを用い、サトウの
米国特許第5087641号明細書において、気孔体積
の中に焼成ポリテトラフルオロエチレン粒子を有する多
孔質ポリテトラフルオロエチレン複合材料が作成され
る。各々の場合において、サトウの複合材料は、樹脂を
十分には吸収させることができず、そのようなものであ
るため、接着剤として使用することは非常に難しいであ
ろう。
たが、作成された粒子に接着剤を添加することは、受け
入れられる生産品を生み出していない。例えば、ハマサ
キらの特開昭61−40328号公報において、50m
m以下の厚さを有する薄い電気絶縁材として使用される
多孔質延伸膨張ポリテトラフルオロエチレン構造体の中
にシリコーンゴムを吸収させる。このシリコーンゴムは
溶液として吸収され、透明な、例えばフィラーを含まな
い生産品を生成し、これはその後で硬化される。しかし
ながら、硬化された生産品の構造的完全性は乏しい。ハ
マサキ特許の構造体を強化する検討の中で、H.カトウ
らは、特開昭62−100539号公報において、先ず
ポリテトラフルオロエチレンの分散系の中にセラミック
を含ませることによって作成されるシリコーンゴム物品
を教示している。このフィラーは、ノードとフィブリル
の構造のノードの中に直接組込まれ、次いでシリコーン
樹脂が、上記のようにしてそのフィブリル化構造の中に
吸収される。これらの双方の場合において、最終的な生
産品はゴム状の硬化シートである。
ス特許出願第2195269公告明細書(欧州特許第0
248617号明細書)において、プリント配線ボード
(PWB)用の接着剤として有用な、熱硬化性樹脂を延
伸膨張ポリテトラフルオロエチレンに吸収させた物品と
プロセスを記載している。無機フィラーが、延伸膨張多
孔質ポリテトラフルオロエチレンのノードとフィブリル
の構造の中に組込まれることができる。また、フィラー
を含まない樹脂をポリテトラフルオロエチレンの中に含
浸させるハタケヤマらの米国特許第4784901号明
細書を参照されたい。
いると、セラミックがノードとフィブリルの構造体を弱
くする作用をするため、セラミックの高い充填率を達成
することが難しい。材料の厚さが低下すると、フィラー
/ファイバーの粒子はピンホールの傷を生じさせるた
め、フィラー強化ポリテトラフルオロエチレンの薄いフ
ィルムを作成することが難しい。また、とりわけ30体
積%を超える範囲で無機フィラーを混和することは、こ
れらの複合材料の混合とペースト押出加工を非常に難し
くする。この他の問題は、複合材料構造体の全体にわた
ってセラミック強化材が均一に分配されないことであ
る。
き、均一に強化された薄い接着剤シート複合材料に対す
るニーズが存在している。即ち、構造的完全性を犠牲に
することなく、所望の特性を最大限にする最大限可能な
フィラーの量を含む、構造的に信頼性のあるフィラー入
り接着剤フィルムに対するニーズが存在している。これ
らのフィルムは、出来るだけ薄く又は厚く、使用が容易
であり、脆くなく、均一な稠度を有し、ピンホールのな
い便利なシート状であるべきである。
ら及びこの他の欠点を解決する。
は、ポリマー基材の初期の空隙体積を利用して、多量の
フィラーと熱可塑性又は熱硬化性接着剤を吸収させた多
孔質不織基材に関する。本発明においては、とりわけG
oreの米国特許第3953566号明細書、Bowm
anらの同4482516号明細書(これらは参考にし
て取り入れられている)のフルオロポリマーの多孔質延
伸膨張ポリテトラフルオロエチレン材料が使用されるこ
とができ、接着剤とフィラーのペースト混合物を吸収さ
せ、電子工業その他の分野に使用される複合材料を提供
する。その他の高度に多孔質の材料の例えば多孔質ポリ
エチレンや多孔質延伸膨張ポリプロピレンが使用される
こともできる。
状に混合された熱硬化性又は熱可塑性接着剤樹脂と粒子
フィラーが、多孔質ポリマーの空隙の中にしみ込まされ
た、吸収された、又は含浸された複合材料を作成するこ
とである。多孔質ポリマー基材は、少なくとも30%、
好ましくは少なくとも50%、最も好ましくは少なくと
も70%の初期空隙体積を有し、可撓性のある強化を提
供すると同時に、空隙の中の熱硬化性又は熱可塑性接着
剤樹脂と粒子フィラーのペーストが、全体的な複合材料
の脆性と粒子の沈降を防止することを容易にする。
吸収された10〜95体積%の粒子フィラー入り接着剤
を含む、約5〜約40体積%の基材を有する連続気孔複
合材料を提供することである。本発明のもう1つの局面
は、5〜85体積%の無機微粒子フィラーが、複合材料
の中の、多孔質ポリマー構造又は接着剤の中あるいは双
方の中に含められるプロセスと複合材料を提供すること
である。
ーが複合材料の体積の5〜85体積%であって、均一に
分配された接着剤・フィラーのペースト混合物を含んで
少なくとも50%の空隙体積を有する延伸膨張ポリテト
ラフルオロエチレンのフィルムを提供することである。
本発明のもう1つの局面は、少なくとも30%の初期空
隙体積を有し、接着剤とフィラーのペースト混合物を含
む延伸膨張ポリテトラフルオロエチレンのフィルムを提
供することであり、ここで、フィラーは複合材料の体積
の5〜85体積%であり、ポリテトラフルオロエチレン
の平均気孔サイズと平均粒子サイズの比は少なくとも
1.4より高くあるべきであり、好ましくは2.5以上
である。もう1つの設計的基準は、最小気孔サイズ(P
oreMin )と平均粒子サイズ(PartAvg )の比が
少なくとも0.8より高くあるべきであり、又は最小気
孔サイズ(PoreMin )と最大粒子サイズ(Part
Max )の比が少なくとも0.4より高くあるべきであ
り、又は平均流動気孔サイズ(MFPS)とPart
Max の比が少なくとも0.7より高い。もう1つの設計
的基準は、基材の気孔サイズと粒子サイズが、PTFE
の最小気孔サイズが最大粒子サイズの1.4倍以上であ
るとして計算されることができることである。
って相互に接続されたノードを含むフルオロポリマー基
材と、そのフルオロポリマー基材の気孔の中に充填され
た熱硬化性又は熱可塑性接着剤とセラミック粒子を有す
る複合材料を提供し、これが部分的に硬化されてB段階
複合材料を作成することである。もう1つの局面は、均
一な表面曲率を有するフィラー粒子を、バット、フェル
ト又は連続気孔多孔質基材のような不織基材の中に組込
ませることである。
とも1層を有する本発明の複合材料の1以上の層を有す
る電子デバイス用の、接着剤とフィラーを含有する基材
を提供することである。本発明のさらにもう1つの目的
は、少なくとも2種の異なるタイプのフィラーを含んで
その少なくとも1種が非伝導性炭素であるフィラーと接
着剤の混合物を提供することである。
び特長は、以下の説明の再吟味から明らかになるであろ
う。本発明の作用は、添付の限定されない図面、及び特
許請求の範囲と併せて以下の説明を考慮されると、以下
の説明から明らかになるはずである。30〜95体積%
(好ましくは少なくとも50%であり、好ましくは70
%より高いことが多い)の初期空隙体積を有する多孔質
基材が、うまく調節される厚さを有する、フィラー含有
接着剤を吸収するための足場基材を提供することが新た
に見出された。接着剤とフィラーの混合物が多孔質基材
に吸収された後、その充填された基材は熱に曝され、接
着剤が部分的に硬化し、B段階の接着剤複合物が生成す
る。多孔質延伸膨張ポリオレフィンの例えば超高分子量
(UHMW)ポリエチレン、延伸膨張ポリプロピレン、
フルオロポリマーの例えば多孔質延伸膨張ポリテトラフ
ルオロエチレン(そのコポリマーを含むことがあり、含
まないこともある)、防食(sacrificial) フィラーを含
むペースト押出によって調製された多孔質ポリテトラフ
ルオロエチレン、多孔質の無機系又は有機系フォーム、
微細多孔質セルロースアセテートなどが、本発明が使用
されることができる基材の一部を例示する。これらの材
料は、フィラーを含む又は含まない熱可塑性又は熱硬化
性樹脂のペーストが基材の足場の気孔に中に吸収される
ことを可能にする空隙体積を有する足場を提供する。そ
の結果、本願で説明する発明によって、薄いフィルムで
あっても傷やピンホールがなく、柔軟で従順で使い易く
て取扱いが容易なシート状接着剤を生成しながらも、熱
硬化性又は熱可塑性接着剤の中の無機系フィラーの例え
ば粒子又は繊維状のセラミックフィラー、均一な表面曲
率を有する固体セラミックフィラー、粉末状金属の高い
充填率が達成されることができる。フィラー入り接着剤
の一般的なシートは、非常に壊れ易くて脆く、全く取扱
い適性がないため、この結果は予想外である。この驚く
べき結果は、高度に多孔質及び/又は延伸膨張された基
材の例えば延伸膨張ポリテトラフルオロエチレンの可撓
性に由来するものである。
に保持するために使用されてきた。これに対し、本発明
は、強い強化材で達成可能であったよりもはるかに低い
組成割合で低弾性率の強化材を使用する。このことは、
従来可能と考えられたよりもはるかに高いフィラー割合
を提供する。本発明の1つの態様において、フィラー入
り接着剤の中の相互に絡んだ網状構造として機能するノ
ードとフィブリルの微細な相互に接続された網状構造か
ら足場が形成される。付加的な予想外の特長は、延伸膨
張ポリテトラフルオロエチレンを用いて作成された接着
剤複合材料の厚さが、基材/足場の厚さによって厳密に
調節されることである。即ち、コーティングプロセスの
ペースト厚みの調節は、本発明の調節パラメーターでは
なく、このことは、ペーストの性質の例えば粘度や厚さ
が多くの因子によって影響されるため有益である。その
代わりとして、薄くても厚くてもよいフィルムの出発基
材の厚さと構造が、足場が複合材料の僅か5%を構成す
るときでも、吸収プロセスと最終生産品の性質を調節す
る。その結果、接着剤とりわけフィラー入り接着剤の非
常に正確に調節された厚さが信頼よく得られることが可
能である。このことは、電子誘電体層やミクロ電子誘電
体層にとって特に重要である。
剤中の粒子の一定した均一な分散系が、微細多孔質構造
の中に導入され得ることである。このことは、基材の微
細多孔性による強靱化作用、微細多孔質基材が分散系の
均質に分散されることを維持し易いための均一化作用
(即ち、粒子が多かれ少なかれ足場に束縛されることの
おかげで粒子の移動が抑えられる)などの重要な多数の
特長を提供する。
は、限定されるものではないが、5〜40体積%のポリ
テトラフルオロエチレンを含む多孔質のフィラー入り又
はフィラーなしの延伸膨張ポリテトラフルオロエチレン
の層又はフィルム、ポリテトラフルオロエチレンのウェ
ブの多孔質構造の中に吸収された10〜95体積%の粒
子フィラー入り接着剤を含んでなる。フィラーは、接着
剤の中に懸濁した微粒子の形態で接着剤の全体にわたっ
て分配されることができる。あるいは、又はそれに加え
て、熱伝導性及び/又は電気伝導性を付与するため、又
は他の特性を付与するため、又はその同じ特性を増大さ
せるため、ポリテトラフルオロエチレンはフィルムのノ
ードとフィブリルの構造の中に同種又は異種の微粒子フ
ィラーを含むこともできる。いずれの場合も、粒子フィ
ラーは、複合材料全体の5〜85体積%を構成する。
ち、金属や合金の例えば限定されるものではないが、ニ
ッケル、銅、アルミニウム、ケイ素、ハンダ合金、銀、
金、金属メッキ粒子の例えば銀メッキ銅、銀メッキニッ
ケル、銀メッキガラス等のマイクロスフェアー、無機物
の例えばBaTiO3 、SrTiO3 、SiO2 、Al
2 O3 、BN、ZnO、ZrO2 、TiO2 、MnO、
CuO、Sb2 O3 、WC、ゾルゲルセラミック(例え
ば、ゾルゲルのそれぞれSiO2 、TiO2 又はAl2
O3 )、沈降セラミック(例えば、SiO2 、TiO2
又はAl2 O3)、溶融シリカ、ヒュームドシリカ、ア
モルファス溶融シリカ、あるいは、米国特許第4705
762号明細書に教示の蒸気金属燃焼プロセス即ち、溶
融されたそれぞれケイ素、チタン、アルミニウムが蒸気
燃焼され、事実上充実であり、即ち、中空球ではなく、
均一な表面曲率と高度の球面性を有するシリカ、チタニ
ア、アルミナ粒子が生成されるプロセスによって作成さ
れた無機系フィラーの1種以上がその中に懸濁した接着
剤である。
で使用されることができる。例えば、シリカと非伝導性
炭素、チタニアと非伝導性炭素など、ゾルゲルチタネー
ト、混合されたチタネート、イオン交換樹脂、リチウム
含有セラミック、中空ガラスマイクロスフェアー、炭素
を主成分とする材料の例えば炭素、活性炭、カーボンブ
ラック、ファーネスブラック、ケッチェンブラック、ダ
イヤモンド粉末、エラストマーの例えばポリブタジエ
ン、ポリシロキサン、半金属、セラミックのフィラーが
使用されることもできる。本発明の態様において使用さ
れるフィラーのいくつかに、BaTiO3 、SiO2 、
Al2 O3 、ZnO、ZrO2 、TiO2、ニッケル又
はハンダ合金が挙げられる。その他の開示の態様は、溶
融されたケイ素、チタン、ジルコニウム、アルミニウム
の燃焼によって作成され、充実の形態である微粒子、即
ち、中空球ではなく、高度の球面性と均一な表面曲率を
有する微粒子であるSiO2 、TiO2 、Al2 O3 を
使用することができる。
定性、低い誘電率、高い誘電率、イオン交換性能、ガル
バーニ電位、難燃性、調節可能な熱膨張率などのような
1種以上の固有の特性を接着剤に与える。用語「微粒子
(particulate) 」は、任意のアスペクト比のフィラーを
意味する。即ち、この用語はファイバーと粉末の双方を
包含する。
マトリックスに反応性の薬剤によって、例えばカップリ
ング剤を使用することによってフィラーを疎水性にする
周知の技術で処理されることもできる。適切なカップリ
ング剤には、シラン、チタネート、ジルコネート、及び
アルミネートが挙げられる。適切なシリル化剤には、限
定されるものではないが、官能性シリル化剤、シラザ
ン、シラノール、シロキサンを挙げることができる。適
切なシラザンには、限定されるものではないが、ヘキサ
メチルジシラザン(Huls H730)、ヘキサメチ
ルシクロトリシラザン、シリルアミドの例えばビス(ト
リメチルシリル)アセトアミド(HulsB250
0)、シリルユリアの例えばトリメチルシリルユリア、
及びシリルイミダゾールの例えばトリメチルシリルイミ
ダゾールが挙げられる。
キルタイプ、モノアルコキシタイプ、配位タイプ、キレ
ートタイプ、第4級塩タイプ、ネオアルコキシタイプ、
シクロヘテロ原子タイプによって例示される。好ましい
チタネートには、テトラアルキルチタネート、Tyzo
r(商標)TOT(テトラキス(2-エチル- ヘキシル)
チタネート)、Tyzor(商標)TPT(テトライソ
プロピルチタネート)、キレート化チタネート、Tyz
or(商標)GBA(チタンアセチルアセチルアセトネ
ート)、Tyzor(商標)DC(チタンエチルアセト
アセトネート)、Tyzor(商標)CLA(デュポン
社の独占販売)、モノアルコキシ(Ken−React
(商標)KR TTS)、Ken−React(商
標)、KR−55テトラ(2,2ジアリロキシメチル)ブチ
ル、ジ(ジトリデシル)ホスフィトチタネート、LIC
A(商標)38ネオペンチル(ジアリル)オキシ、トリ
(ジオクチル)ピロ- ホスフェートチタネートが挙げら
れる。
社のカタログの22頁に詳述された任意のジルコネート
が挙げられ、とりわけKZ55- テトラ(2,2ジアリロキ
シメチル)ブチル、ジ(ジトリデシル)ホスフィトジル
コネート、NZ−01−ネオペンチル(ジアリル)オキ
シ、トリネオデカノイルジルコネート、NZ−09−ネ
オペンチル(ジアリル)オキシ、トリ(ドデシル)ベン
ゼン- スルホニルジルコネートが挙げられる。
ートには、限定されるものではないが、Kenrich
(商標)、ジイソブチル(オレイル)アセトアセチルア
ルミネート(KA301)、ジイソプロピル(オレイ
ル)アセトアセチルアルミネート(KA322)、及び
KA489が挙げられる。上記の他に、ある種のポリマ
ーの例えば架橋されたビニル系ポリマーのジビニルベン
ゼンやジビニルピリジン、あるいは、非常に高い希釈率
(MEK中の0.1〜1.0%の溶液)で最初に適用さ
れる上記の熱硬化性マトリックス接着剤の任意のサイジ
ングも使用されることができる。また、ある種の有機系
過酸化物の例えばジクミルペルオキシドをフィラーと反
応させることもできる。
あってよく、ポリグリシジルエーテル、ポリシアヌレー
ト、ポリイソシアネート、ビス- トリアジン樹脂、ポリ
(ビス- マレイミド)、ノルボルネンを末端とするポリ
イミド、ポリノルボルネン、アセチレンを末端とするポ
リイミド、ポリブタジエンとその官能化コポリマー、環
状オレフィンポリシクロブテン、ポリシロキサン、ポリ
シスクアロキサン(poly sisqualoxane) 、官能化ポリフ
ェニレンエーテル、ポリアクリレート、ノボラックポリ
マーとそのコポリマー、フルオロポリマーとそのコポリ
マー、メラミンポリマーとそのコポリマー、ポリ(ビス
フェニシクロブタン)、及びそれらの配合物又はプレポ
リマーを挙げることができる。上記の接着剤は、難燃性
や高められた靱性を付与するように、それら自身が一緒
に配合されることができ、あるいは、その他のポリマー
又は添加剤と配合されることもできると理解されるべき
である。
フィラー入り又はフィラーなしの基材には、延伸膨張ポ
リテトラフルオロエチレンやポリオレフィンの他に、フ
ィルムを作成するために足場/マトリックス材料として
使用される不織ペーパー、ポリマー繊維、不織フォーム
が挙げられる。考えられる不織ペーパーには、限定され
るものではないが、「湿式堆積」や「スパンボンド」プ
ロセスによって作成された、例えばセルロースペーパー
やアラミドペーパーが挙げられる。繊維状足場の支持に
は、切断繊維マットやセラミックペーパーを挙げること
ができる。フォームには、エアロゾルセラミックフォー
ムや連続気泡ポリマーフォーム、又はポリ(エチレンテ
レフタレート)フォームを挙げることができる。延伸膨
張された足場材料には、延伸膨張ポリエチレン、微細多
孔質ポリマーの例えばセルロースアセテートなどが挙げ
られる可能性がある。これらの材料は、足場又はマトリ
ックスの延伸膨張形態のため及び低い体積弾性率のた
め、接着剤含有フィルムに非常に高い強度を与えること
ができる可能性がある。マトリックスは、そのままでは
はるかに弱いセラミックと接着剤のペースト/分散系を
一体に保持する足場として作用する。
オロエチレンはバインダーとして作用し、その結果、接
着剤は、優れた接着剤としての性能のみを示せばよい。
延伸膨張ポリテトラフルオロエチレン構造の低い弾性率
とノードとフィブリルの入り組んだ網状構造は、相分離
したポリマーアロイの反転相と同様の複合材料の全体を
強靱にするのに役立つ。このことは、従来接着剤にバイ
ンダーと接着剤の双方を依存していたため、通常では現
実的でなかって成分の組成比を可能にする。
節である。延伸膨張ポリテトラフルオロエチレンは非常
に均一に作成されることができ、樹脂を吸収すると、そ
の最終的な厚さを変化させない。即ち、全体的な厚さの
調節が得られる。さらに、延伸膨張ポリテトラフルオロ
エチレンそのものの厚さが正確に調節されることがで
き、その結果、得られる足場フィルムは、非常に薄く又
は非常に厚く作成されることができる。非常に薄い基材
は、複数の層を含むことができる複合材料の調製を可能
にするといった付加的な特長を有する。
ると延伸膨張し、ノードとフィブリルによって形成され
る相互接続性チャンネルの多孔質材料を生成するといっ
たポリテトラフルオロエチレンの独特の特徴を利用する
ことにある。ポリテトラフルオロエチレンを伸長して多
孔質材料を生成させることは周知であり、米国特許第3
953566号明細書、同4482516号明細書に記
載されている。延伸膨張ポリテトラフルオロエチレンの
中の気孔空間は少なくとも50体積%であり、70%を
超えることも多く、同時に非常な強度を維持したままで
ある。この気孔空間がSiO2 、TiO2 などのフィラ
ーで置換されると、強度と取扱い容易性を維持した非常
に高いフィラー充填率の複合材料が得られる。
小気孔サイズは、値を直接記録するコールター(商標)
ポロメーターII(英国のルートンにあるコールターエレ
クトロニクス社)を用いて測定した。平均粒子サイズと
最大粒子サイズは、マイクロトラック光散乱粒子サイズ
分析計FRA型(米国のペンシルバニア州のノースウェ
ールズにある Microtrac Division of Leeds & Northu
p)を用いて測定した。平均粒子サイズ(APS)は、
粒子の50%がそれより大きい値として定義される。最
大粒子サイズ(LPS)は、マイクロトラックヒストグ
ラムで検出できる最大粒子として定義される。あるい
は、最大粒子サイズは、マイクロトラックFRA機が、
粒子の100%が通過したことを決定する時の最小値点
で定義される。
重量を立方センチメートル(cc)単位の計算体積で割
算することによって計算した。サンプルの体積は、平均
の厚さと長さと幅を掛算することによって計算した。各
平均は、少なくとも5つの別な測定値を用いた。これら
の測定に伴う不確実性は計算の全体にわたって移され
た。
した。 rcalc=S(vi )・(ri ) ここで、vi はi番目の成分の体積割合 ri はi番目の成分の密度 プリプレグの樹脂含有率(RC)は、プリプレグの中の
全ての接着剤を溶媒で完全に抽出し、その小片を乾燥さ
せ秤量した後、元のプリプレグの重さに含まれる小片の
重さに分けることによって計算した。
は、ヒューレットパッカード8753Aネットワーク分
析計(カリフォルニア州のサンノゼにあるヒューレート
パッカード社)を用い、銅クラッドラミネートの基材共
鳴法によって求めた。5GHzより高い周波数での誘電
率(Dk)と誘電正接(Df)は、GDKプロダクツ社
によって開発された共鳴モード誘電率計(ニューヨーク
州のカゾニバにあるGDKプロダクツ社)とヒューレッ
トパッカード8510ネットワーク分析計(カリフォル
ニア州のサンノゼにあるヒューレートパッカード社)を
用いて求めた。
1401型コンピーター制御引張試験機(米国ペンシル
バニア州のバトラーにあるアプライドテストシステムズ
社)に接続された硬質スライド平面基材に固定された銅
クラッドラミネートの上の90°剥離形状を用いて測定
した。重量組成は、ガリブレイス研究所(テネシー州の
ノックスビル)による元素分析によって測定した。Si
O2 、TiO2 及びNiの組成は、誘電結合プラズマ分
光分析の灰分溶融分解分析を用いて測定し、これは、S
i、Ti又はNiのそれぞれの量を確定するために使用
した。PTFEの組成も同様な仕方で測定したが、ショ
ニガーフラスコ/比イオン電極分析によるフッ素を使用
し、フッ素を直接測定した。接着剤の量は質量バランス
の差異によって計算した。
は、実測密度を計算密度で割算して1から差し引くこと
によって計算し、不確実性の妥当な程度はそのまま引き
継がれた。各成分の体積割合(VF)は、複合材料の実
質部の体積(1−VV)に各々の成分の体積割合を掛算
することによって計算した。次の式によって計算され
る。
プレフォームを伸長することによりポリテトラフルオロ
エチレンを延伸膨張し、小粒子と接着剤が空隙又は気孔
体積の中に自由に流れ込むことを可能とするのに十分な
微細構造にする、(b)ポリマーの例えば熱硬化性又は
熱可塑性材料とフィラーからペーストを作成する、
(c)接着剤とフィラーのペーストを浸漬、コーティン
グ、加圧送り込みによって、延伸膨張ポリテトラフルオ
ロエチレンのような高度に多孔質の足場の中に吸収させ
る、ことを必要とする。
作成するためのマトリックス材料として延伸膨張された
多孔質のフィラー入り又はフィラーなしのポリテトラフ
ルオロエチレンが使用されるが、これは、その延伸膨張
された形態によって付与された非常に高い強度のため、
及びその低いモジュラスのためである。マトリックス
は、一体に保持するための足場として作用し、それがな
ければはるかに弱いペースト/分散系のセラミックと接
着剤を受け入れる空隙体積を提供する。前述のように、
低いモジュラスと、ノードとフィブリルの相互に接続さ
れた効果のため、延伸膨張ポリテトラフルオロエチレン
構造は、相分離したポリマーアロイの反転相と同様の複
合材料を全体的に強靱化するのに役立つ。このことは、
従来は接着剤をバインダーと接着剤の双方として頼りと
するため普通は実用的でなかった成分の組成比を可能に
する。本発明において、延伸膨張ポリテトラフルオロエ
チレンがバインダーとして作用するため、この結果、接
着剤は良好な接着剤性能を呈するのみでよい。もう1つ
の重要な特徴は厚さの調節である。延伸膨張ポリテトラ
フルオロエチレンは非常に均一に作成されることがで
き、一旦樹脂を吸収すると、その最終的な厚さを変化し
ない。即ち、全体的な厚さの調節が得られる。さらに、
延伸膨張ポリテトラフルオロエチレンは非常に薄く又は
非常に厚く作成されることができる。非常に薄いフィル
ムの場合、複数の層が組み合わされて複合材料を構成す
ることもできる。
延伸膨張してノードとフィブリルによって形成される相
互に接続したチャンネルの多孔質材料を形成するといっ
たポリテトラフルオロエチレンの独特の特徴を使用する
ことにある。延伸膨張ポリテトラフルオロエチレンの空
隙スペースは少なくとも30体積%であり、50%を超
えることも多く、70%を超えることもさらに多いが、
依然として高い強度が維持される。次いで空隙スペース
は、所望の特性向上を付与するフィラーを含む接着剤に
よって置き換えられることができる。例えば、ニッケル
フィラー入り接着剤は、高められた電気・熱伝導性を示
すことができ、シリカ(SiO2 )フィラー入り接着剤
は、とりわけ蒸気燃焼されて均一な表面曲率を有する粒
子を生じる溶融されたそれぞれケイ素、チタン、アルミ
ニウムから調製されたフィラーの場合、高められた寸法
安定性と割合に低い熱膨張率(CTE)を呈することが
でき、リチウムフィラー入り接着剤は、高められたイオ
ン交換特性を呈することができ、酸化チタン(Ti
O2 )又はチタネートフィラー入り接着剤は、高められ
た誘電率を呈することができるなどである。機械的完全
性が必要と考えられる場合、微粒子そのものがプライマ
ーその他の表面改質層の薄いコーティングを有すること
ができ、例えばシラン、シラザン、シロキサン、チタネ
ート、ジルコネート等のコーティング、接着剤そのもの
のサイジングが挙げられる。
ものではない図1〜3を参照して説明する。図1におい
て、フィルム(A)は微粒子フィラーを含まず、フィブ
リル(C)(線によって示されている)によって相互に
接続されたノード(B)(長円によって示されている)
を含む延伸膨張又は伸長されたポリテトラフルオロエチ
レンフィルム(A)を示す。かくして図1はノードとフ
ィブリルの構造を図解する。
構造によって画定された開口体積が、粒子フィラー入り
接着剤によって置き換えられている。ノードとフィブリ
ルの構造は、接着剤の足場として機能する。図3は、フ
ィルム(A)のノードもまた粒子を保有する状態を示
し、この粒子は空隙体積の中に分散されたものと同じ必
要はない。
め、微細に分散された混合物をもたらすように、微粒子
フィラーが溶媒又は水系溶液又は溶融接着剤の中に混合
される。微粒子状のフィラーは、普通はサイズが40μ
m未満であり、好ましくは、1〜10μmの平均粒子サ
イズを有する。ポリテトラフルオロエチレンのノードと
フィブリルの構造の平均気孔サイズは、微粒子の適切な
侵入を可能にするのに十分大きい必要がある。基材が延
伸膨張ポリテトラフルオロエチレンであるべき場合、ボ
ーマンらの米国特許第4482516号明細書に教示の
ものと同等の構造であることが望ましい。望ましくは、
平均流動気孔サイズ(MFPS)は、最大微粒子サイズ
の約2〜5倍又はそれ以上であるべきであり、平均流動
気孔サイズがフィラーサイズの約2.4倍を超えること
が特に好ましい。ここで、平均流動気孔サイズ(MFP
S)と平均粒子サイズの比を1.4より高く選択して調
製され得る適当な複合材料もまた本発明の範囲に含まれ
る。また、最小気孔サイズと平均粒子サイズの比が少な
くとも0.8を超えること、あるいは、最小気孔サイズ
と最大粒子サイズの比が少なくとも0.4を超える場合
にも、許容できる複合材料が調製されることができる。
平均流動気孔サイズと粒子サイズの比は、マイクロトラ
ックFRA分析計を用いて測定される比である。
判断するもう1つのメカニズムは、最小気孔サイズが、
最大粒子サイズの約1.4倍以上であるとして計算され
ることもできる。表1は、基材の平均流動気孔サイズ
(MFPS)と粒子サイズの関係の効果を示す。平均流
動気孔サイズ(MFPS)と最大粒子の比が1.4以下
の場合、不満足な結果が見られる。この場合、均一な複
合材料が観察されず、粒子フィラーの殆どは、微細多孔
質基材に均一に侵入しない。平均流動気孔サイズと最大
粒子の比が約2.0を超えると、均一な複合材料が得ら
れる。また、平均流動気孔サイズと最大粒子の比が高い
程、均一な分散系を微細多孔質基材の中に吸収する場合
が相対的に多いことが見られる。
容易に吸収する。この場合、それまで空気を含む空隙体
積の全て又は一部が、粒子フィラー入りの樹脂/接着剤
で置き換えられる。空気の空隙体積の一部のみが樹脂で
置き換えられる場合、最終的な複合材料は、優れた接着
性、優れた厚みの調節、及び優れた可撓性と圧縮適性を
有する非常に薄くて空隙のない複合材料に適切に圧縮さ
れることができる。即ち、この仕方によって、従来得ら
れなかった特有に高い充填率の接着剤の比類なく薄く、
良好に調節された厚さを得ることができる。
ができる複合材料を例示する。フィブリルCによって相
互に接続されたノードBと、接着剤Dと粒子Eを含む接
着剤フィルムAが、少なくとも1層の金属Fに取り付け
られる。この構造は種々の用途を提供し、例えば、プリ
ント回路ボード基板、埋込みキャパシタ、放熱子材料な
どに有用である。また、この材料の相対する面に金属層
が施され、サンドイッチ構造を形成することもできる。
使用されるかを例示するものであるが、本発明の範囲を
限定するものではない。
ゾール触媒のビスフェノールAを基剤としたポリグリシ
ジルエーテル(Nelco N−4002−5、ネルコ
社)の20重量%溶液に281.6gのTiO2 (TI
Pure R−900、デュポン社)を混ぜ込むこと
によって微細な分散系を調製した。均一性を保証するた
め、この分散系を常時攪拌した。次いで延伸膨張PTF
Eの小片をその樹脂混合物の中に浸した。可撓性のある
複合材料を得るように、そのウェブを165℃で1分間
張力下で乾燥した。このようにして得られた部分硬化し
た接着性の複合材料は、57重量%のTiO2 、13重
量%のPTFE、及び30重量%のエポキシ接着剤を含
んだ。複数枚の接着剤シートを銅ホイルの間に載置し、
真空を利用した液圧プレスで600psiの圧力と22
5℃の温度で90分間加圧し、次いで圧力下で冷却し
た。これにより19.0の誘電率を有する銅ラミネート
が得られ、100mm(0.0039インチ(3.9ミ
ル))の誘電体ラミネート厚さの平均積層厚において、
280℃でのハンダ衝撃に30秒間耐えた。
番号26698−1)、17.4gの白金硬化ポリ(ジ
メチルシロキサン- メチルシロキサン)熱硬化性シリコ
ーンエラストマー(Sylgard 4105、ダウケ
ミカル社)、及び40gのMEKを混合することによっ
て微細な分散系を調製した。均一性を保証するため、こ
の分散系を常時攪拌した。次いで延伸膨張PTFEの小
片をその樹脂混合物の中に浸した。小片を取り出した
後、両サイドの表面から過剰の樹脂を拭き取った。可撓
性のある複合材料を得るように、そのウェブを張力下で
165℃にて1分間乾燥し、その複合材料は、39重量
%のNi、10重量%のPTFE、及び51重量%のシ
リコーンを含み、3平方インチのサンプルで100ミリ
オーム未満の電気伝導度と1.33℃/Wの熱インピー
ダンスを示した。
社)を、MEK中のポリ(1,2-ブタジエン- コ- スチレ
ン)(R−104、リコンレジンズ社)の20重量%溶
液に混ぜ込むことによって微細な分散系を調製した。均
一性を保証するため、この分散系を常時攪拌した。次い
で銅フィラー入りの延伸膨張PTFE(Ameenらの
1994年2月14日に出願された米国特許出願第19
6048号明細書の教示にしたがって40%のレベルま
で充填した)を、その樹脂混合物の中に浸した。小片を
取り出した後、両サイドの表面から過剰の樹脂を拭き取
った。可撓性のある複合材料を得るように、そのウェブ
を張力下で165℃にて1分間乾燥した。
Petrarch)で前処理した386gのSiO
2 (HW−11−89、Harbison Walke
r社)を、200gのビスマレイミドトリアジン樹脂
(BT206OBJ、三菱ガス化学社)と388gのM
EKのマンガン触媒溶液に混ぜ込むことによって微細分
散系を調製した。均一性を保証するため、この分散系を
常時攪拌した。次いで厚さ0.0002インチの延伸膨
張PTFEの小片を、その樹脂混合物の中に浸し、取り
出し、次いで可撓性のある複合材料を得るように、張力
下で165℃にて1分間乾燥した。次いでこのプリプレ
グの複数の層を銅ホイルの間に載置し、真空を利用した
液圧プレスの中で250psiの圧力と225℃の温度
で90分間加圧し、次いで圧力下で冷却した。このよう
にして作成されたこの誘電体は、53重量%のSi
O2 、5重量%のPTFE、及び42重量%の接着剤を
含み、銅に対する良好な接着性、3.3の誘電率(10
GHzにおいて)、及び0.005の誘電正接(10G
Hzにおいて)を示した。
7gのビスマレイミドトリアジン樹脂(BT206OB
J、三菱ガス化学社)と485gのMEKのマンガン触
媒溶液に混ぜ込むことによって微細分散系を調製した。
均一性を保証するため、この分散系を常時攪拌した。次
いで厚さ0.0002インチの延伸膨張PTFEの小片
をその樹脂混合物の中に浸し、取り出し、次いで可撓性
のある複合材料を得るように、張力下で165℃にて1
分間乾燥した。このプリプレグの複数の層を銅ホイルの
間に載置し、真空を利用した液圧プレスの中で250p
siの圧力と225℃の温度で90分間加圧し、次いで
圧力下で冷却した。このようにして作成されたこの誘電
体は、57重量%のSiO2 、4重量%のPTFE、及
び39重量%の接着剤を含み、銅に対する良好な接着
性、3.2の誘電率(10GHzにおいて)、及び0.
005の誘電正接(10GHzにおいて)を示した。
900、デュポン社)を、3.30kgのビスマレイミ
ドトリアジン樹脂(BT206OBJ、三菱ガス化学
社)と15.38kgのMEKのマンガン触媒溶液に混
ぜ込むことによって微細分散系を調製した。均一性を保
証するため、この分散系を常時攪拌した。次いで厚さ
0.0004インチのTiO2 フィラー入り延伸膨張P
TFE(モルチマーの米国特許第4985296号明細
書の教示にしたがって充填したが、但し、TiO2 の充
填率は40%で、膜を最後に圧縮しなかった)の小片
を、その樹脂混合物の中に浸し、取り出し、次いで可撓
性のある複合材料を得るように、張力下で165℃にて
1分間乾燥させた。このようにして得られた部分硬化し
た接着剤複合材料は、70重量%のTiO2 、9重量%
のPTFE、及び21重量%の接着剤を含んだ。このプ
リプレグの複数の層を銅ホイルの間に載置し、真空を利
用した液圧プレスの中で500psiの圧力と220℃
の温度で90分間加圧し、次いで圧力下で冷却した。こ
の得られた誘電体は、銅に対する良好な接着性、10.
0の誘電率、及び0.008の誘電正接を示した。
E2、タツモリ社)に7.35kgのMEKと73.5
gのカップリング剤、即ち、3-グリシジロキシプロピル
トリメトキシシラン(Dynasylan GLYMO
(ペトラッチシステムズ社))を混合することによって
微細分散系を調製した。SO−E2は、メーカーによる
と、0.4〜0.6mmの粒子直径、4〜8m2 /gの
比表面積、0.2〜0.4g/ccの嵩密度(ルース)
を有する高い球形性を持つと説明されている。
K)中のシアネート化フェノール樹脂プリマセットPT
−30(ロンザ社)の50重量%溶液の932g、ME
K中のRSL 1462(シェルレジンズ社(CAS#
25068−38−6))の50重量%溶液の896
g、MEK中のBC−58(グレートレイクス社)の5
0重量%溶液の380g、MEK中のビスフェノールA
(アルドリッチ社)の50重量%溶液の54g、12.
6gのイルガノックス1010(チバガイギー社)、マ
ンガン2-エチルヘキサノエート(Mn HEX−CEM
(OMG社))の0.6%溶液の3.1g、及び2.4
0kgのMEKを添加した。この分散系を、Mison
ics連続フローセルを通して約1〜3ガロン/分の流
量で約20分間にわたって超音波攪拌に供した。このよ
うにして得られた微細分散系を、固形分11.9重量%
の全浴濃度までさらに希釈した。
伸膨張ポリテトラフルオロエチレンのウエブは、図5の
ノードとフィブリル構造と次の特性を有した。
透過性に関係する。空気透過性は、空気流量測定のため
の約6平方インチの円形領域中に設けられたガスケット
付き固定具でウェブを締めつけることによって測定され
る。上流側は、乾燥圧縮空気の供給源とのラインにある
流量計に接続された。サンプル固定具の下流側は、大気
に開放された。試験は、サンプルの上流側に水柱0.5
インチの圧力を加え、インラインの流量計(流量計に接
続されたボールフロート式ローターメーター)を通して
通る空気の流量を記録することによって行われる。
することによってサンプルの相対的強度を測定する試験
である。ウェブが、2枚のプレートに締めつけられて直
径1インチのボールで攻撃される。チャチロンフォース
ゲージボール/破裂試験を使用した。媒体が測定用デバ
イスにぴんと張られて配置され、破裂プローブのボール
にウェブを接触させることによって圧力が加えられる。
破壊時の圧力が記録される。
3フィート/分の一定速度で常時攪拌された含浸浴の中
を通過させた。含浸されたウェブを、直ちに加熱オーブ
ンの中に通し、全ての又は殆ど全ての溶媒を除去し、ロ
ール上に回収した。このプリプレグの複数の層を銅ホイ
ルの間に載置し、真空を利用した液圧プレスの中で20
0psiの圧力と220℃の温度で90分間加圧し、次
いで圧力下で冷却した。この得られた誘電体は、銅に対
する良好な接着性、3.0の誘電率(10GHzにおい
て)、及び0.0085の誘電正接(10GHzにおい
て)を示した。
的特性を下記に比較する。
よって調製されたSiO2 を主成分とする)の混合物を
含むePTFEマトリックスを次のようにして調製し
た。最初に2種の前駆体混合物を調製した。1方は例5
と同様にしてシラン処理されたシリカを含むスラリーの
形態であり、他方は樹脂とその他の成分の触媒を加えて
いない配合物であった。
の50/50配合物であり、シリカは、シリカ重量の1
%に等しいシランのコーティングを有する。5ガロンの
容器に17.5ポンドのMEKと79gのシランを添加
し、その2つの成分を混合してMEK中のシランの均一
な分散を確保した。次いで例5のシリカの17.5ポン
ドを添加した。2つの5ガロン容器のMEKとシリカと
シランの混合物を反応器に添加し、その内容物即ちスラ
リーを、約1時間にわたって超音波分散機によって再循
環させ、存在し得る全てのシリカ凝集を壊した。超音波
破壊を完了し、内容物を連続的に混合しながら、反応器
の内容物を約80℃に約1時間加熱した。次いで反応し
た混合物を10ガロンの容器に移した。
を含まない樹脂配合物(接着剤)を含むMEKを基剤と
する混合物であり、その固体部分は41.2%のPT−
30シアネート化フェノール樹脂、39.5%のRSL
1462エポキシ樹脂、16.7%のBC58難燃
剤、1.5%のイルガノックス1010安定剤、及び1
%のビスフェノールA共触媒の正確な混合物であり、%
はいずれも重量%である。
のPT−30と15〜20ポンドのMEKを添加し、強
く攪拌してPT−30を完全に溶媒和させた。次いで6
ポンドのBC58を秤量し、MEK/PT−30の溶液
に添加し、強く攪拌してBC58を溶媒和させた。安定
剤のイルガノックス1010の244.5gとビスフェ
ノールAの163gを添加した。10ガロンの容器を再
秤量し、14.22ポンドのRSL 1462を添加し
た。追加のMEKを添加し、混合物の重さを60ポンド
にした。次いで内容物を約1〜2時間、又は固体成分を
完全に溶かすに必要な時間まで強く攪拌した。
カ、触媒を含まない樹脂配合物、及びMEKの混合物で
あり、固体の68重量%がシリカで、全固体は混合物の
5〜50重量%であった。正確な固体濃度は実験によっ
て変化し、含浸される膜に部分的に依存する。触媒レベ
ルはPT−30とRSL1462の合計に対して10p
pmである。
間的蒸発を補償するため、混合物1と2の固体含有率を
測定した。次いで混合物1を10ガロンの容器に添加
し、12ポンドの固体と23.48ポンドの混合物1
(例えば51.5%の固体含有率)を得た。次いで混合
物2を容器に添加し、5.64ポンドの固体と9.46
ポンドの混合物2(例えば59.6%の固体含有率)を
得た。マンガン触媒溶液(ミネラルスピリット中の0.
6%)の3.45gを混合物1と混合物2の混合物に添
加し、十分に混合して高い固体含有率の混合物を生成さ
せた。
の全重量とするのに十分なMEKを添加することによっ
て、ePTFEマトリックスを含浸するための28%固
体の混合物の浴混合物を調製した。その後に、ePTF
Eマトリックスウェブをこの浴混合物で含浸し、誘電体
材料を作成した。
ツ100、ニュージャージ州のリッヂフィールドパーク
にあるデグッサ社)と79gのカップリング剤(Dyn
aslan GLYMO CAS#2530−83−
8、3-グリシジロキシプロピル- トリメトキシシラン
(ペトラッチシステムズ社))を混合することによって
微細分散系を調製した。この分散系を超音波攪拌に1分
間供し、次いで予め超音波攪拌しておいた17.5ポン
ドのMEK中の17.5ポンドのSiO2 (SO−E
2)の攪拌している分散系に添加した。最終的な分散系
を、還流による一定のオーバーヘッド混合で1時間にわ
たって加熱し、次いで室温まで放冷した。
プリマセットPT−30の57.7重量%混合物の34
13g、MEK中のRSL 1462の76.8重量%
混合物の2456g、MEK中のBC58(グレートレ
イク社)の53.2重量%溶液の1495g、MEK中
のビスフェノールA(アルドリッチ社)の23.9重量
%溶液の200g、イルガノックス1010の71.5
g、ミネラルスピリット中のMn HEX−CEM(O
MG社)の0.6重量%溶液の3.21g、及びMEK
の2.40kg添加することによって接着剤ワニスを調
製した。
gを、0.0233gのファーネフブラック(スペシャ
ルシュバルツ100、ニュージャージ州のリッヂフィー
ルドパークにあるデグッサ社)、上記の接着剤ワニスの
1328g、及び38.3ポンドのMEKと一緒に添加
した。この混合物を含浸浴に注ぎ入れ、ePTFEウェ
ブを、約3フィート/分の一定速度で含浸浴の中を通し
た。均一性を保証するため、この分散系を常時攪拌し
た。含浸されたウェブを、直ちに加熱オーブンの中に通
し、全ての又は殆ど全ての溶媒を除去し、ロール上に回
収した。
に載置し、真空を利用した液圧プレスの中で200ps
iの圧力と200℃の温度で90分間加圧し、次いで圧
力下で冷却した。この得られた誘電体は、銅に対する良
好な接着性を示した。 例10 次の成分、即ち、MEK中のプリマセットPT−30
(PMN P−88−1591)の57.5重量%溶液
の3413g、MEK中のRSL1462の76.8重
量%溶液の2456g、MEK中のBC58(グレート
レイクス社)の53.2重量%溶液の1495g、ME
K中のビスフェノールA(アルドリッチ社)の23.9
重量%溶液の200g、イルガノックス1010の7
1.5g、ミネラルスピリット中のMn VHEX−C
EMの0.6重量%溶液の3.21g、及び2.40k
gのMEKを添加することによって接着剤ワニスを調製
した。
ニス、42.3ポンドのMEK、6.40gのファーネ
フブラック(スペシャルシュバルツ100、ニュージャ
ージ州のリッヂフィールドパークにあるデグッサ社)、
及び1860.9gのSiO2 (SO−E2)を添加し
た。この混合物を含浸浴に注ぎ入れ、ePTFEウェブ
を、約3フィート/分の一定速度で含浸浴の中を通し
た。均一性を保証するため、この分散系を常時攪拌し
た。含浸されたウェブを、直ちに加熱オーブンの中に通
し、全ての又は殆ど全ての溶媒を除去し、ロール上に回
収した。
に載置し、真空を利用した液圧プレスの中で200ps
iの圧力と220℃の温度で90分間加圧し、次いで圧
力下で冷却した。この得られた誘電体は、銅に対する良
好な接着性を示した。 例11 次の成分、即ち、MEK中のプリマセットPT−30
(PMN P−88−1591)の57.7重量%溶液
の3413g、MEK中のRSL1462の76.8重
量%溶液の2456g、MEK中のBC−58の53.
2重量%溶液の1495g、MEK中のビスフェノール
A(アルドリッチ社)の23.9重量%溶液の200
g、イルガノックス1010の71.5g、ミネラルス
ピリット中のMn HEX−CEMの0.6重量%溶液
の3.21g、及び2.40kgのMEKを添加するこ
とによって接着剤ワニスを調製した。
(スペシャルシュバルツ100、ニュージャージ州のリ
ッヂフィールドパークにあるデグッサ社)、KR55
((2,2,ジアリロキシメチル)ブチルジ(ジトリデシ
ル)ホスフィトチタネート(CAD64157−14
8、ニュージャージ州のベイオンにあるケンリッチペト
ロケミカルズ社))の5.0重量%混合物の0.12
g、及びMEKの20gを混合し、次いでその分散系を
超音波攪拌に1分間供することによって微細な黒い分散
系を調製した。
TECHS SO−EZ、タツモリ社)、KR55(C
AS64157−148、ニュージャージ州のベイオン
にあるケンリッチ社)の2,2,(ジアリロキシメチル)ブ
チルジ(ジトリデシル)ホスフィトチタネートの5.0
重量%混合物の0.72g、上記の接着剤ワニスの8.
56g、及びそのワニス中のドライ接着剤の重量を基準
に0.8重量%のカーボンブラックを与えるに十分な上
記微細黒色分散系を混ぜ合わせ、超音波攪拌に1分間供
した。このようにして得られた微細分散系を、ePTF
Eの直径3インチの小片の上に注いだ。この含浸工程
を、ePTFEの直径3インチの複数の小片について繰
り返した。このようにして得られた薄い接着剤シート
を、強制空気オーブンの中で163℃で1.5分間加熱
し、次いで室温まで放冷した。
(PMN P−88−1591)の57.5重量%溶液
の3413g、MEK中のRSL1462の76.8重
量%溶液の2456g、MEK中のBC−58の53.
2重量%溶液の1495g、MEK中のビスフェノール
A(アルドリッチ社)の23.9%溶液の200g、イ
ルガノックス1010の71.5g、ミネラルスピリッ
ト中のMnHEX−CEMの0.6重量%溶液の3.2
1g、及び2.40kgのMEKを添加することによっ
て接着剤ワニスを調製した。
メチルジシラザン(CAS#999−97−3、ヒュル
スアメリカ社、#H7300)の混合物に18.48g
のSiO2 (SO−E2)を添加することによって分散
系を調製し、超音波攪拌に1分間供した。最後に、上記
の接着剤ワニスの10.28gを、このようにして得ら
れた分散系に添加し、ePTFEの直径3インチの小片
の上に注いだ。この含浸工程を直径3インチのePTF
Eの複数の小片について繰り返した。このようにして得
られた薄い接着剤シートを強制空気オーブン中で163
℃で1.5分間加熱し、室温まで放冷した。
接着剤ワニス(BT2060BJ)の61重量%溶液の
249.8gと528gのMEKにアモルファスのコロ
イド状シリカ粉末の252.3g(CAS#7631−
86−9、ゲルテック社、#1.5μm)を添加した。
得られた分散系を2分間の超音波攪拌に供した。このよ
うにして得られた微細分散系を円筒状容器に注ぎ入れ、
刺繍フープの中に入れられたePTFEの直径10イン
チの小片を、その含浸浴の中に沈めた。この含浸工程
を、刺繍フープの中に入れられたePTFEの複数の直
径10インチの小片について繰り返した。このようにし
て得られた薄い接着剤シートを163℃の強制空気オー
ブンの中で1.5分間加熱し、室温まで放冷した。
(PMN P−88−1591)の57.5重量%溶液
の3413g、MEK中のRSL1462の76.8重
量%溶液の2456g、MEK中のBC−58の53.
2重量%溶液の1495g、MEK中のビスフェノール
Aの23.9重量%溶液の200g、イルガノックス1
010の71.5g、ミネラルスピリット中のMn H
EX−CEMの0.6重量%溶液の3.21g、及びM
EKの2.40kgを添加することによって接着剤ワニ
スを調製した。
ラック(スペシャルシュバルツ100)、ジイソプロピ
ル(オレイル)- アセトアセチルアルミネート(KR3
22、ケンリッチ(商標))の5.0重量%溶液の2.
08g、及び45.06gのMEKを混ぜ合わせること
によって微細な黒い分散系を調製した。このようにして
得られた微細分散系を超音波攪拌に30秒間供した。
O−E2)と、ジイソプロピル(オレイル)アセトアセ
チルアルミネートの5.0重量%溶液の13.88gを
一緒に添加し、30秒間の超音波攪拌に供した。攪拌し
ながら上記の接着剤ワニスの19.81gと上記の微細
な黒い分散系の1.66gを添加した。このようにして
得られた微細分散系を、次いで超音波攪拌に30秒間供
し、次いでePTFEの直径3インチの小片の上に注い
だ。この含浸工程を直径3インチのePTFEの複数の
小片について繰り返した。このようにして得られた接着
剤シートを強制空気オーブン中で163℃で1.5分間
加熱し、室温まで放冷した。
し、説明してきたが、本発明はこの例示や説明に限定さ
れるべきではない。いろいろな変化や変更が特許請求の
範囲の中で本発明の一部として取り入れられ、具体化さ
れ得ることは明らかであろう。
ルオロエチレンフィルムのモデル図である。
組込まれた延伸膨張ポリテトラフルオロエチレンフィル
ムのモデル図である。
組込まれると共に、ノードの中にも粒子フィラーが組込
まれた延伸膨張ポリテトラフルオロエチレンフィルムの
モデル図である。
図である。
伸膨張ポリテトラフルオロエチレン基材のペースト吸収
前の状態を示す、図面に代わる走査型電子顕微鏡写真で
ある。
Claims (62)
- 【請求項1】 ある空隙体積と平均流動気孔サイズを有
する不織基材、及びフィラー粒子と接着剤の集合物(col
lection)を含む混合物を含んでなり、 その混合物はその基材のその空隙体積の全体にわたって
均等に分配され、 その集合物はある最大粒子サイズ、最小粒子サイズ、及
び平均粒子サイズを有する粒子を画定し、 その平均流動気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なく
とも0.7を超え、又は平均流動気孔サイズと平均粒子
サイズの比は少なくとも1.4を超え、又は最小気孔サ
イズと平均粒子サイズの比は少なくとも0.8を超え、
又は最小気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なくとも
0.4を超えることを特徴とする複合接着材料。 - 【請求項2】 その基材がフルオロポリマーからなるこ
とを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項3】 フルオロポリマーがポリテトラフルオロ
エチレンを含んでなることを特徴とする請求項2に記載
の材料。 - 【請求項4】 そのフルオロポリマーが延伸膨張ポリテ
トラフルオロエチレンであることを特徴とする請求項3
に記載の材料。 - 【請求項5】 その基材が多孔質ポリオレフィンである
ことを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項6】 そのポリオレフィンがポリエチレン又は
ポリプロピレンであることを特徴とする請求項5に記載
の材料。 - 【請求項7】 そのフィラーが、溶融されたそれぞれケ
イ素、チタン又はアルミニウムの蒸気燃焼によって作成
されたことを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項8】 その接着剤が熱硬化性又は熱可塑性化合
物であることを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項9】 その接着剤が、エポキシ樹脂、シアネー
トエステル樹脂又はポリブタジエン樹脂の少なくとも1
種であることを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項10】 その基材が無機系又は有機系のバッテ
ィングからなることを特徴とする請求項1に記載の材
料。 - 【請求項11】 そのバッティングが無機系又は有機系
の短繊維からなることを特徴とする請求項1に記載の材
料。 - 【請求項12】 その基材が無機系又は有機系のフェル
トからなることを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項13】 その基材が有機系の連続気孔材料から
なることを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項14】 その連続気孔材料がスポンジ又はフォ
ームであることを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項15】 平均流動気孔サイズと最大粒子サイズ
若しくは平均粒子サイズの比が少なくとも2であること
を特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項16】 ノード、フィブリル、及び気孔からな
るフィルムを含む少なくとも1種の多孔質ポリマー基材
層を含んでなる複合接着材料であって、 そのフィルムは、ある最小気孔サイズを有し、且つ少な
くとも30体積%の初期空隙体積を有し、 その空隙体積は、その基材のその空隙体積の全体にわた
って均一に分配された接着剤と粒子状フィラーの混合物
を収容し、 その混合物は、ポリマー基材の体積がその複合材料の約
5〜約40体積%であるようにその基材の中に存在し、 そのフィラーは、ある最大粒子サイズ、最小粒子サイ
ズ、及び平均粒子サイズを有する個々の粒子の集合物に
よって画定され、 その平均流動気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なく
とも0.7を超え、又は平均流動気孔サイズと平均粒子
サイズの比は少なくとも1.4を超え、又は最小気孔サ
イズと平均粒子サイズの比は少なくとも0.8を超え、
又は最小気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なくとも
0.4を超えることを特徴とする複合接着材料。 - 【請求項17】 平均流動気孔サイズと最大粒子サイズ
若しくは平均粒子サイズの比が少なくとも2であること
を特徴とする請求項16に記載の材料。 - 【請求項18】 そのポリマー基材がフルオロポリマー
からなることを特徴とする請求項16に記載の材料。 - 【請求項19】 そのフルオロポリマーがポリテトラフ
ルオロエチレンを含んでなることを特徴とする請求項1
8に記載の材料。 - 【請求項20】 そのフルオロポリマーが延伸膨張ポリ
テトラフルオロエチレンであることを特徴とする請求項
18に記載の材料。 - 【請求項21】 そのポリマー基材が多孔質ポリオレフ
ィンであることを特徴とする請求項16に記載の材料。 - 【請求項22】 そのポリオレフィンがポリエチレン又
はポリプロピレンであることを特徴とする請求項21に
記載の材料。 - 【請求項23】 そのフィラーが、溶融されたそれぞれ
アルミニウム、ケイ素又はチタンの蒸気燃焼によって作
成されたことを特徴とする請求項22に記載の材料。 - 【請求項24】 ノードとフィブリルによって画成され
た微細構造を有し且つある空隙体積とある平均流動気孔
サイズを有する微細多孔質基材と、粒子状フィラー及び
接着剤を含む混合物を含んでなる複合接着材料であっ
て、 その混合物は、その複合接着材料のその空隙体積の全体
にわたって均一に分配され、 その粒子状フィラーは実質的に充実形態であり、個々の
粒子の集合物で画定され、 その集合物は、ある最大粒子サイズ、最小粒子サイズ、
及び平均粒子サイズを有する粒子を画定し、 その平均流動気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なく
とも0.7を超え、又は平均流動気孔サイズと平均粒子
サイズの比は少なくとも1.4を超え、又は最小気孔サ
イズと平均粒子サイズの比は少なくとも0.8を超え、
又は最小気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なくとも
0.4を超えることを特徴とする複合接着材料。 - 【請求項25】 平均流動気孔サイズと最大粒子サイズ
若しくは平均粒子サイズの比が少なくとも2であること
を特徴とする請求項24に記載の材料。 - 【請求項26】 そのフィラーが、溶融されたそれぞれ
アルミニウム、ケイ素又はチタンの蒸気燃焼によって作
成されたことを特徴とする請求項24に記載の材料。 - 【請求項27】 ノードとフィブリルによって画定され
た微細構造を有し、且つある最小気孔流動サイズと初期
空隙体積を有する少なくとも1つの多孔質ポリマー基材
層と、粒子状フィラー及び接着剤を含む混合物を含んで
なる複合接着材料であって、 その混合物は、その複合接着材料のその空隙体積の全体
にわたって均一に分配され、 そのフィラーは個々の粒子の集合物によって画定され、 その集合物は、ある最大粒子サイズ、最小粒子サイズ、
及び平均粒子サイズを有する粒子を画定し、 その平均流動気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なく
とも0.7を超え、又は平均流動気孔サイズと平均粒子
サイズの比は少なくとも1.4を超え、又は最小気孔サ
イズと平均粒子サイズの比は少なくとも0.8を超え、
又は最小気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なくとも
0.4を超えることを特徴とする複合接着材料。 - 【請求項28】 平均流動気孔サイズと最大粒子サイズ
若しくは平均粒子サイズの比が少なくとも2であること
を特徴とする請求項27に記載の材料。 - 【請求項29】 そのフィラーが、溶融されたそれぞれ
アルミニウム、ケイ素又はチタンの蒸気燃焼によって作
成されたことを特徴とする請求項27に記載の材料。 - 【請求項30】 金属含有層と誘電体材料の交互の層の
少なくとも2組を含んでなる多層回路デバイスであっ
て、その誘電体材料は、 ノードとフィブリルによって画定された微細構造を有
し、且つある最小流動気孔サイズと初期空隙体積を有す
る多孔質ポリマー基材層と、粒子状フィラー及び接着剤
を含む混合物を含んでなり、 その混合物は、その複合接着材料のその空隙体積の全体
にわたって均一に分配され、 その粒子状フィラーは個々の粒子の集合物によって画定
され、 その集合物は、ある最大粒子サイズ、最小粒子サイズ、
及び平均粒子サイズを有する粒子を画定し、 その平均流動気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なく
とも0.7を超え、又は平均流動気孔サイズと平均粒子
サイズの比は少なくとも1.4を超え、又は最小気孔サ
イズと平均粒子サイズの比は少なくとも0.8を超え、
又は最小気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なくとも
0.4を超えることを特徴とする多層回路デバイス。 - 【請求項31】 平均流動気孔サイズと最大粒子サイズ
若しくは平均粒子サイズの比が少なくとも2であること
を特徴とする請求項30に記載のデバイス。 - 【請求項32】 その金属含有層が伝導性金属のシート
であることを特徴とする請求項30に記載のデバイス。 - 【請求項33】 その金属含有層が、線の伝導性金属回
路を有する層であることを特徴とする請求項30に記載
のデバイス。 - 【請求項34】 そのフィラーが、溶融されたそれぞれ
アルミニウム、ケイ素又はチタンの蒸気燃焼によって作
成されたことを特徴とする請求項30に記載のデバイ
ス。 - 【請求項35】 ある空隙体積とある平均流動気孔サイ
ズを有する不織材料と、その材料のその空隙体積の全体
にわたって均等に分配された粒子状フィラー及び接着剤
を含む混合物を含んでなる複合接着材料であって、 その粒子状フィラーは個々の粒子の集合物によって画定
され、 その集合物は、ある最大粒子サイズ、最小粒子サイズ、
及び平均粒子サイズを有する粒子を画定し、 その平均流動気孔サイズと平均粒子サイズの比は少なく
とも2であることを特徴とする複合接着材料。 - 【請求項36】 その材料がフルオロポリマーからなる
ことを特徴とする請求項35に記載の材料。 - 【請求項37】 そのフルオロポリマーが延伸膨張ポリ
テトラフルオロエチレンであることを特徴とする請求項
36に記載の材料。 - 【請求項38】 そのフィラーがSiO2 又はTiO2
であることを特徴とする請求項36に記載の材料。 - 【請求項39】 その接着剤が熱硬化性又は熱可塑性化
合物であることを特徴とする請求項36に記載の材料。 - 【請求項40】 その接着剤が、エポキシ樹脂、シアネ
ートエステル樹脂又はポリブタジエン樹脂の少なくとも
1種であることを特徴とする請求項36に記載の材料。 - 【請求項41】 その材料が無機系又は有機系のバッテ
ィングからなることを特徴とする請求項36に記載の材
料。 - 【請求項42】 そのバッティングが無機系又は有機系
の繊維からなることを特徴とする請求項36に記載の材
料。 - 【請求項43】 その材料が無機系又は有機系のフェル
トからなることを特徴とする請求項36に記載の材料。 - 【請求項44】 その材料が有機系の連続気孔材料から
なることを特徴とする請求項36に記載の材料。 - 【請求項45】 その連続気孔材料がスポンジ又はフォ
ームであることを特徴とする請求項36に記載の材料。 - 【請求項46】 そのフィラーが、溶融されたそれぞれ
ケイ素、チタン又はアルミニウムの蒸気燃焼によって作
成されたことを特徴とする請求項36に記載の材料。 - 【請求項47】 少なくとも30%の初期気孔体積とあ
る平均流動気孔サイズを有する多孔質で圧縮できる基材
の少なくとも1つの層を提供し、 粒子状フィラーと接着剤の集合物からなる混合物を提供
し、 その集合物は、均一な表面曲率、ある最大粒子サイズ、
最小粒子サイズ、及び平均粒子サイズを有する粒子を画
定し、 その平均流動気孔サイズと最大粒子サイズの比は少なく
とも0.7を超え、又はその平均流動気孔サイズと平均
粒子サイズの比は少なくとも1.4を超え、 その混合物をその基材の空隙の中に吸収させ、その複合
材料の全体にわたってその粒子状フィラーの均等な分布
を形成させる、ことを含む多孔質接着剤複合材料の製造
方法。 - 【請求項48】 その基材は、フィブリルによって相互
に接続されたノードを含むことを特徴とする請求項47
に記載の方法。 - 【請求項49】 その基材が延伸膨張ポリテトラフルオ
ロエチレンであることを特徴とする請求項48に記載の
方法。 - 【請求項50】 その空隙体積が少なくとも約50%で
あることを特徴とする請求項48に記載の方法。 - 【請求項51】 約5〜約40体積%の基材を有する複
合材料を提供するのに十分な接着剤とフィラーが存在す
ることを特徴とする請求項48に記載の方法。 - 【請求項52】 10〜95体積%の接着剤とフィラー
がその基材の中に吸収されることを特徴とする請求項4
8に記載の方法。 - 【請求項53】 そのフィラーが複数のフィラーの混合
物であり、その少なくとも1種が非伝導性炭素であるこ
とを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項54】 そのフィラーが複数のフィラーの混合
物であり、その少なくとも1種が非伝導性炭素であるこ
とを特徴とする請求項16に記載の材料。 - 【請求項55】 そのフィラーが複数のフィラーの混合
物であり、その少なくとも1種が非伝導性炭素であるこ
とを特徴とする請求項24に記載の材料。 - 【請求項56】 そのフィラーが複数のフィラーの混合
物であり、その少なくとも1種が非伝導性炭素であるこ
とを特徴とする請求項30に記載のデバイス。 - 【請求項57】 そのフィラーが複数のフィラーの混合
物であり、その少なくとも1種が非伝導性炭素であるこ
とを特徴とする請求項35に記載の材料。 - 【請求項58】 そのフィラーがシリカであり、そのシ
リカがアモルファスシリカ、溶融シリカ、又は溶融ケイ
素の燃焼によって得られたシリカであることを特徴とす
る請求項48に記載の方法。 - 【請求項59】 そのフィラーが均一な表面曲率を有す
ることを特徴とする請求項1に記載の材料。 - 【請求項60】 そのフィラー粒子が均一な表面曲率を
有することを特徴とする請求項16に記載の材料。 - 【請求項61】 そのフィラーが均一な表面曲率を有す
ることを特徴とする請求項24に記載の材料。 - 【請求項62】 そのフィラー粒子が均一な表面曲率を
有することを特徴とする請求項27に記載の材料。
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