JPH10180202A - 超音波洗浄装置及び振動子の劣化検知方法 - Google Patents
超音波洗浄装置及び振動子の劣化検知方法Info
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- JPH10180202A JPH10180202A JP34369596A JP34369596A JPH10180202A JP H10180202 A JPH10180202 A JP H10180202A JP 34369596 A JP34369596 A JP 34369596A JP 34369596 A JP34369596 A JP 34369596A JP H10180202 A JPH10180202 A JP H10180202A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高周波電圧の進行電圧Ｖｆが変化した場合で
も、スイッチＳの切り替え及び可変抵抗Ｖｒの可動接点
を調整することなく、自動的に検出することができる機
能を備えた超音波洗浄装置を提供すること。 【解決手段】 洗浄液が供給される装置本体11と、この
装置本体に設けられた振動板に取り付けられた振動子24
と、この振動子と電気的に接続されこの振動子を駆動し
て超音波振動させる超音波発振器31と、この超音波発振
器と上記振動子との間に設けられ、この振動子と上記超
音波発振器とのインピ−ダンスマッチング回路33と、こ
の振動子に入射される電圧及び振動子から反射される電
圧を計測する入射電圧計測手段44と、上記振動子に入射
される電圧を上記振動子から反射される電圧で除算する
除算部51と、この除算部で除算された除算結果を表示す
る表示部53とから構成される。
も、スイッチＳの切り替え及び可変抵抗Ｖｒの可動接点
を調整することなく、自動的に検出することができる機
能を備えた超音波洗浄装置を提供すること。 【解決手段】 洗浄液が供給される装置本体11と、この
装置本体に設けられた振動板に取り付けられた振動子24
と、この振動子と電気的に接続されこの振動子を駆動し
て超音波振動させる超音波発振器31と、この超音波発振
器と上記振動子との間に設けられ、この振動子と上記超
音波発振器とのインピ−ダンスマッチング回路33と、こ
の振動子に入射される電圧及び振動子から反射される電
圧を計測する入射電圧計測手段44と、上記振動子に入射
される電圧を上記振動子から反射される電圧で除算する
除算部51と、この除算部で除算された除算結果を表示す
る表示部53とから構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被洗浄物を洗浄す
る洗浄液に超音波振動を付与するために用いられる超音
波洗浄装置に関する。
る洗浄液に超音波振動を付与するために用いられる超音
波洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば液晶製造装置や半導体製造装置
においては、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被
洗浄物を高い清浄度で洗浄することが要求される工程が
ある。上記被洗浄物を洗浄する方式としては、洗浄液中
に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ方式や被洗浄物
に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄する枚葉方式が
あり、最近では高い清浄度が得られるとともに、コスト
的に有利な枚葉方式が採用されることが多くなってきて
いる。
においては、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被
洗浄物を高い清浄度で洗浄することが要求される工程が
ある。上記被洗浄物を洗浄する方式としては、洗浄液中
に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ方式や被洗浄物
に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄する枚葉方式が
あり、最近では高い清浄度が得られるとともに、コスト
的に有利な枚葉方式が採用されることが多くなってきて
いる。
【０００３】枚葉方式の１つとして被洗浄物に噴射され
る洗浄液に超音波振動を付与し、その振動作用によって
上記被洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした
洗浄方式が実用化されている。
る洗浄液に超音波振動を付与し、その振動作用によって
上記被洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした
洗浄方式が実用化されている。
【０００４】洗浄液に付与する振動は、従来は20〜50ｋ
Ｈｚ程度の超音波であったが、最近では600 〜2000ｋＨ
ｚ程度の極超音波帯域の音波を付与する超音波洗浄装置
が開発されている。
Ｈｚ程度の超音波であったが、最近では600 〜2000ｋＨ
ｚ程度の極超音波帯域の音波を付与する超音波洗浄装置
が開発されている。
【０００５】ところで、上記超音波洗浄装置は装置本体
を有し、この装置本体には振動子が取り付けられた振動
板が設けられている。上記振動子には超音波発振器が接
続される。この超音波発振器は所定の周波数の電力を出
力し、その電力を上記振動子に印加する。それによっ
て、上記振動子が超音波振動するから、その超音波振動
に上記振動板が連動し、この振動板によって洗浄液に超
音波振動が付与されるようになっている。
を有し、この装置本体には振動子が取り付けられた振動
板が設けられている。上記振動子には超音波発振器が接
続される。この超音波発振器は所定の周波数の電力を出
力し、その電力を上記振動子に印加する。それによっ
て、上記振動子が超音波振動するから、その超音波振動
に上記振動板が連動し、この振動板によって洗浄液に超
音波振動が付与されるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この振動子
は経年変化により劣化する。この振動子の劣化の度合い
を調べて、振動子の交換時期を知る必要がある。そこ
で、従来では、図３に示すようなＶＳＷＲ（voltage st
anding wave ratio ）検出器を用いて、振動子からの反
射電圧Ｖｒを測定して、振動子の劣化を検出していた。
は経年変化により劣化する。この振動子の劣化の度合い
を調べて、振動子の交換時期を知る必要がある。そこ
で、従来では、図３に示すようなＶＳＷＲ（voltage st
anding wave ratio ）検出器を用いて、振動子からの反
射電圧Ｖｒを測定して、振動子の劣化を検出していた。
【０００７】つまり、ＶＳＷＲ検出器１から出力される
進行電圧Ｖｆと反射電圧ＶｒとをスイッチＳで切り替え
て、可変抵抗Ｖｒを介して接地するように構成してお
く。そして、この可変抵抗Ｖｒの可動接点はメ−タ２を
介して接地される。
進行電圧Ｖｆと反射電圧ＶｒとをスイッチＳで切り替え
て、可変抵抗Ｖｒを介して接地するように構成してお
く。そして、この可変抵抗Ｖｒの可動接点はメ−タ２を
介して接地される。
【０００８】そして、進行電圧Ｖｆは高周波電圧の出力
を変化させると、メ−タ２の振れるレンジが変化するた
め、スイッチＳを進行電圧Ｖｆ側に閉じておいて、フル
スケ−ル時のレンジを可変抵抗Ｖｒの可動接点を調整す
ることにより変更していた。
を変化させると、メ−タ２の振れるレンジが変化するた
め、スイッチＳを進行電圧Ｖｆ側に閉じておいて、フル
スケ−ル時のレンジを可変抵抗Ｖｒの可動接点を調整す
ることにより変更していた。
【０００９】そして、スイッチＳを反射電圧Ｖｒ側に閉
じて、反射電圧Ｖｒを測定するようにしていた。しか
し、高周波電圧の出力を変化させると、スイッチＳを進
行電圧Ｖｆ側に閉じて、フルスケ−ルの調整をしなけれ
ばならないため、その作業が煩わしかった。
じて、反射電圧Ｖｒを測定するようにしていた。しか
し、高周波電圧の出力を変化させると、スイッチＳを進
行電圧Ｖｆ側に閉じて、フルスケ−ルの調整をしなけれ
ばならないため、その作業が煩わしかった。
【００１０】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、高周波電圧の進行電圧Ｖｆが変化した
場合でも、スイッチＳの切り替え及び可変抵抗Ｖｒの可
動接点を調整することなく、自動的に検出することがで
きる機能を備えた超音波洗浄装置及び振動子の劣化検知
方法を提供することにある。
で、その目的は、高周波電圧の進行電圧Ｖｆが変化した
場合でも、スイッチＳの切り替え及び可変抵抗Ｖｒの可
動接点を調整することなく、自動的に検出することがで
きる機能を備えた超音波洗浄装置及び振動子の劣化検知
方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に係わる超音波
洗浄装置は、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物を
洗浄するための超音波洗浄装置において、洗浄液が供給
される装置本体と、この装置本体に設けられた振動板に
取り付けられた振動子と、この振動子と電気的に接続さ
れこの振動子を駆動して超音波振動させる超音波発振器
と、この超音波発振器と上記振動子との間に設けられ、
この振動子と上記超音波発振器とのインピ−ダンスマッ
チング回路と、この振動子に入射される電圧及び振動子
から反射される電圧を計測する入射電圧計測手段と、上
記振動子に入射される電圧を上記振動子から反射される
電圧で除算する除算部と、この除算部で除算された除算
結果を表示する表示部とを具備したことを特徴とする。
洗浄装置は、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物を
洗浄するための超音波洗浄装置において、洗浄液が供給
される装置本体と、この装置本体に設けられた振動板に
取り付けられた振動子と、この振動子と電気的に接続さ
れこの振動子を駆動して超音波振動させる超音波発振器
と、この超音波発振器と上記振動子との間に設けられ、
この振動子と上記超音波発振器とのインピ−ダンスマッ
チング回路と、この振動子に入射される電圧及び振動子
から反射される電圧を計測する入射電圧計測手段と、上
記振動子に入射される電圧を上記振動子から反射される
電圧で除算する除算部と、この除算部で除算された除算
結果を表示する表示部とを具備したことを特徴とする。
【００１２】請求項２に係わる振動子の劣化検知方法
は、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物を洗浄する
ための超音波洗浄装置において、上記装置本体に設けら
れた振動板に取り付けられた振動子からの反射電圧を振
動子に入射する進行電圧で除算することにより、振動子
の劣化を検知するようにしたことを特徴とする。
は、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物を洗浄する
ための超音波洗浄装置において、上記装置本体に設けら
れた振動板に取り付けられた振動子からの反射電圧を振
動子に入射する進行電圧で除算することにより、振動子
の劣化を検知するようにしたことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の一実
施の形態について説明する。図２に示すこの発明の超音
波洗浄装置は装置本体１１を有する。この装置本体１１
は上面が開放した凹部１２が長手方向に沿って形成され
た上部材１３と、この上部材１３の下面に第１のシ−ル
材１４を介して液密に接合固定された下部材１５とによ
って細長い角柱状に形成されている。
施の形態について説明する。図２に示すこの発明の超音
波洗浄装置は装置本体１１を有する。この装置本体１１
は上面が開放した凹部１２が長手方向に沿って形成され
た上部材１３と、この上部材１３の下面に第１のシ−ル
材１４を介して液密に接合固定された下部材１５とによ
って細長い角柱状に形成されている。
【００１４】上記上部材１３の下部壁の幅方向中央部分
には長手方向に沿って嵌合孔１６が穿設され、上記下部
材１５の上面の幅方向中央部分には上記嵌合孔１６に嵌
合する凸部１７が形成されている。
には長手方向に沿って嵌合孔１６が穿設され、上記下部
材１５の上面の幅方向中央部分には上記嵌合孔１６に嵌
合する凸部１７が形成されている。
【００１５】上記下部材１５の凸部１７が形成された幅
方向中央部分には、一端を上面に開口させ、他端を下面
に開口させた空間部１８が長手方向に沿って形成されて
いる。この空間部１８の断面形状は、一端（上端）から
他端（下端）にゆくにつれて幅寸法が小さくなるテ−パ
状をなしていて、その下端開口は狭幅なノズル口１９と
なっている。
方向中央部分には、一端を上面に開口させ、他端を下面
に開口させた空間部１８が長手方向に沿って形成されて
いる。この空間部１８の断面形状は、一端（上端）から
他端（下端）にゆくにつれて幅寸法が小さくなるテ−パ
状をなしていて、その下端開口は狭幅なノズル口１９と
なっている。
【００１６】上記空間部１８の開口した上端はタンタ
ル、チタンあるいはそれらの合金などによって矩形板状
に形成された振動板２１によって液密に閉塞されてい
る。つまり、この振動板２１は、その下面周辺部が所定
の厚さを有する枠状の第２のシ−ル材２２を介して上記
上部材１３の凹部１２の内底面に接合されている。
ル、チタンあるいはそれらの合金などによって矩形板状
に形成された振動板２１によって液密に閉塞されてい
る。つまり、この振動板２１は、その下面周辺部が所定
の厚さを有する枠状の第２のシ−ル材２２を介して上記
上部材１３の凹部１２の内底面に接合されている。
【００１７】上記振動板２１の上面には同じく枠状の押
え板２３が接合され、上記上部材１３にねじ２０によっ
て固定されている。それによって、上記空間部１８の上
端開口は液密に閉塞されている。
え板２３が接合され、上記上部材１３にねじ２０によっ
て固定されている。それによって、上記空間部１８の上
端開口は液密に閉塞されている。
【００１８】上記振動板２１の上面の幅方向中央部分、
つまり上記空間部１８と対応する部位には振動子２４が
上記振動板２１の長手方向に沿って取着されている。上
記振動板２１の上方には給電板２５が上記押え板２３に
保持部材２６を介して取り付けられている。この給電板
２５には上記振動子２４と弾性的に接触した板ばね状の
接触子２７が設けられている。
つまり上記空間部１８と対応する部位には振動子２４が
上記振動板２１の長手方向に沿って取着されている。上
記振動板２１の上方には給電板２５が上記押え板２３に
保持部材２６を介して取り付けられている。この給電板
２５には上記振動子２４と弾性的に接触した板ばね状の
接触子２７が設けられている。
【００１９】上記給電板２５にはコイル２８が一端（下
端）を電気的に接続して設けられている。このコイル２
８の他端（上端側）には電極２９がスライド自在かつ任
意のスライド位置で固定可能に設けられている。
端）を電気的に接続して設けられている。このコイル２
８の他端（上端側）には電極２９がスライド自在かつ任
意のスライド位置で固定可能に設けられている。
【００２０】上記振動子２４の他方の電極は振動板２１
を介して押え板２３に導通し、この押え板２３には上記
同軸ケ−ブル３０の第２のケ−ブル３０ｂの一端が接続
されている。これらケ−ブル３０ａ、３０ｂの他端は上
記振動子２４を駆動して超音波振動させる超音波発振器
３１に接続されている。また、装置本体１１には、第１
のケ−ブル３０ａと第２のケ−ブル３０ｂとの間に接続
された可変コンデサン３２が設けられ、図１に示すよう
に上記振動子２４を超音波振動させるためのマッチング
回路３３を形成している。つまり、マッチング回路３３
と超音波発振器３１とは同軸ケ−ブル３０によって接続
されている。
を介して押え板２３に導通し、この押え板２３には上記
同軸ケ−ブル３０の第２のケ−ブル３０ｂの一端が接続
されている。これらケ−ブル３０ａ、３０ｂの他端は上
記振動子２４を駆動して超音波振動させる超音波発振器
３１に接続されている。また、装置本体１１には、第１
のケ−ブル３０ａと第２のケ−ブル３０ｂとの間に接続
された可変コンデサン３２が設けられ、図１に示すよう
に上記振動子２４を超音波振動させるためのマッチング
回路３３を形成している。つまり、マッチング回路３３
と超音波発振器３１とは同軸ケ−ブル３０によって接続
されている。
【００２１】したがって、上記電極２９をスライドさせ
て上記マッチング回路３３におけるコイル２８のインダ
クタンスを調整したり、可変コンデンサ３２のリアクタ
ンスを調整することで、超音波発振器３１と振動子２４
とのインピ−ダンスマッチングをとることができるよう
になっている。
て上記マッチング回路３３におけるコイル２８のインダ
クタンスを調整したり、可変コンデンサ３２のリアクタ
ンスを調整することで、超音波発振器３１と振動子２４
とのインピ−ダンスマッチングをとることができるよう
になっている。
【００２２】上記装置本体１１の下部材１５には、上記
空間部１８の幅方向両側に位置する一対の供給路３４が
長手方向に貫通して形成されている。この供給路３４の
両端には図示しない供給源が同じく図示しないチュ−ブ
を介して接続され、純水や薬液などの洗浄液を供給する
ようになっている。
空間部１８の幅方向両側に位置する一対の供給路３４が
長手方向に貫通して形成されている。この供給路３４の
両端には図示しない供給源が同じく図示しないチュ−ブ
を介して接続され、純水や薬液などの洗浄液を供給する
ようになっている。
【００２３】一対の供給路３４にはそれぞれ複数の噴出
路３５（１つだけ図示）が一端を連通させて設けられて
いる。つまり、噴出路３５は上記装置本体１１の上部材
１３と下部材１５との接合する部分に形成されていて、
他端を上記上部材１３の凹部１２の内底面の上記振動板
２１によって覆われた部分、つまり上記空間部１８の上
端側に連通するよう開口させている。上記噴出路３５は
上記空間部１８の幅方向一側と他側において、装置本体
１の長手方向に沿って所定間隔で複数形成されている。
路３５（１つだけ図示）が一端を連通させて設けられて
いる。つまり、噴出路３５は上記装置本体１１の上部材
１３と下部材１５との接合する部分に形成されていて、
他端を上記上部材１３の凹部１２の内底面の上記振動板
２１によって覆われた部分、つまり上記空間部１８の上
端側に連通するよう開口させている。上記噴出路３５は
上記空間部１８の幅方向一側と他側において、装置本体
１の長手方向に沿って所定間隔で複数形成されている。
【００２４】上記超音波発振器３１は図１に示すように
周波数シセサイザ４１を有する。この周波数シンセサイ
ザ４１からは所定の周波数の電力が出力されるようにな
っていて、その周波数はＣＰＵ４２によって制御され
る。この実施形態では、上記周波数シンセサイザ４１か
らの周波数は、第１の周波数である1590ｋＨｚ、第２の
周波数である1600ｋＨｚ、第３の周波数である1610ｋＨ
ｚに変換制御されるようになっている。すなわち、上記
ＣＰＵ４２は上記周波数シンセサイザ４１から出力され
る電力の周波数を所定時間ごとに上記第１乃至第３の周
波数に順次変換するようになっている。
周波数シセサイザ４１を有する。この周波数シンセサイ
ザ４１からは所定の周波数の電力が出力されるようにな
っていて、その周波数はＣＰＵ４２によって制御され
る。この実施形態では、上記周波数シンセサイザ４１か
らの周波数は、第１の周波数である1590ｋＨｚ、第２の
周波数である1600ｋＨｚ、第３の周波数である1610ｋＨ
ｚに変換制御されるようになっている。すなわち、上記
ＣＰＵ４２は上記周波数シンセサイザ４１から出力され
る電力の周波数を所定時間ごとに上記第１乃至第３の周
波数に順次変換するようになっている。
【００２５】上記周波数シンセサイザ４１から出力され
た所定周波数の電力は、高周波パワ−アンプ４３で増幅
され、抵抗５０Ωの同軸ケ−ブル３０の電圧、電流をモ
ニタするＣＭカップラ−（通過形電力計）４４で出力が
モニタ−されて上記マッチング回路３３へ出力される。
た所定周波数の電力は、高周波パワ−アンプ４３で増幅
され、抵抗５０Ωの同軸ケ−ブル３０の電圧、電流をモ
ニタするＣＭカップラ−（通過形電力計）４４で出力が
モニタ−されて上記マッチング回路３３へ出力される。
【００２６】ところで、ＣＭカップラ−４４から測定さ
れた進行電圧Ｖｆ及び反射電圧Ｖｒは割り算回路５１に
入力される。この割り算回路５１において、Ｖｒ／Ｖｆ
が算出される。そして、この割り算回路５１の出力にメ
−タ５２が接続される。
れた進行電圧Ｖｆ及び反射電圧Ｖｒは割り算回路５１に
入力される。この割り算回路５１において、Ｖｒ／Ｖｆ
が算出される。そして、この割り算回路５１の出力にメ
−タ５２が接続される。
【００２７】上記ＣＭカップラ−４４は以下のような原
理によって上記超音波発振器３１と振動子２４とのマッ
チングをチェックできる。つまり、測定された電圧をＣ
分圧で同位相で分圧Ｖv とする。相互誘導Ｍ結合で２次
回路ショ−ト条件、つまりカレントトランスで十分低い
抵抗に２次電流を流すことにより、電流と同位相の電圧
Ｖi を作る。そして、マッチングをチェックする場合に
は、Ｖv −Ｖi が０になったかどうかによって判定す
る。つまり、Ｖ／Ｉ＝５０Ωで位相が一致していること
がマッチングしているということになる。
理によって上記超音波発振器３１と振動子２４とのマッ
チングをチェックできる。つまり、測定された電圧をＣ
分圧で同位相で分圧Ｖv とする。相互誘導Ｍ結合で２次
回路ショ−ト条件、つまりカレントトランスで十分低い
抵抗に２次電流を流すことにより、電流と同位相の電圧
Ｖi を作る。そして、マッチングをチェックする場合に
は、Ｖv −Ｖi が０になったかどうかによって判定す
る。つまり、Ｖ／Ｉ＝５０Ωで位相が一致していること
がマッチングしているということになる。
【００２８】つぎに、上記構成の超音波洗浄装置を使用
する場合について説明する。まず、上記構成の超音波洗
浄装置を実際に使用するに先立って振動子２４を効率よ
く振動させるために、超音波発振器３１と振動子２４と
のインピ−ダンスマッチングをとる。すなわち、超音波
発振器３１を作動させ、振動子２４を超音波発振させる
とともに、そのときに上記超音波発振器３１と振動子２
４とのインピ−ダンスマッチングがとれているか否やか
をＣＭカップラ−４４によって測定する。
する場合について説明する。まず、上記構成の超音波洗
浄装置を実際に使用するに先立って振動子２４を効率よ
く振動させるために、超音波発振器３１と振動子２４と
のインピ−ダンスマッチングをとる。すなわち、超音波
発振器３１を作動させ、振動子２４を超音波発振させる
とともに、そのときに上記超音波発振器３１と振動子２
４とのインピ−ダンスマッチングがとれているか否やか
をＣＭカップラ−４４によって測定する。
【００２９】マッチングが取れていない場合には、コイ
ル２８の巻線に設けられた電極２９をその巻線に沿って
スライドさせてマッチング回路３３におけるインダクタ
ンスを調整するとともに、可変コンデンサ３２を調整し
て同じくマッチング回路３３におけるリアクタンスを調
整し、上記超音波発振器３１と振動子２４とのインピ−
ダンスをマッチングさせる。
ル２８の巻線に設けられた電極２９をその巻線に沿って
スライドさせてマッチング回路３３におけるインダクタ
ンスを調整するとともに、可変コンデンサ３２を調整し
て同じくマッチング回路３３におけるリアクタンスを調
整し、上記超音波発振器３１と振動子２４とのインピ−
ダンスをマッチングさせる。
【００３０】ところで、ＣＭカップラ−４４で測定さけ
た進行電圧Ｖｆ及び反射電圧Ｖｒは割り算回路５１に入
力される。この割り算回路５１において、Ｖｒ／Ｖｆが
演算される。そして、メ−タ５２には、Ｖｒ／Ｖｆに相
当する値が指針で表示される。
た進行電圧Ｖｆ及び反射電圧Ｖｒは割り算回路５１に入
力される。この割り算回路５１において、Ｖｒ／Ｖｆが
演算される。そして、メ−タ５２には、Ｖｒ／Ｖｆに相
当する値が指針で表示される。
【００３１】つまり、反射電圧Ｖｒ＝０であれば、
『０』が表示される。このように、Ｖｒ／Ｖｆの大きさ
に応じてメ−タ５２を振らせるようにしたので、高周波
電圧の出力が変化した場合でも、従来のように、フルス
ケ−ル時のレンジを可変抵抗Ｖｒの可動接点を調整する
必要がない。従って、簡単に振動子２４からの反射電圧
Ｖｒを知ることができる。言い換えれば、振動子２４の
劣化を簡単に知ることができる。
『０』が表示される。このように、Ｖｒ／Ｖｆの大きさ
に応じてメ−タ５２を振らせるようにしたので、高周波
電圧の出力が変化した場合でも、従来のように、フルス
ケ−ル時のレンジを可変抵抗Ｖｒの可動接点を調整する
必要がない。従って、簡単に振動子２４からの反射電圧
Ｖｒを知ることができる。言い換えれば、振動子２４の
劣化を簡単に知ることができる。
【００３２】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、振動子に入力
する高周波電圧の大きさが変化した場合でも、振動子の
劣化を簡単に知ることができる超音波洗浄装置を提供す
ることができる。
する高周波電圧の大きさが変化した場合でも、振動子の
劣化を簡単に知ることができる超音波洗浄装置を提供す
ることができる。
【００３３】請求項２の発明によれば、振動子に入力す
る高周波電圧の大きさが変化した場合でも、振動子の劣
化を簡単に知ることができる振動子の劣化検知方法を提
供することができる。
る高周波電圧の大きさが変化した場合でも、振動子の劣
化を簡単に知ることができる振動子の劣化検知方法を提
供することができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係わる超音波洗浄装置
に用いられる電気回路図。
に用いられる電気回路図。
【図２】同実施の形態に係わる超音波洗浄装置の概略構
成図。
成図。
【図３】従来の振動子の劣化検出方法を示す図。
装置本体、２１…振動板、２４…振動子、２８…コイ
ル、４１…周波数シンセサイザ、５１…割り算回路、５
２…メ−タ。
ル、４１…周波数シンセサイザ、５１…割り算回路、５
２…メ−タ。
Claims (2)
- 【請求項１】 洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物
を洗浄するための超音波洗浄装置において、 洗浄液が供給される装置本体と、 この装置本体に設けられた振動板に取り付けられた振動
子と、 この振動子と電気的に接続されこの振動子を駆動して超
音波振動させる超音波発振器と、 この超音波発振器と上記振動子との間に設けられ、この
振動子と上記超音波発振器とのインピ−ダンスマッチン
グ回路と、 この振動子に入射される電圧及び振動子から反射される
電圧を計測する入射電圧計測手段と、 上記振動子に入射される電圧を上記振動子から反射され
る電圧で除算する除算部と、 この除算部で除算された除算結果を表示する表示部とを
具備したことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 【請求項２】 洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物
を洗浄するための超音波洗浄装置において、 上記装置本体に設けられた振動板に取り付けられた振動
子からの反射電圧を振動子に入射する進行電圧で除算す
ることにより、振動子の劣化を検知ようにしたことを特
徴とする超音波洗浄装置における振動子の劣化検知方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34369596A JPH10180202A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 超音波洗浄装置及び振動子の劣化検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34369596A JPH10180202A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 超音波洗浄装置及び振動子の劣化検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10180202A true JPH10180202A (ja) | 1998-07-07 |
Family
ID=18363546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34369596A Pending JPH10180202A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 超音波洗浄装置及び振動子の劣化検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10180202A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002248429A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-03 | Shibaura Mechatronics Corp | 超音波発振装置及び超音波発振方法 |
| US6954021B2 (en) * | 2002-07-12 | 2005-10-11 | Applied Materials, Inc. | Matching circuit for megasonic transducer device |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP34369596A patent/JPH10180202A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002248429A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-03 | Shibaura Mechatronics Corp | 超音波発振装置及び超音波発振方法 |
| US6954021B2 (en) * | 2002-07-12 | 2005-10-11 | Applied Materials, Inc. | Matching circuit for megasonic transducer device |
| US7190103B2 (en) | 2002-07-12 | 2007-03-13 | Applied Materials, Inc. | Matching circuit for megasonic transducer device |
| US7586235B2 (en) | 2002-07-12 | 2009-09-08 | Applied Materials, Inc. | Matching circuit for megasonic transducer device |
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