JPH10183191A - 工業装置に付着した残存物の洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ボイラ、工業プラントにおける工業装置に付
着した残存物に対する洗浄能力が高く、常温での洗浄処
理が可能であり、腐食性がなく、しかも廃水処理が不要
な洗浄溶剤を用いる付着残存物の洗浄方法の提供。 【構成】 工業装置等に付着した残存物に、ＳＰ値が
７．５〜１３．０である有機溶剤から選ばれた少なくと
も一種の有機溶剤（Ａ）を有効成分として含む洗浄溶剤
を用いて溶解剥離除去することを特徴とする付着残存物
の洗浄方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、付着残存物の洗浄
方法に関し、詳しくはボイラ、工業プラント（石油精
製、化学、電力、機械、エレクトロニクス等）の装置
（反応装置、各種熱交換器、各種配管、冷却水系統等）
等の工業装置に付着した残存物を化学的洗浄方法により
除去する、付着残存物の洗浄方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ボイラ、石油精製プラント等では、運転
に伴いボイラ、熱交換器等の伝熱面や蒸発面、水や蒸気
が通る配管等の金属製材料に残存物（スケール）が付着
してくる。この付着残存物は一般に、酸化鉄、金属銅、
酸化銅、酸化ニッケル、酸化亜鉛、酸化アルミニウム及
びその他の硬度成分や重質油残渣、カーボン等を含んで
いる。この残存物が上記の金属製材料に付着すると、熱
効率の低下、流量阻害、腐食等を起こすため、適当な時
期に洗浄液を用いて化学洗浄を行い、付着残存物を除去
している。

【０００３】このような付着残存物の洗浄方法として
は、酸、アルカリ等の水系洗浄液や、界面活性剤を有効
成分とする洗浄液を循環させて行う方法やウオータージ
ェット等により物理的に剥離する方法が一般的である。
しかしながら、酸、アルカリ等の水系洗浄液や界面活性
剤を有効成分とする洗浄液では、基本的に加熱しなけれ
ばならなかったり、腐食性や廃水、廃液処理等の問題が
ある。また、ウオータージェット洗浄はジェット水が当
たっても付着物がただ単に移動するだけで剥離できなか
ったり、作業そのものが危険であったりするため、必ず
しも満足できるものではなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の付着
残存物の洗浄溶剤が有していた上記問題点を解決するた
めになされたものであり、その目的は、付着残存物の洗
浄能力が高く、腐食性、廃液処理の問題点を解決した洗
浄溶剤を用いたボイラ、工業プラント装置等の工業装置
の付着残存物の洗浄方法を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上述の従
来技術の問題点を解決するべく鋭意検討した結果、特定
の溶剤が、ボイラ、工業プラントにおける工業装置に付
着した残存物に対して優れた洗浄作用を示すことを見出
し、本発明に到達した。

【０００６】即ち、本発明は、工業装置に付着した残存
物を、溶解度パラメーターδs［cal^1/2／cm^3/2］（以
下、ＳＰ値という）が７．５〜１３．０である有機溶剤
からなる群より選ばれた少なくとも一種の有機溶剤
（Ａ）を有効成分とする洗浄溶剤を用いて溶解剥離除去
することを特徴とする付着残存物の洗浄方法に関する。

【０００７】以下、本発明の付着残存物の洗浄方法につ
いて詳細に説明する。本発明において、工業装置とは、
ボイラ及び石油精製、化学、電力、金属、機械、エレク
トロニクス等の工業プラントにおける反応装置、各種熱
交換器、冷却水、温水、熱水、蒸気、油等の各種配管を
始めとして、酸化鉄等の金属酸化物、重質油残渣やカー
ボン等の付着残存物（スケール）が生成して定期的又は
不定期にこれら付着残存物の除去を必要とする装置を意
味する。

【０００８】本発明における付着残存物の洗浄方法は、
前記のＳＰ値が７．５〜１３．０である有機溶剤を含有
する洗浄溶剤を用いることが重要な点である。これらの
有機溶剤は、ボイラや各種工業プラントにおける工業装
置に付着した残存物に対して高い溶解性、剥離性を有す
る。しかもこれらの溶剤は、腐食性や廃水処理の問題が
なく、好適である。

【０００９】ＳＰ値が７．５未満である溶剤や１３．０
を越える溶剤をそれのみで用いても、付着残存物の溶解
性、剥離性が悪く、洗浄後に満足な清浄度が得られな
い。

【００１０】又、本発明で用いられる有機溶剤（Ａ）と
しては、沸点が１００℃〜４００℃であるものが好まし
く、１１０℃〜３５０℃であることがより好ましく、１
２０℃〜３００℃であることが更に好ましい。上記範囲
の沸点のものを用いることにより、沸点１００℃未満の
ものより引火性の危険性が大幅に低下し、更に、洗浄処
理時の洗浄有効成分の組成変化が少なくなるため洗浄処
理操作が良好となり、又、４００℃を越えるものに比べ
て粘性が低いことから汚れの溶解速度が大きくなる。

【００１１】上記工業装置は、通常、主として金属から
なり、従って、残渣物としては、通常、一般に言う酸化
鉄、金属銅、酸化銅、酸化ニッケル、酸化亜鉛、酸化ア
ルミニウム等の金属酸化物を含み、これらと重質油残
渣、カーボン、反応生成物、残留物、副生成物等の混合
物が残存付着物となる。本発明の洗浄方法は、これらの
残存物の除去処理に好適であり、対象となる工業装置と
しても、主として金属からなる工業装置に付着する残存
物の除去処理に好適である。

【００１２】有機溶剤（Ａ）としては、その構造中に酸
素を含有する含酸素溶剤、その構造中に窒素を含有する
含窒素溶剤、及び非芳香族系環状炭化水素からなる溶剤
から選ばれる１種以上であることが好ましく、含酸素溶
剤としては水酸基、エーテル基、カルボニル基及びエス
テル基から選ばれる基を有する溶剤の少なくとも一種以
上であることが好ましい。

【００１３】上記有機溶剤（Ａ）としての含酸素有機溶
媒の好ましい例としては、下記一般式［１］で示される
α−アルコキシイソ酪酸アルキルエステル、一般式
［２］で示されるβ−アルコキシイソ酪酸アルキルエス
テル、及び一般式［３］で示されるα−ヒドロキシイソ
酪酸アルキルエステルを示すことができ、それらの具体
例としては、α−メトキシイソ酪酸メチル、α−メトキ
シイソ酪酸エチル、α−エトキシイソ酪酸メチル、α−
エトキシイソ酪酸エチル、β−メトキシイソ酪酸メチ
ル、β−メトキシイソ酪酸エチル、β−エトキシイソ酪
酸メチル、β−エトキシイソ酪酸エチル、α−ヒドロキ
シイソ酪酸メチル、α−ヒドロキシイソ酪酸エチル等の
α−ヒドロキシイソ酪酸アルキルエステル等を例示でき
る。

【００１４】

【化２】 （但し、式中、Ｒ¹及びＲ²は炭素数１〜４のアルキル基
を示す。）

【００１５】有機溶剤（Ａ）としてのその他の含酸素有
機溶剤の具体例としては、３−メトキシ−３−メチルブ
タノール、ペンタノール、ヘキサノール、ヘプタノー
ル、オクタノール、ノナノール、デカノール、ウンデカ
ノール、ドデカノール、２−エチルブタノール、２−エ
チルヘキサノール、３，５，５−トリメチルヘキサノー
ル、４−メチル−２−ペンタノール、シクロヘキサノー
ル、ベンジルアルコール、エチレングリコールモノメチ
ルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、
エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリ
コールモノベンジルエーテル、エチレングリコールモノ
フェニルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジ
エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレング
リコールモノベンジルエーテル、ジエチレングリコール
モノフェニルエーテル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピ
レングリコールモノベンジルエーテル、プロピレングリ
コールモノフェニルエーテル、ジプロピレングリコール
モノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチ
ルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールモノベンジルエーテル、ジ
プロピレングリコールモノフェニルエーテル等に代表さ
れる水酸基含有溶剤、ジイソアミルエーテル、ジフェニ
ルエーテル、ジベンジルエーテル、エチルフェニルエー
テル、ブチルフェニルエーテル等に代表されるエーテル
基含有溶剤、アセトフェノン、エチルブチルケトン、ジ
プロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルアミルケ
トン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、メチルシ
クロヘキサノン等に代表されるカルボニル基含有溶剤、
アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、酢酸ブチル、酢
酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸ベンジル、乳酸メチ
ル、乳酸エチル、乳酸ブチル、γーブチロラクトン、プ
ロピオン酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、３−メト
キシプロピオン酸メチル、３−メトキシ−３−メチルブ
チルアセテート、エチレングリコールモノアセテート、
エチレングリコールジアセテート、エチレングリコール
モノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ
ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ
アセテート、ジエチレングリコールジアセテート、ジエ
チレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエ
チレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエ
チレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロ
ピレングリコールモノアセテート、プロピレングリコー
ルジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエー
テルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエー
テルアセテート、ジプロピレングリコールモノアセテー
ト、ジプロピレングリコールジアセテート、ジプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピ
レングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロ
ピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、コハ
ク酸ジメチル、グルタル酸ジメチル、アジピン酸ジメチ
ル等のエステル基含有溶剤等を例示できる。

【００１６】又、有機溶剤（Ａ）としての含窒素溶剤の
具体例としては、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルホル
ムアミド、ジメチルアセトアミド等を示すことができ
る。

【００１７】又、有機溶剤（Ａ）としてのデカヒドロナ
フタレン、デカヒドロメチルナフタレン、デカヒドロジ
メチルナフタレン、デカヒドロトリメチルナフタレン、
デカヒドロエチルナフタレン、デカヒドロジエチルナフ
タレン、デカヒドロトリエチルナフタレン、ブチルメチ
ルシクロヘキサン、メチルペンチルシクロヘキサン、ヘ
プチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、トリメ
チルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ブチル
シクロヘキサン、エチルプロピルシクロヘキサン、リモ
ネン等の非芳香族系環状炭化水素溶剤、及びテトラリ
ン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素が挙げられ
る。

【００１８】これらの中では、特にα−メトキシイソ酪
酸メチル、β−メトキシイソ酪酸メチル、β−メトキシ
イソ酪酸エチル、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル、α−
ヒドロキシイソ酪酸エチル、２−エチルヘキサノール、
３−メトキシ−３−メチルブタノール、３，５，５−ト
リメチルヘキサノール、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジベン
ジルエーテル、アセトフェノン、シクロヘキサノン、Ｎ
−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチル
アセトアミド、アセト酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イ
ソアミル、３−メトキシプロピオン酸メチル、乳酸エチ
ル、３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート、プロ
ピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロ
ピレングリコールジアセテート、コハク酸ジメチル、グ
ルタル酸ジメチル、アジピン酸ジメチル、デカヒドロナ
フタレン、デカヒドロメチルナフタレン、デカヒドロジ
メチルナフタレン、デカヒドロトリメチルナフタレン、
デカヒドロエチルナフタレン、デカヒドロジエチルナフ
タレン、デカヒドロトリエチルナフタレン、ブチルメチ
ルシクロヘキサン、メチルペンチルシクロヘキサン、ヘ
プチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、トリメ
チルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、ブチル
シクロヘキサン、エチルプロピルシクロヘキサン、テト
ラリン、リモネン、トルエン、及びキシレンが付着残存
物の溶解性、剥離性に優れており、又、沸点、粘度、表
面張力等も適当なため、好適である。

【００１９】これらの有機溶剤（Ａ）は、単独で用いて
もよいし、又２種以上を組み合わせて用いてもよい。そ
の混合割合は任意である。

【００２０】本発明における有機溶剤（Ａ）は、有機溶
剤（Ａ）同士でよく相溶する他に、Ａ重油等に代表され
る炭素数が７〜３０の溶解度パラメーターδs［cal^1/2
／cm^3/2］が７．５〜１３．０以外の炭化水素系溶剤
（以下、炭化水素系溶剤（Ｂ）という）とも良く相溶す
ることから、これらの有機溶剤（Ａ）に含まれない炭化
水素系溶剤を混合することにより洗浄剤量を増加させ、
少量の有効成分で経済的に洗浄を行うことができる。併
用される炭化水素系溶剤（Ｂ）としては、直鎖、分岐、
及び不飽和炭化水素類及びこれらを主成分とする石油留
分等が用いられる。

【００２１】有機溶剤（Ａ）と併用される炭化水素系溶
剤（Ｂ）としては、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカ
ン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカ
ン、ペンタデカンや灯油、軽油、Ａ重油、ライトガスオ
イル（以下、ＬＧＯという）、ライトサイクルオイル
（以下、ＬＣＯという）、リグロイン等の石油留分が挙
げられるが、特に好ましくは、工業的に安価な灯油、軽
油、Ａ重油、ＬＧＯ、ＬＣＯ、リグロイン等の石油留分
が好ましく用いられる。これらの石油留分は２種類以上
を組み合わせて用いることもできる。これらの石油留分
の併用により、洗浄性、安全性、経済性、臭気等を適宜
調節し、又、改善することができる。本発明の有機溶剤
（Ａ）と併用される炭化水素系溶剤（Ｂ）っとの混合割
合は任意であるが、有機溶剤（Ａ）の溶解性、剥離性等
を効果的に発現させるためには、有機溶剤（Ａ）を５重
量％以上、好ましくは１０重量％以上とするのがよい。

【００２２】本発明の洗浄方法としては、特に制限され
るものではなく、ボイラ、熱交換器等の伝熱面や蒸発
面、水または蒸気が通る配管等の装置に付着した残存物
に、前記のＳＰ値が７．５〜１３．０である有機溶剤を
有効成分とする洗浄溶剤を循環、噴射、浸漬、気化（ベ
ーパー）等により直接接触させることにより効率よく洗
浄することができる。空気又は窒素等の不活性ガスによ
るバブリングや超音波の照射は更に効果的である。又、
従来のウオータージェット洗浄等を併用することもでき
る。

【００２３】本発明の洗浄方法における処理温度は、常
温から使用する洗浄溶剤の沸点まで処理可能であり、加
熱して洗浄するとより効果的である。しかし、引火の危
険性を考慮すると、加熱は各々の洗浄溶剤の引火点程度
までとすることが好ましい。

【００２４】本発明の洗浄方法に用いる洗浄溶剤は、水
を全く使用しないため、廃水処理が不要である。洗浄後
の廃液は、蒸留して再利用したり、ボイラの燃料として
有効利用することも可能である。

【００２５】又、本発明の洗浄用剤には、ノニオン系界
面活性剤、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性
剤等の界面活性剤や防錆剤等の添加物を必要に応じ併用
することもできる。

【００２６】

【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例によって具
体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定さ
れるものではない。

【００２７】実施例１ 酸化鉄と重質油残渣を主成分とするスケール１０ｇと洗
浄溶剤としてβ−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）５００ｇを混合し、常温下で１０分間撹拌した後、
１ミクロンの濾紙を用いて濾過した。濾紙上に残った固
形残分の重量を測定し、その値からスケールの溶解率を
算出したところ、５２．３重量％であった。

【００２８】実施例２ 実施例１のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β−
メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）と灯油（主成
分のＳＰ値６〜７．３）の混合品（重量比で１５：８
５）を使用した以外は全て実施例１と同様にして行っ
た。その結果、スケールの溶解率は５０．８重量％であ
った。

【００２９】実施例３ 実施例１のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、α−
ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．３）を使用した
以外は全て実施例１と同様にして行った。その結果、ス
ケールの溶解率は５０．５重量％であった。

【００３０】比較例１ 実施例１のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、灯油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使用した以外は全て実
施例１と同様にして行った。その結果、スケールの溶解
率は３０．５重量％であった。

【００３１】比較例２ 実施例１のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、軽油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使用した以外は全て実
施例１と同様にして行った。その結果、スケールの溶解
率は３０．９重量％であった。

【００３２】実施例４ ＳＵＳ−３１６製基板（６０×２０×２ｍｍ）に実施例
１と同様のスケール１ｇを塗布し、その基板を２００℃
のホットプレート上で１０分間加熱後、基板温度が常温
になるまで約３０分間放置した。その基板を洗浄溶剤で
あるβ−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）に１
０分間浸漬したところ、スケールはきれいに剥離された
ことが確認できた。

【００３３】実施例５ 実施例４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β−
メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）と灯油（主成
分のＳＰ値６〜７．３）の混合品（重量比で１５：８
５）を使用した以外は全て実施例４と同様にして行っ
た。その結果、スケールはきれいに剥離されたことが確
認できた。

【００３４】実施例６ 実施例４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、α−
ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．３）を使用した
以外は全て実施例４と同様にして行った。その結果、ス
ケールはきれいに剥離されたことが確認できた。

【００３５】比較例３ 実施例４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、灯油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使用した以外は全て実
施例４と同様にして行った。その結果、スケールは半分
以上残り、剥離性が悪いことが確認された。

【００３６】比較例４ 実施例４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、軽油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使用した以外は全て実
施例４と同様にして行った。その結果、スケールは半分
以上残り、剥離性が悪いことが確認された。

【００３７】実施例７ 石油精製プラントの熱交換器に付着した残存物１０ｇ
と、洗浄溶剤としてβ−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ
値８．７）１００ｇを混合し、常温下で１０分間撹拌し
たところ、付着残存物は容易に溶解した。その後、１ミ
クロンの濾紙を用いて、濾過した。濾紙上に残った固形
残分の重量を測定し、その値から付着残存物の溶解率を
算出したところ、８５．３重量％であった。

【００３８】実施例８ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．
３）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着
残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易
に溶解し、付着残存物の溶解率は８２．４重量％であっ
た。

【００３９】実施例９ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値８．
９）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着
残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易
に溶解し、付着残存物の溶解率は８３．８重量％であっ
た。

【００４０】実施例１０ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値９．
５）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着
残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易
に溶解し、付着残存物の溶解率は８１．８重量％であっ
た。

【００４１】実施例１１ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、α−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着
残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易
に溶解し、付着残存物の溶解率は８２．９重量％であっ
た。

【００４２】実施例１２ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、デカヒドロナフタレン（ＳＰ値８．８）を使
用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の
溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は８５．９重量％であった。

【００４３】実施例１３ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、メチルシクロヘキサン（ＳＰ値７．８）を使
用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の
溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は８４．９重量％であった。

【００４４】実施例１４ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、デカヒドロメチルナフタレン（ＳＰ値８．
５）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着
残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易
に溶解し、付着残存物の溶解率は８５．６重量％であっ
た。

【００４５】実施例１５ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、テトラリン（ＳＰ値９．５）を使用した以外
は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調
べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存
物の溶解率は８５．９重量％であった。

【００４６】実施例１６ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）を使用
した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶
解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、
付着残存物の溶解率は８２．３重量％であった。

【００４７】実施例１７ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、２−エチルヘキサノール（ＳＰ値９．５）を
使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物
の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は８０．４重量％であった。

【００４８】実施例１８ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、３−メトキシ−３−メチルブタノール（ＳＰ
値９．３）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法
で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物
は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８１．８重量％
であった。

【００４９】実施例１９ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、３，５，５−トリメチルヘキサノール（ＳＰ
値８．４）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法
で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物
は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８１．５重量％
であった。

【００５０】実施例２０ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテル
（ＳＰ値１０．１）を使用した以外は全て実施例７と同
様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付
着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８０．
９重量％であった。

【００５１】実施例２１ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル
（ＳＰ値９．３）を使用した以外は全て実施例７と同様
な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着
残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８０．１
重量％であった。

【００５２】実施例２２ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、プロピレングリコールモノブチルエーテル
（ＳＰ値８．９）を使用した以外は全て実施例７と同様
な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着
残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８２．３
重量％であった。

【００５３】実施例２３ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、アセトフェノン（ＳＰ値１０．６）を使用し
た以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解
性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付
着残存物の溶解率は８４．１重量％であった。

【００５４】実施例２４ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、シクロヘキサノン（ＳＰ値９．９）を使用し
た以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解
性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付
着残存物の溶解率は６３．１重量％であった。

【００５５】実施例２５ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、Ｎ−メチルピロリドン（ＳＰ値１１．３）を
使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物
の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は６８．６重量％であった。

【００５６】実施例２６ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジメチルホルムアミド（ＳＰ値１２．１）を
使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物
の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は８１．７重量％であった。

【００５７】実施例２７ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジメチルアセトアミド（ＳＰ値１０．８）を
使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物
の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は８２．７重量％であった。

【００５８】実施例２８ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、アセト酢酸エチル（ＳＰ値９．９）を使用し
た以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解
性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付
着残存物の溶解率は８２．４重量％であった。

【００５９】実施例２９ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、酢酸ブチル（ＳＰ値８．５）を使用した以外
は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調
べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存
物の溶解率は８１．９重量％であった。

【００６０】実施例３０ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、酢酸イソアミル（ＳＰ値７．８）を使用した
以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性
を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着
残存物の溶解率は８０．２重量％であった。

【００６１】実施例３１ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、３−メトキシプロピオン酸メチル（ＳＰ値
９．２）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法で
付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は
容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８２．８重量％で
あった。

【００６２】実施例３２ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、乳酸エチル（ＳＰ値１０．０）を使用した以
外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を
調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残
存物の溶解率は８０．２重量％であった。

【００６３】実施例３３ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート
（ＳＰ値８．３）を使用した以外は全て実施例７と同様
な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着
残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８３．５
重量％であった。

【００６４】実施例３４ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテルア
セテート（ＳＰ値９．２）を使用した以外は全て実施例
７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結
果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は
８３．５重量％であった。

【００６５】実施例３５ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジエチレングリコールモノブチルエーテルア
セテート（ＳＰ値８．６）を使用した以外は全て実施例
７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結
果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は
８３．２重量％であった。

【００６６】実施例３６ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、プロピレングリコールジアセテート（ＳＰ値
８．９）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法で
付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は
容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８４．５重量％で
あった。

【００６７】実施例３７ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジエチレングリコールモノエチルエーテルア
セテート（ＳＰ値８．５）を使用した以外は全て実施例
７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結
果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は
８１．７重量％であった。

【００６８】実施例３８ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、コハク酸ジメチル（ＳＰ値１０．１）を使用
した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶
解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、
付着残存物の溶解率は８２．７重量％であった。

【００６９】実施例３９ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、グルタル酸ジメチル（ＳＰ値１０．４）を使
用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の
溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は８２．５重量％であった。

【００７０】実施例４０ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、アジピン酸ジメチル（ＳＰ値１０．１）を使
用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の
溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は８３．１重量％であった。

【００７１】実施例４１ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、キシレン（ＳＰ値８．８）を使用した以外は
全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べ
た。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物
の溶解率は６８．９重量％であった。

【００７２】実施例４２ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、リモネン（ＳＰ値８．５）を使用した以外は
全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べ
た。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物
の溶解率は８１．９重量％であった。

【００７３】実施例４３ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とα−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．３）
の混合液（重量比で７０：３０）を使用した以外は全て
実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。
その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶
解率は８３．８重量％であった。

【００７４】実施例４４ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とα−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値９．５）
の混合液（重量比で４０：６０）を使用した以外は全て
実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。
その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶
解率は８４．６重量％であった。

【００７５】実施例４５ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とデカヒドロナフタレン（ＳＰ値８．８）の混合液
（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例７
と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結
果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は
８５．６重量％であった。

【００７６】実施例４６ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とテトラリン（ＳＰ値９．５）の混合液（重量比で
２５：７５）を使用した以外は全て実施例７と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８５．８重量
％であった。

【００７７】実施例４７ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）とデカ
ヒドロナフタレン（ＳＰ値８．８）の混合液（重量比で
２０：８０）を使用した以外は全て実施例７と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８５．２重量
％であった。

【００７８】実施例４８ 実施例７の洗浄溶剤であるβーメトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）の混合液
（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例７
と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結
果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は
８３．５重量％であった。

【００７９】実施例４９ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＳＰ
値９．３）の混合液（重量比で２５：７５）を使用した
以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性
を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着
残存物の溶解率は８２．１重量％であった。

【００８０】実施例５０ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．
３）と酢酸ブチル（ＳＰ値８．５）の混合液（重量比で
７０：３０）を使用した以外は全て実施例７と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８１．８重量
％であった。

【００８１】実施例５１ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）とアセトフ
ェノン（ＳＰ値１０．６）の混合液（重量比で２０：６
０：２０）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法
で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物
は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８３．９重量％
であった。

【００８２】実施例５２ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、酢酸イソアミル（ＳＰ値７．８）と酢酸ブチ
ル（ＳＰ値８．５）の混合液（重量比で７０：３０）を
使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物
の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は８２．８重量％であった。

【００８３】実施例５３ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と２−
エチルヘキサノール（ＳＰ値９．５）の混合液（重量比
で６０：４０）を使用した以外は全て実施例７と同様な
方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残
存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８１．６重
量％であった。

【００８４】実施例５４ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル
（ＳＰ値９．３）とジメチルアセトアミド（ＳＰ値１
０．８）の混合液（重量比で８０：２０）を使用した以
外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を
調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残
存物の溶解率は８３．５重量％であった。

【００８５】実施例５５ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、キシレン（ＳＰ値８．８）とシクロヘキサノ
ン（ＳＰ値９．９）の混合液（重量比で７５：２５）を
使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物
の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解
し、付着残存物の溶解率は７２．１重量％であった。

【００８６】実施例５６ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）と灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重
量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例７と同
様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付
着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８３．
８重量％であった。

【００８７】実施例５７ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とＡ重油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液
（重量比で２５：７５）を使用した以外は全て実施例７
と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結
果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は
８３．５重量％であった。

【００８８】実施例５８ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とＬＧＯ（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液
（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例７
と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結
果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は
８４．１重量％であった。

【００８９】実施例５９ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）と軽油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重
量比で３０：７０）を使用した以外は全て実施例７と同
様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付
着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８１．
５重量％であった。

【００９０】実施例６０ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）とメタノール（ＳＰ値１４．５）の混合液（重量比
で２０：８０）を使用した以外は全て実施例７と同様な
方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残
存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８３．５重
量％であった。

【００９１】実施例６１ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、デカヒドロメチルナフタレン（ＳＰ値８．
５）と灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重
量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例７と同
様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付
着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８４．
８重量％であった。

【００９２】実施例６２ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、デカヒドロジメチルナフタレン（ＳＰ値８．
３）と灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重
量比で２５：７５）を使用した以外は全て実施例７と同
様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付
着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８４．
２重量％であった。

【００９３】実施例６３ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、デカヒドロジメチルナフタレン（ＳＰ値８．
３）とテトラリン（ＳＰ値９．５）と灯油（主成分のＳ
Ｐ値６〜７．３）の混合液（重量比で１５：５：８０）
を使用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存
物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶
解し、付着残存物の溶解率は８４．８重量％であった。

【００９４】実施例６４ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、デカヒドロジメチルナフタレン（ＳＰ値８．
３）とジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と灯油（主
成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で３５：
５：６０）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法
で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物
は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８５．１重量％
であった。

【００９５】実施例６５ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と灯油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で１
５：８５）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法
で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物
は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８０．２重量％
であった。

【００９６】実施例６６ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、酢酸ブチル（ＳＰ値８．５）とヘプタン（Ｓ
Ｐ値７．０）の混合液（重量比で２５：７５）を使用し
た以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解
性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付
着残存物の溶解率は８０．２重量％であった。

【００９７】実施例６７ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、コハク酸ジメチル（ＳＰ値１０．１）とＬＣ
Ｏ（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で３
０：７０）を使用した以外は全て実施例７と同様な方法
で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物
は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８０．６重量％
であった。

【００９８】実施例６８ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテルア
セテート（ＳＰ値９．２）とヘキサン（ＳＰ値７．３）
の混合液（重量比で１５：８５）を使用した以外は全て
実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。
その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶
解率は８１．８重量％であった。

【００９９】比較例５ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使用し
た以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解
性を調べた。その結果、付着残存物は一部しか溶解せ
ず、付着残存物の溶解率は２１．８重量％であった。

【０１００】比較例６ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、リグロイン（ＳＰ値７．３）を使用した以外
は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調
べた。その結果、付着残存物は一部しか溶解せず、付着
残存物の溶解率は２２．１重量％であった。

【０１０１】比較例７ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、Ａ重油（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使用
した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶
解性を調べた。その結果、付着残存物は一部しか溶解せ
ず、付着残存物の溶解率は１５．２重量％であった。

【０１０２】比較例８ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ヘプタン（ＳＰ値７．０）を使用した以外は
全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べ
た。その結果、付着残存物は一部しか溶解せず、付着残
存物の溶解率は１１．１重量％であった。

【０１０３】比較例９ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、ヘキサン（ＳＰ値７．３）を使用した以外は
全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べ
た。その結果、付着残存物は一部しか溶解せず、付着残
存物の溶解率は１４．１重量％であった。

【０１０４】比較例１０ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、エチレングリコール（ＳＰ値１４．２）を使
用した以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の
溶解性を調べた。その結果、付着残存物は一部しか溶解
せず、付着残存物の溶解率は１３．６重量％であった。

【０１０５】比較例１１ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、メタノール（ＳＰ値１４．５）を使用した以
外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物の溶解性を
調べた。その結果、付着残存物は一部しか溶解せず、付
着残存物の溶解率は１２．１重量％であった。

【０１０６】比較例１２ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、２％水酸化ナトリウム水溶液を使用し、か
つ、液温を７０℃とした以外は全て実施例７と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は一部しか溶解せず、付着残存物の溶解率は３．８重
量％であった。

【０１０７】比較例１３ 実施例７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メチル
に代えて、５％塩酸水溶液を使用し、かつ、液温を５０
℃とした以外は全て実施例７と同様な方法で付着残存物
の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は一部しか溶
解せず、付着残存物の溶解率は２．８重量％であった。

【０１０８】実施例６９ ＳＵＳ−３１６製基板（６０×２０×２ｍｍ）に実施例
７と同様の付着残存物１．５ｇを塗布し、３０分間放置
した後、その基板を洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪
酸メチル（ＳＰ値８．７）に１０分間浸漬したところ、
付着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１０９】実施例７０ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、α
−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．３）を使用し
た以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥
離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離さ
れたことが確認できた。

【０１１０】実施例７１ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値８．９）を使用した
以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離
性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離され
たことが確認できた。

【０１１１】実施例７２ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、α
−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値９．５）を使用し
た以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥
離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離さ
れたことが確認できた。

【０１１２】実施例７３ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、α
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）を使用した
以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離
性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離され
たことが確認できた。

【０１１３】実施例７４ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、デ
カヒドロナフタレン（ＳＰ値８．８）を使用した以外は
全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調
べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこと
が確認できた。

【０１１４】実施例７５ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、メ
チルシクロヘキサン（ＳＰ値７．８）を使用した以外は
全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調
べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこと
が確認できた。

【０１１５】実施例７６ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、デ
カヒドロメチルナフタレン（ＳＰ値８．５）を使用した
以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離
性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離され
たことが確認できた。

【０１１６】実施例７７ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、テ
トラリン（ＳＰ値９．５）を使用した以外は全て実施例
６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その
結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０１１７】実施例７８ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
ベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）を使用した以外は全
て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０１１８】実施例７９ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、２
−エチルヘキサノール（ＳＰ値９．５）を使用した以外
は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０１１９】実施例８０ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、３
−メトキシ−３−メチルブタノール（ＳＰ値９．３）を
使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに
剥離されたことが確認できた。

【０１２０】実施例８１ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
３，５，５−トリメチルヘキサノール（ＳＰ値８．４）
を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれい
に剥離されたことが確認できた。

【０１２１】実施例８２ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、プ
ロピレングリコールモノメチルエーテル（ＳＰ値１０．
１）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付
着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はき
れいに剥離されたことが確認できた。

【０１２２】実施例８３ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＳＰ値９．
３）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付
着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はき
れいに剥離されたことが確認できた。

【０１２３】実施例８４ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、プ
ロピレングリコールモノブチルエーテル（ＳＰ値８．
９）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付
着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はき
れいに剥離されたことが確認できた。

【０１２４】実施例８５ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ア
セトフェノン（ＳＰ値１０．６）を使用した以外は全て
実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０１２５】実施例８６ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、シ
クロヘキサノン（ＳＰ値９．９）を使用した以外は全て
実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０１２６】実施例８７ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、Ｎ
−メチルピロリドン（ＳＰ値１１．３）を使用した以外
は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０１２７】実施例８８ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
メチルホルムアミド（ＳＰ値１２．１）を使用した以外
は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０１２８】実施例８９ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
メチルアセトアミド（ＳＰ値１０．８）を使用した以外
は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０１２９】実施例９０ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ア
セト酢酸エチル（ＳＰ値９．９）を使用した以外は全て
実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０１３０】実施例９１ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、酢
酸ブチル（ＳＰ値８．５）を使用した以外は全て実施例
６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その
結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０１３１】実施例９２ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、酢
酸イソアミル（ＳＰ値７．８）を使用した以外は全て実
施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。
その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認
できた。

【０１３２】実施例９３ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、３
−メトキシプロピオン酸メチル（ＳＰ値９．２）を使用
した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の
剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離
されたことが確認できた。

【０１３３】実施例９４ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、乳
酸エチル（ＳＰ値１０．０）を使用した以外は全て実施
例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。そ
の結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認で
きた。

【０１３４】実施例９５ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、３
−メトキシ−３−メチルブチルアセテート（ＳＰ値８．
３）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付
着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はき
れいに剥離されたことが確認できた。

【０１３５】実施例９６ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、プ
ロピレングリコールモノメチルエ−テルアセテート（Ｓ
Ｐ値９．２）を使用した以外は全て実施例６９と同様な
方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残
存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１３６】実施例９７ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（Ｓ
Ｐ値８．６）を使用した以外は全て実施例６９と同様な
方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残
存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１３７】実施例９８ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、プ
ロピレングリコールジアセテート（ＳＰ値８．９）を使
用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物
の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥
離されたことが確認できた。

【０１３８】実施例９９ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート（Ｓ
Ｐ値８．５）を使用した以外は全て実施例６９と同様な
方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残
存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１３９】実施例１００ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、コ
ハク酸ジメチル（ＳＰ値１０．１）を使用した以外は全
て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０１４０】実施例１０１ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、グ
ルタル酸ジメチル（ＳＰ値１０．４）を使用した以外は
全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調
べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこと
が確認できた。

【０１４１】実施例１０２ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ア
ジピン酸ジメチル（ＳＰ値１０．１）を使用した以外は
全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調
べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこと
が確認できた。

【０１４２】実施例１０３ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、キ
シレン（ＳＰ値８．８）を使用した以外は全て実施例６
９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０１４３】実施例１０４ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、リ
モネン（ＳＰ値８．５）を使用した以外は全て実施例６
９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０１４４】実施例１０５ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とα−ヒド
ロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．３）の混合物（重量
比で７０：３０）を使用した以外は全て実施例６９と同
様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付
着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１４５】実施例１０６ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とα−ヒド
ロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値９．５）の混合物（重量
比で４０：６０）を使用した以外は全て実施例６９と同
様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付
着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１４６】実施例１０７ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とデカヒド
ロナフタレン（ＳＰ値８．８）の混合液（重量比で２
０：８０）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１４７】実施例１０８ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とテトラリ
ン（ＳＰ値９．５）の混合液（重量比で２５：７５）を
使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに
剥離されたことが確認できた。

【０１４８】実施例１０９ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
ベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）とデカヒドロナフタ
レン（ＳＰ値８．８）の混合液（重量比で２０：８０）
を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれい
に剥離されたことが確認できた。

【０１４９】実施例１１０ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とジベンジ
ルエーテル（ＳＰ値９．４）の混合物（重量比で２０：
８０）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で
付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は
きれいに剥離されたことが確認できた。

【０１５０】実施例１１１ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とプロピレ
ングリコールモノメチルエーテル（ＳＰ値９．３）の混
合物（重量比で２５：７５）を使用した以外は全て実施
例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。そ
の結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認で
きた。

【０１５１】実施例１１２ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、α
−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．３）と酢酸ブ
チル（ＳＰ値８．５）の混合物（重量比で７０：３０）
を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれい
に剥離されたことが確認できた。

【０１５２】実施例１１３ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とジベンジ
ルエーテル（ＳＰ値９．４）とアセトフェノン（ＳＰ値
１０．６）の混合物（重量比で２０：６０：２０）を使
用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物
の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥
離されたことが確認できた。

【０１５３】実施例１１４ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、酢
酸イソアミル（ＳＰ値７．８）と酢酸ブチル（ＳＰ値
８．５）の混合液（重量比で７０：３０）を使用した以
外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性
を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離された
ことが確認できた。

【０１５４】実施例１１５ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
ベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と２−エチルヘキサ
ノール（ＳＰ値９．５）の混合液（重量比で６０：４
０）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付
着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はき
れいに剥離されたことが確認できた。

【０１５５】実施例１１６ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＳＰ値９．
３）とジメチルアセトアミド（ＳＰ値１０．８）の混合
液（重量比で８０：２０）を使用した以外は全て実施例
６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その
結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０１５６】実施例１１７ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、キ
シレン（ＳＰ値８．８）とシクロヘキサノン（ＳＰ値
９．９）の混合液（重量比で７５：２５）を使用した以
外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性
を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離された
ことが確認できた。

【０１５７】実施例１１８ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）と灯油（主
成分のＳＰ値６〜７．３）の混合物（重量比で２０：８
０）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付
着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はき
れいに剥離されたことが確認できた。

【０１５８】実施例１１９ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とＡ重油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合物（重量比で２
５：７５）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１５９】実施例１２０ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とＬＧＯ
（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合物（重量比で２
０：８０）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１６０】実施例１２１ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）と軽油（主
成分のＳＰ値６〜７．３）の混合物（重量比で３０：７
０）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付
着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はき
れいに剥離されたことが確認できた。

【０１６１】実施例１２２ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、β
−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とメタノー
ル（ＳＰ値１４．５）の混合液（重量比で２０：８０）
を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれい
に剥離されたことが確認できた。

【０１６２】実施例１２３ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、デ
カヒドロメチルナフタレン（ＳＰ値８．５）と灯油（主
成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で２０：８
０）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付
着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はき
れいに剥離されたことが確認できた。

【０１６３】実施例１２４ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、デ
カヒドロジメチルナフタレン（ＳＰ値８．３）と灯油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で２
５：７５）を使用した以外は全て実施例６９と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１６４】実施例１２５ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、デ
カヒドロジメチルナフタレン（ＳＰ値８．３）とテトラ
リン（ＳＰ値９．５）と灯油（主成分のＳＰ値６〜７．
３）の混合液（重量比で１５：５：８０）を使用した以
外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性
を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離された
ことが確認できた。

【０１６５】実施例１２６ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、デ
カヒドロジメチルナフタレン（ＳＰ値８．３）とジベン
ジルエーテル（ＳＰ値９．４）と灯油（主成分のＳＰ値
６〜７．３）の混合液（重量比で３５：５：６０）を使
用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物
の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥
離されたことが確認できた。

【０１６６】実施例１２７ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ジ
ベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と灯油（主成分のＳ
Ｐ値６〜７．３）の混合液（重量比で１５：８５）を使
用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物
の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥
離されたことが確認できた。

【０１６７】実施例１２８ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、酢
酸ブチル（ＳＰ値８．５）とヘプタン（ＳＰ値７．０）
の混合液（重量比で２５：７５）を使用した以外は全て
実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０１６８】実施例１２９ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、コ
ハク酸ジメチル（ＳＰ値１０．１）とＬＣＯ（主成分の
ＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で３０：７０）を
使用した以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに
剥離されたことが確認できた。

【０１６９】実施例１３０ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、プ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（Ｓ
Ｐ値９．２）とヘキサン（ＳＰ値７．３）の混合液（重
量比で１５：８５）を使用した以外は全て実施例６９と
同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、
付着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０１７０】比較例１４ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、灯
油（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使用した以外は全て
実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物は半分以上残り、剥離が不十
分であることが確認された。

【０１７１】比較例１５ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、リ
グロイン（ＳＰ値７．３）を使用した以外は全て実施例
６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その
結果、付着残存物は半分以上残り、剥離が不十分である
ことが確認された。

【０１７２】比較例１６ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、Ａ
重油（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使用した以外は全
て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物は半分以上残り、剥離が不十
分であることが確認された。

【０１７３】比較例１７ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ヘ
プタン（ＳＰ値７．０）を使用した以外は全て実施例６
９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物は半分以上残り、剥離が不十分であるこ
とが確認された。

【０１７４】比較例１８ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、ヘ
キサン（ＳＰ値７．３）を使用した以外は全て実施例６
９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物は半分以上残り、剥離が不十分であるこ
とが確認された。

【０１７５】比較例１９ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、エ
チレングリコール（ＳＰ値１４．２）を使用した以外は
全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調
べた。その結果、付着残存物は半分以上残り、剥離が不
十分であることが確認された。

【０１７６】比較例２０ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、メ
タノール（ＳＰ値１４．５）を使用した以外は全て実施
例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。そ
の結果、付着残存物は半分以上残り、剥離が不十分であ
ることが確認された。

【０１７７】比較例２１ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、２
％水酸化ナトリウム水溶液を使用し、かつ液温を７０℃
とした以外は全て実施例６９と同様な方法で付着残存物
の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はほとんど残
り、剥離が不十分であることが確認された。

【０１７８】比較例２２ 実施例６９のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、５
％塩酸水溶液を使用し、かつ液温を５０℃とした以外は
全て実施例６９と同様な方法で付着残存物の剥離性を調
べた。その結果、付着残存物はほとんど残り、剥離が不
十分であることが確認された。

【０１７９】実施例１３１ ボイラに付着した残存物１０ｇと洗浄溶剤としてβ−メ
トキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）１００ｇを混合
し、常温下で１０分間撹拌したところ、付着残存物は容
易に溶解した。その後、１ミクロンの濾紙を用いて、濾
過した。濾紙上に残った固形残分の重量を測定し、その
値から付着残存物の溶解率を算出したところ、８６．５
重量％であった。

【０１８０】実施例１３２ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
９．３）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８２．６重量
％であった。

【０１８１】実施例１３３ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値
８．９）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８４．１重量
％であった。

【０１８２】実施例１３４ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値
９．５）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８２．６重量
％であった。

【０１８３】実施例１３５ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８３．５重量
％であった。

【０１８４】実施例１３６ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、デカヒドロエチルナフタレン（ＳＰ値
８．４）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８５．５重量
％であった。

【０１８５】実施例１３７ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、デカヒドロジメチルナフタレン（ＳＰ値
８．３）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な方
法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存
物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８５．５重量
％であった。

【０１８６】実施例１３８ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、テトラリン（ＳＰ値９．５）を使用した
以外は全て実施例１３１と同様な方法で付着残存物の溶
解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、
付着残存物の溶解率は８５．６重量％であった。

【０１８７】実施例１３９ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）を
使用した以外は全て実施例１３１と同様な方法で付着残
存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に
溶解し、付着残存物の溶解率は８５．５重量％であっ
た。

【０１８８】実施例１４０ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、３−メトキシ−３−メチルブタノール
（ＳＰ値９．３）を使用した以外は全て実施例１３１と
同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、
付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８
４．１重量％であった。

【０１８９】実施例１４１ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、アセトフェノン（ＳＰ値１０．６）を使
用した以外は全て実施例１３１と同様な方法で付着残存
物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶
解し、付着残存物の溶解率は８２．８重量％であった。

【０１９０】実施例１４２ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジメチルアセトアミド（ＳＰ値１０．
８）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な方法で
付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は
容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８３．５重量％で
あった。

【０１９１】実施例１４３ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル（ＳＰ値１０．１）を使用した以外は全て実施例１３
１と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結
果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は
８０．９重量％であった。

【０１９２】実施例１４４ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート（ＳＰ値９．２）を使用した以外は全て実
施例１３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べ
た。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物
の溶解率は８５．２重量％であった。

【０１９３】実施例１４５ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、コハク酸ジメチル（ＳＰ値１０．１）を
使用した以外は全て実施例１３１と同様な方法で付着残
存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に
溶解し、付着残存物の溶解率は８２．３重量％であっ
た。

【０１９４】実施例１４６ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とα−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．
３）の混合液（重量比で５０：５０）を使用した以外は
全て実施例１３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を
調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残
存物の溶解率は８４．５重量％であった。

【０１９５】実施例１４７ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とα−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値９．
５）の混合液（重量比で３０：７０）を使用した以外は
全て実施例１３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を
調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残
存物の溶解率は８４．７重量％であった。

【０１９６】実施例１４８ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とデカヒドロナフタレン（ＳＰ値８．８）の混
合液（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施
例１３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。
その結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶
解率は８５．７重量％であった。

【０１９７】実施例１４９ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、テトラリン（ＳＰ値９．５）とジベンジ
ルエーテル（ＳＰ値９．４）の混合液（重量比で３０：
７０）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な方法
で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物
は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８５．９重量％
であった。

【０１９８】実施例１５０ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と３−メトキシ−３−メチルブタノール（ＳＰ
値９．３）の混合液（重量比で２０：８０）を使用した
以外は全て実施例１３１と同様な方法で付着残存物の溶
解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶解し、
付着残存物の溶解率は８３．６重量％であった。

【０１９９】実施例１５１ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とジプロピレングリコールモノメチルエーテル
（ＳＰ値９．３）の混合液（重量比で２５：７５）を使
用した以外は全て実施例１３１と同様な方法で付着残存
物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は容易に溶
解し、付着残存物の溶解率は８２．１重量％であった。

【０２００】実施例１５２ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値
９．５）と酢酸イソアミル（ＳＰ値７．８）の混合液
（重量比で４０：６０）を使用した以外は全て実施例１
３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その
結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率
は８２．０重量％であった。

【０２０１】実施例１５３ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）とアセ
ト酢酸エチル（ＳＰ値９．９）の混合液（重量比で２
０：６０：２０）を使用した以外は全て実施例１３１と
同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、
付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８
４．５重量％であった。

【０２０２】実施例１５４ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と
酢酸イソアミル（ＳＰ値７．８）の混合液（重量比で１
５：８５）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な
方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残
存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８４．１重
量％であった。

【０２０３】実施例１５５ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、酢酸イソアミル（ＳＰ値７．８）とアセ
トフェノン（ＳＰ値１０．６）の混合液（重量比で７
０：３０）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な
方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残
存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８３．８重
量％であった。

【０２０４】実施例１５６ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液
（重量比で１５：８５）を使用した以外は全て実施例１
３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その
結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率
は８３．６重量％であった。

【０２０５】実施例１５７ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とＡ重油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合
液（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例
１３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。そ
の結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解
率は８３．４重量％であった。

【０２０６】実施例１５８ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とＬＧＯ（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合
液（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例
１３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。そ
の結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解
率は８４．３重量％であった。

【０２０７】実施例１５９ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と軽油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液
（重量比で３０：７０）を使用した以外は全て実施例１
３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その
結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率
は８１．９重量％であった。

【０２０８】実施例１６０ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とメタノール（ＳＰ値１４．５）の混合液（重
量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例１３１
と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結
果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は
８１．９重量％であった。

【０２０９】実施例１６１ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、デカヒドロメチルナフタレン（ＳＰ値
８．５）とＡ重油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合
液（重量比で１５：８５）を使用した以外は全て実施例
１３１と同様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。そ
の結果、付着残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解
率は８４．４重量％であった。

【０２１０】実施例１６２ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、テトラリン（ＳＰ値９．５）と軽油（主
成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で２５：７
５）を使用した以外は全て実施例１３１と同様な方法で
付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は
容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８５．０重量％で
あった。

【０２１１】実施例１６３ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と
灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で
２５：７５）を使用した以外は全て実施例１３１と同様
な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付着
残存物は容易に溶解し、付着残存物の溶解率は８３．２
重量％であった。

【０２１２】比較例２３ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使
用した以外は全て実施例１３１と同様な方法で付着残存
物の溶解性を調べた。その結果、付着残存物は一部しか
溶解せず、付着残存物の溶解率は２０．８重量％であっ
た。

【０２１３】比較例２４ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ヘプタン（ＳＰ値７．０）を使用した以
外は全て実施例１３１と同様な方法で付着残存物の溶解
性を調べた。その結果、付着残存物は一部しか溶解せ
ず、付着残存物の溶解率は１９．１重量％であった。

【０２１４】比較例２５ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、メタノール（ＳＰ値１４．５）を使用し
た以外は全て実施例１３１と同様な方法で付着残存物の
溶解性を調べた。その結果、付着残存物は一部しか溶解
せず、付着残存物の溶解率は１８．２重量％であった。

【０２１５】比較例２６ 実施例１３１の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、２％水酸化ナトリウム水溶液を使用し、
かつ、液温を７０℃とした以外は全て実施例１３１と同
様な方法で付着残存物の溶解性を調べた。その結果、付
着残存物は一部しか溶解せず、付着残存物の溶解率は
６．８重量％であった。

【０２１６】実施例１６４ ＳＵＳ−３１６製基板（６０×２０×２ｍｍ）に実施例
１３１と同様の付着残存物１．５ｇを塗布し、３０分間
放置した後、その基板を洗浄溶剤であるβ−メトキシイ
ソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）に１０分間浸漬したとこ
ろ、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０２１７】実施例１６５ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
α−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．３）を使用
した以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物
の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥
離されたことが確認できた。

【０２１８】実施例１６６ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値８．９）を使用し
た以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物の
剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離
されたことが確認できた。

【０２１９】実施例１６７ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
α−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値９．５）を使用
した以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物
の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥
離されたことが確認できた。

【０２２０】実施例１６８ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
α−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）を使用し
た以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物の
剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離
されたことが確認できた。

【０２２１】実施例１６９ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
デカヒドロエチルナフタレン（ＳＰ値８．４）を使用し
た以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物の
剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離
されたことが確認できた。

【０２２２】実施例１７０ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
デカヒドロジメチルナフタレン（ＳＰ値８．３）を使用
した以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物
の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥
離されたことが確認できた。

【０２２３】実施例１７１ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
テトラリン（ＳＰ値９．５）を使用した以外は全て実施
例１６４と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。
その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認
できた。

【０２２４】実施例１７２ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）を
使用した以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれい
に剥離されたことが確認できた。

【０２２５】実施例１７３ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、３−メトキシ−３−メチルブタノール
（ＳＰ値９．３）を使用した以外は全て実施例１６４と
同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、
付着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２２６】実施例１７４ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、アセトフェノン（ＳＰ値１０．６）を使
用した以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに
剥離されたことが確認できた。

【０２２７】実施例１７５ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジメチルアセトアミド（ＳＰ値１０．
８）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な方法で
付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は
きれいに剥離されたことが確認できた。

【０２２８】実施例１７６ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル（ＳＰ値１０．１）を使用した以外は全て実施例１６
４と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０２２９】実施例１７７ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート（ＳＰ値９．２）を使用した以外は全て実
施例１６４と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０２３０】実施例１７８ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、コハク酸ジメチル（ＳＰ値１０．１）を
使用した以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれい
に剥離されたことが確認できた。

【０２３１】実施例１７９ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とα−ヒ
ドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．３）の混合物（重
量比で５０：５０）を使用した以外は全て実施例１６４
と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０２３２】実施例１８０ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とα−ヒ
ドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値９．５）の混合物（重
量比で３０：７０）を使用した以外は全て実施例１６４
と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０２３３】実施例１８１ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とデカヒ
ドロナフタレン（ＳＰ値８．８）の混合液（重量比で２
０：８０）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な
方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残
存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２３４】実施例１８２ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
テトラリン（ＳＰ値９．５）とジベンジルエーテル（Ｓ
Ｐ値９．４）の混合液（重量比で３０：７０）を使用し
た以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物の
剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離
されたことが確認できた。

【０２３５】実施例１８３ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）と３−メ
トキシ−３−メチルブタノール（ＳＰ値９．３）の混合
物（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例
１６４と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。そ
の結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認で
きた。

【０２３６】実施例１８４ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とジプロ
ピレングリコールモノメチルエーテル（ＳＰ値９．３）
の混合物（重量比で２５：７５）を使用した以外は全て
実施例１６４と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０２３７】実施例１８５ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
α−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値９．５）と酢酸
イソアミル（ＳＰ値７．８）の混合物（重量比で４０：
６０）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な方法
で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物
はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２３８】実施例１８６ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とジベン
ジルエーテル（ＳＰ値９．４）とアセト酢酸エチル（Ｓ
Ｐ値９．９）の混合物（重量比で２０：６０：２０）を
使用した以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれい
に剥離されたことが確認できた。

【０２３９】実施例１８７ 実施例１６４の洗浄溶剤であるジベンジルエーテルに代
えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と酢酸イソ
アミル（ＳＰ値７．８）の混合液（重量比で１５：８
５）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な方法で
付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は
きれいに剥離されたことが確認できた。

【０２４０】実施例１８８ 実施例１６４の洗浄溶剤であるジベンジルエーテルに代
えて、酢酸イソアミル（ＳＰ値７．８）とアセトフェノ
ン（ＳＰ値１０．６）の混合液（重量比で７０：３０）
を使用した以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着
残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれ
いに剥離されたことが確認できた。

【０２４１】実施例１８９ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）と灯油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合物（重量比で１
５：８５）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な
方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残
存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２４２】実施例１９０ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とＡ重油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合物（重量比で２
０：８０）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な
方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残
存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２４３】実施例１９１ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とＬＧＯ
（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合物（重量比で２
０：８０）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な
方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残
存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２４４】実施例１９２ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）と軽油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合物（重量比で３
０：７０）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な
方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残
存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２４５】実施例１９３ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）とメタノ
ール（ＳＰ値１４．５）の混合物（重量比で３０：７
０）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な方法で
付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は
きれいに剥離されたことが確認できた。

【０２４６】実施例１９４ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
デカヒドロメチルナフタレン（ＳＰ値８．５）とＡ重油
（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で２
５：７５）を使用した以外は全て実施例１６４と同様な
方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残
存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２４７】実施例１９５ 実施例１６４のβ−メトキシイソ酪酸メチルに代えて、
テトラリン（ＳＰ値９．５）と軽油（主成分のＳＰ値６
〜７．３）の混合液（重量比で２５：７５）を使用した
以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物の剥
離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離さ
れたことが確認できた。

【０２４８】実施例１９６ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と
灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で
２５：７５）を使用した以外は全て実施例１６４と同様
な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着
残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２４９】比較例２７ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使
用した以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は半分以上
残り、剥離が不十分であることが確認された。

【０２５０】比較例２８ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ヘプタン（ＳＰ値７．０）を使用した以
外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物の剥離
性を調べた。その結果、付着残存物は半分以上残り、剥
離が不十分であることが確認された。

【０２５１】比較例２９ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、メタノール（ＳＰ値１４．５）を使用し
た以外は全て実施例１６４と同様な方法で付着残存物の
剥離性を調べた。その結果、付着残存物は半分以上残
り、剥離が不十分であることが確認された。

【０２５２】比較例３０ 実施例１６４の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、２％水酸化ナトリウム水溶液を使用し、
かつ、液温を７０℃とした以外は全て実施例１６４と同
様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付
着残存物は半分以上残り、剥離が不十分であることが確
認された。

【０２５３】実施例１９７ ＳＵＳ−３１６製基板（６０×２０×２ｍｍ）に化学プ
ラントの反応装置に付着した残存物１．５ｇを塗布し、
３０分間放置した後、その基板を洗浄溶剤であるβ−メ
トキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．７）に１０分間浸漬
したところ、付着残存物はきれいに剥離されたことが確
認できた。

【０２５４】実施例１９８ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
９．３）を使用した以外は全て実施例１９７と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２５５】実施例１９９ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値
８．９）を使用した以外は全て実施例１９７と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２５６】実施例２００ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値
９．５）を使用した以外は全て実施例１９７と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２５７】実施例２０１ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）を使用した以外は全て実施例１９７と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２５８】実施例２０２ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、デカヒドロメチルナフタレン（ＳＰ値
８．５）を使用した以外は全て実施例１９７と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２５９】実施例２０３ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、デカヒドロナフタレン（ＳＰ値８．８）
を使用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着
残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれ
いに剥離されたことが確認できた。

【０２６０】実施例２０４ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、テトラリン（ＳＰ値９．５）を使用した
以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残存物の剥
離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離さ
れたことが確認できた。

【０２６１】実施例２０５ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）を
使用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれい
に剥離されたことが確認できた。

【０２６２】実施例２０６ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、２−エチルヘキサノール（ＳＰ値９．
５）を使用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で
付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は
きれいに剥離されたことが確認できた。

【０２６３】実施例２０７ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジプロピレングリコールモノメチルエー
テル（ＳＰ値９．３）を使用した以外は全て実施例１９
７と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０２６４】実施例２０８ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジメチルホルムアミド（ＳＰ値１２．
１）を使用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で
付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は
きれいに剥離されたことが確認できた。

【０２６５】実施例２０９ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、アセト酢酸エチル（ＳＰ値９．９）を使
用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに
剥離されたことが確認できた。

【０２６６】実施例２１０ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジエチレングリコールモノブチルエーテ
ルアセテート（ＳＰ値８．６）を使用した以外は全て実
施例１９７と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０２６７】実施例２１１ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、グルタル酸ジメチル（ＳＰ値１０．４）
を使用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着
残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれ
いに剥離されたことが確認できた。

【０２６８】実施例２１２ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とα−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．
３）の混合液（重量比で４０：６０）を使用した以外は
全て実施例１９７と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０２６９】実施例２１３ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とα−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値８．
７）の混合液（重量比で８０：２０）を使用した以外は
全て実施例１９７と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０２７０】実施例２１４ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と３−メトキシプロピオン酸メチル（ＳＰ値
９．２）の混合液（重量比で２０：８０）を使用した以
外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残存物の剥離
性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離され
たことが確認できた。

【０２７１】実施例２１５ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート
（ＳＰ値８．３）の混合液（重量比で２５：７５）を使
用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに
剥離されたことが確認できた。

【０２７２】実施例２１６ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
９．３）とメチルアミルケトン（ＳＰ値８．５）の混合
液（重量比で５０：５０）を使用した以外は全て実施例
１９７と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。そ
の結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認で
きた。

【０２７３】実施例２１７ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と酢酸イソアミル（ＳＰ値７．８）とジベンジ
ルエーテル（ＳＰ値９．４）の混合液（重量比で１５：
５５：３０）を使用した以外は全て実施例１９７と同様
な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着
残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２７４】実施例２１８ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とデカヒドロメチルナフタレン（ＳＰ値８．
５）の混合液（重量比で２０：８０）を使用した以外は
全て実施例１９７と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０２７５】実施例２１９ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、リモネン（ＳＰ値８．５）と酢酸ブチル
（ＳＰ値８．５）の混合液（重量比で２０：８０）を使
用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに
剥離されたことが確認できた。

【０２７６】実施例２２０ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、乳酸エチル（ＳＰ値１０．０）と３−メ
トキシ−３−メチルブチルアセテート（ＳＰ値８．３）
の混合液（重量比で５０：５０）を使用した以外は全て
実施例１９７と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べ
た。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが
確認できた。

【０２７７】実施例２２１ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液
（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例１
９７と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その
結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０２７８】実施例２２２ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とＡ重油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合
液（重量比で１５：８５）を使用した以外は全て実施例
１９７と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。そ
の結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認で
きた。

【０２７９】実施例２２３ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とＬＣＯ（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合
液（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例
１９７と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。そ
の結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認で
きた。

【０２８０】実施例２２４ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
９．３）とメタノール（ＳＰ値１４．５）の混合液（重
量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例１９７
と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０２８１】実施例２２５ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とメタノール（ＳＰ値１４．５）の混合液（重
量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例１９７
と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０２８２】実施例２２６ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、デカヒドロナフタレン（ＳＰ値８．８）
と灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比
で２０：８０）を使用した以外は全て実施例１９７と同
様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付
着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２８３】実施例２２７ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と
灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比で
２０：８０）を使用した以外は全て実施例１９７と同様
な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着
残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２８４】比較例３１ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使
用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は半分以上
残り、剥離が不十分であることが確認された。

【０２８５】比較例３２ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ＬＣＯ（主成分のＳＰ値６〜７．３）を
使用した以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は半分以
上残り、剥離が不十分であることが確認された。

【０２８６】比較例３３ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ヘキサン（ＳＰ値７．３）を使用した以
外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残存物の剥離
性を調べた。その結果、付着残存物は半分以上残り、剥
離が不十分であることが確認された。

【０２８７】比較例３４ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、メタノール（ＳＰ値１４．５）を使用し
た以外は全て実施例１９７と同様な方法で付着残存物の
剥離性を調べた。その結果、付着残存物は半分以上残
り、剥離が不十分であることが確認された。

【０２８８】比較例３５ 実施例１９７の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、５％塩酸水溶液を使用し、かつ、液温を
５０℃とした以外は全て実施例１９７と同様な方法で付
着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は半
分以上残り、剥離が不十分であることが確認された。

【０２８９】実施例２２８ ＳＵＳ−３１６製基板（６０×２０×２ｍｍ）に石油タ
ンクに付着した残存物１．５ｇを塗布し、３０分間放置
した後、その基板を洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪
酸メチル（ＳＰ値８．７）に１０分間浸漬したところ、
付着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２９０】実施例２２９ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
９．３）を使用した以外は全て実施例２２８と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２９１】実施例２３０ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値
８．９）を使用した以外は全て実施例２２８と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２９２】実施例２３１ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値
９．５）を使用した以外は全て実施例２２８と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２９３】実施例２３２ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）を使用した以外は全て実施例２２８と同様な方
法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存
物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２９４】実施例２３３ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、デカヒドロナフタレン（ＳＰ値８．８）
を使用した以外は全て実施例２２８と同様な方法で付着
残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれ
いに剥離されたことが確認できた。

【０２９５】実施例２３４ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、テトラリン（ＳＰ値９．５）を使用した
以外は全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の剥
離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離さ
れたことが確認できた。

【０２９６】実施例２３５ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）を
使用した以外は全て実施例２２８と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれい
に剥離されたことが確認できた。

【０２９７】実施例２３６ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、３−メチル−３−メトキシブタノール
（ＳＰ値９．３）を使用した以外は全て実施例２２８と
同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、
付着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０２９８】実施例２３７ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、プロピレングリコールモノブチルエーテ
ル（ＳＰ値８．９）を使用した以外は全て実施例２２８
と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０２９９】実施例２３８ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジメチルホルムアミド（ＳＰ値１２．
１）を使用した以外は全て実施例２２８と同様な方法で
付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は
きれいに剥離されたことが確認できた。

【０３００】実施例２３９ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、３−メトキシプロピオン酸メチル（ＳＰ
値９．２）をを使用した以外は全て実施例２２８と同様
な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着
残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０３０１】実施例２４０ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、プロピレングリコールジアセテート（Ｓ
Ｐ値８．９）を使用した以外は全て実施例２２８と同様
な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着
残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０３０２】実施例２４１ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、アジピン酸ジメチル（ＳＰ値１０．１）
を使用した以外は全て実施例２２８と同様な方法で付着
残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれ
いに剥離されたことが確認できた。

【０３０３】実施例２４２ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とα−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値９．
３）の混合液（重量比で２５：７５）を使用した以外は
全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０３０４】実施例２４３ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とα−ヒドロキシイソ酪酸エチル（ＳＰ値９．
５）の混合液（重量比で８０：２０）を使用した以外は
全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０３０５】実施例２４４ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と３−メトキシプロピオン酸メチル（ＳＰ値
９．２）の混合液（重量比で２０：８０）を使用した以
外は全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の剥離
性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離され
たことが確認できた。

【０３０６】実施例２４５ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とプロピレングリコールモノメチルエーテルア
セテート（ＳＰ値９．２）の混合液（重量比で１５：８
５）を使用した以外は全て実施例２２８と同様な方法で
付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は
きれいに剥離されたことが確認できた。

【０３０７】実施例２４６ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とアセトフェノン（ＳＰ値１０．６）の混合液
（重量比で４０：６０）を使用した以外は全て実施例２
２８と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その
結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０３０８】実施例２４７ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と２−エチルヘキサノール（ＳＰ値９．５）と
プロピレングリコールモノブチルエーテル（ＳＰ値８．
９）の混合液（重量比で２５：４５：３０）を使用した
以外は全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の剥
離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離さ
れたことが確認できた。

【０３０９】実施例２４８ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とデカヒドロメチルナフタレン（ＳＰ値８．
５）の混合液（重量比で１５：８５）を使用した以外は
全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０３１０】実施例２４９ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ジベンジルエーテル（ＳＰ値９．４）と
ジメチルアセトアミド（ＳＰ値１０．８）の混合液（重
量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例２２８
と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０３１１】実施例２５０ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル（ＳＰ値１０．１）とアセトフェノン（ＳＰ値１０．
６）の混合液（重量比で５０：５０）を使用した以外は
全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の剥離性を
調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離されたこ
とが確認できた。

【０３１２】実施例２５１ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）と灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液
（重量比で１５：８５）を使用した以外は全て実施例２
２８と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その
結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０３１３】実施例２５２ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とＡ重油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合
液（重量比で２０：８０）を使用した以外は全て実施例
２２８と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。そ
の結果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認で
きた。

【０３１４】実施例２５３ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とヘプタン（ＳＰ値７．０）の混合液（重量比
で２５：７５）を使用した以外は全て実施例２２８と同
様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付
着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０３１５】実施例２５４ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
９．３）とメタノール（ＳＰ値１４．５）の混合液（重
量比で２５：７５）を使用した以外は全て実施例２２８
と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０３１６】実施例２５５ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、β−メトキシイソ酪酸メチル（ＳＰ値
８．７）とメタノール（ＳＰ値１４．５）の混合液（重
量比で２５：７５）を使用した以外は全て実施例２２８
と同様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結
果、付着残存物はきれいに剥離されたことが確認でき
た。

【０３１７】実施例２５６ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、デカヒドロナフタレン（ＳＰ値８．８）
と灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）の混合液（重量比
で２５：７５）を使用した以外は全て実施例２２８と同
様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付
着残存物はきれいに剥離されたことが確認できた。

【０３１８】実施例２５７ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート（ＳＰ値９．２）と灯油（主成分のＳＰ値
６〜７．３）の混合液（重量比で２５：７５）を使用し
た以外は全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の
剥離性を調べた。その結果、付着残存物はきれいに剥離
されたことが確認できた。

【０３１９】比較例３６ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、灯油（主成分のＳＰ値６〜７．３）を使
用した以外は全て実施例２２８と同様な方法で付着残存
物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は半分以上
残り、剥離が不十分であることが確認された。

【０３２０】比較例３７ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、Ａ重油（主成分のＳＰ値６〜７．３）を
使用した以外は全て実施例２２８と同様な方法で付着残
存物の剥離性を調べた。その結果、付着残存物は半分以
上残り、剥離が不十分であることが確認された。

【０３２１】比較例３８ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、ヘプタン（ＳＰ値７．０）を使用した以
外は全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の剥離
性を調べた。その結果、付着残存物は半分以上残り、剥
離が不十分であることが確認された。

【０３２２】比較例３９ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、メタノール（ＳＰ値１４．５）を使用し
た以外は全て実施例２２８と同様な方法で付着残存物の
剥離性を調べた。その結果、付着残存物は半分以上残
り、剥離が不十分であることが確認された。

【０３２３】比較例４０ 実施例２２８の洗浄溶剤であるβ−メトキシイソ酪酸メ
チルに代えて、２％水酸化ナトリウム水溶液を使用し、
かつ、液温を７０℃とした以外は全て実施例２２８と同
様な方法で付着残存物の剥離性を調べた。その結果、付
着残存物は半分以上残り、剥離が不十分であることが確
認された。

【０３２４】

【発明の効果】本発明の付着残存物の洗浄方法に用いら
れるＳＰ値が７．５〜１３．０である有機溶剤は、ボイ
ラ、工業プラント装置等に付着した残存物に対する溶解
性、剥離性に非常に優れているため常温での洗浄処理が
可能である上、洗浄工程の短縮、エネルギーコストの低
減、メンテナンスコストの低減や高操業率が期待でき
る。また、従来のウオータージェット洗浄などに比べ作
業上の安全性が高く、腐食性や廃水処理の問題がないた
め好適である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 隆司 東京都千代田区丸の内一丁目５番１号 日 東化学工業株式会社内 (72)発明者 高柳 恭之 東京都千代田区丸の内一丁目５番１号 日 東化学工業株式会社内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 工業装置に付着した残存物を、溶解度パ
   ラメーターδs ［cal^1/2／cm^3/2］が７．５〜１３．０
   である有機溶剤から選ばれる少なくとも一種の有機溶剤
   （Ａ）を有効成分とする洗浄溶剤を用いて溶解剥離除去
   することを特徴とする付着残存物の洗浄方法。
2. 【請求項２】 有機溶剤（Ａ）の沸点が１００〜４００
   ℃であることを特徴とする請求項１記載の洗浄方法。
3. 【請求項３】 洗浄溶剤が更に炭素数が７〜３０の溶解
   度パラメーターδs［cal^1/2／cm^3/2］が７．５〜１３．
   ０以外の炭化水素系溶剤から選ばれる少なくとも一種の
   炭化水素系溶剤（Ｂ）をも有効成分とすることを特徴と
   する請求項１又は２記載の洗浄方法。
4. 【請求項４】 有機溶剤（Ａ）が、含酸素溶剤、含窒素
   溶剤、非芳香族系環状炭化水素及び芳香族炭化水素から
   選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項
   １乃至３のいずれかに記載の洗浄方法。
5. 【請求項５】 含酸素溶剤が、水酸基、エーテル基、カ
   ルボニル基、及びエステル基から選ばれる基を有する有
   機溶剤の少なくとも一種であることを特徴とする請求項
   ４記載の付着残存物の洗浄方法。
6. 【請求項６】 有機溶剤（Ａ）が、下記一般式［１］で
   表されるα−アルコキシイソ酪酸アルキルエステル、一
   般式［２］で表されるβ−アルコキシイソ酪酸アルキル
   エステルおよび一般式［３］で表されるα−ヒドロキシ
   イソ酪酸アルキルエステルからなる群より選ばれたオキ
   シイソ酪酸アルキルエステルであることを特徴とする請
   求項４記載の洗浄方法。 【化１】 （但し、式中Ｒ¹及びＲ²は炭素数１〜４のアルキル基を
   表す。）
7. 【請求項７】 有機溶剤（Ａ）が、α−メトキシイソ酪
   酸メチル、β−メトキシイソ酪酸メチル、β−メトキシ
   イソ酪酸エチル、α−ヒドロキシイソ酪酸メチル、α−
   ヒドロキシイソ酪酸エチル、デカヒドロナフタレン、デ
   カヒドロメチルナフタレン、デカヒドロジメチルナフタ
   レン、デカヒドロトリメチルナフタレン、デカヒドロエ
   チルナフタレン、デカヒドロジエチルナフタレン、デカ
   ヒドロトリエチルナフタレン、ブチルメチルシクロヘキ
   サン、メチルペンチルシクロヘキサン、ヘプチルシクロ
   ヘキサン、エチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘ
   キサン、ジエチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサ
   ン、エチルプロピルシクロヘキサン、テトラリン、２−
   エチルヘキサノール、３−メトキシ−３−メチルブタノ
   ール、３，５，５−トリメチルヘキサノール、プロピレ
   ングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコ
   ールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブ
   チルエーテル、ジベンジルエーテル、アセトフェノン、
   シクロヘキサノン、メチルアミルケトン、Ｎ−メチルピ
   ロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミ
   ド、アセト酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソアミル、
   ３−メトキシプロピオン酸メチル、乳酸エチル、３−メ
   トキシ−３−メチルブチルアセテート、プロピレングリ
   コールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリ
   コールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリ
   コールジアセテート、ジプロピレングリコールモノメチ
   ルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチ
   ルエーテルアセテート、コハク酸ジメチル、グルタル酸
   ジメチル、アジピン酸ジメチル、リモネン、トルエン、
   及びキシレンからなる群より選ばれる少なくとも一種で
   あることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載
   の洗浄方法。
8. 【請求項８】 炭化水素系溶剤（Ｂ）が、 灯油、軽
   油、Ａ重油、ＬＣＯ、ＬＧＯ及びリグロインから選ばれ
   る少なくとも一種であることを特徴とする請求項３記載
   の洗浄方法。
9. 【請求項９】 工業装置が主として金属製である請求項
   １記載の洗浄方法。