JPH10184608A - マグネットロッドレスシリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 摺動により発生する塵埃の量が少なく、周囲
を汚染することがないマグネットロッドレスシリンダを
提供すること。 【解決手段】 このマグネットロッドレスシリンダ１で
は、シリンダチューブ２の内側にピストン５が移動可能
に収容され、シリンダチューブ２の外側にスライダ６が
移動可能に設けられている。両者５，６間に作用する磁
気吸引力により、スライダ６はピストン５に追従して移
動する。このシリンダ１はガイド部材４１，４２を備え
る。このガイド部材４１，４２があることで、スライダ
６側とシリンダチューブ２側とが非接触状態に保持され
つつスライダ６がガイドされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マグネットロッド
レスシリンダに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、各種のロッドレスシリンダが知ら
れている。その中には、例えばシリンダチューブの周面
にスリットを有するものばかりでなく、スリットを有し
ないものがある。ここで、図１０に後者のロッドレスシ
リンダの一例を示す。

【０００３】図１０に示されるロッドレスシリンダは、
いわゆるマグネットロッドレスシリンダ１０１と呼ばれ
るものである。アルミニウム合金製のシリンダチューブ
１０２の両端は、エンドブロック１０３によって封止さ
れている。シリンダチューブ１０２の内側に形成される
空間には、ピストン１０４が移動可能に収容されてい
る。前記ピストン１０４は、複数枚のピストンマグネッ
ト１０５、複数枚のピストンヨーク１０６、一対のピス
トンブロック１０７、ピストンシャフト１０８、ナット
１０９等により構成されている。なお、このピストン１
０４によって、シリンダチューブ１０２が２つの圧力作
用室Ｓ1 ，Ｓ2 に区画されている。シリンダチューブ１
０２の外側には、アルミニウム合金製のスライダ１１０
が移動可能に設けられている。前記スライダ１１０は、
スライダチューブ１１１、一対のスライダカバー１１
２、複数枚のスライダマグネット１１３、複数枚のスラ
イダヨーク１１４、一対のウェアリング１１５及び一対
のスクレーパ１１６によって構成されている。ウェアリ
ング１１５は一般的には樹脂製である。同ウェアリング
１１５はシリンダチューブ１０２と摺動することによ
り、スライダ１１０の摺動抵抗を低減する役割を果たし
ている。スクレーパ１１６は一般的にはゴム製であっ
て、ウェアリング１１５よりも外側に設けられている。
同スクレーパ１１６はシリンダチューブ１０２と摺動す
ることにより、チューブ１０２外周面の塵埃等を掻き取
る役割を果たしている。なお、ウェアリング１１５及び
スクレーパ１１６を備える同様のマグネットロッドレス
シリンダは、例えば特開平８−１３５６１１号公報にも
開示されている。

【０００４】このように構成されたマグネットロッドレ
スシリンダ１０１では、第１のポート１１７を介して第
１の圧力作用室Ｓ1 にエア等の流体を供給すると、ピス
トン１０４が図面右方向に移動する。逆に、第２のポー
ト１１８を介して第２の圧力作用室Ｓ2 にエアを供給す
ると、ピストン１０４が図面左方向に移動する。この場
合、ピストンマグネット１０５とスライダマグネット１
１３との間に作用する磁気吸引力により、スライダ１１
０がピストン１０４に追従して移動するようになってい
る。

【０００５】そして、マグネット１０５，１１３を用い
たこの種のロッドレスシリンダ１０１は、スリット式に
比べてエア漏れ量が少ないという利点がある。そのた
め、クリーンルーム内で使用されることが多いという特
徴がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記マグネ
ットロッドレスシリンダ１０１では、ウェアリング１１
５やスクレーパ１１６がシリンダチューブ１０２に対し
て常に摺動する構成になっている。従って、シリンダチ
ューブ１０２よりも相対的に軟質のウェアリング１１５
やスクレーパ１１６が摩耗することにより、塵埃が発生
しやすい。そして、このように摺動部分において発生し
た塵埃が周囲に飛散することで、クリーンルームのクリ
ーン度を低下させてしまうという問題があった。ゆえ
に、塵埃の発生量が少ないマグネットロッドレスシリン
ダの登場が望まれていた。

【０００７】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、発生する塵埃の量が少なく、周囲
を汚染することがないマグネットロッドレスシリンダを
提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、シリンダチューブの
内側にピストンが移動可能に収容され、前記シリンダチ
ューブの外側にスライダが移動可能に設けられ、両者間
に作用する磁気吸引力により前記スライダが前記ピスト
ンに追従して移動するようになっているマグネットロッ
ドレスシリンダにおいて、前記スライダ側と前記シリン
ダチューブ側とを非接触状態に保持しつつ同スライダを
ガイドするガイド部材を備えたことを特徴とするマグネ
ットロッドレスシリンダをその要旨とする。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１におい
て、前記ガイド部材は摺動面を有し、その摺動面は前記
シリンダチューブ及び前記スライダよりも硬質の材料に
よって形成されているとした。

【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２において、前記ガイド部材は、前記シリンダチューブ
を支持するフレームに設けられたガイドレールと、前記
スライダに設けられるとともに前記ガイドレールに対し
て摺動可能に係合するレール係合ブロックとによって構
成されているとした。

【００１１】請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３
のいずれか１項において、前記ガイド部材は複数であっ
て、それらは互いに離間する位置に設けられているとし
た。請求項５に記載の発明は、請求項４において、前記
複数のガイド部材は前記シリンダチューブの中心軸線を
基準として対称に設けられているとした。

【００１２】以下、本発明の「作用」について説明す
る。請求項１〜５に記載の発明によると、シリンダチュ
ーブの外側にあるスライダがピストンに追従して移動す
る際、ガイド部材がスライダ側とシリンダチューブ側と
を非接触状態に保持し、かつその状態でスライダをガイ
ドする。従って、シリンダチューブの外周面とスライダ
側の部材とが摺動しなくなり、両者の摺動に起因する塵
埃の発生が回避される。従って、同ロッドレスシリンダ
を使用したとしても周囲を汚染することがない。

【００１３】請求項２に記載の発明によると、スライダ
とガイド部材との摺動により塵埃が仮に発生したとして
も、その量はシリンダチューブの外周面とスライダ側の
部材との摺動により塵埃が発生する場合に比べて僅かな
ものとなる。

【００１４】請求項３に記載の発明によると、レール係
合ブロックを備えるスライダがピストンに追従して移動
する際、ガイドレールに係合するレール係合ブロックが
ガイドレールに沿って摺動する。その結果、スライダが
ガイドレールの長手方向に沿ってガイドされる。

【００１５】請求項４に記載の発明によると、互いに離
間する位置に設けられた複数のガイド部材であると、ス
ライダに加わる荷重が複数の位置において支えられるた
め、移動時にスライダがより確実にガイドされる。

【００１６】請求項５に記載の発明によると、複数のガ
イド部材がシリンダチューブの中心軸線を基準として対
称に設けられていると、スライダに加わる荷重が均等に
支えられるため、移動時にスライダがより確実にガイド
される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化したマグネ
ットロッドレスシリンダの一実施形態を図１〜図３に基
づき詳細に説明する。

【００１８】図１等に示されるように、このマグネット
ロッドレスシリンダ１は、シリンダチューブ２、エンド
ブロック３，４、ピストン５、スライダ６、支持フレー
ム７等を備えている。

【００１９】シリンダチューブ２は円筒状の金属部材
（本実施形態ではアルミニウム合金製チューブ）であ
る。このシリンダチューブ２の左端開口は第１のエンド
ブロック３により封止され、右端開口は第２のエンドブ
ロック４により封止されている。その結果、シリンダチ
ューブ２の内側には空間が形成されている。両エンドブ
ロック３，４は、ともにアルミニウム合金製であるエン
ドキャップ１１とエンドプレート１２とからなる。エン
ドキャップ１１はエンドプレート１２の孔に対して螺入
されている。また、前記孔から突出するエンドキャップ
１１の先端部は、さらにシリンダチューブ２の開口に嵌
合されている。そして、前記両エンドブロック３，４
は、矩形状の支持フレーム７の上面において立設されて
いる。従って、前記シリンダチューブ２は、この支持フ
レーム７の上面側において水平に支持された状態となっ
ている。

【００２０】図２に示されるように、第１のエンドブロ
ック３には第１のポート１３が形成されている。このポ
ート１３は、連通路１４を介してシリンダチューブ２内
の空間に連通している。第２のエンドブロック４には第
２のポート１５が形成されている。このポート１５は、
連通路１６を介してシリンダチューブ２内の空間に連通
している。

【００２１】シリンダチューブ２内の空間には、前記ピ
ストン５が移動可能に収容されている。その結果、シリ
ンダチューブ２内の空間が２つの圧力作用室Ｓ1 ，Ｓ2
に区画されている。図２に示されるように、このピスト
ン５は、複数枚のピストンマグネット１８、複数枚のピ
ストンヨーク１９、一対のピストンブロック２０、ピス
トンシャフト２１、ナット２２等により構成されてい
る。ピストンマグネット１８及びピストンヨーク１９
は、ともに中心に貫通孔を有する円盤状の部材である。
これらの部材１８，１９は交互に配置され、さらにその
外側にはピストンブロック２０が配置されている。前記
ピストンブロック２０も中心に貫通孔を有している。各
貫通孔にはピストンシャフト２１が挿通されている。雄
ねじが形成されているピストンシャフト２１の両端は両
ピストンブロック２０の端面から突出しており、そこに
はナット２２が螺着されている。その結果、前記各部材
１８，１９，２０が一体化されている。なお、前記両ピ
ストンブロック２０は、ピストンパッキング２３とピス
トンウェアリング２４とをそれぞれ備えている。ピスト
ンパッキング２３及びピストンウェアリング２４は、ピ
ストン５の移動時にシリンダチューブ２の内周面に対し
て摺動するようになっている。

【００２２】図１〜図３に示されるように、スライダ６
はシリンダチューブ２の外側において移動可能に設けら
れている。本実施形態のスライダ６は、スライダ本体３
１、一対のスライダカバー３２、複数枚のスライダマグ
ネット３３、複数枚のスライダヨーク３４によって構成
されている。ただし、ウェアリング及びスクレーパは用
いられていない。

【００２３】スライダ本体３１は金属製（本実施形態で
はアルミニウム合金製）であって、中央部に孔を備えて
いる。この孔の両端開口の内壁面には、雌ねじが刻まれ
ている。スライダカバー３２も円筒状の金属部材（本実
施形態ではアルミニウム合金製）である。外周面に雄ね
じが刻まれた前記スライダカバー３２は、前記孔の両端
開口に対して螺入されることにより、それぞれスライダ
本体１に固定されている。なお、スライダカバー３２の
内径は、シリンダチューブ２の外径よりも若干大きな値
に設定されている。その理由は、スライダ６の摺動時に
シリンダチューブ２の外周面との間に所定のクリアラン
スを確保するためである。

【００２４】スライダマグネット３３及びスライダヨー
ク３４は、ともに中心に貫通孔を有する円盤状の部材で
ある。各貫通孔の内径も、シリンダチューブ２の外径よ
りも若干大きな値に設定されている。これも前記クリア
ランスを確保するためである。スライダマグネット３３
及びスライダヨーク３４は、一対のスライダカバー３２
間において交互に配置されている。なお、前記スライダ
マグネット３３の磁極は、前記ピストンマグネット１８
の磁極とは反対のものである。従って、両マグネット１
８，３３間には吸引力が働く。

【００２５】スライダ６を構成するスライダ本体３１
は、ワーク取付ステージ３５を備えている。このワーク
取付けステージ３５はスライダ本体３１の上部に位置
し、シリンダチューブ２の幅方向両側に向かって水平に
張り出している。また、スライダ本体３１は張出部３６
を備えている。前記張出部３６は、前記ワーク取付ステ
ージ３５の下方において左右一対に設けられている。こ
れらの張出部３６も、シリンダチューブ２の幅方向両側
に向かって水平に張り出している。

【００２６】次に、本実施形態のロッドレスシリンダ１
におけるガイド部材の構造について説明する。図１，図
３に示されるように、このロッドレスシリンダ１は、ガ
イド部材を構成するガイドレール４１を備えている。本
実施形態では、ガイドレール４１は複数本（詳細には２
本）である。また、前記ガイドレール４１は直線状であ
って、断面矩形状かつ等断面形状である。ガイドレール
４１の長さは、シリンダチューブ２の長さとほぼ等し
い。両ガイドレール４１は、支持フレーム７の上面側に
おいてシリンダチューブ２を挟むようにして配設されて
いる。また、シリンダチューブ２と各ガイドレール４１
とは平行な関係にある。互いに離間する位置にある両ガ
イドレール４１は、図３等に示されるように、シリンダ
チューブ２の中心軸線を基準として対称に設けられてい
る。前記各ガイドレール４１は、シリンダチューブ２及
びスライダ６（詳細にはスライダ本体３１及びスライダ
カバー３２）よりも硬質の材料によって形成されてい
る。本実施形態では前記部材２，３１，３２がアルミニ
ウム合金製であるため、ガイドレール４１はそれよりも
硬質な材料（例えばステンレス）からなる。

【００２７】一方、スライダ６は、ガイド部材を構成す
るレール係合ブロック４２を備えている。本実施形態で
は、レール係合ブロック４２は複数個（詳細には２個）
である。前記レール係合ブロック４２は、スライダ６の
両張出部３６の下面にそれぞれ設けられている。レール
係合ブロック４２は、その下面側に係合溝４３を備えて
いる。同レール係合ブロック４２の断面形状は略コ字状
である。係合溝４３の断面形状は、ガイドレール４１の
断面形状に略等しく、矩形状になっている。これらのレ
ール係合ブロック４２は、両ガイドレール４１に対して
摺動可能に係合している。両レール係合ブロック４２
も、前記ガイドレール４１と同様に互いに離間する位置
にある。また、同レール係合ブロック４２は、シリンダ
チューブ２の中心軸線を基準として対称に設けられてい
る。前記各レール係合ブロック４２における少なくとも
摺動部分は、シリンダチューブ２及びスライダ６（詳細
にはスライダ本体３１及びスライダカバー３２）よりも
硬質の材料によって形成されていることがよい。従っ
て、前記部材２，３１，３２がアルミニウム合金製であ
る本実施形態では、それよりも硬質な材料（例えばステ
ンレス）を用いてレール係合ブロック４２全体を形成し
ている。

【００２８】レール係合ブロック４２内には、図示しな
いボールベアリング列が２列縦隊で形成されている。こ
れらのボールベアリング列は、レール係合ブロック４２
内にレール長手方向に沿ってベアリング周回路を形成
し、そのベアリング周回路内に複数の鋼鉄製ボールを転
動可能に収容してなるものである。従って、実質的には
前記ボールがこのレール係合ブロック４２における摺動
部分となる。

【００２９】つまり、本実施形態のロッドレスシリンダ
１は、ガイドレール４１とレール係合ブロック４２とか
らなるガイド部材を２つ有したものとなっている。な
お、ガイドレール４１は、支持フレーム７やシリンダチ
ューブ２等といった固定側部材に設けられているため、
固定側部材に対して相対移動不能となる。一方、レール
支持ブロック４２は、移動側部材であるスライダ６に設
けられているため、固定側部材やガイドレール４１に対
して相対移動可能となる。

【００３０】次に、このように構成されたマグネットロ
ッドレスシリンダ１の動作を説明する。第１のエンドブ
ロック３の第１のポート１３を介して第１の圧力作用室
Ｓ1 にエアを供給すると、エアの圧力によってピストン
５が図２の右方向に直線的に移動する。逆に、第２のポ
ート１５を介して第２の圧力作用室Ｓ2 にエアを供給す
ると、エアの圧力によってピストン５が図２の左方向に
直線的に移動する。この場合、ピストンマグネット１８
とスライダマグネット３３との間に作用する磁気吸引力
により、スライダ６がピストン５に追従して移動する。

【００３１】このとき、ガイドレール４１とレール係合
ブロック４２とからなるガイド部材は、スライダ６をシ
リンダチューブ２及びガイドレール４１の長手方向に沿
ってガイドする。なお、上述したように、スライダ６を
構成する各部材３１，３２，３３，３４とシリンダチュ
ーブ２の外周面との間には、所定のクリアランスができ
るようにあらかじめ設計されている。そして、かかるク
リアランスは、スライダ６の移動時においても常に確保
されるようになっている。即ち、スライダ６側の部材３
１〜３４とシリンダチューブ２側とは、常に非接触状態
に保持されるようになっている。

【００３２】さて、次に本実施形態において特徴的な作
用効果を以下に列挙する。 （イ）この実施形態では、スライダ６の移動時において
ガイド部材がスライダ６側とシリンダチューブ２側とを
非接触状態に保持し、かつその状態でスライダ６をガイ
ドする。従って、シリンダチューブ２の外周面とスライ
ダ６側の各部材３１〜３４とが摺動しなくなり、両者
２，６の摺動に起因する塵埃の発生が回避される。ゆえ
に、同ロッドレスシリンダ１を使用したとしても塵埃が
周囲に飛散するようなことがなく、従って周囲を汚染す
ることがない。このため、ウェアリングやスクレーパを
使用していた従来品とは異なり、クリーンルームでの使
用に好適なマグネットロッドレスシリンダ１を実現する
ことができる。なお、ウェアリング及びスクレーパの省
略が可能となったのは、スライダ６側の部材３１〜３４
とシリンダチューブ２側とが常に非接触状態に保持され
たことによる。

【００３３】（ロ）本実施形態では、ガイド部材を構成
するガイドレール４１の摺動面、及びレール係合ブロッ
ク４２において実質的な摺動部分であるボールは、とも
にシリンダチューブ２及びスライダ６よりも硬質の材料
によって形成されている。従って、これらが摺動し合っ
たとしても容易に削れるようなことはなく、通常の使用
条件では塵埃の発生には至らない。また、仮に当該部分
において塵埃が発生したとしても、その量は従来品のそ
れと比較して極めて僅かなものに止まる。即ち、かかる
構成は塵埃の低減に確実に貢献しているといえる。

【００３４】（ハ）本実施形態では、ガイドレール４１
とレール係合ブロック４２とからなる２つのガイド部材
が、互いに離間する位置に設けられている。従って、ス
ライダ６に加わる荷重が２箇所において支えられるた
め、１箇所の場合とは異なり移動時にスライダ６がより
確実にガイドされるという利点がある。ゆえに、シリン
ダチューブ２側とスライダ６側との非接触状態が確実に
保持される。従って、かかる構成も塵埃の低減に確実に
貢献しているといえる。さらに、ガイドレール４１とレ
ール係合ブロック４２という組み合わせであると、ガイ
ド部材の製造が比較的容易なものとなる。このことは低
コスト化にも貢献する。

【００３５】（ニ）本実施形態では、ガイドレール４１
とレール係合ブロック４２とからなる２つのガイド部材
が、シリンダチューブ２の中心軸線を基準として対称に
設けられている。従って、スライダ６に加わる荷重が左
右で均等に支えられるため、非対称の場合とは異なり、
移動時にスライダ６がより確実にガイドされるという利
点がある。ゆえに、シリンダチューブ２側とスライダ６
側との非接触状態が確実に保持される。従って、かかる
構成も塵埃の低減に確実に貢献しているといえる。

【００３６】なお、本発明は上記の実施形態に限定され
ることはなく、例えば次のような形態に変更することが
可能である。 ◎前記実施形態において、ガイドレール４１の断面形状
及びレール係合ブロック４２の係合溝４３の断面形状は
矩形状に限定されることはなく、例えば断面円形状等に
変更することが可能である。

【００３７】◎前記ガイドレール４１は直線状でなくて
もよく曲線状でもよい。 ◎前記レール係合ブロック４２はスライダ６において張
出部３６以外の箇所に設置されても勿論よい。

【００３８】◎２つあるガイド部材は非対称に設けられ
ていてもよい。 ◎ガイド部材は２つに限定されない。例えば、図４に示
す別例のマグネットロッドレスシリンダ５１では、ガイ
ドレール４１を１本のみとしかつそれと同じ側の張出部
３６のみにレール係合ブロック４２を設けている。この
ようにすると、構造の複雑化を回避することができる。
ただし、スライダ６に加わる荷重ががより均等に支えら
れるという点については、前記実施形態の構成のほうが
優れている。さらに、ガイド部材は３つ以上（3,4,5,6,
7,8 …）であってもよい。

【００３９】◎前記実施形態では、固定側係合部として
の断面矩形状のガイドレール４１を支持フレーム７側に
設け、移動側係合部としての断面略コ字状のレール係合
ブロック４２をスライダ６側に設けていた。これに代え
て、図５に示す別例のマグネットロッドレスシリンダ６
１のように、移動側係合部としての棒状ブロック６２を
スライダ６側に設け、固定側係合部としての断面コ字状
のガイドレール６３を支持フレーム７側に設けてもよ
い。この構成であっても、棒状ブロック６２が断面コ字
状ガイドレール６３の係合溝６４によってガイドされ、
かつスライダ６側とシリンダチューブ２側とが非接触状
態に保持される。

【００４０】◎移動側係合部としての棒状ブロック６２
とスライダ６とが別体であった前記図５の別例に代え、
以下のような構成を採用してもよい。図６に示す別例の
マグネットロッドレスシリンダ７１では、移動側係合部
としての断面矩形状の被ガイド突条７２が、スライダ６
の張出部３６の下面に一体形成されている。これらの被
ガイド突条７２は、固定側係合部としての断面コ字状ガ
イドレール６３の有する係合溝６４に摺動可能に係合さ
れている。なお、かかる被ガイド突条７２の表面（即ち
摺動面）は、シリンダチューブ２及びスライダ本体３１
等よりも硬質の材料によって形成されている。ここで
は、摺動面に硬質化処理を行うことによって硬質層７３
を形成している。この他、摺動面を硬質金属層や硬質セ
ラミックス層等で被覆するという方法であってもよい。
従って、この別例では、硬質な摺動面を有する被ガイド
突条７２が断面コ字状ガイドレール６３の係合溝６４に
よってガイドされ、かつスライダ６側とシリンダチュー
ブ２側とが非接触状態に保持される。

【００４１】◎固定側係合部としてのガイドレール４１
と支持フレーム７とが別体であった前記実施形態に代
え、以下のような構成を採用してもよい。図７に示す別
例のマグネットロッドレスシリンダ８１では、固定側係
合部としての断面矩形状のガイドレール部８２が、支持
フレーム７の上面に一体形成されている。そして、これ
らのガイドレール部８２は、移動側係合部としての断面
コ字状のレール係合ブロック４２の有する係合溝４３に
摺動可能に係合されている。この場合、前記支持フレー
ム７はステンレス等のような硬質材料により形成されて
いることがよい。

【００４２】◎図８，図９に示す別例のマグネットロッ
ドレスシリンダ９１のように、スライダ９２を構成して
もよい。この別例のスライダ９２では、前記実施形態に
おいて残されていたウェアリング装着用環状溝部及びス
クレーパ装着用環状溝部が、ともにスライダカバー３２
の内周面から省略されている。従って、その分だけスラ
イダ９２全体が短くなっている。この構成であると、実
施形態の構成に比べて、スライダ６のストローク長を大
きく確保することができるという利点がある。また、ス
ライダ９２の軽量化も図られる。

【００４３】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される
技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 （１） 請求項１または２において、前記ガイド部材
は、前記シリンダチューブに対して相対移動不能となる
べく固定側部材に設けられたガイドレールと、前記スラ
イダに設けられるとともに前記ガイドレールに対して相
対移動可能に係合するレール係合ブロックとによって構
成されていることを特徴とするマグネットロッドレスシ
リンダ。

【００４４】（２） 請求項２，３において、前記シリ
ンダチューブ及び前記スライダはアルミニウムまたはア
ルミニウム合金製であり、前記ガイド部材はステンレス
製であることを特徴とするマグネットロッドレスシリン
ダ。この構成であると、塵埃発生量の低減が図られると
ともに、廉価な材料を用いているため低コスト化を図る
ことができる。

【００４５】（３） 請求項４，５において、前記ガイ
ド部材は２つであることを特徴とするマグネットロッド
レスシリンダ。この構成であると、構成の複雑化を回避
しつつスライダの荷重をより確実に支えることができ
る。

【００４６】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。「流体： 窒素、酸素、アル
ゴン、二酸化炭素、水素、それらの混合物である空気等
といった気体をいうほか、例えば水、アルコール、油等
の液体やいわゆる臨界流体等も含む。」

【００４７】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜５に記
載の発明によれば、発生する塵埃の量が少なく、周囲を
汚染することがないマグネットロッドレスシリンダを提
供することができる。

【００４８】特に、請求項２に記載の発明によれば、塵
埃の発生量をより少なくすることができる。請求項４，
５に記載の発明によれば、移動時にスライダがより確実
にガイドされる結果、非接触状態が確実に保持される。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明を具体化した一実施形態のマグ
ネットロッドレスシリンダの平面図、（ｂ）はその正面
図、（ｃ）は左端面図。

【図２】図１（ａ）のＡ−Ａ線における一部破断断面
図。

【図３】図１（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図。

【図４】別例のマグネットロッドレスシリンダの断面
図。

【図５】別例のマグネットロッドレスシリンダの断面
図。

【図６】別例のマグネットロッドレスシリンダの断面
図。

【図７】別例のマグネットロッドレスシリンダの断面
図。

【図８】別例のマグネットロッドレスシリンダの平面
図。

【図９】図８の別例のマグネットロッドレスシリンダの
一部破断断面図。

【図１０】従来例のマグネットロッドレスシリンダの一
部破断断面図。

【符号の説明】

１，５１，６１，７１，８１，９１…マグネットロッド
レスシリンダ、２…シリンダチューブ、５…ピストン、
６，９２…スライダ、７…フレームとしての支持フレー
ム、４１…ガイド部材を構成するガイドレール、４２…
ガイド部材を構成するレール係合ブロック、６２…ガイ
ド部材を構成する棒状ブロック、６３…ガイド部材を構
成するガイドレール、７２…ガイド部材を構成する被ガ
イド突条、８２…ガイド部材を構成するガイドレール
部。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】シリンダチューブの内側にピストンが移動
   可能に収容され、前記シリンダチューブの外側にスライ
   ダが移動可能に設けられ、両者間に作用する磁気吸引力
   により前記スライダが前記ピストンに追従して移動する
   ようになっているマグネットロッドレスシリンダにおい
   て、 前記スライダ側と前記シリンダチューブ側とを非接触状
   態に保持しつつ同スライダをガイドするガイド部材を備
   えたことを特徴とするマグネットロッドレスシリンダ。
2. 【請求項２】前記ガイド部材は摺動面を有し、その摺動
   面は前記シリンダチューブ及び前記スライダよりも硬質
   の材料によって形成されていることを特徴とする請求項
   １に記載のマグネットロッドレスシリンダ。
3. 【請求項３】前記ガイド部材は、前記シリンダチューブ
   を支持するフレームに設けられたガイドレールと、前記
   スライダに設けられるとともに前記ガイドレールに対し
   て摺動可能に係合するレール係合ブロックとによって構
   成されていることを特徴とする請求項１または２に記載
   のマグネットロッドレスシリンダ。
4. 【請求項４】前記ガイド部材は複数であって、それらは
   互いに離間する位置に設けられていることを特徴とする
   請求項１乃至３のいずれか１項に記載のマグネットロッ
   ドレスシリンダ。
5. 【請求項５】前記複数のガイド部材は前記シリンダチュ
   ーブの中心軸線を基準として対称に設けられていること
   を特徴とする請求項４に記載のマグネットロッドレスシ
   リンダ。