JPH10184924A - ガスケットと同ガスケットによる容器の密閉構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】構造が簡略化され装着作業が容易であって、容
器内の圧力の変化や衝撃等にも密閉性が完全に確保され
る容器の密閉構造を提供する。 【解決手段】ケース本体(12)及び蓋体(14)の開放端縁端
面に形成された互いに略同一の端面形状をなすガスケッ
ト挿入溝(28,45) に、同挿入溝(28,45) の深さの和より
も大きい高さを有する環状体からなるガスケット(16)が
嵌入される。同ガスケットの高さの中央部はなだらかな
膨出部(16a) と略矩形断面の突部(116b)により前記ガス
ケット挿入溝(28)の幅よりも僅かに大きな厚みに形成さ
れると共にその端縁(16c) は湾曲側の側面とは反対側の
側面が先端に向けて肉薄となる湾曲面(16d) に形成され
ている。同ガスケット(16)は前記挿入溝(28,45) に挿入
されたとき、前記湾曲面(16d) が前記ガスケット挿入溝
(28,45) の底面に案内されて自動的に湾曲面(16d) とは
反対側に湾曲して密着するため、前記ケース本体(12)及
び蓋体(14)の間の隙間が完全にシールされ、外部からの
衝撃や容器内の圧力変化にもシール性を失わない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、蓋付容器のケース
本体と蓋体との間にガスケットを介在させて前記容器を
密閉シールする密閉構造に関し、例えば半導体ウェハ等
のような破損しやすく且つ極端に汚染を嫌う物品を外気
等から遮断して収納保管するとともに、安全に輸送する
ための蓋体とケース本体とからなる完全密閉性を備えた
容器の密閉構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】合成樹脂から成形されたケース本体と蓋
体とからなる蓋付容器としては、例えば特開平５−６３
０６７号公報等に開示された半導体ウェハの保管や運搬
等に使用される半導体ウェハ包装容器がある。一般的な
この種の包装容器は、複数の半導体ウェハを収容するウ
ェハキャリア、ウェハキャリアを収納保持するボトムケ
ース体、蓋体、ウェハ押圧部材等から構成されている。
そして、前記ウェハキャリア及びボトムケース体の一般
的な材質としては、ポリプロピレンが使われており、蓋
体はポリプロピレン又はポリカーボネートから構成され
ている。また、前記ウェハ押圧部材にはポリプロピレ
ン、ポリエステル又はポリエチレンが使われる。

【０００３】前記半導体ウェハはシリコン等の単結晶を
薄くスライスして製造されるものであり、脆性が高い上
に汚染による物性への影響が大きいため、包装時はもと
より輸送中における破損や汚染を防止するための最大限
の努力が払われなければならない。前記半導体ウェハ包
装容器は、外部からの衝撃によるウェハの破損を防ぐば
かりでなく、容器内におけるウェハ押圧部材との摩擦な
どで発生するパーティクルによる汚染、或いは容器の内
外圧力差や変形による外気の侵入による汚染を避けるた
め、収容時のウェハ支持の安定性を確保するとともにウ
ェハ押圧部材等との接触摩擦を防ぐことや、ボトムケー
ス体及び蓋体からなる容器本体の強靱性、耐衝撃性及び
気密性を確保すること等が厳しく要求される。

【０００４】そのため、前記ボトムケース体は従来か
ら、例えば特開平５−６３０６５号公報に開示されてい
るように、ボトムケース体の開放側端縁を外側に略逆Ｕ
字状に屈曲した形態に成形して最も変形と破損のしやす
い開放側の端縁部を強化すると共に、同ケース体の端縁
部と蓋体との間にガスケットを介在させ、前記蓋体をボ
トムケース体に外嵌させて、係着部で係着固定すること
により容器の密閉させている。

【０００５】前記ボトムケース体の開口端縁上面にはそ
の全周にわたって略Ｕ字状をなすガスケット挿入溝が形
成されており、一方の前記蓋体の開口周縁下面にもその
全周にわたって同様の形状をもつガスケット挿入溝が形
成されている。それらのガスケット挿入溝に嵌入される
前記ガスケットは、前記ボトムケース体に蓋体を閉蓋し
た際に、それぞれの前記挿入溝により形成される空間の
高さと略同一の高さを有する平たい環状体からなり、従
来は図１３に示すような断面形態をもっており、同ガス
ケット１６０はその一端縁から前記ケース体の挿入溝の
溝深さと一致する高さまで二股端部１６１に形成された
断面略ｈ字状をなしている。前記二股端部の直上からは
蓋体のガスケット挿入溝に嵌入する蓋体嵌入部１６２が
延在しており、同蓋体嵌入部１６２の高さはほぼ蓋体の
前記ガスケット挿入溝の深さに等しい。また、前記二股
端部１６１の分岐部からは容器の内部に向けて直角に突
出する突片１６３が連続的に形成されている。

【０００６】前記ガスケット１６０は、前記二股端部１
６１がボトムケース体の前記ガスケット挿入溝に挿入さ
れると共に蓋体嵌入部１６２が前記蓋体のガスケット挿
入溝に挿入され、同時に前記蓋体嵌入部１６２が前記各
ガスケット挿入溝の各端面間で挟圧される。このとき、
前記ボトムケース体及び蓋体のガスケット挿入溝はいず
れも円弧状の底面に形成されており、前記挿入溝に挿入
されたガスケットの上下両端縁部は前記ケース体凹溝の
内壁面により密接案内されて密閉シールされる。このシ
ールにより外気の侵入が阻止され、空気中の微細な塵芥
や湿気が容器内に侵入するのを防止している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記半
導体ウェハの包装容器にあって、同容器に半導体ウェハ
を収容した後、搬送する際や、保管中に外部から何らか
の衝撃が加わって蓋体が持ち上がり、あるいは外気圧の
変化に伴って蓋体が内圧により浮き上がるようなしこと
が生じることがある。このように蓋体がボトムケース体
から離間したときに、各挿入溝に挿入されたガスケット
が遊嵌状態となり、前記ボトムケース体と蓋体との間に
隙間を発生させ、外気が容器内に流れ込んで容器内を汚
染する可能性が高い。半導体ウェハのように、様々な加
工の全てがクリーンルーム内でなされるほど、極端に汚
染を嫌う物品を収容している場合には、前述の事態は直
ちに物品としての商品価値を失わせることにつながりか
ねない。

【０００８】また、前記ガスケットは上述したように半
部が二股に形成されており、同二股端部をボトムケース
体の単一のガスケット挿入溝に挿入することが必要であ
るため、その挿入操作が煩雑であるばかりでなく、挿入
作業の際にガスケットの上下を確認する必要がある。ま
た、このとき同時に前記ガスケットから突出する突片を
前記ボトムケース体のガスケット挿入溝の端面に係着さ
せなければならず、その作業にも必要以上の注意が要求
され意外と時間を取られる。

【０００９】本発明はこれらの課題を解決すべくなされ
たものであり、具体的には構造が簡略で且つケース本体
及び蓋体に形成されたガスケット挿入溝へのガスケット
の挿入作業が容易であって、しかも外気圧の変化などに
よる容器内の圧力の変化や衝撃等にも完全に密閉生が確
保される、密閉性に優れた容器の密閉構造を提供するこ
とを目的としている

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明はケース本体及び蓋体の開放端縁端面に形成
され方ガスケット挿入溝に挿入して容器を密閉するため
のガスケットであって、単一の帯状材から構成される環
状体であり、その断面形状が高さ方向に上下対称であっ
て、一方の側面が平坦面とされ、他の側面の上下端部が
湾曲面をなしており、その高さ方向の略中央部に左右に
突出する突設部を備えてなることを特徴とするガスケッ
トを主要な構成としている。

【００１１】更に本発明はケース本体及び蓋体の開放端
縁端面にガスケット挿入溝を形成し、同各挿入溝にガス
ケットの上下端縁部を嵌入して前記ケース本体及び蓋体
の間の隙間をシールする容器の密閉構造において、前記
ケース本体及び蓋体のガスケット挿入溝は、互いに略同
一の端面形状をなし、前記ガスケットはそれぞれの前記
ガスケット挿入溝の深さの和よりも大きい高さを有する
環状体からなり、その高さの中央部が前記ガスケット挿
入溝の幅よりも僅かに大きな厚みに突出形成されるとも
に、その端縁は湾曲側とは反対側の側面が湾曲面とされ
て先端に向けて肉薄とされ、同ガスケットが前記ガスケ
ット挿入溝に挿入されたとき、前記湾曲面が前記ガスケ
ット挿入溝の底面に案内されて所定の方向に湾曲し密着
することを特徴とする容器の密閉構造を他の主要な構成
としている。

【００１２】好ましい態様によれば、前記ガスケットは
単一の帯状材から構成され、その断面形状は高さ方向に
上下対称であって、前記湾曲面が外側面の上下端部に形
成されるが、前記ガスケットは２枚の帯状材の高さ方向
の中央部で連結された断面略Ｈ字状をなす形態であって
もよく、この場合には前記湾曲面が前記各帯状材の対向
端縁部に形成される。更に、前記ガスケットは高さの中
央部において左右両面に突出する突出部を有しており、
前記突出部の一方がなだらかな曲面をもつ膨出部であっ
てもよい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図示実施例により具体的に説明する。図１は本発明
の密閉構造を適用した代表的な実施例を示す半導体ウェ
ハ包装容器の分解斜視図である。前記ウェハ包装容器１
０はウェハキャリアに整然と収容支持される多数の半導
体ウェハを保管、移動、輸送させる際に使用される。

【００１４】前記ウェハ包装容器１０は、ボトムケース
体１２と蓋体１４とからなり、ボトムケース体１２は内
部にウェハキャリア１３を遊嵌状態で収容できるような
内面形状を有している。前記蓋体１４は前記ボトムケー
ス体１２に外側から嵌合させるとともに、係着手段によ
って係着固定される。図１において、符号１２はボトム
ケース体、１３はウェハキャリア、１４は蓋体、１５は
ウェハ押圧部材、１６はガスケットである。

【００１５】前記ウェハ包装容器１０は、ボトムケース
体１２と蓋体１４とからなり、ボトムケース体１２は内
部にウェハキャリア１３を嵌合して収納できるような内
面形状を有している。前記蓋体１４は前記ボトムケース
体１２に外側から嵌合させるとともに、係着手段によっ
て係着固定する。

【００１６】前記ボトムケース体１２、ウェハキャリア
１３及び蓋体１４は、従来の構成と実質的に同じであれ
ばよく、特にウェハキャリア１３の構造については詳細
な説明を既述した公報に任せ、ここでは図１を参照しな
がら簡単に説明する。

【００１７】ウェハキャリア１３は、左右側板３１，３
２、背板３３及び前記左右の側板３１，３２の前端の略
中央部を連結する連結バー３４からなる、上下及び前方
が開放したケース体からなり、前記左右側板３１，３２
は前記連結バー３４から上方が鉛直面部３１ａ、３２ａ
を構成し、前記連結バー３４の下方は下端に向けて左右
側板３１，３２が漸次接近するように下方に湾曲した湾
曲面部３１ｂ、３２ｂを構成している。

【００１８】そして、前記左右側板３１，３２の対向面
に沿って下方に垂直に延びる多数のウェハ支持溝３１
ｂ′，３２ｂ′が多数並列して形成されており、各ウェ
ハ支持溝３１ｂ′，３２ｂ′に半導体ウェハが挿入され
て、互いに接触することなく起立状に保持される。ま
た、前記キャリア形態だけでは多数の半導体ウェハを保
持して単独に載置する場合に不安定であるため、前記左
右側板３１，３２の下端部から同側板３１，３２に直交
させてリブ３１ｃ，３２ｃを外方に突設させている。

【００１９】かかる主要部の形態を有するウェハキャリ
ア１３は、上述のようにボトムケース体１２にガタツキ
がないように収容される。そのため、ボトムケース体１
２の内面形状は前記ウェハキャリア１３の外形に適合さ
せて形成されている。経済性を考慮しなければ、ボトム
ケース体１２の内面形状だけをウェハケース体１３の外
形に合わせるだけで、外形を矩形のケース体として成形
すれば足りるが、従来から材料費等が考慮されてボトム
ケース体１２の外形も可能な限り前記ウェハキャリア１
３の外形に沿わせるような形状としている。すなわち、
ボトムケース体１２の主要部の形態は、図１〜図４に示
すようにウェハキャリア１３の上記左右側板３１，３２
の形態に対応する対向する左右側壁部２１，２２の中央
を前記左右側板３１，３２と同様に、上半部中央が鉛直
面部２１ａ，２２ａとされ、下半部中央が内側に湾曲す
る湾曲面部２１ｂ，２２ｂとされている。

【００２０】また、図示例によれば前壁部２３の中央を
上端部を残して下端まで連続する凹み部２３ａが形成さ
れており、他の壁部は前記鉛直面部２１ａ，２２ａを含
めて、全てが鉛直壁部とされて、外形全体としては略矩
形の箱体形態をなしており、上部が開放されている。ボ
トムケース体１２の底部２５は、前記前壁部２３と後壁
部２４の各下端中央部を結ぶ帯状部分２５ａが段部を介
して上方に凹んだ状態で成形されており、従って前記底
部２５の左右側端部は、外側に開いたコ字型の基部２５
ｂ，２５ｂを構成する。本実施例にあっては、更に前記
帯状部分２５ａの中央部２５ａ′は下方に突出する円筒
体の一部をなしている。一方、前壁部２３における前記
凹み部２３ａの上端位置は、上記ウェハキャリア１３を
ボトムケース体１２に収容したとき、上記連結バー３４
の下面が前記凹み部２３ａの上端に当接する位置であ
る。

【００２１】なお、ボトムケース体１２の上部開放端部
は既述した上記国際公表公報に開示された開放端部と同
様の構造であってもよいが、図示例にあっては、特に前
記ボトムケース体１２の前記開放端部が、その全周にわ
たり連続して略同一の長さをもって略３６０°外側に折
り曲げられ、本体部分２６ａと外側屈曲部分２６ｂとが
略逆Ｕ字状の形態となるよう成形される。また、本実施
例では前記開放端部の全周にわたり所要の間隔をおいて
複数の補強リブ２７，２７，…が、その本体部分２６ａ
と外側屈曲部分２６ｂとの間を連結している。かかる開
放端部の形態を採ることにより、同端部の耐衝撃強度が
増加するばかりでなく、成形時のひけ等による歪みを発
生させて、同端部が波打ち状に変形することが防止さ
れ、蓋体１４を被せたときに、蓋体１４の開放端縁がボ
トムケース体１２の全周にわたって嵌合し、本発明の密
閉構造の主要な構成部材をなす後述するガスケット１６
の形態とも相まって外気の侵入を完全に阻止する。

【００２２】本実施例では、蓋体１４及びボトムケース
体１２の各開放端が略矩形をなしており、図５及び図６
に示すように前記蓋体１４の左右側壁４１ａ，４１ｂの
開放端中央からそれぞれ一対の矩形状の係着片４２ａ，
４２ｂが、各開放端部と略同一平面上を延設されてお
り、各係着片４２ａ，４２ｂの中央にはそれぞれに矩形
状の係着孔４２ａ′，４２ｂ′が形成され、各係着片４
２ａ，４２ｂはコ字状をなしている。一方、蓋体１４を
嵌合させたときの前記係着片４２ａ，４２ｂに対応する
前記ボトムケース体１２の外側屈曲部分２６ｂは、図２
に示すように前記係着片４２ａ，４２ｂの肉厚に相当す
る深さの凹み部２６ｃ，２６ｃを構成するように屈曲し
て成形されている。そして、この凹み部２６ｃの前記係
着孔４２ａ′，４２ｂ′に対応する部位には、同係着孔
４２ａ′，４２ｂ′に嵌合係止するほぼ同一形状を有す
る嵌合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′を僅かに膨出させてい
る。

【００２３】このようなボトムケース体１２と蓋体１４
との嵌合固定構造を採用することにより、ボトムケース
体１２の逆Ｕ字状断面からなる開放端部の外側屈曲部分
を同開放端部の全周にわたり欠落する部分がなく連続さ
せて成形することを可能にしている。

【００２４】前記蓋体１４は既述したように矩形箱状を
なしており、図５〜図８に示すように下方に開放端部を
有している。開放端部は段部を介した拡大フランジ部４
３から構成され、その左右フランジ部４３ａ，４３ｂか
らは略同一平面上を上記係着片４２ａ，４２ｂが垂設さ
れている。蓋体１４の天板部４４の上面は平坦ではな
く、その上面の複数部位には方形をなすブロック状の突
出部４４ａ〜４４ｃが突設され、本発明の包装容器１０
を積み重ねる際に、上記ボトムケース体１２の基部２５
ｂ，２５ｂなどの間に形成される嵌合凹部に嵌合する。
本実施例では、前記突出部４４ａは前記ボトムケース体
１２の底部中央の帯状部分２５ａに嵌合するため、同様
に帯状をなしており、その表面の更に中央部を帯状に円
筒体の一部をなす円筒面４４ａ′としている。また、前
記突出部４４ｂ，４４ｃは前記帯状部分２５ａを挟んで
左右の端部中央から上方に突設された方形ブロック状を
なし、ボトムケース体１２の上記左右の各コ字型基部２
５ｂ，２５ｂの間に形成される空間部２５ｂ′，２５
ｂ′を本発明の嵌合凹部の一部として利用し、同空間部
２５ｂ′，２５ｂ′に遊嵌する。ボトムケース体１２及
び蓋体１４に形成される嵌合凹部と突設部は、いずれも
容器内部に収納されるウェハの周縁と干渉しない部位で
あることが肝要である。また、本実施例では前記嵌合凹
部の一部としてボトムケース体１２の外形により形成さ
れる空間部２５ｂ′，２５ｂ′を利用しているが、これ
に限るものではなく別途独立させて形成するようにして
もよいことは勿論である。

【００２５】また、蓋体１４の上記天板部４４の内面に
は、ウェハキャリア１３に保持されて容器内部に収納さ
れた各ウェハの上縁を弾性的に押圧するウェハ押圧部材
１５を嵌着固定する嵌着手段を有している。前記ウェハ
押圧部材１５は、例えば図１に示すように、従来から多
用されている形態を有しており、矩形枠体１５ａと、同
矩形枠体５１の長辺を構成する一対の枠材５２ａ，５２
ａのそれぞれに多数の弾性片５３が各枠材５２ａ，５２
ａに直交して櫛歯状に延設される基本構造を有してい
る。これらのウェハ押圧部材１５はボトムケース体と同
様にポリプロピレンから成形されるが、他の素材、例え
ばポリエステルエラストマー樹脂等も使われる。いずれ
にしても、ウェハに直接接触するため、摩耗が少なく揮
発成分の発生が少ない材質を使用することが好ましい。

【００２６】図１に示すウェハ押圧部材１５は、従来か
ら一般的に採用されている形態であって、前記弾性片５
３，５３は各枠材５２ａ，５２ａに左右対称に配され、
それぞれが各枠材５２ａ，５２ａを挟んでほぼ直角をな
して左右に延設される第１弾性片５３ａと第２弾性片５
３ｂからなる。左右の枠材５２ａ，５２ａに直交して同
一直線上に配された左右の第１及び第２弾性片５３ａ，
５３ｂの各先端には、ウェハを４点で弾性的に押圧する
ウェハ押圧部５３ａ′，５３ｂ′が形成されており、前
記ウェハ押圧部５３ａ′は図示せぬウェハの円周面に接
触し、ウェハ押圧部５３ｂ′はウェハ上端のオリエンテ
ーションフラット部に接触する。

【００２７】図５〜図８に示した実施例にあっては、異
なる寸法形態を有する２種類のウェハ押圧部材１５を同
一の蓋体１４をもって交換可能に嵌着固定できるよう
に、上記長辺を構成する各一対の枠材５２ａ，５２ａに
対応する天板部４４の内面部位に、それぞれ前記枠材５
２ａ，５２ａのほぼ全長にわたって挟着する都合４組の
２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄを平行に突設している。
図示例では、左右側壁部４１ａ，４１ｂに近い各一対の
前記２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄのそれぞれ外側に位
置する挟着リブ４４ｄの一部が切り欠かれ、液体流路４
４ｄ′を形成している。こうして、液体流路４４ｄ′を
形成すると、ウェハを容器ごと洗浄・乾燥するとき、前
記２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄの間に洗浄液が滞留す
ることなく、洗浄液の蒸発を促進させる。また、その液
体流路４４ｄ′間に挟まれる部分に相当する位置に起立
片４４ｅを突設し、同起立片４４ｅの先端部にウェハ押
圧部材１５を固着させたとき、前記枠材５２ａ，５２ａ
の端縁に係止して押圧するための膨出係止部４４ｅ′を
形成している。

【００２８】そして本実施例では、更に前記長辺を構成
する各一対の枠材５２ａ，５２ａは他の形態寸法が変更
されても同一の長さであることから、上記短辺を構成す
る各一対の枠材５２ｃ，５２ｃに対応する天板部４４の
内面部位には、各枠材５２ｃ，５２ｃの外側面に当接す
るように短尺のリブ４４ｆと、同短尺リブ４４ｆに隣接
させて前記各枠材５２ｃ，５２ｃの上面の一部を押圧係
止する係止突起４４ｇとを突設している。この係止突起
４４ｆの先端の各枠材５２ｃ，５２ｃの上面を押圧する
位置には略半球をなす膨出頭部４４ｇ′が形成されてい
る。しかし、前記短尺のリブ４４ｆ及び係止突起４４ｇ
は必ずしも必須ではない。

【００２９】そして、前記各枠材５２ａ，５２ｃは、そ
の端部に向けて漸次肉薄に形成されるとともに、前記各
リブや起立片及び係止突起を先端に向けて肉厚を漸次増
加させている。しかも、図示例によれば前記各枠材５２
ａ，５２ｃの嵌着端の肉厚を前記リブ等のの基端の肉厚
より僅かに厚く設定してある。そのため、種類の異なる
ウェハ押圧部材１５であっても、容易に嵌着位置が決め
やすく、同時に嵌着操作を容易にし、矩形枠体５１の長
辺をなす枠材５２ａ，５２ａを対応する部位にある前記
２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄの間に押し込むととも
に、短辺をなす各枠材５２ｃ，５２ｃを各一対の短尺リ
ブ４４ｆ及び係止突起４４ｇの内面に沿わせて押し込む
につれて、挟着リブ４４ｄ，４４ｄによる挟持力が増加
し、また短尺リブ４４ｅによる短辺をなす各枠材５２
ｃ，５２ｃに対する外側からの当接力が増加し、同時に
前記係止突起４４ｇの膨出頭部４４ｇ′が同枠材５２
ｃ，５２ｃに係合し、上記起立片４４ｅの膨出係止部４
４ｅ′による押圧係止と相まって枠体５１を蓋体１４の
天板部内面に強く押し付けて強力に固定する。

【００３０】ボトムケース体１２の開放端部及び上記蓋
体１４の各開放端部の頂部にはＵ字状のガスケット挿入
溝２８, ４５が全周にわたって形成されている。本実施
例にあっては、前記ガスケット挿入溝２７, ４５は互い
に略同一の端面形状に形成されており、前記ボトムケー
ス体１２のガスケット挿入溝２８は前記蓋体１４のガス
ケット挿入溝４５よりも深く形成されている。

【００３１】各ガスケット挿入溝２８, ４５に挿入され
るガスケット１６は、本発明の主要な構成部材をなして
おり、その密閉構造を図９に、ガスケット形態を図１０
に示す。前記ガスケット１６は前記ボトムケース体１２
及び蓋体１４に形成された前記ガスケット挿入溝２８,
４５の開放端と同一の矩形環状体からなり、その材質は
揮発性成分が非常に少ない樹脂であることが好ましく、
機械的性質並びに成形性等からポリエステルエラストマ
ー等が採用される。このガスケット１６は、全周にわた
って外側面の中央部になだらかな膨出部１６ａを有する
と共に、その内側面の中央部には略矩形断面を有する突
部１６ｂが同内側面に対して直角に突出している。前記
膨出部１６ａの膨出基部アール（Ｒ）は前記突部１６ｂ
の突出基部におけるアールよりも小さく設定されてい
る。

【００３２】更に、前記ガスケット１６は本発明にとっ
て最も特徴部をなす特有の端縁形態を有している。すな
わち、本実施例にあっては、図１０に示すようにガスケ
ット１６の上下端縁部における前記内側面はほぼ平坦面
１６ｅを呈しているが、前記外側面は内側面の端縁に向
けて傾斜する湾曲面１６ｄとされており、各端縁部とも
に先細状に形成され、上下対称の断面形状をなしてい
る。前記ガスケット１６の縦方向（上下）の長さは、前
記ボトムケース体１２及び蓋体１４に形成された各ガス
ケット挿入溝２８, ４５の深さの和よりも大きく設定さ
れており、同ガスケット１６の中央部における膨出部１
６ａ及び突部１６ｂの肉厚は略同一に設定され、更に同
膨出部１６ａ及び突部１６ｂの肉厚を含む中央部の全肉
厚は前記ボトムケース体１２のガスケット挿入溝２８の
溝幅よりも僅かに大きく設定されている。

【００３３】このガスケット１６を前記ボトムケース体
１２のガスケット挿入溝２８に、前記突部１６ｂが同溝
２７内に完全に嵌着されるまで押し込む。このとき、同
ガスケット１６の中央部は前記溝２８の幅よりも僅かに
大きな厚みを有しているため多少の弾性抵抗を感じる。
そのため、ガスケット１６がボトムケース体１２のガス
ケット挿入溝２８内に保持され、容易に抜け出すことが
ない。そして、上述したように前記ガスケット１６は上
下対称の形状をなすため上下方向の確認が不要であるば
かりでなく、従来のようにボトムケース体と蓋体とのガ
スケット挿入溝の端面間で挟持される突条がないため、
前記ガスケット挿入溝２８の溝端面に係合させる必要も
なく、その挿入作業は格段に簡素化される。

【００３４】ところで、前記ガスケット挿入溝２８内に
嵌入されたガスケット１６は、上述したようにその上下
の高さが前記ボトムケース体１２及び蓋体１４の各ガス
ケット挿入溝２８, ４５の深さの和よりも大きく設定さ
れているため、同ガスケット１６の中央に形成された前
記膨出部１６ａ及び突条１６ｂが前記ガスケット挿入溝
２８内に完全に挿入されるまで同ガスケット１６を押し
込むと、図９に実線で示すように、その下端部１６ｃの
湾曲面１６ｄがガスケット挿入溝２７の底面に沿って案
内され、必然的にボトムケース体１２の内側方向に湾曲
する。

【００３５】上述のようにガスケット１６が装着された
前記ボトムケース体１２に半導体ウェハを起立して並列
支持されている前記ウェハキャリア１３を収容し、同ケ
ース体１２に蓋体１４を被せると、前記ガスケット１６
の上端部１６ｃが蓋体１４のガスケット挿入溝４５に嵌
入する。このとき、前記蓋体１４を上面からボトムケー
ス体１２に向けて強く押し付けると、蓋体１４の前後中
央部に垂設された係着片４２ａ，４２ｂが弾性変形しな
がらボトムケース体１２の嵌合膨出部２６ｃ′，２６
ｃ′に乗り上がり、更に押されると前記係着片４２ａ，
４２ｂに形成されている係着孔４２ａ′，４２ｂ′が前
記ボトムケース体１２の嵌合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′
と嵌着して原形に復帰し、ボトムケース体１２と蓋体１
４との嵌合固定を更に強力なものとする。

【００３６】このとき、前記ガスケット１６の上端部１
６ｃは、前述のように前記蓋体１４のガスケット挿入溝
４５内に嵌入されるが、前記上端部１６ｃの厚みは前記
挿入溝４５の溝幅よりも小さいため、その嵌入に手間取
ることもなく確実に嵌入する。前記蓋体１４のガスケッ
ト挿入溝４５内に嵌入されたガスケット１６の上端部１
６ｃは、同上端部１６ｃの断面形状が下端部のそれと同
一であるため、前記ボトムケース体１２のガスケット挿
入溝２７内に嵌入された下端部１６ｃと同様に必然的に
内側に湾曲した状態となり、同挿入溝４５の底面に密着
する。また、本実施例ではガスケット１６の上記膨出部
１６ａ及び突条１６ｂの中央に上下端部１６ｃを延設さ
せているため、嵌入時の同ガスケット１６は各ガスケッ
ト挿入溝２８，４５の底部中央に嵌入させられ、上下端
部１６ｃが必ず容器内方に湾曲する。また、前記膨出部
１６ａ及び突条１６ｂはその端面が平坦に形成されてい
るため、前記ガスケット１６を前記ガスケット挿入溝２
８に挿入されたときに、同膨出部１６ａ及び突条１６ｂ
は前記溝２８の内壁面に密接し、同溝２８内に安定して
保持される。

【００３７】このように、前記ガスケット１６はその上
下端部１６ｃが湾曲して前記ボトムケース体１２及び蓋
体１４のガスケット挿入溝２７, ４５の底面にそれぞれ
密接されるため、通常の状態では前記ボトムケース体１
２と蓋体１４は確実に密閉シールされ、外気の侵入が完
全に遮断され、空気中の微細な塵芥や湿気の容器内への
侵入が阻止される。

【００３８】また、上述のように密閉シールされたウェ
ハ包装容器１０は、保管中に内外気圧の変化に伴って容
器内の気圧が上昇しると、図９に矢印で示す方向に内圧
が作用し、ボトムケース体１２と蓋体１４とが離間する
方向に僅かに移動するが、前記湾曲長さを十分に設定し
ておけば、前記ガスケット１６の上端部１６ｃの湾曲側
内面で前記内圧を受けることになり、同上端部１６ｃは
より強く前記ガスケット挿入溝４５の底面に押し付けら
れ、その密閉性を確保する。また、前述のように容器の
ない外圧の変化に限らず、外部からウェハ包装容器１０
に衝撃力が加わって、容器が僅かに変形しても前記ガス
ケット１６は前記ボトムケース体１２及び蓋体１４のガ
スケット挿入溝３７, ４５の底部に接近分だけ大きく湾
曲し、更に密閉性を高めるため、外気の侵入による容器
内の空気汚染の恐れはない。

【００３９】図１１は、上記ガスケットの他の実施例に
よる容器密閉時の断面図である。同図から理解できるよ
うに、本実施例のガスケット１６０は上記実施例におけ
る２個のガスケット１６からなり、その膨出部１６ａを
互いに結合一体化させた断面形態を有している。この実
施例では、ガスケット挿入溝２８，４５を２重のシール
により密閉することになり、その密閉性を向上させるば
かりでなく、仮に内外圧の差が激しくても互いにその上
端部１６０ｃの湾曲内面をもってそれぞれに圧力を受け
るため、上記実施例以上の密閉性が保障される。図１２
は、図１１に示したガスケット１６０の変形例を示して
おり、ガスケット１６０′の側面中央部を外方に膨出さ
せて膨出部１６０ａ′とすると共に、側面中央部の内側
を連結条片１６０ｂ′をもって連結したものである。そ
の機能は図１１の実施例と同様である。なお、これらの
実施例では左右の一対のガスケット形態をいずれも上述
した実施例のガスケット１６と同様の形態を採用してい
るが、少なくとも容器内側に配するガスケット部分のみ
の上下端部の内側面を湾曲させるだけでも、上記機能を
奏する場合があり、その場合、他方の容器外側に配する
ガスケット部分はその上下端部を湾曲面とせずに平坦面
として形成すればよい。

【００４０】以上の説明は、半導体ウェハの包装容器に
おける密閉構造を具体的に説明したか、本発明は前記包
装容器に限定されるものでなく、既述したように特に外
気の侵入を嫌う物品に好適であることから同種の物品を
収容する容器であれば全て適用できることが理解されよ
う。

【００４１】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の包装容器の密閉構造によれば、例えば激しい取扱い
を受けたり、或いは内外気圧差が生じてケース体と蓋体
との間に多少の隙間が発生しても、常に完全な密閉性が
確保され、しかも構造が簡単でガスケットの装着作業も
極めて容易であり、外気との接触を嫌う収容物を確実に
且つ安全に保管し、移動や輸送が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の代表的な実施例を示す半導体ウェハ包
装容器の分解斜視図である。

【図２】前記半導体ウェハ包装容器の構成部材であるボ
トムケース体の半部を断面で示す側面図である。

【図３】同正面図である。

【図４】同ボトムケース体の底面図である。

【図５】前記半導体ウェハ包装容器の構成部材である蓋
体の半部を断面で示す側面図である。

【図６】同正面図である。

【図７】同蓋体の上面図である。

【図８】同底面図である。

【図９】本発明の代表的な実施例であるガスケットを適
用した密閉シール構造を示す要部の断面図である。

【図１０】前記シール構造に適用されるガスケットの部
分斜視図である。

【図１１】前記シール構造に適用される他の代表的な実
施例であるガスケットの部分斜視図である。

【図１２】前記ガスケットの変形例を示す本発明の密閉
シール構造の要部断面図である。

【図１３】従来の一般的なガスケット構造を示す部分斜
視図である。

【符号の説明】

１０ 半導体ウェハ包装容器 １２ ボトムケース体 １３ ウェハキャリア １４ 蓋体 １５ ウェハ押圧部材 １６ ガスケット １６ａ 膨出部 １６ｂ 突部 １６ｃ 上下端部 １６ｄ 湾曲面 １６ｅ 平坦面 ２１，２２ 左右側壁部 ２１ａ，２２ａ 鉛直面部 ２１ｂ，２２ｂ 湾曲面部 ２３ 前壁部 ２３ａ 凹み部 ２４ 後壁部 ２５ 底部 ２５ａ 帯状部分 ２５ａ′ 中央部 ２５ｂ 基部 ２５ｂ′ 空間部 ２６ａ 本体部分 ２６ｂ 外側屈曲部分（外側面部
分） ２６ｃ 凹み部 ２６ｃ′ 嵌合膨出部 ２７ 補強リブ ２８ ガスケット挿入溝 ３１，３２ 左右側板 ３１ａ，３２ａ 鉛直面部 ３１ｂ，３２ｂ 湾曲面部 ３１ｂ′，３２ｂ′ ウェハ支持溝 ３１ｃ，３２ｃ リブ ３３ 背板 ３４ 連結バー ４１ａ，４１ｂ 左右側壁 ４２ａ，４２ｂ 矩形状係着片 ４２ａ′，４２ｂ′ 矩形状係着孔 ４３ａ，４３ｂ 左右フランジ部 ４４ 天板部 ４４ａ〜４４ｃ ブロック状突出部 ４４ａ′ 凹み面 ４４ｄ 挟着リブ ４４ｄ′ 液体流路 ４４ｅ 起立片 ４４ｅ′ 膨出係止部 ４４ｆ 短尺リブ ４４ｇ 係止突起 ４４ｇ′ 膨出係止部 ４５ ガスケット挿入溝 ５１ 矩形枠体 ５２ａ，５２ｃ 枠材 ５３ 弾性片 ５３ａ，５３ｂ 第１及び第２弾性片 ５３ａ′，５３ｂ′ ウェハ押圧部

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケース本体及び蓋体の開放端縁端面に形
   成され方ガスケット挿入溝に挿入して容器を密閉するた
   めのガスケットであって、 単一の帯状材から構成される環状体であり、その断面形
   状が高さ方向に上下対称であって、一方の側面が平坦面
   とされ、他の側面の上下端部が湾曲面をなしており、そ
   の高さ方向の略中央部に左右に突出する突設部を備えて
   なることを特徴とするガスケット。
2. 【請求項２】 ケース本体及び蓋体の開放端縁端面に形
   成されたガスケット挿入溝に挿入して容器を密閉するた
   めのガスケットであって、 ２枚の帯状材がその高さ方向の中央部で連結された断面
   略Ｈ字状をなし、前記中央部の外側面から外方に突出す
   る突出部を備え、上下両端部の対向する少なくとも一つ
   の内側面が湾曲面をなしていることを特徴とするガスケ
   ット。
3. 【請求項３】 前記突出部の一つは外面が上下に湾曲す
   る膨出部からなり、左右突出部の端面を結ぶ寸法が、ボ
   トムケース体の上記ガスケット挿入溝の溝幅より僅かに
   大きく設定されてなる請求項１又は２記載の密閉構造。
4. 【請求項４】 ケース本体及び蓋体の開放端縁端面にガ
   スケット挿入溝を形成し、同各挿入溝にガスケットの上
   下端縁部を嵌入して前記ケース本体及び蓋体の間の隙間
   をシールする容器の密閉構造において、 前記ケース本体及び蓋体のガスケット挿入溝は、互いに
   略同一の端面形状をなし、前記ガスケットはそれぞれの
   前記ガスケット挿入溝の深さの和よりも大きい高さを有
   する環状体からなり、その高さの中央部が前記ガスケッ
   ト挿入溝の幅よりも僅かに大きな厚みとなるように突出
   形成されるともに、その端縁は湾曲側とは反対側の側面
   が湾曲面とされて先端に向けて肉薄とされ、同ガスケッ
   トが前記ガスケット挿入溝に挿入されたとき、前記湾曲
   面が前記ガスケット挿入溝の底面に案内されて所定の方
   向に湾曲し密着することを特徴とする容器の密閉構造。
5. 【請求項５】 前記ガスケットが単一の帯状材から構成
   され、その断面形状が高さ方向に上下対称であって、前
   記湾曲面が外側面の上下端縁部に形成されてなる請求項
   ４記載の密閉構造。
6. 【請求項６】 前記ガスケットは２枚の帯状材がその高
   さ方向の中央部で連結された断面略Ｈ字状であり、前記
   湾曲面が前記各帯状材の対向端縁部に形成されてなる請
   求項４記載の密閉構造。
7. 【請求項７】 前記突出部がガスケットの高さの中央部
   において左右両面に突出してなる請求項４〜６のいずれ
   かに記載の密閉構造。
8. 【請求項８】 前記突出部の一つは外面が上下に湾曲す
   る膨出部からなり、左右突出部の端面を結ぶ寸法が、ボ
   トムケース体の上記ガスケット挿入溝の溝幅より僅かに
   大きく設定されてなる請求項７記載の密閉構造。