JPH10185675A - 超音波洗浄装置用音圧センサ - Google Patents
超音波洗浄装置用音圧センサInfo
- Publication number
- JPH10185675A JPH10185675A JP8343698A JP34369896A JPH10185675A JP H10185675 A JPH10185675 A JP H10185675A JP 8343698 A JP8343698 A JP 8343698A JP 34369896 A JP34369896 A JP 34369896A JP H10185675 A JPH10185675 A JP H10185675A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sound pressure
- ultrasonic
- pressure sensor
- unit
- ultrasonic wave
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- Pending
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 音圧センサに用いられるピックアップの感度
にバラツキがある場合でも、感度補正を行うことができ
る超音波洗浄装置用音圧センサを提供することにある。 【解決手段】 超音波を受信する受信部１１と、この受
信部で受信された超音波を電気信号に変換するピックア
ップ部２２と、このピックアップ部から出力される超音
波信号を検波する検波部３２と、この検波部で検波され
た信号を可変増幅する可変増幅部３５と、この可変増幅
部で可変増幅された信号に応じて超音波の音圧を表示す
る表示部１４とから構成される。
にバラツキがある場合でも、感度補正を行うことができ
る超音波洗浄装置用音圧センサを提供することにある。 【解決手段】 超音波を受信する受信部１１と、この受
信部で受信された超音波を電気信号に変換するピックア
ップ部２２と、このピックアップ部から出力される超音
波信号を検波する検波部３２と、この検波部で検波され
た信号を可変増幅する可変増幅部３５と、この可変増幅
部で可変増幅された信号に応じて超音波の音圧を表示す
る表示部１４とから構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被洗浄物を洗浄する
洗浄液に超音波振動を付与するために用いられる超音波
洗浄装置の超音波の音圧を測定する超音波洗浄装置用音
圧センサに関する。
洗浄液に超音波振動を付与するために用いられる超音波
洗浄装置の超音波の音圧を測定する超音波洗浄装置用音
圧センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば液晶製造装置や半導体製造装置
においては、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被
洗浄物を高い清浄度で洗浄することが要求される工程が
ある。上記被洗浄物を洗浄する方式としては、洗浄液中
に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ方式や被洗浄物
に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄する枚葉方式が
あり、最近では高い清浄度が得られるとともに、コスト
的に有利な枚葉方式が採用されることが多くなってきて
いる。
においては、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被
洗浄物を高い清浄度で洗浄することが要求される工程が
ある。上記被洗浄物を洗浄する方式としては、洗浄液中
に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ方式や被洗浄物
に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄する枚葉方式が
あり、最近では高い清浄度が得られるとともに、コスト
的に有利な枚葉方式が採用されることが多くなってきて
いる。
【０００３】枚葉方式の１つとして被洗浄物に噴射され
る洗浄液に超音波振動を付与し、その振動作用によって
上記被洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした
洗浄方式が実用化されている。
る洗浄液に超音波振動を付与し、その振動作用によって
上記被洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした
洗浄方式が実用化されている。
【０００４】洗浄液に付与する振動は、従来は20〜50ｋ
Ｈｚ程度の超音波であったが、最近では600 〜2000ｋＨ
ｚ程度の極超音波帯域の音波を付与する超音波洗浄装置
が開発されている。
Ｈｚ程度の超音波であったが、最近では600 〜2000ｋＨ
ｚ程度の極超音波帯域の音波を付与する超音波洗浄装置
が開発されている。
【０００５】ところで、上記超音波洗浄装置は装置本体
を有し、この装置本体には振動子が取り付けられた振動
板が設けられている。上記振動子には超音波発振器が接
続される。この超音波発振器は所定の周波数の電力を出
力し、その電力を上記振動子に印加する。それによっ
て、上記振動子が超音波振動するから、その超音波振動
に上記振動板が連動し、この振動板によって洗浄液に超
音波振動が付与されるようになっている。
を有し、この装置本体には振動子が取り付けられた振動
板が設けられている。上記振動子には超音波発振器が接
続される。この超音波発振器は所定の周波数の電力を出
力し、その電力を上記振動子に印加する。それによっ
て、上記振動子が超音波振動するから、その超音波振動
に上記振動板が連動し、この振動板によって洗浄液に超
音波振動が付与されるようになっている。
【０００６】このような超音波洗浄装置においては、装
置内の超音波の音圧を音圧センサを用いて測定するよう
にしている。この音圧センサは、超音波を検出する圧電
素子をピックアップとして用い、このピックアップで検
出した超音波の大きさに比例した電圧信号を検波回路で
検出し、この検波回路で検出した電圧信号でメ−タを振
らせるようにしている。
置内の超音波の音圧を音圧センサを用いて測定するよう
にしている。この音圧センサは、超音波を検出する圧電
素子をピックアップとして用い、このピックアップで検
出した超音波の大きさに比例した電圧信号を検波回路で
検出し、この検波回路で検出した電圧信号でメ−タを振
らせるようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この音圧セン
サに用いられているピックアップの感度にはバラツキが
あるため、検波回路で検出した電圧信号に対して感度補
正をするために係数を掛けるようにしている。
サに用いられているピックアップの感度にはバラツキが
あるため、検波回路で検出した電圧信号に対して感度補
正をするために係数を掛けるようにしている。
【０００８】しかし、このように係数を固定してしまう
と、ピックアップを交換した場合に、感度補正が正確に
行うことができなくなるという問題がある。本発明は上
記の点に鑑みてなされたもので、その目的は、音圧セン
サに用いられるピックアップの感度にバラツキがある場
合でも、感度補正を行うことができる超音波洗浄装置用
音圧センサを提供することにある。
と、ピックアップを交換した場合に、感度補正が正確に
行うことができなくなるという問題がある。本発明は上
記の点に鑑みてなされたもので、その目的は、音圧セン
サに用いられるピックアップの感度にバラツキがある場
合でも、感度補正を行うことができる超音波洗浄装置用
音圧センサを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に係わる超音波
洗浄装置用音圧センサは、超音波を受信する受信部と、
この受信部で受信された超音波信号を検波する検波部
と、この検波部で検波された信号を可変増幅する可変増
幅部と、この可変増幅部で可変増幅された音圧を表示す
る表示部とを具備したことを特徴とする。
洗浄装置用音圧センサは、超音波を受信する受信部と、
この受信部で受信された超音波信号を検波する検波部
と、この検波部で検波された信号を可変増幅する可変増
幅部と、この可変増幅部で可変増幅された音圧を表示す
る表示部とを具備したことを特徴とする。
【００１０】このように構成することにより、検波部と
して用いられる圧電素子の感度にバラツキがある場合で
も、可変増幅部の増幅度を可変することにより、感度を
補正することができる。請求項２に係わる超音波洗浄装
置用音圧センサに用いられる可変増幅部は外部操作によ
り増幅度を可変することができることを特徴とする。
して用いられる圧電素子の感度にバラツキがある場合で
も、可変増幅部の増幅度を可変することにより、感度を
補正することができる。請求項２に係わる超音波洗浄装
置用音圧センサに用いられる可変増幅部は外部操作によ
り増幅度を可変することができることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の一実
施の形態について図面を参照して説明する。図１は超音
波洗浄装置用音圧センサ１０について説明する。図１に
おいて、１１は超音波を受信する受信部としての感応片
である。この感応片１１の端面には後述する圧電素子が
圧接されている。
施の形態について図面を参照して説明する。図１は超音
波洗浄装置用音圧センサ１０について説明する。図１に
おいて、１１は超音波を受信する受信部としての感応片
である。この感応片１１の端面には後述する圧電素子が
圧接されている。
【００１２】また、１２はオペレ−タがセンサを掴む把
持部である。この把持部１２内には、検波回路及び感度
補正回路が内蔵されている。そして、把持部１２は、ケ
−ブル１３を介してメ−タ１４が接続される。このメ−
タ１４には、音圧が指針で表示される。
持部である。この把持部１２内には、検波回路及び感度
補正回路が内蔵されている。そして、把持部１２は、ケ
−ブル１３を介してメ−タ１４が接続される。このメ−
タ１４には、音圧が指針で表示される。
【００１３】次に、図２を参照して、把握部１２に内蔵
される電気回路のブロック図を示す。図２において、１
１は超音波を受信する受信部である。この受信部１１の
出力はピックアップ部２２に入力される。このピックア
ップ部２２により、超音波信号が検波される。
される電気回路のブロック図を示す。図２において、１
１は超音波を受信する受信部である。この受信部１１の
出力はピックアップ部２２に入力される。このピックア
ップ部２２により、超音波信号が検波される。
【００１４】そして、このピックアップ部２２で検波さ
れた超音波信号は、感度補正回路２３に出力される。こ
の受信部１１、ピックアップ部２２、感度補正回路２３
の詳細な説明については図３を参照して後述する。
れた超音波信号は、感度補正回路２３に出力される。こ
の受信部１１、ピックアップ部２２、感度補正回路２３
の詳細な説明については図３を参照して後述する。
【００１５】図３において、１１は感応片であり、この
感応片１１中を超音波が伝搬する。そして、この感応片
１１の端部には圧電セラミック２１が圧接されている。
この圧電セラミック２１の両端には、抵抗３１が接続さ
れている。この抵抗３１の一端はダイオ−ド３２、コン
デンサ３３が接続される。このコンデンサ３３の両端に
は抵抗３４が接続される。
感応片１１中を超音波が伝搬する。そして、この感応片
１１の端部には圧電セラミック２１が圧接されている。
この圧電セラミック２１の両端には、抵抗３１が接続さ
れている。この抵抗３１の一端はダイオ−ド３２、コン
デンサ３３が接続される。このコンデンサ３３の両端に
は抵抗３４が接続される。
【００１６】さらに、この抵抗３４の非接地側端子は増
幅回路３５の＋端子に入力される。この増幅回路３５は
抵抗３６を介して接地される。さらに、増幅回路３５の
出力は可変抵抗であるフィ−ドバック抵抗３７を介して
抵抗３６の非接地側端子に接続される。このフィ−ドバ
ック抵抗３７は外部操作により可変可能である。
幅回路３５の＋端子に入力される。この増幅回路３５は
抵抗３６を介して接地される。さらに、増幅回路３５の
出力は可変抵抗であるフィ−ドバック抵抗３７を介して
抵抗３６の非接地側端子に接続される。このフィ−ドバ
ック抵抗３７は外部操作により可変可能である。
【００１７】次に、図４を参照して、超音波洗浄装置用
音圧センサの詳細な構成について説明する。図４は音圧
センサ１０の断面図である。図に示すように、感応片１
１の一端はロ−ト形状をなす底部１１ａを有する。
音圧センサの詳細な構成について説明する。図４は音圧
センサ１０の断面図である。図に示すように、感応片１
１の一端はロ−ト形状をなす底部１１ａを有する。
【００１８】把持部１２は円筒形状をなしている。そし
て、把持部１２の一端には、圧電セラミック２１を収納
する室４１が設けられている。この把持部１２の一端に
おいて、感応片１１の底部１１ａが圧電セラミック２１
を圧接するように、カバ−４２がねじ込まれている。
て、把持部１２の一端には、圧電セラミック２１を収納
する室４１が設けられている。この把持部１２の一端に
おいて、感応片１１の底部１１ａが圧電セラミック２１
を圧接するように、カバ−４２がねじ込まれている。
【００１９】また、把持部１２の中央部には、増幅回路
３５が内蔵されている。上記圧電セラミック２１と増幅
器３５との間は、入力ケ−ブル４３で接続されている。
また、上記把持部１２の他端には、バックカバ−４４が
嵌挿される。このバックカバ−４４には、貫通穴４５が
設けられている。
３５が内蔵されている。上記圧電セラミック２１と増幅
器３５との間は、入力ケ−ブル４３で接続されている。
また、上記把持部１２の他端には、バックカバ−４４が
嵌挿される。このバックカバ−４４には、貫通穴４５が
設けられている。
【００２０】この貫通穴４５を介して出力ケ−ブル４６
がメ−タ１４に接続されている。次に、上記のように構
成された本発明の一実施の形態の動作について説明す
る。この超音波洗浄装置用音圧センサ１０は超音波洗浄
装置のように、超音波を用いてウェハのような被洗浄物
を洗浄する装置において、超音波洗浄装置で発生する超
音波の音圧を検出するためのセンサである。
がメ−タ１４に接続されている。次に、上記のように構
成された本発明の一実施の形態の動作について説明す
る。この超音波洗浄装置用音圧センサ１０は超音波洗浄
装置のように、超音波を用いてウェハのような被洗浄物
を洗浄する装置において、超音波洗浄装置で発生する超
音波の音圧を検出するためのセンサである。
【００２１】つまり、このような超音波洗浄装置におい
て、オペレ−タは把持部１２を掴んで、感応片１１の先
端が計測しようとする超音波の経路中に来るように配置
させる。
て、オペレ−タは把持部１２を掴んで、感応片１１の先
端が計測しようとする超音波の経路中に来るように配置
させる。
【００２２】以下、図３を参照して説明する。図３にお
いて、感応片１１を伝搬する超音波は、ピックアップ部
２２で入射される。このピックアップ部２２は超音波の
大きさに比例した高周波電圧ａを発生する圧電素子であ
る。
いて、感応片１１を伝搬する超音波は、ピックアップ部
２２で入射される。このピックアップ部２２は超音波の
大きさに比例した高周波電圧ａを発生する圧電素子であ
る。
【００２３】この高周波電圧ａはダイオ−ド３２を介し
て検波される。この検波された検波信号ｂは増幅器３５
に入力される。そして、この増幅器３５により、検波信
号ａが増幅される。
て検波される。この検波された検波信号ｂは増幅器３５
に入力される。そして、この増幅器３５により、検波信
号ａが増幅される。
【００２４】この検波信号ａの増幅度はフィ−ドバック
抵抗３７により可変可能である。そして、この増幅器３
５から出力される信号ｃは、メ−タ１１に出力される。
このメ−タ１１において、超音波に比例するようにメ−
タ１１の指針が振れる。
抵抗３７により可変可能である。そして、この増幅器３
５から出力される信号ｃは、メ−タ１１に出力される。
このメ−タ１１において、超音波に比例するようにメ−
タ１１の指針が振れる。
【００２５】ところで、増幅器３５において、フィ−ド
バック抵抗３７を可変とすることにより、増幅器３５の
増幅度を可変とすることができる。このように増幅器３
５の増幅度を可変とすることにより、ダイオ−ド３２よ
り構成されるピックアップ部２２の特性にバラツキがあ
った場合でも、外部操作により増幅度を可変とすること
により、そのバラツキを吸収することができる。
バック抵抗３７を可変とすることにより、増幅器３５の
増幅度を可変とすることができる。このように増幅器３
５の増幅度を可変とすることにより、ダイオ−ド３２よ
り構成されるピックアップ部２２の特性にバラツキがあ
った場合でも、外部操作により増幅度を可変とすること
により、そのバラツキを吸収することができる。
【００２６】
【発明の効果】請求項１及び２記載の発明によれば、ピ
ックアップの感度にバラツキがある場合でも、超音波洗
浄装置で用いられる超音波の大きさを正確に計測するこ
とができる超音波洗浄装置用音圧センサを提供すること
ができる。
ックアップの感度にバラツキがある場合でも、超音波洗
浄装置で用いられる超音波の大きさを正確に計測するこ
とができる超音波洗浄装置用音圧センサを提供すること
ができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係わる超音波洗浄装置
用音圧センサの斜視図。
用音圧センサの斜視図。
【図２】同音圧センサに内蔵される電気回路のブロック
図。
図。
【図３】同電気回路の詳細な回路図。
【図４】超音波洗浄装置用音圧センサの断面図。
１１…感応片、１２…把持部、１３…ケ−ブル、１４…
メ−タ、２２…ピックアップ部、２３…感度補正回路、
３１，３４，３６…抵抗、３２…ダイオ−ド、３３…コ
ンデンサ、３５…増幅回路、３７…フィ−ドバック抵
抗。
メ−タ、２２…ピックアップ部、２３…感度補正回路、
３１，３４，３６…抵抗、３２…ダイオ−ド、３３…コ
ンデンサ、３５…増幅回路、３７…フィ−ドバック抵
抗。
Claims (2)
- 【請求項１】 超音波を受信する受信部と、 この受信部で受信された超音波を電気信号に変換するピ
ックアップ部と、 このピックアップ部から出力される超音波信号を検波す
る検波部と、 この検波部で検波された信号を可変増幅する可変増幅部
と、 この可変増幅部で可変増幅された信号に応じて超音波の
音圧を表示する表示部とを具備したことを特徴とする超
音波洗浄装置用音圧センサ。 - 【請求項２】 上記可変増幅部は外部操作により増幅度
を可変することができることを特徴とする超音波洗浄装
置用音圧センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8343698A JPH10185675A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 超音波洗浄装置用音圧センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8343698A JPH10185675A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 超音波洗浄装置用音圧センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185675A true JPH10185675A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18363568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8343698A Pending JPH10185675A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 超音波洗浄装置用音圧センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10185675A (ja) |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP8343698A patent/JPH10185675A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050216 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20070419 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070515 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20071002 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |