JPH10185996A - Ｔａｂハンドラのｉｃチップの接触位置決め機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＴＡＢハンドラの初期設定におけるＩＣチッ
プ１Ａとプローブ８Ａを位置合せにおいて、プローブ８
Ａ及びＴＡＢを保護でき、調整時間を短縮できる接触位
置決め機構を提供する。 【解決手段】 位置判定手段９ＡはＴＡＢテープ１を昇
降するプッシャ５の昇降位置を記憶する。選択手段９Ｂ
は、方向スイッチ６３による移動入力を保留し、ＴＡＢ
テープ１を上昇させてからプローブカード８を移動し、
プローブカード８が移動停止してから、ＴＡＢテープ１
を下降させる。初期調整におけるプローブ８Ａ及びＴＡ
Ｂを保護できる。また、前記プッシャを手動で昇降させ
なくても良いので調整時間が短縮できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【発明の属する技術分野】この発明は、ＴＡＢハンドラ
のＩＣチップの接触位置決め機構についてのものであ
る。特に、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂ
ｏｎｄｉｎｇ）テープに実装されるＩＣチップとプロー
ブとの接触位置決め機構についてのものである。

【０００２】

【従来の技術】次に、従来技術によるＴＡＢハンドラの
構成を図３により説明する。図３の１はＴＡＢテープ、
２Ａは供給リール、２Ｂは収容リール、３は張巻機構、
４Ａ〜４Ｄはスプロケットである。また、図３の５と６
はプッシャ、７Ａ〜７Ｄはセンサ、８はプローブカー
ド、１０は付装テープ、１１Ａと１１Ｂは傾斜ガイドで
ある。

【０００３】図３では、供給リール２Ａに測定前のＴＡ
Ｂテープ１を巻き付けておく。収容リール２Ｂは測定後
のＴＡＢテープ１を巻き取る。スプロケット４Ａ〜４Ｄ
はＴＡＢテープ１を搬送する。プッシャ５はＴＡＢテー
プ１をプローブカード８のプローブ８Ａに押し付ける。

【０００４】傾斜ガイド１１Ａ・１１Ｂはリール出入口
部においてＴＡＢテープ１を案内する。センサ７Ａ〜７
Ｄは垂下するＴＡＢテープ１の有無を検出する。付装テ
ープ１０はＴＡＢテープ１に重装され、供給リール１Ａ
または収容リール１Ｂに巻かれた状態で、ＴＡＢテープ
１同士が接触または破損することを防止する。

【０００５】張巻機構３は、回転中心を固定するプーリ
３Ａ・３Ｂと、付装テープ１０を自重で押下するテンシ
ョンプーリ３Ｃで構成される。張巻機構３は、付装テー
プ１０に負荷をかけることによりＴＡＢテープ１がリー
ルに緩く巻かれることを防止している。

【０００６】図３では、供給リール２Ａが回転してＴＡ
Ｂテープ１をプッシャ５側に供給する。スプロケット４
Ｂとスプロケット４Ｃが同期回転してＴＡＢテープを走
行させ、プッシャ５がＴＡＢテープ１を押下してＴＡＢ
テープ１のＩＣチップをプローブ８Ａに接触させて前記
ＩＣチップを順次試験する。測定終了後のＴＡＢテープ
１は収容リール２Ｂ側に搬送され、収容リール２Ｂに収
容される。

【０００７】図３において、ＴＡＢハンドラを稼働させ
るためには、予め、ＩＣチップとプローブとの接触位置
を調整しておく必要がある。図４はＴＡＢテープの部分
拡大図であり、図４の１ＡはＩＣチップ、１Ｂはリー
ド、１Ｃはテストパッド、１Ｄはレジストである。

【０００８】図４において、テープ状のフィルムにＩＣ
チップＩＡが実装されている。ＩＣチップ１Ａの端子と
なる導体のリード１ＢはＴＡＢテープ上に接合され、リ
ード１Ｂの端末はテストパッド１ＣとしてＴＡＢテープ
上に配列されている。そして、ＩＣチップ１Ａを中心と
してリード１Ｂはレジスト１Ｄで被覆されている。

【０００９】このように、ＩＣチップ１Ａからレジスト
１Ｄを一体としたＴＡＢがＴＡＢテープ上に等ピッチで
繰り返し形成されている。そして、テストパッド１Ｃの
配列をもつプローブ８Ａをテストパッド１Ｃに位置合わ
せする。

【００１０】次に、プッシャの構成を図５により説明す
る。図５はプッシャの拡大斜視図である。図５の５Ａと
６Ａはモータである。

【００１１】図５では、モータ４Ｅはスプロケット４Ｂ
を回転し、モータ４Ｆはスプロケット４Ｃを回転する。
スプロケット４Ｂはアーム４Ｇで回転中心を保持され、
アーム４Ｇはブロック５Ｂの第１の側面に取り付けられ
る。スプロケット４Ｃはアーム４Ｈで回転中心を保持さ
れ、アーム４Ｈはブロック５Ｂの第２の側面に取り付け
られる。

【００１２】モータ５Ａはブロック５Ｂの上面に取り付
けられ、モータ５Ａの回転軸はボールねじ５Ｄに連結
し、ボールねじ５Ｄはプッシャ５に保持されるボールナ
ットと結合する。モータ５Ａが回転すると、プッシャ５
はガイド５Ｃに案内されて昇降する。

【００１３】モータ６ＡはＸテーブル１６Ａの前段上面
に取り付けられ、モータ６Ａの回転軸はＸテーブル１６
Ａに内蔵されるボールねじに連結し、前記ボールねじは
ブロック５Ｂに保持されるボールナットと結合する。モ
ータ６Ａが回転すると、ブロック５Ｂはガイド６Ｃに案
内されて昇降する。すなわち、プッシャ６は、スプロケ
ット４Ｂ・４Ｃと図示しないテープクランプとプッシャ
５を一体にして昇降する。図５ではモータ６ＡでＴＡＢ
１の昇降位置を粗調整し、モータ５Ａでプッシャ５によ
るＴＡＢ１の昇降位置を微調整している。

【００１４】図５において、モータ６Ａはモータ駆動回
路６１に接続している。モータ駆動回路６１は操作パネ
ルに配置される押しボタンスイッチ６２（以下、ＳＷ６
２の略称する）に接続している。ＳＷ６２をオンする
と、モータ６Ａが駆動してプッシャ５が下降する。ＳＷ
６２をオフすると、モータ６Ａが駆動してプッシャ６を
上昇させる。すなわち、ＳＷ６２を押し、ＴＡＢテープ
１をプローブ８Ａに接触させ、接触位置を後述するモニ
タテレビで確認する。

【００１５】図６は、プッシャ近傍の配置図であり、図
６アはプローブカードの平面図、図６イはプッシャの正
面図である。図６アにおいて、ＸＹステージ８０上に固
定された接続リング８Ｂに、プローブカード８は搭載さ
れている。つまみ８Ｘを回転すると、プローブカード８
をＸ方向に移動させ、つまみ８Ｙを回転すると、プロー
ブカード８をＹ方向に移動させる。

【００１６】図６イにおいて、ＸＹステージ８０の下方
には撮像手段となるモニタカメラ１２が配置され、プロ
ーブ８ＡとＴＡＢテープ１の表面を撮像する。そして、
モニタカメラ１２の映像は表示手段となるモニタテレビ
１３で表示され、プローブ８ＡとＩＣチップ１Ａの接触
状態を確認できる

【００１７】次に、テストパッドとプローブの初期合わ
せの手順を説明する。まず、ＴＡＢハンドラをマニアル
モードに切り換え、ＴＡＢテープ１の先頭デバイスをプ
ローブカード８上まで走行させる。以降の作業が初期合
わせの手順となる。まず、プッシャ５を下降させ、先頭
ＴＡＢをプローブ８Ａに接触させる。次に、モニタテレ
ビ１３にて接触状態を確認し、一旦、プッシャ６を上昇
させ、接触を解除する。そして、つまみ８Ｘまたはつま
み８Ｙを回転してプローブカード８の座標を調整し、接
触ずれ量を補正する。次に、プッシャ５を下降させ、再
度、接触状態を確認する。この調整作業をテストパッド
１Ｃとプローブ８Ａが位置合わせできるまで繰り返す。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】従来の位置調整機構
は、テストパッドとプローブが位置合わせできるまで、
プッシャを幾度か昇降させなければならないという問題
がある。更に、テストパッドとプローブが接触状態で、
間違ってプローブを移動してしまう可能性がある。

【００１９】この発明は、ＩＣチップとプローブを位置
合せする場合に、プローブカードを移動指令すると、プ
ッシャがＴＡＢテープを上昇させてから前記プローブカ
ードを移動し、前記プローブカードが移動停止した後、
前記プッシャが前記ＴＡＢテープを下降させることによ
り、初期調整における時間を短縮し、誤操作を防止する
機構を提供することを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、スプロケット４Ｂとスプロケット４Ｃ
が同期回転してＴＡＢテープ１を走行させ、プッシャ５
がＴＡＢテープ１を押下してＴＡＢテープ１のＩＣチッ
プ１Ａをプローブ８Ａに接触させてＩＣチップ１Ａを順
次試験するＴＡＢハンドラであって、プッシャ５を昇降
させる昇降手段６Ａと、昇降手段６Ａを駆動する昇降出
力発生手段６１と、プッシャ５の昇降位置を検出する位
置検出手段６Ｆと、プローブ８Ａを上設するプローブカ
ード８を平面上のＸ方向に移動させる移動手段８ＭＸ
と、移動手段８ＭＸを駆動するＸ出力発生手段６Ｘと、
プローブカード８をＸ方向と直交する平面上のＹ方向に
移動させる移動手段８ＭＹと、移動手段８ＭＹを駆動す
るＹ出力発生手段６Ｙと、プローブカード８の移動方向
をＸ方向あるいはＹ方向に正負方向に切り換える方向ス
イッチ６３と、位置検出手段６Ｆによるプッシャ５の昇
降位置を記憶する位置判定手段９Ａと、昇降出力発生手
段６１とＸ出力発生手段６ＸとＹ出力発生手段６Ｙのい
ずれかに出力指令する選択手段９Ｂとで構成する制御部
９とを備え、方向スイッチ６３に移動出力が発生する
と、選択手段９Ｂは前記移動出力を停止して位置判定手
段９からプッシャ５の昇降位置を読み込み、選択手段９
Ｂはプッシャ５に上昇指令してプッシャ５が上昇停止確
認後、前記移動出力停止を解除する。

【００２１】更に、方向スイッチ６３の移動出力が停止
すると、選択手段９Ｂは位置判定手段９Ａからプッシャ
５の昇降位置を読み込み、選択手段９Ｂはプッシャ５に
下降指令する。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面を参照して説明する。図１は、この発明による接触
位置決め機構の一実施の形態に示す構成図であり、図５
に対応する。なお、図５と対応する構成品には同じ符号
を付し、以下、特に必要のない限り同符号の構成品の説
明は省略する。

【００２３】図１において、６Ｘと６Ｙはモータ駆動回
路、８ＭＸと８ＭＹはパルスモータ、９は位置判定手段
９Ａと選択手段９Ｂで構成される制御部、６３は方向ス
イッチである。

【００２４】図１において、Ｘ出力発生手段となるモー
タ駆動回路６Ｘは、モータ８ＭＸに駆動出力を送出す
る。Ｙ出力発生手段となるモータ駆動回路６Ｙは、モー
タ８ＭＹに駆動出力を送出する。第１の移動手段となる
モータ８ＭＸが駆動すると、プローブカード８を平面上
のＸ方向に移動させる。第２の移動手段となるモータ８
ＭＹが駆動すると、プローブカード８をＸ方向と直交す
る平面上のＹ方向に移動させる。

【００２５】スプロケット４Ｂ・４Ｃとプッシャ５を一
体にして昇降させるモータ６Ａの回転軸終端には、回転
検出板６Ｅが取り付けられる。検出器６Ｆは回転検出板
６Ｅのスリットの有無でモータ６Ａの回転数を検出す
る。検出器６Ｆの検出信号は位置判定手段９Ａに送出さ
れ、プッシャ５の昇降位置を記憶しておく。実施の形態
では、モータ６Ａの回転数をカウント数に置換して、記
憶する。

【００２６】選択手段９Ｂは、操作パネル上の方向スイ
ッチ６３に接続している。方向スイッチ６３は例えば、
ジョグスイッチであり、方向キーを４つ組み合わせたも
のでもよい。方向スイッチ６３で、プローブカード８の
移動方向をＸ方向あるいはＹ方向に正負方向に切り換え
ると、選択手段９Ｂは指定された方向を選択して、モー
タ駆動回路６Ｘあるいはモータ駆動回路６Ｙに出力指令
する。

【００２７】また、選択手段９Ｂは位置判定手段９Ａか
らプッシャ５の昇降位置を読み取り、モータ駆動回路６
１に出力指令するかを選択する。なお、制御部９内にお
ける位置判定手段９Ａと選択手段９Ｂは、図示しないＣ
ＰＵの指令により動作する。

【００２７】図２は、この発明によるプローブカードの
平面図であり、図６アに対応する。図２において、ＸＹ
ステージ８１は、Ｘステージ８１ＸとＹステージ８１Ｙ
で構成される。Ｘステージ８１Ｘ上にはＹステージ８１
Ｙが図示されない直動ガイドで結合している。Ｙステー
ジ８１Ｙ上には接続リング８Ｂが固定され、接続リング
８Ｂには、プローブカード８が搭載されている。

【００２８】パルスモータ８ＭＹの回転軸８ＣＹはボー
ルねじ８ＢＹに連結している。ボールねじ８ＢＹは、Ｙ
ステージ８１Ｙとの連結部材８ＡＸに内蔵されたボール
ナットとねじ結合している。パルスモータ８ＭＹを駆動
すると、Ｙステージ８１Ｙをねじ送りする。

【００２９】パルスモータ８ＭＸの回転軸８ＣＸはボー
ルねじ８ＢＸに連結している。ボールねじ８ＢＸは、Ｘ
ステージ８１Ｘとの連結部材８ＡＸに内蔵されたボール
ナットとねじ結合している。パルスモータ８ＭＸを駆動
すると、Ｘステージ８１Ｘをねじ送りする。

【００３０】なお、図２に示されたＸＹステージ８１の
下方には、図６イで示された撮像手段となるモニタカメ
ラ１２が配置され、プローブ８ＡとＴＡＢテープ１の表
面を撮像する。そして、モニタカメラ１２の映像は表示
手段となるモニタテレビ１３で表示され、プローブ８Ａ
とＩＣチップ１Ａの接触状態を確認できる。

【００３１】次に、この発明によるテストパッドとプロ
ーブの初期合わせの手順を説明する。ＴＡＢハンドラを
マニアルモードに切り換え、ＴＡＢテープ１の先頭デバ
イスをプローブカード８上まで走行させるのは従来と同
様である。次に、押しボタンスイッチ６２を押し、プッ
シャ５を下降させ、先頭ＴＡＢをプローブ８Ａに接触さ
せる。次に、モニタテレビ１３にて接触状態を確認し、
方向スイッチ６３を操作して、プローブカード８を移動
する。

【００３２】このとき、方向スイッチ６３の入力は選択
手段９Ｂで保留され、選択手段９Ｂは位置判定手段９Ａ
からプッシャ５の位置を確認する。位置判定手段９Ａが
下降位置にあるとき、選択手段９Ｂはモータ駆動回路６
１にプッシャ５へ上昇指令する。選択手段９Ｂは、プッ
シャ５が上昇したことを確認後、方向スイッチ６３の前
記保留入力を解除し、方向スイッチ６３の入力による移
動方向にプローブ８Ａを移動させる。

【００３３】方向スイッチ６３の前記入力が解除される
と、選択手段９Ｂはモータ駆動回路６１にプッシャ５へ
下降指令する。このように、この発明では、ＸＹステー
ジ８１が移動しているときは、プッシャ５は必ず上昇位
置にある。

【００３４】

【発明の効果】この発明は、ＴＡＢテープを昇降するプ
ッシャの昇降位置を記憶する位置判定手段と、方向スイ
ッチによる移動入力を保留し、ＴＡＢテープを上昇させ
てからプローブカードを移動し、ローブカードが移動停
止してから、ＴＡＢテープを下降させる選択手段を備え
ているので、初期調整におけるＩＣチップとプローブを
位置合せする場合、プローブ及びＴＡＢを保護できる。
また、前記プッシャを手動で昇降させなくても良いので
調整時間が短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による接触位置決め機構の一実施の形
態に示す構成図である。

【図２】この発明によるプローブカードの平面図であ
る。

【図３】従来技術によるＴＡＢハンドラの構成図であ
る。

【図４】ＴＡＢテープの部分拡大図である。

【図５】従来技術によるプッシャの構成図である。

【図６】図５のプッシャ近傍の配置図である。

【符号の説明】

１ ＴＡＢテープ １Ａ ＩＣチップ １Ｂ リード １Ｃ テストパッド ４Ａ スプロケット ４Ｂ スプロケット ５ プッシャ ６ プッシャ ６Ｘ モータ駆動回路（Ｘ出力発生手段） ６Ｙ モータ駆動回路（Ｙ出力発生手段） ８ プローブカード ８Ａ プローブ ８ＭＸ パルスモータ ８ＭＹ パルスモータ ９ 制御部 ９Ａ 位置判定手段 ９Ｂ 選択手段 ６１ モータ駆動回路（昇降出力発生手段） ６２ 押しボタンスイッチ ６３ 方向スイッチ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のスプロケットと第２のスプロケッ
   トが同期回転してＴＡＢテープを走行させ、プッシャが
   前記ＴＡＢテープを押下して前記ＴＡＢテープのＩＣチ
   ップをプローブに接触させて前記ＩＣチップを順次試験
   するＴＡＢハンドラであって、 前記ＩＣチップと前記プローブを位置合せする場合に、 プローブカードを移動指令すると、前記プッシャが前記
   ＴＡＢテープを上昇させてから前記プローブカードを移
   動し、 前記プローブカードが移動停止した後、前記プッシャが
   前記ＴＡＢテープを下降させることを特徴とするＴＡＢ
   ハンドラのＩＣチップの接触位置決め機構。
2. 【請求項２】 前記プッシャを昇降させる昇降手段と、 前記昇降手段を駆動する昇降出力発生手段と、 前記プッシャの昇降位置を検出する位置検出手段と、 前記プローブを上設するプローブカードを平面上のＸ方
   向に移動させる第１の移動手段と、 前記第１の移動手段を駆動するＸ出力発生手段と、 前記プローブカードをＸ方向と直交する平面上のＹ方向
   に移動させる第２の移動手段と、 前記第２の移動手段を駆動するＹ出力発生手段と、 前記プローブカードの移動方向をＸ方向あるいはＹ方向
   に正負方向に切り換える方向スイッチと、 前記位置検出手段によるプッシャの昇降位置を記憶する
   位置判定手段と、前記昇降出力発生手段と前記Ｘ出力発
   生手段と前記Ｙ出力発生手段のいずれかに出力指令する
   選択手段とで構成する制御部とを備え、 前記方向スイッチに移動出力が発生すると、 前記選択手段は前記移動出力を停止して前記位置判定手
   段から前記プッシャの昇降位置を読み込み、 前記選択手段は前記プッシャに上昇指令して前記プッシ
   ャが上昇停止確認後、前記移動出力停止を解除すること
   を特徴とする請求項１記載のＴＡＢハンドラのＩＣチッ
   プの接触位置決め機構。
3. 【請求項３】 前記方向スイッチの移動出力が停止する
   と、前記選択手段は前記位置判定手段から前記プッシャ
   の昇降位置を読み込み、前記選択手段は前記プッシャに
   下降指令することを特徴とする請求項１及び請求項２記
   載のＴＡＢハンドラのＩＣチップの接触位置決め機構。
4. 【請求項４】 前記プッシャの昇降方向を切り換えるス
   イッチと、 前記ＩＣチップと前記プローブとの接触状態を撮像する
   撮像手段と、 前記撮像手段の映像を監視する表示手段とを備え、 前記スイッチで前記プッシャを下降し、前記モニタで前
   記ＩＣチップと前記プローブとの接触位置を確認するこ
   とを特徴とする請求項１から請求項３記載のＴＡＢハン
   ドラのＩＣチップの接触位置決め機構。