JPH10186003A

JPH10186003A - 部品検査装置

Info

Publication number: JPH10186003A
Application number: JP8358247A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Uehara; 聡上原
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 1996-12-26
Filing date: 1996-12-26
Publication date: 1998-07-14
Anticipated expiration: 2016-12-26
Also published as: JP3647586B2

Abstract

(57)【要約】【課題】装置の小型化および低価格化並びに検査時間
の短縮を図り得る部品検査装置を提供することを主目的
とする。【解決手段】等価入力回路２４に供給される制御電流
が等価出力回路２５内を流れる出力回路側電流の電流値
を制御する能動素子２３について検査可能な部品検査装
置１において、等価入力回路２４および等価出力回路２
５に対し制御電流および出力回路側電流としての出力電
流を供給可能な電流源２１と、電流源２１の出力電圧を
測定する電圧測定部２２と、所定電流値の出力電流が電
流源から等価入力回路２４および等価出力回路２５に供
給された際に、電圧測定部２２によって測定された出力
電圧が所定の基準電圧範囲内のときに能動素子２３を良
品と判別する良否判別部１１とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板やハ
イブリット用基板およびＭＣＡ（Multi Chip Module ）
等の回路基板に搭載されている回路部品などの良否を検
査可能な部品検査装置に関し、詳しくは、回路基板など
に搭載されている能動素子を検査するのに適した部品検
査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、この種の能動素子の良否を検査
可能に構成された部品検査装置として、図５に示す検査
装置７１が従来から知られている。この検査装置７１
は、回路部品の各々に電気的に予めそれぞれ接触させら
れているｎ本のピンプローブ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ・
・（以下、区別しないときは、「ピンプローブ３」とい
う）と、複数のピンプローブ３，３，・・から選択され
た１組のピンプローブ３，３を介して定電流を出力する
定電流源２１と、選択された他の１組のピンプローブ
３，３を介して定電圧を出力する定電圧源７２と、定電
圧が印加されているピンプローブ３，３間の電圧を測定
する電圧計７３と、定電圧源７２から出力される定電圧
に基づく電流を電流制限するための抵抗７４と、定電圧
源７２の接続を制御するためのリレー７５とを備えてい
る。

【０００３】この検査装置７１では、例えばホトカップ
ラ２３を検査する場合には、まず、同図に示すように、
リレー７５を作動させることにより、抵抗７４および定
電圧源７２の直列回路を電圧計７３に並列接続する。次
いで、ホトカップラ２３におけるホトダイオード２４の
アノード−カソード間にそれぞれ接触させられているピ
ンプローブ３ａ，３ｂを選択して定電流源２１に接続す
ると共に、ホトトランジスタ２５のコレクタ−エミッタ
間にそれぞれ接触させられているピンプローブ３ｃ，３
ｄを選択して電圧計７３に接続する。次に、定電圧源７
２の定電圧を抵抗７４を介してホトトランジスタ２５の
コレクタ−エミッタ間に印加する。

【０００４】次いで、定電流源２１の電流値を所定の電
流値Ｉ₁₁に設定し、この時の電圧計７３の指示値Ｖ₁₁を
読み取る。この際、指示値Ｖ₁₁が、予め定めた所定の許
容範囲内のときは、ホトダイオード２４が導通すること
によってホトトランジスタ２５が正常に作動し、これに
より、抵抗７４による電圧降下が生じているため、良品
と判定する。一方、許容範囲内でないときには、ホトダ
イオード２４またはホトトランジスタ２５のいずれかが
正常に作動していないため、不良品と判定する。

【０００５】また、受動素子である抵抗などを検査する
場合には、まず、リレー７５を作動停止させることによ
り、定電圧源７２を電圧計７３から切り離す。次いで、
検査対象抵抗の両端にそれぞれ接触させられているピン
プローブ３，３を選択して定電流源２１に接続すると共
に、装置内において定電流源２１と電圧計７３とを並列
接続する。次に、定電流源２１から検査対象抵抗に所定
値の定電流Ｉ₁₂を供給し、この時の電圧計７３の指示値
Ｖ₁₂を読み取る。この際、指示値Ｖ₁₂が、予め定めた所
定の許容範囲内のときは、正規な抵抗値を有しているた
め、良品と判定する。一方、許容範囲内でないときに
は、正規な抵抗値を有していないため、不良品と判定す
る。このように、従来の検査装置７１は、リレー７５を
制御することによって、能動素子を検査する際には、定
電流源２１、定電圧源７２および電圧計７３の３つを同
時に使用し、受動素子を検査する際には、定電圧源７２
を電圧計７３から切り離すことによって、定電流源２１
および電圧計７３の２つを使用し、これにより、能動素
子および受動素子の両者を１つの装置で検査することが
できるようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
検査装置７１には以下の問題点がある。第１に、今日に
おいては、装置の小型・低価格競争が激化しており、小
型・低価格化を達成することが早急な課題となってい
る。その一方、従来の検査装置７１では、能動素子の検
査を行うために、受動素子の検査の際には不要である定
電圧源７２、並びに定電圧源７２の切替えを制御するた
めのリレー７５および抵抗７４を必要とするため、その
分、装置の大型化および高価格化を招いているという問
題点がある。第２に、例えば、受動素子と能動素子とが
混在している回路基板上のすべての回路部品を検査する
場合、回路部品の種類に応じてリレー７５の切替え制御
を行う必要があるため、その切替制御時間の積み重ねに
よって検査時間が長時間化しているという問題がある。

【０００７】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、装置の小型化および低価格化並びに検査時
間の短縮を図り得る部品検査装置を提供することを主目
的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１記載の部品検査装置は、等価入力回路に供給され
る制御電流が等価出力回路内を流れる出力回路側電流の
電流値を制御する能動素子について検査可能な部品検査
装置において、等価入力回路および等価出力回路に対し
制御電流および出力回路側電流としての出力電流を供給
可能な電流源と、電流源の出力電圧を測定する電圧測定
部と、所定電流値の出力電流が電流源から等価入力回路
および等価出力回路に供給された際に、電圧測定部によ
って測定された出力電圧が所定の基準電圧範囲内のとき
に能動素子を良品と判別する良否判別部とを備えている
ことを特徴とする。

【０００９】一般的に、電流源に接続されている負荷イ
ンピーダンスが低下すると、電流源の出力端における出
力電圧は低下する。一方、電流源から出力させる所定電
流値の出力電流として、例えば、能動素子が線形な動作
領域内において作動するために最低限必要とされる制御
電流よりも多目の電流にすることにより、良品の能動素
子では、等価出力回路において出力回路側電流が流れよ
うとするため、等価出力回路のインピーダンスが低下す
る。したがって、この場合における電流源の出力電圧
は、所定電圧まで低下する。逆に、能動素子が不良品の
場合には、同じ値の出力電流を供給したとしても、等価
出力回路のインピーダンスが低下しないため、出力電圧
は低下しない。このように、所定電流値の出力電流を電
流源から出力させた際に、能動素子が作動することによ
って低下するであろう電流源の出力電圧範囲を基準電圧
範囲として規定しておくことにより、その出力電圧に基
づいて能動素子の良否を検査することが可能となる。

【００１０】請求項２記載の部品検査装置は、請求項１
記載の部品検査装置において、良品の能動素子を作動さ
せ、その作動時における電流源の出力電流に対する出力
電圧に基づいて、基準電圧範囲を定めるための基準デー
タを生成するデータ生成部を備えていることを特徴とす
る。

【００１１】基準電圧範囲を定める基準データは、検査
対象能動素子のカタログなどに記載されているデータに
基づいて演算により求めたり、部品検査装置とは別の装
置を用いて実験値に基づいて生成したりしてもよい。一
方、この部品検査装置では、検査時において実際に使用
する電流源および電圧測定部を使用することにより、基
準データ生成時における測定値と検査時における測定値
との誤差を打ち消し合わせることが可能のため、別の装
置を用いて基準データを生成したような場合と比較し、
正確な検査を行うことができる。

【００１２】請求項３記載の部品検査装置は、請求項２
記載の部品検査装置において、データ生成部は、出力電
流の電流値を制御すると共に、その出力電流に対する出
力電圧を電圧測定部から入力することによって、基準デ
ータを生成することを特徴とする。

【００１３】この部品検査装置では、データ生成部が、
装置内に設けられている電流源の電流を制御して、同じ
く装置内に設けられている電圧測定部によって測定され
た電流源の出力電圧に基づいて基準データを自動的に生
成する。このため、簡易かつ正確な基準データを生成す
ることが可能となる。

【００１４】請求項４記載の部品検査装置は、請求項３
記載の部品検査装置において、データ生成部は、出力回
路側電流が制御電流に対してほぼ線形に変化する領域内
における、出力電流に対する出力電圧を基準データとし
て生成することを特徴とする。

【００１５】能動素子が作動している動作領域内におけ
る任意の出力電流に対する出力電圧を基準データとして
もよい。一方、この部品検査装置においては、出力回路
側電流が制御電流に対してほぼ線形に変化する領域にお
ける、出力電流に対する出力電圧が基準データとして生
成される。この結果、能動素子が作動を開始し始めた初
期動作領域、および出力回路側電流が飽和した状態の飽
和領域での出力電圧を基準データとすることを避けるこ
とができ、これにより、能動素子の正確な良否検査を行
うことが可能となる。

【００１６】請求項５記載の部品検査装置は、請求項１
から４のいずれかに記載の部品検査装置において、電流
源は、定電流源であることを特徴とする。

【００１７】電流源は、定電圧源と電流制限用抵抗とを
直列接続して構成してもよいが、出力電流を正確な値に
設定するためには、電流値測定手段が必要になることが
ある。この部品検査装置では、定電流源の出力電流を設
定することにより、基準データ生成の際および検査の際
における出力電流の設定を、迅速かつ容易に、しかも正
確に行うことができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、回路基板検査装置を例に挙
げて、添付図面を参照しつつ、本発明に係る部品検査装
置の好適な実施の形態について説明する。なお、従来の
検査装置７１と同一の構成要素については、同一の符号
を付して詳細説明を省略する。

【００１９】図１に示す回路基板検査装置１は、回路基
板２の一方の面に形成され互いに分離独立しているｎ本
の回路パターンＰ，Ｐ・・にそれぞれ接触させるための
ｎ本のピンプローブ３，３，・・を備えている。各ピン
プローブ３は、その先端部が上方に向くように、その基
部が図外の基板支持台に固着されることにより、回路基
板２を支持可能に構成されている。また、各ピンプロー
ブ３の基部には、ケーブル４が接続されており、これら
のケーブル４は、後述する切替部１７に接続されてい
る。

【００２０】次に、回路基板検査装置１の電気的な構成
およびその機能について、同図を参照して説明する。

【００２１】回路基板検査装置１は、本発明における良
否判別部およびデータ生成部に相当するＣＰＵ１１、メ
モリ１２、キーボード１３およびＣＲＴ１４を備えてい
る。なお、これらは、実際には、パーソナルコンピュー
タで構成されており、同図では、機能的な構成を示して
いる。ＣＰＵ１１は、後述するＡ／Ｄ変換部１６によっ
て生成されるディジタルデータＤ_Dに基づいて受動素子
の抵抗値、静電容量およびインダクタンスの測定や、能
動素子の特性の検査を行うことにより、回路基板２の良
否を判定する。メモリ１２は、各ピンプローブ３に接触
する回路パターンＰのパターン番号、その回路パターン
Ｐに接続される受動素子や能動素子などの回路部品Ｂに
ついての検査用の基準データ（本発明における基準電圧
範囲などに相当する）や部品番号、各回路パターンＰ，
Ｐ相互間の抵抗値、および各回路パターンＰや回路部品
Ｂのそれぞれの位置、平面形状などを記憶する。この場
合、これらの情報は、回路基板２の検査に先立って予め
キーボード１３や図外のマウスから入力される。ＣＲＴ
１４は、メモリ１２に記憶されている各回路パターンＰ
や回路部品Ｂの配置図、および検査結果などを、ＣＰＵ
１１の制御下で映し出す。

【００２２】また、回路基板検査装置１は、計測ボード
１５、Ａ／Ｄ変換部１６および切替部１７を備えてい
る。計測ボード１５は、図４（ａ）の測定系概略図に示
すように、本発明における電流源と定電流源に相当する
定電流源２１、および本発明における電圧測定部に相当
する電圧測定回路２２を内蔵している。計測ボード１５
では、ＣＰＵ１１から出力される測定制御信号Ｓ₁₁に従
い、切替部１７を介してピンプローブ３に定電流源２１
の定電流Ｉｏ（本発明における出力電流に相当する）を
出力する。一方、電圧測定回路２２は、ピンプローブ３
および切替部１７を介して入力される定電流源２１の出
力電圧Ｖｏの電圧値を測定する。Ａ／Ｄ変換部１６は、
計測ボード１５の電圧測定回路２２によって測定された
測定値をディジタルデータＤ_Dに変換する。この場合、
Ａ／Ｄ変換部１６は、順次入力される個々の測定値につ
いて変換を完了した都度、ＣＰＵ１１に対して変換終了
信号Ｓ₁₂を出力する。一方、ＣＰＵ１１は、変換終了信
号Ｓ₁₂が出力される毎に、Ａ／Ｄ変換部１６にラッチさ
れているディジタルデータＤ_Dを読み取りに行く。切替
部１７は、ＣＰＵ１１から出力される切替制御信号Ｓ₁₃
に従って選択したピンプローブ３，３・・と、定電流源
２１の出力端子、電圧測定回路２２の入力端子、並びに
定電流源２１および電圧測定回路２２のグランドＧとを
互いに接続する。

【００２３】次に、回路基板検装置１における回路基板
２の検査、特に、能動素子の検査について、図２〜４を
参照して説明する。

【００２４】最初に、回路基板２の検査に先立ち、回路
基板２から基準データを生成するためのデータ吸収処理
が行われる。この処理では、図２に示すように、まず、
良品の回路基板２をピンプローブ３，３・・上にセット
する（ステップ３１）。次いで、回路基板２の回路パタ
ーンＰ，Ｐ・・にピンプローブ３，３・・をそれぞれ接
触させた状態で、ＣＰＵ１１が、切替制御信号Ｓ₁₃を出
力することにより、切替部１７が、２対のピンプローブ
３，３，３，３を選択する。この場合、切替部１７は、
例えば、ホトカップラ２３から基準データを吸収すると
きには、図４（ａ）に示すように、ホトカップラ２３の
等価入力回路であるホトダイオード２４のアノードおよ
びカソードにそれぞれ接触させられている１対のピンプ
ローブ３ａ，３ｂと、ホトトランジスタ２５の等価出力
回路であるコレクタおよびエミッタにそれぞれ接触させ
られている１対のピンプローブ３ｃ，３ｄを選択する。
次いで、切替部１７は、ピンプローブ３ａ，３ｃを定電
流源２１の出力端子および電圧測定回路２２の入力端子
に共通接続し、ピンプローブ３ｂ，３ｄを定電流源２１
および電圧測定回路２２のグランドＧに共通接続する。
次に、定電流源２１の開放電圧をセットする（ステップ
３２）。この場合、開放電圧は、ホトダイオード２４の
アノード−カソード間定格電圧およびホトトランジスタ
２５のコレクタ−エミッタ間定格電圧以下の電圧（例え
ば、２Ｖ）に設定される。

【００２５】次に、オペレータによってデータの吸収回
数と増加電流値（例えば、０．１ｍＡ）とがセットされ
ると（ステップ３３）、ＣＰＵ１１は、吸収回数をカウ
ント値ｎとして内部のカウンタにセットすると共に、増
加電流値をメモリ１２に記憶させる。この場合、吸収回
数は、ＣＰＵ１１によって行われる定電流源２１の出力
電圧Ｖｏの測定回数を意味し、増加電流値は、１回の測
定が実行された後に次の測定の際において定電流源２１
の定電流Ｉｏを段階的に増加させる電流値を意味する。
次に、初期電流（例えば、１ｍＡ）を定電流源２１から
出力させ（ステップ３４）、その際の定電流源２１の出
力電圧Ｖｏの電圧値（つまりホトトランジスタ２５のコ
レクタ−エミッタ間電圧）を電圧測定回路２２に測定さ
せる。次いで、Ａ／Ｄ変換部１６が、電圧測定回路２２
によって測定された出力電圧Ｖｏの電圧値をディジタル
データＤ_Dに変換し、ＣＰＵ１１が、変換したディジタ
ルデータを入力することによって出力電圧Ｖｏの電圧値
を読み取る（ステップ３５）。次に、ＣＰＵ１１は、読
取値が開放電圧よりも低下したか否かを判別する（ステ
ップ３６）。低下したと判別したときには、その時にお
ける定電流Ｉｏの電流値Ｉ₁と、出力電圧Ｖｏの電圧値
Ｖ₁とをデータとして吸収する（ステップ３７）。一
方、低下していないと判別したとき、およびデータを吸
収したときには、カウンタのカウント値が値ｎに達して
いるか否かを判別し（ステップ３８）、達していないと
判別したときには、カウンタをカウントアップすると共
に定電流源２１の定電流Ｉｏを増加電流値分だけ増加さ
せる（ステップ３９）。

【００２６】次いで、定電流Ｉｏを増加させたときの電
流値における定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値を読
み取り（ステップ３５）、上記したステップ３６〜３８
を繰り返す。ステップ３８においてカウント値が値ｎに
達したと判別したときには、検査用データの作成処理を
実行する（ステップ４０）。この検査用データの作成処
理では、ＣＰＵ１１は、まず、読取値が開放電圧よりも
低下したとき（つまりホトトランジスタ２５が作動した
とき）の定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値から、ホ
トトランジスタ２５に流れる電流（本発明における出力
回路側電流に相当する）が飽和した状態における出力電
圧Ｖｏの電圧値までの電圧範囲を求める。次いで、その
電圧範囲のうち、ホトトランジスタ２５に流れる電流が
ホトダイオード２４に流れる制御電流に対してほぼ線形
に変化する領域内における、定電流Ｉｏの電流値Ｉm
と、そのときの定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値
Ｖ_mとを基準データとしてメモリ１２に記憶させる。な
お、ホトトランジスタ２５を流れる電流が線形に変化し
ている領域にあるか否かは、定電流源２１の出力電圧Ｖ
ｏの電圧値を監視することにより判定することができ
る。具体的には、定電流Ｉｏを増加したときに出力電圧
Ｖｏの電圧値が低下しているときには、ホトトランジス
タ２５を流れる電流が線形に変化していると判別し、定
電流Ｉｏを増加しても出力電圧Ｖｏの電圧値が低下しな
くなったときには、ホトトランジスタ２５が飽和状態で
動作していると判別する。

【００２７】なお、データ吸収処理においては、ホトカ
ップラ２３についてのデータ吸収以外にも、回路パター
ンＰ，Ｐ間の抵抗値なども測定されてメモリ１２に記憶
される。また、このデータ吸収処理は複数の良品回路基
板２について行い、吸収したデータの平均値を基準デー
タとしてもよい。このようにすることによって、回路基
板２に搭載されている回路部品Ｂのばらつきに対処する
ことができる。さらに、上記したデータ吸収処理のステ
ップ３５において、定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧
値が低下しないときには、開放電圧を変化させて、再度
データ吸収処理を行うようにしてもよい。

【００２８】次に、検査対象の回路基板２を実際に検査
する検査処理について、図３を参照して説明する。

【００２９】最初に、オペレータによって、許容できる
出力電圧Ｖｏの電圧範囲がセットされる（ステップ５
１）。具体的には、このステップ５１では、オペレータ
によって、基準データとしてメモリ１２に記憶されてい
る出力電圧Ｖｏの電圧値Ｖ_mに対して、許容できる範囲
（例えば、±２０％）が指定される。これにより、ＣＰ
Ｕ１１は、０．８×Ｖ_m〜１．２×Ｖ_mまでの基準電圧
範囲を演算し、演算した基準電圧範囲をメモり１２に記
憶させる。次いで、定電流源２１の開放電圧を、データ
吸収処理においてセットされた開放電圧と等しい電圧値
にセットする（ステップ５２）。次に、検査対象である
同種の回路基板２がピンプローブ３，３・・上にセット
されると（ステップ５３）、ＣＰＵ１１は、定電流源２
１の定電流Ｉｏを、基準データとしての電流値Ｉ_mにセ
ットする（ステップ５４）。そして、ＣＰＵ１１は、こ
の時に電圧測定回路２２によって測定された出力電圧Ｖ
ｏの電圧値Ｖ_CEmを読み取る（ステップ５５）。

【００３０】次いで、ＣＰＵ１１は、電圧値Ｖ_CEmが基
準電圧範囲内であるか否かを判別する（ステップ５
６）。基準電圧範囲内であると判別したときは、良品コ
ードをセットし（ステップ５７）、許容電圧範囲内でな
いと判別したときには、不良品コードをセットする（ス
テップ５８）。この後、他の回路部品Ｂについても検査
し（ステップ５９）、すべての回路部品Ｂについて検査
を終了したときに検査結果をＣＲＴ１４に表示する（ス
テップ６０）。この場合、１つでも不良品コードがセッ
トされているときには、不良基板の旨を表示し、不良品
コードがセットされていないときには良品基板である旨
を表示する。なお、ＣＲＴ１４に不良基板表示を行う場
合に、ＣＰＵ１１は、その回路パターンＰや回路部品Ｂ
の位置を併せて表示させることもできる。かかる場合に
は、作業者は、不良個所を容易に特定することができ
る。この後、ＣＰＵ１１は、検査すべき所定枚数の回路
基板２を検査したか否かを判別し（ステップ６１）、所
定枚数の回路基板２の検査を終了していない判別したと
きは、次の検査対象の回路基板２がセットされると（ス
テップ５３）、上記したステップ５４〜６０を繰り返
す。一方、所定枚数の回路基板２を検査していると判別
したときは、検査処理を終了する。

【００３１】なお、この回路基板検査装置１において検
査できる能動素子はホトカップラ２３に限らず、例え
ば、トランジスタやＦＥＴなどを検査することができ
る。この場合、図４（ｂ）に示すように、トランジスタ
２６のベース、コレクタおよびエミッタにそれぞれ接触
しているピンプローブ３ａ，３ｃ，３ｄを選択した後、
上記したデータ吸収処理および検査処理と同じようにし
て、データの吸収および検査を行うことができる。

【００３２】以上のように、本実施形態に係る回路基板
検査装置１によれば、定電流源２１から所定電流値の出
力電流Ｉ_mを能動素子の等価入力回路（例えばホトダイ
オード２４）および等価出力回路（例えばホトトランジ
スタ２５）に供給し、その際に電圧測定回路２２によっ
て測定された定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値が所
定の基準電圧範囲内のときに能動素子を良品と判別する
ことにより、従来の検査装置７１における定電圧源７
２、抵抗７４およびリレー７４を不要にすることがで
き、これにより、装置の小型・低価格化を図ることがで
きる。また、リレー７５の切替制御を不要にすることが
できる結果、検査時間を短縮することができる。

【００３３】なお、本発明は、上記した実施形態に限定
されない。例えば、本発明に係る部品検査装置は、回路
基板２上に搭載された回路部品Ｂの検査に限らず、回路
部品単体で検査する検査装置にも適用可能である。この
場合、ピンプローブ３に代えて、クリップ型の接触子を
用いることによって、定電流源２１や電圧測定回路２２
を回路部品Ｂに接続することができる。

【００３４】また、本実施形態において説明したデータ
吸収処理を行わずに、能動素子のデータシートなどか
ら、定電流源２１から出力される定電流が所定電流値の
ときにおける定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値を計
算によって求めた後に、作業者がキーボード１３を用い
てメモリ１２に記憶させてもよい。ただし、本実施形態
のようにＣＰＵ１１が自動的に基準データを生成するこ
とにより、省力化を図ることができる。また、データ吸
収処理において、検査処理時に実際に使用する定電流源
２１および電圧測定回路２２を使用することにより、基
準データとしての電流値Ｉ_mおよび出力電圧の電圧値Ｖ
_mと、検査処理時における設定値である電流値Ｉ_mおよ
び測定値である電圧値Ｖ_CEmとの誤差を打ち消し合わせ
ることが可能のため、正確な検査を行うことができる。

【００３５】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の部品検査
装置によれば、例えば、所定電流値の出力電流を電流源
から出力させた際に、能動素子が作動することによって
低下するであろう電流源の電圧範囲を基準電圧範囲とし
て規定しておくことにより、電流源の出力電圧に基づい
て能動素子の良否を検査することができる。これによ
り、従来の検査装置７１における定電圧源７２などを不
要にすることができる結果、装置の小型・低価格化を図
ることができる。また、従来の検査装置７１におけるリ
レー７５の切替制御を不要にすることができるため、検
査時間を短縮することができる。

【００３６】また、請求項２記載の部品検査装置によれ
ば、検査時において実際に使用する電流源および電圧測
定部を使用することにより、基準データ生成時における
測定値と検査時における測定値との誤差を打ち消し合わ
せることができ、これにより、別の装置を用いて基準デ
ータを生成したような場合と比較し、正確な検査を行う
ことができる。

【００３７】また、請求項３記載の部品検査装置によれ
ば、データ生成部が、装置内に設けられている電流源の
電流を制御して、同じく装置内に設けられている電圧測
定部によって測定された電流源の出力電圧に基づいて基
準データを自動的に生成することにより、簡易かつ正確
な基準データを生成することができる。

【００３８】さらに、請求項４記載の部品検査装置によ
れば、出力回路側電流が制御電流に対してほぼ線形に変
化する領域における、出力電流に対する出力電圧を基準
データとして生成することによって、能動素子の正確な
良否検査を行うことができる。

【００３９】また、請求項５記載の部品検査装置によれ
ば、定電流源の出力電流を設定することにより、基準デ
ータ生成の際におよび検査の際における出力電流の設定
を、迅速かつ容易に、しかも正確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置の
ブロック図である。

【図２】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置に
おけるデータ吸収処理のフローチャートである。

【図３】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置に
おける検査処理のフローチャートである。

【図４】（ａ）はホトカップラについてデータ吸収処理
および検査処理を行う際の測定系の概略を示す測定系概
略図であり、（ｂ）はトランジスタについてデータ吸収
処理および検査処理を行う際の測定系の概略を示す測定
系概略図である。

【図５】従来の検査装置における測定系の概略を示す測
定系概略図である。

【符号の説明】

１回路基板検査装置１１ＣＰＵ１５計測ボード２１定電流源２２電圧測定回路２３ホトカップラ２４ホトダイオード２５ホトトランジスタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】等価入力回路に供給される制御電流が等
価出力回路内を流れる出力回路側電流の電流値を制御す
る能動素子について検査可能な部品検査装置において、前記等価入力回路および等価出力回路に対し前記制御電
流および前記出力回路側電流としての出力電流を供給可
能な電流源と、当該電流源の出力電圧を測定する電圧測
定部と、所定電流値の前記出力電流が前記電流源から前
記等価入力回路および前記等価出力回路に供給された際
に、前記電圧測定部によって測定された前記出力電圧が
所定の基準電圧範囲内のときに前記能動素子を良品と判
別する良否判別部とを備えていることを特徴とする部品
検査装置。
【請求項２】良品の前記能動素子を作動させ、その作
動時における前記電流源の前記出力電流に対する前記出
力電圧に基づいて、前記基準電圧範囲を定めるための基
準データを生成するデータ生成部を備えていることを特
徴とする請求項１記載の部品検査装置。
【請求項３】前記データ生成部は、前記出力電流の電
流値を制御すると共に、その出力電流に対する前記出力
電圧を前記電圧測定部から入力することによって、前記
基準データを生成することを特徴とする請求項２記載の
部品検査装置。
【請求項４】前記データ生成部は、前記出力回路側電
流が前記制御電流に対してほぼ線形に変化する領域内に
おける、前記出力電流に対する前記出力電圧を前記基準
データとして生成することを特徴とする請求項３記載の
部品検査装置。
【請求項５】前記電流源は、定電流源であることを特
徴とする請求項１から４のいずれかに記載の部品検査装
置。